JP4724411B2 - 共焦点レーザスキャニング顕微鏡 - Google Patents
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Description
前記第1のフィールドレンズと前記結像レンズとの組み合わせによる前記撮像素子上の前記非共焦点画像の視野の大きさと前記第2のフィールドレンズと前記瞳投影レンズとの組み合わせによる前記検出器上の前記共焦点画像の視野の大きさとを同一にすることを特徴とする共焦点レーザ顕微鏡である。
Claims (8)
- レーザビームを出力するレーザ光源と、
前記レーザ光源から出力された前記レーザビームを試料に照射し、前記試料からの測定光を検出して前記試料の共焦点画像を取得するレーザ光学系と、
任意の波長を有する照明光を出射する光源と、
少なくとも2種の観察法に対応する各光学系を有し、前記光源から出射された前記照明光を前記レーザ光学系に導入して前記試料に照射し、前記試料からの測定光を検出して前記試料の非共焦点画像を取得する光学顕微鏡光学系と、
前記光源から出射された前記照明光を前記レーザ光学系に導入する明視野用プリズムと、前記光源から出射された前記照明光を環状に整形して前記レーザ光学系に導入する暗視野用環状ミラーとを有し、かつ前記光源から出射された前記照明光を前記レーザ光学系に導入する位置に前記明視野用プリズムと前記暗視野用環状ミラーとを挿脱して切り替え配置する光学素子切換部と、
前記光源から出射された前記照明光を前記レーザ光学系に導入する前記位置に配置される前記明視野用プリズム又は前記暗視野用環状ミラーを検出する検出部と、
前記暗視野用環状ミラーが前記位置に配置されたことを前記検出部により検出すると、前記レーザ光学系への前記レーザビームの導入を無くすレーザ調光遮光部と、
を具備したことを特徴とする共焦点レーザスキャニング顕微鏡。 - 前記光学顕微鏡光学系に有する前記各光学系は、それぞれ前記試料に対する明視野観察法、暗視野観察法又は微分干渉観察法を可能にし、
前記光学顕微鏡光学系は、前記各光学系のうちいずれか1つの前記光学系に切り換えられる、
ことを特徴とする請求項1記載の共焦点レーザスキャニング顕微鏡。 - 前記レーザ調光遮光部は、前記レーザ光源からの前記レーザビームの出力動作を停止することを特徴とする請求項1記載の共焦点レーザスキャニング顕微鏡。
- 前記レーザ調光遮光部は、前記レーザ光源から出力される前記レーザビームを遮光する遮光機構を有することを特徴とする請求項1記載の共焦点レーザスキャニング顕微鏡。
- 前記光源から出射される前記照明光は、白色光を有することを特徴とする請求項1記載の共焦点レーザスキャニング顕微鏡。
- 前記レーザ光学系と前記光学顕微鏡光学系との分岐点に配置され、前記レーザ光学系と前記光学顕微鏡光学系とを分離するビームスプリッタと、
前記レーザ光源から出力される前記レーザビームの光軸上に配置された偏光ビームスブリッタと、
前記レーザ光源から出力される前記レーザビームの波長を1/4波長位相シフトすると共に、前記前記試料からの前記測定光の波長を1/4波長位相シフトする1/4波長板とを有し、
前記1/4波長板は、前記ビームスプリッタと前記偏光ビームスプリッタとの間の光軸上に配置される、
ことを特徴とする請求項1記載の共焦点レーザスキャニング顕微鏡。 - 前記ビームスプリッタは、偏光特性を有しないことを特徴とする請求項6記載の共焦点レーザスキャニング顕微鏡。
- 前記1/4波長板は、前記ビームスプリッタと前記偏光ビームスプリッタとの間の光軸上に配置され、かつ前記ビームスプリッタに最も近い位置に配置されることを特徴とする請求項6記載の共焦点レーザスキャニング顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004336164A JP4724411B2 (ja) | 2003-11-21 | 2004-11-19 | 共焦点レーザスキャニング顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003393008 | 2003-11-21 | ||
JP2003393008 | 2003-11-21 | ||
JP2004336164A JP4724411B2 (ja) | 2003-11-21 | 2004-11-19 | 共焦点レーザスキャニング顕微鏡 |
Related Child Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011049399A Division JP5296821B2 (ja) | 2003-11-21 | 2011-03-07 | 共焦点レーザスキャニング顕微鏡 |
JP2011049400A Division JP5171977B2 (ja) | 2003-11-21 | 2011-03-07 | 共焦点レーザスキャニング顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005173580A JP2005173580A (ja) | 2005-06-30 |
JP4724411B2 true JP4724411B2 (ja) | 2011-07-13 |
Family
ID=34742065
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004336164A Active JP4724411B2 (ja) | 2003-11-21 | 2004-11-19 | 共焦点レーザスキャニング顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4724411B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007086610A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-04-05 | Lasertec Corp | 微分干渉顕微鏡及び欠陥検査装置 |
JP2007140183A (ja) * | 2005-11-18 | 2007-06-07 | Olympus Corp | 共焦点走査型顕微鏡装置 |
GB0618057D0 (en) * | 2006-09-14 | 2006-10-25 | Perkinelmer Ltd | Improvements in and relating to scanning confocal microscopy |
EP1918752A1 (en) * | 2006-11-06 | 2008-05-07 | Institut Curie | Method and apparatus for measuring optical power of a light beam produced in a microscope |
JP5094519B2 (ja) * | 2008-04-14 | 2012-12-12 | オリンパス株式会社 | 走査型レーザ顕微鏡 |
DE102012009836A1 (de) * | 2012-05-16 | 2013-11-21 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Lichtmikroskop und Verfahren zur Bildaufnahme mit einem Lichtmikroskop |
JP5993276B2 (ja) * | 2012-10-25 | 2016-09-14 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡 |
JP6226577B2 (ja) * | 2013-06-12 | 2017-11-08 | オリンパス株式会社 | 共焦点レーザ走査型顕微鏡 |
JP6300655B2 (ja) * | 2014-06-16 | 2018-03-28 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡システム |
EP3252512A1 (en) * | 2016-06-03 | 2017-12-06 | Leica Instruments (Singapore) Pte. Ltd. | Interchangeable optical module and microscopic apparatus |
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-
2004
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2003057554A (ja) * | 2001-08-09 | 2003-02-26 | Olympus Optical Co Ltd | レーザ顕微鏡 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005173580A (ja) | 2005-06-30 |
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A621 | Written request for application examination |
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A521 | Written amendment |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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