JPH11271622A - 光学顕微鏡 - Google Patents
光学顕微鏡Info
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- JPH11271622A JPH11271622A JP10069649A JP6964998A JPH11271622A JP H11271622 A JPH11271622 A JP H11271622A JP 10069649 A JP10069649 A JP 10069649A JP 6964998 A JP6964998 A JP 6964998A JP H11271622 A JPH11271622 A JP H11271622A
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
- G02B21/08—Condensers
- G02B21/082—Condensers for incident illumination only
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/28—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising
- G02B27/281—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising used for attenuating light intensity, e.g. comprising rotatable polarising elements
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】背景光が少なく高Ｓ／Ｎ比の光学顕微鏡を実現
する。 【解決手段】試料物体８を光走査して試料物体８の像を
観測することのできる光学顕微鏡であって、直線偏光の
入射光と試料物体８からの反射光を分岐させるビームス
プリッタ３と、入射光を試料物体８上に集束させて照明
するための対物レンズ７と、この対物レンズ７と試料物
体８との間に挿入された１／４波長板６を備える。
する。 【解決手段】試料物体８を光走査して試料物体８の像を
観測することのできる光学顕微鏡であって、直線偏光の
入射光と試料物体８からの反射光を分岐させるビームス
プリッタ３と、入射光を試料物体８上に集束させて照明
するための対物レンズ７と、この対物レンズ７と試料物
体８との間に挿入された１／４波長板６を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学顕微鏡に関す
るもので、詳しくは、走査式・反射型の共焦点型光学顕
微鏡における観察光の背景光減衰および高Ｓ／Ｎを実現
するための改善に関するものである。
るもので、詳しくは、走査式・反射型の共焦点型光学顕
微鏡における観察光の背景光減衰および高Ｓ／Ｎを実現
するための改善に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より走査式・反射型の共焦点型光学
顕微鏡はよく知られている。図４にその一例を示す。水
銀のアーク灯またはレーザなどの適当な光源から発せら
れた証明光１は偏光子２によって直線偏光に偏光され、
その偏光された光はビームスプリッタ３を通過してピン
ホールアレーディスク（通常ニポウディスクが用いられ
る）４に入射する。
顕微鏡はよく知られている。図４にその一例を示す。水
銀のアーク灯またはレーザなどの適当な光源から発せら
れた証明光１は偏光子２によって直線偏光に偏光され、
その偏光された光はビームスプリッタ３を通過してピン
ホールアレーディスク（通常ニポウディスクが用いられ
る）４に入射する。
【０００３】ピンホールアレーディスク４を通過した光
は、１／４波長板（λ／４板と略す場合がある）６によ
って円偏光に偏光される。円偏光化した光は対物レンズ
７により集束し試料物体８上に照射される。このときピ
ンホールアレーディスク４がモータ５の駆動により回転
することによって、試料物体８上に照射された複数のス
ポットは円偏光のまま順次走査される。
は、１／４波長板（λ／４板と略す場合がある）６によ
って円偏光に偏光される。円偏光化した光は対物レンズ
７により集束し試料物体８上に照射される。このときピ
ンホールアレーディスク４がモータ５の駆動により回転
することによって、試料物体８上に照射された複数のス
ポットは円偏光のまま順次走査される。
【０００４】試料物体８より反射された光束は対物レン
