JPH1123539A - Ultrasonic flaw detection device and ultrasonic flaw detection method - Google Patents

Ultrasonic flaw detection device and ultrasonic flaw detection method

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JPH1123539A
JPH1123539A JP9182450A JP18245097A JPH1123539A JP H1123539 A JPH1123539 A JP H1123539A JP 9182450 A JP9182450 A JP 9182450A JP 18245097 A JP18245097 A JP 18245097A JP H1123539 A JPH1123539 A JP H1123539A
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probe
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inspection
ultrasonic
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Shinji Naka
慎司 仲
Iwao Takeuchi
五輪男 竹内
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Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To shorten the inspection time and to reduce the recording data by carrying out precise inspection only to the part having a flaw. SOLUTION: A ultrasonic flaw detection device is made up of pulse receivers 22, 9 that carry out the transmission and receiving of ultrasonic waves with an angle beam probe 31 and a vertical probe 32, a gate circuit 23 that outputs the gate signal on the basis of the received output waveform of the pulse receiver 22, a mode changeover judging part 24 that judges the presence of a flaw on the basis of the gate signal and outputs the changeover signal for changing over the measuring mode, and an A/D converter 10 for carrying out the A/D conversion of the output signal of the pulse receiver 9 on the basis of waveform fetched signal, a position supervising part 11 that detects the positional signal of a scanning jig 7 to output the scanning speed changing signal to the scanning jig 7 on the basis of this positional signal and mode changeover signal and also that outputs the waveform fetched signal to the A/D converter 10, and a recording part 3 that records the output signal of the vertical probe 32 in synchronism with the fetched signal.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、各種プラントの配
管や容器等の傷を非破壊で検査する超音波探傷装置及び
超音波探傷方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic flaw detector and a method for non-destructively inspecting flaws in piping and containers of various plants.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、各種プラント等の配管や容器とい
った構造物の内部に超音波を伝播させることにより非破
壊で探傷検査を行う超音波探傷装置が広く用いられてい
る。従来の超音波探傷装置の全体構成を図4に示す。通
常は、一定の走査速度で超音波プローブを動かし、予め
設定した範囲について決められた計測ピッチで探傷波形
信号の記録を行いながら検査を行っていく。精密な超音
波探傷を行う場合、垂直探触子を用いて細かい走査ピッ
チで探傷を行い、受信信号を記録し、その記録した受信
波形より傷の寸法等の評価を行う。以下、その構成及び
動作を説明する。
2. Description of the Related Art Conventionally, an ultrasonic flaw detector which performs nondestructive flaw detection by transmitting ultrasonic waves inside structures such as pipes and vessels of various plants and the like has been widely used. FIG. 4 shows the overall configuration of a conventional ultrasonic flaw detector. Normally, an inspection is performed while moving an ultrasonic probe at a constant scanning speed and recording a flaw detection waveform signal at a measurement pitch determined in a preset range. When performing precise ultrasonic flaw detection, flaw detection is performed at a fine scanning pitch using a vertical probe, a received signal is recorded, and the size of the flaw is evaluated from the recorded received waveform. Hereinafter, the configuration and operation will be described.

【0003】まず、条件入力部1に超音波探傷に当たり
必要な条件、例えば2軸走査治具7の駆動条件、位置監
視部11の監視条件、A/D変換器10の変換条件、走
査範囲等を入力する。この入力された探傷条件を表す信
号は制御部4に出力される。制御部4は、入力された探
傷条件を示す信号に基づいて、走査治具制御部5,位置
監視部11,A/D変換器10に各機器の制御信号を送
る。走査治具制御部5は、入力された制御信号に基づい
て走査治具駆動部6を制御する。
[0003] First, conditions necessary for ultrasonic flaw detection in the condition input unit 1, such as driving conditions of the biaxial scanning jig 7, monitoring conditions of the position monitoring unit 11, conversion conditions of the A / D converter 10, scanning range, etc. Enter The input signal indicating the flaw detection condition is output to the control unit 4. The control unit 4 sends a control signal of each device to the scanning jig control unit 5, the position monitoring unit 11, and the A / D converter 10 based on the input signal indicating the flaw detection condition. The scanning jig controller 5 controls the scanning jig driver 6 based on the input control signal.

【0004】走査治具駆動部6は与えられた条件に従っ
て一定の走査ピッチでプローブ8の取り付けられた2軸
走査治具7をX軸,Y軸方向に駆動する。従って、プロ
ーブ8は図示しない被検体表面上を2軸走査治具7の駆
動に伴いX軸,Y軸方向に動く。
A scanning jig driving section 6 drives a biaxial scanning jig 7 on which a probe 8 is mounted in the X-axis and Y-axis directions at a constant scanning pitch according to given conditions. Accordingly, the probe 8 moves on the surface of the subject (not shown) in the X-axis and Y-axis directions as the biaxial scanning jig 7 is driven.

【0005】2軸走査治具7の動きを示す位置信号は、
走査治具駆動部6,走査治具制御部5を介して制御部
4,位置監視部11に出力される。この位置信号を受け
取った位置監視部11は位置信号を監視する。すなわ
ち、条件入力部1で設定され、制御部4を介して受け取
った位置監視条件に示された測定位置と位置信号の示す
2軸走査治具7の現在位置が一致する毎に、取込み信号
をA/D変換器10及び制御部4に出力する。
A position signal indicating the movement of the biaxial scanning jig 7 is
The signals are output to the control unit 4 and the position monitoring unit 11 via the scanning jig driving unit 6 and the scanning jig control unit 5. The position monitoring unit 11 that has received the position signal monitors the position signal. That is, every time the measurement position indicated by the position monitoring condition set by the condition input unit 1 and received via the control unit 4 matches the current position of the biaxial scanning jig 7 indicated by the position signal, the capture signal is output. Output to the A / D converter 10 and the control unit 4.

【0006】一方、プローブ8に電気的に接続されたパ
ルサ・レシーバ9は、プローブ8内の垂直探触子の超音
波の送受信を行う。すなわち、パルサ・レシーバ9の駆
動信号により、超音波プローブ8内の垂直探触子は励振
され、超音波を発生する。発生した超音波は図示しない
被検体中を伝播し、傷などの反射源で反射する。この反
射超音波は再び垂直探触子で受信され、電気信号に変換
されてパルサ・レシーバ9に出力される。パルサ・レシ
ーバ9は、励振したタイミングと同期したトリガと、受
け取った受信信号とをA/D変換器10に出力する。
On the other hand, a pulser / receiver 9 electrically connected to the probe 8 transmits and receives ultrasonic waves of a vertical probe in the probe 8. That is, the vertical probe in the ultrasonic probe 8 is excited by the drive signal of the pulser / receiver 9 to generate ultrasonic waves. The generated ultrasonic wave propagates through the subject (not shown) and is reflected by a reflection source such as a wound. This reflected ultrasonic wave is received again by the vertical probe, converted into an electric signal, and output to the pulser / receiver 9. The pulser / receiver 9 outputs a trigger synchronized with the excited timing and a received signal to the A / D converter 10.

