JPH11251737A - リフロー加熱装置 - Google Patents
リフロー加熱装置Info
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- JPH11251737A JPH11251737A JP4798698A JP4798698A JPH11251737A JP H11251737 A JPH11251737 A JP H11251737A JP 4798698 A JP4798698 A JP 4798698A JP 4798698 A JP4798698 A JP 4798698A JP H11251737 A JPH11251737 A JP H11251737A
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- reflow
- reflow heating
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Abstract
下面とにおける雰囲気温度を分離できて基板の下面に実
装される弱耐熱性の電子部品等の部品を熱ダメージより
保護でき、且つ電子部品の落下の危険性を小さくでき、
消費電力を抑えることができて電子部品の半田付けを良
好に行うことができるリフロー加熱装置を提供する。 【解決手段】 装置本体27内で空気を循環させる送風
機32と、循環される空気を加熱するヒータ4と、加熱
された空気を吹き出して基板7を加熱する熱風吹き出し
口6と、基板7を加熱した熱風5が流れる炉壁面29
と、熱風5を吸い込んで前記送風機に戻すための熱風吸
い込み口22とを、搬送ラインの上面側及び/又は下面
側に備えており、基板7に吹き付けられ、リフロー半田
付けを行うための熱風を上面独立循環及び/又は下面独
立循環とした。
Description
せた基板を加熱して、リフロー半田付けするためのリフ
ロー加熱装置に関するものである。
は、基板に半田を印刷し、電子部品を所定位置に配設し
た後に、この電子部品を基板にリフロー半田付けする工
法が広く用いられている。
部品を半田付けし、高密度な回路を形成したものが用い
られるようになっている。
田付けし、その後に基板を反転して一次面の電子部品と
半田付け部を下に向け、上を向いた二次面に電子部品を
実装して半田付けを行う。この二次面に半田付けを行う
には、二次面にクリーム半田を印刷し、電子部品を搭載
してリフロー炉に投入し、加熱することによって半田を
溶融し、その後凝固させることによって、半田付けを行
うようにしている。
示すように、基板7の搬送面下方にあるファン2とこの
ファン2を回転させるモータ3で構成される送風機32
で、炉内の空気を吸い込み、搬送面の側方を通して炉の
上部にこの空気を吹き出し、炉内を循環される空気は、
途中でヒータ4で加熱された後に、熱風となって搬送面
の上方から被加熱物である基板7に向けて下向きに吹き
付けられる。この熱風は、基板7に衝突した後に、搬送
面を横切って下方へ流れ、再びファン2の吸い込み口1
0に流れ込むようになっている。
基板7の二次面(図10の上面)には熱容量の大きいQ
FPパッケージ部品11やアルミ電解コンデンサー12
等の電子部品が混在して実装されている。
は、弱耐熱性の電子部品13等が低い温度で既に半田付
けされている。
1、12等を半田付けするときには、高温度で半田付け
を行うために、一次面の電子部品13の半田付け部分が
溶融することがあり、この電子部品13が比較的重い部
品である場合には、二次面のリフロー半田付け中に、一
次面の電子部品13が落下してしまう危険性があるため
に、予め一次面の電子部品13を150°C位の温度で
硬化する接着剤を用いた基板7に固定するようにしてい
ることも多い。
性の電子部品13である場合には、外部から送風機又は
炉体の下部から自然対流させて空気を導入し、部品ボデ
ィの温度上昇をやわらげる方法もとられている。
熱風循環型リフロー装置では、基板7の二次面(上面)
だけでなく基板7の一次面(下面)まで全体に熱風が回
り込むために、ある程度被加熱物である電子部品を均一
温度で加熱しやすいが、基板の上面から下面に向けて熱
風を流すために、基板7の下面には熱風がほとんど吹き
付けられないので、基板7の下面の加熱の効率は上面に
比べて50%以下となる。
ど雰囲気温度差がないために、両面実装の基板7の下面
に実装された電子部品13の部品ボディを温めやすく、
基板7の上面の温度に近い温度となるために、リフロー
工程において基板7の一次面(下面)の電子部品13に
は熱ストレスがかかるとともに、この一次面(下面)の
半田付けリード部において半田が溶融する温度をはるか
に越える危険性があり、一度半田付けされた電子部品1
3が半田付け面積に比べて重量が重い場合には、この電
子部品13が落下してしまう危険性が高い。したがっ
て、落下を防止するための接着剤を固定する方法を用い
られるが、この場合材料費もかかり、製造コストが増大
する。
風を同時に吹き付けて加熱するリフロー装置はあるが、
上面と下面の雰囲気温度が混ざり合ってしまうために、
温度差をあまり大きくとれない。この温度差をとるため
には、外気を大量に導入し、基板の下面に、上面と温度
差のある風を当てたりしていた。ところが、この場合に
は、ヒータの消費電力が二倍以上にもなり、また窒素リ
フロー半田付けなどには適用できないという問題があっ
た。
基板の上面と下面とにおける雰囲気温度を分離すること
ができて基板の下面に実装される弱耐熱性の電子部品等
の部品を熱ダメージより保護できるとともに電子部品の
落下の危険性を小さくでき、しかも消費電力を抑えるこ
とができて、電子部品の半田付けを良好に行うことがで
きるリフロー加熱装置を提供することを主目的としてい
る。
に、本発明は、電子部品が装着された基板をリフロー加
熱して前記電子部品を基板に半田付けするようにしたリ
フロー加熱装置において、装置本体内で空気を循環させ
る送風機と、循環される空気を加熱するヒータと、加熱
された空気を吹き出して前記基板を加熱する熱風吹き出
し口と、基板を加熱した熱風が流れる炉壁面と、前記熱
風を吸い込んで前記送風機に戻すための熱風吸い込み口
とを、搬送ラインの上面側及び/又は下面側に備えてお
り、前記送風機で圧縮送風され前記ヒータで加熱された
熱風が、前記基板の基板面に対して垂直に吹き付けら
れ、前記基板面に吹き付けられた熱風は、前記基板に沿
って水平方向へ流れて前記炉壁面の内側を流れ、その後
に、前記熱風吸い込み口を経て前記送風機に吸引される
上面独立循環及び/又は下面独立循環としたことを特徴
としている。
風が、前記基板の搬送面に対して基板の反対側に侵入す
ることを阻止する隔壁シャッターを設けることが好まし
い。
搬送するガイドレールに取り付けられ、基板の幅寸法に
応じて伸縮する構造であると好適である。
れ、前記基板を搬送する下面側又は上面側に圧縮空気を
噴出する冷却ノズルを備えていることが好ましい。
送風機に向けて循環する炉壁面の外側に、炉壁に蓄積さ
れた熱を放熱する放熱フィンを設けると好適である。
機に向けて循環する炉壁面に、冷却フィンと、この冷却
フィンに蓄積された熱を放熱する前記放熱フィンを備え
ていることが好ましい。
のリフロー半田付けによって生じるフラックスヒューム
を液化し、炉内下方に液化されたフラックスを回収する
回収ボックスを設けると好適である。
幅方向に平行に並設された複数の平板をそれぞれ断面略
三角形に折り曲げてなるものの間に形成された複数のス
リットで構成されていることが好ましい。
幅方向に平行に並設された複数の平板をそれぞれ断面多
角形に折り曲げてなるものの間に形成された複数のスリ
ットで構成されていると好適である。
幅方向に平行に並設された複数の平板をそれぞれ断面半
円形に折り曲げてなるものの間に形成された複数のスリ
ットで構成されていることが好ましい。
された多数の孔部で構成されていると好適である。
された多数の孔部と、この平板に垂設され、前記多数の
孔部にそれぞれ接合された多数のパイプで構成されてい
ることが好ましい。
され基板の搬送幅方向に複数の平行な溝型の孔部で構成
されていると好適である。
品を半田付けするときに、半田付けするための熱風が上
面独立循環及び/又は下面独立循環するように構成され
ているので、リフロー半田付けするときに、基板の上面
と下面とにおける雰囲気温度を分離することができて、
例えば基板の下面に実装される弱耐熱性の電子部品等の
部品を熱ダメージより保護できるとともに電子部品の落
下の危険性を小さくできる。しかも消費電力を抑えるこ
とができて、電子部品の半田付けを良好に行うことがで
きる。
上面と下面との熱風が混ざり合うことを防ぐことがで
き、基板の上面と下面の雰囲気温度を確実に分離できて
基板の上面と下面への電子部品の半田付けをより良好に
行うことができる。
ガイドレールに取り付けられ、基板の幅寸法に応じて伸
縮する構造とすると、基板の幅寸法に応じてガイドレー
ルを間隔を大きくしても隔壁シャッターをこれに追従し
て伸ばすことができて、基板の上面側と下面側との熱風
を確実にそれぞれ独立循環させることができる。
圧縮空気を噴出する冷却ノズルを設けることによって、
基板の上面又は下面に電子部品をリフロー半田付けする
ときに、基板の半田付け面の反対側面に圧縮空気を冷却
ノズルから吹き出し、基板の半田付け面の反対側面の温
度を圧縮空気によって上昇することを抑えて、基板の半
田付け面の反対側面の電子部品をリフロー半田付けによ
る熱風の影響から保護することができる。
炉壁面の外側に、放熱フィンを設けると、炉壁に蓄積さ
れた熱を炉壁の外側に放熱することができ、炉内の温度
上昇を抑えることができる。
ィンに蓄積された熱を放熱する放熱フィンを設けると、
冷却フィンによって炉壁面内の熱を冷却でき、更に、こ
の冷却フィンに蓄積された熱を放熱フィンで炉壁の外側
に放熱できるので、炉内の温度上昇をより以上抑えるこ
とができる。
付けによって生じるフラックスヒュームを液化し、炉内
下方に液化されたフラックスを回収する回収ボックスを
設けると、液化されたフラックスが回収ボックスで回収
して取り出せるので、炉内下方に液化したフラックスが
溜まることを防ぐことができる。
た複数の平板をそれぞれ断面略三角形に折り曲げてなる
ものの間に形成された複数のスリットで構成されている
と、熱風は複数の前記スリットに案内されて基板の上面
及び/又は下面に風速を均一化されて噴流となって吹き
付けられるので、熱風の吹き付けによる基板への熱の伝
達を促進させることができる。
た複数の平板をそれぞれ断面多角形に折り曲げてなるも
のの間に形成された複数のスリットで構成されている
と、熱風は複数の前記スリットに案内されて基板の上面
及び/又は下面に風速を均一化されて噴流となって吹き
付けられるので、熱風の吹き付けによる基板への熱の伝
達を促進させることができる。
た複数の平板をそれぞれ断面半円形に折り曲げてなるも
のの間に形成された複数のスリットで構成されている
と、熱風は複数の前記スリットに案内されて基板の上面
及び/又は下面に風速を均一化されて噴流となって吹き
付けられるので、熱風の吹き付けによる基板への熱の伝
達を促進させることができる。
た多数の孔部で構成されていると、この熱風吹き出し口
を簡単に形成することができ、しかも、熱風が多数の孔
部から基板の上面及び/又は下面に風速を均一化されて
噴流となって吹き付けられるので、熱風の吹き付けによ
る基板への熱の伝達を促進させることができる。
た多数の孔部と、多数の孔部に接合されて垂設された多
数のパイプで構成されていると、熱風が多数の孔部から
多数のパイプを流れて基板の上面及び/又は下面に均一
化されて噴流となって吹き付けられるので、熱風の吹き
付けによる基板への熱の伝達を促進させることができ
る。
基板の搬送幅方向に複数の平行な溝型の孔部で構成され
ていると、熱風が平板に形成された複数の平行な溝型の
孔部から基板の上面及び/又は下面に風速を均一化され
て噴流となって吹き付けられるので、熱風の吹き付けに
よる基板への熱の伝達を促進させることができる。
装置の実施の形態について、図を参照つしし説明する。
置を示し、(a)は概略正面縦断面図、(b)は概略側
面縦断面図である。尚、上述した従来のリフロー加熱装
置における同一部材、同一箇所には同一符号を付して説
明する。
に沿って通常3〜8箇所の複数の加熱部が設けられ、図
1はそのうちの一つを示している。
(a)、(b)に示すように、炉体27の内部に各仕切
り壁26により区切られている。これにより、所定の温
度プロファイルに沿って基板7は水平搬送面28上を搬
送レール8に配設された搬送チェイン9によって炉体2
7に投入されて搬送される。
で空気を循環させるモータ3とモータ3で回転されるフ
ァン2とからなる送風機32と、循環される空気を加熱
するヒータ4と、加熱された空気が流れる通風路14
と、通風路14を流れてきた熱風5を吹き出して基板を
加熱するノズルからなる熱風吹き出し口6と、基板7を
加熱した熱風5が流れる炉壁面29と、熱風5を吸い込
んで送風機32に戻すための熱風吸い込み口22とを、
搬送ラインの上面側に備えている。
置されており、この送風機32で圧縮空気が水平方向に
送風され、ヒータ4で加熱されて熱風5となり、この熱
風5は通風路14を下向きに流れてテーパーフード15
のテーパ面に沿って左右均等になるように流れ、ノズル
からなる熱風吹き出し口6から搬送ラインに配設された
基板7の上面に左右均等に吹き出され、その後に、炉壁
面29内を通って熱風吸い込み口22から送風機32側
に吸引されるようになっている。
の幅よりやや広いサイズであるが、その両側方は空いて
いる。これにより、ノズルからなる熱風吹き出し口6か
ら吹き出された熱風5は、基板7の上面に沿って水平方
向に流れ、炉壁面29の内側に配設された通風ガイド1
8によって上方に流れ方向を修正され、炉壁面29を形
成する左右両側壁面29a、29bを伝ってファンから
なる送風機32のケーシング16の中央にある熱風吸い
込み口22へ集められるようになっている。
ル8と炉壁面29を形成する左右両側壁面29a、29
bの間には、水平な隔壁シャッター17が配設されてお
り、炉体27内部の上部雰囲気と下部雰囲気とを分離す
る構造となっている。
に示す構造のものがある。この隔壁シャッター17は、
図2(a)、(b)に示すように、搬送レール8の背面
にプレートを取り付けた形状となっており、搬送レール
8を基板7の幅に合わせて広げる場合には、図2(c)
に示すように、幅方向への移動によって炉壁の外部に突
き出すように構成されている。これにより、基板7の幅
寸法に合わせて炉体27内の上下雰囲気を分離できるよ
うになっている。
ッター17を伸縮自在なアコーディオン式の形状とし
て、図3(b)、(c)に示すように、基板7の幅寸法
に応じて伸縮する構造としてもよい。
の両方に、送風機32、ヒータ4等の上述した各部材を
それぞれ配置した別例のリフロー加熱装置である。
の上面と下面とを同時にリフロー半田付けできる。尚、
基板7の下面側にだけ送風機32、ヒータ4等の上述し
た各部材をそれぞれ配置して、基板7の下面だけをリフ
ロー半田付けするようにしてもよい。
付けするようにしたリフロー加熱装置において、その基
板7の下面側に、圧縮空気を噴出する冷却ノズル20を
左右にそれぞれ配設した例を示している。
パイプ19を通し、この中空パイプ19に細い開口部が
開設されていて、この細い開口部に冷却ノズル20が取
り付けた構造となっている。
細長い開口部を有するスリット形状のものや、図5
(c)に示すように、多数の小さな1mm以下の円形孔
に円形パイプを取り付けた形状のもの等がある。
面29の内面側に冷却フィン21を設け、外面側にこの
冷却フィン21に蓄積された熱を放熱する放熱フィン2
3を設けたリフロー加熱装置を示している。
の上面に沿って水平方向に流れ、通風ガイド18により
上方へ修正されて上向きに流れ、循環経路を形成する炉
壁面29に設けられた冷却フィン21を通過するときに
この冷却フィン21で熱を奪い、放熱フィン23によっ
てこの熱を炉外に放出する。これにより、循環する雰囲
気温度を外気を導入することなく下げることができる。
3は、アルミニューム等の熱伝導性の良いもので製作す
ることが好ましい。また、冷却フィン21が無くても炉
壁面29だけでも冷却効果はある程度見込める。
フラックスヒュームを冷却フィン21で冷却して液化
し、炉壁面29の下方に設けた回収ボックス24で、フ
ラックスを回収して除去するように構成している。
ルからなる各種熱風吹き出し口6を示している。
6は、基板7の搬送幅方向に平行に並設された複数の平
板6Aをそれぞれ断面略三角形に折り曲げてなるものの
間に形成されて複数のスリットで構成されている。
5は複数のスリットに案内されて基板の上面及び/又は
下面に風速を均一化されて噴流となって吹き付けられ
る。
6は、基板7の搬送幅方向に平行に並設された複数の平
板6Bをそれぞれ断面多角形に折り曲げてなるものの間
に形成された複数の平行なスリットで構成されている。
5は複数の平行なスリットに案内されて基板7の上面及
び/又は下面に風速を均一化されて噴流となって吹き付
けられる。
6は、基板7の搬送幅方向に平行に並設された複数の平
板をそれぞれ断面半円形に折り曲げてなるものの間に形
成された複数のスリットで構成されている。
5は複数の平行な溝型スリットに案内されて基板7の上
面及び/又は下面に風速を均一化されて噴流となって吹
き付けられる。
6は、平板6Dに形成された多数の孔部で構成されてい
る。
5は多数の孔部から基板7の上面及び/又は下面に風速
を均一化されて噴流となって吹き付けられる。
6は、平板6Eに形成された多数の孔部と、この平板に
垂設され、前記多数の孔部にそれぞれ接合された多数の
パイプ6eで構成されている。
5は多数の孔部と多数のパイプ6eに案内されて基板7
の上面及び/又は下面に風速を均一化されて噴流となっ
て吹き付けられる。
6は、平板6Fに形成され基板7の搬送幅方向に複数の
平行な溝型の孔部で構成されている。
5は複数の平行な溝型の孔部から基板7の上面及び/又
は下面に風速を均一化されて噴流となって吹き付けられ
る。
も、熱風が基板7の上面及び/又は下面に風速を均一化
されて噴流となって吹き付けられるので、熱風の吹き付
けによる基板7への熱の伝達を促進させることができ
る。
熱効果を示すグラフである。
基板7の上面の雰囲気温度Ta、基板7の上面の温度T
1、基板7の下面の温度T2、基板7の下面の雰囲気温
度Tbを比較すると、従来のリフロー加熱装置の場合に
比べて、上面独立循環の場合(図8にてAの場合)にお
ける基板7の上面と下面の雰囲気温度が約6°Cから約
8°Cとなる。更に基板7の上面を加熱し下面を冷却し
た場合(図8にてBの場合)には、基板7の上面と下面
との温度差を約16°Cとすることができることが判
る。また基板7の上面と下面の両方から熱風5を基板7
に吹き付けた場合(図8にてCの場合)には、基板7の
上面と下面の温度差は上面側の設定温度と下面側の設定
温度との温度差となる。
ための熱風が上面独立循環及び/又は下面独立循環する
ように構成されているので、リフロー半田付けするとき
に、基板の上面と下面とにおける雰囲気温度を分離でき
て、例えば基板の下面に実装される弱耐熱性の電子部品
等の部品を熱ダメージより保護できるとともに電子部品
の落下の危険性を小さくでき、しかも消費電力を抑える
ことができて電子部品の半田付けを良好に行うことがで
きる。
構造を示し、(a)は正面概略縦断面図、(b)は側面
概略縦断面図である。
を分離する隔壁シャッターを示し、(a)は部分斜視
図、(b)は正面部分縦断面図、(c)は基板の幅が大
きい場合における広げた状態を示す正面部分縦断面図で
ある。
を分離するアコーディオン式の隔壁シャッターを示し、
(a)は部分斜視図、(b)は正面部分縦断面図、
(c)は基板の幅が大きい場合における広げた状態を示
す正面部分縦断面図である。
ー加熱装置の側面概略縦断面図である。
フロー加熱装置の側面概略縦断面図、(b)は冷却ノズ
ルの一例を示す斜視図、(c)は冷却ノズルの別例を示
す斜視図である。
と放熱フィンとを設けた状態のリフロー加熱装置の側面
概略縦断面図、(b)は冷却フィンと放熱フィンの概略
斜視図である。
(a)は第1例の熱風吹き出し口の斜視図、(b)は第
2例の熱風吹き出し口の斜視図、(c)は第3例の熱風
吹き出し口の斜視図、(d)は第4例の熱風吹き出し口
の斜視図、(e)は第5例の熱風吹き出し口の斜視図、
(f)は第6例の熱風吹き出し口の斜視図である。
すグラフである。
である。
板の一例を示す正面図である。
Claims (13)
- 【請求項1】 電子部品が装着された基板をリフロー加
熱して前記電子部品を基板に半田付けするようにしたリ
フロー加熱装置において、装置本体内で空気を循環させ
る送風機と、循環される空気を加熱するヒータと、加熱
された空気を吹き出して前記基板を加熱する熱風吹き出
し口と、基板を加熱した熱風が流れる炉壁面と、前記熱
風を吸い込んで前記送風機に戻すための熱風吸い込み口
とを、搬送ラインの上面側及び/又は下面側に備えてお
り、前記送風機で圧縮送風され前記ヒータで加熱された
熱風が、前記基板の基板面に対して垂直に吹き付けら
れ、前記基板面に吹き付けられた熱風は、前記基板に沿
って水平方向へ流れて前記炉壁面の内側を流れ、その後
に、前記熱風吸い込み口を経て前記送風機に吸引される
上面独立循環及び/又は下面独立循環としたことを特徴
とするリフロー加熱装置。 - 【請求項2】 前記基板に垂直に吹き付けられる熱風
が、前記基板の搬送面に対して基板の反対側に侵入する
ことを阻止する隔壁シャッターを設けたことを特徴とす
る請求項1に記載のリフロー加熱装置。 - 【請求項3】 前記隔壁シャッターは、前記基板を搬送
するガイドレールに取り付けられ、基板の幅寸法に応じ
て伸縮する構造であることを特徴とする請求項2に記載
のリフロー加熱装置。 - 【請求項4】 上面独立循環又は下面独立循環とされ、
前記基板を搬送する下面側又は上面側に圧縮空気を噴出
する冷却ノズルを備えていることを特徴とする請求項1
乃至3のいずれかに記載のリフロー加熱装置。 - 【請求項5】 前記基板を加熱した後の熱風が前記送風
機に向けて循環する炉壁面の外側に、炉壁に蓄積された
熱を放熱する放熱フィンを設けたことを特徴とする請求
項1乃至4のいずれかに記載のリフロー加熱装置。 - 【請求項6】 基板を加熱した後の熱風が前記送風機に
向けて循環する炉壁面に、冷却フィンと、この冷却フィ
ンに蓄積された熱を放熱する前記放熱フィンを備えてい
ることを特徴とする請求項5に記載のリフロー加熱装
置。 - 【請求項7】 前記冷却フィンによって、前記基板のリ
フロー半田付けによって生じるフラックスヒュームを液
化し、炉内下方に液化されたフラックスを回収する回収
ボックスを設けたことを特徴とする請求項6に記載のリ
フロー加熱装置。 - 【請求項8】 前記熱風吹き出し口は、基板の搬送幅方
向に平行に並設された複数の平板をそれぞれ断面略三角
形に折り曲げてなるものの間に形成された複数のスリッ
トで構成されていることを特徴とする請求項1乃至7の
いずれかに記載のリフロー加熱装置。 - 【請求項9】 前記熱風吹き出し口は、基板の搬送幅方
向に平行に並設された複数の平板をそれぞれ断面多角形
に折り曲げてなるものの間に形成された複数のスリット
で構成されていることを特徴とする請求項1乃至7のい
ずれかに記載のリフロー加熱装置。 - 【請求項10】 前記熱風吹き出し口は、基板の搬送幅
方向に平行に並設された複数の平板をそれぞれ断面半円
形に折り曲げてなるものの間に形成された複数のスリッ
トで構成されていることを特徴とする請求項1乃至7の
いずれかに記載のリフロー加熱装置。 - 【請求項11】 前記熱風吹き出し口は、平板に形成さ
れた多数の孔部で構成されていることを特徴とする請求
項1乃至7のいずれかに記載のリフロー加熱装置。 - 【請求項12】 前記熱風吹き出し口は、平板に形成さ
れた多数の孔部と、この平板に垂設され、前記多数の孔
部にそれぞれ接合された多数のパイプで構成されている
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載のリ
フロー加熱装置。 - 【請求項13】 前記熱風吹き出し口は、平板に形成さ
れ基板の搬送幅方向に複数の平行な溝型の孔部で構成さ
れていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに
記載のリフロー加熱装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4798698A JPH11251737A (ja) | 1998-02-27 | 1998-02-27 | リフロー加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4798698A JPH11251737A (ja) | 1998-02-27 | 1998-02-27 | リフロー加熱装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11251737A true JPH11251737A (ja) | 1999-09-17 |
Family
ID=12790650
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4798698A Pending JPH11251737A (ja) | 1998-02-27 | 1998-02-27 | リフロー加熱装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11251737A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005096367A1 (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Tamura Corporation | 加熱装置及びリフロー装置,はんだバンプ形成方法及び装置 |
JP2006153440A (ja) * | 2001-02-23 | 2006-06-15 | Tamura Seisakusho Co Ltd | 熱風噴射型加熱装置および加熱炉 |
-
1998
- 1998-02-27 JP JP4798698A patent/JPH11251737A/ja active Pending
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