ズ７により集束され、１／４波長板６を通過して直線偏
光化され、ピンホールアレーディスク４の同一ピンホー
ル上に結像する。
ズ７により集束され、１／４波長板６を通過して直線偏
光化され、ピンホールアレーディスク４の同一ピンホー
ル上に結像する。
【０００５】ピンホールを通過した光束はビームスプリ
ッタ３に入射し直角方向に反射して検光子９に入射し、
直線偏光化されてリレーレンズ１０によりテレビカメラ
１１上に結像する。テレビカメラ１１で捉えた試料物体
８の像はモニターテレビ１２の画面上に表示される。
ッタ３に入射し直角方向に反射して検光子９に入射し、
直線偏光化されてリレーレンズ１０によりテレビカメラ
１１上に結像する。テレビカメラ１１で捉えた試料物体
８の像はモニターテレビ１２の画面上に表示される。
【０００６】このような構成においては、１組の偏光子
２，９と、１／４波長板６の使用により、ピンホールア
レーディスク４に起因する背景光を光強度で１０-4程度
まで減少させることができる。
２，９と、１／４波長板６の使用により、ピンホールア
レーディスク４に起因する背景光を光強度で１０-4程度
まで減少させることができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図４に
示すような構成では次のような課題があった。試料物体
８に向かう入射光と試料物体８からの反射光を遮断する
ために対物レンズ７とピンホールアレーディスク４の間
に１／４波長板６を配置している。ピンホールアレーデ
ィスク４に起因する反射光は検光子９で遮断されるが、
１／４波長板６より下側に存在する対物レンズ７が試料
物体８と偏光光学的には同じ扱いとなり、１／４波長板
６を通過した光の対物レンズ７表面での反射光は検光子
９によって遮断できない。
示すような構成では次のような課題があった。試料物体
８に向かう入射光と試料物体８からの反射光を遮断する
ために対物レンズ７とピンホールアレーディスク４の間
に１／４波長板６を配置している。ピンホールアレーデ
ィスク４に起因する反射光は検光子９で遮断されるが、
１／４波長板６より下側に存在する対物レンズ７が試料
物体８と偏光光学的には同じ扱いとなり、１／４波長板
６を通過した光の対物レンズ７表面での反射光は検光子
９によって遮断できない。
【０００８】したがって、対物レンズ７からの反射光は
そのまま顕微鏡の観察光にとって背景光、つまりノイズ
光となってしまうという課題がある。通常対物レンズ７
の表面には反射防止膜が施されており、反射率で０．５
〜数％程度ある。金属表面など表面反射率の高い物体を
測定する場合にはほとんど問題とならないが、多層膜内
部や皮膚、生体内部などのように表面反射率の低い（例
えば反射率０．１％以下の）試料を測定する場合には、
背景光として決定的な障害となる。
そのまま顕微鏡の観察光にとって背景光、つまりノイズ
光となってしまうという課題がある。通常対物レンズ７
の表面には反射防止膜が施されており、反射率で０．５
〜数％程度ある。金属表面など表面反射率の高い物体を
測定する場合にはほとんど問題とならないが、多層膜内
部や皮膚、生体内部などのように表面反射率の低い（例
えば反射率０．１％以下の）試料を測定する場合には、
背景光として決定的な障害となる。
【０００９】表面反射率の高い物体でも傾斜が大きいと
きなどは信号が微小であるため、同様な問題がある。
きなどは信号が微小であるため、同様な問題がある。
【００１０】本発明の目的は、上記の課題を解決するも
ので、背景光が少なく高Ｓ／Ｎ比の光学顕微鏡を実現す
ることにある。
ので、背景光が少なく高Ｓ／Ｎ比の光学顕微鏡を実現す
ることにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明では、試料物体を光走査して試料物体
の像を観測することのできる光学顕微鏡であって、直線
偏光の入射光と試料物体からの反射光を分岐させるビー
ムスプリッタと、入射光を前記試料物体上に集束させて
照明するための対物レンズと、この対物レンズと前記試
料物体との間に挿入された１／４波長板を具備したこと
を特徴とする。
るために、本発明では、試料物体を光走査して試料物体
の像を観測することのできる光学顕微鏡であって、直線
偏光の入射光と試料物体からの反射光を分岐させるビー
ムスプリッタと、入射光を前記試料物体上に集束させて
照明するための対物レンズと、この対物レンズと前記試
料物体との間に挿入された１／４波長板を具備したこと
を特徴とする。
【００１２】このように１／４波長板を対物レンズの下
