JPH11258294A - Apparatus and method for inspection of circuit board - Google Patents

Apparatus and method for inspection of circuit board

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JPH11258294A
JPH11258294A JP10080339A JP8033998A JPH11258294A JP H11258294 A JPH11258294 A JP H11258294A JP 10080339 A JP10080339 A JP 10080339A JP 8033998 A JP8033998 A JP 8033998A JP H11258294 A JPH11258294 A JP H11258294A
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JP
Japan
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circuit board
conductive
probe
sheet
rubber
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Application number
JP10080339A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazumi Hanawa
一美 塙
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Original Assignee
JSR Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an apparatus and a method in which the electric continuity between electrodes can be inspected easily and surely by a method wherein an insulating sheet on which electric continutiy parts are dotted in the thickness direction and a conductive plate as an electric good conductor are arranged on the side opposite to a probe with reference to a circuit board. SOLUTION: An elastic body sheet 6 which is set to electric continuity in the thickness direction is arranged under a circuit board 5. A probe head 2 is moved to an electrode (a through hole) 4. A probe is brought into contact with the electrode 4. The electric continuity of the circuit board 5 is inspected. When the continuity between the surface electrode of the circuit board 5 and its rear-side electrode is inspected, a conductor layer such as a copper-clad plate 7 is installed at the elastic body sheet 6, and it is sufficient to inspect the continuity between the layer 7 and the probe head 2. When a part between electrodes on the surface side of the board 5 is inspected, an insulating layer is arranged under the elastic body sheet 6, and it is sufficient to inspect the part between the electrodes on the surface side. As the elastic body sheet 6, a sheet in which conductive particles such as nickel particles whose surface is covered with gold or silver are contained in an elastic insulator such as silicone rubber or the like is preferable.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板等の
回路配線基板の電気的導通検査装置および検査法法に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus and method for inspecting electrical continuity of a circuit wiring board such as a printed circuit board.

【0002】[0002]

【従来の技術】プローブを接触させて、プリント配線基
板等の回路基板の電気的導通検査を行う場合、従来は図
1に示すように、回路基板のスルーホール等の各電極に
対応したピンを準備し、これを回路基板の裏面の全ての
電極に対応させて、それぞれ1本づつのピンを接触させ
て配置し、回路基板の表面側から1ないし複数個のプロ
ーブを各電極に接触させて電気的導通検査をする方法が
知られている。
2. Description of the Related Art In the case of performing an electrical continuity test on a circuit board such as a printed wiring board by contacting a probe, conventionally, as shown in FIG. Prepare and arrange them in such a way that one pin is in contact with each electrode on the back of the circuit board, and one or more probes are brought into contact with each electrode from the front side of the circuit board. A method of performing an electrical continuity test is known.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のピンプ
ローブ導通検査方法、例えば回路基板を垂直に立ててス
ルーホール等のの両側の電極からプローブで接触する方
法では、基板のたわみ等により正確に接触することが困
難となり、たわみ易い薄型の回路基板の電気的導通検査
をすることが困難であった。また、回路基板を水平に置
いて、回路基板の裏面の電極に対応した位置に、複数の
ピンからなるピン冶具を配置し、回路基板の表面側から
1個ないしは複数のプローブを接触させて電気的導通検
査を行う方法では、異なる種類の回路基板毎に回路基板
の各電極に対応した位置にピンを配置したピン冶具を用
意する必要があり、回路基板毎にピン冶具を製造する労
力や製造時間や費用が、極めて大きなものとなる問題が
あった。本発明は、回路基板の電極間の電気的導通検査
を行う際に、スルーホール等が微小で数が多くても、ま
た各電極間隔が微小で数が多くても、容易かつ確実に電
極間の電気的導通検査を行う検査装置およびその検査方
法を提供することを目的とする。
However, in the conventional pin probe continuity inspection method, for example, a method in which a circuit board is set up vertically and a probe is brought into contact with electrodes on both sides of a through hole or the like by means of a probe, the accuracy is reduced due to the deflection of the board. This makes it difficult to make contact, and it has been difficult to conduct an electrical continuity test on a thin and flexible circuit board. Also, place the circuit board horizontally, place a pin jig consisting of a plurality of pins at positions corresponding to the electrodes on the back surface of the circuit board, and contact one or more probes from the front side of the circuit board to make electrical contact. In the method of conducting electrical continuity inspection, it is necessary to prepare a pin jig in which pins are arranged at positions corresponding to each electrode of the circuit board for each of different types of circuit boards, and labor and manufacturing for manufacturing the pin jig for each circuit board are required. There was a problem that time and cost became extremely large. The present invention provides an easy and reliable method for performing an electrical continuity test between electrodes of a circuit board, even if the number of through holes and the like is minute and large, and the distance between each electrode is small and large. It is an object of the present invention to provide an inspection device and an inspection method for performing an electrical continuity inspection of a device.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明は、プローブを用
いた回路基板の電気的導通検査装置であって、検査する
回路基板に対してプローブとは反対側に、厚さ方向に電
気的に導通する導通部が点在する絶縁性シートおよび電
気的に良導体である導板を配置したことを特徴とする回
路基板の検査装置を提供するものである。また本発明
は、プローブを用いた回路基板の電気的導通検査におい
て、厚さ方向に電気的に導通する導通部が点在する絶縁
性シートを、検査する回路基板に重ねて配置したことを
特徴とする回路基板の検査方法を提供するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to an apparatus for inspecting electrical continuity of a circuit board using a probe, which is electrically connected to a circuit board to be inspected in a thickness direction on a side opposite to the probe. An object of the present invention is to provide an inspection apparatus for a circuit board, wherein an insulating sheet having conductive portions interspersed therein and a conductive plate which is an electrically good conductor are arranged. Further, the present invention is characterized in that, in the electrical continuity inspection of a circuit board using a probe, an insulating sheet in which conductive portions electrically conducting in the thickness direction are interspersed and arranged on the circuit board to be inspected. And a circuit board inspection method.

