JPH11240152A - インクジェット記録装置 - Google Patents
インクジェット記録装置Info
- Publication number
- JPH11240152A JPH11240152A JP4489998A JP4489998A JPH11240152A JP H11240152 A JPH11240152 A JP H11240152A JP 4489998 A JP4489998 A JP 4489998A JP 4489998 A JP4489998 A JP 4489998A JP H11240152 A JPH11240152 A JP H11240152A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flexible substrate
- ink jet
- pressure chamber
- jet recording
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
ル基板の剥離を防止するとともに、圧電素子の駆動特性
の低下を防止する。 【解決手段】 複数のノズル4、この複数のノズル4に
それぞれ連通する複数の圧力室1、この複数の圧力室1
に対応して圧力室1に圧力を発生させる圧電体10、圧
電体10の変形を圧力室1のインクに伝える振動板9か
らなるインクジェット記録ヘッドとフレキシブル基板1
1との接続を、個別電極12が形成されていない圧電体
10の領域においても行う。
Description
装置に関するものであり、特に、薄膜圧電体を用いたイ
ンクジェット記録ヘッドとフレキシブル基板との接続構
造に特徴のあるインクジェット記録装置に関するもので
ある。
機器端末としてのプリンタ装置として、ワイヤを磁気駆
動し、インクリボン及び記録媒体としての用紙を介して
プラテンに押圧することによって印字を行うワイヤ駆動
型の記録ヘッドを用いたプリンタ装置や、インクを圧電
素子の作用によりノズルから噴射するインクジェット型
の記録ヘッドを用いたプリンタ等が用いられているが、
印字に伴う騒音の発生しないインクジェット型プリンタ
装置がオフィス内での使用に適していると注目されてい
る。
ッドは、ノズル、圧力室、インク供給系、インクタン
ク、トランスジューサ等を備え、トランスジューサで発
生した変位・圧力を圧力室に伝達することによって、ノ
ズルからインク粒子を噴出させ、紙等の記録媒体の上に
文字や画像を記録する。
おいて、一般に良く知られている方式は、トランスジュ
ーサとして薄板状の圧電素子を用い、この薄板状の圧電
素子を圧力室の外壁に接着させ、圧電素子にパルス状の
電圧を印加することによって圧力室の外壁を構成する複
合板を撓ませ、撓みによって生じた変位・圧力を圧力室
の外壁を介して圧力室内に伝達するものである。
ェット記録装置を説明する。 図7(a)参照 図7(a)は、インクジェット記録装置の概略的構成の
説明図であり、記録媒体51である用紙に、インクジェ
ット型の記録ヘッド52から記録媒体51にインクを噴
射することによって印字を行うものであり、記録ヘッド
52は記録ヘッド52にインクを供給するインクタンク
53と共にキャリッジ54に搭載され、紙面に対して垂
直方向に移動する。
ローラ55と対になったピンチローラ56とによって記
録ヘッド52とプラテン59との間に送り出され、印字
等の処理がなされたのち、排出ローラ57及び排出ロー
ラ57と対になったピンチローラ58とによって排出
し、スタッカ60によって収容する。
子を用いた従来のインクジェット記録ヘッドの概略的な
要部断面図(必要ならば、特開平7−101051号公
報参照)であり、流路基板61、蓋板62、及び、イン
クプール(図示せず)が順次積層され、流路基板61と
蓋板62とは接着剤で積層固着され、両者の間にノズル
(図示せず)につながるインク流路63が形成されると
共に、蓋板62の厚み方向にはインク流路63と連通す
る連通孔64が形成されている。
金属性の振動板66を固着するとともに、その上に厚さ
が80〜100μm程度のピエゾ素子、即ち、圧電素子
68を導電性接着剤を用いて積層固着する。この振動板
66の一端側は圧電素子68の厚さに相当する高さを有
する立ち曲部67が設けられており、圧電素子68の上
端と振動板66の立ち曲部67の上端において、フレキ
シブル基板69との電気的接続を取るようにしている。
電圧を印加することによって圧電素子68を収縮させ、
それによって振動板66を図において太い破線で示すよ
うに撓ませ、この撓みを圧力室に相当するインク流路6
3に伝達してインクを噴射させている。
ズルピッチの縮小化及び圧力室の縮小化が進み、それに
伴って圧電素子の幅も狭くなってきている。また、印字
の高精細化と並び、印字速度の高速化も要求され、高速
印字のためには圧電素子の駆動周波数を大きくする必要
があるが、そのためには圧電素子、即ち、ピエゾ素子の
厚さを薄くする必要が生じる。
