JPH11248464A - 圧電振動子およびその製造方法 - Google Patents
圧電振動子およびその製造方法Info
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- JPH11248464A JPH11248464A JP10067912A JP6791298A JPH11248464A JP H11248464 A JPH11248464 A JP H11248464A JP 10067912 A JP10067912 A JP 10067912A JP 6791298 A JP6791298 A JP 6791298A JP H11248464 A JPH11248464 A JP H11248464A
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- piezoelectric vibrator
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 接着剤層を原因とする振動特性の温度変化が
少ない、圧電振動子およびその製造方法を提供する。 【解決手段】 圧電振動子１０は、振動片１２の側面上
に圧電素子１４を接着してなるものである。圧電素子１
４の振動片１２に対する接着面２２には、まず、ダイサ
ーなどで溝２０が形成される。次に、溝２０の形成され
た面に接着剤２４が所定の厚みで均一に塗布される。そ
して、接着剤２４の塗布された面が振動片１２上に載置
される。さらに、圧電素子１４は、振動片１２へ向かっ
て加圧される。すると、溝２０の中に接着剤２４の一部
が流れ込む。その後、接着剤２４を硬化させることによ
り、接着剤層２４′が形成される。
少ない、圧電振動子およびその製造方法を提供する。 【解決手段】 圧電振動子１０は、振動片１２の側面上
に圧電素子１４を接着してなるものである。圧電素子１
４の振動片１２に対する接着面２２には、まず、ダイサ
ーなどで溝２０が形成される。次に、溝２０の形成され
た面に接着剤２４が所定の厚みで均一に塗布される。そ
して、接着剤２４の塗布された面が振動片１２上に載置
される。さらに、圧電素子１４は、振動片１２へ向かっ
て加圧される。すると、溝２０の中に接着剤２４の一部
が流れ込む。その後、接着剤２４を硬化させることによ
り、接着剤層２４′が形成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は圧電振動子およびそ
の製造方法に関し、特にたとえば、少なくとも一方面に
電極を有する圧電素子が振動片の側面に接着されてなる
圧電振動子およびその製造方法に関する。
の製造方法に関し、特にたとえば、少なくとも一方面に
電極を有する圧電素子が振動片の側面に接着されてなる
圧電振動子およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来の圧電振動子の一例を示す斜
視図であり、図５はその要部を拡大し誇張して示す斜視
図である。振動ジャイロや加速度センサなどの圧電振動
子１として、たとえば三角柱状の振動片２の側面に駆動
用または検出用の圧電素子３を接着したものがある。従
来は、このような圧電振動子１を製造する場合には、圧
電素子３の接着面の全面に接着剤４を塗布して、振動片
２に接着していた。
視図であり、図５はその要部を拡大し誇張して示す斜視
図である。振動ジャイロや加速度センサなどの圧電振動
子１として、たとえば三角柱状の振動片２の側面に駆動
用または検出用の圧電素子３を接着したものがある。従
来は、このような圧電振動子１を製造する場合には、圧
電素子３の接着面の全面に接着剤４を塗布して、振動片
２に接着していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、振動片
と圧電素子の間に形成される接着剤層は、温度変化、特
に高温に弱く、圧電振動子の特性の温度変化の原因にな
るため、できるだけ薄い方が好ましいが、従来はそれを
実現する積極的方法がなかった。また、圧電振動子の振
動特性を安定させるためには、高い共振尖鋭度（Ｑ）が
必要であり、そのためには圧電素子の面積を減少させる
方法が考えられるが、Ｑを上昇させるために圧電素子の
面積を減少させると感度も低下してしまう不都合があ
