JPH11236490A - Epoxy resin composition for sealing and semiconductor device - Google Patents

Epoxy resin composition for sealing and semiconductor device

Info

Publication number
JPH11236490A
JPH11236490A JP10040779A JP4077998A JPH11236490A JP H11236490 A JPH11236490 A JP H11236490A JP 10040779 A JP10040779 A JP 10040779A JP 4077998 A JP4077998 A JP 4077998A JP H11236490 A JPH11236490 A JP H11236490A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
epoxy resin
resin composition
filler
sealing
dicyclopentadiene
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10040779A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuhisa Kishigami
泰久 岸上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Matsushita Electric Works Ltd
Priority to JP10040779A priority Critical patent/JPH11236490A/en
Publication of JPH11236490A publication Critical patent/JPH11236490A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Epoxy Resins (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an epoxy resin composition hardly generating a package crack after a moisture absorbing reflow, excellent in moisture absorbing solder crack resistant property and useful for semiconductor device, etc., by making the composition contain each specific epoxy resin, curing agent, curing accelerator and filler. SOLUTION: This epoxy resin composition for sealing contains (A) an epoxy resin containing at least a dicyclopentadiene type epoxy resin of formula I [(n) is 0-6 integer], (B) preferably 0.8-1.2 equivalent [based on 1 equivalent of the component (A)] curing agent containing at least a dicyclopentadiene type phenolic resin of formula II [1<=(1+n)<=15; 0.1<=(m)<=15; 1<=(k)<=10; R is H, CH3 or OH], (C) preferably 0.25-5 wt.% (based on the composition) curing accelerator such as triphenylphosphine, (D) 84-93 wt.% filler such as a fused silica as indispensable components. Further, the resin of the formula I is preferably contained in a ratio of 40-100 wt.% based on the total epoxy resin in the composition.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ダイオード、トラ
ンジスター、集積回路等の電気・電子部品や半導体装置
等の保護、封止に使用されるエポキシ樹脂組成物と、こ
れを用いた半導体装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an epoxy resin composition used for protecting and encapsulating electric and electronic parts such as diodes, transistors, and integrated circuits, and semiconductor devices, and a semiconductor device using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】ダイオード、トランジスター、集積回路
等の電気・電子部品や半導体装置などの封止方法として
は、たとえば、エポキシ樹脂やシリコン樹脂等による封
止方法や、ガラス、金属、セラミック等を用いたハーメ
チックシール法が採用されているが、近年では、信頼性
の向上とともに大量生産が可能であり、かつ、コストの
面でメリットのあるエポキシ樹脂を用いた低圧トランス
ファー成形による樹脂封止が主流を占めている。
2. Description of the Related Art As a method for encapsulating electric and electronic parts such as diodes, transistors, and integrated circuits, and semiconductor devices, for example, an encapsulation method using epoxy resin or silicon resin, glass, metal, ceramic, or the like is used. The hermetic sealing method has been adopted, but in recent years, resin sealing by low-pressure transfer molding using epoxy resin, which can be mass-produced with improved reliability and is cost-effective, has become the mainstream. is occupying.

【0003】このエポキシ樹脂を用いる封止法において
は、o−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂を基体樹
脂成分とし、その硬化剤としてフェノールノボラック樹
脂を用いたエポキシ樹脂組成物からなる成形材料が一般
的に使用されている。しかしながら、IC、LSI、V
LSI等の電子部品や半導体装置の高密度化、高集積化
に伴って、モールド樹脂の薄肉化のためには、従来のエ
ポキシ樹脂組成物では必ずしも満足に対応することがで
きなくなっている。
In this encapsulation method using an epoxy resin, a molding material comprising an epoxy resin composition using an o-cresol novolak type epoxy resin as a base resin component and a phenol novolak resin as a curing agent is generally used. Have been. However, IC, LSI, V
With the increase in the density and integration of electronic components such as LSIs and semiconductor devices, the conventional epoxy resin composition cannot always respond satisfactorily to reduce the thickness of the mold resin.

【0004】たとえば、表面実装用デバイスにおいて
は、実装時にデバイス自身が半田に直接浸漬される等、
急激に高温過酷な環境下にさらされるため、パッケージ
クラック等の発生が避けられない事態となっている。す
なわち、成形後の保管中に吸湿された水分が高温にさら
される際に急激に気化膨張し、封止樹脂がこれに耐えき
れずにパッケージにクラックが生じる。
For example, in a device for surface mounting, the device itself is directly immersed in solder at the time of mounting.
Since the device is rapidly exposed to a high temperature and severe environment, the occurrence of package cracks and the like is inevitable. That is, when moisture absorbed during storage after molding is exposed to a high temperature, it rapidly evaporates and expands, and the sealing resin cannot withstand this and cracks occur in the package.

【0005】このような問題点を解消するため、封止用
エポキシ樹脂組成物については、耐熱性、密着性等の向
上等の検討がなされ、実際に、これらの特性の改良がな
されてきてはいるが、これらの特性、特に低応力性とと
もに、上記吸湿半田クラックに対する耐性(耐吸湿半田
クラック性)の向上については、未だ満足できる状況に
はない。
[0005] In order to solve such problems, studies have been made on the epoxy resin composition for encapsulation to improve the heat resistance, adhesion, and the like. In fact, these properties have not been improved. However, the improvement of the resistance to the above-mentioned moisture-absorbing solder crack (the resistance to the moisture-absorbing solder crack) as well as these characteristics, particularly the low stress property, is not yet in a satisfactory state.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、耐吸
湿半田クラック性の向上した封止用エポキシ樹脂組成物
と、これを用いた半導体装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a sealing epoxy resin composition having improved resistance to cracks in moisture absorption solder and a semiconductor device using the same.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明者らは、鋭意検討を重ねた結果、下記2つの
ことを見出し、本発明を完成するに至った。第1に、エ
ポキシ樹脂および硬化剤として、ジシクロペンタジエン
環を有する下記特定の樹脂を用いると、これらの樹脂が
低吸湿性かつ高密着性であるため、吸湿リフロー後のパ
ッケージクラックおよび剥離の発生が防止される。
Means for Solving the Problems In order to solve the above-mentioned problems, the present inventors have made intensive studies and as a result, have found the following two things, and have completed the present invention. First, when the following specific resins having a dicyclopentadiene ring are used as an epoxy resin and a curing agent, these resins have low hygroscopicity and high adhesiveness, so that package cracking and peeling after moisture reflow are caused. Is prevented.

【0008】第2に、充填材をエポキシ樹脂組成物に下
記特定の割合で高充填すれば、該組成物の吸湿率が低減
されるため、吸湿リフロー後のパッケージクラックおよ
び剥離の発生がさらに防止されるということである。す
なわち、本発明にかかる封止用エポキシ樹脂組成物は、
エポキシ樹脂と硬化剤と硬化促進剤と充填材とを必須成
分とする封止用エポキシ樹脂組成物において、前記エポ
キシ樹脂として下記化学式(A)で示されるジシクロペ
ンタジエン型エポキシ樹脂を少なくとも含有し、前記硬
化剤として下記化学式(B)で示されるジシクロペンタ
ジエン型フェノール樹脂を少なくとも含有し、前記充填
材の配合量が、真比重換算で、エポキシ樹脂組成物全体
に対し、84〜93重量%の割合であることを特徴とす
る。
[0008] Second, when the filler is highly filled into the epoxy resin composition at the following specific ratio, the moisture absorption of the composition is reduced, so that the occurrence of package cracks and peeling after moisture reflow is further prevented. That is to be done. That is, the epoxy resin composition for sealing according to the present invention,
An epoxy resin composition for sealing containing an epoxy resin, a curing agent, a curing accelerator, and a filler as essential components, wherein at least a dicyclopentadiene-type epoxy resin represented by the following chemical formula (A) is contained as the epoxy resin, The curing agent contains at least a dicyclopentadiene-type phenol resin represented by the following chemical formula (B), and the compounding amount of the filler is 84 to 93% by weight based on the total epoxy resin composition in terms of true specific gravity. It is characterized by being a ratio.

