JPH11258819A - 現像液、着色画像の製造法及びカラーフィルタの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 顔料を分散した感光材料の現像液の問題点で
ある現像時間、解像性及び現像残渣をいずれも向上さ
せ、従来の技術の問題点を解消した着色画像形成材料用
現像液、この現像液を用いる着色画像の製造法及びこの
現像液を用いるカラーフィルタの製造法を提供する。 【解決手段】 塩基性を示す化合物及びアルキルエーテ
ル系界面活性剤を含有してなる現像液、アルカリ現像可
能で感光性の着色画像形成材料からなる層を基板上に積
層し、露光現像する着色画像形成工程を含む着色画像の
製造法において、現像時に使用する現像液として前記現
像液を使用することを特徴とする着色画像の製造法、及
びこの着色画像の製造法により同一基板上に複数の着色
画像を作製することを特徴とするカラーフィルタの製造
法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、現像液、これを用
いた着色画像の製造法及びカラーフィルタの製造法に関
する。

【０００２】

【従来の技術】近年、液晶表示デバイス、センサー及び
色分解デバイスなどにカラーフィルタが多用されてい
る。このカラーフィルタの製造法としては、従来は、染
色可能な樹脂、例えば天然のゼラチンやカゼインをパタ
ーニングし、そこに主に染料を用いて染色し、画素を得
るという方法が採られていた。しかし、この方法で得た
画素は、材料からの制約で耐熱性及び耐光性が低いとい
う問題があった。そこで、最近、耐熱性及び耐光性を改
良する目的で顔料を分散した感光材料を用いる方法が注
目され、多くの検討が行われるようになった。この方法
によれば製法も簡略化され、得られたカラーフィルタも
安定で、寿命の長いものになることが知られている。こ
のように顔料を分散させたフォトレジストを利用した着
色画像の作製が、得られる画像の安定性、寿命の長さか
ら賞揚されている。

【０００３】しかし、従来、顔料を分散させたフォトレ
ジストの現像の技術が難しく、特に現像時間、解像性、
現像残渣の問題を全て満足することは難しかった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】請求項１乃至４記載の
発明は、顔料を分散した感光材料の現像液の問題点であ
る現像時間、解像性及び現像残渣をいずれも向上させ、
従来の技術の問題点を解消した着色画像形成材料用現像
液を提供するものである。請求項５又は６記載の発明
は、この現像液を用いる着色画像の製造法を提供するも
のである。請求項７記載の発明は、この現像液を用いる
カラーフィルタの製造法を提供するものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、塩基性を示す
化合物及びアルキルエーテル系界面活性剤を含有してな
る現像液に関する。本発明は、また、この現像液におい
て、塩基性を示す化合物が、水酸化ナトリウム、水酸化
カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、メタケイ酸
ナトリウム及びメタケイ酸カリウムからなる群から選ば
れる少なくとも一種類の無機アルカリ化合物である現像
液に関する。本発明は、また、これらの現像液におい
て、アルキルエーテル系界面活性剤が化２〔一般式
（Ｉ）〕

【化２】 （式中、Ｒは炭素数１〜１００のアルキル基を示し、ｎ
は１〜５０の整数である）で表される化合物である現像
液に関する。本発明は、また、これらの現像液において
無機アルカリ化合物の濃度が０．０１〜２０重量％及
びアルキルフェノール系界面活性剤の濃度が０．０１〜
２０重量％である現像液に関する。

【０００６】本発明は、また、アルカリ現像可能で感光
性の着色画像形成材料からなる層を基板上に積層し、露
光現像する着色画像形成工程を含む着色画像の製造法に
おいて、現像時に使用する現像液として前記したいずれ
かの現像液を使用することを特徴とする着色画像の製造
法に関する。本発明は、また、この着色画像の製造法に
おいて、アルカリ現像可能で感光性の着色画像形成材料
が酸価が２０〜３００の樹脂、顔料、光重合性不飽和結
合を分子内に１個以上含有するモノマー及び光開始剤を
含有するものである着色画像の製造法に関する。本発明
は、また、上記のいずれかの着色画像の製造法により同
一基板上に複数の着色画像を作製することを特徴とする
カラーフィルタの製造法に関する。

【０００７】

【発明の実施の形態】本発明の現像液はフォトレジスト
の現像用に使用される。において、塩基性を示す化合物
は水に溶解または分散させられる。塩基性を示す化合物
としては無機アルカリ化合物または有機アルカリ化合物
が使用されるが、取り扱い上、無機アルカリ化合物が好
ましい。無機アルカリ化合物としては水酸化ナトリウ
ム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、
メタケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム等があり、
水酸化カリウム及び炭酸カリウムが最も好ましい。無機
アルカリ化合物は２種以上を併用することができる。ま
た、有機アルカリ化合物としては、トリエタノールアミ
ン、ジエタノールアミン、ブチルアミン、フェニルヒド
ラジン、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド
等のがある。

【０００８】塩基性を示す化合物の配合量は、現像液総
量１００重量部に対して、０．０１〜２０重量部とする
ことが好ましく、０．０５〜１５重量部とすることがよ
り好ましく、０．１〜１０重量部とすることが特に好ま
しい。無機アルカリ化合物の配合量が、少なすぎると解
像性が不充分になる傾向があり、多すぎるとフォトレジ
スト全体が基板から剥離し、選択的な除去ができなくな
る傾向がある。

【０００９】本発明の現像液には、さらに、必須成分と
してアルキルエーテル系界面活性剤が溶解される。その
使用量は、現像液総量１００重量部に対して、０．０１
〜２０重量部とすることが好ましく、０．０５〜１５重
量部とすることがより好ましく、０．１〜１０重量部と
することが特に好ましい。アルキルエーテル系界面活性
剤の配合量が、少なすぎると現像性が不充分である傾向
があり、多すぎるとフォトレジスト全体が基板から剥離
しやすくなり、選択的な除去ができなくなる傾向があ
る。

【００１０】アルキルエーテル系界面活性剤としては、
前記した一般式（Ｉ）で表される化合物が好ましい。ま
た、一般式（Ｉ）中、Ｒは炭素数１〜１００のアルキル
基であれば直鎖でも、分岐状でも特に制限はないが、中
でも炭素数１〜５０のアルキル基が好ましく、炭素数１
〜４０のアルキル基であることがより好ましく、炭素数
４〜３０のアルキル基であることが特に好ましく、炭素
数が１１又は１２のアルキル基であることが最も好まし
い。アルキル基の炭素数が１００を超えると、水への溶
解性が劣り、現像性が劣る傾向がある。また、ｎが１〜
５０の整数であれば特に制限はないが、中でもｎが１〜
３０であることが好ましく、１０〜３０であることがよ
り好まし、１２〜２０であることが特に好ましい。ｎが
５０を超えると起泡性が高くなる傾向があり、また、ス
プレー現像が困難になる。一般式（Ｉ）で表される化合
物としては、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポ
リオキシエチレンオレイルエーテル等が挙げられる。こ
れらは、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用され
る。ポリオキシエチレンラウリルエーテルにおいて、一
般式（Ｉ）のｎが１８〜２４であるものが好ましい。ポ
リオキシエチレンオレイルエーテルにおいて一般式
（Ｉ）のｎが２０〜２４であるものが好ましい。

