JPH11242006A - シート状物の欠陥検査装置 - Google Patents
シート状物の欠陥検査装置Info
- Publication number
- JPH11242006A JPH11242006A JP4328798A JP4328798A JPH11242006A JP H11242006 A JPH11242006 A JP H11242006A JP 4328798 A JP4328798 A JP 4328798A JP 4328798 A JP4328798 A JP 4328798A JP H11242006 A JPH11242006 A JP H11242006A
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- Japan
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- sheet
- inspection
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- Pending
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 シート状被検査物の大きさ、厚みに影響され
ず、常に焦点距離に問題のない、廉価で操作性に優れ、
かつ検査精度の高いシート状物の検査装置を提供する。 【解決手段】 一定方向に移動するベルト上にシート状
被検査物を載置し、これに光源より光を照射して反射散
乱光をセンサーで受光し、シート状被検査物に存在する
欠陥を検出する装置に於いて、（１）ベルトに通気性素
材を用いること、（２）検査位置を通過するベルト下部
に、ベルトの走行方向面に垂直或いは略垂直に通気性を
有する孔径１ｍｍ以下の多孔質物を天板として持つ真空
吸引機構を配設し、検査位置を通過するシート状被検査
物をベルト下部より吸引する構造を有する欠陥検査装置
とする。
ず、常に焦点距離に問題のない、廉価で操作性に優れ、
かつ検査精度の高いシート状物の検査装置を提供する。 【解決手段】 一定方向に移動するベルト上にシート状
被検査物を載置し、これに光源より光を照射して反射散
乱光をセンサーで受光し、シート状被検査物に存在する
欠陥を検出する装置に於いて、（１）ベルトに通気性素
材を用いること、（２）検査位置を通過するベルト下部
に、ベルトの走行方向面に垂直或いは略垂直に通気性を
有する孔径１ｍｍ以下の多孔質物を天板として持つ真空
吸引機構を配設し、検査位置を通過するシート状被検査
物をベルト下部より吸引する構造を有する欠陥検査装置
とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はガラス、樹脂、紙等
のシート状被検査物に存在する異物、傷、ピンホール等
の欠陥をＣＣＤリニアイメージセンサーやレーザー式検
査機等のセンサーを用いて電子的に検出する光学的検査
装置に関するものである。
のシート状被検査物に存在する異物、傷、ピンホール等
の欠陥をＣＣＤリニアイメージセンサーやレーザー式検
査機等のセンサーを用いて電子的に検出する光学的検査
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より偏光フィルムやＴＦＴカラーフ
ィルター等の光学フィルムに存在する異物、傷、ピンホ
ール等の欠陥は図５に示す如く光源１より光を照射し、
シート状被検査物２よりの反射散乱光をＣＣＤリニアイ
メージセンサー３で受光し、そのセンサーからの出力信
号を図示しない検出手段で検出し、シートに存在する欠
陥を光の明暗として判断・検出する方法が行われてい
る。これらを工業的に検査する場合には一連の製造工程
の中で、一定方向に移動するベルト上にフィルム等のシ
ート状被検査物を載置し、特定場所にセンサーの焦点を
合わせて上記した方法により検査が行われているが、こ
れらの検査方法はフィルム面上で反射する散乱光にセン
サーの焦点距離を合わせていることより、ベルト上に載
置されたフィルムに何らかの要因で撓みや凹凸等が生じ
る場合には欠陥として検出されるため、検査位置に於け
るフィルムはセンサーと等距離に位置し焦点がずれない
ようにする必要がある。
ィルター等の光学フィルムに存在する異物、傷、ピンホ
ール等の欠陥は図５に示す如く光源１より光を照射し、
シート状被検査物２よりの反射散乱光をＣＣＤリニアイ
メージセンサー３で受光し、そのセンサーからの出力信
号を図示しない検出手段で検出し、シートに存在する欠
陥を光の明暗として判断・検出する方法が行われてい
る。これらを工業的に検査する場合には一連の製造工程
の中で、一定方向に移動するベルト上にフィルム等のシ
ート状被検査物を載置し、特定場所にセンサーの焦点を
合わせて上記した方法により検査が行われているが、こ
れらの検査方法はフィルム面上で反射する散乱光にセン
サーの焦点距離を合わせていることより、ベルト上に載
置されたフィルムに何らかの要因で撓みや凹凸等が生じ
る場合には欠陥として検出されるため、検査位置に於け
