JPH1123455A - 紫外吸光式オゾンセンサ - Google Patents
紫外吸光式オゾンセンサInfo
- Publication number
- JPH1123455A JPH1123455A JP19654497A JP19654497A JPH1123455A JP H1123455 A JPH1123455 A JP H1123455A JP 19654497 A JP19654497 A JP 19654497A JP 19654497 A JP19654497 A JP 19654497A JP H1123455 A JPH1123455 A JP H1123455A
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- Japan
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- cell
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- Pending
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- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガスの入れ替わり時間を短縮する。
【解決手段】 空間を隔てた対向壁が透光板２４、２５
で構成され透光板以外の箇所にガスの入口と出口が設け
られたガス流路を内部に持つセル２２と、該セルの一方
の透光板の外側に設けられた紫外線ランプ６と、他方の
透光板の外側に設けられセルを透過した紫外線の光量を
測定する紫外線センサ７とを具備し、セル２２に対して
サンプリングガスとリファレンスガスを交互に流し、各
ガスを流したときの紫外線センサの信号に基づいてサン
プリングガス中のオゾン濃度を測定する紫外吸光式オゾ
ンセンサにおいて、セル２２のガス流路２３の入口２６
と出口２７とを、一方の透光板２４の近傍及び他方の透
光板２５の近傍にそれぞれ設けることで、互いに対向す
る位置からずらして配置し、且つ入口２６から出口２７
までのガス流路２３の流路断面を略一定に構成した。
で構成され透光板以外の箇所にガスの入口と出口が設け
られたガス流路を内部に持つセル２２と、該セルの一方
の透光板の外側に設けられた紫外線ランプ６と、他方の
透光板の外側に設けられセルを透過した紫外線の光量を
測定する紫外線センサ７とを具備し、セル２２に対して
サンプリングガスとリファレンスガスを交互に流し、各
ガスを流したときの紫外線センサの信号に基づいてサン
プリングガス中のオゾン濃度を測定する紫外吸光式オゾ
ンセンサにおいて、セル２２のガス流路２３の入口２６
と出口２７とを、一方の透光板２４の近傍及び他方の透
光板２５の近傍にそれぞれ設けることで、互いに対向す
る位置からずらして配置し、且つ入口２６から出口２７
までのガス流路２３の流路断面を略一定に構成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばオゾン殺菌
装置等においてオゾン濃度を測定するための紫外吸光式
オゾンセンサに関する。
装置等においてオゾン濃度を測定するための紫外吸光式
オゾンセンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】紫外吸光式オゾンセンサの原理は、特公
平８−２３５２４号公報等において知られているよう
に、セルの内部に測定ガスを導入し、その中に低圧水銀
ランプより発する紫外光を通し、セルを透過した光量を
反対側の紫外線センサで検出することにより、セル内で
のオゾンによる光の吸収の強さを測定する。そして、オ
ゾンを含んだガス（サンプリング）と、オゾンを取り除
いた基準ガス（リファレンスガス）との紫外線センサの
受光量の比をとることにより、オゾン濃度を算出すると
いうものである。
平８−２３５２４号公報等において知られているよう
に、セルの内部に測定ガスを導入し、その中に低圧水銀
ランプより発する紫外光を通し、セルを透過した光量を
反対側の紫外線センサで検出することにより、セル内で
のオゾンによる光の吸収の強さを測定する。そして、オ
ゾンを含んだガス（サンプリング）と、オゾンを取り除
いた基準ガス（リファレンスガス）との紫外線センサの
受光量の比をとることにより、オゾン濃度を算出すると
いうものである。
【０００３】この種のオゾンセンサとして、一つのセル
に対して、サンプリングガスとリファレンスガスを交互
に流す形式のものがある。図２はその形式の従来のオゾ
ンセンサ１を含む回路を示している。図において、１は
オゾンセンサ、２はオゾンセンサに対してサンプリング
ガスとリファレンスガスを交互に導入するための切換バ
ルブ、３は空気からオゾンを取り除いてリファレンスガ
ス（基準ガス）を生成する基準ガス生成装置である。サ
ンプリングガスとリファレンスガスは、ポンプ４による
吸引によりオゾンセンサ１内に取り込まれる。オゾンセ
ンサ１は、内部にガス流路８を持つセル５と、セル５に
紫外光を透過させる紫外線ランプ６と、セル５を透過し
た紫外線の光量を測定する紫外線センサ７とからなる。
に対して、サンプリングガスとリファレンスガスを交互
に流す形式のものがある。図２はその形式の従来のオゾ
ンセンサ１を含む回路を示している。図において、１は
オゾンセンサ、２はオゾンセンサに対してサンプリング
ガスとリファレンスガスを交互に導入するための切換バ
ルブ、３は空気からオゾンを取り除いてリファレンスガ
ス（基準ガス）を生成する基準ガス生成装置である。サ
ンプリングガスとリファレンスガスは、ポンプ４による
吸引によりオゾンセンサ１内に取り込まれる。オゾンセ
ンサ１は、内部にガス流路８を持つセル５と、セル５に
紫外光を透過させる紫外線ランプ６と、セル５を透過し
た紫外線の光量を測定する紫外線センサ７とからなる。
【０００４】図３にオゾンセンサ１の詳細を示す。この
オゾンセンサ１のセル５の内部には、ガス流路８の主部
をなす広めの空間８ａが形成されている。空間８ａを画
成する一対の対向壁には透光板１１、１２が嵌め込ま
れ、それら対向壁に隣接する壁には、ガスの入口１３と
出口１４が設けられている。入口１３と出口１４は正面
に対向する位置にあり、入口１３から入ったガスは空間
８ａを経て出口１４から出て行く。このセル５に対し
て、紫外線ランプ６は一方の透光板１１の外側に配設さ
れ、紫外線センサ７は他方の透光板１２の外側に配設さ
れている。
オゾンセンサ１のセル５の内部には、ガス流路８の主部
をなす広めの空間８ａが形成されている。空間８ａを画
成する一対の対向壁には透光板１１、１２が嵌め込ま
れ、それら対向壁に隣接する壁には、ガスの入口１３と
出口１４が設けられている。入口１３と出口１４は正面
に対向する位置にあり、入口１３から入ったガスは空間
８ａを経て出口１４から出て行く。このセル５に対し
て、紫外線ランプ６は一方の透光板１１の外側に配設さ
れ、紫外線センサ７は他方の透光板１２の外側に配設さ
れている。
【０００５】図２の回路にてオゾン濃度を測定する場合
は、切換バルブ３を操作することにより、セル５に対し
てサンプリングガスとリファレンスガスを交互に連続的
に流す。そして、各ガスを流したときに紫外線センサ７
が検出する透過紫外線（白抜き矢印で示す）の光量の比
を取ることにより、サンプリングガス中のオゾン濃度を
測定する。
は、切換バルブ３を操作することにより、セル５に対し
てサンプリングガスとリファレンスガスを交互に連続的
に流す。そして、各ガスを流したときに紫外線センサ７
が検出する透過紫外線（白抜き矢印で示す）の光量の比
を取ることにより、サンプリングガス中のオゾン濃度を
測定する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
オゾンセンサ１のセル５は、入口１３から内部にかけて
空間８ａが大きく広がる形状になっていたため、黒矢印
のようにガスが広がって流れることになり、ガスの入れ
替わりに時間を要するという問題があった。特に入口１
３と出口１４が真正面に向かい合っているので、入口１
３と出口１４を結ぶ中央部分でのガスの入れ替わりは早
いが、周辺部でのガスの入れ替わりは却って遅れること
になり、結果的に、セル５内全体の十分なガスの入れ替
わりに時間がかかっていた。そして、ガスの入れ替わり
に時間がかかることで、サンプリングガスとリファレン
スガスに大きな温度差がある場合は、その影響がセル５
に近い紫外線ランプ６の光量変化に出て、測定精度の低
下につながるという問題があった。
オゾンセンサ１のセル５は、入口１３から内部にかけて
空間８ａが大きく広がる形状になっていたため、黒矢印
のようにガスが広がって流れることになり、ガスの入れ
替わりに時間を要するという問題があった。特に入口１
３と出口１４が真正面に向かい合っているので、入口１
３と出口１４を結ぶ中央部分でのガスの入れ替わりは早
いが、周辺部でのガスの入れ替わりは却って遅れること
になり、結果的に、セル５内全体の十分なガスの入れ替
わりに時間がかかっていた。そして、ガスの入れ替わり
に時間がかかることで、サンプリングガスとリファレン
スガスに大きな温度差がある場合は、その影響がセル５
に近い紫外線ランプ６の光量変化に出て、測定精度の低
下につながるという問題があった。
【０００７】本発明は、上記事情を考慮し、ガスの入れ
替わり時間を短縮することのできる紫外吸光式オゾンセ
ンサを提供することを目的とする。
替わり時間を短縮することのできる紫外吸光式オゾンセ
ンサを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、空間
を隔てた対向壁が透光板で構成され透光板以外の箇所に
ガスの入口と出口が設けられたガス流路を内部に持つセ
ルと、該セルの一方の透光板の外側に設けられた紫外線
ランプと、他方の透光板の外側に設けられセルを透過し
た紫外線の光量を測定する紫外線センサとを具備し、セ
ルに対してサンプリングガスとリファレンスガスを交互
に流し、各ガスを流したときの紫外線センサの信号に基
づいてサンプリングガス中のオゾン濃度を測定する紫外
吸光式オゾンセンサにおいて、前記ガス流路の入口と出
口とを、前記一方の透光板の近傍及び他方の透光板の近
傍にそれぞれ設けることで、互いに対向する位置からず
らして配置し、且つ入口から出口までのガス流路の流路
断面を略一定に構成したことを特徴とする。
を隔てた対向壁が透光板で構成され透光板以外の箇所に
ガスの入口と出口が設けられたガス流路を内部に持つセ
ルと、該セルの一方の透光板の外側に設けられた紫外線
ランプと、他方の透光板の外側に設けられセルを透過し
た紫外線の光量を測定する紫外線センサとを具備し、セ
ルに対してサンプリングガスとリファレンスガスを交互
に流し、各ガスを流したときの紫外線センサの信号に基
づいてサンプリングガス中のオゾン濃度を測定する紫外
吸光式オゾンセンサにおいて、前記ガス流路の入口と出
口とを、前記一方の透光板の近傍及び他方の透光板の近
傍にそれぞれ設けることで、互いに対向する位置からず
らして配置し、且つ入口から出口までのガス流路の流路
断面を略一定に構成したことを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１は実施形態のオゾンセンサ２１
の構成を示す。このオゾンセンサ２１ではセル２２の構
造のみを改良している。セル２２は内部に、入口２６か
ら出口２７までの流路断面を略一定（従来のように内部
を広げた形状にしない程度でもよい）にしたガス流路２
３を持っている。
基づいて説明する。図１は実施形態のオゾンセンサ２１
の構成を示す。このオゾンセンサ２１ではセル２２の構
造のみを改良している。セル２２は内部に、入口２６か
ら出口２７までの流路断面を略一定（従来のように内部
を広げた形状にしない程度でもよい）にしたガス流路２
３を持っている。
【００１０】ガス流路２３の主部をなす空間２３ａは細
長く形成されており、同空間２３ａを隔てて向かい合う
対向壁には、透光板２４、２５が嵌め込まれている。ガ
ス流路２３の入口２６と出口２７は、一方の透光板２４
の近傍及び他方の透光板２５の近傍に斜向かいの関係で
設けられており、互いに対向する位置からはずれてい
る。そして、一方の透光板２４の外側に紫外線ランプ６
が設けられ、他方の透光板２５の外側に紫外線センサ７
が設けられている。この場合、紫外線ランプ６側の透光
板２４は、セル２２の中のガスの熱影響がランプ６にで
きるだけ及ばないように断熱強化されている。
長く形成されており、同空間２３ａを隔てて向かい合う
対向壁には、透光板２４、２５が嵌め込まれている。ガ
ス流路２３の入口２６と出口２７は、一方の透光板２４
の近傍及び他方の透光板２５の近傍に斜向かいの関係で
設けられており、互いに対向する位置からはずれてい
る。そして、一方の透光板２４の外側に紫外線ランプ６
が設けられ、他方の透光板２５の外側に紫外線センサ７
が設けられている。この場合、紫外線ランプ６側の透光
板２４は、セル２２の中のガスの熱影響がランプ６にで
きるだけ及ばないように断熱強化されている。
【００１１】このオゾンセンサ２１のセル２２にサンプ
リングガスとリファレンスガスを交互に導入してオゾン
濃度の測定を実施した場合、ガス流路２３の流路断面が
略一定となっており、特に内部で広がっているわけでは
ないので、ガスは黒矢印のように、広がることなくスム
ーズに流れる。また、入口２６と出口２７が斜向かいに
なっているので、流路断面内での速度分布に差があまり
出なくなり、従来のように、入口２６と出口２７を結ぶ
中央部と周辺部でガスの入れ替わりに差ができて、結果
的にセル全体のガスの入れ替わりが遅くなるということ
がなくなる。また、ガスの流れが全体にわたってスムー
ズになることで、入れ替わり直後にガス濃度が均一化さ
れる。
リングガスとリファレンスガスを交互に導入してオゾン
濃度の測定を実施した場合、ガス流路２３の流路断面が
略一定となっており、特に内部で広がっているわけでは
ないので、ガスは黒矢印のように、広がることなくスム
ーズに流れる。また、入口２６と出口２７が斜向かいに
なっているので、流路断面内での速度分布に差があまり
出なくなり、従来のように、入口２６と出口２７を結ぶ
中央部と周辺部でガスの入れ替わりに差ができて、結果
的にセル全体のガスの入れ替わりが遅くなるということ
がなくなる。また、ガスの流れが全体にわたってスムー
ズになることで、入れ替わり直後にガス濃度が均一化さ
れる。
【００１２】従って、セル２２全体のガスの入れ替わり
時間が短縮されることにより、サンプリングガスとリフ
ァレンスガスに大きな温度差がある場合でも、その影響
が紫外線ランプ６に極力及ばないようなる。つまり、紫
外線ランプ６の温度変化を小さくすることができ、温度
変化による光量の変化を抑制して、測定精度の向上を図
ることができる。
時間が短縮されることにより、サンプリングガスとリフ
ァレンスガスに大きな温度差がある場合でも、その影響
が紫外線ランプ６に極力及ばないようなる。つまり、紫
外線ランプ６の温度変化を小さくすることができ、温度
変化による光量の変化を抑制して、測定精度の向上を図
ることができる。
【００１３】なお、ガスの入れ替わり時間を一層短縮す
るために、切換バルブ３（図２参照）からセル２２まで
の距離を短くし、できれば切換バルブ３とセル２２とを
直結するのが望ましい。
るために、切換バルブ３（図２参照）からセル２２まで
の距離を短くし、できれば切換バルブ３とセル２２とを
直結するのが望ましい。
【００１４】また、理想的にはサンプリングガスとリフ
ァレンスガスを同時に同じ条件で測定することである
が、それが原理的に不可能であるので、サンプリングガ
スを導入する前と後の前後２回のリファレンスガスの測
定平均値を、リファレンスガスの測定値として近似的に
採用する。それにより、オゾン濃度の測定精度の一層の
向上を図ることができる。
ァレンスガスを同時に同じ条件で測定することである
が、それが原理的に不可能であるので、サンプリングガ
スを導入する前と後の前後２回のリファレンスガスの測
定平均値を、リファレンスガスの測定値として近似的に
採用する。それにより、オゾン濃度の測定精度の一層の
向上を図ることができる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
セルの形状を改良することにより、サンプリングガスと
リファレンスガスの入れ替わりを短時間で十分に行うこ
とができ、結果的にオゾン濃度の測定精度の向上を図る
ことができる。
セルの形状を改良することにより、サンプリングガスと
リファレンスガスの入れ替わりを短時間で十分に行うこ
とができ、結果的にオゾン濃度の測定精度の向上を図る
ことができる。
【図１】本発明の実施形態のオゾンセンサの概略構成を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図２】従来のオゾンセンサを含んだ測定系の構成図で
ある。
ある。
【図３】従来のオゾンセンサの概略構成を示す断面図で
ある。
ある。
６ 紫外線ランプ ７ 紫外線センサ ２１ オゾンセンサ ２２ セル ２３ ガス流路 ２４，２５ 透光板 ２６ 入口 ２７ 出口
Claims (1)
- 【請求項１】 空間を隔てた対向壁が透光板で構成され
透光板以外の箇所にガスの入口と出口が設けられたガス
流路を内部に持つセルと、該セルの一方の透光板の外側
に設けられた紫外線ランプと、他方の透光板の外側に設
けられセルを透過した紫外線の光量を測定する紫外線セ
ンサとを具備し、セルに対してサンプリングガスとリフ
ァレンスガスを交互に流し、各ガスを流したときの紫外
線センサの信号に基づいてサンプリングガス中のオゾン
濃度を測定する紫外吸光式オゾンセンサにおいて、 前記ガス流路の入口と出口とを、前記一方の透光板の近
傍及び他方の透光板の近傍にそれぞれ設けることで、互
いに対向する位置からずらして配置し、且つ入口から出
口までのガス流路の流路断面を略一定に構成したことを
特徴とする紫外吸光式オゾンセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19654497A JPH1123455A (ja) | 1997-07-07 | 1997-07-07 | 紫外吸光式オゾンセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19654497A JPH1123455A (ja) | 1997-07-07 | 1997-07-07 | 紫外吸光式オゾンセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1123455A true JPH1123455A (ja) | 1999-01-29 |
Family
ID=16359514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19654497A Pending JPH1123455A (ja) | 1997-07-07 | 1997-07-07 | 紫外吸光式オゾンセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1123455A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100663093B1 (ko) * | 2002-03-29 | 2007-01-02 | 크레아젠 주식회사 | 신규한 ｃｔｌ-유도용 재조합 폴리오바이러스 벡터 및백신 조성물 |
| JP2012132827A (ja) * | 2010-12-22 | 2012-07-12 | Shunsuke Hosokawa | オゾン濃度計測方法ならびにオゾン濃度計測装置ならびにオゾン濃度計測装置付きオゾンガス貯留槽 |
| CN109406409A (zh) * | 2018-12-11 | 2019-03-01 | 苏州宏瑞净化科技有限公司 | 一种双光路臭氧吸收池 |
| CN112630218A (zh) * | 2018-10-19 | 2021-04-09 | 清华大学合肥公共安全研究院 | 一种用于检测气体成分的装置 |
| CN116465696A (zh) * | 2023-05-05 | 2023-07-21 | 商丘师范学院 | 一种户外用臭氧浓度和高温热浪监测装置 |
-
1997
- 1997-07-07 JP JP19654497A patent/JPH1123455A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100663093B1 (ko) * | 2002-03-29 | 2007-01-02 | 크레아젠 주식회사 | 신규한 ｃｔｌ-유도용 재조합 폴리오바이러스 벡터 및백신 조성물 |
| JP2012132827A (ja) * | 2010-12-22 | 2012-07-12 | Shunsuke Hosokawa | オゾン濃度計測方法ならびにオゾン濃度計測装置ならびにオゾン濃度計測装置付きオゾンガス貯留槽 |
| CN112630218A (zh) * | 2018-10-19 | 2021-04-09 | 清华大学合肥公共安全研究院 | 一种用于检测气体成分的装置 |
| CN112630218B (zh) * | 2018-10-19 | 2023-12-05 | 清华大学合肥公共安全研究院 | 一种用于检测气体成分的装置 |
| CN109406409A (zh) * | 2018-12-11 | 2019-03-01 | 苏州宏瑞净化科技有限公司 | 一种双光路臭氧吸收池 |
| CN116465696A (zh) * | 2023-05-05 | 2023-07-21 | 商丘师范学院 | 一种户外用臭氧浓度和高温热浪监测装置 |
| CN116465696B (zh) * | 2023-05-05 | 2023-11-17 | 商丘师范学院 | 一种户外用臭氧浓度和高温热浪监测装置 |
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