【００１１】本発明の現像液には、ポリカルボン酸型高
分子界面活性剤、ポリスルホン酸型高分子界面活性剤等
のアニオン系分散剤、ポリオキシエチレン・ポリオキシ
プロピレンブロックポリマー等のノニオン系分散剤など
の上記以外の界面活性剤を溶解してもよい。その使用量
はアルキルエーテル系界面活性剤に対して１００重量％
以下、特に５０重量％以下が好ましい。

【００１２】本発明の着色画像形成材料は、感光性を有
しアルカリ現像が可能なものであれば特に制限はない
が、樹脂、顔料、光重合性不飽和結合を分子内に一つ以
上有するモノマ及び光開始剤を含有するものが好まし
い。

【００１３】本発明に用いる着色画像形成材料に用いら
れる樹脂としては、着色画像形成材料としたときに、感
光性を妨げず、顔料分散性、成膜性、アルカリ現像性を
有するものであれば特に制限はない。このような樹脂と
しては、カルボキシメチルヒドロキシエチルセルロー
ス、ヒドロキシエチルセルロース等のセルロース系樹
脂、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン等を
使用することができるが、（メタ）アクリル酸（アクリ
ル酸及びメタクリル酸を意味する。以下同様）、イタコ
ン酸、マレイン酸、無水マレイン酸、マレイン酸モノア
ルキルエステル、シトラコン酸、無水シトラコン酸、シ
トラコン酸モノアルキルエステル等のカルボキシル基含
有重合性モノマーとメチルメタクリレート、エチルメタ
クリレート、プロピルメタクリレート、ブチルメタクリ
レート、メチルアクリレート、エチルアクリレート、プ
ロピルアクリレート、ブチルアクリレート等の（メタ）
アクリル酸エステル、スチレン、スチレン誘導体、その
他の重合性モノマーとの共重合体等が特に好ましい。

【００１４】前記マレイン酸モノアルキルエステルとし
ては、アルキルの炭素数が１〜１２のものが好ましく、
マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイ
ン酸モノｎ−プロピル、マレイン酸モノイソプロピル、
マレイン酸モノｎ−ブチル、マレイン酸モノｎ−ヘキシ
ル、マレイン酸モノｎ−オクチル、マレイン酸モノ２−
エチルヘキシル、マレイン酸モノｎ−ノニル、マレイン
酸モノｎ−ドデシル等が挙げられる。前記シトラコン酸
モノアルキルエステルとしては、アルキルの炭素数が１
〜１２のものが好ましく、シトラコン酸モノメチル、シ
トラコン酸モノエチル、シトラコン酸モノｎ−プロピ
ル、シトラコン酸モノイソプロピル、シトラコン酸モノ
ｎ−ブチル、シトラコン酸モノｎ−ヘキシル、シトラコ
ン酸モノｎ−オクチル、シトラコン酸モノ２−エチルヘ
キシル、シトラコン酸モノｎ−ノニル、シトラコン酸モ
ノｎ−ドデシル等が挙げられる。前記スチレン誘導体と
しては、α−メチルスチレン、ｍ−又はｐ−メトキシス
チレン、ｐ−ヒドロキシスチレン、２−メトキシ−４−
ヒドロキシスチレン、２−ヒドロキシ−４−メチルスチ
レン等が挙げられる。

【００１５】また、前記の樹脂としては、光感度の向上
等を目的として光重合性不飽和結合を有するものを使用
してもよい。このような樹脂の好ましい例としては、高
酸価のカルボキシル基含有樹脂にグリシジルメタクリレ
ート、グリシジルアクリレート、アリルグリシジルエー
テル、α−エチルグリシジルアクリレート、クロトニル
グリシジルエーテル、イタコン酸モノアルキルグリシジ
ルエーテル等のオキシラン環とエチレン性不飽和結合を
それぞれ１個有する化合物やアリルアルコール、２−ブ
テン−４−オール、フルフリルアルコール、オレイルア
ルコール、シンナミルアルコール、２−ヒドロキシエチ
ルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレー
ト、Ｎ−メチロールアクリルアミド等の水酸基とエチレ
ン性不飽和結合をそれぞれ１個有する化合物（不飽和ア
ルコール）を反応させた樹脂、水酸基を有するカルボキ
シル基含有樹脂に遊離イソシアネート基含有不飽和化合
物を反応させた樹脂、エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸
との付加反応物に多塩基酸無水物を反応させた樹脂、共
役ジエン重合体や共役ジエン共重合体と不飽和ジカルボ
ン酸無水物との付加反応物に水酸基含有重合性モノマー
を反応させた樹脂などが挙げられる。これらの樹脂の不
飽和当量は、２００〜３０００の範囲とすることが好ま
しく、２３０〜１０００の範囲とすることがより好まし
く、２５０〜７５０の範囲とすることが特に好ましい。
不飽和当量が小さすぎると感光材料の調整時特に、顔料
を樹脂に分散させる時に一部硬化する傾向があり、不飽
和当量が大きすぎると、不飽和基の導入による光感度の
向上硬化が低下する傾向がある。なお、ここでいう不飽
和当量とは、不飽和結合一つあたりの樹脂の分子量を意
味している。

【００１６】前記の樹脂は、着色画像形成材料が露光後
アルカリ現像性を有するという観点からは、酸価が２０
〜３００の範囲内であることが好ましく、さらに４０〜
２００の範囲内であることが好ましく、特に６０〜１７
０の範囲であることが好ましい。酸価が２０未満ではア
ルカリ現像性が低下する傾向があり、また、３００を超
えるとアルカリ現像後の画像パターンの形状が不鮮明と
なる傾向がある。

【００１７】また、前記の樹脂の重量平均分子量は１，
５００〜２００，０００の範囲内であることが好まし
く、さらに５，０００〜１００，０００の範囲内である
ことが好ましく、特に１０，０００〜５０，０００の範
囲内であることが好ましい。重量平均分子量が１，５０
０未満では顔料の分散安定性が低下する傾向があり、ま
た、２００，０００を超えると感光液にしたときに粘度
が高くなり、塗布性、特に、スピンコートする際の塗布
性が低下する傾向がある。なお、本明細書において、重
量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフ
ィーによって測定し、標準ポリスチレンの検量線を用い
て換算した値である。

【００１８】樹脂としては、酸価が２０〜３００かつ重
量平均分子量が１，５００〜２００，０００のものが好
ましいが、このような樹脂としては、特に、下記一般式
（II）

【化３】 （ただし、式中、Ｒ¹は水素原子又はメチル基を示し、
Ｒ²及びＲ³はそれぞれ独立に水素原子、水酸基、炭素数
１〜１２のアルキル基又は炭素数１〜１２のアルコキシ
基を示す）及び下記一般式（III）

【化４】 （ただし、式中、Ｒ⁴及びＲ⁵は、それぞれ独立に水素原
子、炭素数１〜１２のアルキル基又は光反応性不飽和結
合を有する基を示し、Ｒ⁶は水素原子又は炭素数１〜１
２のアルキル基を示す）で表される繰り返し単位を、一
般式（II）／一般式（III）が１／１〜５／１（モル
比）の比率で有する樹脂が顔料の分散安定性、光感度の
点で好ましい。