側（試料物体側）に置くことによりＳ／Ｎ比がよくな
り、低反射率の試料物体も測定できるようになる。
側（試料物体側）に置くことによりＳ／Ｎ比がよくな
り、低反射率の試料物体も測定できるようになる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図１は本発明に係る光学顕微鏡の一実施例を
示す構成図である。図において、図４と同等部分には同
一符号を付し、その説明は省略する。
説明する。図１は本発明に係る光学顕微鏡の一実施例を
示す構成図である。図において、図４と同等部分には同
一符号を付し、その説明は省略する。
【００１４】ミラー２２，２５，２６は光の方向を変え
るためのものである。ミラー２２にはＦＣコネクタ２１
経由でレーザ光が導入される。そのレーザ光は図示しな
いレーザ光源から光ファイバ（図示せず）経由でＦＣコ
ネクタ２１に導かれる。なお、光源としてはレーザ光源
の他にアーク灯、ランプなどでもよい。また、光ファイ
バによる光源導入方式に限らず、ＦＣコネクタ２１部分
に直接光源を配置しても何ら差し支えない。
るためのものである。ミラー２２にはＦＣコネクタ２１
経由でレーザ光が導入される。そのレーザ光は図示しな
いレーザ光源から光ファイバ（図示せず）経由でＦＣコ
ネクタ２１に導かれる。なお、光源としてはレーザ光源
の他にアーク灯、ランプなどでもよい。また、光ファイ
バによる光源導入方式に限らず、ＦＣコネクタ２１部分
に直接光源を配置しても何ら差し支えない。
【００１５】コリメートレンズ２３はミラー２２の反射
光を平行光にするためのレンズである。ＮＤフィルタ２
４は試料物体に照射する光量を適切な光量に制御するた
めに用いる減光フィルタである。コリメートレンズ２３
とＮＤフィルタ２４はミラー２２と２５の間に配置され
ている。また、ミラー２５と２６の間には偏光子２が配
置されている。
光を平行光にするためのレンズである。ＮＤフィルタ２
４は試料物体に照射する光量を適切な光量に制御するた
めに用いる減光フィルタである。コリメートレンズ２３
とＮＤフィルタ２４はミラー２２と２５の間に配置され
ている。また、ミラー２５と２６の間には偏光子２が配
置されている。
【００１６】複数の微小開口を所定のパターン配列で配
置した円板（通常ニポウディスクと呼ばれる）、いわゆ
るピンホールディスク４の上部には偏光ビームスプリッ
タ３を挟むようにしてマイクロレンズディスク２７（図
では回転軸より左半分を省略してある）が平行に取り付
けられている。マイクロレンズディスク２７にはピンホ
ールディスク４のピンホールと同じパターン配列で配置
したマイクロレンズが取り付けられている。マイクロレ
ンズは光の利用効率を高める効果がある。
置した円板（通常ニポウディスクと呼ばれる）、いわゆ
るピンホールディスク４の上部には偏光ビームスプリッ
タ３を挟むようにしてマイクロレンズディスク２７（図
では回転軸より左半分を省略してある）が平行に取り付
けられている。マイクロレンズディスク２７にはピンホ
ールディスク４のピンホールと同じパターン配列で配置
したマイクロレンズが取り付けられている。マイクロレ
ンズは光の利用効率を高める効果がある。
【００１７】ちなみに、マイクロレンズディスク２７と
ピンホールディスク４には約２０，０００個のマイクロ
レンズとピンホールが螺旋状の配列パターンを成してそ
れぞれ配置されている。ミラー２６からのレーザ光束
は、ピンホールディスク４上の１０ｍｍ×７ｍｍの区域
を照明する。
ピンホールディスク４には約２０，０００個のマイクロ
レンズとピンホールが螺旋状の配列パターンを成してそ
れぞれ配置されている。ミラー２６からのレーザ光束
は、ピンホールディスク４上の１０ｍｍ×７ｍｍの区域
を照明する。
【００１８】上記マイクロレンズディスク２７とピンホ
ールディスク４とは図示しないモータにより一体に回転
するように構成されている。ピンホールディスク４と試
料物体８との間にはチューブレンズ２８と対物レンズ７
と１／４波長板６が配置される。
ールディスク４とは図示しないモータにより一体に回転
するように構成されている。ピンホールディスク４と試
料物体８との間にはチューブレンズ２８と対物レンズ７
と１／４波長板６が配置される。
【００１９】ビームスプリッタ３で反射した試料物体８
からの戻り光はリレーレンズ２９を通してＣＣＤ（Char
ge Coupled Device）カメラ３０に入射するように構成
されている。
からの戻り光はリレーレンズ２９を通してＣＣＤ（Char