以下の厚さの薄膜状の圧電素子は、導電性接着剤による
接着が困難であるので、半導体製造技術を応用して、マ
スクを用いたマスクスパッタリング法によって成膜する
ことになる。
体を用いたインクジェット記録ヘッドを説明する。 図8参照 図8は、インクジェット記録ヘッドの要部断面斜視図で
あり、金属又は樹脂からなる圧力室壁75によって、ノ
ズル板79に設けられた個々のノズル80に対応する圧
力室71、各圧力室71に共通にインクを供給するイン
ク供給通路74、インク供給通路74からインクを供給
するインク供給路72、及び、インクをノズル80に導
く導通路73が形成される。
固に接続され、この振動板76の上面には、厚さ10μ
m以下、例えば、3μmの圧電体薄膜をマスクスパッタ
リング法によって堆積させて個々の圧電アクチュエータ
77を形成し、また、個々の圧電アクチュエータ77上
に、個別電極78を同じくマスクスパッタリング法によ
って堆積させる。
ては、プリンタ装置本体の制御基板からの電気信号がフ
レキシブル基板(図示せず)を介して印加されるもので
あり、電気信号の印加された振動板76は図において太
い破線示すように撓み、この撓みを圧力室71に伝達す
ることによって、ノズル80からインク粒子を噴射して
印字を行う。
電体を用いたインクジェト記録ヘッドの場合には、アセ
ンブリ工程においてフレキシブル基板にかかる引っ張り
等の力によってフレキシブル基板が剥離したり、或い
は、薄膜圧電体と振動板とが互いに剥離するという問題
が生じる。
縮小化が進み、それに伴って圧電素子の幅も狭くなるに
連れて、振動板との接合面積が小さくなり、接着強度が
低下するためである。
フレキシブル基板が個別電極と全面で接着するようにす
れば良いが、そうすると寄生静電容量が増加したり、フ
レキシブル基板による拘束力が強くなり、圧電素子の駆
動特性が低下するという問題が生ずる。
の剥離を防止するとともに、圧電素子の駆動特性の低下
を防止することを目的とする。
成の説明図であり、この図1を参照して本発明における
課題を解決するための手段を説明する。なお、図1にお
ける符号2はインク供給口、符号3はノズル4に通ずる
導通路、符号6はインク供給通路5につながるインク供
給通路、符号8は圧力室壁、符号13はフレキシブル基
板11を構成する基材、符号15はカバーフィルムを表
す。
にそれぞれ連通する複数の圧力室1、この複数の圧力室
1に対応して圧力室1に圧力を発生させる圧電体10、
圧電体10の変形を圧力室1のインクに伝える振動板9
からなるインクジェット記録ヘッド、及び、このインク
ジェット記録ヘッドの複数の圧電体10上に設けた個別
電極12と制御部との接続を行うフレキシブル基板11
とを備えたインクジェット記録装置において、圧電体1
0とフレキシブル基板11との接続を、個別電極12が
形成されていない圧電体10の領域においても行うこと
を特徴とする。
レキシブル基板11とを接続する際に、個別電極12が
形成されていない圧電体10の領域においても行うこと
によって、接合面積を大きくすることができるので、フ
レキシブル基板11の剥離が防止され、また、圧電体1
0とも直接接合しているので圧電体10と振動板9との
剥離も防止できる。なお、これに伴って、寄生静電容量
が増加し、また、圧力室1に対応しない領域における圧
電体10の作用が問題になるが、圧電体10の幅を縮小
し、且つ、圧電体10を薄膜化した場合には、接合強度
の増加の効果の方がより優先される。
て、個別電極12が形成されていない圧電体10の領域
におけるフレキシブル基板11との接続を、圧電体10
の長手方向の一端においてのみ行うことを特徴とする。
を、圧電体10の長手方向の一端においてのみ行うこと
によって、フレキシブル基板11による圧電体10の拘
束を減少することができ、それによって圧電体10の高
速動作が可能になる。
(2)において、個別電極12が形成されていない圧電
体10の領域におけるフレキシブル基板11との接続
を、振動板9上の圧力室1の形成されている部分に対応
する領域以外の領域において行うことを特徴とする。
る個別電極12が形成されていない圧電体10の領域
を、圧力室1に対応する領域から離すことによって、圧
電体10が拘束されることによる駆動特性の低下に伴う
インクの噴射に対する影響を最低限に減ずることができ
る。
給通路5とが厚い3層の圧力室形成層7によって隔離さ
れているので、インク供給通路5に対応する領域上にお
いて接続していても問題がないが、隔離が充分でない場
合には、インク供給通路5に対する圧電体10の影響が
無視できなくなるので、インク供給通路5に対応する領
域を避ける必要がある。
(2)において、フレキシブル基板11の接続を、振動
板9上の圧力室1の形成されている部分に対応する領域
以外の領域、及び、圧力室形成層7の表面の両方におい
て行うことを特徴とする。
の金属薄膜であり、それ自体では剛性は低く、接合部の
引っ張りにおいて不備を生ずることもあるが、この様
