JPH11271637A - 顕微鏡 - Google Patents
顕微鏡Info
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- JPH11271637A JPH11271637A JP7255398A JP7255398A JPH11271637A JP H11271637 A JPH11271637 A JP H11271637A JP 7255398 A JP7255398 A JP 7255398A JP 7255398 A JP7255398 A JP 7255398A JP H11271637 A JPH11271637 A JP H11271637A
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- optical system
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Abstract
を可能にした顕微鏡を提供する。 【解決手段】ハーフミラー2により2方向に分割された
一方の光路の照明光により副観察光学系5の対物レンズ
11を介して標本14面を照明し、該標本14面の反射
光を取り込むとともに、他の光路の照明光により主観察
光学系4の対物レンズ7を介して標本14の観察領域を
照明し、該観察領域の反射光を取り込むようになってい
て、これら主観察光学系4の対物レンズ7とともに副観
察光学系5の対物レンズ11を共通の準焦装置9に一体
に設け、これら対物レンズ7、11の準焦動作を可能に
している。
Description
を有する顕微鏡に関するものである。
パターンの欠陥検査を始めとして、ごみや傷などの解析
に、複数の観察光学系を有する顕微鏡が用いられてい
る。つまり、このような顕微鏡では、倍率の異なる複数
の対物レンズが切換え可能でオートフォーカス機能を有
する主観察光学系と、この主観察光学系と独立した低倍
の作動距離の長い対物レンズを有する副観察光学系を有
していて、まず、副観察光学系の対物レンズを介してパ
ターンなどの標本面にスポット光を照射しながら、標本
からの反射光を低倍の対物レンズを通してCCDカメラ
などで撮像してマクロ的な画像を表示し、このマクロ的
な画像中から標本の欠陥を検索し、この検索により発見
された欠陥を主観察光学系の高倍対物レンズの観察光軸
上に合せ、欠陥部の解析のためのミクロ観察を行うよう
にしている。
構成した顕微鏡によると、主観察光学系の対物レンズ
は、例えば遠隔操作により準焦動作されるのに対し、副
観察光学系の対物レンズの準焦動作については、直接操
作者による対物レンズの操作により行うようにしてい
る。
る観察の際に、例えばパターンの高さが異なったり、標
本面の歪みなどの原因により、ぼけが生じるような場合
は、副観察光学系の対物レンズを直接操作してピントを
合せた後、主観察光学系の準焦手段を遠隔操作しなけれ
ばならず、このようにピントがずれる度に両観察光学系
の準焦操作が強いられるため、それだけ検鏡が煩わしく
なるとともに、検鏡時間もかかってしまいて、作業能率
の低下を招くという問題があった。本発明は、上記事情
に鑑みてなされたもので、検鏡を簡単にできるととも
に、検鏡時間の短縮を可能にした顕微鏡を提供すること
を目的とする。
照明光の光路を異なる方向に分割する光路分割手段と、
この光路分割手段で分割された光路の照明光により標本
面を照明するとともに、該標本面の反射光を取り込む対
物レンズを有する副観察光学系と、前記光路分割手段で
分割された他の光路の照明光により前記標本の観察領域
を照明するとともに、該観察領域の反射光を取り込む対
物レンズを有する主観察光学系と、前記主観察光学系の
対物レンズとともに前記副観察光学系の対物レンズを一
体に設け、これら対物レンズの準焦動作を可能にした準
焦手段とにより構成している。
いて、前記主観察光学系の対物レンズおよび前記副観察
光学系の対物レンズは、前記標本面に対して異なる作動
距離を有し、前記主観察光路の対物レンズおよび前記副
観察光学系の対物レンズの焦点位置が面一面になるよう
に予め調整されている。
いて、さらに、共通なオートフォーカス手段を有し、該
オートフォーカス手段により前記主観察光学系の対物レ
ンズおよび前記副観察光学系の対物レンズに対するオー
トフォーカス動作を切換え可能にしている。
副観察光学系の対物レンズと主観察光学系の対物レンズ
とを共通の準焦手段により準焦操作することができる。
請求項2記載の発明によれば、主観察光学系と副観察光
学系の対物レンズの焦点位置が同一面に調整されている
ため、一方の観察光学系の準焦操作により合焦させるこ
とで、同一監察対象に対して他方の観察光学系を同時に
合焦させることができる。
トフォーカス手段による主観察光学系と副観察光学系に
対するオートフォーカス機能を任意に切換えて対処する
ことができる。
に従い説明する。 (第1の実施の形態)図1は、本発明が適用される顕微
鏡の概略構成を示している。
大型基板の検査に好適な顕微鏡の本体で、この顕微鏡本
体1には、ハーフミラー2および撮像手段としてCCD
カメラ3を設けている。
光路5および照明光路6の交差する位置に配置され、照
明光路6に沿って入射される図示しない照明光を反射方
向と透過方向の2方向に分け、このうち反射光を主観察
光路4に、透過光を副観察光路5にそれぞれ進め、ま
た、主観察光路4より入射される標本14面からの反射
光を透過し、副観察光路5より入射される標本14面か
らの反射光を反射して、それぞれCCDカメラ3に入射
させるようにしている。
物レンズ7を有するレボルバ8を配置している。このレ
ボルバ8は、副観察光学系5の対物レンズ11より高い