【００１９】前記樹脂としては、次のものがさらに好ま
しい。すなわち、（ｉ）一般式（III）において、Ｒ⁴が
光反応不飽和結合を有する基、Ｒ⁵が水素原子、Ｒ⁶が水
素原子である繰り返し単位、（ii）一般式（III）にお
いて、Ｒ⁴が光反応不飽和結合を有する基、Ｒ⁵が水素原
子又は光反応不飽和結合を有する基、Ｒ⁶が水素原子で
ある繰り返し単位、（iii）一般式（III）において、Ｒ
⁴が光反応不飽和結合を有する基、Ｒ⁵が水素原子、炭素
数１〜１２のアルキル基又は光反応不飽和結合を有する
基、Ｒ⁶が水素原子である繰り返し単位、（iv）一般式
（III）において、Ｒ⁴及びＲ⁵がそれぞれ独立に水素原
子又は光反応不飽和結合を有する基であり、これらのう
ち少なくとも一方は光反応不飽和結合を有する基であ
り、Ｒ⁶が炭素数１〜１２のアルキル基である繰り返し
単位を有するものであることが好ましい。

【００２０】上記一般式（II）で表される繰り返し単位
及び一般式（III）で表される繰り返し単位を有する樹
脂の製造法としては、例えば、一般式（II）で表される
繰り返し単位及び一般式（III）で表される繰り返し単
位を有する樹脂の前駆体に、不飽和アルコール（アリル
アルコール、２−ブテン−４−オール、フルフリルアル
コール、オレイルアルコール、シンナミルアルコール、
２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエ
チルメタクリレート、Ｎ−メチロールアクリルアミド
等）をエステル化反応させて製造する方法、一般式（I
I）で表される繰り返し単位及び一般式（III）で表され
る繰り返し単位を有する樹脂の前駆体又は上記のエステ
ルか反応物に、オキシラン環とエチレン性不飽和結合を
それぞれ１個有する化合物（グリシジルメタクリレー
ト、グリシジルアクリレート、アリルグリシジルエーテ
ル、α−エチルグリシジルアクリレート、クロトニルグ
リシジルエーテル、イタコン酸モノアルキルモノグリシ
ジルエステル、シトラコン酸モノアルキルモノグリシジ
ルエステル等）を付加反応させて製造する方法などが挙
げられる。

【００２１】一般式（II）で表される繰り返し単位及び
一般式（III）で表される繰り返し単位を有する樹脂の
前駆体としては、スチレン又はその誘導体と、無水マレ
イン酸、無水シトラコン酸、マレイン酸モノアルキルエ
ステル（マレイン酸のハーフエステル）、シトラコン酸
モノアルキルエステル（シトラコン酸のハーフエステ
ル）等とを共重合することにより得ることができる。ス
チレン誘導体としては、例えば、α−メチルスチレン、
ｍ又はｐ−メトキシスチレン、ｐ−ヒドロキシスチレ
ン、２−メトキシ−４−ヒドロキシスチレン、２−ヒド
ロキシ−４−メチルスチレン等が挙げられる。マレイン
酸モノアルキルエステルとしては、例えば、マレイン酸
モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノ−
ｎ−プロピル、マレイン酸モノ−イソプロピル、マレイ
ン酸モノ−ｎ−ブチル、マレイン酸モノ−ｎ−ヘキシ
ル、マレイン酸モノ−ｎ−オクチル、マレイン酸モノ−
２−エチルヘキシル、マレイン酸モノ−ｎ−ノニル、マ
レイン酸モノ−ｎ−ドデシル等が挙げられる。シトラコ
ン酸モノアルキルエステルとしては、例えば、シトラコ
ン酸モノメチル、シトラコン酸モノエチル、シトラコン
酸モノ−ｎ−プロピル、シトラコン酸モノ−イソプロピ
ル、シトラコン酸モノ−ｎ−ブチル、シトラコン酸モノ
−ｎ−ヘキシル、シトラコン酸モノ−ｎ−オクチル、シ
トラコン酸モノ−２−エチルヘキシル、シトラコン酸モ
ノ−ｎ−ノニル、シトラコン酸モノ−ｎ−ドデシル等が
挙げられる。

【００２２】また、本発明の着色樹脂組成物に使用する
樹脂としては、前記した一般式（II）及び一般式（II
I）で表される繰り返し単位を有する樹脂を使用すると
き、他の樹脂を併用してもよい。他の樹脂としては、前
記した樹脂のうち前記した一般式（II）及び一般式（II
I）で表される繰り返し単位を有する樹脂以外の樹脂が
使用されるが、さらに、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、
ウレタン樹脂、メラミン樹脂等を使用してもよい。他の
樹脂は樹脂の総量１００重量部に対して、５０重量部以
下で使用することが好ましい。

【００２３】次に、前記着色画像形成材料に使用される
顔料について説明する。顔料には無機顔料と有機顔料が
あり、いずれも使用することができるが、色調の豊富さ
等から黒色のカーボンブラック（無機顔料）と有機顔料
が好ましい。有機顔料としては、例えば、アゾ系、フタ
ロシアニン系、インジゴ系、アントラキノン系、ペリレ
ン系、キナクリドン系、メチン・アゾメチン系、イソイ
ンドリノン系等が挙げられる。本発明のカラーフィルタ
ーを製造する場合には、赤、緑、青及び黒色等の着色画
像に適した各顔料系が用いられる。

【００２４】赤色の着色画像としては、単一の赤色顔料
系を用いてもよく、黄色顔料系を赤色顔料系に混合して
調色を行ってもよい。赤色顔料系としては、例えば、カ
ラーインデックス名で、C.I.ピグメントレッド９、１２
３、１５５、１６８、１７７、１８０、２１７、２２
０、２２４等が挙げられる。黄色顔料系としては、例え
ば、カラーインデックス名で、C.I.ピグメントイエロー
２０、２４、８３、９３、１０９、１１０、１１７、１
２５、１３９、１４７、１５４等が挙げられる。これら
の赤色顔料系及び黄色顔料系は、それぞれ２種類以上を
混合して使用することもできる。なお、赤色顔料系と黄
色顔料系を混合して使用する場合には、黄色顔料系を、
赤色顔料系と黄色顔料系の総量１００重量部に対して、
５０重量部以下で使用することが好ましい。

【００２５】緑色の着色画像としては、単一の緑色顔料
系を用いてもよく、上記の黄色顔料系を緑色顔料系に混
合して調色を行ってもよい。緑色顔料系としては、例え
ば、カラーインデックス名で、C.I.ピグメントグリーン
７、３６、３７等が挙げられる。これらの緑色顔料系及
び黄色顔料系は、それぞれ２種類以上を混合して使用す
ることもできる。なお、緑色顔料系と黄色顔料系を混合
して使用する場合には、黄色顔料系を、緑色顔料系と黄
色顔料系の総量１００重量部に対して、５０重量部以下
で使用することが好ましい。

