JPH11244643A - 絶縁ガス回収充填装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 絶縁ガスを良好に回収できると共に可搬性に
優れた絶縁ガス回収充填装置を提供する。 【解決手段】 絶縁ガス封入機器から絶縁ガスを吸引し
て送出させる水冷式真空ポンプ１５からなる真空ポンプ
回路部Ａと、送出された回収ガスを圧縮する圧縮回路部
Ｂと、圧縮された回収ガスを冷却し凝縮液化させる液化
回路部Ｃと、液化させた回収液を封入貯蔵する貯蔵タン
ク部Ｄと、封入された貯蔵タンク部Ｄから送出させた回
収液を加熱気化させて絶縁ガス封入機器に送出する気化
回路部Ｅとからなり、これら回路部Ａ〜Ｅを同一のケー
シング１２０に収容したものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＳＦ６ガス等の絶
縁ガスをトランス等の絶縁ガス封止機器から回収したり
充填するための絶縁ガス回収充填装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】ＳＦ６（六フッ化イオウ）ガスは、耐熱
性、電気絶縁性に優れておりトランス等の絶縁ガス封止
機器内に絶縁ガスとして封入されるが、絶縁ガス封止機
器の補修や点検などの際には、封止機器から回収する必
要がある。

【０００３】従来のＳＦ６ガス回収装置は、トランス等
の絶縁ガス封止機器内の絶縁ガスを真空ポンプを用いて
吸引するものである。この真空ポンプは、油回転式の真
空ポンプや空冷式の真空ポンプが使用されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、油回転
式の真空ポンプは、油にＳＦ６ガスが混入する問題があ
り、空気冷却式では、収納容器の関係から、大きな容量
の装置を使用できないため、小排気量のものしか使用で
きないため、大気圧以下のガス回収に時間がかかる問題
がある。

【０００５】また水冷式の真空ポンプもあるが、このポ
ンプは水道水等の冷却水配管が必要であり、場所によっ
ては水道水を確保できない問題がある。

【０００６】さらに常温常圧では、ＳＦ６ガスはガスの
ままであり、回収するガス容量が大きいため、回収装置
自体が大型化し、運搬重量が大きく可搬性が悪い問題が
ある。

【０００７】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、絶縁ガスを良好に回収できると共に可搬性に優れた
絶縁ガス回収充填装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１の発明は、絶縁ガス封入機器から絶縁ガス
を吸引して送出させる水冷式真空ポンプからなる真空ポ
ンプ回路部と、送出された回収ガスを圧縮する圧縮回路
部と、圧縮された回収ガスを冷却し凝縮液化させる液化
回路部と、液化させた回収液を封入貯蔵する貯蔵タンク
部と、封入された貯蔵タンク部から送出させた回収液を
加熱気化させて絶縁ガス封入機器に送出する気化回路部
とからなり、これら回路部を同一のケーシングに収容し
た絶縁ガス回収充填装置である。

【０００９】請求項２の発明は、真空ポンプ回路部は、
その水冷式真空ポンプを通る主回路のバイパス回路を備
え、真空ポンプ回路部の入口側のガス圧力を検知し、圧
力が所定より高いとき主回路をバイパスさせてバイパス
回路に切り換え、低いとき主回路の真空ポンプに切り換
える流路切換手段とを備えた請求項１記載の絶縁ガス回
収充填装置である。

【００１０】請求項３の発明は、真空ポンプ回路部は、
絶縁ガス封入機器との接続ホースを連結する入口側接続
口の下流に入口側元弁を有し、その入口側接続口と入口
側元弁の間に、主回路と分岐して真空引き用ポンプと接
続すると共に気化回路部からの気化ガス回路部からの気
化ガスを絶縁ガス封入機器に戻す接続ホースと接続する
ための接続口とその止弁を有する請求項２記載の絶縁ガ
ス回収充填装置である。

【００１１】請求項４の発明は、真空ポンプは、冷却コ
イルを有し、その冷却コイルに冷水を供給する冷凍機が
接続される請求項２記載の絶縁ガス回収充填装置であ
る。

【００１２】請求項５の発明は、圧縮回路部は、多段圧
縮機からなり、その上流側の真空回路部との間に減圧装
置が接続される請求項１記載の絶縁ガス回収充填装置で
ある。

