JPH11268132A - フッ素樹脂系フィルムの融着方法及び脱気装置 - Google Patents

フッ素樹脂系フィルムの融着方法及び脱気装置

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JPH11268132A
JPH11268132A JP10095433A JP9543398A JPH11268132A JP H11268132 A JPH11268132 A JP H11268132A JP 10095433 A JP10095433 A JP 10095433A JP 9543398 A JP9543398 A JP 9543398A JP H11268132 A JPH11268132 A JP H11268132A
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fluororesin
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fused
melting point
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Takushi Yokota
琢司 横田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 接合部のシールの信頼性が高いフッ素樹脂系
フィルムの融着方法を提供する。また、接合部のシール
の信頼性を高めるフッ素樹脂系フィルムの融着方法によ
り作製した封筒状膜構造体を用いた脱気性能にすぐれた
脱気装置を提供する。 【解決手段】 フッ素樹脂系フィルム同士を重ね合わ
せ、この重ね合わせ面の一部に融着部を形成させる方法
であって、フッ素樹脂系フィルム同士を重ね合わせる工
程と、この重ね合わせたものにおいて形成すべき融着部
に沿って、該フッ素樹脂系フィルムの融点と同一又はよ
り高い融点を有する補強フィルムを、この重ね合わせた
ものの少なくとも一方の外面からあてがう工程と、この
あてがった部位において少なくともフッ素樹脂系フィル
ムを溶融させて融着部を形成する工程とを含むことを特
徴とするフッ素樹脂系フィルムの融着方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】本発明は、フッ素樹脂系フィルム同士を重
ね合わせて線状の融着部を形成させる融着方法及びその
方法により周囲が閉じられた封筒状膜構造体を用いた脱
気装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】化学品製造、食品製造、医療、半導体製
造等の種々の分野において、液体中に溶存している気体
の脱気が要求されることが多々ある。このような脱気に
使用される装置として、溶存気体を透過させる多孔質高
分子膜材からなる構造体をスパイラル状あるいはプリー
ツ状に重ねてモジュール化したものが知られている。こ
のタイプの装置では、膜材の片側を液体流路とし、膜材
の他側を減圧条件にされた除去気体流路として、脱気を
行っている。
【０００３】上記の脱気装置における多孔質高分子膜材
からなる構造体には、通常、封筒状のものが使用されて
いる。この膜構造体は、例えば、２枚の多孔質高分子膜
フィルムを用い、周囲の片を接合するか、あるいは１枚
の多孔質高分子膜フィルムを二つに折り返し、周囲の片
を接合することにより、封筒状のものとしている。
【０００４】ところで、この封筒状膜構造体に使用され
る多孔質高分子膜材としては、液体に対しては不透過性
を示すとともに気体に対して良好な透過性を示すこと、
及び耐溶剤性、耐油性等にすぐれるという観点からフッ
素樹脂系フィルムの使用が有利である。一方、上記封筒
状の膜構造体を作製する際のフィルム接合方法には、接
着剤を用いる方法（例えば特開平２−２１２９０号公報
等）、熱融着する方法（例えば実開平７−９４３０号公
報等）が主に使用されている。
【０００５】しかし、前者の接着剤を用いる方法でフッ
素樹脂系フィルム同士を接合した場合、接着剤の硬化に
時間がかかるので生産性が悪い、溶剤耐性、耐油性に優
れたオールフッ素の脱気装置とすることができない、等
の不具合があった。後者の熱融着による方法でフッ素樹
脂系フィルム同士を接合するには、フッ素樹脂系フィル
ムを直接ヒーターで加熱するか、保護フィルムを介して
間接的にヒーターで加熱して融着している。ところが、
フッ素樹脂系フィルムを直接ヒーターで加熱するとフッ
素樹脂がヒーター又はヒーター保護フィルムに接着する
ためシール性に問題がある上、ヒーター又はヒーター保
護フィルムを融着のたびに清掃しなければならないとい
う不具合があった。また、フッ素樹脂系フィルムを保護
フィルムを介して間接的に加熱すると、ヒーター保護フ
ィルムに接着するためシール性に問題がある上、ヒータ
ー保護フィルムを融着のたびに清掃しなければならない
という不具合があった。上記のようにシール性に問題が
ある接合方法で作製した封筒状膜構造体を脱気装置に使
用すると、脱気性能の寿命低下を招くという問題があ
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
従来技術の不具合を解消し、接合部のシールの信頼性が
高いフッ素樹脂系フィルムの融着方法を提供することを
その課題とする。また、本発明は、接合部のシールの信
頼性を高めるフッ素樹脂系フィルムの融着方法により作
製した封筒状膜構造体を用いた脱気性能にすぐれた脱気