【0005】[0005]

【発明の実施の形態】本発明の実施形態の1例を図2に
示す。以下本発明を図2に基づいて具体的に説明する。
図2において、プリント配線基板等の回路基板5の下
に、厚さ方向に電気的に導通する弾性体シート6を配置
し、検査点である各電極4にプローブヘッド2を駆動装
置を用いて移動し、プローブ3を下方に移動させ電極と
接触させて回路基板の電気的導通検査を行う。かかる構
成にすることにより、例えば回路基板の表面側の電極と
裏面側の電極との電気的導通検査をする場合は、図2に
示すように弾性体シート6に銅張板7のような導体の層
を設置し、この導体の層7とプローブヘッド2との間で
電気的導通性を検査すればよい。また、回路基板の表面
側の電極間の絶縁性もしくは導通性を検査する場合は、
図3に示すように弾性体シート6の下に絶縁層10を配
置し、表面側の電極間の電気的絶縁性もしくは導通性を
検査すればよい。
FIG. 2 shows an example of an embodiment of the present invention. Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to FIG.
In FIG. 2, an elastic sheet 6 that is electrically conductive in the thickness direction is disposed under a circuit board 5 such as a printed wiring board, and the probe head 2 is driven on each electrode 4 serving as an inspection point by using a driving device. Then, the probe 3 is moved downward and brought into contact with the electrodes to perform an electrical continuity test on the circuit board. With this configuration, for example, when conducting an electrical continuity test between the electrodes on the front side and the electrodes on the back side of the circuit board, a conductor such as a copper-clad plate 7 is formed on the elastic sheet 6 as shown in FIG. And the electrical conductivity between the conductor layer 7 and the probe head 2 may be inspected. Also, when testing the insulation or continuity between the electrodes on the front side of the circuit board,
As shown in FIG. 3, the insulating layer 10 may be disposed below the elastic sheet 6 and the electrical insulation or conductivity between the electrodes on the front side may be inspected.

【0006】厚さ方向に電気的に導通する弾性体シート
6としては、導電性と弾性を有するシートが好ましく、
特に絶縁性のシートからなる非導電部中に、加圧すると
厚さ方向に電気的に導通する導電部が点在しているシー
トが好ましい.かかる導電部としては、加圧すると厚さ
方向に電気的に導通するものが好ましく、導電性と弾性
を有するものが好ましい.特に弾性を有する絶縁体中に
導電性粒子が含有されたものが好ましい。
As the elastic sheet 6 electrically conducting in the thickness direction, a sheet having conductivity and elasticity is preferable.
In particular, a sheet in which conductive portions that are electrically conductive in the thickness direction when pressurized are scattered in a nonconductive portion formed of an insulating sheet is preferable. As such a conductive portion, a conductive portion which is electrically conductive in a thickness direction when pressurized is preferable, and a conductive and elastic portion is preferable. In particular, a material in which conductive particles are contained in an elastic insulator is preferable.

【0007】かかる弾性を有する絶縁体としては、ゴム
状重合体が好ましい。ゴム状重合体としては、ポリブタ
ジエン、天然ゴム、ポリイソプレン、SBR,NBRな
どの共役ジエン系ゴムおよびこれらの水素添加物、スチ
レンブタジエンジエンブロック共重合体、スチレンイソ
プレンブロック共重合体などのブロック共重合体および
これらの水素添加物、クロロプレン、ウレタンゴム、ポ
リエステル系ゴム、エピクロルヒドリンゴム、シリコン
ゴム、エチレンプロピレン共重合体、エチレンプロピレ
ンジエン共重合体などが挙げられる。耐候性の必要な場
合は供役ジエン系ゴム以外のゴム状重合体が好ましく、
特に成形加工性及び電気特性の点からシリコンゴムが好
ましい。剛性の高い絶縁体としては、ガラス繊維補強型
のエポキシ樹脂および、ポリイミド樹脂が上げられる。
As the elastic insulator, a rubber-like polymer is preferable. Examples of the rubbery polymer include conjugated diene rubbers such as polybutadiene, natural rubber, polyisoprene, SBR and NBR, and hydrogenated products thereof, and block copolymers such as styrene butadiene diene block copolymer and styrene isoprene block copolymer. Examples include coalesced and hydrogenated products thereof, chloroprene, urethane rubber, polyester rubber, epichlorohydrin rubber, silicone rubber, ethylene propylene copolymer, and ethylene propylene diene copolymer. If weather resistance is required, a rubbery polymer other than the serving diene rubber is preferred,
In particular, silicone rubber is preferable from the viewpoint of moldability and electrical characteristics. Examples of the insulator having high rigidity include a glass fiber reinforced epoxy resin and a polyimide resin.

【0008】ここでシリコンゴムについてさらに詳細に
説明する。シリコンゴムとしては、液状シリコンゴムを
架橋または縮合したものが好ましい。液状シリコンゴム
はその粘度が歪速度10ー1secで105ポアズ以下のものが好
ましく、縮合型、付加型、ビニル基やヒドロキシル基含
有型などのいずれであってもよい。具体的にはジメチル
シリコーン生ゴム、メチルビニルシリコーン生ゴム、メ
チルフェニルビニルシリコーン生ゴムなどを挙げること
ができる。これらのうちビニル基含有シリコンゴムとし
ては、通常、ジメチルジクロロシランまたはジメチルジ
アルコキシシランを、ジメチルビニルクロロシランまた
はジメチルビニルアルコキシシランの存在下において、
加水分解および縮合反応させ、例えば引き続き溶解−沈
澱の繰り返しによる分別を行うことにより得ることがで
きる。
Here, the silicone rubber will be described in more detail. As the silicone rubber, one obtained by crosslinking or condensing liquid silicone rubber is preferable. Preferably it has the following 10 5 poise at a liquid silicone rubber is the viscosity of the strain rate of 10 over 1 sec, condensation type, addition type, may be any of vinyl group and a hydroxyl group-containing type. Specific examples include dimethyl silicone raw rubber, methyl vinyl silicone raw rubber, and methylphenyl vinyl silicone raw rubber. Among these, as a vinyl group-containing silicone rubber, usually, dimethyldichlorosilane or dimethyldialkoxysilane, in the presence of dimethylvinylchlorosilane or dimethylvinylalkoxysilane,
It can be obtained by hydrolysis and condensation, followed by fractionation by repeated dissolution-precipitation.