に、厚い、例えば、数十〜数百μm程度の厚さの圧力室
形成層7の表面においてもフレキシブル基板11との接
続を行うことによって、より強固な接続が可能になり、
アセンブリ工程におけるフレキシブル基板11の剥離を
防止することができる。
(4)のいずれかにおいて、フレキシブル基板11と個
別電極12とを接続する接着剤として異方性導電接着剤
16を用いたことを特徴とする。
ことによってフレキシブル基板11と個別電極12との
導電接続が容易になり、且つ、導電部材のない領域にお
いては通常の接着剤として機能するので、フレキシブル
基板11の電極14の露出していない領域における接着
強度を高めることができる。
ート状のものを用いても良いし、塗布型のものを用いて
も良く、シート状の異方性導電接着剤16を用いた場合
には接着工程が容易になるものの切り落としによる無駄
が多くなり、他方、塗布型異方性導電接着剤16を用い
た場合には、滲み出しがなくなるが、マスクを用いた選
択的塗布が必要になり、微細パターンの形成が困難にな
る。
態を図2及び図4を参照して説明する。 図2参照 図2は、本発明の第1の実施の形態のインクジェット記
録装置のインクジェット記録ヘッド近傍を示す概略的斜
視図であり、図はカラー対応のためにY,M,C,Kの
4色のヘッドを設けた場合を示しており、形状を理解し
やすくするために両端のヘッドは完成した状態を示し、
右から2番面のヘッドは圧力室形成層を固着する前の状
態を示し、右から3番面のヘッドは振動板を接着する前
の状態を示している。
録ヘッドは、インク供給通路24,25の形状を規定す
る圧力室壁27(右から2番面のヘッドの状態)のイン
ク供給通路24に対応する部分に、インク供給口22を
形成するための開孔及び圧力室1を形成するための凹部
を有する圧力室形成層26を接着し(右から3番面のヘ
ッドの状態)、次いで、振動板28を接着したのち、振
動板28の上面に、マスクスパッタリング法を用いて厚
さ10μm以下、例えば、3μmの圧電アクチュエータ
29を所定の間隔でストライプ状に形成し、続いて、圧
電アクチュエータ29上に同じくマスクスパッタリング
法を用いて個別電極(図示せず)を形成したのち、異方
性導電接着剤(図示せず)を用いて個別電極とフレキシ
ブル基板32の個別電極とを接続した(両端のヘッドの
状態)のち、ノズル板30に設けたノズル31と導通路
23とが一致するように組み立てたものであり、圧電ア
クチュエータ29を駆動することによってノズル31か
らインク35を噴射するものである。
ブル基板32は、基材33上に形成した所定のパターン
の電極34の表面の中央部(図においては左右の異方性
導電接着剤38,40で挟まれた領域)をカバーフィル
ム36で被覆してあり、このフレキシブル基板32のヘ
ッド部37及び制御基板接続部39に夫々ホットメルト
タイプのシート状の異方性導電接着剤38,40(スリ
ーボンド社製商品名:3370K)を、120℃,3k
gf/cm2 で3秒の条件で加熱・押圧して仮止めした
のち、破線で示す切除部41,42,43を切除する。
なお、この場合、圧電アクチュエータ29に接続する
側、即ち、ヘッド部37側の電極33の長さは0.10
〜1.0mm、例えば、0.15mmとする。
部平面図であり、また、図4(b)は図4(a)のA−
A′を結ぶ一点鎖線に沿った断面図であり、さらに、図
4(c)は図4(b)の破線で示す円内を拡大して示し
た図である。図から明らかなように、本発明において
は、圧電アクチュエータ29を圧力室21の長さより長
く、例えば、フレキシブル基板接続側において0.3m
m程度長くなるように堆積させ、この圧電アクチュエー
タ29上に圧電アクチュエータ29よりも外周が内側と
なる個別電極44が形成されている。
圧力室21にかからない様に位置決めしたのち、接続部
にパルスヒートを押圧した状態で、パルスヒートにパル
ス電流を印加することによってホットメルトタイプの異
方性導電接着剤38を溶融し、フレキシブル基板32の
電極34と個別電極44とを導電接合するとともに、圧
電アクチュエータ29の個別電極44を形成していない
領域においても圧電アクチュエータ29とフレキシブル
基板32とを接合する。なお、この場合の接合条件は、
180℃で、5kgf/cm2 で、20秒間とする。
38を用いているので、厚さ方向においては導電接続す
るが、横方向においては導電性を示さないので、各電極
34と各個別電極との接続が可能になる。なお、図の場
合には、圧電アクチュエータ29の端部においては、カ
バーフィルム36を介して接合された場合を示してい
る。
いては、微細化に影響を与えない範囲で出来るだけ圧電
アクチュエータ29の面積を広く形成し、圧電アクチュ
エータ29の個別電極44の形成されていない領域にお
いてもフレキシブル基板32との接合を行って接合面積
を広くしているので、アセンブリ工程における微細化に
伴うフレキシブル基板32の剥離の発生を防止すること
ができる。
ブル基板32との接合を、圧電アクチュエータ29の一
