JPH11229164A - ＴｉＡｌＮ被膜の除去剤およびこれを使用するＴｉＡｌＮ被膜の除去方法 - Google Patents
ＴｉＡｌＮ被膜の除去剤およびこれを使用するＴｉＡｌＮ被膜の除去方法Info
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- JPH11229164A JPH11229164A JP3101998A JP3101998A JPH11229164A JP H11229164 A JPH11229164 A JP H11229164A JP 3101998 A JP3101998 A JP 3101998A JP 3101998 A JP3101998 A JP 3101998A JP H11229164 A JPH11229164 A JP H11229164A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 母材の表面に荒れを生じさせることなくＴｉ
ＡｌＮ被膜を効率よく除去できるＴｉＡｌＮ被膜の除去
剤およびこれを使用した除去方法を提供する。 【解決手段】 過酸化水素を含有すると共に、水酸化カ
リウムを７重量％以上含有する水溶液の除去剤に、Ｔｉ
ＡｌＮ被膜を母材にコーティングした部材を浸漬する。
ＡｌＮ被膜を効率よく除去できるＴｉＡｌＮ被膜の除去
剤およびこれを使用した除去方法を提供する。 【解決手段】 過酸化水素を含有すると共に、水酸化カ
リウムを７重量％以上含有する水溶液の除去剤に、Ｔｉ
ＡｌＮ被膜を母材にコーティングした部材を浸漬する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＴｉＡｌＮ被膜の
除去剤およびこれを使用するＴｉＡｌＮ被膜の除去方法
に関する。
除去剤およびこれを使用するＴｉＡｌＮ被膜の除去方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】高速度工具鋼にＴｉ系被膜をコーティン
グした切削工具は、耐摩耗性に優れるため、近年、多用
されるようになっている。このような切削工具において
は、使用するにしたがって、刃部部分の被膜が他の箇所
の被膜よりも早く摩耗してしまうため、所定時間使用し
たら、被膜を一旦すべて除去し、刃部を研削加工して再
調整した後、再びコーティングすることにより、リサイ
クル利用している。また、被膜コーティング工程におい
て、コーティングされた被膜が規格値から外れてしまっ
た場合には、この被膜をすべて除去した後、再びコーテ
ィングすることにより、リサイクル利用している。
グした切削工具は、耐摩耗性に優れるため、近年、多用
されるようになっている。このような切削工具において
は、使用するにしたがって、刃部部分の被膜が他の箇所
の被膜よりも早く摩耗してしまうため、所定時間使用し
たら、被膜を一旦すべて除去し、刃部を研削加工して再
調整した後、再びコーティングすることにより、リサイ
クル利用している。また、被膜コーティング工程におい
て、コーティングされた被膜が規格値から外れてしまっ
た場合には、この被膜をすべて除去した後、再びコーテ
ィングすることにより、リサイクル利用している。
【０００３】このようなリサイクル利用するにあたって
の、Ｔｉ系被膜の除去においては、例えば、特開平５−
１１２８８５号公報では、重合リン酸アルカリ塩を１〜
２０重量％、ヒドロキシカルボネート系有機酸アルカリ
塩の１種以上を１〜１０重量％、エチレンジアミン・酢
酸アルカリ塩を２〜１５重量％、水酸化アルカリを０．
１〜５重量％、過酸化水素を３〜７重量％含有する混合
水溶液中に、高速度工具鋼の母材にＴｉ系被膜（Ｔｉ
Ｎ、ＴｉＣ、ＴｉＣＮ、Ｔｉ）をコーティングした切削
工具を１０〜４０℃の温度範囲で浸漬（１２時間）する
ことにより、母材の表面に荒れを生じさせることなくＴ
ｉ系被膜を除去できることを開示している。