【0009】また、ビニル基を両末端に含有するもの
は、オクタメチルシクロテトラシロキサンのような環状
シロキサンを触媒の存在下においてアニオン重合し、末
端停止剤を用いて重合を停止して重合体を得る際に、末
端停止剤として例えばジメチルジビニルシロキサンを使
用し、反応条件(例えば、環状シロキサンの量および末
端停止剤の量)を適宜選ぶことにより、得ることができ
る。ここで、触媒としては、水酸化テトラメチルアンモ
ニウムおよび水酸化n−ブチルホスホニウムなどのアル
カリまたはこれらのシラノレート溶液などが挙げられ、
反応温度としては例えば80〜130 ℃が挙げられる。
In the case of those containing a vinyl group at both terminals, a cyclic siloxane such as octamethylcyclotetrasiloxane is anionically polymerized in the presence of a catalyst, and the polymerization is terminated by using a terminal terminator to form a polymer. When obtaining, it can be obtained by using, for example, dimethyldivinylsiloxane as a terminal stopper, and appropriately selecting reaction conditions (eg, the amount of the cyclic siloxane and the amount of the terminal stopper). Here, examples of the catalyst include alkalis such as tetramethylammonium hydroxide and n-butylphosphonium hydroxide or silanolate solutions thereof, and the like.
The reaction temperature is, for example, 80 to 130 ° C.

【0010】また、ヒドロキシル基含有シリコンゴム
は、通常、ジメチルジクロロシランまたはジメチルジア
ルコキシシランを、ジメチルヒドロクロロシラン、メチ
ルジヒドロクロロシランまたはジメチルヒドロアルコキ
シシランなどのヒドロシラン化合物の存在下において、
加水分解および縮合反応させ、例えば引き続き溶解−沈
澱の繰り返しによる分別を行うことにより得ることがで
きる。また 、環状シロキサンを触媒の存在下にアニオ
ン重合し、末端停止剤を用いて重合を停止して重合体を
得る際に、反応条件(例えば、環状シロキサンの量およ
び末端停止剤の量)を選び、末端停止剤としてジメチル
ヒドロクロロシラン、メチルジヒドロクロロシランまた
はジメチルヒドロアルコキシシランを使用することによ
って得ることができる。ここで、触媒としては、水酸化
テトラメチルアンモニウムおよび水酸化n−ブチルホス
ホニウムなどのアルカリまたはこれらのシラノレート溶
液などが挙げられ、反応温度としては例えば80〜130 ℃
が挙げられる。
The hydroxyl group-containing silicone rubber is usually prepared by converting dimethyldichlorosilane or dimethyldialkoxysilane into a hydrosilane compound such as dimethylhydrochlorosilane, methyldihydrochlorosilane or dimethylhydroalkoxysilane.
It can be obtained by hydrolysis and condensation, followed by fractionation by repeated dissolution-precipitation. In addition, when the cyclic siloxane is anionically polymerized in the presence of a catalyst and the polymerization is terminated using a terminal stopper to obtain a polymer, the reaction conditions (for example, the amount of the cyclic siloxane and the amount of the terminal stopper) are selected. Can be obtained by using dimethylhydrochlorosilane, methyldihydrochlorosilane or dimethylhydroalkoxysilane as a terminal stopper. Here, examples of the catalyst include alkalis such as tetramethylammonium hydroxide and n-butylphosphonium hydroxide and silanolate solutions thereof, and the reaction temperature is, for example, 80 to 130 ° C.
Is mentioned.

【0011】ゴム状重合体の分子量(標準ポリスチレン
換算重量平均分子量)は10,000〜40,000であるものが好
ましい。なお、ゴム状重合体成分の分子量分布指数(標
準ポリスチレン換算重量平均分子量と標準ポリスチレン
換算数平均分子量との比(以下「Mw /Mn 」と記す)
は、得られる導電性ゴムの耐熱性の点から2以下が好ま
しい。
The molecular weight (weight average molecular weight in terms of standard polystyrene) of the rubbery polymer is preferably 10,000 to 40,000. The molecular weight distribution index of the rubbery polymer component (the ratio of the weight average molecular weight in terms of standard polystyrene to the number average molecular weight in terms of standard polystyrene (hereinafter referred to as "Mw / Mn"))
Is preferably 2 or less from the viewpoint of the heat resistance of the obtained conductive rubber.

【0012】導電性粒子としては、例えば鉄、銅、亜
鉛、クロム、ニッケル、金、銀、コバルト、アルミニウ
ムなどの公知の単体導電性金属粒子およびこれらの金属
元素の2種以上からなる合金または複合化された導電性
金属粒子、カーボンブラックなどを挙げることができ
る。これらのうち、カーボンブラック、ニッケル、鉄、
銅などの導電性粒子が、経済性と導電特性の面から好ま
しく、特に好ましくは表面が金や銀により被覆されたニ
ッケル粒子である。
Examples of the conductive particles include known single conductive metal particles such as iron, copper, zinc, chromium, nickel, gold, silver, cobalt, and aluminum, and alloys or composites of two or more of these metal elements. Conductive metal particles, carbon black, and the like. Of these, carbon black, nickel, iron,
Conductive particles such as copper are preferable in terms of economy and conductive characteristics, and particularly preferably nickel particles whose surface is coated with gold or silver.