端側のみにおいて、且つ、圧力室21から離れた位置に
おいて行っているので、圧電アクチュエータ29を必要
以上に拘束することがなく、圧電アクチュエータ29の
薄膜化に伴う、フレキシブル基板32による拘束に起因
する駆動特性の低下を防止することができる。
過剰になると、薄膜状の圧電アクチュエータ29の変形
が抑制され、所望の駆動条件に満たなくなるので、この
様な拘束を少なくすることが薄膜状の圧電アクチュエー
タ29においては重要になる。
は、接合のための接着剤として異方性導電接着剤を用
い、且つ、接合の際にはパルスヒートを用いているの
で、接着剤の流れ出しが少なく、且つ、段差のある接合
をスムーズに行うことができる。なお、段差が大きい場
合には、パルスヒートのチップ先端に予め段差を設けた
ものを用いるか、或いは、パルスヒートのチップとフレ
キシブル基板32との間に熱伝導性のあるシートを挟ん
で接合を行うことが望ましい。
は、シート状の異方性導電接着剤38をフレキシブル基
板32に接着したのち、必要となる長さを残して切除し
ているので、不必要な部分での異方性導電接着剤の広が
りをなくすることができる。即ち、反対に、圧電アクチ
ュエータ29側に異方性導電接着剤を塗布或いは粘着し
た場合には、フレキシブル基板32との接合が広範囲に
なり、フレキシブル基板32による拘束が過剰に大きく
なるため、圧電アクチュエータ29の駆動不良が生ず
る。
を用いる必要は必ずしもなく、塗布型の異方性導電接着
剤を用い、マスクを用いて所定のパターンに選択的に塗
布しても良く、塗布した場合には、シート状異方性導電
接着剤に比べて滲み出しが少なくなる利点があるが、
0.5mm以下の幅のパターンを形成することが困難に
なる。
給通路の形状、及び、フレキシブル基板との接合状態が
異なる本発明の第2乃至第5の実施の形態を説明する。 図5(a)参照 この第2の実施の形態のインクジェット記録ヘッドの場
合には、圧力室壁27によって規定された圧力室21と
インク供給通路24とがインク供給口23を介して接続
されており、圧力室21のインクは導通路23を介して
ノズル板30に設けられたノズル31から噴射される。
を覆うように振動板28が強固に接着され、この振動板
28上にマスクスパッタリング法によって圧電アクチュ
エータ29が圧力室21より長く、且つ、インク供給通
路24にかからないように堆積させたのち、圧電アクチ
ュエータ29上に個別電極44を形成する。
電極34のカバーフィルム36側の露出端部が圧電アク
チュエータ29の端部と一致するように位置合わせした
のち、パルスヒートを用いて接合する。
同様に圧電アクチュエータ29の個別電極44の形成さ
れていない領域においてもフレキシブル基板32と接続
しているのでフレキシブル基板32の剥離を防止するこ
とができる。また、圧電アクチュエータ29とフレキシ
ブル基板32との接合を圧力室21から離れた位置で行
っているので、フレキシブル基板32による圧電アクチ
ュエータ29の拘束の影響を少なくすることができる。
圧力室壁27の厚さは、第1の実施の形態における3層
の圧力室形成層に比べて厚くないので、圧電アクチュエ
ータ29がインク供給通路24にかかった場合には、圧
電アクチュエータ29の変形の影響がインク供給通路2
4にも及び、インク供給通路24を介して隣接する圧力
室21にも影響が及ぶので、この第2の実施の形態にお
いては、圧電アクチュエータ29がインク供給通路24
に掛からないように形成する必要がある。
上記の第2の実施の形態とほぼ同様であるが、フレキシ
ブル基板32の接合状態において若干異なるものであ
る。即ち、この第3の実施の形態においては、フレキシ
ブル基板32の端部と圧力室21の内壁とほぼ一致させ
ると共に、フレキシブル基板32の電極34と圧電アク
チュエータ29との直接的な接続が生じないように、カ
バーフィルム36の端部が圧電アクチュエータ29の端
部とほぼ一致するように位置合わせし、且つ、異方性導
電接着剤38をカバーフィルム36上にも延在させたも
のである。
2の実施の形態と比べて、圧力室21の領域以外では圧
電アクチュエータ29はフレキシブル基板32に拘束さ
れるので、圧力室21の領域以外で圧電アクチュエータ
29が駆動されることがなく、また、導電性接合部の面
積が小さくなるので寄生静電容量を低減することができ
る。
上記の第3の実施の形態とほぼ同様であるが、振動板2
8の形状、及び、フレキシブル基板32の接合状態にお
いて若干異なるものである。即ち、この第4の実施の形
態においては、振動板28の一部を切除し、露出した圧
力室壁27の上面においても異方性導電接着剤38によ
る接続を行ったものである。
mの金属薄膜から構成されているので剛性が低く、接合
部分の引っ張りで不備を生ずることがあるが、上記の様
な構成を採用することによって、数十μm〜数百μmの
厚さの剛性の強い圧力室壁27の上面においても接合を
行っているので、フレキシブル基板32の剥離の発生を
防止することができる。