【0007】A/D変換器10は、位置監視部11から
の取込み信号を受け取った後、パルサ・レシーバ9の最
初のトリガに同期してアナログの受信信号を取り込み、
デジタルデータに変換して制御部4に出力する。
After receiving the fetch signal from the position monitor 11, the A / D converter 10 fetches an analog receive signal in synchronization with the first trigger of the pulsar / receiver 9.
The data is converted into digital data and output to the control unit 4.

【0008】制御部4は、位置監視部11から受け取っ
た取込み信号に合わせて走査治具制御部5から位置信号
を、A/D変換器10からはデジタルデータに変換され
た受信信号を取り込み、記録部3に記録するとともに、
処理経過及び処理結果を表示部2に出力する。表示部2
はこの処理経過等を表示する。
The control unit 4 fetches a position signal from the scanning jig control unit 5 and a reception signal converted into digital data from the A / D converter 10 in accordance with the fetch signal received from the position monitoring unit 11. While recording in the recording unit 3,
The processing progress and the processing result are output to the display unit 2. Display 2
Indicates the progress of the processing.

【0009】以上説明した探傷動作を、条件入力部1に
て設定された走査範囲における検査が終了するまで繰り
返し行い、走査範囲の全計測点において超音波の受信信
号波形を記録する。
The above-described flaw detection operation is repeated until the inspection in the scanning range set by the condition input unit 1 is completed, and the received signal waveform of the ultrasonic wave is recorded at all the measurement points in the scanning range.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】上記従来の超音波探傷
装置において精密探傷を行い、超音波の受信波形を記録
する場合には、予め他の検査方法で検査記録範囲を定め
るための検査を行うか、傷の有無に関わらず最初に決め
た検査範囲全体を細かいピッチで検査を行い、受信波形
の記録を行う必要があった。
When precision flaw detection is performed in the above-described conventional ultrasonic flaw detection apparatus and a received ultrasonic waveform is recorded, an inspection is performed in advance to determine an inspection recording range by another inspection method. Alternatively, it is necessary to perform an inspection at a fine pitch over the entire inspection range initially determined irrespective of the presence or absence of a flaw, and record the received waveform.

【0011】予め他の検査方法で検査範囲を定めるため
の検査を行う場合、同じ場所を複数回検査する手間を要
する問題がある他、検査において別の走査治具を用いる
場合が多く、超音波プローブ位置決めの精度が各走査治
具の違い等でずれる場合があり、必要な検査範囲を検査
するため安全を見越して十分に広い範囲を検査する必要
があり、傷のない部分でも波形データを記録しなければ
ならない問題があった。
When performing an inspection to determine an inspection range by another inspection method in advance, there is a problem that it takes time to inspect the same place a plurality of times, and another scanning jig is often used in the inspection. The accuracy of probe positioning may shift due to differences in the scanning jigs, etc.It is necessary to inspect a sufficiently wide range in consideration of safety in order to inspect the required inspection range, and record waveform data even in areas without scratches There was a problem to do.

【0012】一方、最初に設定した検査範囲全体を精密
探傷で検査する場合には、1計測点につき一定時間の信
号の変化をデータとして取り込み・記録する必要がある
ことから、傷がなくても検査結果として膨大なデータ量
の波形データを記録しなければならない不具合があっ
た。
On the other hand, when the entire inspection range initially set is inspected by precision flaw detection, it is necessary to capture and record a change in signal for a certain time as data at one measurement point. There was a problem that an enormous amount of waveform data had to be recorded as an inspection result.

【0013】そして、これら波形データを記録するに
は、一定時間の計測時間およびデータの転送やアナログ
からデジタルへの変換及びデータの記録のための時間を
要するため、計測ピッチが細かいことも相まって、走査
治具による超音波プローブの移動速度を遅くして走査す
る必要があり、全体の検査時間が長くかかる等の問題が
あった。
In order to record these waveform data, a certain measuring time and a time for transferring data, converting from analog to digital, and recording data are required. It is necessary to perform scanning while reducing the moving speed of the ultrasonic probe by the scanning jig, so that there is a problem that the entire inspection time is long.

【0014】本発明は上記課題を解決するためになされ
たもので、その目的とするところは、傷のある部分のみ
精密な検査を行うことができ、検査時間の短縮及び記録
データの低減をはかり得る超音波探傷装置及び超音波探
傷方法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to perform a precise inspection only on a damaged portion, thereby shortening the inspection time and reducing recorded data. It is an object of the present invention to provide an ultrasonic inspection apparatus and an ultrasonic inspection method which can be obtained.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】本発明の超音波探傷装置
は、斜角探触子とこの斜角探触子の検査位置よりも走査
方向に向かって後方位置を検査する垂直探触子とを併せ
持つ複合プローブと、前記斜角探触子の超音波の送受信
を行う第1のパルサ・レシーバと、前記垂直探触子の超
音波の送受信を行う第2のパルサ・レシーバと、前記複
合プローブを走査速度の変更信号に基づいて斜角探触子
及び垂直探触子による各測定モードに対応した走査速度
で走査する走査治具と、前記走査治具の位置を監視し、
モード切替え信号に基づいて走査速度の変更信号及び波
形取込み信号を出力する位置監視部と、前記第1のパル
サ・レシーバの受信した第1の超音波探傷信号に基づい
て受信信号レベルを検出するゲート回路と、この検出さ
れた受信信号レベルに基づいて判定された傷の有無に応
じて測定モードを切り替えるモード切替え信号を出力す
るモード切替判定部と、前記第2のパルサ・レシーバの
受信した第2の超音波探傷信号を波形取込み信号に同期
してA/D変換するA/D変換器と、前記波形取込み信
号に同期してA/D変換された第2の超音波探傷信号を
記録する記録部とを具備してなることを特徴とする。
An ultrasonic flaw detector according to the present invention comprises an oblique probe and a vertical probe for inspecting a position behind the inspection position of the oblique probe in the scanning direction. And a first pulsar receiver for transmitting and receiving ultrasonic waves of the oblique probe, a second pulsar receiver for transmitting and receiving ultrasonic waves of the vertical probe, and the composite probe A scanning jig that scans at a scanning speed corresponding to each measurement mode by an oblique probe and a vertical probe based on a scan speed change signal, and monitors the position of the scanning jig,
A position monitoring unit that outputs a scan speed change signal and a waveform capture signal based on a mode switching signal, and a gate that detects a received signal level based on a first ultrasonic inspection signal received by the first pulser / receiver A circuit, a mode switching determination unit that outputs a mode switching signal that switches a measurement mode in accordance with the presence or absence of a flaw determined based on the detected reception signal level, and a second switching unit that receives the second pulser / receiver. An A / D converter for A / D converting the ultrasonic inspection signal of the first embodiment in synchronization with the waveform acquisition signal, and recording for recording the second ultrasonic inspection signal A / D converted in synchronization with the waveform acquisition signal. And a unit.