【0013】また、絶縁体としてシリコンゴムを用いる
場合は、導電性粒子のシランカップリング剤の被覆率が
5%以上であることが好ましく、さらに好ましくは7〜
100%、より好ましくは10〜100%、特に好まし
くは20〜100%である。また、導電性粒子の粒子径
は1〜1000μmであることが好ましく、さらに好ましく
は2〜500μm、より好ましくは3〜300μm、特に好まし
くは5〜100μmである。特に導電ゴムシートの凹凸部付
近においては、凸部の中に導電粒子が十分に充填される
必要があり、導電粒子の粒子径は1〜200μmが好ま
しく、さらに好ましくは2〜150μm、特に好ましく
は5〜100μmである。なお、導電ゴムシートにおい
て凹凸部を有しない表面がある場合は、かかる表面付近
の導電粒子は粒子径が1〜1000のμmのものを用い
ることができる。また、導電性粒子の粒子径分布(Dw/D
n)は1〜10であることが好ましく、さらに好ましく
は1.01〜7、より好ましくは1.05〜5、特に好ましくは1.
1〜4である。また、導電性粒子の含水率は5%以下が好
ましく、さらに好ましくは3%以下、より好ましくは2
%以下、特に好ましくは1%以下である。このような範
囲の粒径を有する導電性粒子によれば、得られる導電性
ゴムにおいて、使用時導電性粒子間に十分な電気的接触
が得られるようになる。この導電性粒子の形状は特に限
定されるものではないが、上記シリコンゴム等に対する
分散の容易性から球状あるいは星形状であることが好ま
しい。
When silicon rubber is used as the insulator, the coverage of the conductive particles with the silane coupling agent is preferably 5% or more, and more preferably 7 to 5.
It is 100%, more preferably 10 to 100%, particularly preferably 20 to 100%. The particle size of the conductive particles is preferably 1 to 1000 μm, more preferably 2 to 500 μm, more preferably 3 to 300 μm, and particularly preferably 5 to 100 μm. In particular, in the vicinity of the uneven portion of the conductive rubber sheet, it is necessary that the conductive particles are sufficiently filled in the convex portion, and the particle size of the conductive particles is preferably 1 to 200 μm, more preferably 2 to 150 μm, and particularly preferably. 5 to 100 μm. In the case where the conductive rubber sheet has a surface having no irregularities, the conductive particles in the vicinity of the surface may have a particle diameter of 1 to 1000 μm. In addition, the particle size distribution (Dw / D
n) is preferably 1 to 10, more preferably 1.01 to 7, more preferably 1.05 to 5, and particularly preferably 1.
1 to 4. The water content of the conductive particles is preferably 5% or less, more preferably 3% or less, and more preferably 2% or less.
%, Particularly preferably 1% or less. According to the conductive particles having a particle diameter in such a range, in the obtained conductive rubber, sufficient electrical contact between the conductive particles can be obtained during use. The shape of the conductive particles is not particularly limited, but is preferably spherical or star-shaped from the viewpoint of easy dispersion in the above-mentioned silicon rubber or the like.

【0014】本発明において導電性粒子として特に好ま
しく用いられる表面が金により被覆されたニッケル粒子
は、例えば無電解メッキなどによりニッケル粒子の表面
に金メッキを施したものである。このように、表面が金
被覆を有するニッケル粒子は接触抵抗がきわめて小さい
ものとなる。メッキにより金を被覆する場合の膜厚は10
00オングストローム以上であることが好ましい。また、
メッキ量としては粒子の1重量%以上が好ましく、さら
に好ましくは2〜10重量%、特に好ましくは3〜7重
量%である。
The nickel particles whose surfaces are preferably coated with gold, which are particularly preferably used as the conductive particles in the present invention, are those obtained by plating the surfaces of the nickel particles with gold by, for example, electroless plating. Thus, the nickel particles having a gold coating on the surface have extremely low contact resistance. When coating gold by plating, the film thickness is 10
It is preferably at least 00 angstroms. Also,
The plating amount is preferably 1% by weight or more of the particles, more preferably 2 to 10% by weight, and particularly preferably 3 to 7% by weight.

【0015】本発明において、導電性粒子は、ゴム状重
合体100重量部に対して30〜1000重量部、好ましくは50
〜750 重量部の割合で用いられる。この割合が30重量部
未満の場合には、得られる導電ゴムは、使用時にも電気
抵抗値が十分に低くならず、従って良好な接続機能を有
しないものとなり、また 1,000重量部を超えると硬化さ
れた導電ゴムが脆弱になって導電ゴムとして使用するこ
とが困難となる。以上のゴム状重合体および導電性粒子
を含有する導電ゴム用組成物には、必要に応じて、通常
のシリカ粉、コロイダルシリカ、エアロゲルシリカ、ア
ルミナなどの無機充填材を含有させることができる。こ
のような無機充填材を含有させることにより、未硬化時
におけるチクソ性が確保され、粘度が高くなり、しかも
導電性粒子の分散安定性が向上すると共に、硬化後にお
ける導電ゴムの強度が向上する。
In the present invention, the conductive particles are used in an amount of 30 to 1,000 parts by weight, preferably 50 to 100 parts by weight, per 100 parts by weight of the rubbery polymer.
Used in proportions of up to 750 parts by weight. When the proportion is less than 30 parts by weight, the obtained conductive rubber does not have a sufficiently low electric resistance value during use, and thus does not have a good connection function. The used conductive rubber becomes brittle, and it becomes difficult to use the conductive rubber as the conductive rubber. The composition for conductive rubber containing the rubbery polymer and the conductive particles described above may contain, if necessary, an inorganic filler such as ordinary silica powder, colloidal silica, airgel silica, and alumina. By including such an inorganic filler, the thixotropy at the time of uncuring is secured, the viscosity is increased, and the dispersion stability of the conductive particles is improved, and the strength of the conductive rubber after curing is improved. .