【００１３】請求項６の発明は、圧縮機の入口側に吸込
側圧力スイッチ、出口側に吐出側圧力スイッチを設け、
この圧力スイッチにより圧縮機の運転を制御する制御手
段を備えた請求項５記載の絶縁ガス回収充填装置であ
る。

【００１４】請求項７の発明は、液化回路部は、シェル
アンドコイル型熱交換器からなり、この熱交換器のコイ
ルは、冷凍機により冷却されると共に、その熱交換器の
下流側に圧力スイッチと圧力保持用開閉弁が接続され、
圧力スイッチにより圧力が所定より高いとき圧力保持用
開閉弁を開、低いとき閉となるよう圧力保持用開閉弁を
制御する制御手段を備えた請求項１記載の絶縁ガス回収
充填装置である。

【００１５】請求項８の発明は、気化回路部は、貯蔵タ
ンク部側より、入口側開閉制御弁、気化器、出口側開閉
制御弁、充填圧力調整用の圧力調整弁を順次接続して構
成した請求項１記載の絶縁ガス回収充填装置である。

【００１６】請求項９の発明は、気化器の入口側開閉制
御弁を、気化器に設けた気化器内の回収液面に応じて開
閉制御するようにした請求項８記載の絶縁ガス回収充填
装置である。

【００１７】請求項１０の発明は、気化器の出口側開閉
制御弁を、気化器の気化ガス温度及び気化器の回収気化
ガス出口側に設けた圧力計と圧力スイッチにより開閉制
御するようにした請求項８記載の絶縁ガス回収充填装置
である。

【００１８】請求項１１の発明は、充填圧力調整用の圧
力調整弁の下流側の回路にドライヤ、フィルタを接続し
た請求項８記載の絶縁ガス回収充填装置である。

【００１９】請求項１２の発明は、気化器は、貯留され
た回収液を導入する気化タンクと、そのタンク内に設け
た伝熱コイルで構成され、この伝熱コイルに、温水を供
給循環させるブラインタンクを備えた請求項８記載の絶
縁ガス回収充填装置である。

【００２０】請求項１３の発明は、ブラインタンクには
ヒータが設けられると共に、チラータンクが接続され、
そのチラータンクに冷凍機が接続され、上記ヒータでタ
ンク内のブラインを加熱して温水を、又はチラータンク
で冷水をつくり、温水を気化器に、冷水を、真空ポンプ
回路部の真空ポンプの冷却コイル、液化回路部の熱交換
器のコイルに切り換えて供給する請求項１２記載の絶縁
ガス回収充填装置である。

【００２１】請求項１４の発明は、気化タンクには、そ
の伝熱コイルに温水を供給する温水タンクが接続され、
その温水タンクと独立してブラインタンクとチラータン
クと冷凍機が設けられ、ブラインタンクで生じた冷水を
真空ポンプ回路部の真空ポンプの冷却コイル、液化回路
部の熱交換器のコイルに流す請求項８記載の絶縁ガス回
収充填装置である。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適一実施の形態
を添付図面に基づいて詳述する。

【００２３】図１に示すように本発明の絶縁ガス回収充
填装置は、絶縁ガス封入機器から回収ガスを吸引して送
出させる真空ポンプ回路部Ａと、真空ポンプ回路部Ａか
ら送出された回収ガスを圧縮する圧縮回路部Ｂと、圧縮
回路部Ｂで圧縮された回収ガスを冷却し凝縮液化させる
液化回路部Ｃと、液化させた回収ガスを封入貯蔵する貯
蔵タンク部Ｄと、封入された貯蔵タンク回路Ｄから送出
させた回収ガスを加熱気化させて絶縁ガス封入機器に送
出する気化回路部Ｅとから構成される。

【００２４】以下これら回路部Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅを順
次説明する。

【００２５】真空ポンプ回路部Ａは、主回路１０に、絶
縁ガス封入機器に接続された接続ホース１１と連結する
入口側接続口１２が形成され、その主回路１０に、入口
側元弁１３、冷却コイル１４を備えた水冷式の真空ポン
プ１５、クッションタンク１７が順次接続されて構成さ
れ、元弁１３とクッションタンク１７間で、真空ポンプ
１５の主回路１０と並行にバイパス回路１８が接続され
る。

【００２６】この主回路１０とバイパス回路１８の分岐
部には、それぞれ流路切換電磁弁１９ａ，１９ｂが接続
されて流路切換手段１９が構成され、その上流側にＳＦ
６ガスの圧力を検出する圧力計２０と、その検出ガス圧
力によりバイパス回路１８と主回路１０を切り換えるべ
く流路切換電磁弁１９ａ，１９ｂを開閉するための圧力
スイッチ２１が設けられる。

【００２７】真空ポンプ１５の下流側には逆止弁２２が
接続され、真空ポンプ１５には、圧力バランス用電磁弁
２３が接続され、クッションタンク１７の入口側には圧
力計２４が接続される。

【００２８】入口側接続口１２と入口側元弁１３間に
は、主回路１０と分岐して真空引き用ポンプで主回路１
０内を真空引きしたり、後述する気化回路部Ｅからの気
化ガスをホース２５を介して絶縁ガス封入機器に戻すた
めの接続口２６とその止弁２７が接続される。

【００２９】この真空ポンプ回路部Ａにおいて、トラン
スなどの絶縁ガス封入機器からの絶縁ガスを回収する際
には、接続ホース１１を封入機器に接続し、接続口２６
に小型の真空ポンプ（図示せず）を接続して、主回路１
０を真空引きした後、その止弁２７を止め、次に入口側
元弁１３を開けて、絶縁ガスを入口側接続口１２から主
回路１０に導入する。この導入初期は、封入機器内のガ
ス圧が高いため、流路切換手段１９にて、バイパス回路
１８に流れるようになし、その後、ガス圧が大気圧近く
まで下がったなら流路切換手段１９にて、主回路１０側
に切り換え、真空ポンプ１５の吸引力により、封入機器
内の絶縁ガスを回収する。

【００３０】回収後のガスは、クッションタンク１７に
入り、減圧装置２８を介して圧縮回路Ｂに供給される。

【００３１】圧縮回路部Ｂは、主回路１０に、ストレー
ナ３０，ガス圧縮機３２、アフタストレーナ３３、逆止
弁３４が順に接続されて構成される。

【００３２】ガス圧縮機３２は、低圧段圧縮部３５と高
圧段圧縮部３６の多段圧縮機からなり、その間にインタ
ークーラ３７が接続され、高圧段圧縮部３６の吐出側に
アフタークーラ３８が接続されて構成される。

【００３３】低圧段圧縮部３５の吸込側には、圧力計４
０と低圧側圧力スイッチ４１が設けられ、低圧段圧縮部
３５の吐出側には圧力計４２が、アフターストレーナ３
３には、高圧側圧力計４３と高圧側スイッチ４４が設け
られる。

【００３４】圧縮回路部Ｂにおいては、真空ポンプ回路
部Ａからの回収ガスを、ガス圧縮機部３２で数１０ｋｇ
／ｃｍ² に圧縮して液化回路部Ｃに供給する。

【００３５】液化回路部Ｃは、主回路１０に接続され
る、シェルアンドチューブ型の熱交換器４５からなり、
その下流側に逆止弁４６が接続され、さらに圧力スイッ
チ４７が接続されると共に、圧力保持用開閉弁４８が接
続され、圧力スイッチ４７でガス液化用熱交換器４５の
圧力を検出して熱交換器４５内を所定圧以上に保持させ
るべく圧力保持用開閉弁４８を開閉するようになってい
る。

【００３６】ガス液化用熱交換器４５は、その胴部４９
から圧縮された回収ガスが導入され、胴部４９内に設け
たコイル５０で回収ガスを凝縮して液化して、回収液と
する。

【００３７】このコイル５０と真空ポンプ回路部Ａの真
空ポンプ１５の冷却コイル１４には、後述する冷凍機５
２で造られた冷水が供給されるようになっている。

【００３８】貯蔵タンク部Ｄは、主回路１０に、液化回
路部Ｃからの回収液を貯留する貯留タンク５３からな
り、上流側の圧力保持用開閉弁４８を通じて貯留タンク
５３に回収液が供給されると共に、その貯留タンク５３
に液面計５４と液面スイッチ５５が設けられ、回収液の
液面レベルが監視できるようになっている。

【００３９】気化回路部Ｅは、主回路１０に入口側開閉
制御弁６０、逆止弁６１、気化器６２、出口側開閉制御
弁６３、充填圧力調整用の圧力調整弁６４、ドライヤ６
５、フィルタ６６、出口側元弁６７とが接続されて気化
回路部Ｅが構成される。

【００４０】気化器６２は、主回路１０に接続され、上
流側から回収液を導入すると共に下流側に気化ガスを送
出する気化タンク６８と、その気化タンク６８内に設け
られた温水が供給される伝熱コイル６９からなる。

【００４１】この伝熱コイル６９には、ブラインタンク
７０が接続され、そのブラインタンク７０にヒータ７１
が設けられ、ヒータ７１で加熱されてブラインが温水と
され循環ポンプ７２より温水切換弁７３より温水ライン
７４を介して伝熱コイル６９に温水が供給され、その伝
熱コイル６９より戻しライン７５を介してブラインタン
ク７０に戻されるようになっている。

【００４２】ヒータ７１は、サーモスタット７６で制御
され、温水が所定の温度（３０〜４０℃）を保つように
される。

【００４３】このブラインタンク７０には、チラータン
ク８０が接続され、ブラインが循環ポンプ８１で循環さ
れると共にチラータンク８０のチラーコイル８２に冷凍
機５２が接続される。

【００４４】また、ブラインタンク７０には、温水切換
弁７３の温水ライン７４と分岐して冷水切換弁８３とそ
の冷水ライン８４が接続され、冷水ライン８４と戻しラ
イン７５間に、冷却コイル１４ａとコイル５０ａが並行
に、それぞれ開閉弁８５，８６を介して接続される。

【００４５】この冷却コイル１４ａとコイル５０ａは、
図示の関係上、真空ポンプ１５の冷却コイル１４とガス
液化用熱交換器４５のコイル５０と別個に描いている
が、両者は同じであり、真空ポンプ１５とガス液化用熱
交換器４５に位置して配置されている。

【００４６】気化タンク６８には、液面制御用のフロー
トスイッチ８８が接続されると共にレベルスイッチ８９
が設けられ、気化タンク６８内の回収液面が所定レベル
以上となるように入口側開閉制御弁６０を開閉制御する
ようになっている。

【００４７】なお、ブラインタンク７０にはエア抜きパ
イプ９０が設けられると共に液面スイッチ９１が設けら
れる。

【００４８】この気化タンク６８には、温度計９４が設
けられ、気化タンク６８の下流側の主回路１０には圧力
計９６と圧力スイッチ９７が設けられ、気化した回収ガ
スの圧力が１０ｋｇ／ｃｍ² 以上、タンク６８内の温度
が３０℃以上となるように出口側開閉制御弁６３を制御
して、気化タンク６８での単位時間あたりの入熱量を制
御する。

【００４９】また、減圧弁６４は、封入機器への充填圧
力に応じてその下流側の圧力を調整するようになってい
る。フィルタ６６の下流側には、封入機器への充填圧力
を検出するための圧力計９８が設けられる。

【００５０】この気化回路部Ｅの主回路１０にはホース
２５に接続する接続口１０２が形成され、気化した回収
ガスを真空ポンプ回路Ａの主回路１０と分岐した接続口
２６より止弁２７、接続口１２、接続ホース１１を介し
て封入機器へ戻すことができる。

【００５１】この接続口１０２と出口側元弁６７間に
は、真空ポンプで真空引きするための接続口１０３と止
弁１０４が接続される。

【００５２】図２は本発明の他の実施の形態を示したも
のである。

【００５３】図１の実施の形態においては、ブラインタ
ンク７０で温水と冷水の双方を交互につくる例で説明し
たが、この場合、冷水と温水を同時には造れないので、
回収運転と気化運転とが分けて行われることとなる。

【００５４】そこで、図２の実施の形態では、回収と気
化運転が同時に行えるようにしたものである。

【００５５】図２において、主回路１０に接続される真
空ポンプ回路部Ａ、圧縮回路部Ｂ、液化回路部Ｃ、貯蔵
タンク部Ｄ及び気化回路部Ｅの構成は、図１と同じであ
るが、真空ポンプ回路部Ａの真空ポンプ１５の冷却コイ
ル１４と、液化回路部Ｃの熱交換器４５のコイル５０の
冷却水源と、気化回路部Ｅの気化器６２の温水源とが別
体にされる点でのみ相違する。

【００５６】すなわち、気化器６２の気化タンク６８の
温水源として、温水器１１０が設けられ、その温水器１
１０にヒータ７１が設けられ、ヒータ７１で加熱された
温水が循環ポンプ１１２で、気化タンク６８の伝熱コイ
ル６９に循環されるようになっている。

【００５７】また真空ポンプ１５の冷却コイル１４と、
熱交換器４５のコイル５０の冷却水源は、温水器１１０
と別個に冷水タンク１１４が設けられ、この冷水タンク
１１４内のブラインが、冷凍機５２に接続されたチラー
タンク８０にポンプ８１で循環されて冷水とされ、その
冷水タンク１１４内の冷却水が、循環ポンプ１１６で、
冷却コイル１４ａとコイル５０ａに供給されて、真空ポ
ンプ１５の冷却と、ガス液化用熱交換器４５での回収ガ
スの凝縮液化に供される。

【００５８】この図２の形態においては、温水器１１０
と冷水タンク１１４とが別体のため、回収運転と気化運
転を、並行して行うことができる。

【００５９】図３は、図１に示した各回路部Ａ〜Ｅが同
一のケーシング１２０内に納まるように収容したもの
で、図において（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、
（ｃ）は右側面図である。

【００６０】ケーシング１２０内には、図１で説明した
真空ポンプ１５、クッションタンク１７、ガス圧縮機３
２、ガス液化用熱交換器４５、貯留タンク５３、気化器
６２、ドライヤ６５、フィルタ６６、ブラインタンク７
０、冷凍機５２、チラータンク８０が収容される。

【００６１】このケーシング１２０の背面には、絶縁ガ
ス封止機器との接続口１２とその元弁１３及び気化回路
部Ｅの出口となる接続口１０２と元弁６７が配置される
と共に図には示していないが、真空引きのための接続口
２６，１０３と止弁２７，１０４も配置される。

【００６２】また、図１で説明した圧力計や温度計等の
計器類１２２がケーシング１２０の前面に配置されて一
括して計器類１２２が監視できるようになっている。

【００６３】さらに、ケーシング１２０の前面には、操
作盤１２４が設けられると共に、その操作盤１２４に各
回路部Ａ〜Ｅの運転状況を各々表示するランプ１２６が
設けられると共に操作ボタン１２８が設けられる。

【００６４】操作ボタン１２８は、回収運転ボタン、リ
セットボタン、停止ボタンなどからなり、ランプ１２６
は、電源ランプ、絶縁ガスを正圧・負圧で回収している
ことを表示するランプ、真空引き運転ランプ、真空ポン
プ過負荷ランプ、圧縮機過負荷ランプ、冷凍機過負荷ラ
ンプ、気化器異常ランプなど各回路Ａ〜Ｅの運転状況の
ウォーニング用のランプとなり、ランプ１２６の点滅や
色違いの点灯で正常・異常が判るようになっている。

【００６５】

【発明の効果】以上要するに本発明によれば、トランス
等の絶縁ガス封止機器から絶縁ガスを回収するにおい
て、真空ポンプ回路部、圧縮回路部、液化回路部、貯蔵
タンク部、気化回路部を同一のケーシングに収容するこ
とでコンパクトとなり、搬送性に優れたものとすること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態を示す回路図である。

【図２】本発明の他の実施の形態を示す回路図である。

【図３】図１の本発明の一実施の形態を示す外観図であ
る。

【符号の説明】

Ａ 真空ポンプ回路部 Ｂ 圧縮回路部 Ｃ 液化回路部 Ｄ 貯蔵タンク部 Ｅ 気化回路部 Ｆ 制御回路部 １５ 真空ポンプ １２０ ケーシング

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平林 武 静岡県富士市蓼原336 株式会社東芝富士 工場内 (72)発明者 松坂 孝 静岡県富士市蓼原336 東芝エフ・イー・ シー株式会社内 (72)発明者 井上 順明 静岡県富士市蓼原336 東芝エフ・イー・ シー株式会社内

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 絶縁ガス封入機器から絶縁ガスを吸引し
   て送出させる水冷式真空ポンプからなる真空ポンプ回路
   部と、送出された回収ガスを圧縮する圧縮回路部と、圧
   縮された回収ガスを冷却し凝縮液化させる液化回路部
   と、液化させた回収液を封入貯蔵する貯蔵タンク部と、
   封入された貯蔵タンク部から送出させた回収液を加熱気
   化させて絶縁ガス封入機器に送出する気化回路部とから
   なり、これら回路部を同一のケーシングに収容したこと
   を特徴とする絶縁ガス回収充填装置。
2. 【請求項２】 真空ポンプ回路部は、その水冷式真空ポ
   ンプを通る主回路のバイパス回路を備え、真空ポンプ回
   路部の入口側のガス圧力を検知し、圧力が所定より高い
   とき主回路をバイパスさせてバイパス回路に切り換え、
   低いとき主回路の真空ポンプに切り換える流路切換手段
   とを備えた請求項１記載の絶縁ガス回収充填装置。
3. 【請求項３】 真空ポンプ回路部は、絶縁ガス封入機器
   との接続ホースを連結する入口側接続口の下流に入口側
   元弁を有し、その入口側接続口と入口側元弁の間に、主
   回路と分岐して真空引き用ポンプと接続すると共に気化
   回路部からの気化ガス回路部からの気化ガスを絶縁ガス
   封入機器に戻す接続ホースと接続するための接続口とそ
   の止弁を有する請求項２記載の絶縁ガス回収充填装置。
4. 【請求項４】 真空ポンプは、冷却コイルを有し、その
   冷却コイルに冷水を供給する冷凍機が接続される請求項
   ２記載の絶縁ガス回収充填装置。
5. 【請求項５】 圧縮回路部は、多段圧縮機からなり、そ
   の上流側の真空回路部との間に減圧装置が接続される請
   求項１記載の絶縁ガス回収充填装置。
6. 【請求項６】 圧縮機の入口側に吸込側圧力スイッチ、
   出口側に吐出側圧力スイッチを設け、この圧力スイッチ
   により圧縮機の運転を制御する制御手段を備えた請求項
   ５記載の絶縁ガス回収充填装置。
7. 【請求項７】 液化回路部は、シェルアンドコイル型熱
   交換器からなり、この熱交換器のコイルは、冷凍機によ
   り冷却されると共に、その熱交換器の下流側に圧力スイ
   ッチと圧力保持用開閉弁が接続され、圧力スイッチによ
   り圧力が所定より高いとき圧力保持用開閉弁を開、低い
   とき閉となるよう圧力保持用開閉弁を制御する制御手段
   を備えた請求項１記載の絶縁ガス回収充填装置。
8. 【請求項８】 気化回路部は、貯蔵タンク部側より、入
   口側開閉制御弁、気化器、出口側開閉制御弁、充填圧力
   調整用の圧力調整弁を順次接続して構成した請求項１記
   載の絶縁ガス回収充填装置。
9. 【請求項９】 気化器の入口側開閉制御弁を、気化器に
   設けた気化器内の回収液面に応じて開閉制御するように
   した請求項８記載の絶縁ガス回収充填装置。
10. 【請求項１０】 気化器の出口側開閉制御弁を、気化器
    の気化ガス温度及び気化器の気化ガス出口側に設けた圧
    力スイッチにより開閉制御するようにした請求項８記載
    の絶縁ガス回収充填装置。
11. 【請求項１１】 充填圧力調整用の圧力調整弁の下流側
    の回路にドライヤ、フィルタを接続した請求項８記載の
    絶縁ガス回収充填装置。
12. 【請求項１２】 気化器は、貯留された回収液を導入す
    る気化タンクと、そのタンク内に設けた伝熱コイルで構
    成され、この伝熱コイルに、温水を供給循環させるブラ
    インタンクを備えた請求項８記載の絶縁ガス回収充填装
    置。
13. 【請求項１３】 ブラインタンクにはヒータが設けられ
    ると共に、チラータンクが接続され、そのチラータンク
    に冷凍機が接続され、上記ヒータでタンク内のブライン
    を加熱して温水を、又はチラータンクで冷水をつくり、
    温水を気化器に、冷水を、真空ポンプ回路部の真空ポン
    プの冷却コイル、液化回路部の熱交換器のコイルに切り
    換えて供給する請求項１２記載の絶縁ガス回収充填装
    置。
14. 【請求項１４】 気化タンクには、その伝熱コイルに温
    水を供給する温水タンクが接続され、その温水タンクと
    独立してブラインタンクとチラータンクと冷凍機が設け
    られ、ブラインタンクで生じた冷水を真空ポンプ回路部
    の真空ポンプの冷却コイル、液化回路部の熱交換器のコ
    イルに流す請求項８記載の絶縁ガス回収充填装置。