倍率の複数の対物レンズ7を選択的に主観察光路4上に
位置させるものである。また、レボルバ8は、準焦装置
9に設けられている。
動源とした駆動機構によりレボルバ8とともに、対物レ
ンズ7を、その光軸方向に移動させるもので、この移動
により対物レンズ7の準焦を得るようにしている。
率の対物レンズ11を配置している。この場合、ミラー
10は、副観察光路5を直角に折り曲げ、対物レンズ1
1の光軸が対物レンズ7の光軸と平行になるようにして
いる。また、対物レンズ11は、上述した準焦装置9に
ビス12により固定していて、この準焦装置9の移動と
ともに、光軸方向に移動可能にしている。つまり、対物
レンズ11は、準焦装置9により対物レンズ7と連動し
て光軸方向に移動可能になるとともに、この移動により
準焦を得られるようにしている。
タ13を設けている。このシャッタ13は、図2に示す
ように一対の長方形遮蔽板131、132をL字状に形
成するとともに、遮蔽板131に透穴131aを、また
遮蔽板132に透穴132aをそれぞれ形成したもの
で、これら遮蔽板131、132をアクチュエータ13
4の駆動力により、その長手方向に配置されたガイド1
33に沿って直線移動(図1では紙面と垂直方向に直線
移動)することにより、透穴131aを主観察光路4中
に、または、透穴132aを副観察光路5中に選択的に
配置できるようにしている。
学系4の対物レンズ7および副観察光学系5の対物レン
ズ11の関係は、副観察光学系5の対物レンズ11が標
本14面に対して比較的長い作動距離WD2にあり、これ
に対して主観察光路4の対物レンズ7が標本14面に対し
て極めて短い作動距離WD1になっており、両観察光学
系の対物レンズ7、11の焦点位置が同一面になるよう
に予め調整されている。
動作を説明する。まず、標本14面にスポット光を照射
しながら、マクロ的な観察を行う場合は、シャッタ13
をアクチュエータ134により駆動して、遮蔽板132
の透穴132aを副観察光路5上に配置する。この場
合、主観察光路4は、遮断板131により遮蔽される。
2に照明光が入射すると、ここを透過した照明光は、副
観察光路5に進み、ミラー10および対物レンズ11を
通って標本14面に照射される。この状態で、標本14
面からの反射光は、対物レンズ11を通ってハーフミラ
ー2で反射され、CCDカメラ3に入射され、このCC
Dカメラ5で撮像され、さらに、図示しないモニターに
画像表示され、欠陥部のマクロ的な観察が行われる。
ピントが合っていない場合は、準焦装置9を、図示しな
いモータを駆動源とした駆動機構により駆動して、対物
レンズ11を光軸方向に移動させながら、準焦を得られ
るようにする。
面の欠陥部を主観察光路4の対物レンズ7により高倍率
で観察する場合は、シャッタ13をアクチュエータ13
4により駆動して、今度は、遮蔽板131の透穴131
aを主観察光路4上に配置する。この場合、副観察光路
5は、遮断板132により遮蔽される。また、標本14
側を移動して観察したい欠陥部を対物レンズ7の光軸に
合せる。
2に照明光が入射されると、ここで反射した照明光は、
主観察光路4に進み、対物レンズ7を通って標本14面
の欠陥部に照射される。また、標本14面からの反射光
は、対物レンズ7を通ってハーフミラー2を透過した
後、CCDカメラ3に入射され、さらに、図示しないモ
ニターに画像表示され、欠陥部に対するミクロ的な観察
が行われる。
と対物レンズ11の物点側合焦位置が同一平面内にある
ので、副観察光学系5による欠陥観察の際に、準焦装置
9により対物レンズ11の準焦操作が行われると、標本
14の同一面に対して対物レンズ7も自動的に準焦操作
が行われる。このように低倍の対物レンズ11で準焦操
作を行うと同時に高倍の対物レンズ7も準焦操作が行わ
れるため、改めて対物レンズ7についての準焦操作を行
うことなく、画像表示される欠陥部のミクロ的な画像は
ピントの合った鮮明なものが得られる。
厚みにばらつきがあって、その都度、準焦装置9により
対物レンズ11の準焦動作が行われても、同時に対物レ
ンズ7も、自動的に準焦動作が行われるので、主観察光
学系4に切り換えた際も、対物レンズ7について改めて
準焦動作を行うことなく、常に、ピントの合った鮮明な
欠陥部のミクロ的な表示画像が得られる。
隔操作により準焦動作する準焦装置9に副観察光学系5
の対物レンズ11も一体に設けていることから、副観察
光学系5の対物レンズ11による観察の際に、例えば標
本面の歪みなどが原因で、観察画像に、いわゆるぼけが
生じるような場合も、共通の準焦装置9による遠隔操作
が可能になり、標本上での観察者による準焦作業をなく
し、コンタミの問題を解消できるとともに、従来のよう
に別個に準焦装置を設けたものと比べ、準焦機構を簡略
化でき、かつ副観察光学系と主観察光学系の合焦を1度
で行うことができ、一連のマクロ、ミクロ検鏡を簡単に
できるとともに、検鏡時間も短縮でき、作業能率の向上
を実現することができる。 (第2の実施の形態)第1の実施の形態では、対物レン
ズ7および11を取付けた準焦装置9は、操作者の操作
により図示しないモータを駆動源として動作され、対物
レンズ7および11の合焦を得るようにしているが、こ
の第2の実施の形態では、オートフォーカス手段を用い
ることで、自動的に合焦を得られるようにしている。
すもので、図1と同一部分には、同符号を付している。
この場合、ハーフミラー2とCCDカメラ5との間の主
観察光学系4の延長上光路にハーフミラー15を配置
し、このハーフミラー15の反射光路16にオートフォ
ーカス装置17を配置し、主観察光学系4の対物レンズ
7に対するオートフォーカス動作を副観察光学系5の対