るフィルムはセンサーと等距離に位置し焦点がずれない
ようにする必要がある。
【０００３】例えばベルトに通気性素材を用い、かつ検
査位置を通過するベルト下部に真空吸引ボックスを配設
し、検査位置を通過するフィルムをベルト下部より吸着
し検査に供するフィルムをベルトに密着させ検査する方
法が考えられる。この方法はベルトにフィルムを吸着さ
せるため、フィルム周囲の巻き上がり等は防止し得る
が、フィルム（シート）が大きい場合には真空吸引ボッ
クスの中央部が周辺部よりも下方に撓んで、その反射画
像波形は図５のようになり焦点距離が合い難いとの欠点
を有する。
査位置を通過するベルト下部に真空吸引ボックスを配設
し、検査位置を通過するフィルムをベルト下部より吸着
し検査に供するフィルムをベルトに密着させ検査する方
法が考えられる。この方法はベルトにフィルムを吸着さ
せるため、フィルム周囲の巻き上がり等は防止し得る
が、フィルム（シート）が大きい場合には真空吸引ボッ
クスの中央部が周辺部よりも下方に撓んで、その反射画
像波形は図５のようになり焦点距離が合い難いとの欠点
を有する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記欠点を改良する目
的で本発明者等は図３に示すような真空吸引ボックスに
２〜５ｍｍ径の丸孔を穿った厚み３ｍｍの金属製ラス板
を天板として配設し用いたが、検査に供するフィルムが
薄い場合には、該丸孔中央部に於いて微妙にフィルムが
下方に撓み、その反射画像波形は図３のようになり、欠
陥が存在する場合との差異が不明確となり、上述した方
法の欠点を完全には解決し得なかった。かかる知見を基
礎として本発明者等は、大きさ、厚みに影響されず、常
に焦点距離に問題のない、廉価で操作性に優れ、かつ精
度の高いシ−ト状物の欠陥検査装置を見出すべく鋭意検
討した結果、該真空吸引ボックスに敷設する天板として
特定物を用いる場合には上記問題点が全て解決し得るこ
とを見出し、本発明を完成するに至った。
的で本発明者等は図３に示すような真空吸引ボックスに
２〜５ｍｍ径の丸孔を穿った厚み３ｍｍの金属製ラス板
を天板として配設し用いたが、検査に供するフィルムが
薄い場合には、該丸孔中央部に於いて微妙にフィルムが
下方に撓み、その反射画像波形は図３のようになり、欠
陥が存在する場合との差異が不明確となり、上述した方
法の欠点を完全には解決し得なかった。かかる知見を基
礎として本発明者等は、大きさ、厚みに影響されず、常
に焦点距離に問題のない、廉価で操作性に優れ、かつ精
度の高いシ−ト状物の欠陥検査装置を見出すべく鋭意検
討した結果、該真空吸引ボックスに敷設する天板として
特定物を用いる場合には上記問題点が全て解決し得るこ
とを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００５】
【課題を解決するための手段】即ち本発明は、一定方向
に移動するベルト上にシート状被検査物を載置し、これ
に光源より光を照射して反射散乱光をセンサーで受光
し、シート状被検査物に存在する欠陥を検出する装置に
於いて、（１）ベルトに通気性素材を用いること、
（２）検査位置を通過するベルト下部に、ベルトの走行
方向面に垂直或いは略垂直に通気性を有する孔径１ｍｍ
以下の多孔質物を天板として持つ真空吸引機構を配設
し、検査位置を通過するシート状被検査物をベルト下部
より吸引することを特徴とするシ−ト状物の欠陥検査装
置を提供するにある。
に移動するベルト上にシート状被検査物を載置し、これ
に光源より光を照射して反射散乱光をセンサーで受光
し、シート状被検査物に存在する欠陥を検出する装置に
於いて、（１）ベルトに通気性素材を用いること、
（２）検査位置を通過するベルト下部に、ベルトの走行
方向面に垂直或いは略垂直に通気性を有する孔径１ｍｍ
以下の多孔質物を天板として持つ真空吸引機構を配設
し、検査位置を通過するシート状被検査物をベルト下部
より吸引することを特徴とするシ−ト状物の欠陥検査装
置を提供するにある。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面を用いてさら
に詳細に説明する。図１は本発明のシ−ト状物の欠陥検
査装置を示す概略図であり、図２〜図４はベルト４と接
触する真空吸引機構５の天板構造を示す概略図である。
図１においてシート状被検査物である偏光フィルム２は
走行するベルト上に載置され検査位置Ａまで搬送され
る。検査位置Ａはベルト下部に真空吸引ボックス５と天
板６よりなる真空吸引機構Ｂを持ち、ベルトで搬送され
てきた偏光フィルム２をベルト下部より吸引しベルト上
に密着させ、この状態に於いて光源１から照射された光
を反射散乱光としてＣＣＤリニアイメージセンサー或い
はレーザー式検査機等のセンサー３で受光し、そのセン
サーからの出力信号を図示しない検出手段で検出する構
造となっている。この方法に於いて欠陥はその光の明暗
として検出し判断する。
に詳細に説明する。図１は本発明のシ−ト状物の欠陥検
査装置を示す概略図であり、図２〜図４はベルト４と接
触する真空吸引機構５の天板構造を示す概略図である。
図１においてシート状被検査物である偏光フィルム２は
走行するベルト上に載置され検査位置Ａまで搬送され
る。検査位置Ａはベルト下部に真空吸引ボックス５と天
板６よりなる真空吸引機構Ｂを持ち、ベルトで搬送され
てきた偏光フィルム２をベルト下部より吸引しベルト上
に密着させ、この状態に於いて光源１から照射された光
を反射散乱光としてＣＣＤリニアイメージセンサー或い
はレーザー式検査機等のセンサー３で受光し、そのセン
サーからの出力信号を図示しない検出手段で検出する構
造となっている。この方法に於いて欠陥はその光の明暗
として検出し判断する。
【０００７】本発明に於いては真空吸引機構Ｂの天板６
に特徴を有する。図２は本発明に用いる天板６を示すも
のである。図２には天板６として、ベルト４の走行方向
面に垂直或いは略垂直方向に通気性を有する孔径１ｍｍ
以下の多孔質物が使用されている。該多孔質物は１個の
孔径が１ｍｍ以下、好ましくは約１０μｍ〜約５０μｍ
の多数の微小孔を有するものであればよく、通常、気孔
率が約１０％〜約８０％、好ましくは３０％〜５０％で
ある。
に特徴を有する。図２は本発明に用いる天板６を示すも
のである。図２には天板６として、ベルト４の走行方向
面に垂直或いは略垂直方向に通気性を有する孔径１ｍｍ
以下の多孔質物が使用されている。該多孔質物は１個の
孔径が１ｍｍ以下、好ましくは約１０μｍ〜約５０μｍ
の多数の微小孔を有するものであればよく、通常、気孔
率が約１０％〜約８０％、好ましくは３０％〜５０％で
ある。
【０００８】多孔質物としては孔径が上記範囲であれば
よく、大きすぎるとベルト上のシート状被検査物に撓み
等が生じ、その部分（撓み）に明暗が生じて誤判定とな
る可能性があるので好ましくない。孔径および気孔率の
下限はベルト上のシート状被検査物を下部より真空吸引
し固定し得ればよく、特に制限されないが、あまり小さ
い場合には真空吸引機構の負荷が大きくなる為、通常上
記範囲の物性を有する多孔質物が天板として適用され
る。多孔質物の材質は上記孔径および気孔率を有するも
のであれば樹脂製、セラミック製および金属製の何れで
あってもよく、例えば高密度ポリエチレンよりなる商品
名：サンマップ（日東電工株式会社製）等が使用し得
る。
よく、大きすぎるとベルト上のシート状被検査物に撓み
等が生じ、その部分（撓み）に明暗が生じて誤判定とな
る可能性があるので好ましくない。孔径および気孔率の
下限はベルト上のシート状被検査物を下部より真空吸引
し固定し得ればよく、特に制限されないが、あまり小さ
い場合には真空吸引機構の負荷が大きくなる為、通常上
記範囲の物性を有する多孔質物が天板として適用され
る。多孔質物の材質は上記孔径および気孔率を有するも
のであれば樹脂製、セラミック製および金属製の何れで
あってもよく、例えば高密度ポリエチレンよりなる商品
名：サンマップ（日東電工株式会社製）等が使用し得
る。
【０００９】本発明に於いては上記した通気性を有する
孔径１ｍｍ以下の多孔質物よりなる天板を用いる場合に
は、ベルト上に載置されたシート状被検査物は天板に構
成された無数の微小孔によりベルト越しに吸引されるた
め、検査位置Ａのシート状被検査物には撓みや凹凸が生
じ難く、図２の反射画像波形に見られる如く、画像はフ
ラットであるため、誤認が少なく検出精度が向上する。
検査位置Ａは天板のいずれの位置であってもよい。また
天板６の計上は特に制限されないが、通常は厚さ約１ｍ
ｍ〜約３０ｍｍの表面が平滑な板状品が使用される。
孔径１ｍｍ以下の多孔質物よりなる天板を用いる場合に
は、ベルト上に載置されたシート状被検査物は天板に構
成された無数の微小孔によりベルト越しに吸引されるた
め、検査位置Ａのシート状被検査物には撓みや凹凸が生
じ難く、図２の反射画像波形に見られる如く、画像はフ
ラットであるため、誤認が少なく検出精度が向上する。
検査位置Ａは天板のいずれの位置であってもよい。また
天板６の計上は特に制限されないが、通常は厚さ約１ｍ
ｍ〜約３０ｍｍの表面が平滑な板状品が使用される。
【００１０】本発明に用いるベルト４は真空吸引機構よ
りの吸引能がベルト上のシート状被検査物２に達し得る
ものであればよく、通常厚み約０．３ｍｍ〜０．５ｍｍ
のポリエチレン製の多孔質ベルトが使用される。ベルト
の色は特に制限されないが通常グレーが使用される。真
空吸引ボックス５の天板６とベルト４の間に抵抗を少な
くする目的で厚み約２ｍｍ〜４ｍｍのポリエチレン製の
多孔質シート９を配設してもよい。真空吸引ボックス内
の真空度は通常約７０ｍｍＨｇ〜約９０ｍｍＨｇの範囲
で実施される。
りの吸引能がベルト上のシート状被検査物２に達し得る
ものであればよく、通常厚み約０．３ｍｍ〜０．５ｍｍ
のポリエチレン製の多孔質ベルトが使用される。ベルト
の色は特に制限されないが通常グレーが使用される。真
空吸引ボックス５の天板６とベルト４の間に抵抗を少な
くする目的で厚み約２ｍｍ〜４ｍｍのポリエチレン製の
多孔質シート９を配設してもよい。真空吸引ボックス内
の真空度は通常約７０ｍｍＨｇ〜約９０ｍｍＨｇの範囲