上記の第3の実施の形態とほぼ同様であるが、フレキシ
ブル基板32を曲げると共に、接着剤45で補強する点
で若干異なるものである。即ち、この第5の実施の形態
においては、フレキシブル基板32を接合する際に、パ
ルスヒートによって押圧しながら加熱して接合したの
ち、パルスヒートを押圧した状態でフレキシブル基板3
2を接合面より所定の角度を有するように曲ると共に、
剥離が生じないように接着剤45で立ち上げ部を補強す
る。
シブル基板32を予め曲げ、且つ、接着剤45で補強し
ているので、フレキシブル基板32の他端、即ち、制御
基板接続部39を制御基板と接続する際に改めて曲げる
必要はなく、したがって、接続工程において剥離による
不良が発生することがない。
ルスヒートの押圧下において行っているので、3〜5k
gf/cm2 程度の押圧下においては、曲加工に伴って
剥離が生ずることもない。
たが、本発明は実施の形態における構成に限定されるも
のではなく、各種の変形が可能であり、例えば、圧力室
及びインク供給通路の形状及び位置関係は、第1の実施
の形態或いは第2の実施の形態に限られるものでなく、
各種の形状のものを用いることができるが、要するに、
少なくとも、圧力室にかからない位置において圧電アク
チュエータの個別電極を形成していない領域とフレキシ
ブル基板との接合を行えば良い。
の長さより長くし、圧力室にかからない位置において圧
電体の個別電極を形成していない領域とフレキシブル基
板との接合を行っているので、接合強度を大きく且つ圧
電体の拘束を小さくしているので、フレキシブル基板の
剥離を防止できると共に、所期の駆動特性を得ることが
でき、それによって、インクジェット記録装置の微細
化、高速化に寄与するところが大きい。
録ヘッドの概略的斜視図である。
ル基板の平面図である。
録ヘッドの説明図である。
ェット記録ヘッドの要部断面図である。
ェット記録ヘッドの要部断面図である。
である。
ヘッドの要部断面斜視図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 複数のノズル、該複数のノズルにそれぞ
れ連通する複数の圧力室、該複数の圧力室に対応して圧
力室に圧力を発生させる圧電体、該圧電体の変形を前記
圧力室のインクに伝える振動板からなるインクジェット
記録ヘッド、及び、該インクジェット記録ヘッドの複数
の圧電体上に設けた個別電極と制御部との接続を行うフ
レキシブル基板とを備えたインクジェット記録装置にお
いて、前記圧電体とフレキシブル基板との接続を、前記
個別電極が形成されていない圧電体の領域においても行
うことを特徴とするインクジェット記録装置。 - 【請求項2】 上記個別電極が形成されていない圧電体
の領域におけるフレキシブル基板との接続を、前記圧電
体の長手方向の一端においてのみ行うことを特徴とする
請求項1記載のインクジェット記録装置。 - 【請求項3】 上記個別電極が形成されていない圧電体
の領域におけるフレキシブル基板との接続を、上記振動
板上の上記圧力室の形成されている部分に対応する領域
以外の領域において行うことを特徴とする請求項1また
は2に記載のインクジェット記録装置。 - 【請求項4】 上記個別電極が形成されていない圧電体
の領域におけるフレキシブル基板との接続を、上記振動
板上の上記圧力室の形成されている部分に対応する領域
以外の領域、及び、圧力室形成層の表面の両方において
行うことを特徴とする請求項1または2に記載のインク
ジェット記録装置。 - 【請求項5】 上記フレキシブル基板と個別電極とを接
続する接着剤として、異方性導電接着剤を用いたことを
特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のイン
クジェット記録装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4489998A JP4117512B2 (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | インクジェット記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4489998A JP4117512B2 (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | インクジェット記録装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11240152A true JPH11240152A (ja) | 1999-09-07 |
JP4117512B2 JP4117512B2 (ja) | 2008-07-16 |
Family
ID=12704337