【0009】[0009]

【化2】 Embedded image

【0010】(式(A)中、nは0〜6の整数;式
(B)中、1≦l+n≦40、1≦m≦15、1≦k≦
10、R=H、CH3 またはOH。) 本発明にかかる半導体装置は、半導体素子を本発明の封
止用エポキシ樹脂組成物で封止してなる。
(In the formula (A), n is an integer of 0 to 6; in the formula (B), 1 ≦ l + n ≦ 40, 1 ≦ m ≦ 15, 1 ≦ k ≦
10, R = H, CH 3 or OH. The semiconductor device according to the present invention is obtained by sealing a semiconductor element with the sealing epoxy resin composition of the present invention.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】(エポキシ樹脂組成物)エポキシ
樹脂としては、低吸湿化および高密着化のために前記化
学式(A)で示されるジシクロペンタジエン型エポキシ
樹脂が必ず使用されるが、これ以外のエポキシ樹脂を併
用しても良い。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS (Epoxy resin composition) As an epoxy resin, a dicyclopentadiene type epoxy resin represented by the above-mentioned chemical formula (A) is used without fail in order to reduce moisture absorption and increase adhesion. Other epoxy resins may be used in combination.

【0012】ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂と併
用可能なエポキシ樹脂は、1分子中に2個以上のエポキ
シ基を持っていれば特に制限はないが、光半導体の封止
に用いる場合は、比較的着色の少ないものが好ましい。
好ましい例としては、クレゾール(ノボラック)型エポ
キシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビスフェノール
型(A型、F型、S型等)エポキシ樹脂、トリフェニル
メタン型エポキシ樹脂、ブロム含有エポキシ樹脂、ナフ
タレン環含有エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、トリ
グリシジルイソシアヌレート、脂肪族系エポキシ樹脂等
が挙げられ、これらの中から1種のみまたは2種以上選
んで使用できる。
The epoxy resin which can be used in combination with the dicyclopentadiene type epoxy resin is not particularly limited as long as it has two or more epoxy groups in one molecule. Those with little coloring are preferred.
Preferred examples include a cresol (novolak) type epoxy resin, a biphenyl type epoxy resin, a bisphenol type (A type, F type, S type etc.) epoxy resin, a triphenylmethane type epoxy resin, a bromine-containing epoxy resin, a naphthalene ring-containing epoxy Resins, alicyclic epoxy resins, triglycidyl isocyanurate, aliphatic epoxy resins, and the like can be used, and only one type or two or more types can be selected from these.

【0013】前記化学式(A)で示されるジシクロペン
タジエン型エポキシ樹脂は、たとえば、大日本インキ化
学工業(株)EXA7200の他、日本化薬(株)から
市販されている。前記ジシクロペンタジエン型エポキシ
樹脂の使用量は、エポキシ樹脂組成物中の全エポキシ樹
脂に対し、40〜100重量%の割合であることが好ま
しい。40重量%を下回ると、低吸湿化、高密着化等の
効果が低くなる傾向がある。
The dicyclopentadiene type epoxy resin represented by the chemical formula (A) is commercially available, for example, from Nippon Kayaku Co., Ltd. in addition to EXA7200 from Dainippon Ink and Chemicals, Inc. The amount of the dicyclopentadiene-type epoxy resin used is preferably 40 to 100% by weight based on all epoxy resins in the epoxy resin composition. If the amount is less than 40% by weight, the effects such as low moisture absorption and high adhesion tend to decrease.

【0014】硬化剤としては、低吸湿化および高密着化
のために前記化学式(B)で示されるジシクロペンタジ
エン型フェノール樹脂が必ず使用されるが、これ以外の
硬化剤を併用しても良い。前記ジシクロペンタジエン型
フェノール樹脂と併用可能な硬化剤としては、エポキシ
樹脂と反応するものであれば特に制限はないが、光半導
体封止のためには比較的着色の少ないものが好ましい。
好ましい例としては、1分子中にフェノール性水酸基を
2個以上有するもの、たとえば、フェノールノボラッ
ク、クレゾールノボラック、フェノールアラルキル、ナ
フトールアラルキル、トリフェニルメタン型フェノー
ル、その他の各種多価フェノール化合物などを1種また
は2種以上用いることができる。
As the curing agent, a dicyclopentadiene-type phenol resin represented by the above-mentioned chemical formula (B) is used without fail to reduce moisture absorption and increase adhesion, but other curing agents may be used in combination. . The curing agent that can be used in combination with the dicyclopentadiene-type phenol resin is not particularly limited as long as it reacts with the epoxy resin.
Preferred examples include those having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule, such as phenol novolak, cresol novolak, phenol aralkyl, naphthol aralkyl, triphenylmethane type phenol, and various other polyhydric phenol compounds. Alternatively, two or more kinds can be used.

【0015】上記の他にアミン系硬化剤も挙げられる
が、硬化時の変色が大きいため使用する際は添加量等に
注意を要する。使用硬化剤全体に対する前記ジシクロペ
ンタジエン型フェノール樹脂の使用割合は、40〜10
0重量%であることが好ましい。40重量%を下回る
と、低吸湿化、高密着化等の効果が低くなる傾向があ
る。
[0015] In addition to the above, amine-based curing agents can also be mentioned. However, since discoloration during curing is large, attention must be paid to the amount of addition when used. The use ratio of the dicyclopentadiene-type phenol resin to the entire used curing agent is 40 to 10
It is preferably 0% by weight. If the amount is less than 40% by weight, the effects such as low moisture absorption and high adhesion tend to decrease.

【0016】エポキシ樹脂組成物中、硬化剤の配合割合
は、エポキシ樹脂1当量に対して硬化剤の当量を0.5
〜1.5の範囲に設定することが好ましく、特に好まし
くは0.8〜1.2である。硬化剤の当量が0.5未満
であれば離型性が悪く、1.5を超えると吸湿が増加
し、信頼性が悪くなる傾向がある。なお、本発明の封止
用エポキシ樹脂組成物では、吸湿率低減のために充填材
が高充填されているが、充填材が高充填されると、エポ
キシ樹脂組成物の粘度上昇およびそれに伴う成形性低下
が起き、バッケージ外観不良、内部ボイド、ワイヤース
イープ、ダイシフト等の成形不良が発生する場合があ
る。これを防止するために、エポキシ樹脂と硬化剤から
なる樹脂成分の150℃における粘度は1ポイズ以下で
あることが好ましい。
In the epoxy resin composition, the mixing ratio of the curing agent is such that the equivalent of the curing agent is 0.5 to 1 equivalent of the epoxy resin.
It is preferably set to a range of from 1.5 to 1.5, and particularly preferably from 0.8 to 1.2. If the equivalent of the curing agent is less than 0.5, the releasability is poor, and if it exceeds 1.5, the moisture absorption increases, and the reliability tends to deteriorate. In the epoxy resin composition for encapsulation of the present invention, the filler is highly filled in order to reduce the moisture absorption rate. Deterioration may occur and molding defects such as poor package appearance, internal voids, wire sweep, and die shift may occur. In order to prevent this, the viscosity at 150 ° C. of the resin component composed of the epoxy resin and the curing agent is preferably 1 poise or less.

