JPS60231137A - 光学的ガス濃度計 - Google Patents
光学的ガス濃度計Info
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- JPS60231137A JPS60231137A JP59087229A JP8722984A JPS60231137A JP S60231137 A JPS60231137 A JP S60231137A JP 59087229 A JP59087229 A JP 59087229A JP 8722984 A JP8722984 A JP 8722984A JP S60231137 A JPS60231137 A JP S60231137A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は、一般に気体分子が、例えば赤外線の波長領域
において、分子の構造に１壱な吸収帯を有することを利
用して特定の気体成分の濃度を連続的に、しかも迅速に
測定し得る光学的ガスｅｘ計に関する。
において、分子の構造に１壱な吸収帯を有することを利
用して特定の気体成分の濃度を連続的に、しかも迅速に
測定し得る光学的ガスｅｘ計に関する。
第３図は従来の測定ガス流路の外部に独立して設置され
るガス分析装置の概略構成図を示す。図においてカス分
析装［１は、測矩カス流路ｌＯに装入されるガス採取’
［９により、測足ガスτ吸引器、例えばポンプ４を用い
てサンプリングし、前処理部、すなわちドレンセパレー
タ２、ドレンボット３、除湿器５において除湿し、フィ
ルタ６においてダスト、ミスト等を除去する等の前処理
を行った後、分析計８に測定ガスを導入し、分析をする
。７はこの測定ガスを採取する採取カス流量計でるる。
るガス分析装置の概略構成図を示す。図においてカス分
析装［１は、測矩カス流路ｌＯに装入されるガス採取’
［９により、測足ガスτ吸引器、例えばポンプ４を用い
てサンプリングし、前処理部、すなわちドレンセパレー
タ２、ドレンボット３、除湿器５において除湿し、フィ
ルタ６においてダスト、ミスト等を除去する等の前処理
を行った後、分析計８に測定ガスを導入し、分析をする
。７はこの測定ガスを採取する採取カス流量計でるる。
このような分析装置ｌによる測定には、次のような欠点
があった。ガス採取管９による測定ガス採取点の濃度を
、計器が実際に指示するまでに採取点からガス分析装置
１までの距離、採取ガス流量、前処理部の構成等により
一定の遅れ時間を有し、例えばボイラの燃焼制御のよう
に両速応答が要求される場合には、実用に適し難い。ま
た、採取ガスの吸引量を増加させて、このような遅れ時
間を短縮させる場合には、ガス採取管９または前処理部
の汚れが加速され、保守上の問題がおった。次に、第４
図は測定ガス流路の一部を光路として利用するガス分析
装置の概略構成図を示す。図において測定ガス流路、例
えば煙道１０の直径方向に光源部１１と検出部１２とを
対向して設置する。このような分析装置には次のような
欠点がめった。光源部１１と検出部１２との光軸を一致
させ難い。一般に煙道１０は数ｍの直径を有し、この直
径で対向する光源部１１と検出部１２とは、熱歪等によ
り少しの寸法変化が生じても、大きい光軸ずれを生じる
ために安定性に欠ける。
があった。ガス採取管９による測定ガス採取点の濃度を
、計器が実際に指示するまでに採取点からガス分析装置
１までの距離、採取ガス流量、前処理部の構成等により
一定の遅れ時間を有し、例えばボイラの燃焼制御のよう
に両速応答が要求される場合には、実用に適し難い。ま
た、採取ガスの吸引量を増加させて、このような遅れ時
間を短縮させる場合には、ガス採取管９または前処理部
の汚れが加速され、保守上の問題がおった。次に、第４
図は測定ガス流路の一部を光路として利用するガス分析
装置の概略構成図を示す。図において測定ガス流路、例
えば煙道１０の直径方向に光源部１１と検出部１２とを
対向して設置する。このような分析装置には次のような
欠点がめった。光源部１１と検出部１２との光軸を一致