【0016】また、本発明の超音波探傷方法は、走査治
具に取り付けられ、斜角探触子とこの斜角探触子の検査
位置よりも走査方向に向かって後方位置を検査する垂直
探触子とを併せ持つ複合プローブを用いた超音波探傷方
法において、前記斜角探触子により超音波探傷を行い第
1の超音波探傷信号を受信するステップと、この第1の
超音波探傷信号に基づいて受信信号レベルを検出するス
テップと、この検出された受信信号レベルに基づいて傷
の有無を判定し、傷があると判定した場合に斜角探触子
による測定モードから垂直探触子による測定モードに切
り替え、前記走査治具の走査速度を遅くするステップ
と、前記垂直探触子の受信した第2の超音波探傷信号を
A/D変換するステップと、前記A/D変換された第2
の超音波探傷信号を記録するステップとを具備してなる
ことを特徴とする。
Further, the ultrasonic flaw detection method of the present invention is directed to a vertical probe which is attached to a scanning jig and inspects an oblique probe and a position behind the inspection position of the oblique probe in the scanning direction. In the ultrasonic inspection method using a composite probe having both a probe and a probe, the ultrasonic inspection is performed by the oblique probe and a first ultrasonic inspection signal is received. Detecting the received signal level based on the received signal level, and determining the presence or absence of a flaw based on the detected received signal level. Switching to a measurement mode, reducing the scanning speed of the scanning jig; A / D converting the second ultrasonic inspection signal received by the vertical probe; 2
Recording the ultrasonic flaw detection signal.

【0017】なお、本発明の超音波探傷方法の望ましい
形態は、以下の通りである。走査治具の走査速度を遅く
した場合に受信信号レベルに基づいて傷の有無を判定
し、傷が無いと判定した場合に垂直探触子による測定モ
ードから斜角探触子による測定モードに切り替え、走査
治具の走査速度を速くする。
A preferred embodiment of the ultrasonic flaw detection method of the present invention is as follows. If the scanning speed of the scanning jig is reduced, the presence or absence of flaws is determined based on the received signal level, and if it is determined that there is no flaw, the measurement mode is switched from the vertical probe measurement mode to the oblique probe measurement mode. And increase the scanning speed of the scanning jig.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の一実施形態を説明する。図1は、本発明の一実施形態
に係る超音波探傷装置の全体構成を示す図である。図1
に示すように本超音波探傷装置は、斜角探触子31と垂
直探触子32を内蔵する複合プローブ21と、この複合
プローブ21が取り付けられ、このプローブ21を被検
体表面上で走査させるための2軸走査治具7と、2軸走
査治具7を駆動する走査治具駆動部6と、走査治具駆動
部6を制御する外部からの速度可変機能付の走査治具制
御部5を具備する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing an overall configuration of an ultrasonic flaw detector according to one embodiment of the present invention. FIG.
As shown in the figure, the ultrasonic flaw detector includes a composite probe 21 having a built-in oblique probe 31 and a vertical probe 32, and the composite probe 21 is attached, and the probe 21 is scanned on the surface of the subject. Jig 7 for scanning, a jig driving unit 6 for driving the biaxial scanning jig 7, and a scanning jig control unit 5 having an external speed variable function for controlling the scanning jig driving unit 6 Is provided.

【0019】複合プローブ21の詳細な構成を図2に示
す。複合プローブ21内には斜角探触子31及び垂直探
触子32が並列に配置されている。これら両探触子3
1,32はそれぞれ接触媒質33を介して被検体34表
面に接しており、垂直探触子32から斜角探触子31に
向かう方向に走査される。垂直探触子32は被検体34
表面に対して垂直方向に超音波を伝播させ、被検体34
内の傷等の反射源で反射する。この反射波は同一の経路
を辿って垂直探触子32で受信される。また、斜角探触
子31は被検体34表面に対して複合プローブ21の走
査方向に入射角θで超音波を入射し、傷等の反射源で反
射した反射超音波を再び斜角探触子31で受信すること
により超音波探傷が行われる。
FIG. 2 shows the detailed structure of the composite probe 21. The oblique probe 31 and the vertical probe 32 are arranged in parallel in the composite probe 21. These two probes 3
1 and 32 are in contact with the surface of the subject 34 via the couplant 33, respectively, and are scanned in a direction from the vertical probe 32 to the oblique probe 31. The vertical probe 32 is a subject 34
The ultrasonic wave is propagated in a direction perpendicular to the surface,
It is reflected by reflection sources such as internal scratches. This reflected wave is received by the vertical probe 32 following the same path. The oblique probe 31 irradiates an ultrasonic wave to the surface of the subject 34 in the scanning direction of the composite probe 21 at an incident angle θ, and returns the reflected ultrasonic wave reflected by a reflection source such as a flaw to the oblique probe. The ultrasonic flaw detection is performed by the reception by the child 31.

【0020】このように両探触子31,32の超音波伝
播経路は異なるため、被検体34中の同じ箇所に各探触
子31,32からの超音波が入射するときの複合プロー
ブ21の位置は、一定距離だけずれることとなる。この
一定距離のずれは、被検体34中の検査対象部位、複合
プローブ21に組み込む斜角探触子31の超音波の入射
角度θ、両探触子31,32の配置等から幾何学的に固
有値として求めることができる。
As described above, since the ultrasonic wave propagation paths of the two probes 31 and 32 are different, the composite probe 21 when the ultrasonic waves from the respective probes 31 and 32 are incident on the same position in the subject 34. The positions will be shifted by a certain distance. The displacement of this fixed distance is geometrically determined from the inspection target site in the subject 34, the incident angle θ of the ultrasonic wave of the oblique probe 31 incorporated in the composite probe 21, the arrangement of the two probes 31, 32, and the like. It can be obtained as an eigenvalue.

【0021】条件入力部1には、観測者により超音波探
傷に当たり必要とされる種々の測定条件、例えば2軸走
査治具7の駆動条件、位置監視部11の監視条件、A/
D変換器10の変換条件、走査範囲等が入力される。
The condition input unit 1 stores various measurement conditions required by the observer for ultrasonic flaw detection, for example, the driving conditions of the biaxial scanning jig 7, the monitoring conditions of the position monitoring unit 11, the A /
A conversion condition, a scanning range, and the like of the D converter 10 are input.

【0022】制御部4は、条件入力部1に入力された測
定条件を示す信号に基づいて、走査治具制御部5,位置
監視部11,A/D変換器10,モード切替判定部24
に各機器の制御信号を送る。
The control section 4 is based on a signal indicating the measurement condition input to the condition input section 1, and controls the scanning jig control section 5, the position monitoring section 11, the A / D converter 10, the mode switching judgment section 24.
To each device.

【0023】走査治具制御部5は制御部4から送られた
走査ピッチ等の条件及び後述する位置監視部11の速度
指令に従い、走査治具駆動部6を制御する。走査治具駆
動部6は走査治具制御部5から入力された制御信号に基
づいて2軸走査治具7を駆動する。2軸走査治具7は走
査治具駆動部6の駆動に従ってX軸,Y軸方向に移動
し、その腕部に取り付けられた複合プローブ21は図示
しない被検体表面上をX軸,Y軸方向に走査される。ま
た、2軸走査治具7の走査位置を示す位置信号は、走査
治具駆動部6,走査治具制御部5を介して制御部4,位
置監視部11に出力される。
The scanning jig control section 5 controls the scanning jig driving section 6 in accordance with the conditions such as the scanning pitch sent from the control section 4 and the speed command of the position monitoring section 11 described later. The scanning jig driving section 6 drives the biaxial scanning jig 7 based on a control signal input from the scanning jig control section 5. The biaxial scanning jig 7 moves in the X-axis and Y-axis directions according to the driving of the scanning jig driving unit 6, and the composite probe 21 attached to the arm thereof moves on the surface of the subject (not shown) in the X-axis and Y-axis directions. Is scanned. A position signal indicating the scanning position of the biaxial scanning jig 7 is output to the control unit 4 and the position monitoring unit 11 via the scanning jig driving unit 6 and the scanning jig control unit 5.

【0024】位置監視部11は走査治具制御部5から送
られた位置信号より複合プローブ21の位置を監視し、
複合プローブ21の走査速度を与えるものである。斜角
探触子31による検査時においては、複合プローブ21
が設定された計測ピッチで移動する毎に、ゲート回路2
3及び制御部4に取込み信号を出力する。
The position monitoring unit 11 monitors the position of the composite probe 21 from the position signal sent from the scanning jig control unit 5,
The scanning speed of the composite probe 21 is given. At the time of inspection with the oblique probe 31, the composite probe 21
Each time the object moves at the set measurement pitch, the gate circuit 2
3 and a control unit 4 to output a capture signal.

【0025】後述するモード切り替え判定部24からの
モード切替え信号を受け、この切替え信号を受けた時間
から予め設定された垂直探触子32と斜角探触子31の
検査部位のずれ量、すなわち超音波の入射位置のずれ分
だけ複合プローブ21が移動すると、斜角探触子31で
傷を検出した部位に垂直探触子32の検査位置がくる。
A mode switching signal is received from a mode switching determining unit 24, which will be described later, and a predetermined amount of deviation between the inspection parts of the vertical probe 32 and the oblique angle probe 31 from the time at which the switching signal is received, that is, When the composite probe 21 moves by the displacement of the ultrasonic wave incident position, the inspection position of the vertical probe 32 comes to the position where the oblique probe 31 has detected a flaw.

【0026】そして、斜角探触子31での検査モードか
ら垂直探触子32での検査モードに切り替えるため、複
合プローブ21の走査速度が垂直探触子32で行われる
超音波探傷に最適な波形取り込み時の遅い速度となるよ
うに速度指令を走査治具制御部5に出力する。この速度
指令により、斜角探触子31を用いた超音波探傷での走
査速度と垂直探触子32を用いた超音波探傷での走査速
度との切り替えが行われる。
Since the inspection mode is switched from the inspection mode using the oblique probe 31 to the inspection mode using the vertical probe 32, the scanning speed of the composite probe 21 is optimal for the ultrasonic inspection performed by the vertical probe 32. A speed command is output to the scanning jig controller 5 so that the speed becomes lower at the time of capturing the waveform. By this speed command, switching between the scanning speed in ultrasonic testing using the oblique probe 31 and the scanning speed in ultrasonic testing using the vertical probe 32 is performed.

【0027】さらに、位置監視部11は速度指令で走査
速度を遅くした後は、複合プローブ21が予め設定され
た受信波形取り込み時の一定ピッチを移動する毎に、A
/D変換器10及び制御部4に波形取り込み用の取込み
信号を出力する。このとき、ゲート回路23及び制御部
4には、検査モードの切り替え前と変わることなく、最
初と同じピッチを複合プローブが移動する毎に、取込み
信号を出力し続ける。
Further, after the position monitor 11 lowers the scanning speed by the speed command, every time the composite probe 21 moves at a predetermined pitch at the time of capturing a predetermined reception waveform, A
A capture signal for capturing a waveform is output to the / D converter 10 and the control unit 4. At this time, the capture signal is continuously output to the gate circuit 23 and the control unit 4 every time the composite probe moves at the same pitch as the initial one, without changing from before the switching of the inspection mode.

【0028】位置監視部11は、上記と逆の場合で垂直
探触子32を用いる受信波形取り込みの検査モードか
ら、最初に行われていた斜角探触子31を用いる検査モ
ードへの切替え信号をモード切替判定部24から受けた
場合、上記と同様に切替え信号を受けてから予め設定さ
れた垂直探触子32と斜角探触子31の検査部位のずれ
量だけ複合プローブ21が移動すると、元の斜角探触子
31用の速い走査速度となるように速度指令を走査治具
制御部5に出力するとともに、A/D変換器10及び制
御部4への波形取り込み用の取込み信号の出力を停止す
る。
In the opposite case, the position monitoring unit 11 switches from the test mode for capturing the received waveform using the vertical probe 32 to the test mode using the oblique probe 31 which was performed first. Is received from the mode switching determination unit 24, when the composite probe 21 moves by a predetermined amount of shift between the inspection parts of the vertical probe 32 and the oblique probe 31 after receiving the switching signal in the same manner as described above. A speed command is output to the scanning jig control unit 5 so as to obtain a high scanning speed for the original oblique probe 31, and a capture signal for capturing a waveform to the A / D converter 10 and the control unit 4 is output. Stop output of

【0029】複合プローブ21に内蔵された各探触子3
1,32には、それを励振・駆動するパルサ・レシーバ
22およびパルサ・レシーバ9が接続される。これらパ
ルサ・レシーバ22,9は対応する探触子31,32を
励振及び駆動して超音波を発生させるものである。通
常、超音波探触子はパルサ・レシーバ9,22により一
定の繰り返し周波数で励振・駆動されており、計測タイ
ミングとの同期は計測器毎でとっている。
Each probe 3 built in the composite probe 21
The pulsar receiver 22 and the pulsar receiver 9 that excite and drive the pulsars 1 and 32 are connected to 1 and 32, respectively. These pulsar receivers 22 and 9 excite and drive the corresponding probes 31 and 32 to generate ultrasonic waves. Usually, the ultrasonic probe is excited and driven at a constant repetition frequency by the pulsar receivers 9 and 22, and synchronization with the measurement timing is taken for each measuring instrument.

【0030】また、これらパルサ・レシーバ9,22
は、被検体内の反射源で反射し、各探触子31,32で
受信され電気信号に変換された受信信号を受け取り、こ
の受信信号及び各探触子31,32の励振・駆動するタ
イミングと同期したトリガをパルサ・レシーバ22はゲ
ート回路23に、パルサ・レシーバ9はA/D変換器1
0に出力する。
The pulsars / receivers 9 and 22
Receives a reception signal reflected by a reflection source in the subject, received by each of the probes 31 and 32 and converted into an electric signal, and receives the received signal and a timing for exciting and driving each of the probes 31 and 32 The pulser / receiver 22 sends a trigger synchronized with the pulse signal to the gate circuit 23, and the pulser / receiver 9 sends the trigger to the A / D converter 1
Output to 0.

【0031】ゲート回路23は斜角探触子31の受信し
た超音波の受信信号からそのピークエコーレベル及びビ
ーム路程を検出するものである。以下、ゲート回路23
の受け取った受信信号波形を示す図3を用いて説明す
る。図3において、横軸は時間、縦軸は受信信号レベル
である。
The gate circuit 23 detects the peak echo level and the beam path of the ultrasonic wave received by the oblique probe 31. Hereinafter, the gate circuit 23
This will be described with reference to FIG. In FIG. 3, the horizontal axis is time, and the vertical axis is the received signal level.

【0032】図3に示すように、パルサ・レシーバ22
を介して受け取った受信信号は被検体中にある傷等で反
射すると高いレベルが得られる。この受信信号波形に対
して時間軸方向に一定の範囲のゲートを設定する。この
ゲート範囲は、検査部位から反射エコーが戻ってくる時
間帯に設定される。位置監視部11からの取込み信号を
受けた後でパルサ・レシーバ22から最初に入力された
トリガに同期してこのゲート範囲内の時間における受信
信号のみからそのピークエコーレベルを測定する。
As shown in FIG. 3, the pulsar / receiver 22
When the received signal received through the device is reflected by a flaw or the like in the subject, a high level is obtained. A gate in a certain range is set for the received signal waveform in the time axis direction. This gate range is set in a time zone in which the reflected echo returns from the inspection site. After receiving the fetched signal from the position monitoring unit 11, the peak echo level is measured only from the received signal at a time within this gate range in synchronization with the trigger first input from the pulser / receiver 22.

【0033】得られたピークエコーレベルを示す時間は
ビーム路程として検出される。なお、この設定ゲートに
ついては条件入力部1にその設定条件を入力可能であ
り、入力された設定条件は制御部4を介してゲート回路
23に送られる。
The time indicating the obtained peak echo level is detected as a beam path. The setting condition can be input to the condition input unit 1 for the setting gate, and the input setting condition is sent to the gate circuit 23 via the control unit 4.

【0034】モード切替判定部24は、ゲート回路23
からのゲート信号出力に基づいて斜角探触子31及び垂
直探触子32それぞれの検査モードの切替を行うもので
ある。具体的には、モード切替判定部24はゲート回路
23の信号出力としてピークエコーレベルとビーム路程
が得られるが、得られたピークエコーレベルを予め条件
入力部1で設定したしきい値と比較する。ピークエコー
レベルがしきい値を超えない場合、検査部位に傷は無い
ものと判定し、切替え信号は出力せずに最初の検査モー
ド、すなわち斜角探触子31による検査モードで検査が
行われる。
The mode switching judging section 24 includes a gate circuit 23
The switching of the inspection mode of each of the oblique probe 31 and the vertical probe 32 is performed based on the gate signal output from. Specifically, the mode switching determination unit 24 obtains a peak echo level and a beam path as a signal output of the gate circuit 23, and compares the obtained peak echo level with a threshold value set in the condition input unit 1 in advance. . If the peak echo level does not exceed the threshold value, it is determined that there is no flaw in the inspection region, and the inspection is performed in the first inspection mode, that is, the inspection mode using the oblique probe 31, without outputting the switching signal. .

【0035】一方、ピークエコーレベルがしきい値を超
えた場合には検査部位に傷があるものと判定し、検査部
位を詳細に検査すべく、斜角探触子31による検査モー
ドから垂直探触子32による検査モードに切り替える切
替え信号を位置監視部11に出力する。
On the other hand, when the peak echo level exceeds the threshold value, it is determined that the inspection part has a flaw, and the inspection mode using the oblique probe 31 is changed from the inspection mode using the oblique probe 31 to inspect the inspection part in detail. A switching signal for switching to the inspection mode using the stylus 32 is output to the position monitoring unit 11.

【0036】さらに、垂直探触子32による検査中にピ
ークエコーレベルがしきい値を超えなくなった場合、検
査部位に傷が無くなったものと判定し、走査を迅速に行
うべく斜角探触子31による検査モードに切り替える切
替え信号を位置監視部11に出力する。
Further, when the peak echo level does not exceed the threshold value during the inspection by the vertical probe 32, it is determined that the inspection site has no flaw, and the oblique probe is used to perform scanning quickly. A switching signal for switching to the inspection mode by 31 is output to the position monitoring unit 11.

【0037】A/D変換器10は、垂直探触子32の受
信した超音波の受信信号をデジタルデータに変換するも
のである。このデータ変換は、上記ゲート回路23と同
様のタイミングにより行われる。すなわち、位置監視部
11からの波形取り込み用の取込み信号を受けた後、パ
ルサ・レシーバ9の最初に入力されたトリガに同期して
アナログの受信信号を取り込み、予め設定されたサンプ
リングレートでデジタルデータに変換する。
The A / D converter 10 converts an ultrasonic reception signal received by the vertical probe 32 into digital data. This data conversion is performed at the same timing as that of the gate circuit 23. That is, after receiving a capture signal for capturing a waveform from the position monitoring unit 11, an analog reception signal is captured in synchronization with the first input trigger of the pulser / receiver 9, and the digital data is captured at a preset sampling rate. Convert to

【0038】なお、このサンプリングレートについては
条件入力部1にその設定条件を入力可能であり、入力さ
れた設定条件は制御部4を介してA/D変換器10に送
られる。
The setting conditions can be input to the condition input unit 1 for the sampling rate, and the input setting conditions are sent to the A / D converter 10 via the control unit 4.

【0039】また、これら検査条件、検査経過、検査結
果等の測定データは、制御部4に接続された表示部2及
び記録部3で表示及び記録される。これら測定データの
表示及び記録は、制御部4に入力された位置監視部11
からの取込み信号に同期して行われる。すなわち、制御
部4がゲート回路23及びA/D変換器10からのそれ
ぞれのゲート信号出力や波形データを取込み信号に同期
して取り込み、これらを表示部2及び記録部3に表示及
び記録する。
The measurement data such as the inspection conditions, the inspection progress, and the inspection results are displayed and recorded on the display unit 2 and the recording unit 3 connected to the control unit 4. The display and recording of these measurement data are performed by the position monitoring unit 11 input to the control unit 4.
This is performed in synchronization with the capture signal from That is, the control unit 4 captures the respective gate signal outputs and waveform data from the gate circuit 23 and the A / D converter 10 in synchronization with the capture signal, and displays and records them on the display unit 2 and the recording unit 3.

【0040】上記実施形態に係る超音波探傷装置の動作
を説明する。まず、検査対象となる被検体に、複合プロ
ーブ21を取り付けた2軸走査治具7を設置する。そし
て、条件入力部1に検査範囲や計測ピッチ等の検査条件
を入力する。入力された検査条件は、制御部4によって
走査治具制御部5,位置監視部11,モード切替判定部
24,ゲート回路23,ゲート回路23にそれぞれ出力
される。
The operation of the ultrasonic flaw detector according to the above embodiment will be described. First, the biaxial scanning jig 7 to which the composite probe 21 is attached is installed on the subject to be inspected. Then, inspection conditions such as an inspection range and a measurement pitch are input to the condition input unit 1. The input inspection conditions are output by the control unit 4 to the scanning jig control unit 5, the position monitoring unit 11, the mode switching determination unit 24, the gate circuit 23, and the gate circuit 23, respectively.

【0041】条件入力部1により設定された条件に従っ
て被検体の検査を開始する。最初は、複合プローブ21
内の斜角探触子31のみを用いて探傷検査を行ってい
く。走査治具制御部5の制御によって走査治具駆動部6
が駆動され、走査治具7が動き、取り付けられた複合プ
ローブ21が検査範囲を設定された計測ピッチ毎に順に
移動する。
Inspection of the subject is started according to the conditions set by the condition input unit 1. Initially, the composite probe 21
The flaw detection inspection is performed using only the oblique probe 31 in the inside. The scanning jig driving section 6 is controlled by the scanning jig controlling section 5.
Is driven, the scanning jig 7 moves, and the attached composite probe 21 sequentially moves the inspection range at every set measurement pitch.

【0042】複合プローブ21の走査位置を示す位置信
号は走査治具駆動部6を介して走査治具制御部5に取り
込まれる。走査治具制御部5は、取り込んだ位置信号を
位置監視部11及び制御部4に出力する。
A position signal indicating the scanning position of the composite probe 21 is taken into the scanning jig controller 5 via the scanning jig driver 6. The scanning jig controller 5 outputs the captured position signal to the position monitor 11 and the controller 4.

【0043】位置監視部11は位置信号を取り込み、複
合プローブ21が設定された計測ピッチ移動する毎にゲ
ート回路23及び制御部4に取込み信号を出力する。一
方、パルサ・レシーバ22は斜角探触子31を励振・駆
動し、被検体内に超音波を発生させるとともに、被検体
内から反射し斜角探触子31に受信された信号を受け取
っている。そして、斜角探触子31を励振・駆動するタ
イミングと同期したトリガと受信信号をゲート回路23
に出力する。
The position monitor 11 captures the position signal and outputs a capture signal to the gate circuit 23 and the controller 4 every time the composite probe 21 moves the set measurement pitch. On the other hand, the pulsar receiver 22 excites and drives the bevel probe 31 to generate ultrasonic waves in the subject, and receives signals reflected from the subject and received by the bevel probe 31. I have. The trigger and the reception signal synchronized with the timing of exciting and driving the oblique probe 31 are transmitted to the gate circuit 23.
Output to

【0044】ゲート回路23では、位置監視部11から
の取込み信号を受けた後、パルサ・レシーバ22から次
々に入力されたトリガと受信信号波形を取り込み、予め
設定されたゲート時間範囲で、時系列データである波形
信号を処理し、ピークエコーレベルとビーム路程の値を
求め、モード切替判定部24並びに制御部4に出力す
る。
The gate circuit 23 receives the capture signal from the position monitoring unit 11 and then captures the trigger and the received signal waveform successively input from the pulsar / receiver 22, and performs time-series operations within a preset gate time range. The waveform signal, which is data, is processed to obtain values of the peak echo level and the beam path, and output to the mode switching determination unit 24 and the control unit 4.

【0045】モード切替判定部24はゲート信号出力に
基づいて斜角探触子31の検査モードから垂直探触子3
2の検査モードに切り替えるか否かの判定を行う。すな
わち、ゲート信号出力に含まれるピークエコーレベルを
予め条件入力部1で設定されたしきい値と比較する。比
較の結果、ピークエコーレベルがしきい値を超えない場
合には検査部位に傷が無いものと判定し、モード切替え
信号は出力されず、そのまま斜角探触子31の検査モー
ドで複合プローブ21の移動毎に繰り返しゲート信号出
力の記録を行われ、探傷走査が続けられる。
The mode switching determination unit 24 changes the angle of the probe 31 from the inspection mode to the vertical probe 3 based on the gate signal output.
It is determined whether to switch to the second inspection mode. That is, the peak echo level included in the gate signal output is compared with a threshold value previously set in the condition input unit 1. As a result of the comparison, if the peak echo level does not exceed the threshold value, it is determined that there is no flaw in the inspection part, no mode switching signal is output, and the composite probe 21 The gate signal output is repeatedly recorded every time the scan moves, and the flaw detection scanning is continued.

【0046】一方、ピークエコーレベルがしきい値を超
えた場合には検査部位に傷があるものと判定し、検査部
位を詳細に検査すべく、斜角探触子31による検査モー
ドから垂直探触子32による検査モードに切り替える切
替え信号を位置監視部11に出力する。
On the other hand, if the peak echo level exceeds the threshold value, it is determined that the inspection site has a flaw, and the inspection mode is changed from the inspection mode using the oblique probe 31 to inspect the inspection site in detail. A switching signal for switching to the inspection mode using the stylus 32 is output to the position monitoring unit 11.

【0047】位置監視部11はモード切替判定部24か
らの垂直探触子32へのモード切替え信号を受け、その
信号入力から斜角探触子31と垂直探触子32の検査部
位のずれ分だけ複合プローブ21が移動したタイミング
に複合プローブ21の走査速度を垂直探触子32使用時
の速度に落とすべく、速度指令を走査治具制御部5に出
力する。
The position monitoring section 11 receives a mode switching signal from the mode switching determining section 24 to the vertical probe 32, and receives from the signal input a deviation amount between the oblique probe 31 and the inspection section of the vertical probe 32. Only at the timing when the composite probe 21 moves, a speed command is output to the scanning jig controller 5 so as to reduce the scanning speed of the composite probe 21 to the speed when the vertical probe 32 is used.

【0048】走査治具制御部5は位置監視部11からの
速度指令に基づいて走査治具駆動部6の駆動速度を下げ
る。走査治具駆動部6の駆動速度が下がると複合プロー
ブ21は垂直探触子32による精密探傷時の走査速度と
なる。
The scanning jig controller 5 lowers the driving speed of the scanning jig driver 6 based on the speed command from the position monitor 11. When the driving speed of the scanning jig driving unit 6 decreases, the scanning speed of the composite probe 21 at the time of the precision flaw detection by the vertical probe 32 becomes the same.

【0049】また、位置監視部11は速度指令の出力と
同時に波形取り込み用の取込み信号をA/D変換器10
に出力する。A/D変換器10はこの取込み信号を受け
て垂直探触子32からの受信信号の取り込みを開始す
る。すなわち、垂直探触子32により被検体表面に対し
て垂直方向に被検体中に伝播した超音波は傷で反射して
再び垂直探触子32で受信される。受信された反射超音
波は電気信号に変換されてパルサ・レシーバ9を介して
受信信号としてA/D変換器10に出力される。この受
信信号の出力の際、パルサ・レシーバ9の励振・駆動の
タイミングと同期したトリガがA/D変換器10に出力
される。
The position monitoring unit 11 outputs an acquisition signal for acquiring a waveform at the same time as outputting the speed command.
Output to The A / D converter 10 receives this fetched signal and starts fetching the received signal from the vertical probe 32. That is, the ultrasonic wave propagated into the subject in the direction perpendicular to the surface of the subject by the vertical probe 32 is reflected by the flaw and received by the vertical probe 32 again. The received reflected ultrasonic waves are converted into electric signals and output to the A / D converter 10 as reception signals via the pulsar / receiver 9. At the time of the output of the received signal, a trigger synchronized with the excitation and drive timing of the pulser / receiver 9 is output to the A / D converter 10.

【0050】A/D変換器10はこのトリガに同期して
時系列データであるアナログの受信信号を取り込み、予
め設定されたサンプリングレートでデジタルデータに変
換する。そして、デジタルデータに変換された波形デー
タは制御部4に出力される。
The A / D converter 10 fetches an analog reception signal, which is time-series data, in synchronization with this trigger, and converts it into digital data at a preset sampling rate. Then, the waveform data converted into digital data is output to the control unit 4.

【0051】制御部4はゲート回路23からのゲート信
号出力の取り込み記録を続ける一方、位置監視部11か
らの波形取り込み用の取込み信号を受けて走査治具制御
部5から位置信号を取り込む。また、この位置信号の取
り込みとともにゲート回路23からデジタル値に変換さ
れた波形信号が出力されるのを待って取り込み、記録部
3に検査条件と一緒に記録する。また、検査モード等の
途中経過を表示部2に出力表示させる。
While the control unit 4 continues to capture and record the gate signal output from the gate circuit 23, it receives the waveform capture signal from the position monitoring unit 11 and captures the position signal from the scanning jig control unit 5. In addition, when the position signal is captured, the waveform signal converted into a digital value is output from the gate circuit 23 after being waited for, and is captured in the recording unit 3 together with the inspection condition. Further, the progress of the inspection mode or the like is output and displayed on the display unit 2.

【0052】上記垂直探触子32による精密探傷作業中
においても斜角探触子31による粗計測は続けられてお
り、斜角探触子31のみによる探傷作業時と同様にゲー
ト回路23により受信信号が取り込まれている。この受
信信号の取り込み作業中、ゲート回路23のゲート信号
出力であるピークエコーレベルが再びしきい値を超えな
くなったとき、モード切替判定部24は垂直探触子32
による検査モードから斜角探触子31による検査モード
に切り替えるため、切替え信号を位置監視部11に出力
する。また、この切替え信号と同時にA/D変換器10
及び制御部4への波形取り込み用の取込み信号の出力を
停止する。
During the precision flaw detection work by the vertical probe 32, the coarse measurement by the oblique probe 31 is continued, and is received by the gate circuit 23 in the same manner as in the flaw detection work by only the bevel probe 31. The signal is being captured. During the operation of capturing the received signal, when the peak echo level, which is the gate signal output of the gate circuit 23, does not exceed the threshold value again, the mode switching determination unit 24 sets the vertical probe 32
A switching signal is output to the position monitoring unit 11 in order to switch from the inspection mode using the oblique probe 31 to the inspection mode using the oblique probe 31. In addition, simultaneously with this switching signal, the A / D converter 10
Then, the output of the capture signal for capturing the waveform to the control unit 4 is stopped.

【0053】位置監視部11はこの切替え信号を受けた
後、斜角探触子31と垂直探触子32の検査部位のずれ
分だけ複合プローブ21が位置信号より移動したことを
確認したタイミングに、複合プローブ21が斜角探触子
31による粗計測用の高速走査モードに切り替えるべく
速度指令を走査治具制御部5に出力する。
After receiving the switching signal, the position monitoring unit 11 confirms that the composite probe 21 has moved from the position signal by an amount corresponding to the displacement between the inspection sites of the oblique probe 31 and the vertical probe 32. Then, the composite probe 21 outputs a speed command to the scanning jig controller 5 so as to switch to the high-speed scanning mode for coarse measurement by the oblique probe 31.

【0054】この速度指令に基づいて、上記速度を落と
す場合と同様の信号処理により複合プローブ21は探傷
開始時と同様高速の走査速度となる。そして、探傷開始
時と同様斜角探触子31のみによる探傷走査が行われ
る。
Based on this speed command, the composite probe 21 has the same high scanning speed as at the start of the flaw detection by performing the same signal processing as when the speed is reduced. Then, flaw detection scanning is performed only by the oblique probe 31 as in the start of flaw detection.

【0055】以上の動作を条件入力部1に予め入力され
た検査範囲が終了するまで繰り返し行う。こうすること
により、斜角探触子31による探傷結果をゲート回路2
3でゲート信号出力として求め、このゲート信号出力を
もとに受信波形取り込みの必要、すなわち、被検体中の
検査部位における傷の有無を自動的に判断し、必要最小
限の範囲のみ垂直探触子32による受信波形信号を取り
込むことができる。
The above operation is repeated until the inspection range previously input to the condition input unit 1 ends. By doing so, the flaw detection result obtained by the oblique probe 31 is transmitted to the gate circuit 2
In step 3, a gate signal output is obtained. Based on the gate signal output, it is necessary to capture the received waveform, that is, it is automatically determined whether or not there is a flaw in the inspection site in the subject. The waveform signal received by the slave 32 can be captured.

【0056】このように、斜角探触子31と垂直探触子
32を持った複合プローブ21で走査・探傷を行い、斜
角探触子31で検出した傷の存在する範囲についてのみ
垂直探触子32による超音波探傷の受信信号波形を記録
する。従って、記録する受信波形データのデータ量を低
減でき、また検査時間を短縮できる。
As described above, scanning and flaw detection are performed by the composite probe 21 having the oblique probe 31 and the vertical probe 32, and the vertical probe is performed only in a range where the flaw detected by the oblique probe 31 exists. The received signal waveform of the ultrasonic flaw detection by the touch element 32 is recorded. Therefore, the amount of received waveform data to be recorded can be reduced, and the inspection time can be reduced.

【0057】[0057]

【発明の効果】以上説明したように本発明の超音波探傷
装置及び超音波探傷方法によれば、斜角探触子による超
音波探傷により検出された受信信号レベルに基づいて走
査治具の測定モードが切り替えられ、垂直探触子の受信
信号はこの測定モードの切替と同時に出力される波形取
り込み信号の出力に同期してA/D変換され、記録され
る。従って、傷のある部分のみ受信波形データを取り込
むため、記録するデータ量を低減することができる。
As described above, according to the ultrasonic inspection apparatus and the ultrasonic inspection method of the present invention, the measurement of the scanning jig is performed based on the reception signal level detected by the ultrasonic inspection using the oblique probe. The mode is switched, and the received signal of the vertical probe is A / D converted and recorded in synchronization with the output of the waveform capture signal output simultaneously with the switching of the measurement mode. Therefore, since the received waveform data is fetched only in the damaged portion, the amount of data to be recorded can be reduced.

【0058】また、斜角探触子と垂直探触子によるそれ
ぞれの測定モードに応じた走査速度により複合プローブ
が走査され、測定が行われるため、走査速度を遅くする
範囲が傷のある部分に限定することができ、傷がない場
合や少ない場合に検査時間を短縮することができる。
Further, since the composite probe is scanned at a scanning speed corresponding to each measurement mode by the oblique probe and the vertical probe and measurement is performed, the range in which the scanning speed is reduced is limited to a portion having a flaw. The inspection time can be shortened when there is no or little scratch.

【0059】さらに、複合プローブを用いて傷のある部
分で自動的に斜角探触子による検査モードから垂直探触
子による切り替え、受信波形データ取り込みを行うた
め、予め他の手法で傷の有無を検査する必要や、走査治
具の違いによる超音波探触子の位置ずれの補正等の作業
を行う必要がない。
Further, in order to automatically switch from the inspection mode using the oblique probe to the inspection mode using the vertical probe and to receive the received waveform data at the damaged portion using the composite probe, the presence or absence of the damage is determined in advance by another method. It is not necessary to carry out inspections or to perform operations such as correction of the displacement of the ultrasonic probe due to the difference in the scanning jig.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態に係る超音波探傷装置の全
体構成を示す図。
FIG. 1 is a diagram showing an overall configuration of an ultrasonic flaw detector according to one embodiment of the present invention.

【図2】同実施形態における複合プローブの全体構成を
示す横断面図。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing the overall configuration of the composite probe according to the embodiment.

【図3】同実施形態におけるゲート回路に入力される受
信信号の信号波形を示す図。
FIG. 3 is a view showing a signal waveform of a reception signal input to a gate circuit in the embodiment.

【図4】従来の超音波探傷装置の全体構成を示す図。FIG. 4 is a diagram showing an overall configuration of a conventional ultrasonic flaw detector.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 条件入力部 2 表示部 3 記録部 4 制御部 5 走査治具制御部 6 走査治具駆動部 7 2軸走査治具 9,22 パルサ・レシーバ 10 A/D変換器 11 位置監視部 21 複合プローブ 23 ゲート回路 24 モード切替判定部 31 斜角探触子 32 垂直探触子 33 接触媒質 34 被検体 REFERENCE SIGNS LIST 1 condition input unit 2 display unit 3 recording unit 4 control unit 5 scanning jig control unit 6 scanning jig driving unit 7 two-axis scanning jig 9, 22 pulser / receiver 10 A / D converter 11 position monitoring unit 21 composite probe 23 Gate Circuit 24 Mode Switching Judgment Unit 31 Bevel Probe 32 Vertical Probe 33 Coupling Material 34 Subject

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 斜角探触子とこの斜角探触子の検査位置
よりも走査方向に向かって後方位置を検査する垂直探触
子とを併せ持つ複合プローブと、 前記斜角探触子の超音波の送受信を行う第1のパルサ・
レシーバと、 前記垂直探触子の超音波の送受信を行う第2のパルサ・
レシーバと、 前記複合プローブを走査速度の変更信号に基づいて斜角
探触子及び垂直探触子による各測定モードに対応した走
査速度で走査する走査治具と、 前記走査治具の位置を監視し、モード切替え信号に基づ
いて走査速度の変更信号及び波形取込み信号を出力する
位置監視部と、 前記第1のパルサ・レシーバの受信した第1の超音波探
傷信号に基づいて受信信号レベルを検出するゲート回路
と、 この検出された受信信号レベルに基づいて判定された傷
の有無に応じて測定モードを切り替えるモード切替え信
号を出力するモード切替判定部と、 前記第2のパルサ・レシーバの受信した第2の超音波探
傷信号を波形取込み信号に同期してA/D変換するA/
D変換器と、 前記波形取込み信号に同期してA/D変換された第2の
超音波探傷信号を記録する記録部とを具備してなること
を特徴とする超音波探傷装置。
A composite probe including a bevel probe and a vertical probe for inspecting a rearward position in a scanning direction from a test position of the bevel probe; The first pulsar that transmits and receives ultrasonic waves
A second pulsar for transmitting and receiving ultrasonic waves of the vertical probe;
A receiver, a scanning jig that scans the composite probe at a scanning speed corresponding to each measurement mode by an oblique probe and a vertical probe based on a scanning speed change signal, and monitors a position of the scanning jig. A position monitoring unit that outputs a scan speed change signal and a waveform capture signal based on a mode switching signal; and detects a reception signal level based on the first ultrasonic inspection signal received by the first pulser / receiver. A gate circuit, a mode switching determination unit that outputs a mode switching signal that switches a measurement mode in accordance with the presence or absence of a flaw determined based on the detected received signal level, and a signal received by the second pulser / receiver. A / D which performs A / D conversion of the second ultrasonic flaw detection signal in synchronization with the waveform acquisition signal
An ultrasonic flaw detector comprising: a D converter; and a recording unit that records a second ultrasonic flaw detection signal that has been A / D converted in synchronization with the waveform capture signal.
【請求項2】 走査治具に取り付けられ、斜角探触子と
この斜角探触子の検査位置よりも走査方向に向かって後
方位置を検査する垂直探触子とを併せ持つ複合プローブ
を用いた超音波探傷方法において、 前記斜角探触子により超音波探傷を行い第1の超音波探
傷信号を受信するステップと、 この第1の超音波探傷信号に基づいて受信信号レベルを
検出するステップと、 この検出された受信信号レベルに基づいて傷の有無を判
定し、傷があると判定した場合に斜角探触子による測定
モードから垂直探触子による測定モードに切り替え、前
記走査治具の走査速度を遅くするステップと、 前記垂直探触子の受信した第2の超音波探傷信号をA/
D変換するステップと、 前記A/D変換された第2の超音波探傷信号を記録する
ステップとを具備してなることを特徴とする超音波探傷
方法。
2. A composite probe which is attached to a scanning jig and has an angle probe and a vertical probe for inspecting a position behind the inspection position of the angle probe in the scanning direction with respect to the inspection position. In the ultrasonic flaw detection method, a step of performing ultrasonic flaw detection using the oblique probe and receiving a first ultrasonic flaw detection signal, and a step of detecting a reception signal level based on the first ultrasonic flaw detection signal And determining the presence or absence of a flaw based on the detected received signal level. When determining that there is a flaw, switching from the measurement mode using the oblique probe to the measurement mode using the vertical probe, Lowering the scanning speed of the vertical probe, and converting the second ultrasonic inspection signal received by the vertical probe to A /
An ultrasonic flaw detection method comprising the steps of: D-converting; and recording the A / D-converted second ultrasonic flaw detection signal.
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