の、Ｔｉ系被膜の除去においては、例えば、特開平５−
１１２８８５号公報では、重合リン酸アルカリ塩を１〜
２０重量％、ヒドロキシカルボネート系有機酸アルカリ
塩の１種以上を１〜１０重量％、エチレンジアミン・酢
酸アルカリ塩を２〜１５重量％、水酸化アルカリを０．
１〜５重量％、過酸化水素を３〜７重量％含有する混合
水溶液中に、高速度工具鋼の母材にＴｉ系被膜（Ｔｉ
Ｎ、ＴｉＣ、ＴｉＣＮ、Ｔｉ）をコーティングした切削
工具を１０〜４０℃の温度範囲で浸漬（１２時間）する
ことにより、母材の表面に荒れを生じさせることなくＴ
ｉ系被膜を除去できることを開示している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＴｉＡ
ｌＮ被膜をコーティングしたものにおいては、特開平５
−１１２８８５号公報に開示されたようにして（６０時
間浸漬）当該被膜を除去しようとしても、除去すること
ができなかった。
ｌＮ被膜をコーティングしたものにおいては、特開平５
−１１２８８５号公報に開示されたようにして（６０時
間浸漬）当該被膜を除去しようとしても、除去すること
ができなかった。
【０００５】このようなことから、本発明は、母材の表
面に荒れを生じさせることなくＴｉＡｌＮ被膜を効率よ
く除去することができるＴｉＡｌＮ被膜の除去剤および
これを使用するＴｉＡｌＮ被膜の除去方法を提供するこ
とを目的とした。
面に荒れを生じさせることなくＴｉＡｌＮ被膜を効率よ
く除去することができるＴｉＡｌＮ被膜の除去剤および
これを使用するＴｉＡｌＮ被膜の除去方法を提供するこ
とを目的とした。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前述した課題を解決する
ための、本発明によるＴｉＡｌＮ被膜の除去剤は、過酸
化水素を含有すると共に、水酸化カリウムを５重量％を
越えて含有する水溶液であることを特徴とする。
ための、本発明によるＴｉＡｌＮ被膜の除去剤は、過酸
化水素を含有すると共に、水酸化カリウムを５重量％を
越えて含有する水溶液であることを特徴とする。
【０００７】また、前述した課題を解決するための、本
発明によるＴｉＡｌＮ被膜の除去方法は、ＴｉＡｌＮ被
膜をコーティングした部材を上述のＴｉＡｌＮ被膜の除
去剤に浸漬して当該部材から当該ＴｉＡｌＮ被膜を除去
することを特徴とする。
発明によるＴｉＡｌＮ被膜の除去方法は、ＴｉＡｌＮ被
膜をコーティングした部材を上述のＴｉＡｌＮ被膜の除
去剤に浸漬して当該部材から当該ＴｉＡｌＮ被膜を除去
することを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明によるＴｉＡｌＮ被膜の除
去剤およびこれを使用するＴｉＡｌＮ被膜の除去方法の
実施の形態を以下に説明する。
去剤およびこれを使用するＴｉＡｌＮ被膜の除去方法の
実施の形態を以下に説明する。
【０００９】本発明によるＴｉＡｌＮ被膜の除去剤は、
過酸化水素を含有すると共に、水酸化カリウムを５重量
％を越えて含有する水溶液である。
過酸化水素を含有すると共に、水酸化カリウムを５重量
％を越えて含有する水溶液である。
【００１０】このような除去剤を用いて、ＴｉＡｌＮ被
膜をコーティングした部材からＴｉＡｌＮ被膜を除去す
るには、当該部材を当該除去剤に浸漬することにより、
母材の表面に荒れを生じさせることなくＴｉＡｌＮ被膜
を効率よく（母材の形状や膜厚により異なるが、３０〜
６０時間程度）除去することができる。
膜をコーティングした部材からＴｉＡｌＮ被膜を除去す
るには、当該部材を当該除去剤に浸漬することにより、
母材の表面に荒れを生じさせることなくＴｉＡｌＮ被膜
を効率よく（母材の形状や膜厚により異なるが、３０〜
６０時間程度）除去することができる。
【００１１】ここで、除去剤中の水酸化カリウムの濃度
が５重量％以下であると、母材の表面に荒れを生じさせ
ることはないものの、ＴｉＡｌＮ被膜を効率よく除去す