させ難い。一般に煙道１０は数ｍの直径を有し、この直
径で対向する光源部１１と検出部１２とは、熱歪等によ
り少しの寸法変化が生じても、大きい光軸ずれを生じる
ために安定性に欠ける。
なお、測定ガスと直接に光源部１１および検出部１２の
光透過窓の汚れを防止するために、ブロアを設ける等の
光源部１１および検出部１２を設置する際に大損りな付
帯工事を要する。さらに、測定光路でるる煙道ｌＯに校
正用標準ガスを充すことは不可能であるために、通常の
測定器校正法として最も精度の高い校正用標準ガスによ
る校正ができない。次に、第５図はパイプとパイプの先
端部に取付けられた筒状フィルタとの間を測定光路とす
るガス分析装置の概略構成図を示す。図において本ガス
分析装置１３は、パイプ１４の先端部に先端が閉鎖芒九
だ筒状フィルタ１５が取付けられ、この筒状フィルタ１
５の先端内部に、反射鏡１６が設置され、この反射鏡１
６により光を往彼させてハーフミラ−１７を用いて反射
光の一部を検出器１８に導入する。１９は光源、２０は
光源１９のチョッパ、２１ｔｊ：レンズでるる。この方
法には次の欠点があった。大口径の煙道ｌＯにおいて、
煙道１０の中央部のカス温度＋ｍｔ定する場合等の総光
路長りに対して、測定に寄与する光路長ｌの割合が小さ
く、光量の損失が太き（、かつハーフミラ−１７の反射
による光量損失と共に、大出力の光源１９が必要である
という問題があった。
光透過窓の汚れを防止するために、ブロアを設ける等の
光源部１１および検出部１２を設置する際に大損りな付
帯工事を要する。さらに、測定光路でるる煙道ｌＯに校
正用標準ガスを充すことは不可能であるために、通常の
測定器校正法として最も精度の高い校正用標準ガスによ
る校正ができない。次に、第５図はパイプとパイプの先
端部に取付けられた筒状フィルタとの間を測定光路とす
るガス分析装置の概略構成図を示す。図において本ガス
分析装置１３は、パイプ１４の先端部に先端が閉鎖芒九
だ筒状フィルタ１５が取付けられ、この筒状フィルタ１
５の先端内部に、反射鏡１６が設置され、この反射鏡１
６により光を往彼させてハーフミラ−１７を用いて反射
光の一部を検出器１８に導入する。１９は光源、２０は
光源１９のチョッパ、２１ｔｊ：レンズでるる。この方
法には次の欠点があった。大口径の煙道ｌＯにおいて、
煙道１０の中央部のカス温度＋ｍｔ定する場合等の総光
路長りに対して、測定に寄与する光路長ｌの割合が小さ
く、光量の損失が太き（、かつハーフミラ−１７の反射
による光量損失と共に、大出力の光源１９が必要である
という問題があった。
本発明は、上述の点に鑑み、従来技術の問題点を有効に
解決し、測定ガスの前処理が不敬となり、高速応答か実
現され、し力・も保守性が良好で、安定性に優れた光学
的カス６Ａ反計を提供することを目的とする。
解決し、測定ガスの前処理が不敬となり、高速応答か実
現され、し力・も保守性が良好で、安定性に優れた光学
的カス６Ａ反計を提供することを目的とする。
このような目的？ｌｌ−達成するために、本発明は、セ
ル部の内部に設けられ筒状に形成場れ内部の前端に反射
鏡を設は後鴎に光源部より入射される入射光束を透過し
前記反射鏡より反射される反射光束を透過する光透過窓
を前記反射鏡と対向して設ける筒状フィルタ部と、前記
セル部と筒状フィルタ部との間に設けられ前記測定ガス
を導入し拡散により前記筒状フィルタ部に侵入させるガ
ス通路部と、前記セル部の前方に延長して設りられ先端
が前記測定ガスの採取点に開口する延長通路部とを偏え
ることを特徴とする。
ル部の内部に設けられ筒状に形成場れ内部の前端に反射
鏡を設は後鴎に光源部より入射される入射光束を透過し
前記反射鏡より反射される反射光束を透過する光透過窓
を前記反射鏡と対向して設ける筒状フィルタ部と、前記
セル部と筒状フィルタ部との間に設けられ前記測定ガス
を導入し拡散により前記筒状フィルタ部に侵入させるガ
ス通路部と、前記セル部の前方に延長して設りられ先端
が前記測定ガスの採取点に開口する延長通路部とを偏え
ることを特徴とする。
次に、本発明の実施例を図面に基づき、詳細に説明する
。
。
第１図は本発明の一実施例の概略構成図を示す。
図において光学的ガス濃度計２２は、主として光源部２
３、セル部２４および検出部２５から構成される。この
うち、セル部２４はセル２６と、このセル２６の内部に
収容された筒状フィルタ部２７および延長通路部２８と
からなる。セル２６は有底円筒状に形成され、底部には
光透過窓２９が外気に対して気密に取付けられる。ブだ
、セル２６がフランジ３０によりダスト壁３１に装着さ
れる際に、延長通路部２Ｂｔ′ｉＮｉ口端３２を、測足
ガスの採取点Ａの近辺に開口する。
３、セル部２４および検出部２５から構成される。この
うち、セル部２４はセル２６と、このセル２６の内部に
収容された筒状フィルタ部２７および延長通路部２８と
からなる。セル２６は有底円筒状に形成され、底部には
光透過窓２９が外気に対して気密に取付けられる。ブだ
、セル２６がフランジ３０によりダスト壁３１に装着さ
れる際に、延長通路部２Ｂｔ′ｉＮｉ口端３２を、測足
ガスの採取点Ａの近辺に開口する。
次に、筒状フィルタ部２７Ｆｉ、繊維またＦｉ焼結体に
より、本実施例では円筒状に成形された筒状フィルタ３
３と、この筒状フィルタ３３の前端に挿入される流線変
更体３４と、後端に挿入されるセル２６の光透過窓装着
部４０とからなる。流線変更体３３の内面には、反射鏡
３５が光透過窓２９と対向して固定される。カス通路部
３６位、本実施例では同心的に配置されたセル２６と筒
状フィルタ３３との間の間隙でおる。また、延長通路部
２８は、このガス通路部３６を前方に延長して設けられ
、延長通路部２８およびガス通路部３６の有効面積がほ
ぼ等しくなるように、それぞれの内径寸法が選定され、
延長通路部２８およびガス通路部３６内の流速の変化に
よるダストのｔ積を少な（する。測定ガスは、延長通路
部２８を経て流線変更体３３により流線が円滑に変更さ
れて、ガス通路部３６に導かれ、筒状フィルタ３３の内
部に拡散により侵入する。この際、光源部２３よりレン
ズ３７、）・−フミラー３８を経て、入射光束は光透過
窓２９を透過して筒状２イルタ３３の内部に入射され、
さらに反射鏡３５により反射され反射光束として、光透
過窓２９を透過して、再びハーフミラ−３８を紅て検出
部２５に入射する。この入射光束および反射光束は筒状
フィルタ３３の内部で、測定ガスの製置に比例して吸収
される吸収波長帯の光量を検出器２５にて連続的に電気
的に測定する。
より、本実施例では円筒状に成形された筒状フィルタ３
３と、この筒状フィルタ３３の前端に挿入される流線変
更体３４と、後端に挿入されるセル２６の光透過窓装着
部４０とからなる。流線変更体３３の内面には、反射鏡
３５が光透過窓２９と対向して固定される。カス通路部
３６位、本実施例では同心的に配置されたセル２６と筒
状フィルタ３３との間の間隙でおる。また、延長通路部
２８は、このガス通路部３６を前方に延長して設けられ
、延長通路部２８およびガス通路部３６の有効面積がほ
ぼ等しくなるように、それぞれの内径寸法が選定され、
延長通路部２８およびガス通路部３６内の流速の変化に
よるダストのｔ積を少な（する。測定ガスは、延長通路
部２８を経て流線変更体３３により流線が円滑に変更さ
れて、ガス通路部３６に導かれ、筒状フィルタ３３の内
部に拡散により侵入する。この際、光源部２３よりレン
ズ３７、）・−フミラー３８を経て、入射光束は光透過
窓２９を透過して筒状２イルタ３３の内部に入射され、
さらに反射鏡３５により反射され反射光束として、光透
過窓２９を透過して、再びハーフミラ−３８を紅て検出
部２５に入射する。この入射光束および反射光束は筒状
フィルタ３３の内部で、測定ガスの製置に比例して吸収
される吸収波長帯の光量を検出器２５にて連続的に電気
的に測定する。
さらに、測定ガスの流通を喚起するために、本実施例で
は減圧手段としてエジェクタ４１およびポンプ４２が配
設され、筒状フィルタ３３０周辺部の圧力を測定カス採
取点Ａの近辺の出力より低（するように構成されている
。
は減圧手段としてエジェクタ４１およびポンプ４２が配
設され、筒状フィルタ３３０周辺部の圧力を測定カス採
取点Ａの近辺の出力より低（するように構成されている
。
さらにまた、測定ガス採取点Ａの圧力が大気圧より僅か
に高い場合には、エジェクタ４１およびポンプ４２を用
いることなく、筒状フィルタ３３の周辺部を大気に開放
するという減圧手段を採用してもよい。
に高い場合には、エジェクタ４１およびポンプ４２を用
いることなく、筒状フィルタ３３の周辺部を大気に開放
するという減圧手段を採用してもよい。
次に、第２図は本発明の他の実施例の概略構成図を示す
。図においてｍ１図と同一のａｒｅを有する部分には、
同一の符号が付嘔れている。ガス通路部３６は、分岐板
４３により給気側通路４４と排気側通路４５とにｔ丘は
等、分割される。４６は開口路である。なお、この分岐
＆４３は、延長通路部２８まで延長されて、同様に給気
側通路４７および排気側通路４８にほぼ等分割する。従
って、分岐板４３＃′ｉ全体的に７オーク状に形成され
る。
。図においてｍ１図と同一のａｒｅを有する部分には、
同一の符号が付嘔れている。ガス通路部３６は、分岐板
４３により給気側通路４４と排気側通路４５とにｔ丘は
等、分割される。４６は開口路である。なお、この分岐
＆４３は、延長通路部２８まで延長されて、同様に給気
側通路４７および排気側通路４８にほぼ等分割する。従
って、分岐板４３＃′ｉ全体的に７オーク状に形成され
る。
このような給気側通路４４．４７および排気側通路４５
．４８は、有効断面積がほぼ等しくなり、延長通路部２
８の開口端３２′ｔ−測定ガスの流通方向Ｐの採取点Ａ
に配置することにより、給気側と排気側との間に圧力差
が喚起さｉｔて、測定ガスは給気側通路４７，４４′ｌ
ｉ：＆、て、開口路４６に移行し、排気側通路４５．４
８を経°〔、開口端３２と反対側に開口する開口端４９
よりダクト内部に連続的に排気される。
．４８は、有効断面積がほぼ等しくなり、延長通路部２
８の開口端３２′ｔ−測定ガスの流通方向Ｐの採取点Ａ
に配置することにより、給気側と排気側との間に圧力差
が喚起さｉｔて、測定ガスは給気側通路４７，４４′ｌ
ｉ：＆、て、開口路４６に移行し、排気側通路４５．４
８を経°〔、開口端３２と反対側に開口する開口端４９
よりダクト内部に連続的に排気される。
さらに、第１図および第２図に示すセル２６の外壁また
は筒形フィルタ３３の外壁に、図示されていないヒータ
を配設することにより、セル２６の内壁、筒状フィルタ
３３および測定ガス温度が測定ガスの酸露点以上の温度
に加熱することができる。この加熱により、測定ガスの
拡散速度が増加し、応答速度が向上すると共に、測定カ
ス中の水蒸気の結露が防止され、結露による構成部品の
腐蝕等が防止される。
は筒形フィルタ３３の外壁に、図示されていないヒータ
を配設することにより、セル２６の内壁、筒状フィルタ
３３および測定ガス温度が測定ガスの酸露点以上の温度
に加熱することができる。この加熱により、測定ガスの
拡散速度が増加し、応答速度が向上すると共に、測定カ
ス中の水蒸気の結露が防止され、結露による構成部品の
腐蝕等が防止される。
以上に説明するように本発明によれば、セル部の内部に
細状フィルタ部を設け、このセル部と筒状フィルタ部と
の間にガス通路部およびさらに延長し″Ｃ測定ガス採取
点に開口する延長通路部を設け、測定ガスを導入しＮｉ
ｌ記筒形フィルタ部内に拡散により侵入させ？＋＋］記
筒状フィルタ内部に設けられた測定光束により測定ガス
の濃度を連続的に測定し得ることにより、従来技術の問
題点が有効に解決されて、測定カスの前処理が不要とな
り、その取扱い保守が容易でめると共に、測定ガスが直
接筒状フィルタ内部にて測定されるから、高速応答性が
向上し、七の銅足が安定化する等の長所を有する。
細状フィルタ部を設け、このセル部と筒状フィルタ部と
の間にガス通路部およびさらに延長し″Ｃ測定ガス採取
点に開口する延長通路部を設け、測定ガスを導入しＮｉ
ｌ記筒形フィルタ部内に拡散により侵入させ？＋＋］記
筒状フィルタ内部に設けられた測定光束により測定ガス
の濃度を連続的に測定し得ることにより、従来技術の問
題点が有効に解決されて、測定カスの前処理が不要とな
り、その取扱い保守が容易でめると共に、測定ガスが直
接筒状フィルタ内部にて測定されるから、高速応答性が
向上し、七の銅足が安定化する等の長所を有する。
第１図は本発明の一実施例の概略構成図、第２図は本発
明の他の実施例の概略構成図、第３図は従来の測定ガス
流路の外部に独立して設置されるガス分析装置の概略構
成図、第４図は測定ガス流路の一部を光路として利用す
るガス分析装置の概略構成図、第５図はパイプとパイプ
の先端部に取付けられた筒状フィルタとの間を測定光路
とするガス分析装置の概略構成図でらる。 ２２：光学的カス濃度計、２４：セル部、２６：セル、
２７：筒状フィルタ部、２８：延長通路部、２９：光透
過窓、３３：筒状フィルタ、３５□□□□□□ ：反射鏡、３６：ガス通路部、４３：分岐板、４４．４
７：給気側通路、４５．４８：排気側通路。 特許出願人 富士電機製造株式会社 第３図 第４図 第 ５ 図
明の他の実施例の概略構成図、第３図は従来の測定ガス
流路の外部に独立して設置されるガス分析装置の概略構
成図、第４図は測定ガス流路の一部を光路として利用す
るガス分析装置の概略構成図、第５図はパイプとパイプ
の先端部に取付けられた筒状フィルタとの間を測定光路
とするガス分析装置の概略構成図でらる。 ２２：光学的カス濃度計、２４：セル部、２６：セル、
２７：筒状フィルタ部、２８：延長通路部、２９：光透
過窓、３３：筒状フィルタ、３５□□□□□□ ：反射鏡、３６：ガス通路部、４３：分岐板、４４．４
７：給気側通路、４５．４８：排気側通路。 特許出願人 富士電機製造株式会社 第３図 第４図 第 ５ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 り 光源部と、セル部および検出部とを有し、測定ガス
濃度を測定する光学的ガス濃度計において、前記セル部
の内部に設けられ筒状に形成されて内部の前端に反射鏡
を設け、後端に前記光源部より入射逼れる入射光束を透
過し前記反射鏡より反射される反射光束を透過する光透
過窓を前記反射鏡と対向して設ける筒状フィルタ部と、
前記セル部と筒状フィルタ部との間に設けられ前記濁定
ガスを導入し拡散により前記筒状フィルタ部に侵入させ
るガス通路部と、このガス通路部を前方に延長して設け
られ＊ Ｐｌ＋］記測定ガスの採取点に間口する延長通
路部とを備えたことｔ−％徴とする光学的ガス濃度計。 ２、特許請求の範囲第１項に記載のガス濃度計において
、ガス通路部の圧力を測定ガスの採取点付近より低（す
る減圧手段を有することを特徴とする光学的ガス濃度計
。 ３）特許請求の範囲第１項に記載のガス濃度計において
、ガス通路部を給気側と排気側とにほぼ等分割し測定ガ
スを前記給気側から排気側に流通させる分岐板を設け、
この分岐板を前方に延長して延長通路部を給気側と排気
側とにほぼ等分割して前記延長通路部の給気側を測定ガ
スの流通方向の採取点に開口することを特徴とする光学
的ガス濃度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59087229A JPS60231137A (ja) | 1984-04-30 | 1984-04-30 | 光学的ガス濃度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59087229A JPS60231137A (ja) | 1984-04-30 | 1984-04-30 | 光学的ガス濃度計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60231137A true JPS60231137A (ja) | 1985-11-16 |
Family
ID=13909029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59087229A Pending JPS60231137A (ja) | 1984-04-30 | 1984-04-30 | 光学的ガス濃度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60231137A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5187970A (en) * | 1990-08-10 | 1993-02-23 | Puritan-Bennett Corporation | Calibration cuvette |
| JP2006507044A (ja) * | 2002-10-08 | 2006-03-02 | アールアイシー・インベストメンツ・インコーポレイテッド | 一体型検体セル−フィルタ及びそれを使用する装置 |
| JP2012177694A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Wacker Chemie Ag | 流動ガス混合物中のガス濃度を測定するための装置及び方法 |
| JP2014002072A (ja) * | 2012-06-19 | 2014-01-09 | Horiba Ltd | ガス分析装置 |
| JP2015175797A (ja) * | 2014-03-17 | 2015-10-05 | 中国電力株式会社 | レーザ式ガス分析装置 |
| JP2015175798A (ja) * | 2014-03-17 | 2015-10-05 | 中国電力株式会社 | レーザ式ガス分析装置及びガス採取ユニット |
| EP3112845A1 (de) * | 2016-03-09 | 2017-01-04 | Sick Ag | Vorrichtung zur optischen in-situ analyse eines messgases |
| DE102019129658A1 (de) * | 2019-11-04 | 2021-05-06 | Sick Ag | Vorrichtung zur optischen In-Situ Analyse eines Prozessgases |
-
1984
- 1984-04-30 JP JP59087229A patent/JPS60231137A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5187970A (en) * | 1990-08-10 | 1993-02-23 | Puritan-Bennett Corporation | Calibration cuvette |
| JP2006507044A (ja) * | 2002-10-08 | 2006-03-02 | アールアイシー・インベストメンツ・インコーポレイテッド | 一体型検体セル−フィルタ及びそれを使用する装置 |
| JP2012177694A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Wacker Chemie Ag | 流動ガス混合物中のガス濃度を測定するための装置及び方法 |
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| EP3112845A1 (de) * | 2016-03-09 | 2017-01-04 | Sick Ag | Vorrichtung zur optischen in-situ analyse eines messgases |
| DE102019129658A1 (de) * | 2019-11-04 | 2021-05-06 | Sick Ag | Vorrichtung zur optischen In-Situ Analyse eines Prozessgases |
| WO2021089408A1 (de) | 2019-11-04 | 2021-05-14 | Sick Ag | Vorrichtung zur optischen in-situ analyse eines prozessgases |
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