【００２６】青色の着色画像としては、単一の青色顔料
系を用いてもよく、紫色顔料系を青色顔料系に混合して
調色を行ってもよい。青色顔料系としては、例えば、カ
ラーインデックス名で、C.I.ピグメントブルー１５、１
５：３、１５：４、１５：６、２２、６０等が挙げられ
る。紫色顔料系としては、例えば、カラーインデックス
名で、C.I.ピグメントバイオレツド１９、２３、２９、
３７、５０等が挙げられる。これらの青色顔料系及び紫
色顔料系は、それぞれ２種類以上を混合して使用するこ
ともできる。なお、青色顔料系と紫色顔料系を混合して
使用する場合には、紫色顔料系を、青色顔料系と紫色顔
料系の総量１００重量部に対して、５０重量部以下で使
用することが好ましい。

【００２７】黒色の着色画像としては、例えば、カーボ
ンブラック、黒鉛、チタンカーボン、黒鉄、二酸化マン
ガン等の黒色顔料が使用される。

【００２８】前記着色画像形成用材料又は着色画像形成
用感光液に使用される光重合性不飽和結合を分子内に１
個以上有するモノマーのうち、光重合性不飽和結合を分
子内に１個有するモノマーとしては、メチルメタクリレ
ート、ブチルメタクリレート、２−エチルヘキシルメタ
クリレート等のアルキルメタクリレート、メチルアクリ
レート、ブチルアクリレート、２−エチルヘキシルアク
リレート等のアルキルアクリレート、ベンジルメタクリ
レート等のアラルキルメタクリレート、ベンジルアクリ
レート等のアラルキルアクリレート、ブトキシエチルメ
タクリレート等のアルコキシアルキルメタクリレート、
ブトキシエチルアクリレート等のアルコキシアルキルア
クリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルメタクリレ
ート等のアミノアルキルメタクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメ
チルアミノエチルアクリレート等のアミノアルキルアク
リレート、（ジエチレングリコールエチルエーテル）の
メタクリル酸エステル、（トリエチレングリコールブチ
ルエーテル）のメタクリル酸エステル、（ジプロピレン
グリコールメチルエーテル）のメタクリル酸エステル等
の（ポリアルキレングリコールアルキルエーテル）のメ
タクリル酸エステル、（ジエチレングリコールエチルエ
ーテル）のアクリル酸エステル、（トリエチレングリコ
ールブチルエーテル）のアクリル酸エステル、（ジプロ
ピレングリコールメチルエーテル）のアクリル酸エステ
ル等の（ポリアルキレングリコールアルキルエーテル）
のアクリル酸エステル、（ヘキサエチレングリコールフ
ェニルエーテル）のメタクリル酸エステル等の（ポリア
ルキレングリコールアリールエーテル）のメタクリル酸
エステル、（ヘキサエチレングリコールフェニルエーテ
ル）のアクリル酸エステル等の（ポリアルキレングリコ
ールアリールエーテル）のアクリル酸エステル、ジシク
ロペンタニルメタクリレート、ジシクロペンタニルアク
リレート、イソボルニルメタクリレート、メトキシ化シ
クロデカトリエンメタクリレート、イソボルニルアクリ
レート、メトキシ化シクロデカトリエンアクリレート、
グリセロールメタクリレート、グリセロールアクリレー
ト、ヘプタデカフロロデシルメタクリレート等のフッ素
化アルキルメタクリレート、ヘプタデカフロロデシルア
クリレート等のフッ素化アルキルアクリレート、２−ヒ
ドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシエチル
アクリレート等がある。

【００２９】光重合性不飽和結合を分子内に１個以上有
するモノマーのうち、光重合性不飽和結合を分子内に２
個以上有するモノマーとしては、ビスフェノールＡジメ
タクリレート、１，４−ブタンジオールジメタクリレー
ト、１，３−ブチレングリコールジメタクリレート、ジ
エチレングリコールジメタクリレート、グリセロールジ
メタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレ
ート、ポリエチレングリコールジメタクリレート、ポリ
プロピレングリコールジメタクリレート、テトラエチレ
ングリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパ
ントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタ
クリレート、トリス（メタクリロキシエチル）イソシア
ヌレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレー
ト、ジペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジ
ペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ジペンタ
エリスリトールペンタメタクリレート、ビスフェノール
Ａジアクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレ
ート、１，３−ブチレングリコールジアクリレート、ジ
エチレングリコールジアクリレート、グリセロールジア
クリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、
ポリエチレングリコールジアクリレート、ポリプロピレ
ングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコー
ルジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリ
レート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリ
ス（アクリロキシエチル）イソシアヌレート、ペンタエ
リスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリト
ールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキ
サアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリ
レート等が挙げらる。

【００３０】前記着色画像形成材料に使用される光重合
性不飽和結合を分子内に２個以上有するモノマーとして
は、さらに一般式（ａ）

【化５】 （ただし、式中、Ｒはエチレン基又はプロピレン基を示
し、ｍ及びｎはそれぞれ独立に、１〜２０の整数を示
す）で示されるビスフェノールＡのアルキレンオキシド
付加物のジアクリレート、一般式（ｂ）

【化６】 （ただし、式中、ｍ及びｎはそれぞれ独立に、１〜１０
の整数を示す）で示されるビスフェノールＡのエピクロ
ルヒドリン変性物とアクリル酸の付加エステル化物、ビ
スフェノールＡジメタクリレート、１，４−ブタンジオ
ールジアクリレート、１，３−ブチレングリコールジア
クリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、
グリセロールジメタクリレート、ネオペンチルグリコー
ルジアクリレート、一般式（ｃ）

【化７】 （ただし、式中、Ｒはエチレン基又はプロピレン基を示
し、ｍ及びｎはそれぞれ独立に、１〜２０の整数を示
す）で示されるリン酸のアルキレンオキシド付加物のジ
アクリレート、一般式（ｄ）

【化８】 （ただし、式中、ｍ及びｎはそれぞれ独立に、１〜１０
の整数を示す）で示されるフタル酸のエピクロリン変性
物とアクリル酸の付加エステル化物、ポリエチレングリ
コールのジアクリレート、ポリプロピレングリコールの
ジメタクリレート、テトラエチレングリコールジアクリ
レート、一般式（ｅ）

【化９】 （ただし、式中、ｍ及びｎはそれぞれ独立に、１〜２０
の整数を示す）で示される１，６−ヘキサンジオールの
エピクロリン変性物とアクリル酸の付加エステル化物
（アクイリル基を一分子中に２個有するもの）、トリメ
チロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリト
ールトリアクリレート、一般式（ｆ）

【化１０】 （ただし、式中、Ｒはエチレン基又はプロピレン基を示
し、３個のｍはそれぞれ独立に、１〜２０の整数を示
す）で示されるリン酸のアルキンオキシド付加物のトリ
アクリレート、一般式（ｇ）

【化１１】 （ただし、式中、Ｒはエチレン基又はプロピレン基を示
し、ｍ、ｍ′及びｍ″はそれぞれ独立に、１〜２０の整
数を示す）で示されるトリメチロールプロパンのアルキ
レンオキシド付加物のトリアクリレート、トリス（メタ
クリロキシエチル）イソシアヌレート、ペンタエリスリ
トールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテ
トラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアク
リレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート
などが挙げられる。これらのモノマーは、単独で又は２
種以上を組み合わせて用いることができる。