物レンズ11に対するオートフォーカス動作にも適用可
能にしている。その他は、図1と同様である。
シャッタ13により副観察光学系5が選択されると、対
物レンズ11を介して標本14の反射光がハーフミラー
2、15を介して、オートフォーカス装置17に入射さ
れる。すると、このオートフォーカス装置17での入射
光に基づいたオートフォーカス動作により、準焦装置9
が、図示しないモータを駆動源とした駆動機構により駆
動され、対物レンズ11を光軸方向に移動させながら合
焦が行われる。
4が選択されると、対物レンズ7を介して標本14から
の反射光がハーフミラー2を透過、ハーフミラー15で
反射され、オートフォーカス装置17に入射され、この
オートフォーカス装置17でのオートフォーカス動作に
より、準焦装置9が駆動され、対物レンズ7を光軸方向
に移動させながら合焦が行われる。
形態の効果に加え、主観察光学系4の対物レンズ7をオ
ートフォーカス動作するオートフォーカス装置17を副
観察光学系5の対物レンズ11にも適用できるので、副
観察光学系5に別個にオートフォーカス装置を設けるこ
と必要がなく構成を簡略化できる。また、シャッタ13
の切換により副観察光学系5と主観察光学系4に対して
別々にオートフォーカス動作させることができるため、
両観察光学系の対物レンズ7、11に最適な条件で合焦
させることができる。
観察光学系の対物レンズと主観察光学系の対物レンズと
を共通の準焦手段により準焦操作できるので、準焦手段
を簡略化できるとともに、副観察光学系と主観察光学系
での合焦を同時にできることから、一連の検鏡を簡単に
できるとともに、検鏡時間も短縮でき、作業能率の向上
を実現できる。
光学系の対物レンズとを共通のオートフォーカス手段に
よるオートフォーカスで対処することができるので、オ
ートフォーカス手段を簡略化できるとともに、主観察光
学系と副観察光学系を別個に切換えることで、常に両観
察光学系の対物レンズに最適な条件で合焦させることが
できる。
図。
構成を示す図。
図。
Claims (3)
- 【請求項1】 照明光の光路を異なる方向に分割する光
路分割手段と、 この光路分割手段で分割された光路の照明光により標本
面を照明するとともに、該標本面の反射光を取り込む対
物レンズを有する副観察光学系と、 前記光路分割手段で分割された他の光路の照明光により
前記標本の観察領域を照明するとともに、該観察領域の
反射光を取り込む対物レンズを有する主観察光学系と、 前記主観察光学系の対物レンズとともに前記副観察光学
系の対物レンズを一体に設け、これら対物レンズの準焦
動作を可能にした準焦手段とを具備したことを特徴とす
る顕微鏡。 - 【請求項2】 前記主観察光学系の対物レンズおよび前
記副観察光学系の対物レンズは、前記標本面に対して異
なる作動距離を有し、前記主観察光路の対物レンズおよ
び前記副観察光学系の対物レンズの焦点位置が面一面に
なるように予め調整されることを特徴とする請求項1記
載の顕微鏡。 - 【請求項3】 さらに、共通なオートフォーカス手段を
有し、該オートフォーカス手段により前記主観察光学系
の対物レンズおよび前記副観察光学系の対物レンズに対
するオートフォーカス動作を切換え可能にしたことを特
徴とする請求項1記載の顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP07255398A JP4128260B2 (ja) | 1998-03-20 | 1998-03-20 | 顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP07255398A JP4128260B2 (ja) | 1998-03-20 | 1998-03-20 | 顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11271637A true JPH11271637A (ja) | 1999-10-08 |
JP4128260B2 JP4128260B2 (ja) | 2008-07-30 |
Family
ID=13492675
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP07255398A Expired - Fee Related JP4128260B2 (ja) | 1998-03-20 | 1998-03-20 | 顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4128260B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4834272B2 (ja) * | 2000-03-24 | 2011-12-14 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡ユニット |
-
1998
- 1998-03-20 JP JP07255398A patent/JP4128260B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP4834272B2 (ja) * | 2000-03-24 | 2011-12-14 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡ユニット |
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JP4128260B2 (ja) | 2008-07-30 |
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