で実施される。
【００１１】
【発明の効果】以上詳述した本発明によれば真空吸引機
構の天板として特定物性を有する多孔質物を配設するの
みで、何ら操作を複雑化することなく、従来公知のＣＣ
Ｄリニアイメージセンサー等を用いた光学的検査装置の
検出精度を向上せしめ得るものであり、その産業上の効
果は頗る大である。
構の天板として特定物性を有する多孔質物を配設するの
みで、何ら操作を複雑化することなく、従来公知のＣＣ
Ｄリニアイメージセンサー等を用いた光学的検査装置の
検出精度を向上せしめ得るものであり、その産業上の効
果は頗る大である。
【図１】ＣＣＤリニアイメージセンサーを用いた光学的
検査装置の概略図である。
検査装置の概略図である。
【図２】真空吸引機構の天板として多孔質物を配設した
概略図およびこれを用いた反射画像波形を示す。
概略図およびこれを用いた反射画像波形を示す。
【図３】真空吸引機構の天板の孔構造を示す概略図およ
びこれを用いた反射画像波形を示す。
びこれを用いた反射画像波形を示す。
【図４】天板のない真空吸引機構を示す概略図およびこ
れを用いた反射画像波形を示す。
れを用いた反射画像波形を示す。
【図５】ＣＣＤリニアイメージセンサーを用いた光学的
検査装置の概略図である。
検査装置の概略図である。
１ 光源 ２ シート状被検査物（偏光フィルム） ３ センサー ４ ベルト ５ 真空吸引ボックス ６ 天板
Claims (4)
- 【請求項１】 一定方向に移動するベルト上にシート状
被検査物を載置し、これに光源より光を照射して反射散
乱光をセンサーで受光し、シート状被検査物に存在する
欠陥を検出する装置に於いて、（１）ベルトに通気性素
材を用いること、（２）検査位置を通過するベルト下部
に、ベルトの走行方向面に垂直或いは略垂直に通気性を
有する孔径１ｍｍ以下の多孔質物を天板として持つ真空
吸引機構を配設し、検査位置を通過するシート状被検査
物をベルト下部より吸引することを特徴とするシ−ト状
物の欠陥検査装置。 - 【請求項２】 多孔質物の気孔率が１０〜８０％である
ことを特徴とする請求項１記載のシ−ト状物の欠陥検査
装置。 - 【請求項３】 多孔質物が樹脂製、セラミック製および
金属製の何れか１種であることを特徴とする請求項１記
載のシ−ト状物の欠陥検査装置。 - 【請求項４】 多孔質物の１個の孔径が１０〜５０μ
ｍ、気孔率が３０〜５０％であることを特徴とする請求
項１記載のシ−ト状物の欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4328798A JPH11242006A (ja) | 1998-02-25 | 1998-02-25 | シート状物の欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4328798A JPH11242006A (ja) | 1998-02-25 | 1998-02-25 | シート状物の欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11242006A true JPH11242006A (ja) | 1999-09-07 |
Family
ID=12659599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4328798A Pending JPH11242006A (ja) | 1998-02-25 | 1998-02-25 | シート状物の欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11242006A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001159582A (ja) * | 1999-12-01 | 2001-06-12 | Sumitomo Chem Co Ltd | 複合偏光板の検査方法 |
-
1998
- 1998-02-25 JP JP4328798A patent/JPH11242006A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001159582A (ja) * | 1999-12-01 | 2001-06-12 | Sumitomo Chem Co Ltd | 複合偏光板の検査方法 |
| JP4516648B2 (ja) * | 1999-12-01 | 2010-08-04 | 住友化学株式会社 | 複合偏光板の検査方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20050422 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050802 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20051206 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |