JPH11270483A - ドライ真空ポンプ - Google Patents
ドライ真空ポンプInfo
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- JPH11270483A JPH11270483A JP7422898A JP7422898A JPH11270483A JP H11270483 A JPH11270483 A JP H11270483A JP 7422898 A JP7422898 A JP 7422898A JP 7422898 A JP7422898 A JP 7422898A JP H11270483 A JPH11270483 A JP H11270483A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pump
- dry vacuum
- lock mechanism
- casing
- timing gear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05C—INDEXING SCHEME RELATING TO MATERIALS, MATERIAL PROPERTIES OR MATERIAL CHARACTERISTICS FOR MACHINES, ENGINES OR PUMPS OTHER THAN NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES
- F05C2201/00—Metals
- F05C2201/04—Heavy metals
- F05C2201/0433—Iron group; Ferrous alloys, e.g. steel
- F05C2201/0436—Iron
- F05C2201/0439—Cast iron
- F05C2201/0442—Spheroidal graphite cast iron, e.g. nodular iron, ductile iron
Landscapes
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 腐食性ガスを吸引するドライ真空ポンプで
は、高温のガスに接触する面にコーティングした樹脂被
覆が剥離する問題があった。 【解決手段】 吸入口６と吐出口７に連通する内筒部１
ａを有するケーシングと、該ケーシングに支承される軸
部１５ａに螺旋状の歯形部１５ａが設けられ、歯形部１
５ａが相互に噛み合った状態で内筒部１ａに収容される
スクリューロータ１５と、２つのスクリューロータ１５
の軸部１５ｂに装着され相互に噛み合うタイミングギヤ
１６，１９と、タイミングギヤ１６，１９を軸部１５ｂ
に固定するロック機構１７を有するドライ真空ポンプに
おいて、軸部１５ｂと歯形部１５ａとを、Ｎｉ含有比率
が２０〜３０％の球状黒鉛鋳鉄で一体鋳造した。
は、高温のガスに接触する面にコーティングした樹脂被
覆が剥離する問題があった。 【解決手段】 吸入口６と吐出口７に連通する内筒部１
ａを有するケーシングと、該ケーシングに支承される軸
部１５ａに螺旋状の歯形部１５ａが設けられ、歯形部１
５ａが相互に噛み合った状態で内筒部１ａに収容される
スクリューロータ１５と、２つのスクリューロータ１５
の軸部１５ｂに装着され相互に噛み合うタイミングギヤ
１６，１９と、タイミングギヤ１６，１９を軸部１５ｂ
に固定するロック機構１７を有するドライ真空ポンプに
おいて、軸部１５ｂと歯形部１５ａとを、Ｎｉ含有比率
が２０〜３０％の球状黒鉛鋳鉄で一体鋳造した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はスクリューロータ形
式のドライ真空ポンプに係り、例えば半導体製造装置に
発生するガスに対して耐食性を必要とする場合に使用さ
れる真空ポンプに関する。
式のドライ真空ポンプに係り、例えば半導体製造装置に
発生するガスに対して耐食性を必要とする場合に使用さ
れる真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】スクリューロータ形式のドライ真空ポン
プの構造を図１の横断面図に基づいて説明すると、ポン
プのケーシングは、主ケーシング１と、主ケーシング１
の右端面に取り付けられる吸入側サイドケース２と、主
ケーシング１の左端面に取り付けられる吐出側サイドケ
ース３と、吐出側サイドケース３の左端面に取り付けら
れるギヤケース４により構成される。ギヤケース４には
モータ５が取付られる。
プの構造を図１の横断面図に基づいて説明すると、ポン
プのケーシングは、主ケーシング１と、主ケーシング１
の右端面に取り付けられる吸入側サイドケース２と、主
ケーシング１の左端面に取り付けられる吐出側サイドケ
ース３と、吐出側サイドケース３の左端面に取り付けら
れるギヤケース４により構成される。ギヤケース４には
モータ５が取付られる。
【０００３】主ケーシング１の内部には、主ケーシング
１の軸方向を貫通する内筒部１ａが設けられ、内筒部１
ａの右側には、主ケーシング１に設けられた吸入口６が
連通し、内筒部１ａの左側は、吐出側サイドケース３に
設けられた吐出口７に連通する。符号８は主ケーシング
１の冷却水室である。吸入側サイドケース２に２つの貫
通孔９が設けられ、内部にベアリング１１を内蔵した軸
受函１０が貫通孔９に取付られる。吐出側サイドケース
３に２つの貫通孔１２が設けられ、内部にベアリング１
４を内蔵した軸受函１３が貫通孔１２に取付られる。
１の軸方向を貫通する内筒部１ａが設けられ、内筒部１
ａの右側には、主ケーシング１に設けられた吸入口６が
連通し、内筒部１ａの左側は、吐出側サイドケース３に
設けられた吐出口７に連通する。符号８は主ケーシング
１の冷却水室である。吸入側サイドケース２に２つの貫
通孔９が設けられ、内部にベアリング１１を内蔵した軸
受函１０が貫通孔９に取付られる。吐出側サイドケース
３に２つの貫通孔１２が設けられ、内部にベアリング１
４を内蔵した軸受函１３が貫通孔１２に取付られる。
【０００４】２本のスクリューロータ１５は、軸直角断
面形状はクインビー曲線，円弧，疑アルキメデス曲線に
より形成される螺旋状の歯形部１５ａと、歯形部１５ａ
の両端に設けられる軸部１５ｂとにより構成される。歯
形部１５ａは、相互の噛み合った状態で内筒部１ａ内に
収容され、軸部１５ｂはそれぞれベアリング１１，１４
に支承される。
面形状はクインビー曲線，円弧，疑アルキメデス曲線に
より形成される螺旋状の歯形部１５ａと、歯形部１５ａ
の両端に設けられる軸部１５ｂとにより構成される。歯
形部１５ａは、相互の噛み合った状態で内筒部１ａ内に
収容され、軸部１５ｂはそれぞれベアリング１１，１４
に支承される。
【０００５】２本のスクリューロータ１５のうち、図１
において下側に示される駆動側スクリューロータ１５に
は、軸部１５ｂの左端部にタイミングギヤ１６が挿通さ
れ、ロック機構１７で固定され、軸部１５ｂの左端はカ
プリング１８を介してモータ５の出力軸に連結される。
図１において上側に示される従動側スクリューロータ１
５には、軸部１５ｂの左端部に、タイミングギヤ１６に
噛み合うタイミングギヤ１９が挿通され、ロック機構１
７で固定される。
において下側に示される駆動側スクリューロータ１５に
は、軸部１５ｂの左端部にタイミングギヤ１６が挿通さ
れ、ロック機構１７で固定され、軸部１５ｂの左端はカ
プリング１８を介してモータ５の出力軸に連結される。
図１において上側に示される従動側スクリューロータ１
５には、軸部１５ｂの左端部に、タイミングギヤ１６に
噛み合うタイミングギヤ１９が挿通され、ロック機構１
７で固定される。
【０００６】図１の部分拡大図である図２に示すよう
に、ロック機構１７は、ロック部材２０と締付け部材２
１とにより構成され、ロック部材２０の一方の面に、軸
部１５ｂの外周面に嵌合する嵌合部２２が形成され、軸
部１５ｂの端面に設けられたねじ孔２３に相対する貫通
孔２４が設けられ、嵌合部２２の外側に押動突起２５が
形成される。
に、ロック機構１７は、ロック部材２０と締付け部材２
１とにより構成され、ロック部材２０の一方の面に、軸
部１５ｂの外周面に嵌合する嵌合部２２が形成され、軸
部１５ｂの端面に設けられたねじ孔２３に相対する貫通
孔２４が設けられ、嵌合部２２の外側に押動突起２５が
形成される。
【０００７】ロック部材２０の嵌合部２２を軸部１５ｂ
に嵌め込むと、ロック部材２０が軸部１５ｂにがたつく
ことなく装着されると共に、押動突起２５がタイミング
ギヤ１６の側面に設けられた環状溝２６の底に当接す
る。締付け部材２１はボルトであり、先端をロック部材
２０の貫通孔２４を通してねじ孔２３にねじ込むと、押
動突起２５がタイミングギヤ１６を押圧し、タイミング
ギヤ１６がベアリング１４と押動突起２５に挟圧されて
軸部１５ｂに固着される。
に嵌め込むと、ロック部材２０が軸部１５ｂにがたつく
ことなく装着されると共に、押動突起２５がタイミング
ギヤ１６の側面に設けられた環状溝２６の底に当接す
る。締付け部材２１はボルトであり、先端をロック部材
２０の貫通孔２４を通してねじ孔２３にねじ込むと、押
動突起２５がタイミングギヤ１６を押圧し、タイミング
ギヤ１６がベアリング１４と押動突起２５に挟圧されて
軸部１５ｂに固着される。
【０００８】モータ５が回転すると、カプリング１８と
共に駆動側スクリューロータ１５が回転し、駆動側スク
リューロータ１５の回転はタイミングギ１６，１９を介
して従動側スクリューロータ１５に伝達され、２本のス
クリューロータ１５が同速度で反対方向に回転し、吸入
口６から吸引された流体を吐出口７へ送出する。運転に
より、吸入口６につながる領域が次第に減圧されると共
に、ケーシングが高温になるので、ケーシングを水冷す
る。
共に駆動側スクリューロータ１５が回転し、駆動側スク
リューロータ１５の回転はタイミングギ１６，１９を介
して従動側スクリューロータ１５に伝達され、２本のス
クリューロータ１５が同速度で反対方向に回転し、吸入
口６から吸引された流体を吐出口７へ送出する。運転に
より、吸入口６につながる領域が次第に減圧されると共
に、ケーシングが高温になるので、ケーシングを水冷す
る。
【０００９】従来、半導体製造装置に使用される真空ポ
ンプでは、腐食性のガスを吸引するので、内筒部１ａや
スクリューロータ１５の表面に耐食性の樹脂コーティン
グを施工するのが一般的であった。例えば、Teflon Coa
ting ,Defric Coating（ポリイミド樹脂）等のコーティ
ングをスクリューロータ１５の表面，内筒部１ａの内面
に厚さ２５〜３０ミクロン施していた。
ンプでは、腐食性のガスを吸引するので、内筒部１ａや
スクリューロータ１５の表面に耐食性の樹脂コーティン
グを施工するのが一般的であった。例えば、Teflon Coa
ting ,Defric Coating（ポリイミド樹脂）等のコーティ
ングをスクリューロータ１５の表面，内筒部１ａの内面
に厚さ２５〜３０ミクロン施していた。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】半導体製造装置ではプ
ラズマを使った微細加工が重要視されるようになり、清
浄化の目的で、製造過程にＣＦ4 ，Ｃ2 Ｆ6 等の弗化物
を流す装置の採用が多くなり始めた。特に、プラズマＣ
ＶＤ（Chemical vapour deposition）やプラズマエッチ
ャー（Etcher）が多く採用され、この工程では装置に付
着した窒化生成物を除去するために、ＣＦ4 ，Ｃ2 Ｆ6
等の弗化物を流すが、このガスはプラズマに励起されて
活性化弗素系Ｆ＊が発生する。
ラズマを使った微細加工が重要視されるようになり、清
浄化の目的で、製造過程にＣＦ4 ，Ｃ2 Ｆ6 等の弗化物
を流す装置の採用が多くなり始めた。特に、プラズマＣ
ＶＤ（Chemical vapour deposition）やプラズマエッチ
ャー（Etcher）が多く採用され、この工程では装置に付
着した窒化生成物を除去するために、ＣＦ4 ，Ｃ2 Ｆ6
等の弗化物を流すが、このガスはプラズマに励起されて
活性化弗素系Ｆ＊が発生する。
【００１１】このＦ＊は化学的に極めて活性であるた
め、プロセスガス中のＨ2 と反応してＨＦとなる。ＨＦ
は周知のとおり非常に腐食性が強く、樹脂コーティング
を腐食し、粉化してしまう。特に、生成物の発生するプ
ロセスに採用される真空ポンプは、生成物がケーシング
内で固化して堆積するのを防止するために高温にしてい
るので、ＨＦの反応が促進され、樹脂コーティングに剥
離が生じる。
め、プロセスガス中のＨ2 と反応してＨＦとなる。ＨＦ
は周知のとおり非常に腐食性が強く、樹脂コーティング
を腐食し、粉化してしまう。特に、生成物の発生するプ
ロセスに採用される真空ポンプは、生成物がケーシング
内で固化して堆積するのを防止するために高温にしてい
るので、ＨＦの反応が促進され、樹脂コーティングに剥
離が生じる。
【００１２】スクリューロータ１５の表面，内筒部１ａ
の表面に施した厚さ２５〜３０ミクロンの樹脂コーティ
ングが剥離すると、スクリューロータ１５と内筒部１ａ
との間に直径で１００〜１２０ミクロンの隙間が発生
し、真空ポンプの性能が極端に悪化する。ドライ真空ポ
ンプでは封液を使用していない関係で、この隙間の拡大
は重大な欠陥になる。
の表面に施した厚さ２５〜３０ミクロンの樹脂コーティ
ングが剥離すると、スクリューロータ１５と内筒部１ａ
との間に直径で１００〜１２０ミクロンの隙間が発生
し、真空ポンプの性能が極端に悪化する。ドライ真空ポ
ンプでは封液を使用していない関係で、この隙間の拡大
は重大な欠陥になる。
【００１３】スクリューロータ１５，ケーシング１をコ
ーティングしないで耐食性に優れた材料を使用すること
が考えられるが、耐食性のある材料としてのＳＵＳ（ス
テンレス）材は難切削材であるため、スクリューロータ
１５のように形状が複雑で且つ高い寸法精度が要求され
るものには不適当であり、しかも、熱膨張係数が大き
く、且つ、焼付を起こし易い欠点があるので、使用でき
ない。
ーティングしないで耐食性に優れた材料を使用すること
が考えられるが、耐食性のある材料としてのＳＵＳ（ス
テンレス）材は難切削材であるため、スクリューロータ
１５のように形状が複雑で且つ高い寸法精度が要求され
るものには不適当であり、しかも、熱膨張係数が大き
く、且つ、焼付を起こし易い欠点があるので、使用でき
ない。
【００１４】そのために、機械的強度の高い球状黒鉛鋳
鉄にＮｉを添加して耐食性をもたせた材料でスクリュー
ロータ１５，ケーシング１を作成したが、Ｎｉの添加量
によって熱膨張係数が異なり、軟鋼製のロック機構１７
との熱膨張係数が相違するために、運転中にロック機構
１７が緩んでタイミンググヤ１６，１９にスリップが生
じ、スクリューロータ１５が相互に接触する問題が生じ
る。
鉄にＮｉを添加して耐食性をもたせた材料でスクリュー
ロータ１５，ケーシング１を作成したが、Ｎｉの添加量
によって熱膨張係数が異なり、軟鋼製のロック機構１７
との熱膨張係数が相違するために、運転中にロック機構
１７が緩んでタイミンググヤ１６，１９にスリップが生
じ、スクリューロータ１５が相互に接触する問題が生じ
る。
【００１５】又、軸部１５ｂを支承するベアリング１４
と軸受函１３のベアリング嵌合部がクリープ現象を起こ
したり、ベアリング１４の損傷等の誘因となっていた。
本発明は、Ｎｉの添加量によって熱膨張係数が異なるこ
とを逆に利用して、軟鋼製のロック機構１７と同一の熱
膨張係数のＮｉ含有球状黒鉛鋳鉄を作り、上記の問題を
解決しようとするものである。
と軸受函１３のベアリング嵌合部がクリープ現象を起こ
したり、ベアリング１４の損傷等の誘因となっていた。
本発明は、Ｎｉの添加量によって熱膨張係数が異なるこ
とを逆に利用して、軟鋼製のロック機構１７と同一の熱
膨張係数のＮｉ含有球状黒鉛鋳鉄を作り、上記の問題を
解決しようとするものである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、吸入口と吐出口に連通する内筒部を有
するケーシングと、該ケーシングに支承される軸部に、
軸直角断面形状がクインビー曲線，円弧，疑アルキメデ
ス曲線により形成される螺旋状の歯形部が一体的に設け
られ、該歯形部が相互に噛み合った状態で上記内筒部内
に収容される複数のスクリューロータと、該複数のスク
リューロータの軸にそれぞれ装着され相互に噛み合うタ
イミングギヤと、該タイミングギヤを上記軸に固定する
ロック機構とを備えたドライ真空ポンプにおいて、上記
上記スクリューロータの材質を、質量比で２０〜３０％
のＮｉを含有する球状黒鉛鋳鉄材として、軟鋼製の上記
ロック機構とほぼ同一の熱膨張係数にしたものである。
めに、本発明は、吸入口と吐出口に連通する内筒部を有
するケーシングと、該ケーシングに支承される軸部に、
軸直角断面形状がクインビー曲線，円弧，疑アルキメデ
ス曲線により形成される螺旋状の歯形部が一体的に設け
られ、該歯形部が相互に噛み合った状態で上記内筒部内
に収容される複数のスクリューロータと、該複数のスク
リューロータの軸にそれぞれ装着され相互に噛み合うタ
イミングギヤと、該タイミングギヤを上記軸に固定する
ロック機構とを備えたドライ真空ポンプにおいて、上記
上記スクリューロータの材質を、質量比で２０〜３０％
のＮｉを含有する球状黒鉛鋳鉄材として、軟鋼製の上記
ロック機構とほぼ同一の熱膨張係数にしたものである。
【００１７】上記ロック機構は、上記軸部の端部外周面
に嵌合する嵌合部と先端が上記タイミングギヤに当接す
る押動突起とを有するロック部材と、該押動突起を上記
タイミングギヤに押付ける締付け部材とにより構成され
る構造とすることができる。
に嵌合する嵌合部と先端が上記タイミングギヤに当接す
る押動突起とを有するロック部材と、該押動突起を上記
タイミングギヤに押付ける締付け部材とにより構成され
る構造とすることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】本発明は、図１に示すドライ真空
ポンプに適用するので、図１の真空ポンプと同一の部品
符号を使用し、その詳細説明を省略する。図３は、球状
黒鉛鋳鉄に含有されるＮｉの比率（質量比）％を横軸に
とったときの線膨張係数αを縦軸に示すものであり、Ｎ
ｉの含有量によって線膨張係数αが大きく変化すること
が判る。ロック機構１７は、通常の軟鋼と同じく、線膨
張係数が１０〜１２×１０-6mm/ ℃であり、Ｎｉの含有