【0017】硬化促進剤としては、エポキシ樹脂と硬化
剤の反応を促進させる作用があるものであれば特に制限
はないが、比較的着色の少ないものが好ましい。好まし
い例としては、トリフェニルホスフィン、ジフェニルホ
スフィン等の有機ホスフィン類等の有機リン化合物;2
−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2
−フェニル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール
系化合物;1,8−ジアザビシクロ〔5,4,0〕ウン
デセン−7(「DBU」とも言う)、ジアザビシクロノ
ナン(「DBN」とも言う)、トリエタノールアミン、
ベンジルジメチルアミン等の3級アミン化合物;テトラ
フェニルホスホニウム・テトラフェニルボレート等の有
機塩類等を用いることができる。これらは1種のみ用い
てもよいし2種以上併用してもよい。
The curing accelerator is not particularly limited as long as it has an action of accelerating the reaction between the epoxy resin and the curing agent, but a relatively less colored one is preferred. Preferred examples include organic phosphorus compounds such as organic phosphines such as triphenylphosphine and diphenylphosphine;
-Methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2
-Imidazole compounds such as -phenyl-4-methylimidazole; 1,8-diazabicyclo [5,4,0] undecene-7 (also called "DBU"), diazabicyclononane (also called "DBN"), triethanol Amine,
Tertiary amine compounds such as benzyldimethylamine; and organic salts such as tetraphenylphosphonium / tetraphenylborate can be used. These may be used alone or in combination of two or more.

【0018】ここで、本発明のエポキシ樹脂組成物のよ
うに、ジシクロペンタジエン環を有する樹脂成分を含む
組成物は、一般に、ジシクロペンタジエン環の持つ立体
障害のために反応性が低下する場合がある。この反応性
低下を抑えるためには、エポキシ樹脂間の自重合を促進
できる反応性に優れた硬化促進剤の使用が好ましい。そ
のような硬化促進剤としては、上に例示した硬化促進剤
の中でも、3級アミン化合物およびイミダゾール系化合
物からなる群の中から選ばれた少なくとも1種の使用が
好ましい。この硬化促進剤は、潜在性を有するため、エ
ポキシ樹脂組成物を低粘度化するので、この潜在性硬化
促進剤を使用すると、エポキシ樹脂組成物に充填材を高
充填しても、成形性が良好となり前記成形不良の発生を
防止することができる点でさらに好ましい。上記潜在性
硬化促進剤の使用量は、全硬化促進剤に対し、10〜1
00重量%であることが好ましい。
Here, a composition containing a resin component having a dicyclopentadiene ring, such as the epoxy resin composition of the present invention, generally has a low reactivity due to steric hindrance of the dicyclopentadiene ring. There is. In order to suppress the decrease in reactivity, it is preferable to use a curing accelerator having excellent reactivity which can promote self-polymerization between epoxy resins. As such a curing accelerator, at least one selected from the group consisting of a tertiary amine compound and an imidazole compound is preferable among the curing accelerators exemplified above. Since this curing accelerator has the potential to lower the viscosity of the epoxy resin composition, the use of this latent curing accelerator makes it possible to improve the moldability even when the epoxy resin composition is highly filled with a filler. It is more preferable that the molding becomes good and the occurrence of the molding failure can be prevented. The amount of the latent curing accelerator used is 10 to 1 with respect to the total curing accelerator.
It is preferably 00% by weight.

【0019】なお、上記3級アミン化合物の中でもDB
Uおよび/またはDBNの使用が好ましく、上記イミダ
ゾール系化合物の中でも2−メチルイミダゾールおよび
/または2−フェニルイミダゾールの使用が好ましい。
本発明で用いられる硬化促進剤の配合割合は、エポキシ
樹脂組成物全体に対して0.25〜5重量%であること
が好ましい。硬化促進剤の配合量が0.25重量%未満
では、ゲル化時間が遅くなり、硬化不足により作業性を
著しく低下させる傾向がみられ、逆に5重量%を超える
と、硬化が急速に進み、その結果、発熱が大きくなって
クラックや発泡、成形トラブルを生じる恐れがあるから
である。
Among the above tertiary amine compounds, DB
Use of U and / or DBN is preferred, and among the above imidazole compounds, use of 2-methylimidazole and / or 2-phenylimidazole is preferred.
The mixing ratio of the curing accelerator used in the present invention is preferably from 0.25 to 5% by weight based on the entire epoxy resin composition. If the amount of the curing accelerator is less than 0.25% by weight, the gelation time is delayed, and the workability tends to be significantly reduced due to insufficient curing. Conversely, if it exceeds 5% by weight, the curing proceeds rapidly. As a result, heat generation is increased, which may cause cracks, foaming, and molding troubles.

【0020】本発明にかかるエポキシ樹脂組成物には、
増量効果を発揮させたり、樹脂硬化物の吸湿率を低減し
てクラックを生じにくくさせたりするために、充填材が
配合される。充填材としては、特に限定する訳ではない
が、たとえば、溶融シリカ、結晶シリカ、アルミナ、窒
化珪素等の無機充填材等を1種または2種以上用いるこ
とができる。これらの中でも溶融シリカが、低線膨張率
化、高耐湿信頼性化、低吸湿率化等の点で好ましい。
The epoxy resin composition according to the present invention comprises:
A filler is blended in order to exert the effect of increasing the amount or reduce the moisture absorption of the cured resin so that cracks are less likely to occur. The filler is not particularly limited. For example, one or more inorganic fillers such as fused silica, crystalline silica, alumina, and silicon nitride can be used. Among these, fused silica is preferred in terms of lowering the coefficient of linear expansion, increasing the reliability of high humidity resistance, and reducing the rate of moisture absorption.

【0021】充填材の配合量は、真比重換算で、エポキ
シ樹脂組成物全体に対し、84〜93重量%の割合であ
る。特に、線膨張係数が1.1〜5(×10-5/℃)に
入るよう、配合量を決定するのが好ましい。充填材の配
合量が84重量%未満だと吸湿率低減効果が不充分にな
り、93重量%を超えるとエポキシ樹脂組成物の粘度が
上昇し、それに伴う前述の成形不良の問題が発生する傾
向がある。
The amount of the filler is 84 to 93% by weight based on the total epoxy resin composition in terms of true specific gravity. In particular, it is preferable to determine the blending amount so that the coefficient of linear expansion falls within the range of 1.1 to 5 (× 10 −5 / ° C.). If the compounding amount of the filler is less than 84% by weight, the effect of reducing the moisture absorption rate will be insufficient, and if it exceeds 93% by weight, the viscosity of the epoxy resin composition will increase, and the above-mentioned problem of molding failure tends to occur. There is.

【0022】充填材の高充填によるエポキシ樹脂組成物
の粘度上昇を抑え、前述の成形不良の発生を防止するた
めには、充填材として、圧縮成形前の充填材の平均粒径
が圧縮成形後も保持される圧力で充填材を圧縮成形して
得られる成形体の見かけ体積に占める充填材の正味体積
百分率φが83%以上であるものを用いることが好まし
い。
In order to suppress an increase in the viscosity of the epoxy resin composition due to high filling of the filler and to prevent the occurrence of the above-mentioned molding failure, the average particle diameter of the filler before compression molding is set as the filler. It is preferable to use a filler having a net volume percentage φ of 83% or more in the apparent volume of a molded product obtained by compression-molding the filler at a pressure maintained.

【0023】また、充填材の高充填によるエポキシ樹脂
組成物の粘度上昇を抑え、前述の成形不良の発生を防止
するためには、炭素数が28以下である脂肪酸および/
またはその誘導体を、エポキシ樹脂組成物全体に対し、
0.05〜2重量%の割合でさらに含ませることが好ま
しく、0.05〜1重量%の割合でさらに含ませること
がより好ましい。上記脂肪酸および/またはその誘導体
は、エポキシ樹脂組成物中で、樹脂成分との相溶性を示
し、可塑剤としても作用するため、エポキシ樹脂組成物
全体の低粘度化に寄与して、充填材高充填の場合に起こ
りやすい前述の成形不良の発生を抑制する。上記脂肪酸
および/またはその誘導体の配合量が0.05重量%未
満だと低粘度化の効果が得られなくなり、2重量%を超
えると、成形時に上記脂肪酸および/またはその誘導体
がエポキシ樹脂組成物の成形体とリードフレームおよび
チップとの界面にブリードアウトしてしまい、密着性を
低下させる不具合が生じる傾向がある。なお、上記脂肪
酸および/またはその誘導体を添加しても、エポキシ樹
脂組成物全体の信頼性に対して悪影響を及ぼさないので
好ましい。
In order to suppress an increase in the viscosity of the epoxy resin composition due to high filling of the filler and to prevent the occurrence of the above-mentioned molding failure, a fatty acid having 28 or less carbon atoms and / or
Or a derivative thereof with respect to the entire epoxy resin composition,
It is preferably further contained at a rate of 0.05 to 2% by weight, and more preferably at a rate of 0.05 to 1% by weight. In the epoxy resin composition, the fatty acid and / or the derivative thereof shows compatibility with the resin component and also acts as a plasticizer, so that it contributes to lowering the viscosity of the entire epoxy resin composition and increases the filler height. It suppresses the occurrence of the above-mentioned molding failure which tends to occur in the case of filling. If the amount of the fatty acid and / or the derivative thereof is less than 0.05% by weight, the effect of lowering the viscosity cannot be obtained. If the amount exceeds 2% by weight, the fatty acid and / or the derivative thereof is added to the epoxy resin composition during molding. Tends to bleed out at the interface between the molded body and the lead frame and the chip, resulting in a problem of lowering the adhesion. The addition of the fatty acid and / or its derivative does not adversely affect the reliability of the entire epoxy resin composition, and is therefore preferable.

【0024】上記脂肪酸および/またはその誘導体とし
ては、炭素数が28以下のものであれば特に限定はされ
ないが、たとえば、ステアリン酸、パルミチン酸、オレ
イン酸およびそれらのアマイド誘導体等が挙げられ、1
種のみまたは2種以上使用できる。エポキシ樹脂組成物
による樹脂封止は金型を用いて行うのが、普通であり、
脱型を容易にするために、本発明にかかるエポキシ樹脂
組成物でも離型剤を配合しておくことが好ましい。離型
剤としては、例えば、天然カルナバ系、高級脂肪酸、ポ
リエチレン系ワックスなどを用いることができ、1種の
み用いても2種以上併用してもよい。具体的には、カル
ナバワックス、ステアリン酸、ステアリン酸誘導体、モ
ンタン酸、モンタン酸誘導体、カルボキシル基含有ポリ
オレフイン等が好ましく用いられる。これらは1種のみ
使用されるほか、2種以上が併用されることもある。離
型剤の配合割合は組成物全体の0.05〜1.5重量%
であることが好ましい。
The fatty acid and / or derivative thereof is not particularly limited as long as it has 28 or less carbon atoms. Examples thereof include stearic acid, palmitic acid, oleic acid and amide derivatives thereof.
Only one species or two or more species can be used. Resin sealing with an epoxy resin composition is usually performed using a mold,
In order to facilitate release from the mold, it is preferable that a release agent is added to the epoxy resin composition according to the present invention. As the release agent, for example, natural carnauba-based, higher fatty acid, polyethylene-based wax and the like can be used, and one type may be used alone or two or more types may be used in combination. Specifically, carnauba wax, stearic acid, stearic acid derivatives, montanic acid, montanic acid derivatives, carboxyl group-containing polyolefin and the like are preferably used. These may be used alone or in combination of two or more. The mixing ratio of the release agent is 0.05 to 1.5% by weight of the whole composition.
It is preferred that

【0025】本発明にかかる封止用エポキシ樹脂組成物
には、必要に応じて、着色剤、低応力化剤、難燃剤、カ
ップリング剤等が適宜量添加されていてもよい。着色剤
としては、例えばカーボンブラック、酸化チタン等の顔
料や、ジアゾ系化合物等の染料等が挙げられる。低応力
化剤としては、例えば、シリコーンゲル、シリコーンゴ
ム、シリコーンオイル等が挙げられる。難燃剤として
は、例えば、三酸化アンチモン、ハロゲン化合物、リン
化合物等が挙げられる。カップリング剤としては、例え
ば、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ
−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等のシランカ
ップリング剤等が挙げられる。前記着色剤、低応力化
剤、難燃剤、カップリング剤等はそれぞれ2種類以上を
併用することもできる。
The epoxy resin composition for sealing according to the present invention may optionally contain a coloring agent, a low-stressing agent, a flame retardant, a coupling agent and the like in an appropriate amount. Examples of the coloring agent include pigments such as carbon black and titanium oxide, and dyes such as diazo compounds. Examples of the low stress agent include silicone gel, silicone rubber, silicone oil and the like. Examples of the flame retardant include antimony trioxide, a halogen compound, a phosphorus compound and the like. Examples of the coupling agent include γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ
And silane coupling agents such as mercaptopropyltrimethoxysilane. The colorant, the stress reducing agent, the flame retardant, the coupling agent and the like may be used in combination of two or more.

【0026】本発明のエポキシ樹脂組成物は、前述した
各成分をミキサー、ブレンダー等によって均一に混合し
たのち、ロール、ニーダー等によって混練することで製
造することができる。成分の配合順序は特に制限はな
い。本発明のエポキシ樹脂組成物は、より具体的には、
例えば、エポキシ樹脂、硬化剤、硬化促進剤、充填材、
さらには必要に応じてその他の配合成分を溶解混合又は
溶融混合した後、3本ロール等で溶融混練し、この混練
物を冷却・固化した後、粉砕し、必要ならタブレット状
に打錠することにより製造することができる。性状が室
温で液状の場合は、溶解混合又は溶融混練までで製造す
ることができる。 (半導体装置の封止)このようにして得られたエポキシ
樹脂組成物は、金型を用い、固形の場合はタブレットを
トランスファー成形することにより、また、液状の場合
はキャスティングやポッティング、印刷等の方式で注
型、硬化させることにより、光半導体装置等の半導体装
置のリードフレームや積層板等に搭載した半導体素子を
封止することができる。
The epoxy resin composition of the present invention can be produced by uniformly mixing the above-mentioned components with a mixer, a blender or the like, and then kneading with a roll, a kneader or the like. The order of compounding the components is not particularly limited. The epoxy resin composition of the present invention, more specifically,
For example, epoxy resin, curing agent, curing accelerator, filler,
Furthermore, if necessary, other components are dissolved and mixed or melt-mixed, then melt-kneaded with three rolls or the like, and the kneaded product is cooled and solidified, pulverized, and tableted if necessary. Can be manufactured. When the property is liquid at room temperature, it can be produced by dissolution mixing or melt kneading. (Encapsulation of a semiconductor device) The epoxy resin composition thus obtained is prepared by transfer molding a tablet in the case of a solid using a mold, and casting, potting, printing in the case of a liquid. By casting and curing by the method, a semiconductor element mounted on a lead frame or a laminate of a semiconductor device such as an optical semiconductor device can be sealed.

【0027】上記リードフレームとしては、電気伝導性
および熱伝導性(より高機能の素子および大型素子は発
熱量がより多い)の点で銅や銅合金製のリードフレーム
が、また、熱膨張率の点で42アロイ合金製のリードフ
レームが一般に使用される。これらのリードフレーム
は、金線等のボンディングワイヤーとの接着性が低いた
め、リードフレームのボンディングワイヤーと接続しよ
うとする部分にあらかじめ銀メッキや金メッキを行った
後、ボンディングワイヤーと接続し、接続の信頼性を改
良するようにしている。銅系のリードフレームではニッ
ケルや銀、金のメッキ処理を行うことが多い。
As the above-mentioned lead frame, a lead frame made of copper or a copper alloy in terms of electrical conductivity and thermal conductivity (higher function elements and large elements generate more heat). In this respect, a lead frame made of a 42 alloy alloy is generally used. Since these lead frames have low adhesion to bonding wires such as gold wires, the parts of the lead frame to be connected to the bonding wires are pre-plated with silver or gold, and then connected to the bonding wires. We try to improve reliability. Copper-based lead frames are often plated with nickel, silver, or gold.

【0028】なお、前記銅製リードフレームとは、純粋
な銅を用いたものばかりでなく、194合金、EFTE
C64T等の銅合金材質のものも含まれる。リードフレ
ームの材質は、上記のものに限らない。たとえば、Cu
合金をNiおよびPdで順にメッキしてなるフレーム、
Cu合金をNi、PdおよびAuで順にメッキしてなる
フレーム(これらは「s−Pdメッキフレーム」とも呼
ばれる)等も使用可能である。
The above-mentioned copper lead frame is not limited to one using pure copper, but also 194 alloy, EFTE
Copper alloy materials such as C64T are also included. The material of the lead frame is not limited to the above. For example, Cu
A frame formed by plating the alloy with Ni and Pd in order,
A frame formed by sequentially plating a Cu alloy with Ni, Pd, and Au (these are also referred to as “s-Pd plated frames”) can be used.

【0029】本発明の封止用エポキシ樹脂組成物は、4
2合金製のリードフレームに対しても、エポキシ樹脂お
よび硬化剤として用いられるジシクロペンタジエン型樹
脂本来の高密着性および充填材の高充填化等により、良
好な密着性を有する。他方、Cu合金フレームと上記s
−Pdメッキフレームについては、従来の封止用エポキ
シ樹脂組成物では密着性の低下が著しかったが、本発明
の封止用エポキシ樹脂組成物を用いると、それに含まれ
るジシクロペンタジエン型樹脂固有の金属に対する高密
着力および充填材の高充填化等により、これらのフレー
ムに対しても密着性の低下を抑制できる。すなわち、本
発明の封止用エポキシ樹脂組成物は、特に、Cu合金フ
レームまたは上記s−Pdメッキフレームを使用した半
導体装置の封止に適用した場合に、従来の封止用エポキ
シ樹脂組成物と比べて顕著な密着性向上効果を示す。
The epoxy resin composition for encapsulation of the present invention comprises 4
Even with a lead frame made of two alloys, it has good adhesion due to the inherent high adhesion of dicyclopentadiene type resin used as an epoxy resin and a hardening agent, and high filling of a filler. On the other hand, a Cu alloy frame and the above s
Regarding -Pd plating frame, the conventional epoxy resin composition for encapsulation had a remarkable decrease in adhesion, but when the epoxy resin composition for encapsulation of the present invention was used, the inherent dicyclopentadiene-type resin contained therein was used. Due to the high adhesion to the metal and the high filling of the filler, a decrease in the adhesion to these frames can be suppressed. That is, the epoxy resin composition for sealing of the present invention, particularly when applied to the sealing of a semiconductor device using a Cu alloy frame or the s-Pd plating frame, the conventional epoxy resin composition for sealing. A remarkable effect of improving adhesion is exhibited.

【0030】[0030]

【実施例】以下、実施例及び比較例によって本発明を詳
細に説明する。なお、本発明は下記実施例に限定されな
い。 <実施例1〜11および比較例1〜5>表1〜3に示す
配合(配合量の単位は重量基準)でエポキシ樹脂組成物
を製造し、半導体装置の封止を行った。表中、各成分の
詳細は下記の通り。
The present invention will be described in detail below with reference to examples and comparative examples. In addition, this invention is not limited to a following example. <Examples 1 to 11 and Comparative Examples 1 to 5> Epoxy resin compositions were manufactured according to the formulations shown in Tables 1 to 3 (the amount of the blending is based on weight), and the semiconductor device was sealed. In the table, details of each component are as follows.

【0031】充填材S1:非晶質シリカ((株)トクヤ
マ製、真比重2.2、平均粒径40μm、比表面積0.
5m2 /g)。 充填材S2:非晶質シリカ粉((株)トクヤマ製、真比
重2.2、平均粒径8μm、比表面積1.5m2
g)。 充填材S3:非晶質シリカ粉((株)トクヤマ製、真比
重2.2、平均粒径0.3μm、比表面積15m2
g)。
Filler S1: Amorphous silica (manufactured by Tokuyama Corporation, true specific gravity 2.2, average particle size 40 μm, specific surface area 0.
5 m 2 / g). Filler S2: amorphous silica powder (manufactured by Tokuyama Corporation, true specific gravity 2.2, average particle size 8 μm, specific surface area 1.5 m 2 /
g). Filler S3: amorphous silica powder (manufactured by Tokuyama Corporation, true specific gravity 2.2, average particle diameter 0.3 μm, specific surface area 15 m 2 /
g).

【0032】カップリング剤:エポキシシラン系カップ
リング剤(日本ユニカー(株)製、品番A−187)。 エポキシ樹脂A:2官能ビフェニル型エポキシ樹脂(油
化シェルエポキシ(株)製、エポキシ当量195、15
0℃での溶融粘度0.1ポイズ、品番YX4000
H)。
Coupling agent: Epoxysilane-based coupling agent (manufactured by Nippon Unicar Co., Ltd., product number A-187). Epoxy resin A: bifunctional biphenyl type epoxy resin (manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd., epoxy equivalent 195, 15)
0.1 poise melt viscosity at 0 ° C, part number YX4000
H).

【0033】エポキシ樹脂B:前記化学式(A)のジシ
クロペンタジエン型エポキシ樹脂(大日本インキ化学
(株)製、エポキシ当量264、150℃での溶融粘度
0.7ポイズ、品番HP7200)。 エポキシ樹脂C:前記化学式(A)のジシクロペンタジ
エン型エポキシ樹脂(大日本インキ化学(株)製、エポ
キシ当量260、150℃での溶融粘度0.3ポイズ、
品番EXA7200L)。
Epoxy resin B: a dicyclopentadiene type epoxy resin represented by the above formula (A) (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc., epoxy equivalent: 264, melt viscosity at 150 ° C .: 0.7 poise, product number HP7200). Epoxy resin C: dicyclopentadiene type epoxy resin of the above formula (A) (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc., epoxy equivalent: 260, melt viscosity at 150 ° C .: 0.3 poise,
Part number EXA7200L).

【0034】エポキシ樹脂D:ブロム化エポキシ樹脂
(住友化学(株)製、エポキシ当量400、品番ESB
400T)。 硬化剤A:フェノールアラルキル型硬化剤(三井東圧
(株)製、水酸基当量175、150℃での溶融粘度2
ポイズ、品番XL225−3L)。 硬化剤B:前記化学式(B)のジシクロペンタジエン型
フェノール樹脂(日本石油化学(株)製、水酸基当量1
70、150℃での溶融粘度2ポイズ、品番DPP−
M)。
Epoxy resin D: brominated epoxy resin (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., epoxy equivalent 400, product number ESB)
400T). Curing agent A: Phenol aralkyl type curing agent (manufactured by Mitsui Toatsu Co., Ltd., hydroxyl equivalent 175, melt viscosity at 150 ° C. 2)
Poise, part number XL225-3L). Curing agent B: dicyclopentadiene-type phenol resin of the above formula (B) (manufactured by Nippon Petrochemical Co., Ltd., hydroxyl equivalent: 1)
70, 2 poise melt viscosity at 150 ° C, part number DPP-
M).

【0035】硬化剤C:前記化学式(B)のジシクロペ
ンタジエン型フェノール樹脂(日本石油化学(株)製、
水酸基当量168、150℃での溶融粘度1.4ポイ
ズ、品番DPP−L)。 硬化剤D:フェノールノボラック型硬化剤(群栄化学
(株)製、水酸基当量105、150℃での溶融粘度2
ポイズ、品番PSM6200)。
Curing agent C: dicyclopentadiene type phenol resin of the above formula (B) (manufactured by Nippon Petrochemical Co., Ltd.)
(Hydroxyl equivalent 168, melt viscosity at 150 ° C. 1.4 poise, product number DPP-L). Curing agent D: phenol novolak type curing agent (manufactured by Gunei Chemical Co., Ltd., hydroxyl equivalent 105, melt viscosity at 150 ° C. 2)
Poise, part number PSM6200).

【0036】硬化促進剤A:トリフェニルホスフィン
(北興化学(株)製、TPP)。 硬化促進剤B:2−フェニルイミダゾール(四国化成工
業(株)製、2PZ)。 難燃剤:三酸化二アンチモン(三菱マテリアル(株)
製、品番Sb203−NT)。
Curing accelerator A: Triphenylphosphine (TPP, manufactured by Hokuko Chemical Co., Ltd.). Curing accelerator B: 2-phenylimidazole (2PZ, manufactured by Shikoku Chemical Industry Co., Ltd.). Flame retardant: diantimony trioxide (Mitsubishi Materials Corporation)
Manufactured by Sb203-NT).

【0037】離型剤:天然カルナバワックス。 顔料:カーボンブラック(三菱マテリアル(株)製、品
番750−B)。 脂肪酸:ステアリン酸(日本油脂(株)製、品番NAA
−174)。 なお、充填材の正味体積百分率φは、以下のようにして
求めた。 (充填材の正味体積百分率φの算出方法):充填材を圧
縮圧力100MPaで単軸加圧することにより円筒状の
成形体を得、得られた成形体を解砕して圧縮成形後の充
填材の平均粒径を測定した結果、成形前の充填材の平均
粒径と同じであった。それゆえ、圧縮圧力100MPa
では圧縮成形による充填材粒子の破壊は生じていないと
言える。したがって、この圧縮圧力での成形体における
混合充填材粉末の正味の圧縮体積百分率φは、成形体の
直径と厚みから算出される成形体の見かけ体積Vと重量
Wおよび充填材の真比重dから、下式で算出した。
Release agent: natural carnauba wax. Pigment: carbon black (manufactured by Mitsubishi Materials Corporation, product number 750-B). Fatty acid: Stearic acid (Nippon Oil & Fats Co., Ltd., product number NAA
-174). The net volume percentage φ of the filler was determined as follows. (Calculation method of net volume percentage φ of filler): A cylindrical molded body is obtained by uniaxially pressing the filler at a compression pressure of 100 MPa, and the obtained molded body is crushed to obtain a filler after compression molding. As a result of measuring the average particle size, the average particle size was the same as the average particle size of the filler before molding. Therefore, the compression pressure is 100 MPa
Thus, it can be said that the filler particles are not broken by compression molding. Accordingly, the net compression volume percentage φ of the mixed filler powder in the compact at this compression pressure is calculated from the apparent volume V and weight W of the compact, which is calculated from the diameter and thickness of the compact, and the true specific gravity d of the filler. Was calculated by the following equation.

【0038】充填材の圧縮成形体積百分率φ(%)=W
/(d・V)×100 エポキシ樹脂組成物の製造条件は以下のとおりであっ
た。 (エポキシ樹脂組成物の製造条件):各成分をミキサ
ー、ブレンダー等によって30分間均一に混合した後、
ロール、ニーダー等によって温度85℃で処理し、次い
で冷却固化した。その後、粉砕機で所定粒度に粉砕する
ことにより、粒状封止材料を得た。
Compression molding volume percentage of filler φ (%) = W
/ (D · V) × 100 The manufacturing conditions of the epoxy resin composition were as follows. (Production conditions of epoxy resin composition): After uniformly mixing each component for 30 minutes using a mixer, a blender, or the like,
It was treated at a temperature of 85 ° C. by a roll, a kneader or the like, and then cooled and solidified. Then, it was pulverized to a predetermined particle size by a pulverizer to obtain a granular sealing material.

【0039】得られた各エポキシ樹脂組成物およびその
成形品について、以下の方法で特性評価試験を行った。 (ゲルタイム):(株)オリエンテック製キュラストメ
ーターV型を用い、175℃で測定した。 (スパイラルフロー):EMMI規格に準じたスパイラ
ルフロー専用金型を使用し、金型温度170℃でのトラ
ンスファー成形時の試料の流れ長さを測定した。 (成形性):成形性の評価は、成形したパッケージ内に
生じるボイドの多少を求めることにより行った。性能評
価用パッケージは、口径28mm、厚さ3.2mmの1
60QFP用の金型を用い、金型温度175±5℃、注
入時間(スピード)10秒、加圧(キュアー)時間90
秒、注入圧力70kg/cm2 の成形条件で材料をトラ
ンスファー成形し、得られた成形品を175℃で6時間
アフターキュアーすることにより作製した。パッケージ
内部ボイドは、QFPパッケージの表裏両面を超音波探
査装置M−700II((株)キャノン製)で観察して得
たチャート中で直径0.2mm以上のボイド像の数を数
えた。また、表面ピンホールおよび未充填については、
実体顕微鏡での観察により、直径0.1mm以上のもの
を不良とした。 (耐湿リフロー性):42合金リードフレーム、Cu合
金リードフレーム、および、Cu合金の上にNi、P
d、Auを順にメッキしてなるs−Pdメッキリードフ
レームの各々(いずれもシリコンチップを搭載)に、口
径28mm、厚さ3.2mmの160QFP用の金型を
用いてトランスファー成形した。成形条件は、金型温度
175±5℃、注入時間(スピード)10秒、加圧(キ
ュアー)時間90秒、注入圧力70kg/cm2 であ
る。得られた成形品を175℃で6時間アフターキュア
ーすることにより、性能評価用パッケージを4つ得た。
これらのパッケージを85℃、85%RHの雰囲気下に
168時間放置して吸湿させた後、260℃の半田浴に
10秒間浸し、エポキシ樹脂組成物の成形体とチップ、
フレーム、ダイパッドとの剥離を生じたパッケージ数、
さらには、エポキシ樹脂組成物の成形体にクラックを生
じたパッケージ数を数えて評価した。
Each of the obtained epoxy resin compositions and molded articles thereof was subjected to a property evaluation test by the following method. (Gel time): Measured at 175 ° C. using a Curastometer V type manufactured by Orientec. (Spiral flow): The flow length of the sample during transfer molding at a mold temperature of 170 ° C. was measured using a mold dedicated to spiral flow in accordance with the EMMI standard. (Moldability): The moldability was evaluated by determining the amount of voids generated in the molded package. The package for performance evaluation has a diameter of 28 mm and a thickness of 3.2 mm.
Using a mold for 60QFP, mold temperature 175 ± 5 ° C, injection time (speed) 10 seconds, pressurization (curing) time 90
The material was subjected to transfer molding under molding conditions of injection pressure of 70 kg / cm 2 for 2 seconds, and the obtained molded article was subjected to after-curing at 175 ° C. for 6 hours to produce a molded article. Regarding the voids inside the package, the number of void images having a diameter of 0.2 mm or more was counted in a chart obtained by observing the front and back surfaces of the QFP package with an ultrasonic probe M-700II (manufactured by Canon Inc.). For surface pinholes and unfilled,
Observation with a stereomicroscope indicated that the sample had a diameter of 0.1 mm or more. (Moisture reflow resistance): Ni, P on 42 alloy lead frame, Cu alloy lead frame, and Cu alloy
Transfer molding was performed on each of the s-Pd-plated lead frames obtained by plating d and Au in this order (all mounted with silicon chips) using a 160 QFP mold having a diameter of 28 mm and a thickness of 3.2 mm. The molding conditions are a mold temperature of 175 ± 5 ° C., an injection time (speed) of 10 seconds, a pressurization (curing) time of 90 seconds, and an injection pressure of 70 kg / cm 2 . The obtained molded article was after-cured at 175 ° C. for 6 hours, thereby obtaining four packages for performance evaluation.
After leaving these packages in an atmosphere of 85 ° C. and 85% RH for 168 hours to absorb moisture, the packages are immersed in a solder bath at 260 ° C. for 10 seconds, and a molded article of the epoxy resin composition, a chip,
The number of packages that have been separated from the frame and die pad,
Further, the number of packages in which cracks occurred in the molded body of the epoxy resin composition was counted and evaluated.

【0040】結果を表1〜3に示す。The results are shown in Tables 1 to 3.

【0041】[0041]

【表1】 [Table 1]

【0042】[0042]

【表2】 [Table 2]

【0043】[0043]

【表3】 [Table 3]

【0044】[0044]

【発明の効果】本発明の封止用エポキシ樹脂組成物は、
エポキシ樹脂および硬化剤として、低吸湿性かつ高密着
性のジシクロペンタジエン環を有する前記特定の樹脂を
含むとともに、充填材が前記特定の割合で高充填されて
いて該組成物の吸湿率が低減されるため、耐吸湿半田ク
ラック性に優れ、吸湿リフロー後のパッケージクラック
および剥離を生じにくく、耐湿信頼性が高い。
The sealing epoxy resin composition of the present invention comprises:
As the epoxy resin and the curing agent, the specific resin having a dicyclopentadiene ring having low hygroscopicity and high adhesion is included, and the filler is highly filled at the specific ratio, thereby reducing the moisture absorption of the composition. Therefore, it is excellent in moisture absorption solder crack resistance, hardly causes package cracking and peeling after moisture absorption reflow, and has high moisture resistance reliability.

【0045】本発明の半導体装置は、半導体素子を上記
本発明の封止用エポキシ樹脂組成物で封止してなるもの
であるため、耐吸湿半田クラック性に優れ、吸湿リフロ
ー後のパッケージクラックおよび剥離を生じにくく、耐
湿信頼性が高い。
Since the semiconductor device of the present invention is obtained by sealing a semiconductor element with the epoxy resin composition for sealing of the present invention, the semiconductor device has excellent resistance to moisture-absorbing solder cracks, package cracks after moisture-absorbing reflow, and It does not easily peel off and has high moisture resistance reliability.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI C08K 5/09 C08K 5/09 H01L 23/29 H01L 23/50 D 23/31 23/30 R 23/50 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI C08K 5/09 C08K 5/09 H01L 23/29 H01L 23/50 D 23/31 23/30 R 23/50

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】エポキシ樹脂と硬化剤と硬化促進剤と充填
材とを必須成分とする封止用エポキシ樹脂組成物におい
て、前記エポキシ樹脂として下記化学式(A)で示され
るジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂を少なくとも含
有し、前記硬化剤として下記化学式(B)で示されるジ
シクロペンタジエン型フェノール樹脂を少なくとも含有
し、前記充填材の配合量が、真比重換算で、エポキシ樹
脂組成物全体に対し、84〜93重量%の割合であるこ
とを特徴とする、封止用エポキシ樹脂組成物。 【化1】 (式(A)中、nは0〜6の整数;式(B)中、1≦l
+n≦40、1≦m≦15、1≦k≦10、R=H、C
3 またはOH。)
1. A sealing epoxy resin composition comprising an epoxy resin, a curing agent, a curing accelerator and a filler as essential components, wherein the epoxy resin is a dicyclopentadiene type epoxy resin represented by the following chemical formula (A): And at least a dicyclopentadiene-type phenolic resin represented by the following chemical formula (B) as the curing agent, and the compounding amount of the filler is 84% based on the total epoxy resin composition in terms of true specific gravity. An epoxy resin composition for encapsulation, characterized in that the proportion is up to 93% by weight. Embedded image (In the formula (A), n is an integer of 0 to 6; in the formula (B), 1 ≦ l
+ N ≦ 40, 1 ≦ m ≦ 15, 1 ≦ k ≦ 10, R = H, C
H 3 or OH. )
【請求項2】前記ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂
は、エポキシ樹脂組成物中の全エポキシ樹脂に対し、4
0〜100重量%の割合で含有されており、前記ジシク
ロペンタジエン型フェノール樹脂は、エポキシ樹脂組成
物中の全硬化剤に対し、40〜100重量%の割合で含
有されている、請求項1に記載の封止用エポキシ樹脂組
成物。
2. The dicyclopentadiene type epoxy resin is used in an amount of 4% with respect to all epoxy resins in the epoxy resin composition.
2. The dicyclopentadiene-type phenol resin is contained in a proportion of 0 to 100% by weight, and the dicyclopentadiene-type phenol resin is contained in a proportion of 40 to 100% by weight based on all curing agents in the epoxy resin composition. The epoxy resin composition for sealing according to the above.
【請求項3】圧縮成形前の前記充填材の平均粒径が圧縮
成形後も保持される圧力で前記充填材を圧縮成形して得
られる成形体の見かけ体積に占める前記充填材の正味体
積百分率φが83%以上である、請求項1または2に記
載の封止用エポキシ樹脂組成物。
3. A net volume percentage of the filler in the apparent volume of a molded product obtained by compression-molding the filler at a pressure at which the average particle diameter of the filler before compression molding is maintained after compression molding. The epoxy resin composition for sealing according to claim 1 or 2, wherein φ is 83% or more.
【請求項4】前記エポキシ樹脂と前記硬化剤からなる樹
脂成分の150℃における粘度が1ポイズ以下である、
請求項1から3までのいずれかに記載の封止用エポキシ
樹脂組成物。
4. A resin component composed of the epoxy resin and the curing agent has a viscosity at 150 ° C. of 1 poise or less.
The epoxy resin composition for sealing according to any one of claims 1 to 3.
【請求項5】前記硬化促進剤は、3級アミン化合物およ
びイミダゾール系化合物からなる群の中から選ばれた少
なくとも1種を含む、請求項1から4までのいずれかに
記載の封止用エポキシ樹脂組成物。
5. The sealing epoxy according to claim 1, wherein the curing accelerator contains at least one selected from the group consisting of a tertiary amine compound and an imidazole compound. Resin composition.
【請求項6】炭素数が28以下である脂肪酸および/ま
たはその誘導体を、エポキシ樹脂組成物全体に対し、
0.05〜2重量%の割合でさらに含む、請求項1から
5までのいずれかに記載の封止用エポキシ樹脂組成物。
6. A method according to claim 1, wherein a fatty acid having 28 or less carbon atoms and / or a derivative thereof is added to the entire epoxy resin composition.
The epoxy resin composition for sealing according to any one of claims 1 to 5, further comprising 0.05 to 2% by weight.
【請求項7】半導体素子を請求項1から6までのいずれ
かに記載の封止用エポキシ樹脂組成物で封止してなる半
導体装置。
7. A semiconductor device in which a semiconductor element is sealed with the epoxy resin composition for sealing according to any one of claims 1 to 6.
【請求項8】前記半導体素子はリードフレームに搭載さ
れていて、前記リードフレームは、Cu合金フレーム
と、Cu合金をNiおよびPdで順にメッキしてなるフ
レームと、Cu合金をNi、PdおよびAuで順にメッ
キしてなるフレームとからなる群の中から選ばれてい
る、請求項7に記載の半導体装置。
8. The semiconductor device is mounted on a lead frame. The lead frame includes a Cu alloy frame, a frame formed by plating a Cu alloy with Ni and Pd in order, and a Cu alloy formed of Ni, Pd and Au. 8. The semiconductor device according to claim 7, wherein the semiconductor device is selected from the group consisting of a frame formed by plating in order.
JP10040779A 1998-02-23 1998-02-23 Epoxy resin composition for sealing and semiconductor device Pending JPH11236490A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10040779A JPH11236490A (en) 1998-02-23 1998-02-23 Epoxy resin composition for sealing and semiconductor device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10040779A JPH11236490A (en) 1998-02-23 1998-02-23 Epoxy resin composition for sealing and semiconductor device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11236490A true JPH11236490A (en) 1999-08-31

Family

ID=12590124

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10040779A Pending JPH11236490A (en) 1998-02-23 1998-02-23 Epoxy resin composition for sealing and semiconductor device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11236490A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001234033A (en) * 2000-02-24 2001-08-28 Sumitomo Bakelite Co Ltd Epoxy resin composition for optical semiconductor sealing use and optical semiconductor device
JP2002241585A (en) * 2001-02-19 2002-08-28 Sumitomo Bakelite Co Ltd Epoxy resin composition and semiconductor device
JP2009029926A (en) * 2007-07-26 2009-02-12 Panasonic Electric Works Co Ltd Resin composition for sealing photo-semiconductor, and photo-semiconductor device
KR20190052362A (en) * 2017-11-08 2019-05-16 주식회사 케이씨씨 Epoxy resin composition
JP2021535941A (en) * 2018-08-31 2021-12-23 ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー Epoxy composite formulation

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001234033A (en) * 2000-02-24 2001-08-28 Sumitomo Bakelite Co Ltd Epoxy resin composition for optical semiconductor sealing use and optical semiconductor device
JP4543477B2 (en) * 2000-02-24 2010-09-15 住友ベークライト株式会社 Epoxy resin composition for optical semiconductor encapsulation and optical semiconductor device
JP2002241585A (en) * 2001-02-19 2002-08-28 Sumitomo Bakelite Co Ltd Epoxy resin composition and semiconductor device
JP2009029926A (en) * 2007-07-26 2009-02-12 Panasonic Electric Works Co Ltd Resin composition for sealing photo-semiconductor, and photo-semiconductor device
KR20190052362A (en) * 2017-11-08 2019-05-16 주식회사 케이씨씨 Epoxy resin composition
JP2021535941A (en) * 2018-08-31 2021-12-23 ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー Epoxy composite formulation
CN112654656B (en) * 2018-08-31 2024-02-27 陶氏环球技术有限责任公司 Epoxy composite formula

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI527854B (en) Epoxy resin composition and semiconductor device
JP2591392B2 (en) Thermosetting resin composition and semiconductor device
JP3377408B2 (en) Resin composition for sealing and semiconductor device
JP2768088B2 (en) Thermosetting resin composition and semiconductor device
JPH11236490A (en) Epoxy resin composition for sealing and semiconductor device
JP4310668B2 (en) Epoxy resin composition and electronic component device
JP4172065B2 (en) Epoxy resin composition and electronic component device
JP3370271B2 (en) Epoxy resin composition for encapsulation and semiconductor device
JP2004352894A (en) Epoxy resin composition and semiconductor device
JP2001151861A (en) Epoxy resin composition and semiconductor device
JPH07118366A (en) Epoxy resin composition
JP4032514B2 (en) Epoxy resin composition and electronic component device
JP2001270932A (en) Epoxy resin composition and semiconductor device
JP3758395B2 (en) Epoxy resin composition for sealing and semiconductor device
JP5442929B2 (en) Epoxy resin composition for sealing and semiconductor device using the same
JP3449242B2 (en) Epoxy resin composition and semiconductor device
JP2000186183A (en) Epoxy resin composition for sealing and semiconductor device
JP5055778B2 (en) Epoxy resin composition, epoxy resin molding material and semiconductor device
JPH0625385A (en) Epoxy resin composition and semiconductor device
JP3377911B2 (en) Epoxy resin composition
JP3533976B2 (en) Epoxy resin composition for semiconductor encapsulation and semiconductor device
JPH11147998A (en) Epoxy resin composition and semiconductor device
JP2658750B2 (en) Thermosetting resin composition and semiconductor device
JP3463615B2 (en) Epoxy resin composition for semiconductor encapsulation and semiconductor device using the same
JPH06326220A (en) Resin-sealed semiconductor device

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20051011

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20051018

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20060228