JPH11271036A - マイクロサンプリング装置 - Google Patents
マイクロサンプリング装置Info
- Publication number
- JPH11271036A JPH11271036A JP10074098A JP7409898A JPH11271036A JP H11271036 A JPH11271036 A JP H11271036A JP 10074098 A JP10074098 A JP 10074098A JP 7409898 A JP7409898 A JP 7409898A JP H11271036 A JPH11271036 A JP H11271036A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 大型基板上に付着した微小異物を簡易的に、
かつ、確実に採取し、短時間にて分析試料を作成するこ
とができるマイクロサンプリング装置を提供する。 【解決手段】 被検査基板Ｋ上に微小異物６の位置座標
を検出する基板検査部１と、該微小異物６の形状観察を
行なう基板観察部２と、前記被検査基板Ｋを移動させる
基板移動部３と、前記基板検査部１および基板移動部３
に接続される移動制御部４と、前記基板観察部２に接近
して設けられる、前記微小異物６を吸着により採取する
サンプリング装置５とを備えている。
かつ、確実に採取し、短時間にて分析試料を作成するこ
とができるマイクロサンプリング装置を提供する。 【解決手段】 被検査基板Ｋ上に微小異物６の位置座標
を検出する基板検査部１と、該微小異物６の形状観察を
行なう基板観察部２と、前記被検査基板Ｋを移動させる
基板移動部３と、前記基板検査部１および基板移動部３
に接続される移動制御部４と、前記基板観察部２に接近
して設けられる、前記微小異物６を吸着により採取する
サンプリング装置５とを備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はマイクロサンプリン
グ装置に関する。さらに詳しくは、たとえばＴＦＴ液晶
ディスプレイ装置の製造に用いるガラス基板のような大
型サイズの基板に付着した微小異物のサンプリングに用
いるマイクロサンプリング装置に関する。
グ装置に関する。さらに詳しくは、たとえばＴＦＴ液晶
ディスプレイ装置の製造に用いるガラス基板のような大
型サイズの基板に付着した微小異物のサンプリングに用
いるマイクロサンプリング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ＴＦＴ液晶ディスプレイ製造
工程や半導体製造工程などにおいて、基板表面に付着し
た異物は、配線の断線、絶縁破壊や短絡などの不良原因
となっている。このような異物は、製造装置の駆動部か
ら発生するものや、人体発塵、プロセスガスによる反応
生成物、薬品などに混入されているものなどがある。こ
れらの表面付着異物を検出する装置としては、レーザー
などを照射して異物から発生する散乱光を検出する装置
が知られている（特開昭６１−９９８４５号公報、特開
平３−１８７０８号公報および特開平７−９２０９５号
公報参照）。またこの装置では同時に基板上での異物の
分布や異物のサイズも検出することができる。
工程や半導体製造工程などにおいて、基板表面に付着し
た異物は、配線の断線、絶縁破壊や短絡などの不良原因
となっている。このような異物は、製造装置の駆動部か
ら発生するものや、人体発塵、プロセスガスによる反応
生成物、薬品などに混入されているものなどがある。こ
れらの表面付着異物を検出する装置としては、レーザー
などを照射して異物から発生する散乱光を検出する装置
が知られている（特開昭６１−９９８４５号公報、特開
平３−１８７０８号公報および特開平７−９２０９５号
公報参照）。またこの装置では同時に基板上での異物の
分布や異物のサイズも検出することができる。
【０００３】一方、基板上に付着した異物の発生源を特
定するためには、異物をＳＥＭ／ＥＤＸ、ＦＴ−ＩＲな
どの分析装置で分析する必要がある。半導体製造に用い
られるシリコンウエハでは、ウエハをそのまま装置内に
入れられる分析装置もあるが、ＴＦＴ−ＬＣＤ製造に用
いられる大型のガラス基板をそのまま分析できる大型の
分析装置は存在しない。そこで基板上に付着異物を分析
するばあい、異物の場所を顕微鏡などで観察しながらマ
ジックなどでマーキングして、大型基板を分析装置内に
入る大きさに小さく切断して分析を行なっている。その
ため、マーキングや基板切断時に異物が飛んでなくなる
ことも多々発生した。
定するためには、異物をＳＥＭ／ＥＤＸ、ＦＴ−ＩＲな
どの分析装置で分析する必要がある。半導体製造に用い
られるシリコンウエハでは、ウエハをそのまま装置内に
入れられる分析装置もあるが、ＴＦＴ−ＬＣＤ製造に用
いられる大型のガラス基板をそのまま分析できる大型の
分析装置は存在しない。そこで基板上に付着異物を分析
するばあい、異物の場所を顕微鏡などで観察しながらマ
ジックなどでマーキングして、大型基板を分析装置内に
入る大きさに小さく切断して分析を行なっている。その
ため、マーキングや基板切断時に異物が飛んでなくなる
ことも多々発生した。
【０００４】そこで大型基板上に付着した異物を確実に
分析するためには、付着した異物を取り出す方法が有効
と考えられる。基板上に微小異物の採取装置としてはマ
イクロマニピュレータが従来より使用されている（特開
平５−２０８３８７号公報参照）。この装置では、基板
上に付着した微小異物をＴＶモニターを見ながら２本の
微小針と吸排口を有する捕捉針を使って採取する方法が
用いられている。
分析するためには、付着した異物を取り出す方法が有効
と考えられる。基板上に微小異物の採取装置としてはマ
イクロマニピュレータが従来より使用されている（特開
平５−２０８３８７号公報参照）。この装置では、基板
上に付着した微小異物をＴＶモニターを見ながら２本の
微小針と吸排口を有する捕捉針を使って採取する方法が
用いられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
マイクロサンプリング装置では、基板上の微小異物の位
置が分かっているものについて異物を観察しながらマイ
クロサンプリングを行なっていたため、大型基板上の微
小異物のように位置の特定が困難なものについては、大
型基板上における微小異物の検出や位置座標を決定する
装置と、微小異物をマイクロサンプリングする装置の２
種類の別の装置を用いなければならず、異物採取に長時
間かかっていた。また、別の分析装置を用いて採取した
異物を一個ずつ分析しなければならず、分析試料作りと
異物分析にも時間がかかり、異物発生源を特定するまで
にはかなりの時間が必要であった。
マイクロサンプリング装置では、基板上の微小異物の位
置が分かっているものについて異物を観察しながらマイ
クロサンプリングを行なっていたため、大型基板上の微
小異物のように位置の特定が困難なものについては、大
型基板上における微小異物の検出や位置座標を決定する
装置と、微小異物をマイクロサンプリングする装置の２
種類の別の装置を用いなければならず、異物採取に長時
間かかっていた。また、別の分析装置を用いて採取した
異物を一個ずつ分析しなければならず、分析試料作りと
異物分析にも時間がかかり、異物発生源を特定するまで
にはかなりの時間が必要であった。
【０００６】本発明は、叙上の事情に鑑み、大型基板上
に付着した微小異物を簡易的に、かつ、確実に採取し、
短時間にて分析試料を作成することができるマイクロサ
ンプリング装置を提供することを目的とする。
に付着した微小異物を簡易的に、かつ、確実に採取し、
短時間にて分析試料を作成することができるマイクロサ
ンプリング装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のマイクロサンプ
リング装置は、被検査基板上に微小異物の位置座標を検
出する基板検査部と、該微小異物の形状観察を行なう基
板観察部と前記被検査基板を移動させる基板移動部と、
前記基板検査部および基板移動部に接続される移動制御
部と、前記基板観察部に接近して設けられる、前記微小
異物を吸着により採取するサンプリング装置を備えてな
ることを特徴とする。
リング装置は、被検査基板上に微小異物の位置座標を検
出する基板検査部と、該微小異物の形状観察を行なう基
板観察部と前記被検査基板を移動させる基板移動部と、
前記基板検査部および基板移動部に接続される移動制御
部と、前記基板観察部に接近して設けられる、前記微小
異物を吸着により採取するサンプリング装置を備えてな
ることを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて、本発
明のマイクロサンプリング装置を説明する。
明のマイクロサンプリング装置を説明する。
【０００９】図１は本発明のマイクロサンプリング装置
を示す模式図、図２は図１で採取した異物を入れる異物
回収ボックスを示す図である。図１に示すように、本発
明の一実施の形態にかかわるマイクロサンプリング装置
は、基板検査部１、基板観察部２、基板移動部３、移動
制御部４およびサンプリング装置５を備えている。
を示す模式図、図２は図１で採取した異物を入れる異物
回収ボックスを示す図である。図１に示すように、本発
明の一実施の形態にかかわるマイクロサンプリング装置
は、基板検査部１、基板観察部２、基板移動部３、移動
制御部４およびサンプリング装置５を備えている。
【００１０】前記基板検査部１は、これと接続される基
板観察部２で被検査基板Ｋ上に付着した微小異物６を感
知したのち、該微小異物６の位置座標を検出する。この
基板検査部１は、本発明においては、とくに限定されな
いが、たとえば基板観察部２におけるレーザーなどの検
査光を被検査基板Ｋに照射し、微小異物６による検査光
の散乱光を検出する表面検査装置や、ＴＦＴ−ＬＣＤの
アレイ基板のような繰り返しパターンのデジタル画像を
比較して欠陥を検出するパターン欠陥検査装置などを用
いることができる。この基板検査部１では、微小異物６
の大きさや被検査基板Ｋ上の分布も同時に検出できる。
板観察部２で被検査基板Ｋ上に付着した微小異物６を感
知したのち、該微小異物６の位置座標を検出する。この
基板検査部１は、本発明においては、とくに限定されな
いが、たとえば基板観察部２におけるレーザーなどの検
査光を被検査基板Ｋに照射し、微小異物６による検査光
の散乱光を検出する表面検査装置や、ＴＦＴ−ＬＣＤの
アレイ基板のような繰り返しパターンのデジタル画像を
比較して欠陥を検出するパターン欠陥検査装置などを用
いることができる。この基板検査部１では、微小異物６
の大きさや被検査基板Ｋ上の分布も同時に検出できる。
【００１１】基板検査部１にて検出された微小異物６の
被検査基板Ｋ上での座標位置は、座標メモリー７に記録
される。また、基板観察部２において記録された微小異
物６の位置座標は随時読み出すことができ、読み出した
位置情報によりステージの移動制御部４を制御してＸＹ
テーブル８を指定位置に移動させることができる。
被検査基板Ｋ上での座標位置は、座標メモリー７に記録
される。また、基板観察部２において記録された微小異
物６の位置座標は随時読み出すことができ、読み出した
位置情報によりステージの移動制御部４を制御してＸＹ
テーブル８を指定位置に移動させることができる。
【００１２】基板観察部２では、レビュー顕微鏡９を用
いて基板検査部１で検出された微小異物６の形状観察を
行ない、サンプリング装置５を用いて微小異物６の採取
を行なう。レビュー顕微鏡９は、一般の光学顕微鏡と同
じ構成をしており、光源１０の光を対物レンズ１１を通
して微小異物６に照射し、その反射光を接眼レンズ１２
を用いて肉眼で観察できる。また、微小異物６による反
射光をテレビカメラを通してモニター画面１３に映像と
して写し出すことができる。
いて基板検査部１で検出された微小異物６の形状観察を
行ない、サンプリング装置５を用いて微小異物６の採取
を行なう。レビュー顕微鏡９は、一般の光学顕微鏡と同
じ構成をしており、光源１０の光を対物レンズ１１を通
して微小異物６に照射し、その反射光を接眼レンズ１２
を用いて肉眼で観察できる。また、微小異物６による反
射光をテレビカメラを通してモニター画面１３に映像と
して写し出すことができる。
【００１３】サンプリング装置５は、先を細く絞った円
筒状のガラス製ニードル１４と、該ニードル１４に直結
したバッテリーを内臓する吸引ポンプ１５と、それらを
駆動する駆動装置１６と、回収した異物を載せる異物回
収ボックス１７と、作業者が操作してニードル１４を動
かす制御装置１８とから構成されている。前記ニードル
１４は直径約１ｍｍのガラス管であり、先端は開口径約
５μｍに細く絞られている。吸引ポンプ１５と直結した
ニードル１４は駆動装置１６により上下左右に動作可能
である。また、サンプリング装置５は必要時以外はレビ
ュー顕微鏡９から離れており、ニードル１４と被検査基
板Ｋが不必要に接触することを防止している。
筒状のガラス製ニードル１４と、該ニードル１４に直結
したバッテリーを内臓する吸引ポンプ１５と、それらを
駆動する駆動装置１６と、回収した異物を載せる異物回
収ボックス１７と、作業者が操作してニードル１４を動
かす制御装置１８とから構成されている。前記ニードル
１４は直径約１ｍｍのガラス管であり、先端は開口径約
５μｍに細く絞られている。吸引ポンプ１５と直結した
ニードル１４は駆動装置１６により上下左右に動作可能
である。また、サンプリング装置５は必要時以外はレビ
ュー顕微鏡９から離れており、ニードル１４と被検査基
板Ｋが不必要に接触することを防止している。
【００１４】つぎにマイクロサンプリング装置の動作を
説明する。まず、ＸＹテーブル８上に被検査基板Ｋが載
置されると、該テーブル８がＸ方向およびＹ方向へ移動
する。そして移動中にレビュー顕微鏡９の検査光が微小
異物６により散乱すると、基板検査部１にて被検査基板
Ｋ上の微小異物６の位置座標を検出し、それを座標メモ
リーに記録する。ついで座標メモリー７から読み出した
データによりステージの移動制御部４を制御して、ＸＹ
テーブル８を指定位置に移動させる。作業者は、モニタ
ー画面１３に写し出された微小異物６の像を見ながら、
制御装置１８を操作してニードル１４を微小異物６に近
