JPH1123477A - 円筒内面の検査装置 - Google Patents
円筒内面の検査装置Info
- Publication number
- JPH1123477A JPH1123477A JP18755997A JP18755997A JPH1123477A JP H1123477 A JPH1123477 A JP H1123477A JP 18755997 A JP18755997 A JP 18755997A JP 18755997 A JP18755997 A JP 18755997A JP H1123477 A JPH1123477 A JP H1123477A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- line sensor
- cylinder
- tube
- rotation angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 一回の走査で円筒内面を広域に撮像できるよ
うにし、もって検査能率の向上に大きく寄与する検査装
置を提供する。 【解決手段】 CCD撮像素子を直線状に配列してなる
ラインセンサ3を円筒1内に挿入して、回転駆動手段4
により回転させ、この間、ラインセンサ3とその回転角
度を検出するロータリエンコーダ5の信号を画像展開装
置10へ送出し、画像展開装置10において、ラインセ
ンサ3が撮像したライン画像をラインセンサの回転角度
に対応させて平面画像に展開し、この平面画像をCRT
11に表示させると共に、画像処理装置12で円筒内面
の欠陥を定量化して良否を自動判定させる。
うにし、もって検査能率の向上に大きく寄与する検査装
置を提供する。 【解決手段】 CCD撮像素子を直線状に配列してなる
ラインセンサ3を円筒1内に挿入して、回転駆動手段4
により回転させ、この間、ラインセンサ3とその回転角
度を検出するロータリエンコーダ5の信号を画像展開装
置10へ送出し、画像展開装置10において、ラインセ
ンサ3が撮像したライン画像をラインセンサの回転角度
に対応させて平面画像に展開し、この平面画像をCRT
11に表示させると共に、画像処理装置12で円筒内面
の欠陥を定量化して良否を自動判定させる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、筒状部品、管、ト
ンネルなどの円筒内面の状態、特に傷、割れ、鋳巣等の
欠陥の有無を検査するための検査装置に関する。
ンネルなどの円筒内面の状態、特に傷、割れ、鋳巣等の
欠陥の有無を検査するための検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の円筒内面の検査装置とし
ては、例えば特開平6−18426号公報に記載される
ように、円筒内面を回転ミラーで円周方向に走査して受
光部(CCD素子等)に結像させ、この画像を直線状画
像に展開して表示させるようにしたものが、また特開平
6−241760号公報には、円錐形ミラーを介してテ
レビカメラのCCD素子に円形帯状画像を結像させ、こ
の画像に設定した円形の取込線上にある画素を一列に取
出して、直線状画像に展開して表示させるようにしたも
のがあった。
ては、例えば特開平6−18426号公報に記載される
ように、円筒内面を回転ミラーで円周方向に走査して受
光部(CCD素子等)に結像させ、この画像を直線状画
像に展開して表示させるようにしたものが、また特開平
6−241760号公報には、円錐形ミラーを介してテ
レビカメラのCCD素子に円形帯状画像を結像させ、こ
の画像に設定した円形の取込線上にある画素を一列に取
出して、直線状画像に展開して表示させるようにしたも
のがあった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記2
つの公報に記載の検査装置によれば、何れもミラーを介
して取込んだ円周方向の画像を直線状画像に展開する方
式であるため、円筒内面の全域を検査するには、円筒の
軸方向へミラーを連続的に送って多数の画像を取り込ま
なければならず、一つの円筒内面を検査するのに時間が
かかって、検査費用が嵩み、その上、インラインでの使
用が困難になるという問題があった。
つの公報に記載の検査装置によれば、何れもミラーを介
して取込んだ円周方向の画像を直線状画像に展開する方
式であるため、円筒内面の全域を検査するには、円筒の
軸方向へミラーを連続的に送って多数の画像を取り込ま
なければならず、一つの円筒内面を検査するのに時間が
かかって、検査費用が嵩み、その上、インラインでの使
用が困難になるという問題があった。
【0004】本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなさ
れたもので、その目的とするところは、一回の走査で円
筒内面を広域に撮像でき、もって検査能率の向上に大き
く寄与する円筒内面の検査装置を提供することにある。
れたもので、その目的とするところは、一回の走査で円
筒内面を広域に撮像でき、もって検査能率の向上に大き
く寄与する円筒内面の検査装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1に記載の発明は、撮像素子を直線状に配列
してなるラインセンサと、円筒内に挿入されたラインセ
ンサを、その長手方向に延ばした軸を中心に回転させる
回転駆動手段と、前記ラインセンサの回転角度を検出す
る回転角検出手段と、前記ラインセンサおよび前記回転
角検出手段から信号を取込んで平面画像に展開する画像
展開装置と、該画像展開装置で得た平面画像を表示する
表示手段とを備える構成としたことを特徴とする。
め、請求項1に記載の発明は、撮像素子を直線状に配列
してなるラインセンサと、円筒内に挿入されたラインセ
ンサを、その長手方向に延ばした軸を中心に回転させる
回転駆動手段と、前記ラインセンサの回転角度を検出す
る回転角検出手段と、前記ラインセンサおよび前記回転
角検出手段から信号を取込んで平面画像に展開する画像
展開装置と、該画像展開装置で得た平面画像を表示する
表示手段とを備える構成としたことを特徴とする。
【0006】この請求項1に記載の発明においては、適
当な長さのラインセンサを円筒内に挿入し、これを回転
駆動手段により一回転させることで、ラインセンサの長
さにほゞ相当する範囲の円筒内面を撮像することがで
き、したがって、このラインセンサで求めた画像を画像
展開装置で平面画像に展開して表示手段に表示させれ
ば、きわめて短時間に円筒内面の検査を終えることがで
きる。
当な長さのラインセンサを円筒内に挿入し、これを回転
駆動手段により一回転させることで、ラインセンサの長
さにほゞ相当する範囲の円筒内面を撮像することがで
き、したがって、このラインセンサで求めた画像を画像
展開装置で平面画像に展開して表示手段に表示させれ
ば、きわめて短時間に円筒内面の検査を終えることがで
きる。
【0007】こゝで、上記ラインセンサと、回転駆動手
段と回転角検出手段とは、請求項2に記載の発明のよう
に、一体的に組付けてユニット化することができ、この
ようにユニット化することで、装置が小型化してその取
扱いが容易になる。
段と回転角検出手段とは、請求項2に記載の発明のよう
に、一体的に組付けてユニット化することができ、この
ようにユニット化することで、装置が小型化してその取
扱いが容易になる。
【0008】また、請求項3に記載の発明のように、上
記画像展開装置で得た平面画像を画像処理して、円筒内
面の状態を定量化する画像処理装置をさらに設ける構成
としても良く、この場合は、検査員の官能に頼ることな
く円筒内面の状態を正確に把握して、その良否を的確に
判定することができる。
記画像展開装置で得た平面画像を画像処理して、円筒内
面の状態を定量化する画像処理装置をさらに設ける構成
としても良く、この場合は、検査員の官能に頼ることな
く円筒内面の状態を正確に把握して、その良否を的確に
判定することができる。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基いて説明する。
図面に基いて説明する。
【0010】図1は、本発明にかゝる円筒内面の検査装
置を示したものである。同図において、1は被検査物と
しての円筒、2はこの円筒1の内面を撮影する撮影ユニ
ットである。撮影ユニット2は、ラインセンサ3と、こ
のラインセンサ3を、その長手方向に延ばした軸Cを中
心に回転させる回転駆動手段4と、ラインセンサ3の回
転角度を検出するロータリエンコーダ(回転角検出手
段)5とから構成されており、その全体は、図示を略す
直線移動手段に支持されて円筒1内に進退動できるよう
になっている。ラインセンサ3は、一面に多数の集光レ
ンズ6を直線状に配列した角筒状のケーシング7内に、
撮像素子としてのCCD(電荷結合素子)を直線状に配
列した撮像部と光源とを配設している(図示略)。ま
た、回転駆動手段4は、ケーシング8内に駆動源として
のモータとこのモータの回転をラインセンサ3に伝える
動力伝達機構とを配設している(図示略)。なお、ライ
ンセンサ3の光源は、ケーシング7の外部に設けても良
い。
置を示したものである。同図において、1は被検査物と
しての円筒、2はこの円筒1の内面を撮影する撮影ユニ
ットである。撮影ユニット2は、ラインセンサ3と、こ
のラインセンサ3を、その長手方向に延ばした軸Cを中
心に回転させる回転駆動手段4と、ラインセンサ3の回
転角度を検出するロータリエンコーダ(回転角検出手
段)5とから構成されており、その全体は、図示を略す
直線移動手段に支持されて円筒1内に進退動できるよう
になっている。ラインセンサ3は、一面に多数の集光レ
ンズ6を直線状に配列した角筒状のケーシング7内に、
撮像素子としてのCCD(電荷結合素子)を直線状に配
列した撮像部と光源とを配設している(図示略)。ま
た、回転駆動手段4は、ケーシング8内に駆動源として
のモータとこのモータの回転をラインセンサ3に伝える
動力伝達機構とを配設している(図示略)。なお、ライ
ンセンサ3の光源は、ケーシング7の外部に設けても良
い。
【0011】一方、画像展開装置10と表示手段(CR
T)11とが別途設けられ、画像展開装置10には前記
ラインセンサ3の出力部とロータリエンコーダ7の出力
部とから信号が入力されるようになっている。画像展開
装置10は、ラインセンサ3の撮像素子が取り込んだ直
線状画像(ライン画像)を、ラインセンサ3の所定回転
角ごと(通常、CCDの1画素分ごと)に記憶する機能
と、この記憶したライン画像をロータリエンコーダ5か
ら取り込んだ回転角度に対応させて平面画像に展開する
機能とを有しており、その平面画像はCRT11に表示
されるようになっている。本実施の形態においてはさら
に、前記画像展開装置10から平面画像の信号を取り込
んで画像処理する画像処理装置12を設けている。この
画像処理装置12は、前記平面画像に映し出されている
欠陥(傷、割れ、鋳巣等)の数、大きさ等を定量化して
基準値と比較すると共に、合否を判定する機能を有して
おり、その画像処理結果は前記CRT11に表示される
ようになっている。
T)11とが別途設けられ、画像展開装置10には前記
ラインセンサ3の出力部とロータリエンコーダ7の出力
部とから信号が入力されるようになっている。画像展開
装置10は、ラインセンサ3の撮像素子が取り込んだ直
線状画像(ライン画像)を、ラインセンサ3の所定回転
角ごと(通常、CCDの1画素分ごと)に記憶する機能
と、この記憶したライン画像をロータリエンコーダ5か
ら取り込んだ回転角度に対応させて平面画像に展開する
機能とを有しており、その平面画像はCRT11に表示
されるようになっている。本実施の形態においてはさら
に、前記画像展開装置10から平面画像の信号を取り込
んで画像処理する画像処理装置12を設けている。この
画像処理装置12は、前記平面画像に映し出されている
欠陥(傷、割れ、鋳巣等)の数、大きさ等を定量化して
基準値と比較すると共に、合否を判定する機能を有して
おり、その画像処理結果は前記CRT11に表示される
ようになっている。
【0012】円筒1の内面を検査するには、所定位置に
セットした円筒1に対して、図示を略す直線移動手段の
作動により撮影ユニット2を前進させ、先ず、ラインセ
ンサ3の部分が円筒1内に挿入されたところでその前進
を停止し、その停止位置で回転駆動手段4のモータの作
動によりラインセンサ3を所定の速度で回転させる。す
ると、ラインセンサ3の撮像素子に取り込まれた円筒1
内面の、軸方向のライン画像が画像展開装置10に所定
回転角度ごとに記憶され、ラインセンサ3が一回転した
時点で、画像展開装置10は前記記憶したライン画像を
ラインセンサ3の回転角度に対応させて平面画像に展開
し、その平面画像をCRT11に送って表示させる。こ
れと同時に、画像処理装置12は、前記画像展開装置1
0から取り込んだ平面画像を画像処理し、そこに映し出
されている欠陥(傷、割れ、鋳巣等)の数、大きさ等を
定量化して基準値と比較し、合否判定を行って、その結
果をCRT11に送って表示させる。
セットした円筒1に対して、図示を略す直線移動手段の
作動により撮影ユニット2を前進させ、先ず、ラインセ
ンサ3の部分が円筒1内に挿入されたところでその前進
を停止し、その停止位置で回転駆動手段4のモータの作
動によりラインセンサ3を所定の速度で回転させる。す
ると、ラインセンサ3の撮像素子に取り込まれた円筒1
内面の、軸方向のライン画像が画像展開装置10に所定
回転角度ごとに記憶され、ラインセンサ3が一回転した
時点で、画像展開装置10は前記記憶したライン画像を
ラインセンサ3の回転角度に対応させて平面画像に展開
し、その平面画像をCRT11に送って表示させる。こ
れと同時に、画像処理装置12は、前記画像展開装置1
0から取り込んだ平面画像を画像処理し、そこに映し出
されている欠陥(傷、割れ、鋳巣等)の数、大きさ等を
定量化して基準値と比較し、合否判定を行って、その結
果をCRT11に送って表示させる。
【0013】そして、上記検査で合格の判定が出たら、
再び直線移動手段の作動により撮影ユニット2を前進さ
せ、ラインセンサ3の後端が先の検査位置の前端とわず
かラップする位置で前進を停止し、その停止位置で再び
ラインセンサ3を回転させて、上記したと同様に円筒1
内面の検査を行う。円筒1がラインセンサ3よりかなり
長い場合は、この検査結果に応じて前記手順を繰り返
し、円筒1の内面の全域の検査を終える。
再び直線移動手段の作動により撮影ユニット2を前進さ
せ、ラインセンサ3の後端が先の検査位置の前端とわず
かラップする位置で前進を停止し、その停止位置で再び
ラインセンサ3を回転させて、上記したと同様に円筒1
内面の検査を行う。円筒1がラインセンサ3よりかなり
長い場合は、この検査結果に応じて前記手順を繰り返
し、円筒1の内面の全域の検査を終える。
【0014】このように、ラインセンサ3を回転させ
て、一度に円筒1内面を広域に検査することができるの
で、円筒1の長さ方向に複数回の検査を行う場合でも短
時間で検査を終えることができる。もちろん、円筒1の
長さに相当する長さを有するラインセンサ3を用意して
も良く、この場合は、ラインセンサ3の一回の回転で円
筒1の内面の全域の検査が終了し、検査時間は著しく短
縮される。特に、本実施の形態では画像処理装置12に
より欠陥を自動判定するようにしているので、CRT1
1上の画面を目視して判定する場合に比べて間違いがな
く、検査に対する信頼性は著しく高まるものとなる。
て、一度に円筒1内面を広域に検査することができるの
で、円筒1の長さ方向に複数回の検査を行う場合でも短
時間で検査を終えることができる。もちろん、円筒1の
長さに相当する長さを有するラインセンサ3を用意して
も良く、この場合は、ラインセンサ3の一回の回転で円
筒1の内面の全域の検査が終了し、検査時間は著しく短
縮される。特に、本実施の形態では画像処理装置12に
より欠陥を自動判定するようにしているので、CRT1
1上の画面を目視して判定する場合に比べて間違いがな
く、検査に対する信頼性は著しく高まるものとなる。
【0015】
【発明の効果】以上、説明したように、請求項1に記載
の発明によれば、ラインセンサを一回転させるだけで円
筒内面を広域に撮像できるので、短時間で検査を終える
ことができ、検査費用の大幅な低減を達成できることは
もちろん、インラインでの使用も可能になって、その利
用価値が向上する。また、請求項2に記載の発明によれ
ば、ラインセンサと、回転駆動手段と回転角検出手段と
を一体的に組付けてユニット化しているので、装置が小
型化してその取扱いは容易となり、利用価値はより一層
向上するものとなる。さらに、請求項3に記載の発明に
よれば、画像処理装置により欠陥を定量化して合否を自
動判定することができるので、上記請求項1または2に
記載の発明の効果に加えて、装置に対する信頼性が著し
く向上する。
の発明によれば、ラインセンサを一回転させるだけで円
筒内面を広域に撮像できるので、短時間で検査を終える
ことができ、検査費用の大幅な低減を達成できることは
もちろん、インラインでの使用も可能になって、その利
用価値が向上する。また、請求項2に記載の発明によれ
ば、ラインセンサと、回転駆動手段と回転角検出手段と
を一体的に組付けてユニット化しているので、装置が小
型化してその取扱いは容易となり、利用価値はより一層
向上するものとなる。さらに、請求項3に記載の発明に
よれば、画像処理装置により欠陥を定量化して合否を自
動判定することができるので、上記請求項1または2に
記載の発明の効果に加えて、装置に対する信頼性が著し
く向上する。
【図1】本発明にかゝる円筒内面の検査装置の構造を示
す模式図である。
す模式図である。
1 円筒 2 撮影ユニット 3 ラインセンサ 4 回転駆動手段 5 ロータリエンコーダ(回転角検出手段) 10 画像展開装置 11 表示手段(CRT) 12 画像処理装置
Claims (3)
- 【請求項1】 撮像素子を直線状に配列してなるライン
センサと、円筒内に挿入されたラインセンサを、その長
手方向に延ばした軸を中心に回転させる回転駆動手段
と、前記ラインセンサの回転角度を検出する回転角検出
手段と、前記ラインセンサおよび前記回転角検出手段か
ら信号を取込んで平面画像に展開する画像展開装置と、
該画像展開装置で得た平面画像を表示する表示手段とを
備えたことを特徴とする円筒内面の検査装置。 - 【請求項2】 ラインセンサと、回転駆動手段と回転角
検出手段とを一体的に組付けてユニット化したことを特
徴とする請求項1に記載の円筒内面の検査装置。 - 【請求項3】 画像展開装置で得た平面画像を画像処理
して、円筒内面の状態を定量化する画像処理装置をさら
に設けたことを特徴とする請求項1または2に記載の円
筒内面の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18755997A JPH1123477A (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | 円筒内面の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18755997A JPH1123477A (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | 円筒内面の検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1123477A true JPH1123477A (ja) | 1999-01-29 |
Family
ID=16208210
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18755997A Pending JPH1123477A (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | 円筒内面の検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1123477A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100357613B1 (ko) * | 2000-12-26 | 2002-10-25 | 현대자동차주식회사 | 라이너 표면 스캐닝 시스템 |
JP2009210588A (ja) * | 2009-06-25 | 2009-09-17 | Ito Juichi | 孔壁面検査装置及びコンクリート構造物の検査方法 |
GB2473230A (en) * | 2009-09-03 | 2011-03-09 | Molins Plc | Automated cigarette production line inspection apparatus using a contact image sensor to examine a rotating smoking article |
WO2012080686A1 (en) * | 2010-12-15 | 2012-06-21 | Molins Plc | Apparatus for imaging features of a rod |
JP2015152520A (ja) * | 2014-02-18 | 2015-08-24 | 株式会社神戸製鋼所 | 検査装置 |
JP2015155148A (ja) * | 2014-02-20 | 2015-08-27 | 株式会社神戸製鋼所 | 混練室内壁検査装置 |
KR20170012377A (ko) | 2014-07-08 | 2017-02-02 | 닛산 지도우샤 가부시키가이샤 | 결함 검사 장치 및 생산 시스템 |
CN108663372A (zh) * | 2018-05-08 | 2018-10-16 | 无锡九霄科技有限公司 | 一种基于线阵相机的内窥式腔体零部件外观检测方法 |
CN112051272A (zh) * | 2020-10-10 | 2020-12-08 | 沈阳工业大学 | 一种基于机器视觉的高压气瓶内表面缺陷检测系统 |
CN113295713A (zh) * | 2021-07-28 | 2021-08-24 | 常州凯达重工科技有限公司 | 辊环内表面检测方法 |
-
1997
- 1997-06-27 JP JP18755997A patent/JPH1123477A/ja active Pending
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100357613B1 (ko) * | 2000-12-26 | 2002-10-25 | 현대자동차주식회사 | 라이너 표면 스캐닝 시스템 |
JP2009210588A (ja) * | 2009-06-25 | 2009-09-17 | Ito Juichi | 孔壁面検査装置及びコンクリート構造物の検査方法 |
GB2473230A (en) * | 2009-09-03 | 2011-03-09 | Molins Plc | Automated cigarette production line inspection apparatus using a contact image sensor to examine a rotating smoking article |
GB2473230B (en) * | 2009-09-03 | 2014-08-20 | Molins Plc | Apparatus for Imaging Features of a Rod |
WO2012080686A1 (en) * | 2010-12-15 | 2012-06-21 | Molins Plc | Apparatus for imaging features of a rod |
JP2015152520A (ja) * | 2014-02-18 | 2015-08-24 | 株式会社神戸製鋼所 | 検査装置 |
JP2015155148A (ja) * | 2014-02-20 | 2015-08-27 | 株式会社神戸製鋼所 | 混練室内壁検査装置 |
KR20170012377A (ko) | 2014-07-08 | 2017-02-02 | 닛산 지도우샤 가부시키가이샤 | 결함 검사 장치 및 생산 시스템 |
US9805457B2 (en) | 2014-07-08 | 2017-10-31 | Nissan Motor Co., Ltd. | Defect detection device and production system |
US10339645B2 (en) | 2014-07-08 | 2019-07-02 | Nissan Motor Co., Ltd. | Defect detection device and production system |
CN108663372A (zh) * | 2018-05-08 | 2018-10-16 | 无锡九霄科技有限公司 | 一种基于线阵相机的内窥式腔体零部件外观检测方法 |
CN112051272A (zh) * | 2020-10-10 | 2020-12-08 | 沈阳工业大学 | 一种基于机器视觉的高压气瓶内表面缺陷检测系统 |
CN113295713A (zh) * | 2021-07-28 | 2021-08-24 | 常州凯达重工科技有限公司 | 辊环内表面检测方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN104007122B (zh) | 基于转盘式流水线的圆柱状物体侧表面检测装置及方法 | |
JP4990630B2 (ja) | 表面検査装置及び表面検査方法 | |
JPH1123477A (ja) | 円筒内面の検査装置 | |
JP2007057305A (ja) | 筒内検査装置 | |
JP2021025878A (ja) | 磁粉探傷装置、及び磁粉探傷方法 | |
JPH08136464A (ja) | 円筒内面検視方法および円筒内面検視装置 | |
JP2921449B2 (ja) | ゴルフボールの外観検査方法及び外観検査装置 | |
JP2846052B2 (ja) | 円筒体の検査装置 | |
JP2001311693A (ja) | 検査装置 | |
JPH0593694A (ja) | 円筒面検査方法及びその装置 | |
JPH10176994A (ja) | 円筒体の内面検査装置 | |
JP2004045273A (ja) | 検査装置 | |
JP3454547B2 (ja) | 内面スキャナー装置 | |
JP2004333285A (ja) | 管路内の調査方法と装置 | |
JP3442199B2 (ja) | 表面検査装置 | |
KR101732384B1 (ko) | 실린더 내부의 이물질 검사 장치 | |
JPH06213624A (ja) | 帯状部材の標識線位置測定方法 | |
JP3155301B2 (ja) | 表面検査装置 | |
JPH07103740A (ja) | 円筒形物体の検出装置およびその検出方法 | |
JPH03226659A (ja) | 円筒内面検査装置 | |
JPH058524U (ja) | 管内面の光学的検査装置 | |
CN220022902U (zh) | 一种芯片检测装置 | |
JP5073346B2 (ja) | 画像読取装置用のレンズ検査方法及びレンズ検査装置 | |
JP3362981B2 (ja) | エッジをもつ透明体の欠陥検査方法 | |
JP3075273U (ja) | シリンダー内面検査装置 |