装置を提供することを別の課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記課題
を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、本発明を完成する
に至った。即ち、本発明によれば、フッ素樹脂系フィル
ム同士を重ね合わせ、この重ね合わせ面の一部に融着部
を形成させる方法であって、フッ素樹脂系フィルム同士
を重ね合わせる工程と；この重ね合わせたものにおいて
形成すべき融着部に沿って、該フッ素樹脂系フィルムの
融点と同一又はより高い融点を有する補強フィルムを、
この重ね合わせたものの少なくとも一方の外面からあて
がう工程と；このあてがった部位において少なくともフ
ッ素樹脂系フィルムを溶融させて熱融着部を形成する工
程とを含むことを特徴とするフッ素樹脂系フィルムの融
着方法が提供される。また、本発明によれば、ケーシン
グと；スパイラル状又はプリーツ状に重ねられ該ケーシ
ングに収納されたフッ素樹脂系フィルムからなる周囲が
閉じられた封筒状膜構造体と；該膜構造体の内部を減圧
雰囲気にするために該膜構造体に設けられた排気用部材
と；該膜構造体の内部に配置された気体流路形成材と；
該膜構造体の内部又は外部に配置された液体流路形成材
と；該ケーシングに形成された液体供給口と；該ケーシ
ングに形成された、該液体供給口から流入し該膜構造体
に接触して通過した液体を排出するための液体排出口を
有する脱気装置において、該膜構造体は、周囲の少なく
とも一部が上記記載の融着方法により閉じられているこ
とを特徴とする脱気装置が提供される。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下本発明によるフッ素系樹脂フ
ィルムの融着方法について詳述する。本発明の融着方法
は、フッ素樹脂系フィルム同士を重ね合わせ、この重ね
合わせ面の一部に線状の融着部を形成させる方法であっ
て、（ａ）フッ素樹脂系フィルム同士を重ね合わせる工
程（重ね合わせ工程）と、（ｂ）この重ね合わせたもの
において形成すべき融着部に沿って、該フッ素樹脂系フ
ィルムの融点と同一又はより高い融点を有する補強フィ
ルムを、この重ね合わせたものの片面又は両面にあてが
う工程（あてがい工程）と、（ｃ）このあてがった部位
において少なくともフッ素樹脂系フィルムを溶融させて
熱融着部を形成する工程（融着工程）を含むことを特徴
とする。
【０００９】本発明においては融着対象をフッ素樹脂系
フィルムとしているが、このフッ素樹脂系フィルムは、
気体透過性かつ液体不透過性であり、しかも耐熱性、耐
油性、耐界面活性剤性、耐溶剤性等にすぐれるため、脱
気装置における溶存気体を透過させる膜構造体のみなら
ず、ガス吸着、ガス分離用の膜材料等として利用するこ
とができる。
【００１０】本発明において用いるフッ素樹脂系フィル
ムとしては、ポリテトラフルオロエチレン、テトラフル
オロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共
重合体、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロ
ピレン共重合体、テトラフルオロエチレン−エチレン共
重合体、クロロトリフルオロエチレン−エチレン共重合
体、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリビニリデン
フルオライド等がある。
【００１１】本発明においては、フッ素樹脂系フィルム
同士を重ね合わせて融着部を形成するが、この場合、２
枚の平面状フッ素樹脂系フィルムを融着対象としてもよ
いし、１枚の平面状フッ素樹脂系フィルムを二つ折りし
たものを融着対象としてもよい。また、筒状のフッ素樹
脂フィルム同士を融着対象としてもよい。本発明で用い
るフッ素樹脂系フィルムの融点は、一般に１７０〜３３
０℃程度である。本発明で用いるフッ素樹脂系フィルム
の厚さは１〜５００μｍ、好ましくは１０〜２００μｍ
である。また、本発明において２枚のフッ素樹脂系フィ
ルムを融着対象とする場合、各フィルムの樹脂材質及び
厚さはそれぞれ同じでもよいし、異なっていてもよい。
また、該フッ素樹脂系フィルムは、充実フィルムであっ
ても、多孔質フィルムであってもよく、用途に応じて適
宜選択することができる。
【００１２】本発明においてはフッ素樹脂系フィルムの
融着に補強フィルムを用いるが、この補強フィルムに
は、フッ素樹脂系フィルムに用いたと同様のフッ素樹脂
材料、即ちポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオ
ロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重
合体、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピ
レン共重合体、テトラフルオロエチレン−エチレン共重
合体、クロロトリフルオロエチレン−エチレン共重合
体、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリビニリデン
フルオライド等の高分子材料からなるフィルムが使用で
きる。融着対象であるフッ素樹脂系フィルムと補強フィ
ルムの樹脂材質は異なっていてもよいし、同一であって
もよい。
【００１３】本発明で用いる補強フィルムの厚さは、１
〜５００μｍ、好ましくは１０〜２００μｍである。該
補強フィルムにおいて、その幅は０．１〜２０ｍｍ、好
ましくは１〜５ｍｍだけ融着幅より大きくし、その長さ
は融着対象に応じて任意に設定可能である。また、該補
強フィルムの融点は、融着対象であるフッ素樹脂系フィ
ルムの融点と同じかそれ以上であり、より好ましくは該
フッ素樹脂系フィルムの融点より１５〜１６０℃だけ高
い温度、さらに好ましくは該フッ素樹脂系フィルムの融
点より１５〜７０℃だけ高い温度である。補強フィルム
の融点が融着対象であるフッ素樹脂系フィルムの融点よ
り低い場合は、補強フィルムが融けすぎ融着部を保護す
る膜の役割を果たさなくなる。また補強フィルムの融点
が融着対象であるフッ素樹脂系フィルムの融点よりかな
り高くなりすぎる場合は、従来のヒーターを保護フィル
ムでカバーしてフッ素樹脂系フィルムを加熱して、融着
するのと変わらず、補強フィルムは融着対象であるフッ
素樹脂系フィルムに融着されない。本発明において補強
フィルムは、重ね合わせたフッ素樹脂系フィルムの片側
にあてがってもよいし、両側にあてがってもよい。
【００１４】本発明において熱融着シール長さは任意の
値に設定することができる。加熱手段としてテープ状ヒ
ーターを用いた場合、１回で融着できるシール最大長さ
は、ヒーター長さで決まるが、複数回繰り返すことによ
りシール長さは、任意に設定できる。また、ローラー状
ヒーターの場合も、ローラーを連続運転することによ
り、シール長さは任意に設定できる。
【００１５】本発明において熱融着に使用する加熱手段
としては、金属製加熱平板ヒーターで構成されたテープ
状ヒーター、金属製加熱ローラーで構成されたローラー
状ヒーター、金属製ワイヤー状ヒーター等がある。
【００１６】本発明の融着方法は、少なくとも上記の
（ａ）重ね合わせ工程、（ｂ）あてがい工程、（ｃ）融
着工程からなるが、以下各工程について説明する。
【００１７】先ず、（ａ）の重ね合わせ工程において、
融着対象が２枚の平面状フッ素樹脂系フィルムである場
合、シールすべき部位を合わせて両フィルムを重ね合わ
せる。融着対象が１枚の平面状フッ素樹脂系フィルムの
二つ折り構造体である場合、シールすべき部位が一致す
るように１枚のフィルムを適所で折り曲げ、重ね合わせ
る。融着対象が筒状フィルムの端部の場合、シールすべ
き部位を合わせて両者を重ね合わせる。
【００１８】次に、（ｂ）のあてがい工程では、前記工
程で重ね合わせたフィルム同士において形成すべき融着
部に沿って、適切な幅及び長さの補強フィルムを、これ
らの片面又は両面にあてがう。この場合、補強フィルム
の樹脂材質は、前述したような融点のものを選択する。
補強フィルムを片面にあてがうか、又は両面にあてがう
かは、融着対象のフィルム樹脂材質、用途、ヒーター形
式等に応じて決定する。例えば、融着すべき二面のフィ
ルムの融点差が大きい場合には片側（融点の高い側）に
補強フィルムをあてがい、融着すべき二面のフィルムの
融点差がないか又は小さい場合には補強フィルムを両側
にあてがう、等とする。
【００１９】最後に、（ｃ）の融着工程では、あてがっ
た部位において、少なくともフッ素樹脂系フィルムを溶
融させて融着部を形成する。この場合、加熱温度は、接
合すべき２つの融着フィルムのうちの融点の低い方の融
点以上で補強フィルムの融点より５０℃高い温度以下、
好ましくは接合すべき２つの融着フィルムのうちの融点
の低い方の融点より３０℃高い温度以上で補強フィルム
の融点より３０℃高い温度以下であり、加熱時間は０．
１〜１００秒、好ましくは２〜１０秒である。加熱手段
としては、前述したテープ状ヒーター、ローラー状ヒー
ター、ワイヤー状ヒーター等を用いることができる。
【００２０】本発明により、フッ素樹脂系フィルムの融
着を行う場合には、全ての融着部位において上記融着方
法を用いてもよいし、従来の融着方法と併用してもかま
わない。
【００２１】本発明の方法によりフッ素樹脂系フィルム
の融着を行った場合、重ね合わせたフッ素樹脂系フィル
ムの少なくとも一方の外面からあてがう補強フィルムの
融点が、該フッ素樹脂系フィルムの融点と等しいかそれ
以上のものであるため、加熱温度を適切な値に制御する
ことにより、融着対象のフッ素樹脂系フィルム同士がな
じんだ状態で融着するとともに、補強フィルムが溶けす
ぎることがないためその融着部を保護する膜の役割を果
たし、全体として、あてがったフッ素樹脂系フィルムと
補強フィルムによる、リークがなく、脱気性能を低下さ
せない、一体的な、すぐれた熱融着部が形成されること
になる。
【００２２】次に、本発明の融着方法を用いて作製した
封筒状膜構造体を利用した脱気装置について述べる。即
ち、この脱気装置は、ケーシングと；スパイラル状又は
プリーツ状に重ねられ該ケーシングに収納されたフッ素
樹脂系フィルムからなる周囲が閉じられた封筒状膜構造
体と；該膜構造体の内部を減圧雰囲気にするために該膜
構造体に設けられた排気用部材と；該膜構造体の内部に
配置された気体流路形成材と；該膜構造体の内部又は外
部に配置された液体流路形成材と；該ケーシングに形成
された液体供給口と；該ケーシングに形成された、該液
体供給口から流入し該膜構造体に接触して通過した液体
を排出するための液体排出口とを有する脱気装置におい
て、該膜構造体は、周囲の少なくとも一部が上記した融
着方法により閉じられていることを特徴とするものであ
る。
【００２３】本発明で用いる膜構造体は、フッ素樹脂系
フィルムからなり、周囲が閉じられた封筒状をなすもの
であり、周囲の少なくとも一部は、上記の本発明の融着
方法により閉じられているものである。即ち、融着すべ
き辺のすべてを本発明の融着方法により融着してもよい
し、他の融着方法と併用することもできる。
【００２４】脱気装置に使用する膜構造体材料として
は、液体に対しては不透過性、気体に対しては良好な透
過性を示し、かつ耐溶剤性、耐油性、耐界面活性剤性、
耐熱性等が良好であるものが好ましい。本発明で用いる
フッ素樹脂系材料はこのような必要特性を満足する。膜
構造体材料は単体フィルムで用いてもよいし、積層フィ
ルムで用いてもよい。膜構造体材料に用いるフッ素樹脂
系フィルムの厚さは１〜５００μｍ、好ましくは１０〜
２００μｍである。フッ素樹脂系フィルムの厚さが上記
範囲より薄いと、取扱い性、耐圧力性、長期耐久性に欠
けるようになり、上記範囲より厚くなるとガス透過性が
低下する。
【００２５】本発明で用いる膜構造体は、封筒状のもの
であり、その寸法は任意の値に設定することができる
が、脱気装置の寸法を考慮に入れると、通常、幅が５〜
１００ｃｍ程度、長さが１〜２０ｍ程度であるのが好ま
しい。膜構造体の長さが長くなりすぎると、減圧にかか
る時間が長くなり、初期の脱気に問題が生じてくる。ま
た、膜構造体の長さが短くなりすぎると、十分な脱気を
行うことができなくなる。
【００２６】本発明で用いる膜構造体の内部には、除去
気体の流路を形成するための気体流路形成材が設けられ
る。この気体流路形成材としては、その内部を除去空気
が移動できるものであればよく、例えばナイロン、ポリ
エステルのニット、ナイロンのクロス織布、ウレタンス
ポンジ、ポリエステル、ポリプロピレンのネット、金属
ネット等からなる布帛を用いることができ、この布帛の
形態は織り物、編み物、スポンジ、不織布、ネット等と
することができる。この気体流路形成材は、その厚さが
０．１〜４ｍｍ程度であるのが好ましく、その幅及び長
さは、膜構造体の幅及び長さより若干（２〜１０ｍｍ程
度）短いか同じであることが好ましい。
【００２７】本発明では、気体流路形成材として、上記
のような材料からなる布帛の片面又は両面に合成樹脂の
多孔質フィルムを積層した構造のものを用いることもで
きる。この場合、合成樹脂の多孔質フィルムとしては、
ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン樹脂
の多孔質体、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリ塩
化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリエステル等の多孔
質体、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニ
ル、ポリフッ化ビニリデン等のフッ素系樹脂の多孔質体
等を使用することができる。この多孔質フィルムは、平
均孔径が０．０１〜１００μｍ、空孔率が３０〜９７
％、厚さが５〜１００μｍ程度であるのが好ましい。布
帛の表面に合成樹脂を積層する方法としては、例えばグ
ラビアロールを用いて接着剤を転写しラミネートする方
法、熱融着による方法等を使用することができる。この
ような構造の気体流路形成材を用いると、膜構造体を真
空引きして減圧状態とするときに膜構造体を構成する薄
膜フィルム同士のくっつきを効果的に防止することがで
き、目標真空度に到達するまでの時間をより短縮するこ
とができ、また、膜構造体を構成する薄膜フィルムの損
傷を防止するという利点がある。
【００２８】本発明で用いる膜構造体は、その内部が減
圧になるように、適所（例えば端部）に真空引きのため
の排気用部材が取り付けられる。この排気用部材として
は、例えば適宜の材料からなるチューブ状のものを用い
ることができ、特開平９−２２５２０６号公報に記載の
ものと同様、膜構造体に設けられた開口部に排気用チュ
ーブの一端が熱融着等により接合された構造とすること
ができる。この排気用チューブに使用できる材料として
は、テトラフルオロエチレン−パーフルオロビニルエー
テル共重合体、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオ
ロプロピレン共重合体等がある。該排気用チューブを用
いる場合、その外径は４〜１０ｍｍ、肉厚は０．５〜１
ｍｍ程度が好ましい。
【００２９】また、本発明では、排気用部材として図４
に示すような構造を有する芯材を用いることができる。
このような芯材は、熱可塑性樹脂からなり、排気用通路
とこれに続く気体排出口を有するもので、特にスパイラ
ル型脱気装置に適用して好適なものである。図中１１は
芯材、１１Ｓは芯材表面、１２は中空部、１３は連通
孔、１４は気体排出口である。該芯材に使用される熱可
塑性樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、テ
トラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエ
ーテル共重合体、テトラフルオロエチレン−ヘキサフル
オロプロピレン共重合体、ポリテトラフルオロエチレン
等がある。樹脂の選択は、使用する液体や使用する温度
環境に合わせて適宜選択できる。該芯材は単一の樹脂材
料で形成されていてもよいし、異なる樹脂材料又は同一
の樹脂材料の積層構造であってもよい。該芯材の外形状
は、柱状であることが好ましく、その断面は円形の他、
楕円形状、多角形状等のものを採用することができる
が、一般的には断面が円形のものが好ましい。芯材は、
その外径は５〜５０ｍｍ、好ましくは１０〜３０ｍｍで
あり、その長さは１０〜２０００ｍｍ、好ましくは５０
〜１０００ｍｍである。該芯材において気体排出口は、
通常、その長手方向の一端側又は両端側に形成すること
ができる。この場合、気体排出口は芯材の端面に形成し
てもよい。また、該芯材において排気用通路は、その長
手方向に沿った細長い中空部から構成することができ
る。前記中空部は気体排出口につながる。
【００３０】上記のような芯材を用いる場合、芯材と膜
構造体とは、芯材の表面の一部と膜構造体の一表面の一
部とにおいて接合されるが、この接合は熱融着により行
うのが好ましい。熱融着される部分の大きさは直径約２
〜４０ｍｍ、好ましくは直径約５〜２０ｍｍ程度であ
る。熱融着方法としては、例えば、芯材と膜構造体との
接合されるべき部位を重ね合せた状態で同時にヒートガ
ンで加熱して接合する方法、芯材と膜構造体との少なく
とも一方を加熱した後、両者の接合されるべき部位を重
ね合わせて接合する方法等を用いることができる。後者
の方法は芯材と膜構造体とが異種材質のときなどに好適
である。該接合部においては、膜構造体の内部と芯材の
排気用通路を連通させるための小孔が形成される。この
小孔は１個でもよく複数個でもよい。孔径は０．１〜２
０ｍｍ、好ましくは２〜５ｍｍ程度である。小孔の形成
はボール盤加工、加熱した又は加熱していない針状治具
による貫通等の方法で行うことができる。上記のように
膜構造体と芯材との接合を行うと、シンプルな接合形態
にもかかわらず、小孔周辺の接合部位において、装置運
転時の応力が特定箇所に広がることなく全体に広がり、
全体として接合部位の機械的強度を非常に高めることが
できる。従って、装置のより長寿命化が達成できるよう
になる。
【００３１】また、上記の芯材と膜構造体との接合にお
いて、両者間に少なくとも１種以上の別の熱可塑性樹脂
を接着剤として介在させ、該介在させた熱可塑性樹脂の
熱融着により接合部を形成することができる。この場
合、接着剤として使用される熱可塑性樹脂の必要特性と
しては、芯材、膜構造体より融点が同じか又は低いこと
（これらの部材の融点より１５〜６０℃程度低いことが
望ましい）、使用される環境で機械的強度をある程度維
持させること等がある。使用される熱可塑性樹脂は、芯
材、膜構造体の材質に依存するが、例えば、テトラフル
オロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、テ
トラフルオロエチレン−エチレン共重合体等が例示でき
る。芯材と膜構造体との熱融着方法としては、例えば、
芯材と熱可塑性樹脂と膜構造体との接合されるべき部位
を重ね合せた状態で同時にヒートガンで加熱して接合す
る方法、芯材と熱可塑性樹脂と膜構造体とを別々に加熱
した後、これらの接合されるべき部位を重ね合わせて接
合する方法等を用いることができる。このような接合法
を採用すると、基本的には脱気を行う膜構造体自体を融
かして芯材に融着するのではなく、接着剤として介在さ
せる熱可塑性樹脂を融かして融着させるため、膜構造体
融着部及びその周辺にダメージを与えなくてすみ、接合
部位の機械的強度が向上する。
【００３２】本発明では、膜構造体の内部又は外部には
液体流路形成材が設けられ、重ね合わせられて、合成樹
脂あるいは金属等からなるケーシング内に収容されモジ
ュール化されるが、その重ね合わせの形態としては、ス
パイラル状又はプリーツ状であることが好ましい。
【００３３】液体流路形成材を膜構造体の外部に設ける
場合、その構造は、被脱気液体を適当な流速で通液させ
うるシート状のものが好ましく、例えばネット状、編布
状等の構造のものを用いることができる。また、液体流
路形成材の材質は、被脱気液体の種類に応じて適当なも
のを選択することができるが、通常、ポリプロピレン、
ポリエチレン、ポリエステル、テトラフルオロエチレン
−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、テトラフルオロ
エチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合
体等を用いることができる。この場合、液体流路形成材
において、その長さは膜構造体の長さとほぼ同じでよい
が、その幅については、膜構造体が液体流路をふさぐの
を防止するため、また膜構造体を保護するため膜構造体
の幅より若干（１〜２ｃｍ程度）広いことが望ましい。
液体流路形成材の設置により形成される液体流路部分の
隙間寸法は、５０〜１０００μｍ、好ましくは１００〜
４００μｍである。液体流路部分の隙間が上記範囲より
大きいと脱気性能が悪くなり、上記範囲より小さいと液
の圧力損失が高くなる。なお、液体流路形成材としてメ
ッシュ状のものを用いた場合には、被脱気液体の粘度に
応じてメッシュ寸法を変えることによっても液の圧力損
失を調整することができる。
【００３４】また、液体流路形成材を膜構造体の内部に
設ける場合、液体流路形成材は被脱気液体とは直接接液
しないので、減圧時に加わる圧縮力に耐える程度のもの
であればよく、接液しないため被脱気液体の種類によっ
てその材質は限定されない。この液体流路形成材として
は、通常、ポリエステル、ナイロン、ポリプロピレン、
テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニル
エーテル共重合体等のフッ素樹脂等の熱溶融性樹脂を用
いることができる。また、この液体流路形成材は減圧時
に、膜構造体の薄膜と密着して液体流路を形成できる形
状のものであればよく、例えばネット状のものや液の流
れ方向に谷ないし山が延びる繰り返し凹凸形状のもの等
とすることができる。
【００３５】液体流路形成材を膜構造体の内部に設ける
と、被脱気液体の種類によって液体流路形成材の材質が
限定されないので、特に、被脱気液体中への溶出があっ
てはいけない半導体装置分野での利用（例えば、シリコ
ンウェハーの洗浄液や現像液の脱気）等において、高価
なフッ素樹脂を用いる必要がなく、他の材質を使うこと
ができるという利点がある。
【００３６】また、本発明では、気体流路形成部材と液
体流路形成材を一つの部材、例えばネット状の部材で兼
用させることも可能である。この場合、圧力損失が大き
くなってしまわないよう、その形状、メッシュ寸法を適
切に設定する。
【００３７】本発明では、膜構造体の内部又は外部には
液体流路形成材が設けられ、スパイラル状又はプリーツ
状に重ねられて、合成樹脂あるいは金属等からなるケー
シング内に収容されモジュール化される。ケーシング材
料の合成樹脂としては、ポリプロピレン、ポリエチレ
ン、ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチ
レン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、
テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共
重合体、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体、
クロロトリフルオロエチレン−エチレン共重合体、ポリ
クロロトリフルオロエチレン、ポリビニリデンフルオラ
イド等がある。また、ケーシング材料の金属としては、
アルミニウム、ステンレススチール、カーボンスチー
ル、銅合金、チタン等がある。ケーシングには、被脱気
液体を供給するための液体供給口と、該液体供給口から
供給され該膜構造体の外表面に接して通過した液体を排
出するための液体排出口が形成されている。また、排気
用部材（排気用チューブ、芯材）の気体排出口には真空
ポンプ、真空エジェクター等の減圧手段が連結される。
【００３８】本発明による脱気装置は、封筒状膜構造体
として上記のような融着方法でその周囲の少なくとも一
部を閉じたものを用いたので、シール性にすぐれ、脱気
性能が向上し、装置のより長寿命化を図ることができ
る。また、本発明の脱気装置では、封筒状膜構造体にフ
ッ素系樹脂フィルムを用いているため、比較的濃度が高
い溶剤液、界面活性剤入り水溶液、油脂液等の脱気も可
能となる上、強酸、強アルカリの薬液に対しても使用可
能である。
【００３９】
【実施例】次に本発明の実施例を述べる。
【００４０】実施例１ 厚さ２５μｍのテトラフルオロエチレン−ヘキサフルオ
ロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）フィルム（ダイキン工
業社製）を、図１のように、幅２０ｃｍ、長さ３０ｃｍ
の２つ折り構造体とした。図中１が融着対象であるＦＥ
Ｐフィルムである。次に、この２つ折り構造体の一方の
短片側の両面に、図２のように、補強フィルムとして幅
２０ｍｍ、厚さ２５μｍのＦＥＰフィルム（ダイキン工
業社製）をあてがい、インパルスシーラーで２．５秒加
熱融着した。図２において２が補強フィルムである。こ
の補強フィルムは融着対象のフッ素樹脂系フィルムであ
るＦＥＰフィルムには融着したが、ヒーターからは簡単
に剥離した。次に、２つ折り構造体の長辺側に、図３の
ように、補強用フィルムとして幅２０ｍｍ、厚さ２５μ
ｍのＦＥＰフィルム（ダイキン工業社製）をあてがい、
上記と同様の条件で、インパルスシーラーで加熱融着し
た。この補強フィルムも同様に、融着対象のフッ素樹脂
系フィルムであるＦＥＰフィルムには融着したが、ヒー
ターからは簡単に剥離した。このようにしてＦＥＰから
なる封筒状の袋体が作製できた。なお、図３において３
が融着部、４が補強フィルムである。このＦＥＰの袋体
の中にエタノールを入れて入口を縛り、放置した後、融
着部からのエタノール漏れを目視で観測したところ、漏
れはなく、良好なシール性が確認された。
【００４１】実施例２ 厚さ２５μｍ、融点３０５℃のテトラフルオロエチレン
−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦ
Ａ）フィルム（ダイキン工業社製）を幅２０ｃｍ、長さ
８００ｃｍの２つ折り構造体とした。次に、この２つ折
り構造体の一方の短辺側の両面に、補強フィルムとして
幅２０ｍｍ、厚さ３０μｍ、空孔率８２％、融点３２７
℃のＰＴＦＥ多孔質膜（ジャパンゴアッテクス社製）を
あてがい、インパルスシーラーで３．５秒加熱融着し
た。この補強フィルムは融着対象であるＰＦＡフィルム
には融着したが、ヒーターからは簡単に剥雛した。次
に、２つ折り構造体の長辺側に、補強用フィルムとして
幅２０ｍｍ、厚さ３０μｍ、空孔率８２％、融点３２７
℃のＰＴＦＥ多孔質膜（ジャパンゴアテックス社製）を
あてがい、上記と同様の条件で、インパルスシーラーで
加熱融着した。この融着工程では、１回で長さ方向全部
にわたって融着ができなかったため、融着部の端を１ｃ
ｍほど重ねながら融着すべき長さ方向にわたって融着を
行った。この補強フィルムも同様に、融着対象のフッ素
樹脂系フィルムであるＰＦＡフィルムには融着したが、
ヒーターからは簡単に剥離した。このようにしてＰＦＡ
からなる封筒状の袋体が作製できた。このＰＦＡの袋体
の中にエタノールを入れて入口を縛り、放置した後、融
着部からのエタノール漏れを目視で観測したところ、実
施例１の場合と同様、漏れはなく、良好なシール性が確
認された。
【００４２】実施例３ 厚さ２５μｍ、融点２７６℃のＦＥＰフィルム（ダイキ
ン工業社製）を幅２０ｃｍ、長さ３０ｃｍの２つ折り構
造体とした。次に、この２つ折り構造体の一方の短辺側
の両面に、補強フィルムとして幅２０ｍｍ、厚さ３０μ
ｍ、空孔率８２％、融点３２７℃のＰＴＦＥ多孔質膜
（ジャパンゴアッテクス社製）をあてがい、インパルス
シーラーで２．５秒加熱融着した。この補強フィルムは
融着対象であるＦＥＰフィルムには融着したが、ヒータ
ーからは簡単に剥雛した。次に、２つ折り構造体の長辺
側に、補強用フィルムとして幅２０ｍｍ、厚さ３０μ
ｍ、空孔率８２％、融点３２７℃のＰＴＦＥ多孔質膜
（ジャパンゴアテックス社製）をあてがい、上記と同様
の条件で、インパルスシーラーで加熱融着した。この補
強フィルムも同様に、融着対象のフッ素樹脂系フィルム
であるＦＥＰフィルムには融着したが、ヒーターからは
簡単に剥離した。このようにしてＦＥＰからなる封筒状
の袋体が作製できた。このＦＥＰの袋体の中に界面活性
剤トライトンＸ（ポリオキシルエチレン（１０）オクチ
ルフェニルエーテル）１ｗｔ％水溶液を入れて入口を縛
り、放置した後、融着部からの液漏れを目視で観測した
ところ、実施例１及び２の場合と同様、漏れはなく、良
好なシール性が確認された。
【００４３】実施例４ 厚さ２５０μｍのポリエステル樹脂製ニット（東レ社
製：品番２０２０）の両面に厚さ３０μｍ、空孔率８２
％のＰＴＦＥ多孔質膜（ジャパンゴアッテクス社製）を
ラミネートし、気体流路形成材を作成した。一方、外径
３０ｍｍ、長さ２５０ｍｍのＰＦＡの細長い丸棒体に、
図４に示すように、一方の端面から内径５ｍｍ、長さ１
５ｃｍの中空孔をあけ、芯材とした。次に、芯材におい
て接合部を形成すべき部位を、図５のように直径１０ｍ
ｍ程度の範囲にわたって芯材の表面が溶けるまでヒート
ガンで加熱した。図中１５が溶融部分である。次に、実
施例２で作製した膜構造体（袋体）の内部に上記気体流
路形成材を挿入し膜構造体の未融着の１辺を広げ、芯材
の加熱部に、膜構造体の一面において接合部を形成すべ
き部位を図６のように密着させ、芯材の加熱部をヒート
ガンで加熱させ融着させ、接合部を形成した。芯材の取
付位置は、膜構造体の端部から５０ｍｍのところであ
る。なお、図６において１６が接合部（融着部）、２１
が封筒状膜構造体である。そして接合部の中央に図７の
ように芯材の中空孔まで達する直径２ｍｍの小孔をあ
け、その後膜構造体の未融着の１辺を融着し、膜構造体
と芯材の接合体を作製した。図７において、１６が接合
部（融着部）、１７が小孔（連通孔）である。一方、２
０メッシュ、厚さ０．５１ｍｍのＰＦＡのネット（グン
ゼ社製）を幅２１ｃｍ、長さ８ｍにカットして液体流路
形成材とした。この液体流路形成材を上記で作成した接
合体の上にそわせ、芯材を中心に図８のようにスパイラ
ル状に巻成し、直径９．８ｃｍの構造体とした。図中２
２は気体流路形成材、２３は液体流路形成材である。こ
の構造体をＰＦＡ製のカップ状ケーシング内に収納し、
図９の構造の脱気装置を作成した。ＰＦＡのケーシング
には、液体供給口及び液体排出口が設けられる。図９に
おいて２４はケーシング、２５は液体供給口、２６は液
体排出口、１４は気体排出口である。この脱気装置に配
管を施した後、水道水を用い次の条件でその特性を評価
した。 水流量 ２００ｃｃ／ｍｉｎ 真空度 １００Ｔｏｒｒ 水温 ２５℃ 液中の溶存酸素濃度 ８．１ｐｐｍ 測定の結果、装置出口における溶存酸素濃度は、２．７
ｐｐｍと良好な値であった。また、界面活性剤（ポリオ
キシルエチレン（１０）オクチルフェニルエーテル）を
１ｗｔ％含有する水道水を準備し、上記と同様な条件で
評価したところ、装置出口における溶存酸素濃度は、
２．８ｐｐｍと良好な値を示した。また、この脱気装置
に超純水を流し、次の条件でその特性を評価した。 超純水流量 ５００ｃｃ／ｍｉｎ 真空度 １００Ｔｏｒｒ 超純水比抵抗 １７．５ＭΩ・ｃｍ 液温 室温 測定の結果、装置出口における比抵抗は、１７．２ＭΩ
・ｃｍと良好な値であった。また、脱気装置内の水を抜
いた後、９８％エチルアルコールを流し、次の条件でそ
の特性を評価した。 液流量 ２００ｃｃ／ｍｉｎ 真空度 １００Ｔｏｒｒ 液温 ２５℃ 液中の溶存酸素濃度 ８．１ｐｐｍ （水用溶存酸素濃度計のため装置入口で８．１ｐｐｍに
調整した） 測定の結果、装置出口における溶存酸素濃度は、４．８
ｐｐｍと良好な値であった。また、界面活性剤（ポリオ
キシルエチレン（１０）オクチルフェニルエーテル）
０．５重量％含有する水道水を準備し、図１０のような
評価装置を準備し、次の条件で電磁弁の開時間２秒、閉
時間２秒を１サイクルとして、２００万サイクルの運転
を行った。 真空度 １００Ｔｏｒｒ 液温 室温 液圧 ０〜２ｋｇ／ｃｍ2 （図１０の電磁弁を開閉することにより圧力を変化させ
た） ２００万サイクル運転終了後も気体排出口に液が流入す
ることも無く脱気装置として使用できることが確認され
た。以上により、本実施例の脱気装置は、水、界面活性
剤入り水溶液、アルコールの脱気が可能であり、また長
期耐久性にも問題無いことが確認された。また、本実施
例の脱気装置は、超純水の比抵抗にも影響を与えないこ
とが確認された。さらに本実施例の脱気装置は、接液部
にＰＦＡのみを使用しているため、強酸、強アルカリの
薬液でも使用可能である。
【００４４】
【発明の効果】本発明の融着方法によれば、フッ素樹脂
系フィルム同士を補強フィルムを介して融着させるの
で、融着部が直接ヒーターに接することなく形成される
ため、シールの信頼性の高い融着が可能となる。また、
本発明の融着方法により作製された脱気用封筒状膜構造
体を用いた脱気装置によれば、シール性にすぐれるた
め、水はもとより界面活性剤入り水溶液、アルコールの
脱気が可能であり、また長期耐久性にも問題なく、超純
水の比抵抗にも影響を与えない。さらに本発明の脱気装
置は、接液部にフッ素樹脂のみを使用することも可能
で、強酸、強アルカリの薬液でも使用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】フッ素樹脂系フィルムを２つ折り構造体にした
様子を示す図である。
【図２】補強フィルムをあてがう様子を示す図である。
【図３】別の補強フィルムをあてがう様子を示す図であ
る。
【図４】芯材の構造を示す斜視図である。
【図５】芯材の加熱部位の説明図である。
【図６】芯材と封筒状膜構造体の接合の説明図である。
【図７】封筒状膜構造体の内部と芯材の中空部との連通
手段の説明図である。
【図８】膜構造体をスパイラル状に巻成した様子を示す
図である。
【図９】実施例の脱気装置の構造を示す図である。
【図１０】評価装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
１ ＦＥＰフィルム（融着対象） ２、４ 補強
フィルム ３ 融着部 １１ 排気用部
材（芯材） １２ 中空部 １３ 連通孔 １４ 気体排出口 １５ 溶融部
分 １６ 接合部（融着部） １７ 小孔
（連通孔） ２１ 封筒状膜構造体 ２２ 気体流
路形成材 ２３ 液体流路形成材 ２４ ケーシ
ング ２５ 液体供給口 ２６ 液体排
出口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｂ２９Ｌ 22:00

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 フッ素樹脂系フィルム同士を重ね合わ
    せ、この重ね合わせ面の一部に融着部を形成させる方法
    であって、 フッ素樹脂系フィルム同士を重ね合わせる工程と、 この重ね合わせたものにおいて形成すべき融着部に沿っ
    て、該フッ素樹脂系フィルムの融点と同一又はより高い
    融点を有する補強フィルムを、この重ね合わせたものの
    少なくとも一方の外面からあてがう工程と、 このあてがった部位において少なくともフッ素樹脂系フ
    ィルムを溶融させて融着部を形成する工程とを含むこと
    を特徴とするフッ素樹脂系フィルムの融着方法。
  2. 【請求項２】 該補強フィルムとして、該フッ素樹脂系
    フィルムの融点より１５〜１６０℃だけ高い融点を有す
    るものを用いることを特徴とする請求項１に記載のフッ
    素樹脂系フィルムの融着方法。
  3. 【請求項３】 ケーシングと、 スパイラル状又はプリーツ状に重ねられ該ケーシングに
    収納されたフッ素樹脂系フィルムからなる周囲が閉じら
    れた封筒状膜構造体と、 該膜構造体の内部を減圧雰囲気にするために該膜構造体
    に設けられた排気用部材と、 該膜構造体の内部に配置された気体流路形成材と、 該膜構造体の内部又は外部に配置された液体流路形成材
    と、 該ケーシングに形成された液体供給口と、 該ケーシングに形成された、該液体供給口から流入し該
    膜構造体に接触して通過した液体を排出するための液体
    排出口とを有する脱気装置において、 該膜構造体は、周囲の少なくとも一部が請求項１又は２
    に記載の融着方法により閉じられていることを特徴とす
    る脱気装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003078139A1 (fr) * 2002-03-20 2003-09-25 Asahi Glass Company, Limited Procede de liaison de films de fluororesine et film de fluororesine
JP2010094857A (ja) * 2008-10-15 2010-04-30 Sumitomo Wiring Syst Ltd 袋状容器製造方法、袋状容器及び袋状容器を用いたスプライス部保護構造

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003078139A1 (fr) * 2002-03-20 2003-09-25 Asahi Glass Company, Limited Procede de liaison de films de fluororesine et film de fluororesine
CN1305659C (zh) * 2002-03-20 2007-03-21 旭硝子株式会社 氟树脂薄膜的接合方法以及氟树脂薄膜
US7794558B2 (en) 2002-03-20 2010-09-14 Asahi Glass Company, Limited Method of bonding fluororesin films, and fluororesin film
JP2010094857A (ja) * 2008-10-15 2010-04-30 Sumitomo Wiring Syst Ltd 袋状容器製造方法、袋状容器及び袋状容器を用いたスプライス部保護構造

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