ることができない。
が５重量％以下であると、母材の表面に荒れを生じさせ
ることはないものの、ＴｉＡｌＮ被膜を効率よく除去す
ることができない。
【００１２】一方、水酸化カリウムに代えて水酸化ナト
リウムを５重量％を越えて用いると、ＴｉＡｌＮ被膜を
効率よく除去することができるものの、母材の表面に荒
れを生じてしまい、リコーティングの際の母材に対する
ＴｉＡｌＮ被膜の密着力が低下してしまう。
リウムを５重量％を越えて用いると、ＴｉＡｌＮ被膜を
効率よく除去することができるものの、母材の表面に荒
れを生じてしまい、リコーティングの際の母材に対する
ＴｉＡｌＮ被膜の密着力が低下してしまう。
【００１３】また、ＴｉＡｌＮ被膜を除去するにあたっ
て、除去剤の温度が１０℃未満であると被膜除去速度が
低下し、８０℃を越えると除去剤の自己反応により当該
除去剤の濃度が急速に変わり除去速度を維持できなくな
ることから、除去剤を１０〜８０℃の温度で保持して処
理すると好ましい。特に、除去剤が４０℃以上である
と、４０℃未満の場合よりもさらに効率よく除去するこ
とができる。
て、除去剤の温度が１０℃未満であると被膜除去速度が
低下し、８０℃を越えると除去剤の自己反応により当該
除去剤の濃度が急速に変わり除去速度を維持できなくな
ることから、除去剤を１０〜８０℃の温度で保持して処
理すると好ましい。特に、除去剤が４０℃以上である
と、４０℃未満の場合よりもさらに効率よく除去するこ
とができる。
【００１４】また、除去剤中の過酸化水素の含有濃度
は、特に限定されることはないものの、０．１〜６０％
の範囲内であると好ましい。
は、特に限定されることはないものの、０．１〜６０％
の範囲内であると好ましい。
【００１５】なお、前述した特開平５−１１２８８５号
公報では、除去剤中の水酸化アルカリの濃度が５重量％
以上になると、除去速度が遅くなると共に母材の表面が
黒く変色してしまう旨を述べているが、ＴｉＡｌＮ被膜
において水酸化カリウムを用いた場合には、そのような
現象が起きず、良好な結果を得ることができる。
公報では、除去剤中の水酸化アルカリの濃度が５重量％
以上になると、除去速度が遅くなると共に母材の表面が
黒く変色してしまう旨を述べているが、ＴｉＡｌＮ被膜
において水酸化カリウムを用いた場合には、そのような
現象が起きず、良好な結果を得ることができる。
【００１６】
【実施例】本発明によるＴｉＡｌＮ被膜の除去剤および
これを使用するＴｉＡｌＮ被膜の除去方法の効果を確認
するため、前述した実施の形態に基づいて以下のような
確認試験を行った。
これを使用するＴｉＡｌＮ被膜の除去方法の効果を確認
するため、前述した実施の形態に基づいて以下のような
確認試験を行った。
【００１７】［試験例１］ ＜試験方法＞ＴｉＡｌＮ被膜をコーティング（膜厚：６
μｍ）した高速度工具鋼の単刃を、過酸化水素を９重量
％含有し、水酸化カリウムを７重量％含有する水溶液の
除去剤（１００ｃｃ）に浸漬（温度：反応熱によって４
０℃に昇温）する。なお、過酸化水素および水酸化カリ
ウムを常に上記濃度となるように、過酸化水素および水
酸化カリウムを適宜補充する。
μｍ）した高速度工具鋼の単刃を、過酸化水素を９重量
％含有し、水酸化カリウムを７重量％含有する水溶液の
除去剤（１００ｃｃ）に浸漬（温度：反応熱によって４
０℃に昇温）する。なお、過酸化水素および水酸化カリ
ウムを常に上記濃度となるように、過酸化水素および水
酸化カリウムを適宜補充する。
【００１８】＜試験結果＞上述した状態で３０時間浸漬
したところ、母材の表面に荒れを生じさせることなくＴ
ｉＡｌＮ被膜を完全に除去することができた。
したところ、母材の表面に荒れを生じさせることなくＴ
ｉＡｌＮ被膜を完全に除去することができた。
【００１９】［試験例２］ ＜試験方法＞ＴｉＡｌＮ被膜をコーティングした（膜
厚：４μｍ）高速度工具鋼の平板（サイズ：２０×２０
×５ｍｍ）を、過酸化水素を１９重量％含有し、水酸化