ge Coupled Device）カメラ３０に入射するように構成
されている。
【００２０】このような構成における動作を次に説明す
る。ＦＣコネクタ２１を介して導入されたレーザ光はミ
ラー２２で方向転換した後コリメートレンズ２３に入り
平行光となってＮＤフィルタ２４に入る。ここで減光さ
れた後ミラー２５で進行方向を変え、偏光子２に入射す
る。
る。ＦＣコネクタ２１を介して導入されたレーザ光はミ
ラー２２で方向転換した後コリメートレンズ２３に入り
平行光となってＮＤフィルタ２４に入る。ここで減光さ
れた後ミラー２５で進行方向を変え、偏光子２に入射す
る。
【００２１】偏光子２を通過するとレーザ光は直線偏光
化される。この直線偏光状態の光束は、ミラー２６で進
行方向を変えた後、マイクロレンズディスク２７のマイ
クロレンズにより絞られ、ビームスプリッタ３を通過し
て各々対応するピンホールディスク４のピンホールを照
射する。
化される。この直線偏光状態の光束は、ミラー２６で進
行方向を変えた後、マイクロレンズディスク２７のマイ
クロレンズにより絞られ、ビームスプリッタ３を通過し
て各々対応するピンホールディスク４のピンホールを照
射する。
【００２２】このとき、ピンホールディスク４の表面で
反射した光はビームスプリッタ３で反射して検光子９に
達する。しかしながら、偏光子２と検光子９とは消光状
態になるように方位角を合わせているため、消光比が約
１０-4程度であり、検光子９で遮断され、ＣＣＤカメラ
３０には到達しないようになっている。
反射した光はビームスプリッタ３で反射して検光子９に
達する。しかしながら、偏光子２と検光子９とは消光状
態になるように方位角を合わせているため、消光比が約
１０-4程度であり、検光子９で遮断され、ＣＣＤカメラ
３０には到達しないようになっている。
【００２３】ピンホールを通過した光はチューブレンズ
２８、対物レンズ７によって試料物体８上に集束する。
チューブレンズ２８と対物レンズ７とは複数のレンズで
構成され、各々のレンズ表面、とりわけ光軸の近傍にお
いてわずかに反射光を生ずる。この反射光は再びピンホ
ールディスク４を通過した後、偏光ビームスプリッタ３
で反射して検光子９に達する。
２８、対物レンズ７によって試料物体８上に集束する。
チューブレンズ２８と対物レンズ７とは複数のレンズで
構成され、各々のレンズ表面、とりわけ光軸の近傍にお
いてわずかに反射光を生ずる。この反射光は再びピンホ
ールディスク４を通過した後、偏光ビームスプリッタ３
で反射して検光子９に達する。
【００２４】しかし、この反射光も、前記ピンホールデ
ィスク４の反射光と同様の理由により、検光子９で遮断
されＣＣＤカメラ３０には到達しない。上記の反射光は
観察光に対する背景光、つまりノイズ光として作用する
ものである。
ィスク４の反射光と同様の理由により、検光子９で遮断
されＣＣＤカメラ３０には到達しない。上記の反射光は
観察光に対する背景光、つまりノイズ光として作用する
ものである。
【００２５】対物レンズ７によって集束する光は、対物
レンズ７と試料物体８の間に配置された１／４波長板６
によって円偏光化される。円偏光化されたスポットは試
料物体８上を約１０００個の微小スポットとして試料物
体８上に照射され、マイクロレンズディスク２７とピン
ホールディスク４が回転することにより約１０００個の
微小スポットが試料物体８上を走査線となってラスタ走
査する。
レンズ７と試料物体８の間に配置された１／４波長板６
によって円偏光化される。円偏光化されたスポットは試
料物体８上を約１０００個の微小スポットとして試料物
体８上に照射され、マイクロレンズディスク２７とピン
ホールディスク４が回転することにより約１０００個の
微小スポットが試料物体８上を走査線となってラスタ走
査する。
【００２６】試料物体８上に集束された光束は、試料物
体８により反射され、１／４波長板６を透過して再び直
線偏光となるが、１／２位相の遅延が生じるため方位角
が９０゜傾いた直線偏光となる。その後、対物レンズ
７、チューブレンズ２８により絞られて、ピンホールデ
ィスク４上に結像する。
体８により反射され、１／４波長板６を透過して再び直
線偏光となるが、１／２位相の遅延が生じるため方位角
が９０゜傾いた直線偏光となる。その後、対物レンズ
７、チューブレンズ２８により絞られて、ピンホールデ
ィスク４上に結像する。
【００２７】ピンホールを通過した光は偏光ビームスプ
リッタ３で反射して検光子９に入射し、そのままリレー
レンズ２９を介してＣＣＤカメラ３０上に結像する。な
お、像の観測はＣＣＤカメラ３０に限定されない。例え
