JP5840910B2 - Ultrasonic flaw detection method - Google Patents
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Description
本発明は、超音波探傷方法に係り、特に、遠隔走査機構とアレイ探触子を用いて、金属材料の溶接部などの超音波探傷を行うに好適な超音波探傷方法に関する。 The present invention relates to an ultrasonic flaw detection how, in particular, using a remote scanning mechanism and the array probe, relates to suitable ultrasonic flaw detection methods from performing ultrasonic flaw detection, such as weld metal material.
構造物の健全性を評価するために、構造物(例えば、金属材料の溶接部)の表面や内部の非破壊検査手法として、超音波探傷法が広く用いられている。被検体となる構造物へ直接アクセスすることが困難な場合、スキャナ,マニピュレータ,ビークルなどの遠隔走査機構が用いられ、この遠隔走査機構により、超音波探触子の位置を走査する自動探傷(AUT:Automated Ultrasonic Testing)が行われる。 In order to evaluate the soundness of a structure, an ultrasonic flaw detection method is widely used as a nondestructive inspection method for the surface and the inside of a structure (for example, a welded portion of a metal material). When it is difficult to directly access the structure to be examined, a remote scanning mechanism such as a scanner, manipulator, or vehicle is used, and this remote scanning mechanism automatically scans the position of the ultrasonic probe (AUT: Automated Ultrasonic Testing).
超音波探触子と通常被検体との間には、超音波の伝達性を高めるために、中間媒質を経由させて、構造物を検査する。中間媒質として、液体(例えば、グリセリン,マシン油,水など)が広く使われている。なお、特別な場合には、中間媒質として、気体や、粘性の高いゲル状の物質が用いられる場合もある。特に、被検体の表面に曲率やうねりなどの形状変化がある場合は、水などの中間媒質を介した「水浸法」とよばれる探傷法が適用される。 Between the ultrasonic probe and the normal subject, the structure is inspected via an intermediate medium in order to improve the transmission of ultrasonic waves. As an intermediate medium, a liquid (for example, glycerin, machine oil, water, etc.) is widely used. In special cases, a gas or a highly viscous gel substance may be used as the intermediate medium. In particular, when there is a change in shape such as curvature or swell on the surface of the subject, a flaw detection method called “water immersion method” through an intermediate medium such as water is applied.
ここで、被検体の音速は、被検体が例えば鋼材の場合約6000m/sであり、中間媒質の音速は、例えば水の場合約1500m/sであり、被検体と比較して、一般に、中間媒質の音速が遅い。このため、表面が曲面の場合は、被検体形状表面における超音波の屈折現象が感度低下を招く場合がある。 Here, the sound speed of the subject is about 6000 m / s when the subject is, for example, a steel material, and the sound speed of the intermediate medium is about 1500 m / s, for example, when the subject is water. The sound speed of the medium is slow. For this reason, when the surface is a curved surface, the refraction phenomenon of the ultrasonic wave on the surface of the subject shape may cause a decrease in sensitivity.
そこで、この影響を緩和するために、被検体と中間媒質の音速の間の音速を持つ材質(例えば、音速約2700m/sのアクリル等の合成樹脂)により、音響レンズを設けることが知られている(例えば、特許文献1参照)。 Therefore, in order to mitigate this effect, it is known to provide an acoustic lens with a material having a sound speed between that of the subject and that of the intermediate medium (for example, a synthetic resin such as acrylic having a sound speed of about 2700 m / s). (For example, refer to Patent Document 1).
音響レンズを備えた超音波探触子を用いて被検体である構造物を検査する場合、検査する段階では、超音波探触子に設置された音響レンズの一部分が被検体に接触することで、被検体と超音波探触子の距離を保って検査を行う。 When inspecting a structure that is an object using an ultrasonic probe equipped with an acoustic lens, a part of the acoustic lens installed on the ultrasonic probe is in contact with the object at the inspection stage. The inspection is performed while keeping the distance between the subject and the ultrasonic probe.
しかしながら、被検体と音響レンズが接触するまでの過程においては、遠隔走査機構を用いて、被検体表面に、超音波探触子に設置された音響レンズを近づけていく動作(位置調整)が必要となる。 However, in the process up to the contact between the subject and the acoustic lens, it is necessary to use the remote scanning mechanism to bring the acoustic lens installed on the ultrasound probe closer to the subject surface (position adjustment). It becomes.
一方、超音波探傷法の一種に、いわゆるフェーズドアレイ方式の超音波探傷法がある。ここで、このフェーズドアレイ方式とは、電子走査方式又は電子スキャン方式とも呼ばれ、例えば圧電素子からなる複数の超音波送受信素子をアレイ状に配置した探触子、いわゆるアレイ探触子を用い、超音波発生の契機となる電気信号を、このアレイ探触子の各素子に所定の時間だけ遅延させて与え、各素子から発生した超音波が重ね合わされ、合成波を形成することで、被検査体への超音波の送信角度と受信角度、送信位置と受信位置、或いは合成波が干渉して互いにエネルギーを強め合う位置、つまり焦点位置などの条件が電気的な制御により高速で変化させることができるようにした超音波探傷法のことである。なお、ここでは、素子毎に与える所定の遅延の組合せをディレイパターンと称する。 On the other hand, as a kind of ultrasonic flaw detection method, there is a so-called phased array type ultrasonic flaw detection method. Here, the phased array system, also called a scan type or electronic scanning method, for example, a plurality of ultrasonic sound Namioku receiving element probe arranged in an array composed of a piezoelectric element, a so-called array probe Using the electrical signal that triggers the generation of ultrasonic waves to each element of the array probe with a predetermined time delay, the ultrasonic waves generated from each element are superimposed to form a composite wave, Conditions such as the transmission angle and reception angle of ultrasonic waves to the inspected object, the transmission position and reception position, or the position where the combined wave interferes and strengthens energy, that is, the focal position, are changed at high speed by electrical control. It is an ultrasonic flaw detection method that made it possible. Here, a predetermined combination of delays given to each element is referred to as a delay pattern.
このようにアレイ探触子を用いて探傷条件を電気的に走査する理由は、広い検査範囲にわたって超音波の送受信角度位置や焦点を自由に変化させられるからであり、そうすることにより、被検査体の反射源(欠陥等)からの反射波をより強く受信できる角度や位置、焦点を選択することで、反射源である欠陥が見付け易くできるからである。代表的なディレイパターンの組み合わせとして、送信角度及び受信角度を変化させるセクタスキャン方式がある。セクタスキャン方式では、異なる角度で得られた信号から、被検体の断面画像として可視化できるという特徴があり、反射源の位置や性状を識別しやすいという特徴がある。 The reason for electrically scanning the flaw detection conditions using the array probe in this way is that the ultrasonic transmission / reception angular position and focus can be freely changed over a wide inspection range. This is because by selecting an angle, a position, and a focal point at which a reflected wave from a body reflection source (such as a defect) can be received more strongly, a defect that is a reflection source can be easily found. As a typical combination of delay patterns, there is a sector scan method in which the transmission angle and the reception angle are changed. The sector scan method is characterized in that it can be visualized as a cross-sectional image of a subject from signals obtained at different angles, and it is easy to identify the position and properties of a reflection source.
このように、より正確で信頼性の高い探傷結果を得る場合には、アレイ探触子と被検体の位置関係のうち、特に、被検体における超音波入射位置(アレイ探触子と被検体表面のなす角度)を調整することが必要である。 Thus, in order to obtain a more accurate and reliable flaw detection result, among the positional relationship between the array probe and the subject, in particular, the ultrasonic incident position (the array probe and the subject surface) on the subject. It is necessary to adjust the angle between the two.
アレイ探触子と被検体表面の相互の位置調整を実施するには、音響レンズと被検体表面が接触していない状態における、位置調整が必要である。その理由は、遠隔走査機構で被検体を検査する場合、被検体の正確な位置関係が把握できていない可能性を考慮して、探触子等の検査装置と検査対象の干渉を回避するために、初期位置として、十分に接触しない位置関係に検査装置を設置することが行われるためである。 In order to perform mutual position adjustment between the array probe and the object surface, position adjustment in a state where the acoustic lens and the object surface are not in contact is necessary. The reason for this is to avoid interference between the inspection device such as the probe and the inspection object in consideration of the possibility that the accurate positional relationship of the object cannot be grasped when inspecting the object with the remote scanning mechanism. In addition, the inspection apparatus is installed in a positional relationship that does not sufficiently contact as an initial position.
遠隔操作機構により、音響レンズを備えた超音波探触子を被検体に接触させて走査させる場合、被検体に入射する超音波の条件(被検体表面に対する探触子の角度、被検体との距離)が一定になる状態で探触子を被検体表面に押し付ける前に、超音波探触子を被検体表面の位置関係を調整する手段が必要となる。 When an ultrasonic probe equipped with an acoustic lens is brought into contact with the subject and scanned by a remote control mechanism, the condition of the ultrasonic wave incident on the subject (angle of the probe relative to the subject surface, Before the probe is pressed against the subject surface in a state where the distance) is constant, a means for adjusting the positional relationship of the ultrasonic probe with the subject surface is required.
例えば、特許文献1によれば、音響レンズを備えたアレイ探触子で、被検体内部を探傷する場合、音響レンズ内の多重反射波による残響を回避するために、送信用に用いる素子群と、受信用に用いる素子群を分けて使用する送受分割方式が用いられる。 For example, according to Patent Document 1, when an internal probe is used to detect an object with an array probe including an acoustic lens, an element group used for transmission is used to avoid reverberation due to multiple reflected waves in the acoustic lens. A transmission / reception division method is used in which element groups used for reception are separately used.
また、超音波探触子の位置調整に関しては、例えば、被検体の曲面形状の形状データとして予め入力して記憶し、記憶されたデータに基づいて、超音波探触子の位置及び方向を被検体の表面の入射点において、一定の角度でかつ一定の距離に保持する超音波探傷方法が知られている(例えば、特許文献2参照)。 Regarding the position adjustment of the ultrasonic probe, for example, it is input and stored in advance as shape data of the curved surface shape of the subject, and the position and direction of the ultrasonic probe are detected based on the stored data. An ultrasonic flaw detection method is known in which an incident point on the surface of a specimen is held at a constant angle and a constant distance (see, for example, Patent Document 2).
さらに、被検体と超音波探触子の距離及び角度を保持するために、予め距離測定用プローブで被検体形状を測定する超音波自動探傷装置を用い、その中で、被検体と超音波探触子の距離を測定するための距離センサとして超音波探傷用の探触子が知られている(例えば、特許文献3参照)。 Further, in order to maintain the distance and angle between the subject and the ultrasonic probe, an automatic ultrasonic flaw detector that measures the shape of the subject with a distance measuring probe in advance is used, and the subject and the ultrasonic probe are included therein. A probe for ultrasonic flaw detection is known as a distance sensor for measuring the distance of the probe (see, for example, Patent Document 3).
また、アレイ探触子を用いた超音波探傷において、被検体の表面形状を、アレイ探触子を用いて測定し、表面形状データからアレイ探触子に与える遅延時間を計算し、複雑形状部でも所定の位置に集束する探傷装置が知られている(例えば、特許文献4参照)。 Also, in ultrasonic flaw detection using an array probe, the surface shape of the subject is measured using the array probe, the delay time given to the array probe is calculated from the surface shape data, and the complex shape portion However, a flaw detection apparatus that focuses at a predetermined position is known (see, for example, Patent Document 4).
しかしながら、特許文献1記載の音響レンズを備えたアレイ探触子で、被検体内部を探傷する場合、被検体表面とアレイ探触子の位置調整を実施する際には、アレイ探触子に設置された音響レンズが被検体表面と非接触の状態にある。このため、伝搬経路は、送信用のアレイ探触子から発信した超音波が、被検体表面に反射された後、受信側のアレイ探触子で受信できない。したがって、被検体表面からの反射波を利用して、被検体表面と非接触状態にあるアレイ探触子の位置調整を行うことができない場合が生じてくる。従って、その場合には、被検体表面とアレイ探触子の位置調整ができないことになる。 However, when the inside of a subject is flawed with an array probe having an acoustic lens described in Patent Document 1, when the position of the subject surface and the array probe is adjusted, the probe is installed on the array probe. The acoustic lens thus made is not in contact with the subject surface. For this reason, the propagation path cannot be received by the receiving array probe after the ultrasonic wave transmitted from the transmitting array probe is reflected on the surface of the subject. Therefore, there may be a case where the position of the array probe that is not in contact with the subject surface cannot be adjusted using the reflected wave from the subject surface. Therefore, in this case, the position of the subject surface and the array probe cannot be adjusted.
また、特許文献2や特許文献3記載のものでは、被検体と超音波探触子の位置関係(角度及び距離)を一定に保つための事前設定に関する記載はあるが、実際の探傷でどのような位置関係となっていたかを特定することができないものである。 Moreover, in the thing of patent document 2 and patent document 3, although there exists description regarding the prior setting for keeping the positional relationship (angle and distance) of a test object and an ultrasonic probe constant, how is it by actual flaw detection? It is impossible to specify whether or not the positional relationship has been established.
さらに、特許文献4記載のものでは、被検体の表面形状を考慮した探傷条件の設定に関する記載はあるが、自動探傷(AUT)において、アレイ探触子と被検体の位置関係(角度と距離)を特定することができないものである。 Further, in Patent Document 4, there is a description regarding setting of flaw detection conditions in consideration of the surface shape of the subject. However, in automatic flaw detection (AUT), the positional relationship between the array probe and the subject (angle and distance). Cannot be specified.
本発明の目的は、音響レンズを備えたアレイ探触子を用いて、水などの中間媒質を介して超音波を伝搬させ、被検体の表面にアレイ探触子の一部を接触させて、フェーズドアレイ法により、遠隔走査機構により超音波探触子を走査して超音波探傷する際に、被検体内部の探傷と、アレイ探触子と被検体の位置関係を正確に特定する位置調整を両立させて、アレイ探触子と被検体の位置関係のずれの少ない、より正確な超音波探傷が可能な超音波探傷方法を提供することにある。 The object of the present invention is to propagate an ultrasonic wave through an intermediate medium such as water using an array probe provided with an acoustic lens, and bring a part of the array probe into contact with the surface of the subject. Using the phased array method, when the ultrasonic probe is scanned by the remote scanning mechanism for ultrasonic flaw detection, the flaw detection inside the subject and the positional adjustment that accurately identifies the positional relationship between the array probe and the subject are performed. by both, small deviation of the positional relationship of the array probe and the object is to provide a more capable accurate ultrasonic flaw ultrasonic testing how.
(1)上記目的を達成するために、本発明は、アレイ探触子からなる超音波探触子から送信した超音波を、音響レンズ及び媒体を介して被検体に伝搬させるとともに、遠隔走査機構を用いて、前記超音波探触子を走査する超音波探傷方法であって、超音波送受信装置を用いて、前記被検体に対する前記超音波探触子を所定の距離及び角度に保つ走査を可能とするための探触子位置のティーチングを実施し、前記ティーチングは、超音波を前記媒体に送信し、前記被検体の表面からの反射波を第一の受信信号として受信し、前記第一の受信信号による探傷画像を、前記媒体の音速を用いて第一の音響画像として記録して表示して、前記被検体の表面プロファイルを得るようにし、前記ティーチングによって得られた前記被検体の表面プロファイルを元に、駆動制御装置により前記被検体に対する前記超音波探触子を所定の距離及び角度に保つようにして、前記超音波送受信装置を用いて前記被検体の探傷を実施し、前記被検体の探傷は、超音波を前記媒体を介して前記被検体の内部に送信し、前記被検体の内部からの反射波を第二の受信信号として受信し、前記第二の受信信号による探傷画像を、前記被検体の音速を用いて第二の音響画像として記録して表示し、これと同時にまたは切り替えて、前記被検体の表面からの反射波を第一の受信信号として受信し、前記第一の受信信号による探傷画像を、前記媒体の音速を用いて第一の音響画像として表示するようにしたものである。
かかる方法により、被検体内部の探傷と、アレイ探触子と被検体の位置関係を正確に特定する位置調整を両立させて、アレイ探触子と被検体の位置関係のずれの少ない、より正確な超音波探傷が可能となる。
( 1 ) In order to achieve the above object, the present invention propagates an ultrasonic wave transmitted from an ultrasonic probe including an array probe to a subject via an acoustic lens and a medium, and a remote scanning mechanism. An ultrasonic flaw detection method for scanning the ultrasonic probe using an ultrasonic probe, and capable of scanning the ultrasonic probe with respect to the subject at a predetermined distance and angle using an ultrasonic transmission / reception device Teaching of the probe position is performed so that the teaching transmits ultrasonic waves to the medium, receives a reflected wave from the surface of the subject as a first received signal, the flaw detection image by the received signal, and displayed and recorded as a first acoustic image using the acoustic velocity of the medium, the so as to obtain the surface profile of the object, the surface of the subject obtained by the teaching favorable profile Based on Le, said to keep the ultrasound probe to the subject at a predetermined distance and angle by the drive control unit, the flaw detection of the subject was performed using the ultrasonic transmitting and receiving apparatus, the object to be In the specimen flaw detection, an ultrasonic wave is transmitted to the inside of the subject through the medium, a reflected wave from the inside of the subject is received as a second reception signal, and a flaw detection image by the second reception signal is received. Is recorded and displayed as a second acoustic image using the sound velocity of the subject, and simultaneously with or switching, a reflected wave from the surface of the subject is received as a first received signal, and the first A flaw detection image based on one received signal is displayed as a first acoustic image using the speed of sound of the medium .
By this method, both the flaw detection inside the subject and the position adjustment for accurately identifying the positional relationship between the array probe and the subject are achieved, and the positional relationship between the array probe and the subject is less misaligned and more accurate. Ultrasonic flaw detection becomes possible.
(2)上記(1)において、好ましくは、前記アレイ探触子が2つの素子群からなる第1と第2のアレイ探触子からなり、前記第1及び第2のアレイ探触子の少なくとも一方を送受信兼用とし、前記被検体の表面からの反射波を第一の受信信号として受信し、前記第一の音響画像として表示し、前記第1及び第2のアレイ探触子のうち、いずれかの一方を送信用、他方を受信用として設定し、前記被検体の内部からの反射波を第二の受信信号として受信し、前記第二の音響画像として表示するようにしたものである。 ( 2 ) In the above ( 1 ), preferably, the array probe includes first and second array probes each including two element groups, and at least one of the first and second array probes. One side is used for both transmission and reception, a reflected wave from the surface of the subject is received as a first reception signal, displayed as the first acoustic image, and one of the first and second array probes for transmission to Kano one, and set the other as a receiver, receives a reflected wave from the inside of the subject as a second reception signal is obtained by the displayed as the second acoustic image.
本発明によれば、被検体内部の探傷と、アレイ探触子と被検体の位置関係を正確に特定する位置調整を両立させて、アレイ探触子と被検体の位置関係のずれの少ない、より正確な超音波探傷が可能となる。
According to the present invention, both the flaw detection inside the subject and the positional adjustment for accurately specifying the positional relationship between the array probe and the subject are compatible, and the positional relationship between the array probe and the subject is small. More accurate ultrasonic flaw detection is possible.
以下、図1〜図13を用いて、本発明の一実施形態による超音波探傷装置を用いた超音波探傷方法の内容について説明する。ここでは、アレイ探触子を用いたフェーズドアレイ法のうち、セクタスキャン方式を用いた例について説明する。 Hereinafter, the contents of an ultrasonic flaw detection method using the ultrasonic flaw detection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. Here, an example using the sector scan method among the phased array method using the array probe will be described.
最初に、図1を用いて、本実施形態による超音波探傷装置の構成について説明する。
図1は、本発明の一実施形態による超音波探傷装置の構成図である。
First, the configuration of the ultrasonic flaw detector according to the present embodiment will be described with reference to FIG.
FIG. 1 is a configuration diagram of an ultrasonic flaw detector according to an embodiment of the present invention.
被検体101は、複雑形状部を有する溶接部の一例を示しており、鋼板101Aに、所定角度を持って管101Bを貫通させたものである。管101Bと鋼板101Aが近接する箇所の、管101Bの周囲が溶接されて溶接部101Cを形成している。
The subject 101 shows an example of a welded portion having a complex shape portion, and is obtained by penetrating a
被検体101は、容器CH内に配置されており、容器内には水が収納されている。すなわち、被検体101は、水中に配置されている。従って、超音波送受信手段であるアレイ探触子100からの超音波を被検体101に伝搬させる媒体として水が用いられ、水浸法による超音波探傷によって、溶接部101Cの傷の有無の検査や、傷の寸法測定を実施する。
The subject 101 is disposed in the container CH, and water is stored in the container. That is, the subject 101 is placed in water. Accordingly, water is used as a medium for propagating ultrasonic waves from the
ここで、管101Bの周方向の角度によって溶接部101Cの形状が3次元的に変化し、凹面と凸面の組み合わされた鞍型形状をしている特徴があり、正確に超音波を目的の位置に入射させることが難しい形状を有している。
Here, the shape of the welded
ここで、本例の適用先は、例えば、原子力発電所の炉内構造物の溶接部101C(例えば、制御棒駆動機構スタブチューブ、炉内計装管台ハウジング、シュラウドサポート、シュラウド等)の欠陥検出及び寸法測定に関する非破壊検査である。なお、本例に記載の方法及び手順は、炉内構造物に特徴的な曲面の他、配管や平板形状の検査対象にも同様に適用することが可能である。
Here, the application destination of this example is, for example, a defect in a welded
アレイ探触子100は、被検体101の探傷面の上方に液体(例えば、水)を介して設置され、超音波送受信装置104から供給される駆動信号により、超音波送受信面から超音波を発生し、これを被検体101に向けて伝搬させ、被検体101の表面または内部より現れる反射波を検出し、受信信号を超音波送受信装置104に入力する。
アレイ探触子100は、第1のアレイ探触子100Aと、第2のアレイ探触子100Bとに分割されており、さらに、両方のアレイ探触子100A,100Bの超音波送信面には、音響レンズ100Cが設けられている。
The
溶接部101Cにき裂などの反射源103が存在する場合には、き裂103からの反射波がアレイ探触子100で受信される。
When the
アレイ探触子100は、超音波送受信装置104に接続され、音響画像表示手段105において探傷結果情報として表示される。アレイ探触子100は、遠隔走査機構102に取り付けられ、所定の位置へ移動して、探傷を行う。
The
音響画像表示手段105は、表示部105Aと、表示部105Bとを備えている。表示部105Aの表示画像については、図5を用いて後述するが、被検体表面101Dからの反射画像が得られ、溶接部101Cの表面プロファイルの情報が得られる。表示部105Bの表示画像については、図7を用いて後述する。
The acoustic image display means 105 includes a
駆動制御装置110は、超音波送受信装置104によって検出された溶接部101Cの表面プロファイルの情報に基づいて、遠隔走査機構102を制御して、アレイ探触子100が、溶接部101Cの表面に対して、所定の距離で所定の角度となるようにする。
The
次に、図2を用いて、本実施形態による超音波探傷装置に用いる遠隔走査機構102の動作について説明する。
図2は、本発明の一実施形態による超音波探傷装置に用いる遠隔走査機構の動作説明図である。なお、図1と同一符号は、同一部分を示している。
Next, the operation of the
FIG. 2 is an explanatory view of the operation of the remote scanning mechanism used in the ultrasonic flaw detector according to one embodiment of the present invention. The same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same parts.
アレイ探触子100を3次元に走査するためには、例えば、自動ロボットやマニピュレータ等に用いられる6軸以上の制御軸を有する遠隔走査機構102を用いる。
In order to scan the
遠隔走査機構102は、例えば、アレイ探触子104を中心に、X軸,Y軸,Z軸の各軸方向を回転軸として回転する、θx,θy,θzの3つの回転軸を備えたヘッド部102Aと、配管101Bに着座し、ヘッド部102Aの全体を移動させる、上下(H軸),径方向(R軸),回転軸(φ軸)の3つの軸Z,R,φとから構成される。遠隔走査機構102により、アレイ探触子100を移動することができる。
The
次に、図3を用いて、本実施形態による超音波探傷装置に用いる超音波送受信装置104の構成について説明する。
図3は、本発明の一実施形態による超音波探傷装置に用いる超音波送受信装置の構成を示すブロック図である。
Next, the configuration of the ultrasonic transmission /
FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of an ultrasonic transmission / reception apparatus used in the ultrasonic flaw detection apparatus according to the embodiment of the present invention.
送受信装置104は、計算機104Aと、時間制御部104Bと、パルサー104Cと、レシーバ104Dと、データ収録部104Eと、記憶部104Fとを備えている。パルサー104Cは、駆動信号を図1に示したアレイ探触子100に供給し、アレイ探触子100から入力される受信信号をレシーバ104Dが処理する。
The transmission /
ここで、計算機104Aは、時間制御部104Bと、パルサー104Cと、レシーバ104Dと、データ収録部104Eとを制御して、必要な動作が得られるようにする。
Here, the
まず、素子群設定部104Gは、アレイ探触子の分割された2つの素子群100A及び100Bに対して、送信専用、受信専用、送受信兼用のいずれかを設定する。時間制御部104Bは、パルサー104Cから出力される駆動信号のタイミングを制御すると共に、レシーバ104Dによる受信信号の入力タイミングを制御する。これにより、レシーバ104Cからの受信信号を、送信信号に同期して、データ収録部104Eに逐次保存する。
First, the element
データ収録部104Eは、レシーバ104Dから供給される受信信号を処理し、音響画像表示手段105に供給する働きをするが、ここで、音響画像表示手段105の動作については、後で詳述する。
The
記憶部104Fには、例えば、セクタスキャンする際の遅延時間のディレイパターン等が記憶されている。
The
次に、図4を用いて、本実施形態による超音波探傷装置に用いるアレイ探触子100の構成について説明する。
図4は、本発明の一実施形態による超音波探傷装置に用いるアレイ探触子の構成の説明図である。図4(A)は底面図であり、図4(B)は正面図であり、図4(C)は側面図である。
Next, the configuration of the
FIG. 4 is an explanatory diagram of the configuration of the array probe used in the ultrasonic flaw detector according to one embodiment of the present invention. 4A is a bottom view, FIG. 4B is a front view, and FIG. 4C is a side view.
図4は、アレイ探触子100の最も基本的な構成を模式的に示したものである。アレイ探触子100は、第1の素子群のアレイ探触子100Aと、第2の素子群のアレイ探触子100Bから構成され、おのおのの素子群は、それぞれ一列に配列された超音波送受信素子1202で構成されている。
FIG. 4 schematically shows the most basic configuration of the
超音波送受信素子1202は、圧電セラミックや圧電ポリマー、圧電コンポジット材等の圧電変換素子で構成される。超音波送受信素子1202は、超音波送受信素子の保護及び多重反射による音響整合を整えるための前面板1203を備えており、その外部で、音響レンズ100Cに接している。アレイ探触子100A,100B及び音響レンズ100Cの外部は、媒体(水など)で満たされている。超音波送受信面の中心位置1201は、表示や評価の際に、必要に応じてアレイ探触子の送受信点として、代表点として扱われる。アレイ探触子100は、ケーブルにより、図1に示した送受信装置104に接続されている。
The ultrasonic transmission /
音響レンズ100Cの材質は、例えば、合成樹脂(アクリル、ポリイミド、ポリスチレン等)であり、被検体(ステンレス鋼など、音速Vs=5800m/s)と周囲の媒体(水など、音速Vw=1500m/s)の中間となる音速2000〜3000m/sを持つ。
The material of the
このため、水などの媒体からステンレス鋼などの被検体(金属)へ直接超音波を入射する場合、音速の比が大きいため、以下の式(1)に示すように、媒体からの入射角θwが、超音波が被検体内で大きく屈折し、被検体内部の角度θwが大きく変化する。
θs=sin−1(sinθw×Vs/Vw) …(1)
音響レンズは、特許文献1に示すように、媒体と被検体の間の屈折現象を緩和する働きがあり、特に、被検体表面が凹面をなす場合に、被検体表面に超音波のエネルギーが集中する効果を緩和し、被検体内部にまで超音波を伝搬させる働きがある。
For this reason, when an ultrasonic wave is directly incident on a subject (metal) such as stainless steel from a medium such as water, the sound velocity ratio is large. Therefore, as shown in the following equation (1), the incident angle θw from the medium However, the ultrasonic wave is greatly refracted in the subject, and the angle θw inside the subject changes greatly.
θs = sin −1 (sin θw × Vs / Vw) (1)
As shown in Patent Document 1, the acoustic lens has a function of relaxing the refraction phenomenon between the medium and the subject. In particular, when the subject surface has a concave surface, the energy of ultrasonic waves is concentrated on the subject surface. This has the effect of alleviating the effect and propagating ultrasonic waves to the inside of the subject.
ただし、アレイ探触子に音響レンズを設置すると、音響レンズ内で超音波が多重反射し、その残響が残って、本来得たい被検体内部からの反射波の信号のSN比が低下するおそれがある。したがって、曲面による屈折現象を緩和する音響レンズを採用する場合には、音響レンズ内にコルクやゴム等の遮音板1204により2つの領域に分割し、かつ、アレイ探触子も同様に、2つの素子群に分割し、片方の素子群(及び音響レンズ)を送信用、もう片方の素子群(及び音響レンズ)を受信用にすることで、音響レンズ内の残響を緩和し、SN比を改善した被検体内部からの反射波を受信できるようにする。
However, if an acoustic lens is installed on the array probe, ultrasonic waves are multiple-reflected in the acoustic lens, and the reverberation remains, which may reduce the signal-to-noise ratio of the reflected wave signal from the inside of the subject to be originally obtained. is there. Therefore, when an acoustic lens that relieves the refraction phenomenon caused by a curved surface is adopted, the acoustic lens is divided into two regions by a
次に、図5〜図7を用いて、本実施形態による超音波探傷装置による探傷方法について説明する。
図5及び図7は、本発明の一実施形態による超音波探傷装置による探傷方法の説明図である。図5は、媒体の音速を用いた探傷画面である。図7は、被検体の音速を用いた探傷画面である。図6は、音響レンズを設置したアレイ探触子により水などの中間媒質を介して、フェーズドアレイ法により超音波探傷法を実施する場合の説明図である。
Next, the flaw detection method using the ultrasonic flaw detector according to the present embodiment will be described with reference to FIGS.
5 and 7 are explanatory diagrams of a flaw detection method using an ultrasonic flaw detector according to an embodiment of the present invention. FIG. 5 is a flaw detection screen using the sound speed of the medium. FIG. 7 is a flaw detection screen using the sound speed of the subject. FIG. 6 is an explanatory diagram in a case where an ultrasonic flaw detection method is performed by a phased array method through an intermediate medium such as water by an array probe in which an acoustic lens is installed.
最初に、図5により、被検体表面と、アレイ探触子に備えられた音響レンズが接触していない状態にある、アレイ探触子の位置調整の段階における、被検体とアレイ探触子の間の媒体(水浸法では水)の音速を用いた探傷画面について説明する。 First, according to FIG. 5, the subject and the array probe at the stage of adjusting the position of the array probe in a state where the surface of the subject is not in contact with the acoustic lens provided in the array probe. The flaw detection screen using the sound speed of the medium (water in the water immersion method) will be described.
アレイ探触子100から、水などの媒体中に超音波1301を発信する。アレイ探触子100から、被検体101に対して、媒体に対する伝搬角度(入射角)が変化するように、ディレイパターンを設定し、入射角θiを変化させながら超音波を送信する。例えば、入射角の変化の範囲として、−60°から+60°まで1°ピッチ(全121角度)と設定する。
An
ここで、アレイ探触子100を構成する素子群100A,100Bのうち、少なくとも片方を送受信兼用に設定する。
Here, at least one of the
図6により、送受信兼用に設定する理由について説明する。 The reason for setting for both transmission and reception will be described with reference to FIG.
図6(A)に示すように、音響レンズ100Cを取り付けた場合には、音響レンズ内の超音波の多重反射波が探傷信号に影響しないように、アレイ探触子を2つ設け、片方100Aを送信用、もう一方100Bを受信用に用いる。このとき、音響レンズ100Cについても、送信側と受信側の2領域に分割し、送信側と受信側を音響的に遮断するために、コルクやゴム製の遮音板100Dを設ける。
As shown in FIG. 6A, when the
音響レンズ100Cを設置したアレイ探触子100A,100Bが、被検体の表面601に接触している場合は、被検体内部の反射源602からの反射波について、遮音板104Dが有効に機能することで、多重反射の少ないSN比の高い反射波を受信することができる。
When the array probes 100A and 100B on which the
一方、図6(B)に示すように、被検体表面とアレイ探触子の位置調整を実施する際には、アレイ探触子100A,100Bに設置された音響レンズ100Cが被検体表面601と非接触の状態にある。このため、伝搬経路603として示すように、送信用のアレイ探触子100Aから発信した超音波が、被検体表面601に反射された後、受信側のアレイ探触子100Bで受信されにくい。受信側のアレイ探触子100Bで受信される超音波は弱い。したがって、被検体表面601からの反射波を利用して、被検体表面と非接触状態にあるアレイ探触子の位置調整を行うことが難しい。
On the other hand, as shown in FIG. 6B, when adjusting the position of the subject surface and the array probe, the
そこで、被検体表面とアレイ探触子の位置調整を実施する際には、アレイ探触子100を構成する素子群100A,100Bのうち、少なくとも片方を送受信兼用に設定する。
Therefore, when adjusting the position of the subject surface and the array probe, at least one of the
送受信兼用に設定する方法の例として、以下の2つの方法を説明する。 The following two methods will be described as examples of the method for setting for both transmission and reception.
第一は、素子群100Aと素子群100BがそれぞれN個(合計2N個)の圧電素子が配列されている場合を考える。素子群100Aとして、素子番号1〜Nを割り当て、素子群100Bとして素子番号N+1〜2Nを割り当てる。素子群を送受信兼用に割り当てる場合には、素子群設定部104Gにおいて、送信用に用いる素子番号を1〜2Nと設定し、受信用に用いる素子番号を1〜2Nに設定する。これは、素子群100A及び100Bの両方を送受信兼用に設定する場合に相当する。この第一の例は、送信用のパルサーと受信用のレシーバが、最大2N個の圧電素子を駆動できる場合の例である。
First, consider a case where N (total 2N) piezoelectric elements are arranged in each of the
第二は、素子群100Aと素子群100Bに対して、素子群100Aで送信し素子群100Aで受信する信号φ_AAと、素子群100Aで送信し素子群100Bで受信する信号φ_ABと、素子群100Bで送信し素子群100Aで受信する信号φ_BAと、素子群100Bで送信し素子群100Bで受信する信号φ_BBの4つの波形を加算することで、素子群(A+B)で同時に送信し、素子群(A+B)で同時に受信する波形と等価な波形を合成する方法である。素子群100Aで送信し素子群100Bで受信する信号φ_ABと、素子群100Bで送信し素子群100Aで受信する信号φ_BAは弱いが、4つの信号を合成する場合には用いることができる。この第二の例は、送信用のパルサーと受信用のレシーバが、最大N個の圧電素子を駆動できる場合の例である。第一の場合に比べて、使用するパルサーやレシーバの数を半分にできる。送信と受信の切り替えは、素子群設定部104Gにおける素子番号の設定で切り替える点は第一の例と同じである。
Second, for the
アレイ探触子100の素子群(2つのうち素子群100A,100Bの両方または片方)から送信された超音波1301は、被検体表面101Dで反射され、再びアレイ探触子100で受信される。
The
このとき、送受信に用いる素子群が分離されていると、図9に説明したように、被検体表面からの反射波を、送信用ではない、もう一方の素子群で受信することが困難となる。したがって、位置調整の段階では、送受信兼用の素子群の設定が必要になる。 At this time, if the element group used for transmission / reception is separated, as described with reference to FIG. 9, it is difficult to receive the reflected wave from the subject surface by the other element group that is not for transmission. . Therefore, at the stage of position adjustment, it is necessary to set an element group for both transmission and reception.
受信される信号は、入射角θiごとに1つの波形として、図3のデータ収録部104Eに記録される。被検体表面101Dの反射波のうち、片道伝搬時間から、音響レンズ内の片道伝搬時間T0を減算した、水などの媒体中の片道伝搬時間T1の点1302Bの振幅値をA(T1;θi)とすると、振幅値の強度にした濃淡の白黒、またはカラーの画素として、角度θ1と伝搬路程(時間T1と媒体の音速の積)で扇状に表示することで、図1の表示部105Aには、図5に示すように、探傷画像106A及び被検体表面101Dからの反射画像106Eを得ることができる。
The received signal is recorded in the
なお、音響レンズの厚みは既知であるので、音響レンズ内の片道伝搬時間T0も既知の値である。 Since the thickness of the acoustic lens is known, the one-way propagation time T0 in the acoustic lens is also a known value.
さらに、被検体表面101Dの反射波のうち、波形の立ち上がり点1302Aによる画像106Cから、被検体表面101Dの形状を特定することができる。
また、被検体表面形状の画像106Cから、センサ直下の方向の距離106Dから、アレイ探触子と被検体の距離を特定することができる。
Furthermore, the shape of the
Further, the distance between the array probe and the subject can be specified from the
このように、被検体表面とアレイ探触子の距離や、アレイ探触子の下方の被検体表面の形状を特定することで、被検体表面とアレイ探触子の位置関係を確認しながら、アレイ探触子を被検体表面に接触させることができる。 In this way, by identifying the distance between the subject surface and the array probe and the shape of the subject surface below the array probe, while confirming the positional relationship between the subject surface and the array probe, The array probe can be brought into contact with the subject surface.
自動駆動機構を用いて、アレイ探触子を被検体に押し付けることで、アレイ探触子と被検体表面の正対する位置関係を保ったまま、アレイ探触子を被検体表面に近づけることができる。 By pressing the array probe against the subject using the automatic drive mechanism, the array probe can be brought closer to the subject surface while maintaining the positional relationship between the array probe and the subject surface facing each other. .
次に、図7により、被検体表面と、アレイ探触子に備えられた音響レンズが接触(あるいは接触とみなせる数mm以内に近接している状態を含む)して、被検体内部を探傷する段階における、被検体の音速を用いた探傷画面について説明する。 Next, referring to FIG. 7, the surface of the subject and the acoustic lens provided in the array probe come into contact (or include a state where they are close to each other within a few millimeters that can be regarded as contact) to detect the inside of the subject. The flaw detection screen using the sound speed of the subject in the stage will be described.
なお、被検体の音速による探傷と、前記媒体(水など)の音速による探傷は、例えば、被検体音速のディレイパターンと、前記媒体の音速によるディレイパターンを同時に、または、切り替えて、設定することで、実現することができる。 The flaw detection based on the sound speed of the subject and the flaw detection based on the sound speed of the medium (water, etc.) are set by, for example, switching the delay pattern based on the sound speed of the subject and the delay pattern based on the sound speed of the medium at the same time or switching. It can be realized.
被検体の音速を用いた探傷では、アレイ探触子100A,100Bの一方を送信専用とし、他方を受信専用とする。これは、被検体表面と、アレイ探触子に備えられた音響レンズが接触しているため、一方のアレイ探触子から送信した超音波の反射波を、他方のアレイ探触子で受信できるからである。ここでは、例えば、アレイ探触子100Aを送信専用,アレイ探触子100Bを受信専用として用いるものとする。これにより、音響レンズ内の残響を緩和し、SN比を改善した被検体内部からの反射波を受信できるようになる。
In the flaw detection using the sound velocity of the subject, one of the array probes 100A and 100B is dedicated to transmission and the other is dedicated to reception. This is because the surface of the subject is in contact with the acoustic lens provided in the array probe, so that the reflected wave of the ultrasonic wave transmitted from one array probe can be received by the other array probe. Because. Here, for example, the
アレイ探触子100Aから、音響レンズ100Cを介して、水などの媒体中に超音波1401を発信する。アレイ探触子100Aから、被検体100に対して、被検体中の伝搬角度(屈折角)を変化させるように、ディレイパターンを設置し、屈折角θjを変化させた超音波を送信する。なお、被検体にθjで伝搬する場合の、アレイ探触子から媒体への入射角θj’は、数1と同様のSnellの法則により、sinθj’=sinθj×(V’/V)で与えられる。なお、V’は水などの媒体の音速、Vは被検体の音速である。
アレイ探触子100Aから送信された超音波1401は、被検体表面101Dで被検体内部へ屈折され、被検体中に伝搬し、被検体に欠陥などの反射源103が存在する場合には、反射源103で反射された信号が、被検体表面101Dで屈折し、アレイ探触子100Bで受信される。
The
受信される信号は、屈折角θjごとに1つの波形として図3のデータ収録部104Eに記録される。
The received signal is recorded in the
被検体表面と音響レンズが接触している状態において、被検体内部の反射源103の反射波のうち、超音波の伝搬時間のうちの音響レンズ内の片道伝搬時間T0を減算した、片道伝搬時間T2の点1402の振幅値をA(T2;θj)とすると、振幅値の強度にした濃淡の白黒、またはカラーの画素として、角度θjと伝搬路程(時間T1と被検体の音速の積)で扇状に表示することで、図1の表示部105Bには、図7に示すように、被検体の断面図に相当する探傷画像106Bを得ることができる。
One-way propagation time obtained by subtracting one-way propagation time T0 in the acoustic lens out of the propagation time of the ultrasonic wave from the reflected wave of the
アレイ探触子(100A及び100B)を遠隔走査機構102で、位置を制御しながら自動超音波探傷(AUT)を実施する場合、図2に示すように、例えば、6軸以上のロボットを用いて、アレイ探触子と被検体の角度及び距離が一定になるように、探触子位置を走査する。なお、アレイ探触子と被検体の間には、音響レンズが存在し、アレイ探触子と被検体の距離は、音響レンズの厚み、例えば、10〜20mm程度に設定される。
When performing an automatic ultrasonic flaw detection (AUT) while controlling the position of the array probe (100A and 100B) with the
以上説明したように、本実施形態では、曲面を有する被検体表面に音響レンズを備えたアレイ探触子を接触させて探傷させる場合、被検体内部の探傷に先立つ、アレイ探触子の位置調整の段階において、アレイ探触子を構成する2つの素子群を送受信兼用に用途を切り替えて、アレイ探触子と被検体の間に存在する媒体(水など)の音速による探傷を、同時に(または、切り替えて)実施することで、被検体表面からの反射波を受信できるようにし、アレイ探触子と被検体の距離を特定し、アレイ探触子直下の被検体形状を特定する。被検体形状の特定後、アレイ探触子と被検体表面の位置関係を調整した後に、アレイ探触子を被検体表面に接触させることができ、さらに、アレイ探触子を構成する2つの素子群を送信用と受信用に分割し、従来の超音波検査で実施されていた被検体音速を用いて、被検体内部の超音波探傷を実施することも可能となる。 As described above, in the present embodiment, when an array probe including an acoustic lens is brought into contact with a curved object surface, the position adjustment of the array probe prior to the flaw detection inside the object is performed. In this stage, the two element groups constituting the array probe are switched for transmission and reception, and flaw detection at the sound velocity of the medium (water, etc.) existing between the array probe and the subject is performed simultaneously (or By switching, the reflected wave from the object surface can be received, the distance between the array probe and the object is specified, and the object shape directly under the array probe is specified. After specifying the object shape, after adjusting the positional relationship between the array probe and the object surface, the array probe can be brought into contact with the object surface, and two elements constituting the array probe It is also possible to divide the group into a transmitter and a receiver and perform ultrasonic flaw detection inside the subject by using the subject sound velocity that has been performed in the conventional ultrasonic examination.
このように、アレイ探触子の被検体表面に対する相互の位置関係が特定されることで、反射源の位置をより正確に評価することが可能となり、反射源位置の測定精度や、反射源位置の寸法測定精度の高い、信頼性の高い検査を提供することができる。 Thus, by identifying the mutual positional relationship of the array probe with respect to the subject surface, it becomes possible to more accurately evaluate the position of the reflection source, the measurement accuracy of the reflection source position, and the reflection source position. It is possible to provide a highly reliable inspection with high dimensional measurement accuracy.
次に、図8〜図17を用いて、本発明の一実施形態による超音波探傷装置を用いた超音波探傷方法の具体例について説明する。
最初に、図8を用いて、本実施形態による超音波探傷装置を用いた超音波探傷システムの全体構成について説明する。
図8は、本発明の一実施形態による超音波探傷装置を用いた超音波探傷システムの全体構成図である。
Next, a specific example of the ultrasonic flaw detection method using the ultrasonic flaw detector according to one embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
First, the overall configuration of the ultrasonic flaw detection system using the ultrasonic flaw detection apparatus according to the present embodiment will be described with reference to FIG.
FIG. 8 is an overall configuration diagram of an ultrasonic flaw detection system using an ultrasonic flaw detection apparatus according to an embodiment of the present invention.
ここでは、適用対象の一例として、原子力発電プラントの炉内構造物の溶接部の検査に適用する場合の、超音波探傷システムの全体構成を示している。 Here, as an example of the application target, an overall configuration of an ultrasonic flaw detection system in the case of applying to inspection of a welded portion of a reactor internal structure of a nuclear power plant is shown.
検査対象となる被検体は、原子炉圧力容器701内の構造物であるシュラウド702の各種溶接継手、制御棒駆動機構スタブチューブ等の貫通配管溶接部101B、などである。オペレーションフロア703には、遠隔走査機構102である多軸マニピュレータの制御装置705、超音波探傷装置706、各種ケーブル707、などの装備を炉内に昇降するための作業台車704を設置する構成となる。多軸マニピュレータ102の先に、アレイ探触子100が設置され、被検体の検査領域をカバーするように、多軸マニピュレータ102により探触子が走査され、自動探傷を実施する。
The objects to be inspected are various weld joints of the
超音波探傷装置706は、図1に示した送受信装置104及び音響画像表示手段105から構成される。マニピュレータ制御装置705は、図1に示した駆動制御装置110から構成される。
The
次に、図9を用いて、本実施形態による超音波探傷装置による超音波探傷方法の内容について説明する。
図9は、本発明の一実施形態による超音波探傷装置による超音波探傷方法の内容を示すフローチャートである。
Next, the contents of the ultrasonic flaw detection method using the ultrasonic flaw detector according to the present embodiment will be described with reference to FIG.
FIG. 9 is a flowchart showing the contents of the ultrasonic flaw detection method by the ultrasonic flaw detection apparatus according to the embodiment of the present invention.
ここでは、図8に示した原子炉の炉内構造物溶接部の検査の場合について説明する。 Here, the case of the inspection of the in-core structure weld of the nuclear reactor shown in FIG. 8 will be described.
最初に、ステップS101において、検査者は、欠陥指示の検出を目的として、水中カメラによる目視検査を実施する。 First, in step S101, the inspector performs a visual inspection with an underwater camera for the purpose of detecting a defect instruction.
その後、ステップS102において、検査者は、必要に応じて、欠陥の開口長さを測定するために、渦電流探傷を実施する。 Thereafter, in step S102, the inspector performs an eddy current flaw detection as necessary to measure the opening length of the defect.
さらに、ステップS103において、検査者は、本実施形態の超音波探傷装置を用いて、検出された欠陥に対して、欠陥の深さ測定(深さサイジング)を目的として、超音波検査(UT)を実施する。 Further, in step S103, the inspector uses the ultrasonic flaw detector according to the present embodiment to perform ultrasonic inspection (UT) for the purpose of depth measurement (depth sizing) of the detected defect. To implement.
その後、ステップS104において、検査者は、欠陥の進展評価を実施し、ステップS105において、必要に応じて補修、取替を行う。 Thereafter, in step S104, the inspector performs defect progress evaluation, and in step S105, repairs and replacements are performed as necessary.
本実施形態による超音波探傷方法は、ステップS103の深さサイジングにて適用される。 The ultrasonic flaw detection method according to the present embodiment is applied by the depth sizing in step S103.
次に、図10を用いて、本実施形態による超音波探傷装置による深さサイジングのための超音波探傷方法の内容について説明する。
図10は、本発明の一実施形態による超音波探傷装置による深さサイジングのための超音波探傷方法の内容を示すフローチャートである。
Next, the contents of the ultrasonic flaw detection method for depth sizing by the ultrasonic flaw detector according to the present embodiment will be described with reference to FIG.
FIG. 10 is a flowchart showing the contents of an ultrasonic flaw detection method for depth sizing by the ultrasonic flaw detector according to one embodiment of the present invention.
最初に、探傷前のキャリブレーション(ステップS201)を実施し、感度や時間軸などを調整する。次に、装置を炉内にインストールし(ステップS202)、装置位置(各軸の原点など)を初期化する(ステップS203)。 First, calibration before flaw detection (step S201) is performed, and sensitivity, time axis, and the like are adjusted. Next, the apparatus is installed in the furnace (step S202), and the apparatus position (such as the origin of each axis) is initialized (step S203).
次に、想定する欠陥の位置を対象に、アレイ探触子の位置をティーチング(設定値の初期値の教示)を行う(ステップS204)。 Next, teaching of the position of the array probe (teaching of the initial value of the set value) is performed (step S204).
次に、ティーチングデータの確認のための確認走査を実施し(ステップS205)、機器等と検査装置(遠隔駆動装置、探触子、ケーブルなど)の干渉がないかの確認と、探触子と被検体の位置関係が妥当であるかの確認を行い、機器との干渉性確認と探触子と被検体の位置関係が問題ない状態になるまで、ティーチング(ステップS204)と確認走査(ステップS205)を繰り返す。 Next, a confirmation scan for confirming the teaching data is performed (step S205), whether there is any interference between the device or the like and the inspection device (remote drive device, probe, cable, etc.) positional relationship between the subject confirms whether it is appropriate, until the positional relationship between coherence confirmed probe and the object of the device is in a state no problem, teaching (step S204) and confirms the scan (step S205) is repeated.
問題がないことが確認された後、探触子を探傷開始位置へ移動し(ステップS206)、開始位置でのセンサ設置状態を確認した後(ステップS207)、探傷を開始する(ステップS208)。 After confirming that there is no problem, the probe is moved to the flaw detection start position (step S206). After confirming the sensor installation state at the start position (step S207), flaw detection is started (step S208).
探傷中には、試験データの異常がないかの確認(ステップS209)と、探触子と被検体の位置関係の確認(ステップS210)と、最終的には、探傷範囲をカバーしたかどうかを確認し(ステップS211)、いずれも問題がなければ、探傷を終了する(ステップS212)。 During the flaw detection, it is confirmed whether there is any abnormality in the test data (step S209), the positional relationship between the probe and the subject (step S210), and finally whether the flaw detection range is covered. Confirmation (step S211) and if there is no problem, the flaw detection is terminated (step S212).
探傷終了後、装置を炉内からアンインストールし(ステップS213)、探傷終了後のキャリブレーションを実施する(ステップS214)。 After completion of the flaw detection, the apparatus is uninstalled from the furnace (step S213), and calibration after the flaw detection is completed (step S214).
ここで、例えば、探傷中のステップ(ステップS208〜ステップS212)において、アレイ探触子と被検体の位置関係の確認(ステップS210)を実施する際に、被検体音速を用いた通常の探傷と同時に、アレイ探触子と被検体の間の媒体(水など)の音速を用いて、前述のように、アレイ探触子と被検体の距離と角度(被検体の傾斜)を確認する。 Here, for example, in the steps during the flaw detection (steps S208 to S212), when the positional relationship between the array probe and the subject is confirmed (step S210), the normal flaw detection using the subject sound velocity is performed. At the same time, the distance and angle (inclination of the subject) between the array probe and the subject are confirmed using the speed of sound of the medium (such as water) between the array probe and the subject.
このとき、被検体音速による音響画像と、媒体(水など)音速による音響画像を同時に(あるいは、切り替えて)表示することで、探傷しながら位置関係を確認し、また、被検体音速による音響画像を収録することで、位置関係を記録することができる。 At this time, an acoustic image based on the sound velocity of the subject and an acoustic image based on the sound velocity of the medium (water, etc.) are displayed simultaneously (or switched), so that the positional relationship is confirmed while flaw detection is performed. By recording, the positional relationship can be recorded.
アレイ探触子と被検体との位置関係を記録することで、例えば、探傷後に、アレイ探触子と被検体の距離や角度を特定することができ、想定した値とずれがある場合に、補正して評価することができ、信頼性の高い超音波探傷を提供することができる。 By recording the positional relationship between the array probe and the subject, for example, after flaw detection, the distance and angle between the array probe and the subject can be specified, and when there is a deviation from the assumed value, It can be corrected and evaluated, and a highly reliable ultrasonic flaw detection can be provided.
さらに、例えば、探傷前のステップである、ティーチング(ステップS204)において、被検体音速を用いた通常の探傷と同時に、アレイ探触子と被検体の間の媒体(水など)の音速を用いて、前述のように、アレイ探触子と被検体の距離と角度(被検体の傾斜)を確認しながら、適正な教示データ(初期値)を設定することができる。 Further, for example, in teaching (step S204), which is a step before the flaw detection, simultaneously with the normal flaw detection using the object sound velocity, the sound velocity of the medium (water etc.) between the array probe and the object is used. As described above, appropriate teaching data (initial value) can be set while confirming the distance and angle (inclination of the subject) between the array probe and the subject.
一方では、アレイ探触子と被検体との位置関係を記録すること自体も重要である。例えば、ティーチング(ステップS204)を行わないで、探傷する場合に、アレイ探触子と被検体との位置関係を記録するようにすることもできる。この場合、被検体の表面の凹凸が少なく、ティーチング(ステップS204)を行わないで、探傷できるような場合である。この場合、ティーチング(ステップS204)を行わないで、探傷し、一方では、アレイ探触子と被検体との位置関係を記録することで、探傷終了後に探傷データをチェックした結果、探傷データに不審な箇所があるとき、すでに記録しているアレイ探触子と被検体との位置関係を確認することで、アレイ探触子と被検体の距離や角度に異常がないかどうかを確認できる。角度距離に異常がない場合には、その不審な箇所のデータは、被検体内部の欠陥等によるデータと考えることができる。 On the other hand, it is also important to record the positional relationship between the array probe and the subject. For example, when performing flaw detection without performing teaching (step S204), the positional relationship between the array probe and the subject can be recorded. In this case, there is little unevenness on the surface of the subject, and flaw detection can be performed without performing teaching (step S204). In this case, flaw detection is performed without performing teaching (step S204), and on the other hand, as a result of checking flaw detection data after the flaw detection is completed by recording the positional relationship between the array probe and the subject, the flaw detection data is suspicious. When there is an uncertain location, it is possible to confirm whether there is no abnormality in the distance and angle between the array probe and the subject by confirming the positional relationship between the array probe and the subject already recorded. When there is no abnormality in the angular distance, the data of the suspicious part can be considered as data due to defects inside the subject.
次に、図11を用いて、本実施形態による超音波探傷方法における教示データの設定方法について説明する。
図11は、本発明の一実施形態による超音波探傷方法における教示データの設定方法の説明図である。
Next, a teaching data setting method in the ultrasonic flaw detection method according to the present embodiment will be described with reference to FIG.
FIG. 11 is an explanatory diagram of a teaching data setting method in the ultrasonic flaw detection method according to the embodiment of the present invention.
アレイ探触子100は、その真下方向に超音波2101を送信する。
The
被検体表面101Dから反射した波形は、図3のデータ収録部104Eに記録される。この波形データには、アレイ探触子100と被検体101との距離の情報と、アレイ探触子100と被検体101の角度の情報を含んでいる。
The waveform reflected from the
受信波形として、横軸に伝搬時間、縦軸に振幅の絶対値をとった場合、被検体表面101Dからの反射エコー群2105の最大振幅MAX_A(θx)を求めることができる。ここで、θxは遠隔走査機構の回転軸を表す。θxは説明のための例であり、他の回転軸θy,θzの他、駆動軸のいずれでも構わない。
As a received waveform, when the propagation time is taken on the horizontal axis and the absolute value of the amplitude is taken on the vertical axis, the maximum amplitude MAX_A (θx) of the reflected echo group 2105 from the
回転軸θxを変化させると、θxに対して最大振幅MAX_A(θx)が変化する。このとき、最大振幅値が最大値となる場合(表示部105Cにおける表示において、センサ回転角度2102の場合)に、アレイ探触子と被検体が正対している(入射角0度)ことが確認できるため、被検体に対して最も効率よく超音波が入射する正対条件を与える回転軸の値θxを求めることができ、教示値として設定することができる。
When the rotation axis θx is changed, the maximum amplitude MAX_A (θx) changes with respect to θx. At this time, when the maximum amplitude value is the maximum value (in the case of the sensor rotation angle 2102 in the display on the
さらに、必要に応じて、アレイ探触子を被検体表面の法線方向(正対関係)の位置が特定できるため、アレイ探触子と被検体の角度を調整することができる。 Furthermore, since the position of the array probe in the normal direction (facing relationship) on the surface of the subject can be specified as necessary, the angle between the array probe and the subject can be adjusted.
同様に、受信波形として、横軸に伝搬時間、縦軸に振幅の絶対値をとった場合、被検体表面からの反射エコー群2105の立ち上がりまでの片道伝搬時間に、媒体(水など)の音速を乗算することで、距離R(θx)が求められる。なお、エコーの立ち上がりは、時間ゲート信号2106と波形2105との交点として、自動的に求めることができる。なお、θxは遠隔走査機構の回転軸を表す。θxは説明のための例であり、他の回転軸θy、θzの他、駆動軸のいずれでも構わない。 Similarly, when the propagation time is taken on the horizontal axis and the absolute value of the amplitude is taken on the vertical axis as the received waveform, the speed of sound of the medium (water, etc.) is calculated during the one-way propagation time until the reflection echo group 2105 rises from the subject surface. Is multiplied by the distance R (θx). The rise of the echo can be automatically obtained as the intersection of the time gate signal 2106 and the waveform 2105. Θx represents the rotation axis of the remote scanning mechanism. θx is an example for explanation, and any of the drive shafts may be used in addition to the other rotation axes θy and θz.
回転軸θxを変化させると、θxに対して距離R(θx)が変化する。例えば、距離R0に設定したい場合、距離R(θx)が最も距離R0に近づく値(表示部105Dにおける表示において、センサ回転角度2103の場合)、あるいは、距離R0と距離R(θx)の差の絶対値が最小値となるθxを教示値として設定することができる。
When the rotation axis θx is changed, the distance R (θx) changes with respect to θx. For example, when it is desired to set the distance R0, the value of the distance R (θx) closest to the distance R0 (in the case of the sensor rotation angle 2103 in the display on the
このようにティーチングの段階で精度のよい教示値を設定することで、探傷時の確認(ステップS210)の設定値とのずれを予め低減することができ、より効率的に短時間で探傷を行うことが可能となる。 Thus, by setting a highly accurate teaching value at the teaching stage, the deviation from the setting value in the confirmation at the time of flaw detection (step S210) can be reduced in advance, and flaw detection is performed more efficiently in a short time. It becomes possible.
ここで、図12〜図15を用いて、センサと被検体の関係について説明する。 Here, the relationship between the sensor and the subject will be described with reference to FIGS.
図12〜図15は、超音波探傷方法におけるセンサと被検体の関係の説明図である。 12 to 15 are explanatory diagrams of the relationship between the sensor and the subject in the ultrasonic flaw detection method.
以下、中間媒質を介して超音波を被検体である構造物に送信する場合、例として水浸法の場合における超音波と被検体の位置関係の変化について説明する。 Hereinafter, in the case where ultrasonic waves are transmitted to a structure that is a subject via an intermediate medium, a change in the positional relationship between the ultrasonic waves and the subject in the case of the water immersion method will be described as an example.
図12に示すように、被検体101の表面210は曲面を有し、超音波の入射点をA点からB点に変化するように探触子を走査する場合を考える。A点では、超音波入射点203Aの接線204Aに直交する法線に対して、角度θAだけ傾斜して探触子202Aが設置される。このように配置することで、超音波208Aは被検体上の入射点203Aに角度θAで入射し、被検体表面で角度θA’で屈折することにより、鋼材中を伝搬する斜角超音波209Aが得られる。
As shown in FIG. 12, a case is considered where the surface 210 of the subject 101 has a curved surface, and the probe is scanned so that the ultrasonic incident point changes from point A to point B. At point A, the
図12は、探傷条件を考慮しない探触子走査の例を示している。超音波探触子を、単に位置202Aから、平行移動して位置202Bに走査すると、入射点203Bに対する接線204Bに直交する法線に対して、超音波208Bは、角度θBで入射し、被検体表面で角度θB’に屈折し、斜角超音209Bとして伝搬する。
FIG. 12 shows an example of probe scanning not considering flaw detection conditions. When the ultrasonic probe is simply translated from the
このとき、A点における、被検体に対する屈折角θA’と、B点における被検体に対する屈折角θB’の向きが異なっている。超音波探傷時に、角度のずれがあったか否かを確認できず、ずれがなかったとして評価すると、実際の屈折角が異なるために、精度のよい評価ができない。このため、一般に、超音波検査では、被検体(または被検体内部の反射源)に対して、同じ角度(例えば、45°)を維持して検査することが求められており、屈折角の変化がないように探触子を移動する必要がある。 At this time, the refraction angle θA ′ with respect to the subject at point A and the refraction angle θB ′ with respect to the subject at point B are different. It is not possible to confirm whether or not there has been a deviation in angle during ultrasonic flaw detection, and if it is evaluated that there has been no deviation, an accurate evaluation cannot be performed because the actual refraction angle is different. For this reason, in general, in an ultrasonic examination, it is required to inspect an object (or a reflection source inside the object) while maintaining the same angle (for example, 45 °), and a change in refraction angle is required. It is necessary to move the probe so that there is no.
水浸法で用いる中間媒質(水)と、被検体(例えば、鉄鋼)に関して、縦波超音波の伝搬速度を比較すると、水の音速V1=1500m/s、鋼材の音速V2=6000m/sと4倍音速が異なる。このため、Snellの法則から、水からの入射角θ1と、鋼材への屈折角θ2には、以下の式(2)の関係が成立する。
sinθ2 = sinθ1×(V2/V1) …(2)
すなわち、音速比(V2/V1)が大きいほど、屈折による角度変化が大きくなる。例えば、θ1=0°から微小角度Δθだけ入射角がずれたとすると、超音波探傷結果を評価する際に、そのずれ量を把握できない場合は、ずれが無いものとして処理するため、音速比V2/V1=4であるため、鋼材中の屈折角は、4Δθと大きなずれが生じる。
Comparing the propagation speed of longitudinal ultrasonic waves for the intermediate medium (water) used in the water immersion method and the subject (for example, steel), the sound velocity of water V1 = 1500 m / s and the sound velocity of steel V2 = 6000 m / s. Quad sound speed is different. For this reason, the relationship of the following formula | equation (2) is materialized by the incident angle (theta) 1 from water, and the refraction angle (theta) 2 to steel materials from Snell's law.
sin θ2 = sin θ1 × (V2 / V1) (2)
That is, the greater the sound speed ratio (V2 / V1), the greater the angular change due to refraction. For example, if the incident angle is deviated by a small angle Δθ from θ1 = 0 °, when evaluating the ultrasonic flaw detection result, if the deviation amount cannot be grasped, the sound speed ratio V2 / Since V1 = 4, the refraction angle in the steel material has a large deviation of 4Δθ.
さらに、探触子から超音波が発信する点と被検体上の超音波入射点の距離(水距離)についても、点207Aから点203Aの距離と、点207Bから点203Bの距離は異なっている。
Further, the distance from the
従って、A点とB点における超音波受信波形を比較すると、図13(A),(B)のように、被検体表面からの信号(301Aと301B)と被検体内部からの信号(302Aと302B)の受信時間が時間差Δtだけ異なる波形となる。超音波検査では、受信信号の時間によって、反射源の位置や性状を特定するため、反射源からの信号の受信時間が、探触子位置によって異なることがないように探触子位置を移動する必要がある。 Therefore, when the ultrasonic wave reception waveforms at the points A and B are compared, as shown in FIGS. 13A and 13B, the signals (301A and 301B) from the subject surface and the signals (302A and 302A) from the inside of the subject are obtained. 302B), the reception time is different by the time difference Δt. In ultrasonic inspection, the position and properties of the reflection source are specified according to the time of the received signal. Therefore, the probe position is moved so that the reception time of the signal from the reflection source does not vary depending on the probe position. There is a need.
受信信号の時間的なずれに関して、水中の伝搬距離をD1、鋼材中の伝搬距離をD2とすると、片道伝搬時間Tは、式(3)で表される。
T=(D1/V1)+(D2/V2) …(3)
ここで、超音波探傷器は、被検体の音速V2を用いて、伝搬時間を伝搬距離に換算して表示する場合が一般的であるので、式(2)の伝搬時間を、鋼材中の伝搬距離Wに変換すると、式(4)と表すことができる。
W=D1×(V2/V1)+D2 …(4)
したがって、水中の伝搬距離D1がΔDずれたとすると、音速比V2/V1=4であるため、超音波探傷実施時に、伝搬距離のずれを把握できない場合、超音波探傷器上に表示される片道伝搬路程Wは、4ΔDと大きなずれとして表示され、評価結果の誤差の要因となる。
With respect to the time lag of the received signal, if the propagation distance in water is D1 and the propagation distance in steel is D2, the one-way propagation time T is expressed by Equation (3).
T = (D1 / V1) + (D2 / V2) (3)
Here, since the ultrasonic flaw detector generally uses the sound velocity V2 of the subject and displays the propagation time converted into the propagation distance, the propagation time of the equation (2) is expressed as the propagation in the steel material. When converted into the distance W, it can be expressed as equation (4).
W = D1 × (V2 / V1) + D2 (4)
Accordingly, if the propagation distance D1 in water is deviated by ΔD, the sound velocity ratio V2 / V1 = 4. Therefore, when the ultrasonic wave flaw detection cannot be performed, the one-way propagation displayed on the ultrasonic flaw detector The path W is displayed as a large deviation of 4ΔD, which causes an error in the evaluation result.
このように、水浸法などの媒質を介する超音波検査では、探触子位置の角度や被検体との距離を正しく設定し、また、探傷実施時の実際の位置関係を把握することが、正確な評価において必要となる。 In this way, in ultrasonic inspection through a medium such as the water immersion method, it is possible to correctly set the angle of the probe position and the distance to the subject, and to grasp the actual positional relationship at the time of flaw detection, Necessary for accurate evaluation.
次に、図14を用いて、探傷条件を考慮した探触子走査の例について説明する。超音波探触子を、位置202Aから、位置402Bに走査する際に、入射点203Bに対する接線204Bに直交する法線に対して、超音波406Bが、角度θBと等しい角度406Bで入射するように探触子の角度を設定されていれば、被検体表面で角度210Aと等しい角度410Bで屈折し、斜角超音409Bとして伝搬する。
Next, an example of probe scanning in consideration of flaw detection conditions will be described with reference to FIG. When scanning the ultrasonic probe from the
したがって、探触子と被検体表面の角度を一定に保った状態に設定し、探触子位置402Bにおいて、探触子表面の垂直方向408Bに探触子を移動させることで、図15に示すように、被検体に対する屈折角を維持した状態で、音響レンズを設置した探触子を位置407Cに移動させることで、被検体表面201に接触させることができる。
Accordingly, the angle between the probe and the subject surface is set to be constant, and the probe is moved in the
なお、探触子が被検体に接触するまでの間は、被検体表面からの反射波の伝搬時間303により被検体表面までの距離を測定することができる。
Until the probe contacts the subject, the distance to the subject surface can be measured from the
音響レンズ内の伝搬距離をD0(音速V0)、水中の伝搬距離をD1、鋼材中の伝搬距離をD2とすると、片道伝搬時間Tは、以下の式(5)のように書くことができる。
T=(D0/V0)+(D1/V1)+(D2/V2) …(5)
超音波探傷器は、被検体の音速V2を用いて、伝搬時間を伝搬距離に換算して表示する場合が一般的であるので、式(5)の伝搬時間を、鋼材中の伝搬距離Wに変換すると、式(6)のように書くことができる。
W=D0×(V2/V0)+D1×(V2/V1)+D2 …(6)
接触状態では、音響レンズによる伝搬距離W0(式(7))のみとなるので、伝搬距離WがW0との距離差により、接触までの距離を評価することができる。
W0=D0×(V2/V0) …(7)
なお、このとき、伝搬距離を中間媒質である水の音速で換算してもよいし、また、音響レンズの伝搬距離W0を予め、伝搬距離Wから減算して評価してもよい。
If the propagation distance in the acoustic lens is D0 (sonic velocity V0), the propagation distance in water is D1, and the propagation distance in steel is D2, the one-way propagation time T can be written as in the following equation (5).
T = (D0 / V0) + (D1 / V1) + (D2 / V2) (5)
Since the ultrasonic flaw detector generally uses the sound velocity V2 of the subject to display the propagation time converted into the propagation distance, the propagation time of the equation (5) is set to the propagation distance W in the steel material. When converted, it can be written as equation (6).
W = D0 × (V2 / V0) + D1 × (V2 / V1) + D2 (6)
In the contact state, only the propagation distance W0 (formula (7)) by the acoustic lens is present, and therefore the distance to the contact can be evaluated based on the difference in distance from the propagation distance W to W0.
W0 = D0 × (V2 / V0) (7)
At this time, the propagation distance may be converted by the sound velocity of water as an intermediate medium, or the acoustic lens propagation distance W0 may be subtracted from the propagation distance W in advance for evaluation.
次に、図16〜図17を用いて、音響レンズを設置したアレイ探触子により水などの中間媒質を介して、フェーズドアレイ法により超音波探傷法を実施する場合について説明する。
図16〜図17は、音響レンズを設置したアレイ探触子により水などの中間媒質を介して、フェーズドアレイ法により超音波探傷法を実施する場合の説明図である。
Next, a case where an ultrasonic flaw detection method is performed by a phased array method through an intermediate medium such as water with an array probe provided with an acoustic lens will be described with reference to FIGS.
FIGS. 16 to 17 are explanatory diagrams when the ultrasonic flaw detection method is performed by the phased array method through an intermediate medium such as water with an array probe in which an acoustic lens is installed.
アレイ探触子を被検体表面に接触させるまでの途中の過程においては、音高レンズと被検体表面は接触していない。したがって、アレイ探触子と被検体表面の位置関係が適切に設定されていない状態、すなわち正対しない状態でアレイ探触子を被検体に接触させると、被検体とアレイ探触子が接触した際にも、正対しない状態が維持されることになる。 In the middle of the process until the array probe is brought into contact with the subject surface, the pitch lens and the subject surface are not in contact. Therefore, when the positional relationship between the array probe and the surface of the subject is not properly set, that is, when the array probe is brought into contact with the subject without facing it, the subject and the array probe come into contact with each other. Even in such a case, a state of not facing directly is maintained.
例えば、ある探触子位置において、アレイ探触子100A,100Bと被検体101が正対しているとする。図16は正対している場合のアレイ探触子と被検体の模式図である。ここで、正対とは、例えば、アレイ探触子の下面706と、アレイ探触子下面の中心702における鉛直方向直下の被検体の接平面701が平行であることを意味する。この場合、アレイ探触子101Aの送信点702から超音波が送信され、被検体上の入射点位置703から被検体中に屈折し、被検体中の点704の方向に超音波が伝搬する。もしも、位置704に反射源が位置していれば、送信と逆方向に、すなわち、反射源位置704、入射点位置703、送信点(=受信点)702に超音波が伝搬し、アレイ探触子100Bで受信される。
For example, it is assumed that the array probes 100A and 100B and the subject 101 face each other at a certain probe position. FIG. 16 is a schematic diagram of an array probe and a subject when facing each other. Here, the term “facing” means, for example, that the
受信信号の強度を、白黒またはカラーで特徴づけして、受信信号を伝搬経路上に表示する。なお、アレイ探触子から送信される超音波は、ディレイパターンにより送信及び受信の角度を変化させることができるので、得られる画像は、被検体の内部に、扇状の領域705Aとして、受信波形の強度マップが白黒またはカラーで表示される。
The intensity of the received signal is characterized by black and white or color, and the received signal is displayed on the propagation path. In addition, since the ultrasonic wave transmitted from the array probe can change the transmission and reception angles according to the delay pattern, the obtained image is a fan-shaped
ここで、AUTにより、アレイ探触子位置が別の点に移動し、正対関係が維持できなくなったとする。このときのアレイ探触子と被検体の位置関係を図17に示す。アレイ探触子と被検体の正対が保たれていない場合には、アレイ探触子100A,100Bの送信点802から送信される超音波は被検体上の入射点位置803に入射され、屈折して、被検体内の点804に向けて伝搬する。このとき、アレイ探触子と被検体の位置関係が、ある点(図16)と別の点(図17)で異なる場合、アレイ探触子から送信される超音波の角度は同じであっても、超音波の被検体に対する入射角が異なるため、屈折角が異なり、実際には、領域805のような断面画像で表示されるべき領域を検査することになる。しかしながら、位置関係の変化を想定しない場合、超音波の被検体への屈折角は正対を仮定した表示となるため、本来805のように画像を表示しなければならないところを、705Bのように表示することになる。このように、断面図がずれることにより、アレイ探触子と被検体の位置関係を制御しない場合、正確な探傷結果(断面図)が得られない可能性がある。
Here, it is assumed that the array probe position is moved to another point by AUT, and the facing relationship cannot be maintained. The positional relationship between the array probe and the subject at this time is shown in FIG. When the array probe and the subject are not in direct alignment, the ultrasonic waves transmitted from the transmission points 802 of the array probes 100A and 100B are incident on the
このように、より正確で信頼性の高い探傷結果を得る場合には、アレイ探触子と被検体の位置関係のうち、特に、被検体における超音波入射位置(アレイ探触子と被検体表面のなす角度)を調整することが必要である。 Thus, in order to obtain a more accurate and reliable flaw detection result, among the positional relationship between the array probe and the subject, in particular, the ultrasonic incident position (the array probe and the subject surface) on the subject. It is necessary to adjust the angle between the two.
アレイ探触子と被検体表面の相互の位置調整を実施するには、音響レンズ100Cと被検体表面601が接触していない状態における、位置調整が必要である。その理由は、遠隔走査機構で被検体を検査する場合、被検体の正確な位置関係が把握できていない可能性を考慮して、探触子等の検査装置と検査対象の干渉を回避するために、初期位置として、十分に接触しない位置関係に検査装置を設置することが行われるためである。
In order to perform mutual position adjustment between the array probe and the subject surface, position adjustment is required in a state where the
本実施形態では、アレイ探触子と被検体表面の相互の位置調整は、図5にて説明したように被検体表面の形状をティーチングすることでなしえる。アレイ探触子と被検体表面の相互の位置調整を行うことで、図7にて説明したように複雑な表面形状を有する被検体の探傷を行える。 In the present embodiment, the mutual position adjustment between the array probe and the subject surface can be performed by teaching the shape of the subject surface as described with reference to FIG. By performing mutual positional adjustment between the array probe and the subject surface, the subject having a complicated surface shape can be detected as described with reference to FIG.
以上説明したように、本実施形態によれば、音響レンズを備えたアレイ探触子を、アレイ探触子を構成する2つの素子群をそれぞれ送信専用と受信専用に設定することで、音響レンズ内の多重反射によるノイズを低減することで、被検体内部からの反射波を受信することができ、被検体の音速による探傷を実施することができる。 As described above, according to the present embodiment, the array probe including the acoustic lens is set so that the two element groups constituting the array probe are dedicated to transmission and reception, respectively. By reducing noise due to multiple reflections in the inside, a reflected wave from the inside of the subject can be received, and flaw detection can be performed at the sound speed of the subject.
さらに、通常実施される被検体の音速による探傷に加えて、アレイ探触子を構成する2つの素子群に分割し、2つの素子群のうち少なくとも一方を送受信兼用に設定することで、被検体表面からの反射波を受信することができ、アレイ探触子と被検体の間に存在する媒体の音速による探傷を行うことで、被検体表面の形状の特定ができるとともに、アレイ探触子と被検体の距離を特定することができる。 Further, in addition to the flaw detection based on the sound velocity of the subject that is normally performed, the subject is divided into two element groups constituting the array probe, and at least one of the two element groups is set to be used for both transmission and reception. The reflected wave from the surface can be received, and the surface shape of the subject can be specified by performing flaw detection at the sound velocity of the medium existing between the array probe and the subject. The distance of the subject can be specified.
また、被検体表面からの信号の強度により、アレイ探触子と被検体を正対位置に設定することが可能である。 Further, it is possible to set the array probe and the subject at the directly facing position according to the intensity of the signal from the subject surface.
したがって、音響レンズを備えたアレイ探触子により被検体と音響レンズを接触される直接接触法による探傷方法において、アレイ探触子と被検体表面が接触していない初期の状態において、両者の位置関係を特定することができ、位置関係にずれが生じた場合であっても、媒体の音速による探傷結果から、アレイ探触子と被検体の距離及び角度を特定することができるため、位置関係のずれを補正し、アレイ探触子を被検体表面に接触させるように位置調整を行うことができ、位置精度の正確な探傷結果を提供することが可能となる。 Therefore, in the flaw detection method based on the direct contact method in which the object and the acoustic lens are brought into contact with the array probe having the acoustic lens, the positions of both in the initial state where the array probe and the object surface are not in contact with each other. The relationship can be specified, and even if there is a deviation in the positional relationship, the distance and angle between the array probe and the subject can be specified from the flaw detection result based on the sound velocity of the medium. Therefore, the position adjustment can be performed so that the array probe is brought into contact with the surface of the subject, and an accurate flaw detection result with accurate position accuracy can be provided.
また、探傷の実施前に行うティーチングにおいて、媒体の音速を用いた被検体表面からの反射波の画像と、被検体の音速を用いた被検体内部からの信号を併用することで、アレイ探触子の位置に対して、より正確な教示点を提供でき、探傷時の位置関係のずれを低減することが可能となり、位置精度の正確な探傷結果を提供することが可能となる。 In addition, in the teaching performed before flaw detection, an array probe is used by combining the image of the reflected wave from the surface of the subject using the sound velocity of the medium and the signal from the inside of the subject using the sound velocity of the subject. It is possible to provide more accurate teaching points with respect to the child positions, to reduce the positional deviation during flaw detection, and to provide flaw detection results with accurate position accuracy.
また、探傷前に行うティーチングにおいて、探傷より以前に実施した自動走査のティーチング情報がある場合には、その情報を利用することで、より正確に、アレイ探触子の位置に対する教示点を提供でき、探傷時の位置関係のずれを低減することが可能となり、正確な探傷結果を提供することが可能となる。 In addition, if there is teaching information for automatic scanning performed prior to flaw detection in teaching performed prior to flaw detection, this information can be used to provide teaching points for the position of the array probe more accurately. In addition, it is possible to reduce the deviation of the positional relationship at the time of flaw detection, and it is possible to provide an accurate flaw detection result.
また、被検体の音速による音響画像の表示により、欠陥の検査が可能となるとともに、前記媒体の音速による音響画像を表示することにより、アレイ探触子と被検体の位置関係を特定でき、被検体表面に対するアレイ探触子の位置調整が可能となり、被検体表面に接触した後に実施する被検体音速による探傷結果の音響画像において、反射源位置の測定位置精度や欠陥寸法測定の精度が向上する。
In addition, the defect image can be inspected by displaying the acoustic image based on the sound velocity of the subject, and the positional relationship between the array probe and the subject can be specified by displaying the acoustic image based on the sound velocity of the medium. The position of the array probe relative to the surface of the specimen can be adjusted, and the measurement position accuracy of the reflection source position and the accuracy of the defect dimension measurement are improved in the acoustic image of the flaw detection result obtained by the sound velocity of the subject performed after contacting the surface of the specimen. .
100,100A,100B…アレイ探触子
100C…音響レンズ
101…被検体
102…遠隔走査機構
104…超音波送受信装置
105…超音波画像表示手段
100, 100A, 100B ...
Claims (2)
超音波送受信装置を用いて、前記被検体に対する前記超音波探触子を所定の距離及び角度に保つ走査を可能とするための探触子位置のティーチングを実施し、
前記ティーチングは、超音波を前記媒体に送信し、前記被検体の表面からの反射波を第一の受信信号として受信し、前記第一の受信信号による探傷画像を、前記媒体の音速を用いて第一の音響画像として記録して表示して、前記被検体の表面プロファイルを得るようにし、
前記ティーチングによって得られた前記被検体の表面プロファイルを元に、駆動制御装置により前記被検体に対する前記超音波探触子を所定の距離及び角度に保つようにして、前記超音波送受信装置を用いて前記被検体の探傷を実施し、
前記被検体の探傷は、超音波を前記媒体を介して前記被検体の内部に送信し、前記被検体の内部からの反射波を第二の受信信号として受信し、前記第二の受信信号による探傷画像を、前記被検体の音速を用いて第二の音響画像として記録して表示し、これと同時にまたは切り替えて、前記被検体の表面からの反射波を第一の受信信号として受信し、前記第一の受信信号による探傷画像を、前記媒体の音速を用いて第一の音響画像として表示することを特徴とする超音波探傷方法。 An ultrasonic wave transmitted from an ultrasonic probe comprising an array probe to an object via an acoustic lens and a medium and scanning the ultrasonic probe using a remote scanning mechanism A flaw detection method,
Using an ultrasonic transmitter / receiver, teaching the probe position to enable scanning to keep the ultrasonic probe at a predetermined distance and angle with respect to the subject,
The teaching transmits ultrasonic waves to the medium, receives a reflected wave from the surface of the subject as a first reception signal, and uses the sound speed of the medium to detect a flaw detection image based on the first reception signal. Recording and displaying as a first acoustic image so as to obtain the surface profile of the subject,
Based on the surface profile of the subject obtained by the teaching, the ultrasonic probe with respect to the subject is maintained at a predetermined distance and angle by a drive control device, and the ultrasonic transmitting / receiving device is used. Conducting a test of the subject ,
The inspection of the subject transmits ultrasonic waves to the inside of the subject through the medium, receives a reflected wave from the inside of the subject as a second reception signal, and uses the second reception signal. A flaw detection image is recorded and displayed as a second acoustic image using the sound velocity of the subject, and simultaneously or switching, a reflected wave from the surface of the subject is received as a first received signal, An ultrasonic flaw detection method comprising displaying a flaw detection image based on the first reception signal as a first acoustic image using a sound speed of the medium .
前記アレイ探触子が2つの素子群からなる第1と第2のアレイ探触子からなり、
前記第1及び第2のアレイ探触子の少なくとも一方を送受信兼用とし、前記被検体の表面からの反射波を第一の受信信号として受信し、前記第一の音響画像として表示し、
前記第1及び第2のアレイ探触子のうち、いずれかの一方を送信用、他方を受信用として設定し、前記被検体の内部からの反射波を第二の受信信号として受信し、前記第二の音響画像として表示することを特徴とする超音波探傷方法。 The ultrasonic flaw detection method according to claim 1,
The array probe comprises first and second array probes comprising two element groups;
Wherein at least one of the first and second arrays probe and both transmission and reception, the received reflected waves from the surface of the object as a first reception signal, and displayed as the first acoustic image,
One of the first and second array search unit, sets the one of the one for transmission and the other for the reception, receives the reflected waves from the inside of the subject as a second reception signal, wherein An ultrasonic flaw detection method characterized by displaying as a second acoustic image.
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