づける。該ニードル１４が微小異物６に近づいたら、吸
引ポンプ１５を駆動させ、微小異物６をニードル１４に
吸着させ異物を採取する。つぎに採取した微小異物６を
ニードル１４から脱離するには、吸引ポンプ１５の駆動
を停止することにより、吸着が解ける。回収した微小異
物６は異物回収ボックス１７に回収される。
説明する。まず、ＸＹテーブル８上に被検査基板Ｋが載
置されると、該テーブル８がＸ方向およびＹ方向へ移動
する。そして移動中にレビュー顕微鏡９の検査光が微小
異物６により散乱すると、基板検査部１にて被検査基板
Ｋ上の微小異物６の位置座標を検出し、それを座標メモ
リーに記録する。ついで座標メモリー７から読み出した
データによりステージの移動制御部４を制御して、ＸＹ
テーブル８を指定位置に移動させる。作業者は、モニタ
ー画面１３に写し出された微小異物６の像を見ながら、
制御装置１８を操作してニードル１４を微小異物６に近
づける。該ニードル１４が微小異物６に近づいたら、吸
引ポンプ１５を駆動させ、微小異物６をニードル１４に
吸着させ異物を採取する。つぎに採取した微小異物６を
ニードル１４から脱離するには、吸引ポンプ１５の駆動
を停止することにより、吸着が解ける。回収した微小異
物６は異物回収ボックス１７に回収される。
【００１５】この異物回収ボックス１７は、図２に示す
ように、メッシュ状に区分されており、底部内面１９に
設けられた粘着材により異物が飛散しないようになって
いる。また、異物回収ボックス１７の各区画には番号が
記載されており、個々の微小異物との対応が取れるよう
になっている。
ように、メッシュ状に区分されており、底部内面１９に
設けられた粘着材により異物が飛散しないようになって
いる。また、異物回収ボックス１７の各区画には番号が
記載されており、個々の微小異物との対応が取れるよう
になっている。
【００１６】本実施の形態にかかわるマイクロサンプリ
ング装置を使用すれば、大型基板上の微小異物が確実に
回収できる。また、異物回収ボックスをそのまま分析装
置にもって行けば、新たなサンプル作成をする必要はな
い上に、複数の微小異物を一度に分析することができ
る。
ング装置を使用すれば、大型基板上の微小異物が確実に
回収できる。また、異物回収ボックスをそのまま分析装
置にもって行けば、新たなサンプル作成をする必要はな
い上に、複数の微小異物を一度に分析することができ
る。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
基板上に付着した微小異物の分析をする前段階として、
基板上の異物の検出、観察、異物採取を同時に行なえる
ので、短時間にて確実に微小異物の分析試料が作成でき
る。とくにＴＦＴ−ＬＣＤ製造工程に用いられるような
大型基板では、基板を切断せずに基板上の異物を採取で
きる。また、採取した異物を粘着材の付いた数センチ角
のボックスに回収することで異物の飛散を防止し、分析
サンプルとしてそのまま使用できるので、分析時間を短
縮することができる。その結果、異物に起因した配線の
断線や短絡、絶縁破壊などの不良原因を早期に発見で
き、製造装置へのフィードバックを迅速に行なうことが
できるため、製造歩留を向上することができる。
基板上に付着した微小異物の分析をする前段階として、
基板上の異物の検出、観察、異物採取を同時に行なえる
ので、短時間にて確実に微小異物の分析試料が作成でき
る。とくにＴＦＴ−ＬＣＤ製造工程に用いられるような
大型基板では、基板を切断せずに基板上の異物を採取で
きる。また、採取した異物を粘着材の付いた数センチ角
のボックスに回収することで異物の飛散を防止し、分析
サンプルとしてそのまま使用できるので、分析時間を短
縮することができる。その結果、異物に起因した配線の
断線や短絡、絶縁破壊などの不良原因を早期に発見で
き、製造装置へのフィードバックを迅速に行なうことが
できるため、製造歩留を向上することができる。
【図１】本発明のマイクロサンプリング装置を示す模式
図である。
図である。
【図２】マイクロサンプリング装置にて採取した異物を
回収する異物回収ボックスを示す図である。
回収する異物回収ボックスを示す図である。
１ 基板検査部 ２ 基板観察部 ３ 基板移動部 ４ 移動制御部 ５ サンプリング装置 ６ 微小異物 Ｋ 被検査基板
Claims (6)
- 【請求項１】 被検査基板上に微小異物の位置座標を検
出する基板検査部と、該微小異物の形状観察を行なう基
板観察部と、前記被検査基板を移動させる基板移動部
と、前記基板検査部および基板移動部に接続される移動
制御部と、前記基板観察部に接近して設けられる、前記
微小異物を吸着により採取するサンプリング装置とを備
えてなるマイクロサンプリング装置。 - 【請求項２】 前記サンプリング装置が、先端を細く絞
ったニードルと、吸引ポンプとを備えてなる請求項１記
載のマイクロサンプリング装置。 - 【請求項３】 前記サンプリング装置が前記ニードルに
より採取した微小異物を回収する異物回収ボックスを備
えてなる請求項２記載のマイクロサンプリング装置。 - 【請求項４】 前記異物回収ボックスがメッシュ状に区
画されてなる請求項３記載のマイクロサンプリング装
置。 - 【請求項５】 前記異物回収ボックスの底部内面に粘着
材が設けられてなる請求項３または４記載のマイクロサ
ンプリング装置。 - 【請求項６】 前記基板検査部にて検出された微小異物
の位置座標が通信手段により基板観察部に転送される請
求項１、２、３、４または５記載のマイクロサンプリン
グ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10074098A JPH11271036A (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | マイクロサンプリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10074098A JPH11271036A (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | マイクロサンプリング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11271036A true JPH11271036A (ja) | 1999-10-05 |
Family
ID=13537382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10074098A Pending JPH11271036A (ja) | 1998-03-23 | 1998-03-23 | マイクロサンプリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11271036A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005062130A (ja) * | 2003-08-20 | 2005-03-10 | Canon Inc | 微小薄片作製装置 |
| JP2008304340A (ja) * | 2007-06-08 | 2008-12-18 | Hitachi Ltd | 試料分析法および装置 |
| JP2014123035A (ja) * | 2012-12-21 | 2014-07-03 | Ntn Corp | 異物除去装置および異物除去方法 |
| CN108645793A (zh) * | 2018-05-11 | 2018-10-12 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 样品分析组件、样品分析装置及样品分析方法 |
-
1998
- 1998-03-23 JP JP10074098A patent/JPH11271036A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005062130A (ja) * | 2003-08-20 | 2005-03-10 | Canon Inc | 微小薄片作製装置 |
| JP2008304340A (ja) * | 2007-06-08 | 2008-12-18 | Hitachi Ltd | 試料分析法および装置 |
| JP2014123035A (ja) * | 2012-12-21 | 2014-07-03 | Ntn Corp | 異物除去装置および異物除去方法 |
| CN108645793A (zh) * | 2018-05-11 | 2018-10-12 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 样品分析组件、样品分析装置及样品分析方法 |
| CN108645793B (zh) * | 2018-05-11 | 2021-10-15 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 样品分析组件、样品分析装置及样品分析方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040903 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041012 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050222 |