量を２８〜３０％とした球状黒鉛鋳鉄に等しい。
ポンプに適用するので、図１の真空ポンプと同一の部品
符号を使用し、その詳細説明を省略する。図３は、球状
黒鉛鋳鉄に含有されるＮｉの比率（質量比）％を横軸に
とったときの線膨張係数αを縦軸に示すものであり、Ｎ
ｉの含有量によって線膨張係数αが大きく変化すること
が判る。ロック機構１７は、通常の軟鋼と同じく、線膨
張係数が１０〜１２×１０-6mm/ ℃であり、Ｎｉの含有
量を２８〜３０％とした球状黒鉛鋳鉄に等しい。
【００１９】Ｎｉの含有量を２８〜３０％とした球状黒
鉛鋳鉄の耐食性は、
鉛鋳鉄の耐食性は、
【００２０】の表１に示すように鋳鉄に比較すると優れ
ていることが判った。即ち、鋳鉄，球状黒鉛鋳鉄，２８
〜３０％Ｎｉ含有球状黒鉛鋳鉄の希塩酸に対する腐食速
度を比較すると、９０．４：１２．４：１となり、Ｎｉ
含有球状黒鉛鋳鉄は耐食性を充分に具備していることが
判る。
ていることが判った。即ち、鋳鉄，球状黒鉛鋳鉄，２８
〜３０％Ｎｉ含有球状黒鉛鋳鉄の希塩酸に対する腐食速
度を比較すると、９０．４：１２．４：１となり、Ｎｉ
含有球状黒鉛鋳鉄は耐食性を充分に具備していることが
判る。
【００２１】
【表１】
【００２２】スクリューロータ１５を２８〜３０％Ｎｉ
含有球状黒鉛鋳鉄とした場合には、ロック機構１７と熱
膨張係数が同一になるので、ロック機構１７に緩みを生
じてタイミングギヤ１６，１９がスリップする問題は生
じないが、運転時の温度上昇で熱膨張したスクリューロ
ータ１５がロック機構１７を多少締めつけても構わない
ので、本発明では、球状黒鉛鋳鉄のＮｉ含有比率（質量
比）を幅を広げて２０〜３０％する。
含有球状黒鉛鋳鉄とした場合には、ロック機構１７と熱
膨張係数が同一になるので、ロック機構１７に緩みを生
じてタイミングギヤ１６，１９がスリップする問題は生
じないが、運転時の温度上昇で熱膨張したスクリューロ
ータ１５がロック機構１７を多少締めつけても構わない
ので、本発明では、球状黒鉛鋳鉄のＮｉ含有比率（質量
比）を幅を広げて２０〜３０％する。
【００２３】スクリューロータ１５は歯形部１５ａと軸
部１５ｂが、Ｎｉ含有比率（質量比）球状黒鉛鋳鉄で一
体鋳造され、主ケーシング１も同一材料により構成され
るので、腐食性の強いガスを吸引することが出来、運転
時にスクリューロータ１５が１５０〜２００℃に温度上
昇しても、ロック機構１７が緩まないので、タイミング
ギヤ１６，１９をキーで固定する面倒な加工をしなくて
も、タイミングギヤ１６，１９がスリップする恐れはな
い。
部１５ｂが、Ｎｉ含有比率（質量比）球状黒鉛鋳鉄で一
体鋳造され、主ケーシング１も同一材料により構成され
るので、腐食性の強いガスを吸引することが出来、運転
時にスクリューロータ１５が１５０〜２００℃に温度上
昇しても、ロック機構１７が緩まないので、タイミング
ギヤ１６，１９をキーで固定する面倒な加工をしなくて
も、タイミングギヤ１６，１９がスリップする恐れはな
い。
【００２４】ロック機構１７は、締付け部材２１を締め
るだけでよいので、タイミングギヤ１６，１９の固定が
簡単であり、又、締付け部材２１を緩めれば簡単にタイ
ミングギヤ１６，１９を緩めることができるので、タイ
ミングギヤ１６，１９相互のギャップ調整を容易に行う
ことができる。
るだけでよいので、タイミングギヤ１６，１９の固定が
簡単であり、又、締付け部材２１を緩めれば簡単にタイ
ミングギヤ１６，１９を緩めることができるので、タイ
ミングギヤ１６，１９相互のギャップ調整を容易に行う
ことができる。
【００２５】
【発明の効果】本発明は、以上述べたように構成されて
いるので、次に記載されるような効果を奏する。 (1) スクリューロータは、軸部と歯形部が一体鋳造され
るので、軸部と歯形部を別体型にしたときのように両者
を嵌合する工数が省け、原価低減する効果がある。又、
一体構造のために、ねじ底の径を軸部の径と同一にする
ことができるので、スクリューロータの１回転当たりの
流体押し退け量を大きくすることができる。 (2) スクリューロータ及びケーシングをＮｉ含有球状黒
鉛鋳鉄製としたので、ハードプロセスの半導体製造工程
に使用するドライ真空ポンプにおいても、樹脂をコーテ
ィングする必要がなくなり、従って樹脂コーティングが
剥離してポンプ性能が低下する問題が解決できた。 (3) Ｎｉ含有球状黒鉛鋳鉄のＮｉを含有球比率を所定の
数値にすることによりロック機構に緩みが生じることは
なく、従ってタイミングギヤがスリップする問題は起こ
らない。
いるので、次に記載されるような効果を奏する。 (1) スクリューロータは、軸部と歯形部が一体鋳造され
るので、軸部と歯形部を別体型にしたときのように両者
を嵌合する工数が省け、原価低減する効果がある。又、
一体構造のために、ねじ底の径を軸部の径と同一にする
ことができるので、スクリューロータの１回転当たりの
流体押し退け量を大きくすることができる。 (2) スクリューロータ及びケーシングをＮｉ含有球状黒
鉛鋳鉄製としたので、ハードプロセスの半導体製造工程
に使用するドライ真空ポンプにおいても、樹脂をコーテ
ィングする必要がなくなり、従って樹脂コーティングが
剥離してポンプ性能が低下する問題が解決できた。 (3) Ｎｉ含有球状黒鉛鋳鉄のＮｉを含有球比率を所定の
数値にすることによりロック機構に緩みが生じることは
なく、従ってタイミングギヤがスリップする問題は起こ
らない。
【図１】ドライ真空ポンプの横断面図である。
【図２】図１の部分拡大図である。
【図３】球状黒鉛鋳鉄のＮｉ含有球比率と線膨張係数の
関係を示す図面である。
関係を示す図面である。
１ 主ケーシング １ａ 内筒部 ２ 吸入側サイドケース ３ 吐出側サイドケース ４ ギヤケース ５ モータ ６ 吸入口 ７ 吐出口 １５ スクリューロータ １５ａ 歯形部 １５ｂ 軸部 １６，１９ タイミングギヤ １７ ロック機構 ２０ ロック部材 ２１ 締付け部材 ２２ 嵌合部 ２５ 押動突起
Claims (2)
- 【請求項１】 吸入口と吐出口に連通する内筒部を有す
るケーシングと、該ケーシングに支承される軸部に、軸
直角断面形状がクインビー曲線，円弧，疑アルキメデス
曲線により形成される螺旋状の歯形部が一体的に設けら
れ、該歯形部が相互に噛み合った状態で上記内筒部内に
収容される複数のスクリューロータと、該複数のスクリ
ューロータの軸にそれぞれ装着され相互に噛み合うタイ
ミングギヤと、該タイミングギヤを上記軸に固定するロ
ック機構とを備えたドライ真空ポンプにおいて、 上記スクリューロータの材質は、質量比で２０〜３０％
のＮｉを含有する球状黒鉛鋳鉄材であり、軟鋼製の上記
ロック機構とほぼ同一の熱膨張係数を有することを特徴
とするドライ真空ポンプ。 - 【請求項２】 上記ロック機構は、上記軸部の端部外周
面に嵌合する嵌合部と先端が上記タイミングギヤに当接
する押動突起とを有するロック部材と、該押動突起を上
記タイミングギヤに押付ける締付け部材とにより構成さ
れることを特徴とする請求項１記載のドライ真空ポン
プ。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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-
1998
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