【0016】この無機充填材の使用量は特に限定される
ものではないが、あまり多量に使用すると、導電ゴムが
脆弱になる。なお、導電ゴム用組成物の粘度は、温度25
℃において 100,000〜3,000,000 cpの範囲内であるこ
とが好ましい。導電ゴム用組成物は、架橋もしくは縮合
反応が行われて弾性の大きい導電ゴムが形成され、しか
も特定な導電性粒子成分が含有されていることにより導
電ゴムとしての機能を有するものとなる。
The amount of the inorganic filler used is not particularly limited, but if used in an excessively large amount, the conductive rubber becomes brittle. The viscosity of the composition for conductive rubber is 25 ° C.
It is preferably in the range of 100,000 to 3,000,000 cp at ° C. The composition for a conductive rubber has a function as a conductive rubber due to the formation of a conductive rubber having a large elasticity through a crosslinking or condensation reaction and the addition of a specific conductive particle component.

【0017】導電ゴム用組成物は、硬化させるために硬
化触媒を用いることができる。このような硬化触媒とし
ては、有機過酸化物、脂肪酸アゾ化合物、ヒドロキシル
化触媒、放射線などが挙げられる。有機過酸化物として
は、過酸化ベンゾイル、過酸化ビスジシクロベンゾイ
ル、過酸化ジクミル、過酸化ジターシャリーブチルなど
が挙げられる。また、脂肪酸アゾ化合物としてはアゾビ
スイソブチロニトリルなどが挙げられる。ヒドロシリル
化反応の触媒として使用し得るものとしては、具体的に
は、塩化白金酸およびその塩、白金−不飽和基含有シロ
キサンコンプレックス、ビニルシロキサンと白金とのコ
ンプレックス、白金と1,3−ジビニルテトラメチルジシ
ロキサンとのコンプレックス、トリオルガノホスフィン
あるいはホスファイトと白金とのコンプレックス、アセ
チルアセトネート白金キレート、環状ジエンと白金との
コンプレックスなどの公知のものを挙げることができ
る。
The composition for conductive rubber can use a curing catalyst for curing. Examples of such a curing catalyst include an organic peroxide, a fatty acid azo compound, a hydroxylation catalyst, and radiation. Examples of the organic peroxide include benzoyl peroxide, bisdicyclobenzoyl peroxide, dicumyl peroxide, and ditertiary butyl peroxide. Examples of the fatty acid azo compound include azobisisobutyronitrile. Specific examples of the catalyst that can be used as a catalyst for the hydrosilylation reaction include chloroplatinic acid and salts thereof, a siloxane complex containing a platinum-unsaturated group, a complex of vinyl siloxane and platinum, and a complex of platinum and 1,3-divinyl tetra. Known ones such as a complex with methyldisiloxane, a complex of triorganophosphine or phosphite with platinum, an acetylacetonate platinum chelate, and a complex of cyclic diene and platinum can be mentioned.

【0018】硬化触媒の添加方法も特に限定されるもの
ではないが、保存安定性、成分混合時の触媒の偏在防止
などの観点から、主剤であるゴム成分に予め混合してお
くことが好ましい。硬化触媒の使用量は、実際の硬化速
度、可使時間とのバランスなどを考慮して適量使用する
のが好ましい。また、硬化速度、可使時間を制御するた
めに通常用いられる、アミノ基含有シロキサン、ヒドロ
キシ基含有シロキサンなどのヒドロシリル化反応制御剤
を併用することもできる。
The method of adding the curing catalyst is not particularly limited. However, it is preferable that the curing catalyst is preliminarily mixed with the main component, from the viewpoints of storage stability and prevention of uneven distribution of the catalyst when mixing the components. It is preferable to use an appropriate amount of the curing catalyst in consideration of the balance between the actual curing speed and the pot life. Further, a hydrosilylation reaction control agent such as an amino group-containing siloxane or a hydroxy group-containing siloxane, which is usually used for controlling the curing rate and the pot life, can be used in combination.

【0019】本発明において使用される絶縁性シートと
しては、剛性体からなるシートでもよいが、好ましいの
は弾性を有する絶縁体である.中でも、剛性体層と弾性
体層とを有するものが好ましく、特に剛性体層と弾性体
層との積層体が好ましい.弾性の高い絶縁体層と剛性の
高い絶縁体層とを併用する際は、絶縁体のシート同士を
張り合わせて用いるのが好ましく、張り合わせる際は、
一方の絶縁体表面にあらかじめプライマーを塗布して、
界面の接着性を高めることができる。また、一方の絶縁
体材料中にカップリング材を添加することにより、張り
合わせ時の界面の接着性を高めることも出来る。
The insulating sheet used in the present invention may be a sheet made of a rigid material, but is preferably an insulating material having elasticity. Among them, those having a rigid body layer and an elastic body layer are preferred, and a laminate of the rigid body layer and the elastic body layer is particularly preferred. When using a highly elastic insulator layer and a highly rigid insulator layer together, it is preferable to use the laminated sheets of the insulator, and when laminating,
Apply a primer on one insulator surface in advance,
The adhesiveness of the interface can be improved. Further, by adding a coupling material to one of the insulator materials, the adhesiveness of the interface at the time of bonding can be improved.

【0020】本発明に用いる絶縁シートは、厚さ方向に
電気的に導通する導通部が点在する絶縁性シートであ
り、好ましくは弾性体層と硬質体層とを有する絶縁性積
層体の中に、厚さ方向に電気的に導通する弾性体からな
る導通部が点在するシートである。本発明に用いる絶縁
シートは、上記のように図12、図13に示すような単
層からなるものでもよく、また図11に示すような多層
からなるものでもよい。本発明に用いる絶縁シートは、
例えば次のような方法で製造することができる。 (1)ゴムや樹脂のシートに導電部を形成すべきところ
に穴を開け、その中に導電材料を充填する方法。 (2)シリコーンゴムやエポキシプレポリマーなどの流
動性を有する基材中にニッケルなどの導電性を有する磁
性体粒子を配合し、導電部を形成すべきところに小磁極
を有する金型に入れ、その部分に厚さ方向の磁力線を集
中させて磁性体粒子を寄せ集めて硬化する方法。 (3)ゴムや樹脂のシートに導電部を形成すべきところ
に穴を開け、その中に、シリコーンゴムやエポキシプレ
ポリマーなどの流動性を有する基材中にニッケルなどの
導電性を有する磁性体粒子を配合した導電材料を充填
し、厚さ方向に磁場をかけて磁性体粒子を配向させて硬
化する方法。
The insulating sheet used in the present invention is an insulating sheet having conductive portions scattered in the thickness direction, and preferably an insulating sheet having an elastic layer and a hard layer. And a conductive sheet made of an elastic body that is electrically conductive in the thickness direction. The insulating sheet used in the present invention may be a single layer as shown in FIGS. 12 and 13 as described above, or may be a multilayer as shown in FIG. The insulating sheet used in the present invention,
For example, it can be manufactured by the following method. (1) A method in which a hole is formed in a sheet of rubber or resin where a conductive portion is to be formed, and a conductive material is filled therein. (2) Conductive magnetic particles such as nickel are blended in a fluid base material such as silicone rubber or epoxy prepolymer, and then placed in a mold having a small magnetic pole where a conductive portion is to be formed. A method in which the magnetic force lines in the thickness direction are concentrated on that portion to collect and cure the magnetic particles. (3) A hole is formed in a rubber or resin sheet where a conductive part is to be formed, and a conductive material such as nickel is provided in a fluid base material such as silicone rubber or epoxy prepolymer. A method of filling a conductive material containing particles, applying a magnetic field in the thickness direction to orient and cure the magnetic particles.

【0021】特に上記弾性体層と硬質体層とを有する絶
縁性積層体の中に、厚さ方向に電気的に導通する弾性体
からなる導通部が点在するシートは、例えば次のような
方法で製造することができる。すなわち、図4〜11に
示すように以下の3工程により、製造することができ
る。 工程(1) 金属箔の一方の面に、弾性を有するゴム材料層を塗布し
(図4)、次いで、剛性を有する絶縁材料シートの両面
に、金属に塗布した、弾性を有するゴム材料層の面をを
張り合わせ(図5)、加圧下で場合によっては熱をかけ
て、ゴム材料層を硬化させ、金属箔・ゴム層・剛性を有
する絶縁材料シート・ゴム層・金属箔の順に張り合わせ
た、積層体を形成する工程(図6)。 工程(2) 積層体に貫通穴を明けて(図7)、その穴に、ゴム材料
と金属粒子からなる導電体材料を充填し(図8)、導電
体材料を硬化させ、導電部を形成する工程(図10)。 工程(3) 導電部を形成した積層体から、銅箔を除去する工程(図
11)。
In particular, in the insulating laminate having the elastic layer and the hard layer, a sheet in which conductive portions made of an elastic material electrically conductive in the thickness direction are interspersed is, for example, as follows. It can be manufactured by a method. That is, as shown in FIGS. 4 to 11, it can be manufactured by the following three steps. Step (1) An elastic rubber material layer is applied to one surface of a metal foil (FIG. 4), and then the elastic rubber material layer applied to the metal is applied to both surfaces of a rigid insulating material sheet. The surfaces were laminated (FIG. 5), and the rubber material layer was hardened by applying heat under pressure as the case may be, and the metal foil, rubber layer, rigid insulating material sheet, rubber layer, and metal foil were laminated in this order. Step of forming a laminate (FIG. 6). Step (2) A through hole is formed in the laminate (FIG. 7), and the hole is filled with a conductive material composed of a rubber material and metal particles (FIG. 8), and the conductive material is cured to form a conductive portion. (FIG. 10). Step (3) A step of removing the copper foil from the laminate on which the conductive portion is formed (FIG. 11).

【0022】プローブヘッド2としては、回路基板の電
極に対応して設置してもよいが、1ないしは複数個設置
し、これが水平(縦横)方向および垂直方向に自由に移
動でき、各電極の位置に移動させ、電極に接触させるこ
とができるフライイングプローブと呼ばれるものが好ま
しい。導体の層7としては、特に制限はないが、銅や銅
に金などのメッキを施したものなどの板、箔、積層体な
どが好ましく用いられる。なお、プローブ3は、プリン
ト配線回路基板5の電極に直接接触してもよいが、プロ
ーブ3とプリント配線回路基板5の電極との間に、厚さ
方向に電気的に導通性のコネクター、好ましくは弾性を
有するシート等、例えば本発明に使用される絶縁性シー
ト(弾性シート6)などを配置することも好ましい。
The probe head 2 may be installed in correspondence with the electrodes of the circuit board, but one or a plurality of them can be freely moved in the horizontal (vertical and horizontal) direction and the vertical direction. It is preferable to use a so-called flying probe which can be moved to a contact with an electrode. The layer 7 of the conductor is not particularly limited, but a plate, a foil, a laminate, or the like such as copper or copper plated with gold or the like is preferably used. The probe 3 may be in direct contact with the electrode of the printed circuit board 5, but a connector electrically conductive in the thickness direction between the probe 3 and the electrode of the printed circuit board 5, preferably It is also preferable to dispose an elastic sheet or the like, for example, an insulating sheet (elastic sheet 6) used in the present invention.

【0023】[0023]

【実施例】本発明の具体的な実施形態の1例を図を用い
て説明する。図2は、厚さ方向に導電性を有し電気的に
導通する導通部を有する絶縁性シート6を使用した電気
的導通検査方法の1つの実施形態を示す図である。図2
の電気的に導通する導電部を有する絶縁性シート6は、
次のように製造した。サイズが縦300mm横300m
m、厚みが18μの銅箔21の一方の面に、液状の室温
硬化型シリコーンゴム30Bをコーターで塗布したもの
を2枚準備した。図4参照、。図5、図6に示すよう
に、この銅箔21と、サイズが縦330mm横330m
m、厚みが200μのガラス繊維補強エポキシシート2
0を、温度100℃、全圧力8Kg下で30分加熱圧着
して積層体6Aを形成した。次にこの積層体の導電部を
形成する部分に、フォトリソグラフィーと塩化第二鉄を
主成分とするエッチング法で直径200μの銅箔開口部
を形成した後、パルス方式の炭酸ガスレーザー加工機で
銅箔開口部をレーザー照射し、直径200μの貫通穴2
5Hを形成した。図7参照。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One example of a specific embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 2 is a diagram illustrating one embodiment of an electrical continuity inspection method using an insulating sheet 6 having a conductive portion having conductivity in a thickness direction and having electrical continuity. FIG.
The insulating sheet 6 having the electrically conductive portion of
It was manufactured as follows. The size is 300mm long and 300m wide
Two pieces of a copper foil 21 having a thickness of 18 μm and a liquid room temperature-curable silicone rubber 30B applied to one surface of a copper foil 21 with a coater were prepared. See FIG. As shown in FIGS. 5 and 6, this copper foil 21 is 330 mm long and 330 m wide.
m, glass fiber reinforced epoxy sheet 2 with a thickness of 200μ
0 was heated and pressed at a temperature of 100 ° C. under a total pressure of 8 kg for 30 minutes to form a laminate 6A. Next, a copper foil opening having a diameter of 200 μm is formed by photolithography and an etching method containing ferric chloride as a main component in a portion where the conductive portion of the laminate is to be formed. Laser irradiates the opening of the copper foil to form a through hole 2
5H was formed. See FIG.

【0024】この貫通穴25Hに、図8に示すように、
室温硬化型液状シリコーンゴムに平均粒径40μのニッ
ケル粒子Pを体積含有率が30%となるように配合した
導電部形成材料25Bをコーターで充填し、このシート
を図9に示すように電磁石の間に挟み、2000ガウス
の平行磁場装置53・55下で厚さ方向に磁場をかけな
がら100℃、30分間加熱し硬化させた後、塩化第二
鉄を主成分とするエッチング液によるスプレーエッチン
グ法で銅箔を除去し図11の、厚さ方向に電気的に導通
する導電部を有する絶縁性シート6を形成した。
In this through hole 25H, as shown in FIG.
A room temperature curing type liquid silicone rubber is filled with a conductive part forming material 25B in which nickel particles P having an average particle diameter of 40 μ are blended so as to have a volume content of 30% by a coater, and this sheet is electromagnetized as shown in FIG. After being cured by heating at 100 ° C. for 30 minutes while applying a magnetic field in the thickness direction under a parallel magnetic field device 53/55 of 2000 gauss, spray etching using an etching solution containing ferric chloride as a main component. Then, the copper foil was removed to form an insulating sheet 6 having a conductive portion electrically conducting in the thickness direction of FIG.

【0025】次に図2に示すように、導線1を接続した
導体板14とスルホール8で両面の導通をとった金メッ
キ銅板13を有する導板7の上に、厚さ方向に電気的に
導通する導電部を有する絶縁性シート6を配置し、この
上に検査するプリント配線回路基板5を配置し、この上
に移動可能なプローブヘッド2を配置し、プローブヘッ
ド2と導線1とを電気的導通検査装置に接続した構成と
した。プリント配線回路基板の電気的導通検査は、係る
構成においてプローブヘッド2を、駆動装置を用いて配
線基板5のスルホール等の各電極4の位置に移動させて
は、プローブ3を降下させて電極と接触させて、配線基
板5の表側と裏側の電極間の電気的導通性の検査を行っ
た結果、容易かつ確実にプリント配線回路基板の電気的
導通検査ができた。
Next, as shown in FIG. 2, the conductive plate 14 connected to the conductive wire 1 and the conductive plate 7 having the gold-plated copper plate 13 conductive on both sides at the through holes 8 are electrically connected in the thickness direction. An insulating sheet 6 having a conductive part to be inspected is disposed, a printed circuit board 5 to be inspected is disposed thereon, a movable probe head 2 is disposed thereon, and the probe head 2 and the conductor 1 are electrically connected. It was configured to be connected to a continuity inspection device. In the electrical continuity test of the printed wiring circuit board, the probe head 2 is moved to the position of each electrode 4 such as a through hole of the wiring board 5 using a driving device in such a configuration, and the probe 3 is lowered to The printed circuit board was easily and reliably tested for electrical continuity as a result of the electrical continuity test between the electrodes on the front side and the back side of the wiring board 5 being brought into contact.

【0026】また、プリント配線回路基板の配線ライン
間、例えば配線ラインとスルホール間の電気的短絡につ
いては、図3に示すように、図2の構成の導板7と電気
的に導通する弾性体シート6との間に絶縁性シート10
を挿入し、2つのプローブヘッド2を用いた構成で検査
を行った。すなわち、検査すべき電極の位置データを、
予め検査機本体のNC制御部に入力しておき、2つのプ
ローブヘッド2を同時にそれぞれの電極に接触させて、
電極間の電気的短絡の検査を行った結果、容易かつ確実
にプリント配線回路基板の配線間の電気的短絡検査がで
きた。。
As for the electrical short between the wiring lines of the printed wiring circuit board, for example, between the wiring line and the through hole, as shown in FIG. 3, the elastic body electrically connected to the conductive plate 7 of FIG. Insulating sheet 10 between sheet 6
And an inspection was performed using a configuration using two probe heads 2. That is, the position data of the electrode to be inspected is
Input to the NC control unit of the inspection machine body in advance, and make two probe heads 2 contact each electrode at the same time,
As a result of the inspection for the electrical short between the electrodes, the electrical short between the wirings of the printed circuit board was easily and reliably inspected. .