ばＣＭＯＳ撮像カメラや銀塩フィルムによる写真撮影カ
メラを使用することもできる。あるいは接眼レンズを介
して直接肉眼で観測するようにしてもよい。
リッタ３で反射して検光子９に入射し、そのままリレー
レンズ２９を介してＣＣＤカメラ３０上に結像する。な
お、像の観測はＣＣＤカメラ３０に限定されない。例え
ばＣＭＯＳ撮像カメラや銀塩フィルムによる写真撮影カ
メラを使用することもできる。あるいは接眼レンズを介
して直接肉眼で観測するようにしてもよい。
【００２８】本発明は、偏光子２と検光子９とを消光状
態に配置し、１／４波長板６を対物レンズ７から照射さ
れる光の方位に対して４５゜の方位角で配置すると共
に、１／４波長板６を対物レンズ７と試料物体８との間
に挿入した点が特徴である。
態に配置し、１／４波長板６を対物レンズ７から照射さ
れる光の方位に対して４５゜の方位角で配置すると共
に、１／４波長板６を対物レンズ７と試料物体８との間
に挿入した点が特徴である。
【００２９】このような配置とすることにより、偏光子
２と１／４波長板６と検光子９の間に存在する光学部品
によって発生する、いわゆる反射光などの迷光は、光強
度で１０-4程度の消光比で減少し、１／４波長板６を透
過した光、つまり試料物体８からの反射光は１００％観
察光として透過するため、試料物体８の像を明瞭に見る
ことができる。
２と１／４波長板６と検光子９の間に存在する光学部品
によって発生する、いわゆる反射光などの迷光は、光強
度で１０-4程度の消光比で減少し、１／４波長板６を透
過した光、つまり試料物体８からの反射光は１００％観
察光として透過するため、試料物体８の像を明瞭に見る
ことができる。
【００３０】図４に示したような従来の顕微鏡では１／
４波長板がピンホールディスク４と対物レンズ７の間に
配置されていたため、対物レンズ７からの表面反射光は
その偏光系で減少させることができなかった。これに対
し本発明では、１／４波長板６を対物レンズ７と試料物
体８の間に置くことにより、低反射率物体を観察すると
きの対物レンズ７による背景光を激減させることができ
る。
４波長板がピンホールディスク４と対物レンズ７の間に
配置されていたため、対物レンズ７からの表面反射光は
その偏光系で減少させることができなかった。これに対
し本発明では、１／４波長板６を対物レンズ７と試料物
体８の間に置くことにより、低反射率物体を観察すると
きの対物レンズ７による背景光を激減させることができ
る。
【００３１】実験によれば、次のような結果が得られ
た。すなわち、試料位置に光学ミラーを置いた場合と置
かなかった場合とでＣＣＤカメラ３０上に到達する光量
を、従来のものと本実施例の顕微鏡とで比較した。だだ
し、試料物体８として使用した光学ミラーは反射率が３
６％である。
た。すなわち、試料位置に光学ミラーを置いた場合と置
かなかった場合とでＣＣＤカメラ３０上に到達する光量
を、従来のものと本実施例の顕微鏡とで比較した。だだ
し、試料物体８として使用した光学ミラーは反射率が３
６％である。
【００３２】（１） 試料位置に上記光学ミラーを置い
た場合 従来のものでは、 ２４．０μＷ 本発明のものでは、２１．０μＷ （２） 試料位置に何も置かない場合 従来のものでは、 ３．０μＷ 本発明のものでは、０．０９０μＷ
た場合 従来のものでは、 ２４．０μＷ 本発明のものでは、２１．０μＷ （２） 試料位置に何も置かない場合 従来のものでは、 ３．０μＷ 本発明のものでは、０．０９０μＷ
【００３３】試料位置に何も置かない場合、つまり反射
率０％の場合に従来のものでは３．０μＷ、本実施例の
ものでは０．０９０μＷである。これが光学顕微鏡の内
部で発生する背景光、いわば雑音光である。この雑音光
のレベルは固定であり、先の信号光との比がＣＣＤカメ
ラが得る画像のＳ／Ｎ比である。
率０％の場合に従来のものでは３．０μＷ、本実施例の
ものでは０．０９０μＷである。これが光学顕微鏡の内
部で発生する背景光、いわば雑音光である。この雑音光
のレベルは固定であり、先の信号光との比がＣＣＤカメ
ラが得る画像のＳ／Ｎ比である。
【００３４】上記実験結果によれば、従来例におけるＳ
／Ｎ比は９．０ｄＢ、本実施例では２３．６ｄＢであ
る。かりに、反射率３６％のミラーに比べて反射率が１
桁小さい透明なガラス（反射率３．６％）を試料物体と
して用いた場合、従来例では観測できないが本実施例の
ものでは未だ１桁のＳ／Ｎ比の余裕をもって観測するこ
とができる。
／Ｎ比は９．０ｄＢ、本実施例では２３．６ｄＢであ
る。かりに、反射率３６％のミラーに比べて反射率が１
