JPH11271551A - マルチモード型光導波回路素子 - Google Patents
マルチモード型光導波回路素子Info
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- JPH11271551A JPH11271551A JP7009998A JP7009998A JPH11271551A JP H11271551 A JPH11271551 A JP H11271551A JP 7009998 A JP7009998 A JP 7009998A JP 7009998 A JP7009998 A JP 7009998A JP H11271551 A JPH11271551 A JP H11271551A
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- intersection
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来のものに比べて著しく交差部での漏れ
光、各光導波経路間での損失のバラツキを低減すること
を可能とする新規のマルチモード型光導波回路素子を提
供。 【解決手段】 入力部と出力部とを有し、かつ所定の幅
を有する複数のマルチモード型光導波経路と該複数のマ
ルチモード型光導波経路の間で交差することによって形
成される交差部とを有するマルチモード型光導波回路素
子に、複数のマルチモード型光導波経路の各々の入力部
近傍に入力側端面と出力側端面とを有する光導波路モー
ドフィルタ素子部を設ける。この際、光導波経路モード
フィルタ素子部の少なくとも出力側端面が所定の幅より
も大きい幅を有するものとする。
光、各光導波経路間での損失のバラツキを低減すること
を可能とする新規のマルチモード型光導波回路素子を提
供。 【解決手段】 入力部と出力部とを有し、かつ所定の幅
を有する複数のマルチモード型光導波経路と該複数のマ
ルチモード型光導波経路の間で交差することによって形
成される交差部とを有するマルチモード型光導波回路素
子に、複数のマルチモード型光導波経路の各々の入力部
近傍に入力側端面と出力側端面とを有する光導波路モー
ドフィルタ素子部を設ける。この際、光導波経路モード
フィルタ素子部の少なくとも出力側端面が所定の幅より
も大きい幅を有するものとする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信システム等
の光技術分野に利用可能なマルチモード型光導波回路素
子に関する。
の光技術分野に利用可能なマルチモード型光導波回路素
子に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のマルチモード型光導波回路素子の
一例を図を参照しながら説明する。
一例を図を参照しながら説明する。
【０００３】図８は、従来のマルチモード型光導波回路
素子の一例の概略的構成を説明するための平面図であ
り、また、図９は図８のＩＩ−ＩＩ′線に沿う模式的断
面図である。
素子の一例の概略的構成を説明するための平面図であ
り、また、図９は図８のＩＩ−ＩＩ′線に沿う模式的断
面図である。
【０００４】マルチモード型光導波回路素子は以下のよ
うに作製することができる。すなわち、シリコン基板９
０１上に紫外線硬化型エポキシ樹脂を堆積させてクラッ
ド層９０２を設ける。次に、このクラッド層９０２の上
に重水素化ポリメチルメタクリレートを４０μｍ堆積さ
せてコア層９０３を設ける。さらにレジストを堆積させ
た後、露光および現像を行う。この際、コアの幅が４０
μｍ程度になるようにして図８に示すようなパターンと
なるようにレジストパターンを形成する。その後、反応
性イオンエッチングにより不要なコア層を除去した後、
クラッド層９０２を堆積させ、図９に示すような積層構
造にする。なお、コアおよびクラッド層の材料は、波長
８３０ｎｍの光に対してコア層の屈折率が１．４８９程
度になるように、またクラッド層の屈折率が１．４７１
程度になるように選択する。
うに作製することができる。すなわち、シリコン基板９
０１上に紫外線硬化型エポキシ樹脂を堆積させてクラッ
ド層９０２を設ける。次に、このクラッド層９０２の上
に重水素化ポリメチルメタクリレートを４０μｍ堆積さ
せてコア層９０３を設ける。さらにレジストを堆積させ
た後、露光および現像を行う。この際、コアの幅が４０
μｍ程度になるようにして図８に示すようなパターンと
なるようにレジストパターンを形成する。その後、反応
性イオンエッチングにより不要なコア層を除去した後、
クラッド層９０２を堆積させ、図９に示すような積層構
造にする。なお、コアおよびクラッド層の材料は、波長
８３０ｎｍの光に対してコア層の屈折率が１．４８９程
度になるように、またクラッド層の屈折率が１．４７１
程度になるように選択する。
【０００５】図８に示すように、この従来例のマルチモ
ード型光導波回路素子は、上記コア層９０３に対応して
入力部８００ａと出力部８００ｂとを有する４本のマル
チモード型光導波路（以下、光導波経路とも呼ぶ）８０
０と、光導波経路間の交差部８０３とを有する。この交
差部８０３の拡大図を図１０に示す。この図では、２本
の光導波経路が交差して交差部８０３を形成し、光導波
経路を同一モードの光線Ａおよび光線Ｂがコア・クラッ
ド境界面で全反射しながら伝搬する様子が模式的に表さ
れている。図１１は従来のマルチモード型光導波回路素
子を用いた場合の光パワーの交差回数依存性を示すグラ
フである。縦軸は光パワー（ｄＢ）を示し、横軸は任意
の光導波経路が他の光導波経路と交差する回数を示す。
この従来例では一交差部あたりの損失は約０．０４ｄＢ
である。
ード型光導波回路素子は、上記コア層９０３に対応して
入力部８００ａと出力部８００ｂとを有する４本のマル
チモード型光導波路（以下、光導波経路とも呼ぶ）８０
０と、光導波経路間の交差部８０３とを有する。この交
差部８０３の拡大図を図１０に示す。この図では、２本
の光導波経路が交差して交差部８０３を形成し、光導波
経路を同一モードの光線Ａおよび光線Ｂがコア・クラッ
ド境界面で全反射しながら伝搬する様子が模式的に表さ
れている。図１１は従来のマルチモード型光導波回路素
子を用いた場合の光パワーの交差回数依存性を示すグラ
フである。縦軸は光パワー（ｄＢ）を示し、横軸は任意
の光導波経路が他の光導波経路と交差する回数を示す。
この従来例では一交差部あたりの損失は約０．０４ｄＢ
である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のマルチ
モード型光導波回路素子は、図１０に示すようにコア・
クラッド境界面８０４における全反射角が等しい同一モ
ードの光線Ａ，Ｂであっても、例えば光線Ａが交差部８
０３を通過してさらに伝搬することができずに他の光導
波経路に漏れたり、あるいは損失する。
モード型光導波回路素子は、図１０に示すようにコア・
クラッド境界面８０４における全反射角が等しい同一モ
ードの光線Ａ，Ｂであっても、例えば光線Ａが交差部８
０３を通過してさらに伝搬することができずに他の光導
波経路に漏れたり、あるいは損失する。
【０００７】また、図８に示す従来例では、それぞれの
光導波経路が他の光導波経路と交差する回数は光導波経
路によって異なるので、入力から出力までの全導波損失
は各光導波経路で異なる。例えば、図８の光導波経路イ
→ロ→ハと光導波経路ニ→ロ→ホとでは入力から出力ま
での全導波損失が異なる。このような状態にあると、光
導波回路素子からの出射光を受光するフォトディテクタ
（不図示）に大きなダイナミックレンジが必要となる。
このことは光信号伝送にとって好ましくはない。また、
上記交差部において、図１０に示すように、高次モード
の光が他の光導波経路に漏れやすく光信号の劣化を招
く。このような状態も光信号伝送にとって好ましくはな
い。
光導波経路が他の光導波経路と交差する回数は光導波経
路によって異なるので、入力から出力までの全導波損失
は各光導波経路で異なる。例えば、図８の光導波経路イ
→ロ→ハと光導波経路ニ→ロ→ホとでは入力から出力ま
での全導波損失が異なる。このような状態にあると、光
導波回路素子からの出射光を受光するフォトディテクタ
（不図示）に大きなダイナミックレンジが必要となる。
このことは光信号伝送にとって好ましくはない。また、
上記交差部において、図１０に示すように、高次モード
の光が他の光導波経路に漏れやすく光信号の劣化を招
く。このような状態も光信号伝送にとって好ましくはな
い。
【０００８】したがって、本発明の目的は従来のものに
比べて著しく交差部での漏れ光、各光導波経路間での損
失のバラツキを低減することを可能とする新規のマルチ
モード型光導波回路素子を提供することである。
比べて著しく交差部での漏れ光、各光導波経路間での損
失のバラツキを低減することを可能とする新規のマルチ
モード型光導波回路素子を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明にもとづくマルチモード型光導波回路素子
は、入力部と出力部とを有し、かつ所定の幅を有する複
数のマルチモード型光導波経路と該複数のマルチモード
型光導波経路の間で交差することによって形成される交
差部とを有するマルチモード型光導波回路素子であっ
て、複数のマルチモード型光導波経路の各々の入力部近
傍に入力側端面と出力側端面とを有する光導波路モード
フィルタ素子部が設けられ、さらに光導波経路モードフ
ィルタ素子部の少なくとも出力側端面は所定の幅よりも
大きい幅を有することを特徴とする。
に、本発明にもとづくマルチモード型光導波回路素子
は、入力部と出力部とを有し、かつ所定の幅を有する複
数のマルチモード型光導波経路と該複数のマルチモード
型光導波経路の間で交差することによって形成される交
差部とを有するマルチモード型光導波回路素子であっ
て、複数のマルチモード型光導波経路の各々の入力部近
傍に入力側端面と出力側端面とを有する光導波路モード
フィルタ素子部が設けられ、さらに光導波経路モードフ
ィルタ素子部の少なくとも出力側端面は所定の幅よりも
大きい幅を有することを特徴とする。
【００１０】好ましくは、一本のマルチモード型光導波
経路あたりの交差部の数が複数のマルチモード型光導波
経路の各々において等しい数となるように適宜偽交差部
を備える。また、交差部は該交差部を通る一本の光導波
経路の中心線に沿って線対称の多角形状または円形状の
構造からなり、かつ該構造の対角線または直径は光導波
経路の幅よりも長いことが好ましい。
経路あたりの交差部の数が複数のマルチモード型光導波
経路の各々において等しい数となるように適宜偽交差部
を備える。また、交差部は該交差部を通る一本の光導波
経路の中心線に沿って線対称の多角形状または円形状の
構造からなり、かつ該構造の対角線または直径は光導波
経路の幅よりも長いことが好ましい。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は、本発明にもとづくマルチ
モード型光導波回路素子の一例の概略的構成を説明する
ための平面図であり、また、図２は図１のＩ−Ｉ′線に
沿う模式的断面図である。
モード型光導波回路素子の一例の概略的構成を説明する
ための平面図であり、また、図２は図１のＩ−Ｉ′線に
沿う模式的断面図である。
【００１２】マルチモード型光導波回路素子は以下のよ
うに作製することができる。すなわち、シリコン基板２
０１上に紫外線硬化型エポキシ樹脂を堆積させてクラッ
ド層２０２を設ける。次に、このクラッド層２０２の上
に重水素化ポリメチルメタクリレートを４０μｍ堆積さ
せてコア層２０３を設ける。さらにレジストを堆積させ
た後、露光および現像を行う。この際、コアの幅が４０
μｍ程度になるようにして図１に示すようなパターンと
なるようにレジストパターンを形成する。その後、反応
性イオンエッチングにより不要なコア層を除去した後、
クラッド層２０２を堆積させ、図２に示すような積層構
造にする。なお、コアおよびクラッド層の材料は、波長
８３０ｎｍの光に対してコア層の屈折率が１．４８９程
度になるように、またクラッド層の屈折率が１．４７１
程度になるように選択する。
うに作製することができる。すなわち、シリコン基板２
０１上に紫外線硬化型エポキシ樹脂を堆積させてクラッ
ド層２０２を設ける。次に、このクラッド層２０２の上
に重水素化ポリメチルメタクリレートを４０μｍ堆積さ
せてコア層２０３を設ける。さらにレジストを堆積させ
た後、露光および現像を行う。この際、コアの幅が４０
μｍ程度になるようにして図１に示すようなパターンと
なるようにレジストパターンを形成する。その後、反応
性イオンエッチングにより不要なコア層を除去した後、
クラッド層２０２を堆積させ、図２に示すような積層構
造にする。なお、コアおよびクラッド層の材料は、波長
８３０ｎｍの光に対してコア層の屈折率が１．４８９程
度になるように、またクラッド層の屈折率が１．４７１
程度になるように選択する。
【００１３】図１に示すように、この実施形態例のマル
チモード型光導波回路素子は、上記コア層２０３に対応
する４本のマルチモード型光導波路（以下、光導波経路
とも呼ぶ）１００を有する。各マルチモード型光導波路
１００は入力部１００ａと出力部ｂとを有し、途中他の
マルチモード型光導波路と交差しながら光導波経路を構
成する。また、この実施形態例のマルチモード型光導波
回路素子は各々の光導波経路の光入射部近傍に設けられ
た光導波路モードフィルタ素子部１０１と、光導波経路
間の交差部１０３と、光導波経路１００上に形成された
偽交差部１０２とをさらに備える。
チモード型光導波回路素子は、上記コア層２０３に対応
する４本のマルチモード型光導波路（以下、光導波経路
とも呼ぶ）１００を有する。各マルチモード型光導波路
１００は入力部１００ａと出力部ｂとを有し、途中他の
マルチモード型光導波路と交差しながら光導波経路を構
成する。また、この実施形態例のマルチモード型光導波
回路素子は各々の光導波経路の光入射部近傍に設けられ
た光導波路モードフィルタ素子部１０１と、光導波経路
間の交差部１０３と、光導波経路１００上に形成された
偽交差部１０２とをさらに備える。
【００１４】光導波路モードフィルタ素子部１０１は、
図３に示すようにコア部分の幅が拡大された部分で、本
実施形態例では幅が約２００μｍ、長さが約５００μｍ
の矩形状の部分からなる。光導波路モードフィルタ素子
部１０１は、コア・クラッド境界面１０４における反射
角が大きい高次モードの光線を取り除くものである。し
たがって、光導波路モードフィルタ素子部１０１の形状
は矩形に限定されるものではなく、この光導波経路モー
ドフィルタ素子部１０１の少なくとも出力側端面１０１
ａが光導波経路１００の幅１００ｃよりも大きい幅を有
するものであればよい。例えば図４に示すように出力側
（底辺側）の幅が広くなった台形状をなすものであって
もよい。ところで、図３では低次モードの光線をＣ、高
次モードの光線をＤとする。この図に示すように、高次
モードの光線Ｄは全反射角が大きいので光導波路モード
フィルタ素子部１０１を越えることができず、該フィル
タ部で損失することになる。一方、低次モードの光線Ｃ
は反射角が小さいため、光導波路モードフィルタ素子部
１０１を越えてさらに光導波経路を進む。
図３に示すようにコア部分の幅が拡大された部分で、本
実施形態例では幅が約２００μｍ、長さが約５００μｍ
の矩形状の部分からなる。光導波路モードフィルタ素子
部１０１は、コア・クラッド境界面１０４における反射
角が大きい高次モードの光線を取り除くものである。し
たがって、光導波路モードフィルタ素子部１０１の形状
は矩形に限定されるものではなく、この光導波経路モー
ドフィルタ素子部１０１の少なくとも出力側端面１０１
ａが光導波経路１００の幅１００ｃよりも大きい幅を有
するものであればよい。例えば図４に示すように出力側
（底辺側）の幅が広くなった台形状をなすものであって
もよい。ところで、図３では低次モードの光線をＣ、高
次モードの光線をＤとする。この図に示すように、高次
モードの光線Ｄは全反射角が大きいので光導波路モード
フィルタ素子部１０１を越えることができず、該フィル
タ部で損失することになる。一方、低次モードの光線Ｃ
は反射角が小さいため、光導波路モードフィルタ素子部
１０１を越えてさらに光導波経路を進む。
【００１５】偽交差部１０２は、図１に示すように、光
導波経路間の交差部１０３の数が各光導波経路とも等し
い数となるようにするために設けられる。これによっ
て、各光導波経路の交差損失を等しくする。
導波経路間の交差部１０３の数が各光導波経路とも等し
い数となるようにするために設けられる。これによっ
て、各光導波経路の交差損失を等しくする。
【００１６】交差部１０３は、円形状をなすもので２本
の光導波経路が交差し、かつ該光導波経路の中心線に沿
う線対称的構造を呈している。該交差部１０３の一例を
図５に示す。この例では、交差部１０３をなす円の直径
を約１５０μｍとする。図１０において従来例として説
明した交差部では同一の全反射角を持つ光線ＡおよびＢ
のうち光線Ａが伝搬不可能となる。このような従来例で
は光源の入射条件等の若干の揺らぎにより損失が変化し
うるので、各光導波経路間の交差損失のバラツキも必然
的に大きくなる。一方、図５に示す交差部の構造は既に
指摘したように線対称性を有するので従来のものに比べ
て交差損失のバラツキ著しい低減を達成することが可能
である。なお、交差部１０３の構造は上記円形状に限定
されるものではなく、上記線対称性を有していればよ
く、例えば図６に示すような多角形状であってもよい。
この際、該構造の対角線または直径は光導波経路の幅１
００ｃよりも長い。
の光導波経路が交差し、かつ該光導波経路の中心線に沿
う線対称的構造を呈している。該交差部１０３の一例を
図５に示す。この例では、交差部１０３をなす円の直径
を約１５０μｍとする。図１０において従来例として説
明した交差部では同一の全反射角を持つ光線ＡおよびＢ
のうち光線Ａが伝搬不可能となる。このような従来例で
は光源の入射条件等の若干の揺らぎにより損失が変化し
うるので、各光導波経路間の交差損失のバラツキも必然
的に大きくなる。一方、図５に示す交差部の構造は既に
指摘したように線対称性を有するので従来のものに比べ
て交差損失のバラツキ著しい低減を達成することが可能
である。なお、交差部１０３の構造は上記円形状に限定
されるものではなく、上記線対称性を有していればよ
く、例えば図６に示すような多角形状であってもよい。
この際、該構造の対角線または直径は光導波経路の幅１
００ｃよりも長い。
【００１７】図７は、本発明にもとづくマルチモード型
光導波回路素子を適用した場合の光パワーの交差回数依
存性を示すグラフである。縦軸は光パワー（ｄＢ）を示
し、横軸は任意の光導波経路が他の光導波経路と交差す
る回数を示す。交差一ヶ所あたりの光パワー損失は約
０．００５ｄＢであり、図１１に示す従来例の場合（約
０．０４ｄＢ）よりも交差部での光パワー損失が著しく
減少している（すなわち、漏れ光が減少している）。ま
た、光導波経路イ′→ロ′→ハ′と光導波経路ニ′→
ロ′→ホ′とでほとんど入力から出力までの全導波損失
に差がない。つまり、光パワーの各光導波経路間のバラ
ツキが改善されたことになる。
光導波回路素子を適用した場合の光パワーの交差回数依
存性を示すグラフである。縦軸は光パワー（ｄＢ）を示
し、横軸は任意の光導波経路が他の光導波経路と交差す
る回数を示す。交差一ヶ所あたりの光パワー損失は約
０．００５ｄＢであり、図１１に示す従来例の場合（約
０．０４ｄＢ）よりも交差部での光パワー損失が著しく
減少している（すなわち、漏れ光が減少している）。ま
た、光導波経路イ′→ロ′→ハ′と光導波経路ニ′→
ロ′→ホ′とでほとんど入力から出力までの全導波損失
に差がない。つまり、光パワーの各光導波経路間のバラ
ツキが改善されたことになる。
【００１８】なお、上記実施形態例ではコア材料として
重水素化ポリメチルメタクリレートを用いた。しかし、
本発明のマルチモード型光導波回路素子に適用されるコ
ア材料はそれに限定されるものではない。すなわち、そ
の他のアクリル系、ポリカーボネート、イミド系のポリ
マー材料をコア材料として使用することが可能であり、
さらに該ポリマー材料に限定されることなく、石英系光
導波路や、コアにＩｎＰ、クラッドにＩｎＧａＡｓＰ等
を用いた半導体光導波路にも本発明は適用可能であるこ
とは言うまでもない。
重水素化ポリメチルメタクリレートを用いた。しかし、
本発明のマルチモード型光導波回路素子に適用されるコ
ア材料はそれに限定されるものではない。すなわち、そ
の他のアクリル系、ポリカーボネート、イミド系のポリ
マー材料をコア材料として使用することが可能であり、
さらに該ポリマー材料に限定されることなく、石英系光
導波路や、コアにＩｎＰ、クラッドにＩｎＧａＡｓＰ等
を用いた半導体光導波路にも本発明は適用可能であるこ
とは言うまでもない。
【００１９】以上説明した構成についてまとめると、マ
ルチモード型光導波回路素子は、入力部１００ａと出力
部１００ｂとを有し、かつ所定の幅１００ｃを有する複
数のマルチモード型光導波経路１００と該複数のマルチ
モード型光導波経路１００の間で交差することによって
形成される交差部１０３とを有する。各々のマルチモー
ド型光導波経路の入力部近傍に入力側端面と出力側端面
とを有する光導波路モードフィルタ素子部１０１が設け
られ、さらに光導波経路モードフィルタ素子部１０１の
少なくとも出力側端面１０１ａは所定の幅１００ｃより
も大きい幅を有する。
ルチモード型光導波回路素子は、入力部１００ａと出力
部１００ｂとを有し、かつ所定の幅１００ｃを有する複
数のマルチモード型光導波経路１００と該複数のマルチ
モード型光導波経路１００の間で交差することによって
形成される交差部１０３とを有する。各々のマルチモー
ド型光導波経路の入力部近傍に入力側端面と出力側端面
とを有する光導波路モードフィルタ素子部１０１が設け
られ、さらに光導波経路モードフィルタ素子部１０１の
少なくとも出力側端面１０１ａは所定の幅１００ｃより
も大きい幅を有する。
【００２０】好ましくは、一本のマルチモード型光導波
経路あたりの交差部１０３の数が複数のマルチモード型
光導波経路の各々において等しい数となるように適宜偽
交差部１０２を備える。また、交差部１０３は該交差部
を通る一本の光導波経路１００の中心線に沿って線対称
の多角形状または円形状の構造からなり、かつ該構造の
対角線または直径は光導波経路の幅１００ｃよりも長
い。
経路あたりの交差部１０３の数が複数のマルチモード型
光導波経路の各々において等しい数となるように適宜偽
交差部１０２を備える。また、交差部１０３は該交差部
を通る一本の光導波経路１００の中心線に沿って線対称
の多角形状または円形状の構造からなり、かつ該構造の
対角線または直径は光導波経路の幅１００ｃよりも長
い。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明にもとづく
マルチモード型光導波回路素子は、従来のものに比べて
著しく交差部での漏れ光、各光導波経路間での損失のバ
ラツキを低減することを可能とする。
マルチモード型光導波回路素子は、従来のものに比べて
著しく交差部での漏れ光、各光導波経路間での損失のバ
ラツキを低減することを可能とする。
【００２２】また、本発明にもとづくマルチモード型光
導波回路素子は上記のように構成されるので、従来のマ
ルチモード型光導波回路素子を作製する工程において露
光時に用いるマスクパターンの書き換えだけで実現する
ことが可能である。
導波回路素子は上記のように構成されるので、従来のマ
ルチモード型光導波回路素子を作製する工程において露
光時に用いるマスクパターンの書き換えだけで実現する
ことが可能である。
【図１】本発明にもとづくマルチモード型光導波回路素
子の一例を示す模式的平面図である。
子の一例を示す模式的平面図である。
【図２】図１のＩ−Ｉ′線に沿う断面図である。
【図３】本発明にもとづくマルチモード型光導波回路素
子に適用されるモードフィルタ素子部の一例を示す模式
的平面図である。
子に適用されるモードフィルタ素子部の一例を示す模式
的平面図である。
【図４】本発明にもとづくマルチモード型光導波回路素
子に適用されるモードフィルタ素子部の他の例を示す模
式的平面図である。
子に適用されるモードフィルタ素子部の他の例を示す模
式的平面図である。
【図５】本発明にもとづくマルチモード型光導波回路素
子に適用される交差部の一例を示す模式的平面図であ
る。
子に適用される交差部の一例を示す模式的平面図であ
る。
【図６】本発明にもとづくマルチモード型光導波回路素
子に適用される交差部の他の例を示す模式的平面図であ
る。
子に適用される交差部の他の例を示す模式的平面図であ
る。
【図７】本発明にもとづくマルチモード型光導波回路素
子を使用した際の光パワーの交差回数依存性を示すグラ
フである。
子を使用した際の光パワーの交差回数依存性を示すグラ
フである。
【図８】従来のマルチモード型光導波回路素子の一例の
概略的構成を説明するための模式的平面図である。
概略的構成を説明するための模式的平面図である。
【図９】図８のＩＩ−ＩＩ′線に沿う模式的断面図であ
る。
る。
【図１０】従来のマルチモード型光導波回路素子の交差
部の一例を示す模式的平面図である。
部の一例を示す模式的平面図である。
【図１１】従来のマルチモード型光導波回路素子を使用
した際の光パワーの交差回数依存性を示すグラフであ
る。
した際の光パワーの交差回数依存性を示すグラフであ
る。
１００ マルチモード型光導波路（光導波経路） １００ａ 入力部 １００ｂ 出力部 １００ｃ 幅 １０１ 光導波路モードフィルタ素子部 １０１ａ 出力側端面 １０２ 偽交差部 １０３ 交差部 １０４ コア・クラッド境界面 ２０１ 基板 ２０２ クラッド層 ２０３ コア層
フロントページの続き (72)発明者 黒川 隆志 東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日本 電信電話株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 入力部と出力部とを有し、かつ所定の幅
を有する複数のマルチモード型光導波経路と該複数のマ
ルチモード型光導波経路の間で交差することによって形
成される交差部とを有するマルチモード型光導波回路素
子であって、 前記複数のマルチモード型光導波経路の各々の入力部近
傍に入力側端面と出力側端面とを有する光導波路モード
フィルタ素子部が設けられ、さらに、 前記光導波経路モードフィルタ素子部の少なくとも前記
出力側端面は前記所定の幅よりも大きい幅を有すること
を特徴とするマルチモード型光導波回路素子。 - 【請求項２】 一本のマルチモード型光導波経路あたり
の交差部の数が前記複数のマルチモード型光導波経路の
各々において等しい数となるように適宜偽交差部を備え
ることを特徴とする請求項１に記載のマルチモード型光
導波回路素子。 - 【請求項３】 前記交差部は該交差部を通る一本の光導
波経路の中心線に沿って線対称の多角形状または円形状
の構造からなり、かつ該構造の対角線または直径は前記
光導波経路の幅よりも長いことを特徴とする請求項２に
記載のマルチモード型光導波回路素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7009998A JPH11271551A (ja) | 1998-03-19 | 1998-03-19 | マルチモード型光導波回路素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7009998A JPH11271551A (ja) | 1998-03-19 | 1998-03-19 | マルチモード型光導波回路素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11271551A true JPH11271551A (ja) | 1999-10-08 |
Family
ID=13421760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7009998A Pending JPH11271551A (ja) | 1998-03-19 | 1998-03-19 | マルチモード型光導波回路素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11271551A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003102648A3 (en) * | 2002-06-04 | 2004-09-02 | Nkt Integration As | Integrated splitter with reduced losses |
| WO2018198927A1 (ja) * | 2017-04-26 | 2018-11-01 | 日本電信電話株式会社 | Ｎ×ｎ光スイッチ |
-
1998
- 1998-03-19 JP JP7009998A patent/JPH11271551A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003102648A3 (en) * | 2002-06-04 | 2004-09-02 | Nkt Integration As | Integrated splitter with reduced losses |
| US7343071B2 (en) | 2002-06-04 | 2008-03-11 | Ignis Technologies As | Optical component and a method of fabricating an optical component |
| WO2018198927A1 (ja) * | 2017-04-26 | 2018-11-01 | 日本電信電話株式会社 | Ｎ×ｎ光スイッチ |
| JPWO2018198927A1 (ja) * | 2017-04-26 | 2019-11-07 | 日本電信電話株式会社 | Ｎ×ｎ光スイッチ |
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