【００３１】前記着色画像形成材料に使用される光開始
剤としては、例えば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テト
ラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン、４−メ
トキシ−４′−ジメチルアミノベンゾフェノン、ベンジ
ル、２，２−ジエトキシアセトフェノン、ベンゾイン、
ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソブチルエー
テル、ベンジルジメチルケタール、α−ヒドロキシイソ
ブチルフェノン、チオキサントン、２−クロロチオキサ
ントン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケト
ン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］
−２−モルホリノ−１−プロパン、ｔ−ブチルアントラ
キノン、１−クロロアントラキノン、２，３−ジクロロ
アントラキノン、３−クロル−２−メチルアントラキノ
ン、２−エチルアントラキノン、１，４−ナフトキノ
ン、９，１０−フェナントラキノン、１，２−ベンゾア
ントラキノン、１，４−ジメチルアントラキノン、２−
フェニルアントラキノン、２−（ｏ−クロロフェニル）
−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等が挙げられ
る。これらの光開始剤は単独で又は２種類以上を組み合
わせて使用される。

【００３２】前記着色画像形成用感光液に使用される樹
脂、顔料、光重合性不飽和結合を分子内に１個以上有す
るモノマー及び光開始剤の配合割合は、これらの総量に
対して、（ａ）樹脂は、好ましくは１０〜８５重量％、
より好ましくは２０〜６０重量％、２５〜５０重量％、
（ｂ）顔料は、好ましくは５〜５０重量％、より好まし
くは１０〜４０重量％、特に好ましくは１５〜３０重量
％、（ｃ）光重合性不飽和結合を分子内に１個以上有す
るモノマーは、好ましくは２〜５０重量％、より好まし
くは５〜４０重量％、特に好ましくは１０〜３０重量
％、（ｄ）光開始剤は、好ましくは０．０１〜２０重量
％、より好ましくは２〜１５重量％、特に好ましくは５
〜１０重量％とされる。

【００３３】前記着色画像形成材料に樹脂が少なくなり
すぎると顔料の分散安定性が低下する傾向があり、多す
ぎると感光液にしたときの粘度が高くなり、塗布性、特
にスピンコートする際の塗布性が低下する傾向がある。
また、顔料が少なくなりすぎると画像の色濃度が低くな
る傾向があり、多すぎると光感度が低下する傾向があ
る。また、光重合性不飽和結合を分子内に１個以上有す
るモノマーが少なくなりすぎると光感度が低くなる傾向
があり、多すぎると顔料の分散安定性が低下する傾向が
ある。さらに、光開始剤少なすぎると光感度が低くなる
傾向があり、多すぎると密着性が低下する傾向がある。

【００３４】本発明の着色画像形成材料には、暗反応を
抑制するための熱重合禁止剤（ハイドロキノン、ハイド
ロキノンモノメチルエーテル、ピロガロール、ｔ−ブチ
ルカテコール等）、基板との密着性を向上させるための
チタネートカップリング剤（ビニル基、エポキシ基、ア
ミノ基、メルカプト基等を有したシランカップリング剤
やイソプロピルトリメタクリロイルチタネート、ジイソ
プロピルイソステアロイル−４−アミノベンゾイルチタ
ネート等）、膜の平滑性を向上させるための界面活性剤
（フッ素系、シリコン系、炭化水素系等）及びその他、
紫外線吸収剤、酸化防止剤などの各種添加剤を必要に応
じて適宜使用することができる。

【００３５】本発明における着色画像形成材料の基板上
への積層は、着色画像形成材料の成分と適当な有機溶剤
を混合して着色画像形成用感光液とし、これを基板に直
接塗布するか、あるいはその感光液を一旦支持体に塗布
して成膜した後、基板に積層するなどして行うことがで
きる。上記の基板としては、用途により選択されるが、
例えば、白板ガラス、青板ガラス、シリカコート青板ガ
ラス等の透明ガラス板、ポリエステル樹脂、ポリカーボ
ネート樹脂、アクリル樹脂、塩化ビニル樹脂等の合成樹
脂製シート、フィルム又は板、アルミニウム板、銅板、
ニッケル板、ステンレス板等の金属板、その他セラミッ
ク板、光電変換素子を有する半導体基板などが挙げられ
る。これらの基板には予めクロム蒸着等によりブラック
マトリックスが形成されているものであってもよい。

【００３６】次に、前記した着色画像形成用感光液の製
造法について説明する。顔料を樹脂及び有機溶剤並びに
必要に応じて分散剤と混合し、分散させる。このとき、
混合物は超音波分散機、三本ロール、ボールミル、サン
ドミル、ビーズミル、ホモジナイザー、ニーダー等の分
散・混練装置を用いて混練することにより分散処理する
ことが好ましい。このとき、顔料１００重量部に対して
樹脂を少なくとも２０重量部用いることが好ましい。樹
脂が少なすぎると顔料の分散安定性が低下する傾向があ
る。同様に有機溶剤も顔料の分散時に全量用いてもよ
く、また有機溶剤の一部を分散後に加えてもよい。ただ
し、有機溶剤は、分散時の顔料及ぴ樹脂の全量１００重
量部に対して、分散時に少なくとも１００重量部用いる
ことが好ましい。１００重量部未満では分散時の粘度が
高すぎて、特にボールミル、サンドミル、ピーズミルな
どで分散する場合には分散が困難になる可能性がある。
着色画像形成用感光液とするには、さらに、光重合性不
飽和結合を分子内に１個以上有するモノマー及び光開始
剤を混合するが、これらは、この分散処理の前に混合し
てもよく、分散処理後に混合してもよい。樹脂及び有機
溶剤は前記分散時に全量使用せず、残りを後で、特に着
色画像形成用感光液の製造時に混合してもよい。

【００３７】前記有機溶剤としては、例えば、ケトン化
合物、アルキレングリコールエーテル化合物、、アルコ
ール化合物、芳香族化合物などが挙げられる。具体的に
は、ケトン化合物として、アセトン、メチルエチルケト
ン、シクロヘキサノン、ジオキサン等があり、アルキレ
ングリコールエーテル化合物として、メチルセロソル
ブ、エチルセロソルブ、ブチゾレセロソルブ、メチルセ
ロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、プ
チルセロソルブアセテート、エチレングリコールモノプ
ロピルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエー
テル、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレ
ングリコールエチルエーテル、ジエチレングリコールジ
エチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエー
テル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロ
ピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレング
リコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモ
ノメチルエーテルアセテートエ等があり、ポリエチレン
グリコールアルキルエーテルアセテート化合物として
は、ジエチレングリコールメチルエーテルアセテート、
ジエチレングリコールエチルエーテルアセテート、ジエ
チレングリコールプロピルエーテルアセテート、ジエチ
レングリコールiso−プロピルエーテルアセテート、ジ
エチレングリコールブチルエーテルアセテート、ジエチ
レングリコールtert−ブチルエーテルアセテート、トリ
エチレングリコールメチルエーテルアセテート、トリエ
チレングリコールエチルエーテルアセテート、トリエチ
レングリコールプロピルエーテルアセテート、トリエチ
レングリコールiso−プロピルエーテルアセテート、ト
リエチレングリコールブチルエーテルアセテート、トリ
エチレングリコールtert−ブチルエーテルアセテート等
があり、アルコール化合物として、メチルアルコール、
エチルアルコール、イソプロピルアルコール、ｎ−ブチ
ルアルコール、３−メチル−３−メトキシブタノール、
テトラヒドロフラン等があり、芳香族化合物として、ベ
ンゼン、トルエン、キシレン、Ｎ−メチル−２−ピロリ
ドン、Ｎ−ヒドロキシメチル−２−ピロリドン等があ
り、その他として、３−メチル−３−メトキシブチルア
セテート、酢酸エチル等の有機溶剤が挙げられる。これ
らは単独で又は２種以上を組み合わせて用いることがで
きる。

【００３８】有機溶剤は、感光液中の樹脂、顔料、光重
合性不飽和結合を分子内に１個以上含有するモノマー及
び光開始剤を含む全固形分が５〜４０重量％の範囲にな
るように用いられることが好ましい。全固形分が４０重
量％を超えると粘度が高くなり、塗布性が悪くなる傾向
がある。全固形分が５重量％未満であると粘度が低くな
り、塗布性が悪くなる傾向がある。

【００３９】前記分散剤としては、ポリカルボン酸型高
分子界面活性剤、ポリスルホン酸型高分子界面活性剤等
のアニオン系分散剤、ポリオキシエチレン・ポリオキシ
プロピレンブロックポリマー等のノニオン系分散剤、ア
ントラキノン系、ペリレン系、フタロシアニン系、キナ
クドリン系等の有機色素にカルボキシル基、スルホン酸
塩基、カルボン酸アミド基、水酸基等の置換基を導入し
た有機色素の誘導体などがある。顔料の分散性や分散安
定性が向上し、好ましい。これら顔料分散剤や有機色素
の誘導体は、顔料１００重量部に対して５０重量部以下
で用いることが好ましい。５０重量部を超えると色度が
ずれる傾向がある。

【００４０】感光液を基板に塗布する方法としては、ロ
ールコーター塗布、スピンコーター塗布、スプレー塗
布、ホエラー塗布、ディップコーター塗布、カーテンフ
ローコーター塗布、ワイヤーバーコーター塗布、グラビ
アコーター塗布、エアナイフコーター塗布などがある。
塗布後、５０〜１３０℃の温度で１〜３０分乾燥するこ
とが好ましい。このようにして着色画像形成材料からな
る膜を得ることができる。このようにして形成された感
光層の厚みは、用途によって適宜定まるが、０．１〜３
００μｍの範囲とされることが好ましい。また、カラー
フィルターに用いる場合には、０．２〜５μｍの範囲と
されることが好ましい。

【００４１】また、支持体上に上記と同様にして感光層
を形成することができる。この感光層を前記の基板に積
層するには、基板に膜を重ねてローラを通して圧着する
方法がある。このとき、ローラを少し加熱することが好
ましい。また、圧着を減圧下に行うことが好ましい。支
持体は、基板に感光層を積層してから剥離することが好
ましい。支持体としては、ポリエチレンフィルム、アク
リル樹脂フィルム、ポリエステルフィルム等を用いるこ
とができる。

【００４２】基板上に積層された感光層への露光は、そ
の感光層に活性光線を画像状に照射することにより行う
ことができる。これにより露光部の膜を硬化させること
ができる。露光に際し、その膜の表面にポリビニルアル
コール等の酸素遮断膜を０．５〜３０μｍの厚みで形成
し、その上から露光してもよい。活性光線の光源として
は、例えば、カーボンアーク灯、超高圧水銀灯、高圧水
銀灯、キセノンランプ、メタルハライドランプ、蛍光ラ
ンプ、ラングステンランプ、可視光レーザーなどが好適
である。これらの光源を用いてフォトマスクを介したパ
ターン露光や走査による直接描写などにより画像状に活
性光線が照射される。

【００４３】上記の露光に続いて現像工程を行う。現像
液を吹き付けるか、現像液に浸漬するなどして未露光部
を除去し、画像に対応した硬化膜の着色画像パターンを
得ることができる。現像後、さらに、着色画像パターン
をより強固に硬化させるため、ポストベークを行うこと
が好ましい。ポストベーク温度は、６０〜２８０℃の温
度が好ましく、加熱時間は１〜６０分間程度が好まし
い。

【００４４】このような着色画像形成工程により着色画
像が形成されるが、特に、カラーフィルターの製造法に
おいては、着色画像形成工程を異なる３〜４色の着色画
像について繰り返し行うことが好ましい。例えば、先に
クロム蒸着などにより形成したブラックマトリックス上
に赤、緑、青の着色画像が形成される。また、黒色の着
色画像形成材料を用いてブラックマトリックスを形成し
た後、赤、緑、青の着色画像が形成される。また、赤、
緑、青の着色画像を形成した後に、これらの着色画像の
間隙に黒色の画像形成材料を用いてブラックマトリック
スが形成される。赤、緑、青の着色画像の形成の順序は
任意である。着色画像は各色について画素を形成するよ
うにされる。

【００４５】

【実施例】次に、本発明を実施例により詳細に説明する
が、本発明はこれらによって制限されるものではない。 （１）使用する樹脂：共重合対Ａ：スチレン５０モル％
−マレイン酸モノプロピルエステル２０モル％−マレイ
ン酸誘導体Ａ３０モル％からなり、重量平均分子量が１
１０００かつ酸価６５の共重合体 上記マレイン酸誘導体Ａに基づく繰り返し単位は次の構
造を有するものである。

【化１２】

【００４６】共重合体Ｂ：スチレン５０モル％−マレイ
ン酸モノ（２−アクリロイルオキシエチル）エステル２
０モル％−マレイン酸誘導体Ｂ３０モル％からなり、重
量平均分子量が６０００、酸価１００の共重合体 上記マレイン酸誘導体Ｂに基づく繰り返し単位は次の構
造を有するものである。

【化１３】

【００４７】共重合体Ｃ：スチレン５０モル％−マレイ
ン酸モノ（２−メタクリロイルオキシエチル）エステル
５０モル％からなり、重量平均分子量が８０００、酸価
１０６の共重合体

【００４８】感光液の製造例１ （黒色の着色画像形成
用感光液の製造例） 樹脂として共重合体Ａ１０ｇ及び顔料としてカーボンブ
ラック３８ｇをジエチレングリコールジメチルエーテル
２００ｇに加え、ビーズミルを用いて２時間混練して着
色樹脂組成物を得た。この着色樹脂組成物、モノマーと
してトリメチロールプロパントリアクリレート３２ｇ、
光開始剤としてベンゾフェノン１２ｇ及びＮ，Ｎ′−テ
トラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン４ｇ並
びに有機溶剤であるジエチレングリコールジメチルエー
テル２００ｇを加えて混合し、黒色の着色画像形成用感
光液を得た。