桁小さい透明なガラス（反射率３．６％）を試料物体と
して用いた場合、従来例では観測できないが本実施例の
ものでは未だ１桁のＳ／Ｎ比の余裕をもって観測するこ
とができる。
【００３５】なお、以上の説明は、本発明の説明および
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。
【００３６】例えば、実施例ではニポウ式のピンホール
ディスクを回転して光走査しているが、本発明はこれに
限定することなく、通常のミラースキャンあるいは音響
光学素子（ＡＯＭ：Acoustic Optic Modulator）による
スキャンとしてもよい。
ディスクを回転して光走査しているが、本発明はこれに
限定することなく、通常のミラースキャンあるいは音響
光学素子（ＡＯＭ：Acoustic Optic Modulator）による
スキャンとしてもよい。
【００３７】また、対物レンズ７と試料物体８の間に十
分な間隙（ワーキングディスタンス）があれば１／４波
長板６の挿入は容易であるが、高倍率や油浸の場合には
ワーキングディスタンスが小さく１／４波長板の挿入が
難しい。このときは、図２に示すようにスライドグラス
４２に載置された資料物体８の表面に置かれるカバーグ
ラス４１を１／４波長板とするか、あるいは図３に示す
ように対物レンズ７のアセンブリ５０に１／４波長板を
組み込んだ構造とすればよい。
分な間隙（ワーキングディスタンス）があれば１／４波
長板６の挿入は容易であるが、高倍率や油浸の場合には
ワーキングディスタンスが小さく１／４波長板の挿入が
難しい。このときは、図２に示すようにスライドグラス
４２に載置された資料物体８の表面に置かれるカバーグ
ラス４１を１／４波長板とするか、あるいは図３に示す
ように対物レンズ７のアセンブリ５０に１／４波長板を
組み込んだ構造とすればよい。
【００３８】また、偏光ビームスプリッタに代えて、２
つの偏光子とハーフミラーとしてもよい。
つの偏光子とハーフミラーとしてもよい。
【００３９】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば次の
ような効果がある。請求項１に記載の発明によれば、１
／４波長板を対物レンズの下側（試料物体側）に置くこ
とによりＳ／Ｎ比がよくなり、低反射率の試料物体も測
定できるようになる。
ような効果がある。請求項１に記載の発明によれば、１
／４波長板を対物レンズの下側（試料物体側）に置くこ
とによりＳ／Ｎ比がよくなり、低反射率の試料物体も測
定できるようになる。
【００４０】請求項２によれば、微小開口を持つ基板を
回転させる共焦点光スキャナを用いた光学顕微鏡におい
ても高Ｓ／Ｎ比で、低反射率の試料物体も測定できるよ
うになる。
回転させる共焦点光スキャナを用いた光学顕微鏡におい
ても高Ｓ／Ｎ比で、低反射率の試料物体も測定できるよ
うになる。
【００４１】請求項３によれば、可動ミラーあるいは音
響光学素子によって光走査する共焦点光スキャナを用い
た光学顕微鏡によっても、同様に高Ｓ／Ｎ比で、低反射
率の試料物体も測定できるようになる。
響光学素子によって光走査する共焦点光スキャナを用い
た光学顕微鏡によっても、同様に高Ｓ／Ｎ比で、低反射
率の試料物体も測定できるようになる。
【００４２】請求項４によれば、ビームスプリッタとし
て、偏光ビームスプリッタあるいは２個の偏光子とハー
フミラーを使用することができ、自由度が増す。
て、偏光ビームスプリッタあるいは２個の偏光子とハー
フミラーを使用することができ、自由度が増す。
【００４３】請求項５あるいは請求項６によれば、対物
レンズと試料物体の間隔の狭い場合でも１／４波長板を
対物レンズと試料物体の間に容易に配置させることがで
きる。
レンズと試料物体の間隔の狭い場合でも１／４波長板を
対物レンズと試料物体の間に容易に配置させることがで
きる。
【００４４】請求項７によれば多数の微小開口を持つ基
板としてニポウ式のピンホールディスクを使用すること
ができる。また請求項８によれば、そのニポウディスク
に平行にマイクロレンズディスクを取り付け、マイクロ
レンズディスクのマイクロレンズにより各ピンホールに
光を集束して照射することができ、光の利用効率を高め
ることができる。
板としてニポウ式のピンホールディスクを使用すること
ができる。また請求項８によれば、そのニポウディスク
に平行にマイクロレンズディスクを取り付け、マイクロ
レンズディスクのマイクロレンズにより各ピンホールに
光を集束して照射することができ、光の利用効率を高め
ることができる。