る。さらに、従来の圧電振動子では、接着・硬化時の余
分な接着剤が圧電素子の電極上にはみ出し、リード線の
はんだ付けなどの作業が出来なくなり、不良品が生じる
場合があった。
と圧電素子の間に形成される接着剤層は、温度変化、特
に高温に弱く、圧電振動子の特性の温度変化の原因にな
るため、できるだけ薄い方が好ましいが、従来はそれを
実現する積極的方法がなかった。また、圧電振動子の振
動特性を安定させるためには、高い共振尖鋭度（Ｑ）が
必要であり、そのためには圧電素子の面積を減少させる
方法が考えられるが、Ｑを上昇させるために圧電素子の
面積を減少させると感度も低下してしまう不都合があ
る。さらに、従来の圧電振動子では、接着・硬化時の余
分な接着剤が圧電素子の電極上にはみ出し、リード線の
はんだ付けなどの作業が出来なくなり、不良品が生じる
場合があった。
【０００４】それゆえに、本発明の主たる目的は、接着
剤層を原因とする振動特性の温度変化が少ない、圧電振
動子およびその製造方法を提供することである。
剤層を原因とする振動特性の温度変化が少ない、圧電振
動子およびその製造方法を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明にかかる圧電振動
子は、少なくとも一方面に電極を有する圧電素子を振動
片に接着してなる圧電振動子であって、圧電素子の接着
面に溝が形成された、圧電振動子である。この圧電振動
子では、振動片に圧電素子を接着する際に接着剤が溝の
中に流入するので、接着強度を維持したまま、接着剤層
の厚みを積極的に薄くすることができる。また、圧電素
子に溝を形成することで、圧電素子の接着面と反対側の
面の電極面積を減少させることなく圧電素子の剛性を低
下させることができ、圧電振動子のＱを上昇させること
ができ、感度を上げることができる。さらに、圧電素子
の接着面積が減少するため、圧電素子の剛性による振動
片への拘束力が低下し、圧電振動子のＱを上昇させるこ
とができ、感度を上げることができる。
子は、少なくとも一方面に電極を有する圧電素子を振動
片に接着してなる圧電振動子であって、圧電素子の接着
面に溝が形成された、圧電振動子である。この圧電振動
子では、振動片に圧電素子を接着する際に接着剤が溝の
中に流入するので、接着強度を維持したまま、接着剤層
の厚みを積極的に薄くすることができる。また、圧電素
子に溝を形成することで、圧電素子の接着面と反対側の
面の電極面積を減少させることなく圧電素子の剛性を低
下させることができ、圧電振動子のＱを上昇させること
ができ、感度を上げることができる。さらに、圧電素子
の接着面積が減少するため、圧電素子の剛性による振動
片への拘束力が低下し、圧電振動子のＱを上昇させるこ
とができ、感度を上げることができる。
【０００６】また、本発明にかかる圧電振動子の製造方
法は、圧電素子に接着剤を塗布するステップと、圧電素
子の接着剤を塗布した面に溝を形成するステップと、圧
電素子の接着剤を塗布した面を振動片に載置して加圧す
るステップとを含む、圧電振動子の製造方法である。本
発明では、溝を形成する際にその部分の接着剤が取り除
かれるので、接着剤層をより薄くすることができ、上述
の作用効果が得やすくなる。
法は、圧電素子に接着剤を塗布するステップと、圧電素
子の接着剤を塗布した面に溝を形成するステップと、圧
電素子の接着剤を塗布した面を振動片に載置して加圧す
るステップとを含む、圧電振動子の製造方法である。本
発明では、溝を形成する際にその部分の接着剤が取り除
かれるので、接着剤層をより薄くすることができ、上述
の作用効果が得やすくなる。
【０００７】本発明の上述の目的，その他の目的，特徴
および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細
な説明から一層明らかとなろう。
および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細
な説明から一層明らかとなろう。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１は、本発明にかかる圧電振動
子の一例の要部を拡大し誇張して示す斜視図である。こ
の圧電振動子１０は、振動片１２の側面上に圧電素子１
４を接着してなるものである。振動片１２は、たとえば
エリンバなどの恒弾性金属や石英、ガラス、水晶、セラ
ミックなどで図２に示した振動片２と同様に形成され
る。ただし、振動片１２としては図２に示した三角柱状
のものに限るものではなく、円柱状、短冊状などどのよ
うな形状のものでもよい。一方、圧電素子１４として
は、たとえば圧電セラミックなどからなる圧電体層１６
の一方面に電極１８を形成したものが用いられる。圧電
体層１６の他方面は、振動片１２に対する接着面２４と
なる。ここで接着面２４とは、圧電素子１４の振動片１
２に接着される面である。また、圧電体層１６は、たと
えば厚み方向に分極されている。なお、振動片１２が導
電体でない場合には、圧電体層１６の両面に電極が形成
される。
子の一例の要部を拡大し誇張して示す斜視図である。こ
の圧電振動子１０は、振動片１２の側面上に圧電素子１
４を接着してなるものである。振動片１２は、たとえば
エリンバなどの恒弾性金属や石英、ガラス、水晶、セラ
ミックなどで図２に示した振動片２と同様に形成され
る。ただし、振動片１２としては図２に示した三角柱状
のものに限るものではなく、円柱状、短冊状などどのよ
うな形状のものでもよい。一方、圧電素子１４として
は、たとえば圧電セラミックなどからなる圧電体層１６
の一方面に電極１８を形成したものが用いられる。圧電
体層１６の他方面は、振動片１２に対する接着面２４と
なる。ここで接着面２４とは、圧電素子１４の振動片１
２に接着される面である。また、圧電体層１６は、たと
えば厚み方向に分極されている。なお、振動片１２が導
電体でない場合には、圧電体層１６の両面に電極が形成
される。
【０００９】ここで、この圧電振動子１０の製造方法の
一例を説明する。圧電素子１４の振動片１２に対する接
着面には、まず、図２（Ａ）に示すように、ダイサーな
どで溝２０が幅方向一端から他端にわたって形成され
る。ただし、溝２０の数、形状、および大きさは、図示
したものに限るものではなく、本発明の目的を達成し得
るように適宜の数、形状、および大きさに形成される。
次に、図２（Ｂ）に示すように、溝２０の形成された接
着面２２に接着剤２４が所定の厚みで均一に塗布され
る。接着剤２４としては、たとえばエポキシ系接着剤が
用いられる。そして、図２（Ｃ）に示すように、接着剤
２４の塗布された面が振動片１２上に載置され、図２
（Ｄ）に示すように、圧電素子１４は、振動片１２へ向
かって加圧される。すると、溝２０の中に接着剤２４の
一部が流れ込む。その後、接着剤２４を硬化させること
により、接着剤層２４′が形成される。この製造方法で
は、圧電素子１４を振動片１２に接着する際に、接着剤
２４の一部が溝２０の中に流れこむので、積極的に接着
剤層２４′を薄くすることができる。
一例を説明する。圧電素子１４の振動片１２に対する接
着面には、まず、図２（Ａ）に示すように、ダイサーな
どで溝２０が幅方向一端から他端にわたって形成され
る。ただし、溝２０の数、形状、および大きさは、図示
したものに限るものではなく、本発明の目的を達成し得
るように適宜の数、形状、および大きさに形成される。
次に、図２（Ｂ）に示すように、溝２０の形成された接
着面２２に接着剤２４が所定の厚みで均一に塗布され
る。接着剤２４としては、たとえばエポキシ系接着剤が
用いられる。そして、図２（Ｃ）に示すように、接着剤
２４の塗布された面が振動片１２上に載置され、図２
（Ｄ）に示すように、圧電素子１４は、振動片１２へ向
かって加圧される。すると、溝２０の中に接着剤２４の
一部が流れ込む。その後、接着剤２４を硬化させること
により、接着剤層２４′が形成される。この製造方法で
は、圧電素子１４を振動片１２に接着する際に、接着剤
２４の一部が溝２０の中に流れこむので、積極的に接着
剤層２４′を薄くすることができる。
【００１０】この圧電振動子１０では、振動片１２に圧
電素子１４を接着する際に接着剤２４が溝２０の中に流
入するので、接着強度を維持したまま、接着剤層２４′
の厚みを積極的に薄くすることができる。また、圧電素
子１４に溝２０を形成することで、圧電素子１４の接着
面と反対側の面の電極面積を減少させることなく圧電素
子１４の剛性を低下させることができ、圧電振動子１０
のＱを上昇させることができ、感度を上げることができ
る。さらに、圧電素子１４の接着面積が減少するため、
圧電素子１４の剛性による振動片１２への拘束力が低下
し、圧電振動子１０のＱを上昇させることができ、感度
を上げることができる。
電素子１４を接着する際に接着剤２４が溝２０の中に流
入するので、接着強度を維持したまま、接着剤層２４′
の厚みを積極的に薄くすることができる。また、圧電素
子１４に溝２０を形成することで、圧電素子１４の接着
面と反対側の面の電極面積を減少させることなく圧電素
子１４の剛性を低下させることができ、圧電振動子１０
のＱを上昇させることができ、感度を上げることができ
る。さらに、圧電素子１４の接着面積が減少するため、
圧電素子１４の剛性による振動片１２への拘束力が低下
し、圧電振動子１０のＱを上昇させることができ、感度
を上げることができる。
【００１１】図３は、本発明にかかる圧電振動子の製造
方法の他の例を示す工程図解図である。この製造方法で
は、まず、圧電素子１４の振動片１２に対する接着面に
は、図３（Ａ）に示すように、溝２０の形成された面に
接着剤２４が所定の厚みで均一に塗布される。次に、図
３（Ｂ）に示すように、すでに接着剤２４が塗布された
面にダイサーなどで溝２０が形成される。この場合に
は、溝２０を形成する際にその部分に塗布されていた接
着剤２４も除去される。また、接着剤２４の塗布時には
溝２０が形成されていないので、溝２０の中に接着剤２
４が不必要に付与されるということもない。そして、図
３（Ｃ）に示すように、接着剤２４の塗布された面が振
動片１２上に載置され、図３（Ｄ）に示すように、圧電
素子１４は、振動片１２へ向かって加圧される。する
と、溝２０の中に接着剤２４が流れ込む。その後、接着
剤２４を硬化させることにより、接着剤層２４′が形成
される。この製造方法では、接着剤２４が溝２０の中に
流れこむので、積極的に接着剤層２４′を薄くすること
ができる。
方法の他の例を示す工程図解図である。この製造方法で
は、まず、圧電素子１４の振動片１２に対する接着面に
は、図３（Ａ）に示すように、溝２０の形成された面に
接着剤２４が所定の厚みで均一に塗布される。次に、図
３（Ｂ）に示すように、すでに接着剤２４が塗布された
面にダイサーなどで溝２０が形成される。この場合に
は、溝２０を形成する際にその部分に塗布されていた接
着剤２４も除去される。また、接着剤２４の塗布時には
溝２０が形成されていないので、溝２０の中に接着剤２
４が不必要に付与されるということもない。そして、図
３（Ｃ）に示すように、接着剤２４の塗布された面が振
動片１２上に載置され、図３（Ｄ）に示すように、圧電
素子１４は、振動片１２へ向かって加圧される。する
と、溝２０の中に接着剤２４が流れ込む。その後、接着
剤２４を硬化させることにより、接着剤層２４′が形成
される。この製造方法では、接着剤２４が溝２０の中に
流れこむので、積極的に接着剤層２４′を薄くすること
ができる。
【００１２】図３に示す製造方法により製造された圧電
振動子１０では、溝２０を形成する際にその部分の接着
剤２４が取り除かれるので、接着剤層２４′をより薄く
することができ、本発明の作用効果が得やすくなる。
振動子１０では、溝２０を形成する際にその部分の接着
剤２４が取り除かれるので、接着剤層２４′をより薄く
することができ、本発明の作用効果が得やすくなる。
【００１３】
【発明の効果】本発明によれば、圧電素子を振動片に接
着する際に接着剤が溝内に流入するので、接着剤層を薄
くすることができる。そのため、接着剤層の軟化等によ
る圧電振動子の振動特性の温度変化の影響が低減され、
安定な出力特性を得ることができる。また、圧電素子に
溝を入れることで圧電素子の接着面と反対側の面の電極
面積を減少させることなく、圧電素子の剛性を低下させ
ることができる。これにより圧電素子の振動子への拘束
力の低下を図ることができる結果、高いＱの圧電振動子
が得られ、高感度を保ちつつ、より安定な圧電振動子特
性を得ることができる。また、接着剤塗布後に溝を形成
する場合には、溝の部分の接着剤が取り除かれるため、
より薄い接着剤層を得ることができるだけでなく、接着
剤硬化時に余分な接着剤が圧電素子の接着面と反対側の
電極上へはみ出すことを防止でき、接続不良等を減少さ
せることができる。
着する際に接着剤が溝内に流入するので、接着剤層を薄
くすることができる。そのため、接着剤層の軟化等によ
る圧電振動子の振動特性の温度変化の影響が低減され、
安定な出力特性を得ることができる。また、圧電素子に
溝を入れることで圧電素子の接着面と反対側の面の電極
面積を減少させることなく、圧電素子の剛性を低下させ
ることができる。これにより圧電素子の振動子への拘束
力の低下を図ることができる結果、高いＱの圧電振動子
が得られ、高感度を保ちつつ、より安定な圧電振動子特
性を得ることができる。また、接着剤塗布後に溝を形成
する場合には、溝の部分の接着剤が取り除かれるため、
より薄い接着剤層を得ることができるだけでなく、接着
剤硬化時に余分な接着剤が圧電素子の接着面と反対側の
電極上へはみ出すことを防止でき、接続不良等を減少さ
せることができる。
【図１】本発明にかかる圧電振動子の一例の要部を拡大
し誇張して示す斜視図である。
し誇張して示す斜視図である。
【図２】本発明にかかる圧電振動子の製造工程の一例を
示す工程図解図である。
示す工程図解図である。
【図３】本発明にかかる圧電振動子の製造工程の他の例
を示す工程図解図である。
を示す工程図解図である。
【図４】従来の圧電振動子の一例を示す斜視図である。
【図５】図４に示す圧電振動子の要部を拡大し誇張して
示す斜視図である。
示す斜視図である。
１０ 圧電振動子 １２ 振動片 １４ 圧電素子 １６ 圧電体層 １８ 電極 ２０ 溝 ２２ 接着面 ２４ 接着剤 ２４′ 接着剤層
Claims (2)
- 【請求項１】 少なくとも一方面に電極を有する圧電素
子を振動片に接着してなる圧電振動子であって、 前記圧電素子の接着面に溝が形成された、圧電振動子。 - 【請求項２】 請求項１に記載の圧電振動子の製造方法
であって、 圧電素子に接着剤を塗布するステップと、 前記圧電素子の前記接着剤を塗布した面に溝を形成する
ステップと、 前記圧電素子の前記接着剤を塗布した面を前記振動片上
に載置して加圧するステップとを含む、圧電振動子の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10067912A JPH11248464A (ja) | 1998-03-02 | 1998-03-02 | 圧電振動子およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10067912A JPH11248464A (ja) | 1998-03-02 | 1998-03-02 | 圧電振動子およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11248464A true JPH11248464A (ja) | 1999-09-17 |
Family
ID=13358600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10067912A Pending JPH11248464A (ja) | 1998-03-02 | 1998-03-02 | 圧電振動子およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11248464A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010232604A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-14 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータの製造方法、圧電アクチュエータ、及び、液体移送装置 |
-
1998
- 1998-03-02 JP JP10067912A patent/JPH11248464A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010232604A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-14 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータの製造方法、圧電アクチュエータ、及び、液体移送装置 |
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