【0027】[0027]

【発明の効果】本発明によれば、回路基板の電極間の電
気的導通検査を行う際に、スルーホール等が微小で数が
多くても、また各電極間隔が微小で数が多くても、容易
かつ確実に電極間の電気的導通検査を行うことができ
る。
According to the present invention, when conducting an electrical continuity test between the electrodes of the circuit board, the number of through holes and the like may be small and large, and the spacing between the electrodes may be small and large. In addition, an electrical continuity test between the electrodes can be easily and reliably performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 従来例の構成を説明する側面図である。FIG. 1 is a side view illustrating a configuration of a conventional example.

【図2】 本発明の構成の一実施例を示す側面図であ
る。
FIG. 2 is a side view showing an embodiment of the configuration of the present invention.

【図3】 本発明の構成の一実施例を示す側面図であ
る。
FIG. 3 is a side view showing an embodiment of the configuration of the present invention.

【図4】 実施例において、銅箔にゴム材料が塗布され
た状態を示す説明図である。
FIG. 4 is an explanatory view showing a state in which a rubber material is applied to a copper foil in Examples.

【図5】 実施例において、積層体の積層前の状態を示
す説明図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram showing a state before lamination of a laminate in an example.

【図6】 実施例において、積層体の構成を示す説明図
である。
FIG. 6 is an explanatory diagram showing a configuration of a laminated body in an example.

【図7】 実施例において、積層体に貫通穴が形成され
た状態を示す説明図である。
FIG. 7 is an explanatory view showing a state in which a through-hole is formed in the laminate in the example.

【図8】 実施例において、積層体の貫通穴に導電部材
料が充填された状態を示す説明図である。
FIG. 8 is an explanatory view showing a state in which a conductive portion material is filled in a through hole of a laminate in an example.

【図9】 実施例において、積層体貫通穴の導電部材料
が平行磁場下に配置された状態を示す説明図である。
FIG. 9 is an explanatory view showing a state in which the conductive portion material of the through-hole of the laminated body is arranged under a parallel magnetic field in the example.

【図10】実施例において、積層体貫通穴の導電部材料
が硬化した状態を示す説明図である。
FIG. 10 is an explanatory view showing a state in which the conductive portion material of the through-hole of the laminated body is cured in the example.

【図11】実施例において、電気的に導通する導電部を
有する絶縁性シートが形成された状態を示す説明図であ
る。
FIG. 11 is an explanatory diagram showing a state in which an insulating sheet having a conductive portion that is electrically conductive is formed in the example.

【図12】実施例において、電気的に導通する導電部を
有する絶縁性シートが形成された状態を示す説明図であ
る。
FIG. 12 is an explanatory view showing a state in which an insulating sheet having a conductive portion that is electrically conductive is formed in the example.

【図13】実施例において、電気的に導通する導電部を
有する絶縁性シートが形成された状態を示す説明図であ
る。
FIG. 13 is an explanatory view showing a state in which an insulating sheet having a conductive portion that is electrically conductive is formed in the example.

【符号の説明】 1、導線 2、プローブヘ
ッド 3、プローブ 4、スルホール 5、プリント配線回路基板 6、電気的に導
通する弾性体シート 6A、積層体 6C、穴明き積
層体 6B、導電部形成材料を充填した積層体 7、導板 8、スルホール 9、配線 10、絶縁性シー
ト 11、ピン 12、ピンボー
ド 13、金メッキ銅板 14、導体板 15、17、ランド 16、短絡部 20、剛性絶縁シート 21、金属箔 25、導電部 25B、導電部形
成材料 25H、導電部形成用ドリル穴 30B、ゴム材
料層 30、ゴム層 40、異方導電性エラストマー層 E、弾性高分子物質 P、導電性粒子 53、磁極板 55、磁極板
[Description of Signs] 1, lead wire 2, probe head 3, probe 4, through hole 5, printed circuit board 6, electrically conductive elastic sheet 6A, laminated body 6C, perforated laminated body 6B, conductive part formation Laminated body 7 filled with material, conductive plate 8, through hole 9, wiring 10, insulating sheet 11, pin 12, pin board 13, gold-plated copper plate 14, conductor plate 15, 17, land 16, short-circuit portion 20, rigid insulating sheet 21, metal foil 25, conductive part 25B, conductive part forming material 25H, drill hole 30B for conductive part formation, rubber material layer 30, rubber layer 40, anisotropic conductive elastomer layer E, elastic polymer substance P, conductive particles 53, magnetic pole plate 55, magnetic pole plate

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】プローブを用いた回路基板の電気的導通検
査装置であって、 検査する回路基板に対してプローブとは反対側に、厚さ
方向に電気的に導通する導通部が点在する絶縁性シート
および電気的に良導体である導板を配置したことを特徴
とする回路基板の検査装置。
An apparatus for inspecting electrical continuity of a circuit board using a probe, wherein conductive parts electrically conducting in a thickness direction are scattered on a side opposite to the probe with respect to the circuit board to be inspected. An inspection apparatus for a circuit board, comprising an insulating sheet and a conductive plate that is electrically good.
【請求項2】絶縁性シートが、弾性体層と硬質体層とを
有する絶縁性積層体の中に、厚さ方向に電気的に導通す
る弾性体からなる導通部が点在するシートである請求項
1記載の回路基板の検査装置。
2. The insulating sheet according to claim 1, wherein conductive portions made of an elastic material electrically conductive in a thickness direction are scattered in an insulating laminate having an elastic material layer and a hard material layer. The circuit board inspection apparatus according to claim 1.
【請求項3】プローブを用いた回路基板の電気的導通検
査において、厚さ方向に電気的に導通する導通部が点在
する絶縁性シートを、検査する回路基板に重ねて配置し
たことを特徴とする回路基板の検査方法。
3. An electrical continuity test for a circuit board using a probe, wherein an insulating sheet having conductive portions scattered in a thickness direction is arranged on the circuit board to be tested. Circuit board inspection method.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020057216A1 (en) * 2018-09-19 2020-03-26 郑州云海信息技术有限公司 Memory signal test board

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