【００４９】感光液の製造例２ （赤色の着色画像形成
用感光液の製造例） 樹脂として共重合体Ａ ３０ｇ及び顔料としてC.I.ピグ
メントレッド１７７を２１ｇ及びC.I.ピグメントイエロ
ー１３９を４ｇ、ジエチレングリコールジメチルエーテ
ル２００ｇに加えビーズミルを用いて２時間混練して着
色樹脂組成物を得た。この着色樹脂組成物、モノマーと
してペンタエリスリトールテトラアクリレート３２ｇ、
光開始剤としてベンゾフェノン６ｇ及びＮ，Ｎ′−テト
ラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン２ｇ並び
に有機溶剤であるジエチレングリコールジメチルエーテ
ル２００ｇを加えて混合し、赤色の着色画像形成用感光
液を得た。

【００５０】感光液の製造例３ （緑色の着色画像形成
用感光液の製造例） 樹脂として共重合体Ａ ４０ｇ及び顔料としてC.I.ピグ
メントグリーン３６を１５ｇ及びC.I.ピグメントイエロ
ー８３を５ｇ、ジエチレングリコールジメチルエーテル
２００ｇに加えビーズミルを用いて２時間混練して着色
樹脂組成物を得た。この着色樹脂組成物、モノマーとし
てトリメチロールプロパントリアクリレート３２ｇ、光
開始剤としてベンゾフェノン６ｇ及びＮ，Ｎ′−テトラ
エチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン２ｇ並びに
有機溶剤であるジエチレングリコールジメチルエーテル
２００ｇを加えて混合し、緑色の着色画像形成用感光液
を得た。

【００５１】感光液の製造例４ （青色の着色画像形成
用感光液の製造例） 樹脂として共重合体Ａ ４０ｇ及び顔料としてC.I.ピグ
メントブルー１５−６を１７ｇ及びC.I.ピグメントバイ
オレット２３を４ｇ、ジエチレングリコールジメチルエ
ーテル２００ｇに加えビーズミルを用いて２時間混練し
て着色樹脂組成物を得た。この着色樹脂組成物、モノマ
ーとしてペンタエリスリトールテトラアクリレート３２
ｇ、光開始剤としてベンゾフェノン６ｇ及びＮ，Ｎ′−
テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン２ｇ
並びに有機溶剤であるジエチレングリコールジメチルエ
ーテル２００ｇを加えて混合し、青色の着色画像形成用
感光液を得た。

【００５２】感光液の製造例５〜８ 共重合体Ａの代わりに共重合体Ｂを用いたこと以外、感
光液の製造例１〜４に準じて、それぞれ、黒色（感光液
の製造例５）、赤色（感光液の製造例６）、緑色（感光
液の製造例７）及び青色（感光液の製造例８）の感光液
を作製した。

【００５３】感光液の製造例９〜１２ 共重合体Ａの代わりに共重合体Ｃを用いたこと以外、感
光液の製造例１〜４に準じて、それぞれ、黒色（感光液
の製造例９）、赤色（感光液の製造例１０）、緑色（感
光液の製造例１１）及び青色（感光液の製造例１２）の
感光液を作製した。

【００５４】実施例１ この感光液の製造例１で得た黒色の着色画像形成用感光
液を、ガラス基板（コーニング社製、商品名７０５９）
上にスピンコート法により塗布し、更に１１０℃で５分
間乾燥を行い、膜厚１．０μｍの膜を形成した。得られ
た膜に、ネガマスクを通して超高圧水銀灯により画像状
に７００mJ/cm²の露光を行い、次いで、ポリオキシエチ
レンラウリルエーテル（一般式（Ｉ）中、ｎが１０のも
の）を０．５重量％及び炭酸カリウムを０．５重量％含
む水溶液により現像を行った。その際の現像時間と画像
の解像度及び現像残渣の評価結果を表１に示した。

【００５５】実施例２ 感光液の製造例２で得た赤色の画像形成用感光液を実施
例１と同様にガラス基板上に塗布、乾燥し、膜厚２．０
μｍの膜を形成した。得られた膜に、ネガマスクを通し
て超高圧水銀灯により画像状に１００mJ/cm²の露光を行
い、次いで、ポリオキシエチレンラウリルエーテル（一
般式（Ｉ）中、ｎが１０のもの）を０．５重量％及び炭
酸カリウムを０．５重量％含む水溶液により現像を行っ
た。その際の現像時間と画像の解像度及び現像残渣の評
価結果を表１に示した。

【００５６】実施例３ 感光液の製造例３で得た緑色の着色画像形成用感光液を
実施例１と同様にガラス基板上に塗布、乾燥し、膜厚
２．０μｍの膜を形成した。得られた膜に、実施例２と
同様な方法及び条件で露光し、次いで、ポリオキシエチ
レンラウリルエーテル（一般式（Ｉ）中、ｎが１０のも
の）を０．５重量％及び水酸化カリウムを０．３重量％
含む水溶液により現像を行った。その際の現像時間と画
像の解像度及び現像残渣の評価結果を表１に示した。

【００５７】実施例４ 感光液の製造例４で得た青色の着色画像形成用感光液を
実施例１と同様にガラス基板上に塗布、乾燥し、膜厚
２．０μｍの膜を形成した。得られた膜に、実施例２と
同様な方法及び条件で露光し、次いで、ポリオキシエチ
レンラウリルエーテル（一般式（Ｉ）中、ｎが１０のも
の）を０．５重量％及び炭酸カリウムを０．５重量％含
む水溶液により現像を行った。その際の現像時間と画像
の解像度及び現像残渣の評価結果を表１に示した。

【００５８】比較例１ 現像液として炭酸カリウムを０．５重量％含む水溶液を
使用すること以外は、実施例１と同様の感光液を用い
て、実施例１と同様の方法及び条件で、黒色画像を形成
した。現像時間と画像の解像度及び現像残渣の評価を表
１に示した。

【００５９】

【表１】

【００６０】表１から、本発明による現像液を用いて現
像すると（実施例１〜４）、本発明の範囲外の現像液を
用いた場合（比較例１）に比べて、現像時間が短縮でき
ることが分かる。また、実施例１〜４で得られた画像パ
ターンの解像度も比較例１に比べて高く、現像後の未露
光部には現像残渣が認められなかった。

【００６１】実施例５ 感光液の製造例１で得られた感光液の代わりに感光液の
製造例５で得られた感光液を使用し、炭酸カリウムの代
わりに炭酸ナトリウムを使用したこと以外は実施例１に
準じて行った。現像時間と画像の解像度及び現像残渣の
評価を表２に示した。

【００６２】実施例６〜８ 感光液の製造例２で得られた感光液、感光液の製造例３
で得られた感光液及び４で得られた感光液の代わりにそ
れぞれ感光液の製造例６で得られた感光液（実施例
６）、感光液の製造例７で得られた感光液（実施例７）
及び感光液の製造例８で得られた感光液（実施例８）を
使用したこと以外は実施例２〜４に準じて行った。現像
時間と画像の解像度及び現像残渣の評価を表２に示し
た。

【００６３】

【表２】

【００６４】実施例９ 感光液の製造例１で得られた感光液の代わりに感光液の
製造例９で得られた感光液を使用し、炭酸カリウムの代
わりに炭酸ナトリウムを使用したこと以外は実施例１に
準じて行った。現像時間と画像の解像度及び現像残渣の
評価を表３に示した。

【００６５】実施例１０〜１２ 感光液の製造例２で得られた感光液、感光液の製造例３
で得られた感光液及び４で得られた感光液の代わりにそ
れぞれ感光液の製造例１０で得られた感光液（実施例１
０）、感光液の製造例１１で得られた感光液（実施例１
１）及び感光液の製造例１２で得られた感光液（実施例
１２）を使用したこと以外は実施例２〜４に準じて行っ
た。現像時間と画像の解像度及び現像残渣の評価を表２
に示した。

【００６６】

【表３】

【００６７】実施例１３ クロムによりブラックマトリックスを形成したガラス基
板上に、実施例２と同様な方法及び条件で赤色の画像パ
ターンを形成した後、１８０℃で１０分間加熱を行っ
た。次いで、その基板を用いて、実施例３と同様な方法
及び条件で赤色画像パターンの隣に緑色の画像パターン
を形成した後、１８０℃で１０分間加熱を行った。次い
で、その基板を用いて、実施例４と同様な方法及び条件
で、緑色画像パターンの隣に青色の画像パターンを形成
した後、２００℃で１０分間加熱を行った。以上によ
り、一つの画素が、３０μｍ×１００μｍの赤、緑及び
青の三色からなるモザイク状に並んだカラーフィルタを
作製した。

【００６８】実施例１４ ガラス基板上に、実施例１と同様な方法及び条件で幅２
０μｍの黒色の画像パターン（ブラックマトリックス）
を形成した後、２０５℃で２０分間加熱を行った。次い
で、実施例１３と同様の方法で、赤、緑及び青色の順で
画素を形成し、一つの画素が、３０μｍ×１００μｍの
赤、緑及び青色の三色からなるモザイク状に画素が並ん
だカラーフィルタを作製した。このように従来になく現
像性に優れた現像液を用いて作製したカラーフィルタ
（実施例１３及び１４）は、いずれも消偏性が７００以
上と光学特性に優れ、画像表示素子として有効であるこ
とを確認した。

【００６９】実施例１５ クロムによりブラックマトリックスを形成したガラス基
板上に、実施例６と同様な方法及び条件で赤色の画像パ
ターンを形成した後、１８０℃で１０分間加熱を行っ
た。次いで、その基板を用いて、実施例７と同様な方法
及び条件で赤色画像パターンの隣に緑色の画像パターン
を形成した後、１８０℃で１０分間加熱を行った。次い
で、その基板を用いて、実施例８と同様な方法及び条件
で、緑色画像パターンの隣に青色の画像パターンを形成
した後、２００℃で１０分間加熱を行った。以上によ
り、一つの画素が、３０μｍ×１００μｍの赤、緑及び
青の三色からなるモザイク状に並んだカラーフィルタを
作製した。

【００７０】実施例１６ ガラス基板上に、実施例５と同様な方法及び条件で幅２
０μｍの黒色の画像パターン（ブラックマトリックス）
を形成した後、２０５℃で２０分間加熱を行った。次い
で、実施例１５と同様の方法で、赤、緑及び青色の順で
画素を形成し、一つの画素が、３０μｍ×１００μｍの
赤、緑及び青色の三色からなるモザイク状に画素が並ん
だカラーフィルタを作製した。このように従来になく現
像性に優れた現像液を用いて作製したカラーフィルタ
（実施例１５及び１６）は、いずれも消偏性が７００以
上と光学特性に優れ、画像表示素子として有効であるこ
とを確認した。

【００７１】実施例１７ クロムによりブラックマトリックスを形成したガラス基
板上に、実施例１０と同様な方法及び条件で赤色の画像
パターンを形成した後、１８０℃で１０分間加熱を行っ
た。次いで、その基板を用いて、実施例１１と同様な方
法及び条件で赤色画像パターンの隣に緑色の画像パター
ンを形成した後、１８０℃で１０分間加熱を行った。次
いで、その基板を用いて、実施例１２と同様な方法及び
条件で、緑色画像パターンの隣に青色の画像パターンを
形成した後、２００℃で１０分間加熱を行った。以上に
より、一つの画素が、３０μｍ×１００μｍの赤、緑及
び青の三色からなるモザイク状に並んだカラーフィルタ
を作製した。

【００７２】実施例１８ ガラス基板上に、実施例９と同様な方法及び条件で幅２
０μｍの黒色の画像パターン（ブラックマトリックス）
を形成した後、２０５℃で２０分間加熱を行った。次い
で、実施例１５と同様の方法で、赤、緑及び青色の順で
画素を形成し、一つの画素が、３０μｍ×１００μｍの
赤、緑及び青色の三色からなるモザイク状に画素が並ん
だカラーフィルタを作製した。このように従来になく現
像性に優れた現像液を用いて作製したカラーフィルタ
（実施例１７及び１８）は、いずれも消偏性が７００以
上と光学特性に優れ、画像表示素子として有効であるこ
とを確認した。

【００７３】

【発明の効果】請求項１乃至４における現像液は、顔料
を分散した感光材料の現像液の問題点である現像時間、
解像性及び現像残渣をいずれも向上させる。請求項５又
は６における製造法により、解像性が優れ、現像残渣が
少なく、顔料を分散した着色画像を製造することができ
る。請求項７における製造法により、画像表示素子とし
て好適な高品位なカラーフィルタを製造することができ
る。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山崎 浩二 千葉県市原市五井南海岸14番地 日立化成 工業株式会社五井工場内 (72)発明者 横地 精吾 千葉県市原市五井南海岸14番地 日立化成 工業株式会社五井工場内 (72)発明者 名児耶 友宏 千葉県市原市五井南海岸14番地 日立化成 工業株式会社五井工場内

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 塩基性を示す化合物及びアルキルエーテ
   ル系界面活性剤を含有してなる現像液。
2. 【請求項２】 塩基性を示す化合物が、水酸化ナトリウ
   ム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、
   メタケイ酸ナトリウム及びメタケイ酸カリウムからなる
   群から選ばれる少なくとも一種類の無機アルカリ化合物
   である請求項１記載の現像液。
3. 【請求項３】 アルキルエーテル系界面活性剤が化１
   〔一般式（Ｉ）〕 【化１】 （式中、Ｒは炭素数１〜１００のアルキル基を示し、ｎ
   は１〜５０の整数である）で表される化合物である請求
   項１または２記載の現像液。
4. 【請求項４】 塩基性を示す化合物の濃度が０．０１〜
   ２０重量％、アルキルエーテル系界面活性剤の濃度が
   ０．０１〜２０重量％である請求項１乃至３のいずれか
   に記載の現像液。
5. 【請求項５】 アルカリ現像可能で感光性の着色画像形
   成材料からなる層を基板上に積層し、露光現像する着色
   画像形成工程を含む着色画像の製造法において、現像時
   に使用する現像液として請求項１乃至４のいずれかに記
   載の現像液を使用することを特徴とする着色画像の製造
   法。
6. 【請求項６】 アルカリ現像可能で感光性の着色画像形
   成材料が酸価が２０〜３００の樹脂、顔料、光重合性不
   飽和結合を分子内に１個以上含有するモノマー及び光開
   始剤を含有するものである請求項５記載の着色画像の製
   造法。
7. 【請求項７】 請求項５乃至６記載のいずれかの着色画
   像の製造法により同一基板上に複数の着色画像を作製す
   ることを特徴とするカラーフィルタの製造法。