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4489998A Expired - Fee Related JP4117512B2 (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | インクジェット記録装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4117512B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002172792A (ja) * | 2000-12-07 | 2002-06-18 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッドの製造方法、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 |
JP2007127136A (ja) * | 2007-02-23 | 2007-05-24 | Brother Ind Ltd | 液体移送装置 |
US7562428B2 (en) | 2002-09-24 | 2009-07-21 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Manufacturing an ink jet head |
JP2009202566A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-09-10 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドおよびその製造方法、並びに、プリンタ |
JP2012232457A (ja) * | 2011-04-28 | 2012-11-29 | Ricoh Co Ltd | アクチュエータユニット |
-
1998
- 1998-02-26 JP JP4489998A patent/JP4117512B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002172792A (ja) * | 2000-12-07 | 2002-06-18 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッドの製造方法、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 |
US7562428B2 (en) | 2002-09-24 | 2009-07-21 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Manufacturing an ink jet head |
US7766458B2 (en) | 2002-09-24 | 2010-08-03 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Inkjet head capable of suppressing hindrance of deformation of a piezoelectric element |
JP2007127136A (ja) * | 2007-02-23 | 2007-05-24 | Brother Ind Ltd | 液体移送装置 |
JP2009202566A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-09-10 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドおよびその製造方法、並びに、プリンタ |
JP2012232457A (ja) * | 2011-04-28 | 2012-11-29 | Ricoh Co Ltd | アクチュエータユニット |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4117512B2 (ja) | 2008-07-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2001074591A1 (fr) | Tete a jet d'encre a buses multiples | |
WO2001074592A1 (fr) | Tete a jet d'encre a buses multiples et son procede de fabrication | |
JP4765510B2 (ja) | 液体噴射装置及びその製造方法 | |
JPS6179669A (ja) | フイルム積層型インクジエツトヘツド | |
JPH11240152A (ja) | インクジェット記録装置 | |
JPH10100401A (ja) | インクジェットヘッド | |
JP4129614B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
JP2001071490A (ja) | インクジェット記録装置 | |
JP2004358796A (ja) | 液体噴射ヘッド及びその製造方法 | |
JPH09300609A (ja) | インクジェットヘッド | |
JPH06188472A (ja) | マイクロアクチュエータ及びこれを用いたインクジェットヘッド | |
JP2004255702A (ja) | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 | |
JP3298755B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
JP2000108344A (ja) | インクジェット記録装置 | |
JP4334751B2 (ja) | インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 | |
JP3179328B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP3201004B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP2001232794A (ja) | インクジェットヘッド、その製造方法、インクジェット記録装置、及び、アクチュエータ | |
JP2001146013A (ja) | インクジェットヘッドとヘッドユニット及びインクジェット記録装置 | |
JP7102788B2 (ja) | 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JPH1067103A (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法並びにフィルム状接着剤及びその製造方法 | |
JPH05169655A (ja) | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 | |
JP4145481B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法、インクジェットヘッド、インクジェット記録装置及び画像形成装置 | |
JP3149532B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP3539475B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド、及びフレキシブルケーブルの接続方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20040611 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050218 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050218 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20070104 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070427 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070514 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070713 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20071204 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071227 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20080307 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080327 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080409 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110502 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110502 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120502 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130502 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140502 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |