JPH11250792A

JPH11250792A - 静電型スイッチ素子

Info

Publication number: JPH11250792A
Application number: JP5059498A
Authority: JP
Inventors: Akihiko Hirata; 明彦枚田; Katsuyuki Machida; 克之町田; Masahiko Maeda; 正彦前田; Oku Kuraki; 億久良木; Hideo Akitani; 秀夫秋谷
Original assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 1998-03-03
Filing date: 1998-03-03
Publication date: 1999-09-17

Abstract

(57)【要約】【課題】静電型スイッチ素子の専有面積を縮小し、か
つ、その駆動電圧を低減できるようにする。【解決手段】支持板１１０に固定された可動部分は、
接続部１０９ａ，１０９ａ’に固定された支持梁（第１
の梁部材）１０７ａと接続部１０９ｂ，１０９ｂ’に固
定された支持梁１０７（第２の梁部材）ｂとに連結梁
（第１，２の連結部材）１０８ａ，１０８ｂを介して２
方向から支持されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、梁部材に支えら
れて電圧を印加することで可動する接点を備えた静電型
スイッチ素子に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子システムの小型化が進展するに伴
い、電気信号切り替え用のスイッチも小型化および高集
積化が必要となっている。現在、電気信号の切り替え
は、ＬＳＩ内に形成されているトランジスタスイッチ、
あるいは電子部品であるチップ型スイッチで行われてい
る。しかし、トランジスタスイッチは占有面積は数μｍ
² と小さいが、オン抵抗が数百Ωと高い。一方、チップ
型スイッチは、オン抵抗は１Ω以下であるが、占有面積
は１００ｍｍ² 程度と大きい。

【０００３】以上のことを背景に、低オン抵抗，小占有
面積の両方を実現するスイッチとして近年期待されてい
るのが、表面マイクロマシン技術を利用して形成した微
細なな可動接点を備えたスイッチ素子である。これは、
ＬＳＩ製造で培われた微細加工技術を利用し、半導体基
板上に占有面積が１ｍｍ² 以下の有接点型スイッチを集
積化して形成する技術である。なかでも、静電引力を接
点開閉の駆動力に利用する静電型スイッチ素子は、ＬＳ
Ｉ製造プロセスと整合性が良いため有望な技術と考えら
れる（文献：K.E.Petersen、"Dynamic Micromechanics o
n Silicon:Technique and Devices "lEEE Trans.Electr
on Devices,ED-25,No10、(1978)1241）。

【０００４】ここで、図５に、従来よりある静電型スイ
ッチ素子の概要を示す。絶縁性の基板５０１の上に固定
接点電極５０２ａ，５０２ｂおよび固定吸引電極５０３
が設けられている。さらに、固定接点電極５０２ａ，５
０２ｂ上に微小空隙５０４を隔てて可動接点電極５０５
が備えられている。また、可動吸引電極５０６は、その
一端が接続部５０９で基板５０１に接続され、そして、
可動接点電極５０５は絶縁材料からなる支持板５１０に
支持され、この支持板５１０は可動吸引電極５０６に固
定されている。以上に示した構成において、固定吸引電
極５０３と可動吸引電極５０６との間に電圧を印加する
と、静電引力が発生して両電極が引き合う。この結果、
図５（ｂ）に示すように、可動吸引電極５０６がたわ
み、固定接点電極５０２ａ，５０２ｂと可動接点電極５
０５が接触することにより接点が閉じる。また、電圧印
加を停止すると、可動接点電極５０６の弾性力で可動接
点電極５０５が元の位置に戻り、この結果、接点が開放
する。

【０００５】ところで、それら静電型スイッチ素子は、
図６（ａ）の平面図に示すように、静電引力を確保する
ために可動接点電極５０６の幅をある程度確保するよう
にしている。したがって、その弾性力が強くなるため、
接点を閉じるためには、固定吸引電極５０３に印加する
電圧を高くする、あるいは、可動吸引電極５０６の長さ
を長くするなどの必要がある。これに対し、駆動用の電
圧を低減するため、図６（ｂ）に示すように、幅の狭い
支持梁５０７で、可動接点電極５０６を支える構造の静
電型スイッチ素子も提案されている。

【０００６】一方、図７に示すように、可動電極を両方
向から支持することで、接点の開放をより確実に行える
ようにした構成の静電型スイッチ素子もある。これら
は、図７（ａ）に示すように、４つの接続部７０９に固
定された２つの支持梁７０７を備え、また、２つの支持
梁７０７に支持された可動吸引電極７０６を２組備える
ようにしたものである。そして、この静電型スイッチ素
子は、２つの可動吸引電極７０６にわたって支持板７１
０が形成され、この支持板７１０に可動接点電極７０５
が形成されている。このように、可動接点電極７０５を
両方向から支える構造とすることで、固定接点電極７０
２ａ，７０２ｂと可動接点電極７０５の接触が、より確
実に開放されるようになる。また、図７（ｂ）に示すよ
うに、駆動用の電圧を低減するため、幅の狭い４支持梁
７０７ａで、２つの可動吸引電極７０６を支える構造の
静電型スイッチ素子も提案されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来形成され
た静電型スイッチ素子は、例えば、図５，６に示した構
成では、駆動電圧を１０Ｖ以下に抑制するためには、支
持梁が数十μｍの長さを必要としていた。また、例えば
図７（ａ）に示した静電型スイッチ素子では、８Ｖで騒
動させるためには、４つの支持梁の長さをそれぞれ１５
μｍとする必要があった。このため、従来では、静電型
スイッチ素子をより低電圧で動作させるためには、支持
梁を長くしなくてはならず、これらの占有面積が大きく
なるため、素子全体の占有面積の低減が実現できないと
いう問題があった。従来得られている静電型スイッチ素
子は、占有面積が１００００μｍ² 以上、あるいは、駆
動用電圧が２０Ｖ以上必要となっている。静電型スイッ
チ素子をＬＳＩや配線基板内で使用するためには、騒動
電圧および占有面積の低減が必要となっている。

【０００８】この発明は、以上のような問題点を解消す
るためになされたものであり、静電型スイッチ素子の専
有面積を縮小し、かつ、その駆動電圧を低減できるよう
にすることを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明の静電型スイッ
チ素子は、基板上に固定された固定吸引電極と、固定吸
引電極に対向してかつ離間して配置された可動吸引電極
と、基板上に固定吸引電極から離間して配置された固定
接点電極と、固定接点電極上に対向してかつ離間して配
置された可動接点電極と、可動吸引電極と可動接点電極
を支持する第１の支持部材と、可動吸引電極に接続され
た第２および第３の支持部材とを備えるようにした。そ
して、第２および第３の支持部材のそれぞれは、少なく
とも一端が基板に固定された短冊状の第１および第２の
梁部材と、第１および第２の梁部材の一部で可動吸引電
極および第１の支持部材と連結される矩形状の第１およ
び第２の連結部材とからなり、第１および第２の連結部
材と第１および第２の梁部材とのそれぞれの接続部分の
長さは、その接続部分と平行な可動吸引電極の長さより
短くされているようにした。また、この発明の静電型ス
イッチ素子は、基板上に固定された第１および第２の固
定吸引電極と、第１および第２の固定吸引電極に対向し
てかつ離間して配置された第１および第２の可動吸引電
極と、基板上に第１および第２の固定吸引電極の間に離
間して配置された固定接点電極と、固定接点電極上に対
向してかつ離間して配置された可動接点電極と、第１お
よび第２の可動吸引電極と可動接点電極とを支持する第
１の支持部材と、第１の支持部材の対向する部分で第１
および第２の可動吸引電極に接続された第２および第３
の支持部材とを備えるようにした。そして、第２および
第３の支持部材のそれぞれは、少なくとも一端が基板に
固定された短冊状の第１および第２の梁部材と、第１お
よび第２の梁部材の一部で第１および第２の可動吸引電
極と連結される矩形状の第１および第２の連結部材とか
らなり、第１および第２の連結部材と第１および第２の
梁部材とのそれぞれの接続部分の長さは、その接続部分
と平行な第１および第２の可動吸引電極の長さより短く
されているようにした。したがって、可動吸引電極と第
１および第２の梁部材とが可動吸引電極より小さい連結
部材を介してつながることになり、第１および第２の梁
部材が基板に固定されているところから第１および第２
の梁部材が実質的に可動吸引電極を支持している箇所ま
での距離より、第１および第２の梁部材が基板に固定さ
れているとことから可動吸引電極までの距離の方が短く
なる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下この発明の実施の形態を図を
参照して説明する。実施の形態１はじめに、この発明の第１の実施の形態について説明す
る。図１は、この実施の形態１における静電型スイッチ
素子の構成を示す平面図およびそのＡＡ’における断面
図である。この静電型スイッチ素子は、絶縁性の基板１
０１上には、固定接点電極１０２ａ，１０２ｂおよび固
定吸引電極１０３ａ，１０３ｂが、所定に間隔をあけて
形成されている。また、固定接点電極１０２ａ，１０２
ｂ上には微小な間隔をあけて可動接点電極１０５が配置
している。また、固定吸引電極１０３ａ，１０３ｂ上に
は、それぞれ可動吸引電極１０６ａ，１０６ｂが、微小
な間隔をあけて配置している。また、可動接点電極１０
５および可動吸引電極１０６ａ，１０６ｂは、絶縁材料
からなる支持板（第１の支持部材）１１０で一体に動作
するように構成されている。

【００１１】そして、支持板１１０に固定された可動部
分は、まず、接続部１０９ａ，１０９ａ’に固定された
支持梁（第１の梁部材）１０７ａと接続部１０９ｂ，１
０９ｂ’に固定された支持梁１０７（第２の梁部材）ｂ
とに連結梁（第１，２の連結部材）１０８ａ，１０８ｂ
を介して２方向から支持されている。そして、支持板１
１０に固定された可動部分である可動接点電極１０５
は、固定接点電極１０２ａ，１０２ｂ上に微小間隔１０
４をあけて配置する構成となっている。ここで、例え
ば、固定接点電極１０２ａ，１０２ｂおよび可動接点電
極１０５は、膜厚０．５μｍ程度のＡｕから構成され、
また、固定吸引電極１０３ａ，１０３ｂ、可動吸引電極
１０６ａ，１０６ｂ、支持梁１０７ａ，１０７ｂ、およ
び、連結梁１０８ａ，１０８ｂは０．５μｍ程度のアル
ミニウム薄膜から構成されている。また、支持板１１０
は、シリコン酸化物から構成するようにした。

【００１２】また、固定吸引電極１０３ａ，１０３ｂお
よび可動吸引電極１０６ａ，１０６ｂは１０×１５（μ
ｍ）程度の長方形とし、可動接点電極１０５は５×１０
（μｍ）程度の長方形とし、また、固定接点電極１０２
ａ，１０２ｂは３×３（μｍ）程度の正方形状とした。
また、２つの支持梁１０７ａ，１０７ｂは、幅を３μｍ
程度とし、２つの連結梁１０８ａ，１０８ｂはそれぞれ
２×５（μｍ）程度の長方形とした。また、微小間隔１
０４は０．４μｍ程度とした。そして、この実施の形態
１では、支持梁１０７ａの接続部１０９ａの接合箇所か
ら連結梁１０８ａの接合箇所までの長さＬを約１０μｍ
程度とした。なお、上述では、固定吸引電極１０３ａ，
１０３ｂ、可動吸引電極１０６ａ，１０６ｂ、支持梁１
０７ａ，１０７ｂ、および、連結梁１０８ａ，１０８ｂ
をアルミニウムから構成するようにしたが、これに限る
ものではなく、Ｃｕなどの他の導電性材料を用いるよう
にしてもよい。また、固定接点電極１０２ａ，１０２ｂ
および可動接点電極１０５は、Ａｕに限るものではな
く、他の接点材料を用いるようにしてもよい。

【００１３】以上示したように、この実施の形態１にお
いては、可動吸引電極と支持梁とを連結梁を介して接続
するようにした。そして、連結梁が支持梁と接続してい
る部分の長さが、それと平行な方向の可動吸引電極の大
きさより小さくなるようにした。この結果、この実施の
形態１においては、例えば、図１（ａ）に示すように、
支持梁１０７ａの連結梁１０８ａとの接合部までの長さ
より、接続部１０９ａと可動吸引電極１０６ａとの距離
を短くできる。したがって、より低電圧で駆動させるた
めに、Ｌの長さを長くしたり可動吸引電極を大きくして
も、素子全体の大きさを抑制することができるようにな
る。

【００１４】例えば、図１の構成としたこの実施の形態
１の静電型スイッチ素子では、８Ｖの印加電圧により動
作が可能であった。これに対して、図７（ａ）に示した
従来の静電型スイッチ素子では、８Ｖで駆動させるため
には、支持梁７０７をそれぞれ１５μｍとする必要があ
った。したがって、図７（ａ）に示した従来の静電型ス
イッチ素子に比較して、この実施の形態１の静電型スイ
ッチ素子では、素子の専有面積が約６０％と小さくでき
ることになる。また、図７（ｂ）に示した従来の静電型
スイッチ素子では、支持梁７０７ａの幅を３μｍと狭く
すれば、それぞれの支持梁７０７ａの長さを１０μｍ程
度とすることで、８Ｖで駆動させることができる。しか
し、図７（ｂ）に示した従来の静電型スイッチ素子で
は、支持梁７０７を可動吸引電極５０６に直接固定して
いる。したがって、図７の紙面上下方向の長さが長くな
り、上述した実施の形態１の静電型スイッチ素子に比較
して、素子の専有面積が１．３倍と、より広い面積が必
要となってしまう。

【００１５】ここで、図２に、上述した実施の形態１に
おける支持梁接合部間の長Ｌさと駆動電圧の関係を示
す。これは、支持梁にアルミニウムを用い、上述したよ
うに、その厚さを０．５μｍ程度，幅を３μｍとした場
合における関係を示している。例えば、長さＬを６μｍ
とした場合、その駆動電圧は１５Ｖ程度となり、長さＬ
を１０μｍとした場合、その駆動電圧は８Ｖ程度とな
る。図２に示したこの実施の形態１の特性に対し、支持
梁の幅が１０μｍでは長さＬが６μｍの場合の駆動電圧
は２５Ｖも必要となる。すなわち、この実施の形態１と
同様の専有面積となるように支持梁の長さを調整した場
合、例えば図７（ａ）に示した従来の構成の場合、その
駆動電圧は２５Ｖも必要となる。すなわち、この実施の
形態１の静電型スイッチ素子によれば、より低い電圧で
駆動することが可能となり、また、専有面積も小さくす
ることができる。

【００１６】実施の形態２次に、この発明の第２の実施の形態について説明する。
図３は、この実施の形態２における静電型スイッチ素子
の構成を示す平面図である。この実施の形態２では、絶
縁性の基板１０１上には、固定接点電極１０２ａ，１０
２ｂおよび固定吸引電極１０３ａ，１０３ｂが、所定に
間隔をあけて形成されている。また、固定接点電極１０
２ａ，１０２ｂ上には微小な間隔をあけて可動接点電極
１０５が配置している。また、固定吸引電極１０３ａ，
１０３ｂ上には、それぞれ可動吸引電極１０６ａ，１０
６ｂが、微小な間隔をあけて配置している。また、可動
接点電極１０５および可動吸引電極１０６ａ，１０６ｂ
は、絶縁材料からなる支持板１１０で一体に動作するよ
うに構成されている。

【００１７】そして、支持板１１０に固定された可動部
分は、まず、接続部１０９ａに固定された支持梁２０７
ａと接続部１０９ｂに固定された支持梁２０７ｂとに連
結梁１０８ａ，１０８ｂを介して２方向から支持されて
いる。そして、支持板１１０に固定された可動部分であ
る可動接点電極１０５は、固定接点電極１０２ａ，１０
２ｂ上に微小間隔１０４をあけて配置する構成となって
いる。すなわち、この実施の形態２では、支持梁２０７
ａ，２０７ｂが、それぞれ接続部１０９ａと接続部１０
９ｂとの一点で基板１０１に固定されている構成とし
た。

【００１８】ここで、この実施の形態２においても、例
えば、固定接点電極１０２ａ，１０２ｂおよび可動接点
電極１０５は、膜厚０．５μｍ程度のＡｕから構成さ
れ、また、固定吸引電極１０３ａ，１０３ｂ、可動吸引
電極１０６ａ，１０６ｂ、支持梁２０７ａ，２０７ｂ、
および、連結梁１０８ａ，１０８ｂは０．５μｍ程度の
アルミニウム薄膜から構成されている。また、支持板１
１０は、シリコン酸化物から構成するようにした。ま
た、固定吸引電極１０３ａ，１０３ｂおよび可動吸引電
極１０６ａ，１０６ｂは１０×１５（μｍ）程度の長方
形とし、可動接点電極１０５は５×１０（μｍ）程度の
長方形とし、また、固定接点電極１０２ａ，１０２ｂは
３×３（μｍ）程度の正方形状とした。

【００１９】また、２つの支持梁２０７ａ，２０７ｂは
それぞれ幅３μｍ程度とし、２つの連結梁１０８ａ，１
０８ｂはそれぞれ２×５（μｍ）程度の長方形とした。
また、微小間隔１０４は０．４μｍ程度とした。そし
て、図３に示すように、この支持梁２０７ａ，２０７ｂ
の長さＬは１０μｍとした。このように、この実施の形
態２においては、支持梁が片持ちで支える構成となって
いるので、全体での弾力性が低下することになり、駆動
電圧を５Ｖとより低下させることが可能となった。

【００２０】また、図４に示すように、可動吸引電極１
０６ａ，１０６ｂに対して、その中央部でなく端部で、
連結梁１０８ａ，１０８ｂが固定されているようにして
もよい。この場合、連結梁１０８ａ，１０８ｂは、支持
梁３０７ａ，３０７ｂによりそれぞれ接続部１０９ａと
接続部１０９ｂとの一点で基板１０１に固定されている
構成となる。そして、支持梁３０７ａ，３０７ｂは、長
さＬが１７．５μｍ程度とより長くできるので、図３に
示した構成に比較して、より支持梁全体での弾力性が低
下することになる。この結果、図４に示した構成にする
ことで、駆動電圧を３Ｖとより低下させることが可能と
なった。

【００２１】なお、以上すべての実施の形態において、
静電型スイッチ素子は２層の薄膜および金薄膜で形成さ
れているが、３層以上の金属配線で構成されていても構
わない。また、全ての静電型スイッチ素子は１つの可動
接点電極と２つの固定接点電極から構成されているが、
接点の数が１つ、あるいは３つ以上になるような静電型
スイッチ素子においても本発明を適用可能であることは
言うまでもない。また、支持梁の数は２本あるいは４本
であり形状は長方形であったが、個数および形状は異な
っても構わないことは言うまでもない。例えば、図１
（ａ）では、両端が接続部１０９ａ，１０９ａ’に固定
された支持梁１０７ａの中央部に連結梁１０８ａが固定
されているが、その支持梁を２つに分けて連結梁の両端
に固定するようにしてもよい。また、上記実施の形態
１，２では、可動吸引電極および固定吸引電極を２組備
えるようにしたが、これに限るものではなく、１組であ
ってもまた、３組以上であってもよい。

【００２２】

【発明の効果】以上説明したように、この発明では、基
板上に固定された固定吸引電極と、固定吸引電極に対向
してかつ離間して配置された可動吸引電極と、基板上に
固定吸引電極から離間して配置された固定接点電極と、
固定接点電極上に対向してかつ離間して配置された可動
接点電極と、可動吸引電極と可動接点電極を支持する第
１の支持部材と、可動吸引電極に接続された第２および
第３の支持部材とを備えるようにした。そして、第２お
よび第３の支持部材のそれぞれは、少なくとも一端が基
板に固定された短冊状の第１および第２の梁部材と、第
１および第２の梁部材の一部で可動吸引電極および第１
の支持部材と連結される矩形状の第１および第２の連結
部材とからなり、第１および第２の連結部材と第１およ
び第２の梁部材とのそれぞれの接続部分の長さは、その
接続部分と平行な可動吸引電極の長さより短くされてい
るようにした。また、この発明の静電型スイッチ素子
は、基板上に固定された第１および第２の固定吸引電極
と、第１および第２の固定吸引電極に対向してかつ離間
して配置された第１および第２の可動吸引電極と、基板
上に第１および第２の固定吸引電極の間に離間して配置
された固定接点電極と、固定接点電極上に対向してかつ
離間して配置された可動接点電極と、第１および第２の
可動吸引電極と可動接点電極とを支持する第１の支持部
材と、第１の支持部材の対向する部分で第１および第２
の可動吸引電極に接続された第２および第３の支持部材
とを備えるようにした。そして、第２および第３の支持
部材のそれぞれは、少なくとも一端が基板に固定された
短冊状の第１および第２の梁部材と、第１および第２の
梁部材の一部で第１および第２の可動吸引電極と連結さ
れる矩形状の第１および第２の連結部材とからなり、第
１および第２の連結部材と第１および第２の梁部材との
それぞれの接続部分の長さは、その接続部分と平行な第
１および第２の可動吸引電極の長さより短くされている
ようにした。

【００２３】したがって、可動吸引電極と第１および第
２の梁部材とが可動吸引電極より小さい連結部材を介し
てつながることになり、第１および第２の梁部材が基板
に固定されているところから第１および第２の梁部材が
実質的に可動吸引電極を支持している箇所までの距離よ
り、第１および第２の梁部材が基板に固定されていると
ことから可動吸引電極までの距離の方が短くなる。この
結果、この発明によれば、静電型スイッチ素子の専有面
積をあまり広げることなく、梁部材を長くすることが可
能となるので、専有面積を縮小してかつその駆動電圧を
低減できるようなり、静電型スイッチ素子の微細化およ
び高集積化が可能となる。また、可動接点電極を中心に
第１，第２の梁部材および第１，２の連結部材を配置す
るようにすれば、梁部材の弾性力の合力が可動接点電極
の中心にかかるため、安定した接点の開閉が行えるよう
になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施の形態における静電型
スイッチ素子の構成を示す平面図およびそのＡＡ’にお
ける断面図である。

【図２】実施の形態１における支持梁接合部間の長Ｌ
さと駆動電圧の関係を示す特性図である。

【図３】この発明の第２の実施の形態における静電型
スイッチ素子の構成を示す平面図である。

【図４】実施の形態２における他の例を示す静電型ス
イッチ素子の構成を示す平面図である。

【図５】従来よりある静電型スイッチ素子の概略的な
構成を示す断面図である。

【図６】従来よりある静電型スイッチ素子の概略的な
構成を示す平面図である。

【図７】従来よりある他の静電型スイッチ素子の概略
的な構成を示す平面図である。

【符号の説明】

１０１…基板、１０２ａ，１０２ｂ…固定接点電極、１
０３ａ，１０３ｂ…固定吸引電極、１０４…微小間隔、
１０５…可動接点電極、１０６ａ，１０６ｂ…可動吸引
電極、１０７ａ，１０７ｂ…支持梁、１０８ａ，１０８
ｂ…連結梁、１０９ａ，１０９ａ’，１０９ｂ，１０９
ｂ’…接続部、１１０…支持板。

フロントページの続き (72)発明者久良木億東京都新宿区西新宿三丁目19番２号日本電信電話株式会社内 (72)発明者秋谷秀夫東京都新宿区西新宿三丁目19番２号日本電信電話株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板上に固定された固定吸引電極と、前記固定吸引電極に対向してかつ離間して配置された可
動吸引電極と、前記基板上に前記固定吸引電極から離間して配置された
固定接点電極と、前記固定接点電極上に対向してかつ離間して配置された
可動接点電極と、前記可動吸引電極と前記可動接点電極を支持する第１の
支持部材と、前記第１の支持部材の対向する部分で前記可動吸引電極
および前記第１の支持部材に接続された第２および第３
の支持部材とを備え、前記第２および第３の支持部材のそれぞれは、少なくとも一端が前記基板に固定された短冊状の第１お
よび第２の梁部材と、前記第１および第２の梁部材の一部で前記可動吸引電極
および前記第１の支持部材と連結される矩形状の第１お
よび第２の連結部材とからなり、前記第１および第２の連結部材と前記第１および第２の
梁部材とのそれぞれの接続部分の長さは、その接続部分
と平行な前記可動吸引電極の長さより短くされているこ
とを特徴とする静電型スイッチ素子。
【請求項２】請求項１記載の静電型スイッチ素子にお
いて、前記可動吸引電極は平面形状が矩形に形成されているこ
とを特徴とする静電型スイッチ素子。
【請求項３】基板上に固定された第１および第２の固
定吸引電極と、前記第１および第２の固定吸引電極に対向してかつ離間
して配置された第１および第２の可動吸引電極と、前記基板上に前記第１および第２の固定吸引電極の間に
離間して配置された固定接点電極と、前記固定接点電極上に対向してかつ離間して配置された
可動接点電極と、前記第１および第２の可動吸引電極と前記可動接点電極
とを支持する第１の支持部材と、前記第１の支持部材の対向する部分で前記第１および第
２の可動吸引電極に接続された第２および第３の支持部
材とを備え、前記第２および第３の支持部材のそれぞれは、少なくとも一端が前記基板に固定された短冊状の第１お
よび第２の梁部材と、前記第１および第２の梁部材の一部で前記第１および第
２の可動吸引電極と連結される矩形状の第１および第２
の連結部材とからなり、前記第１および第２の連結部材と前記第１および第２の
梁部材とのそれぞれの接続部分の長さは、その接続部分
と平行な前記第１および第２の可動吸引電極の長さより
短くされていることを特徴とする静電型スイッチ素子。
【請求項４】請求項３記載の静電型スイッチ素子にお
いて、前記第１および第２の可動吸引電極は平面形状が矩形に
形成されていることを特徴とする静電型スイッチ素子。
【請求項５】請求項３または４記載の静電型スイッチ
素子において、前記第１および第２の連結部材は、前記第１および第２
の可動電極の中央部で接合していることを特徴とする静
電型スイッチ素子。
【請求項６】請求項３〜５記載の静電型スイッチ素子
において、前記第１および第２の梁部材はその両端が前記基板に固
定され、前記第１および第２の連結部材は、前記第１および第２
の梁部材の中央部に固定配置されていることを特徴とす
る静電型スイッチ素子。
【請求項７】請求項１〜６いずれか１項記載の静電型
スイッチ素子において、前記第１，第２の梁部材および前記第１，２の連結部材
は、前記可動接点電極を中心に対称に形成されているこ
とを特徴とする静電型スイッチ素子。
【請求項８】請求項１〜７いずれか１項記載の静電型
スイッチ素子において、前記第１および第２の梁部材は、互いに平行な方向に延
在していることを特徴とする静電型スイッチ素子。