【図１】本発明に係る光学顕微鏡の一実施例を示す構成
図である。
図である。
【図２】カバーグラスを１／４波長板とした場合の図で
ある。
ある。
【図３】１／４波長板を対物レンズアセンブリに組み込
んだ場合の構成図である。
んだ場合の構成図である。
【図４】従来の光学顕微鏡の一例を示す構成図である。
１ 照明光 ２ 偏光子 ３ 偏光ビームスプリッタ ４ ピンホールディスク ６ １／４波長板 ７ 対物レンズ ８ 試料物体 ９ 検光子 ２１ ＦＣコネクタ ２２，２５，２６ ミラー ２３ コリメートレンズ ２４ ＮＤフィルタ ２７ マイクロレンズディスク ２８ チューブレンズ ２９ リレーレンズ ３０ ＣＣＤカメラ ４１ カバーグラス ５０ 対物レンズアセンブリ
Claims (8)
- 【請求項１】試料物体を光走査して試料物体の像を観測
することのできる光学顕微鏡であって、 直線偏光の入射光と試料物体からの反射光を分岐させる
ビームスプリッタと、 入射光を前記試料物体上に集束させて照明するための対
物レンズと、 この対物レンズと前記試料物体との間に挿入された１／
４波長板を具備したことを特徴とする光学顕微鏡。 - 【請求項２】多数の微小開口を持つ基板を回転させ、こ
の基板を通過した照射光を試料物体に対して走査する共
焦点用光スキャナを用いたことを特徴とする請求項１記
載の光学顕微鏡。 - 【請求項３】前記入射光および試料物体からの反射光を
可動ミラーまたは音響光学素子によって走査する共焦点
光スキャナを用いると共に、前記基板を照射する光を直
線偏光させる偏光子を備えたことを特徴とする請求項１
記載の光学顕微鏡。 - 【請求項４】前記ビームスプリッタとして、偏光ビーム
スプリッタまたは２個の偏光子とハーフミラーを使用す
ることを特徴とする請求項１または請求項２または請求
項３記載の光学顕微鏡。 - 【請求項５】前記１／４波長板を前記対物レンズアセン
ブリに組み込んだことを特徴とする請求項１または請求
項２または請求項３記載の光学顕微鏡。 - 【請求項６】前記１／４波長板を前記試料物体上に載置
するカバーグラスとして使用するようにしたことを特徴
とする請求項１または請求項２または請求項３記載の光
学顕微鏡。 - 【請求項７】前記多数の微小開口を持つ基板として、ニ
ポウ式のピンホールディスクを使用したことを特徴とす
る請求項２記載の光学顕微鏡。 - 【請求項８】前記多数の微小開口を持つ基板は、ニポウ
式のピンホールディスクと、多数のマイクロレンズを有
しこのマイクロレンズが前記ピンホールディスクの微小
開口と同じパターンで配列され前記ビームスプリッタを
挟むように所定の間隔をもってピンホールディスクに平
行に取り付けられたマイクロレンズディスクからなるこ
とを特徴とする請求項２記載の光学顕微鏡。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10069649A JPH11271622A (ja) | 1998-03-19 | 1998-03-19 | 光学顕微鏡 |
| US09/257,154 US6185035B1 (en) | 1998-03-19 | 1999-02-24 | Optical microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10069649A JPH11271622A (ja) | 1998-03-19 | 1998-03-19 | 光学顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11271622A true JPH11271622A (ja) | 1999-10-08 |
Family
ID=13408912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10069649A Pending JPH11271622A (ja) | 1998-03-19 | 1998-03-19 | 光学顕微鏡 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6185035B1 (ja) |
| JP (1) | JPH11271622A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005164652A (ja) * | 2003-11-28 | 2005-06-23 | Nikon Corp | 対物レンズ |
| KR100845284B1 (ko) * | 2004-09-22 | 2008-07-09 | 삼성전자주식회사 | 두개의 닙코우 디스크를 이용한 공초점 주사 현미경 |
| JP2009528578A (ja) * | 2006-02-27 | 2009-08-06 | アペリオ・テクノロジーズ・インコーポレイテッド | 単一光軸マルチ検出器スライドガラススキャンシステム及び方法 |
| JP2010237368A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Nikon Corp | 対物レンズ及びこれを有する顕微鏡装置 |
| JP2013011728A (ja) * | 2011-06-29 | 2013-01-17 | Yokogawa Electric Corp | 顕微鏡装置 |
| US9235041B2 (en) | 2005-07-01 | 2016-01-12 | Leica Biosystems Imaging, Inc. | System and method for single optical axis multi-detector microscope slide scanner |
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| US6974076B1 (en) * | 2000-02-14 | 2005-12-13 | Sony Corporation | Portable music player with pay per play usage and method for purchase of credits for usage |
| US7668362B2 (en) | 2000-05-03 | 2010-02-23 | Aperio Technologies, Inc. | System and method for assessing virtual slide image quality |
| WO2005119575A2 (en) * | 2004-05-27 | 2005-12-15 | Aperio Technologies, Inc | Systems and methods for creating and viewing three dimensional virtual slides |
| DE102005020542A1 (de) * | 2005-05-03 | 2006-11-09 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Einrichtung und Verfahren zur reproduzierbaren Einstellung der Pinholeöffnung und Pinholelage in Laserscanmikroskopen |
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| US5067805A (en) * | 1990-02-27 | 1991-11-26 | Prometrix Corporation | Confocal scanning optical microscope |
| US5035476A (en) * | 1990-06-15 | 1991-07-30 | Hamamatsu Photonics K.K. | Confocal laser scanning transmission microscope |
| JP3014158B2 (ja) * | 1991-03-28 | 2000-02-28 | オリンパス光学工業株式会社 | 実体顕微鏡 |
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-
1998
- 1998-03-19 JP JP10069649A patent/JPH11271622A/ja active Pending
-
1999
- 1999-02-24 US US09/257,154 patent/US6185035B1/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6185035B1 (en) | 2001-02-06 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20031210 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040326 |