カリウムを１３重量％含有する水溶液の除去剤（１００
ｃｃ）に浸漬（温度：反応熱によって４０℃に昇温，時
間：６時間）する。なお、過酸化水素および水酸化カリ
ウムを常に上記濃度となるように、過酸化水素および水
酸化カリウムを適宜補充する。
厚：４μｍ）高速度工具鋼の平板（サイズ：２０×２０
×５ｍｍ）を、過酸化水素を１９重量％含有し、水酸化
カリウムを１３重量％含有する水溶液の除去剤（１００
ｃｃ）に浸漬（温度：反応熱によって４０℃に昇温，時
間：６時間）する。なお、過酸化水素および水酸化カリ
ウムを常に上記濃度となるように、過酸化水素および水
酸化カリウムを適宜補充する。
【００２０】＜試験結果＞試験終了後、除去剤から取り
出し、蛍光Ｘ線による膜厚計を用いて、残留しているＴ
ｉＡｌＮ被膜の厚さを計測して被膜除去速度を求めたと
ころ、０．２６μｍ／ｈであった。
出し、蛍光Ｘ線による膜厚計を用いて、残留しているＴ
ｉＡｌＮ被膜の厚さを計測して被膜除去速度を求めたと
ころ、０．２６μｍ／ｈであった。
【００２１】［試験例３］ ＜試験方法＞ＴｉＡｌＮ被膜を刃部にコーティング（膜
厚：２〜８μｍ）した高速度工具鋼のホブ（外径：７５
ｍｍ，長さ１５０ｍｍ）を、過酸化水素を１９重量％含
有し、水酸化カリウムを１３重量％含有する水溶液の除
去剤（１０リットル）に浸漬（温度：４０℃以上に保
持）する。なお、過酸化水素および水酸化カリウムを常
に上記濃度となるように、過酸化水素および水酸化カリ
ウムを適宜補充する。
厚：２〜８μｍ）した高速度工具鋼のホブ（外径：７５
ｍｍ，長さ１５０ｍｍ）を、過酸化水素を１９重量％含
有し、水酸化カリウムを１３重量％含有する水溶液の除
去剤（１０リットル）に浸漬（温度：４０℃以上に保
持）する。なお、過酸化水素および水酸化カリウムを常
に上記濃度となるように、過酸化水素および水酸化カリ
ウムを適宜補充する。
【００２２】＜試験結果＞上述した状態で６０時間浸漬
したところ、母材の表面に荒れを生じさせることなくＴ
ｉＡｌＮ被膜を完全に除去することができた。
したところ、母材の表面に荒れを生じさせることなくＴ
ｉＡｌＮ被膜を完全に除去することができた。
【００２３】［比較例１］ ＜試験方法＞ＴｉＡｌＮ被膜をコーティングした（膜
厚：４μｍ）高速度工具鋼の平板（サイズ：２０×２０
×５ｍｍ）を、過酸化水素を１０重量％含有し、水酸化
カリウムを１重量％含有する水溶液（８００ｃｃ）に浸
漬（温度：反応熱によって４０℃に昇温，時間：１２時
間）する。なお、過酸化水素および水酸化カリウムを常
に上記濃度となるように、過酸化水素および水酸化カリ
ウムを適宜補充する。
厚：４μｍ）高速度工具鋼の平板（サイズ：２０×２０
×５ｍｍ）を、過酸化水素を１０重量％含有し、水酸化
カリウムを１重量％含有する水溶液（８００ｃｃ）に浸
漬（温度：反応熱によって４０℃に昇温，時間：１２時
間）する。なお、過酸化水素および水酸化カリウムを常
に上記濃度となるように、過酸化水素および水酸化カリ
ウムを適宜補充する。
【００２４】＜試験結果＞試験終了後、除去剤から取り
出したところ、ＴｉＡｌＮ被膜が残留していた。そこ
で、蛍光Ｘ線による膜厚計を用いて、残留しているＴｉ
ＡｌＮ被膜の厚さを計測して被膜除去速度を求めたとこ
ろ、０．０７μｍ／ｈであった。
出したところ、ＴｉＡｌＮ被膜が残留していた。そこ
で、蛍光Ｘ線による膜厚計を用いて、残留しているＴｉ
ＡｌＮ被膜の厚さを計測して被膜除去速度を求めたとこ
ろ、０．０７μｍ／ｈであった。
【００２５】なお、ＴｉＡｌＮ被膜に代えてＴｉＮ被膜
を適用して上述と同様な条件で被膜除去速度を求めたと
ころ、０．２８μｍ／ｈであった。
を適用して上述と同様な条件で被膜除去速度を求めたと
ころ、０．２８μｍ／ｈであった。
【００２６】［比較例２］ ＜試験方法＞ＴｉＡｌＮ被膜をコーティングした（膜
厚：４μｍ）高速度工具鋼の平板（サイズ：１０×１０
×５ｍｍ）を、過酸化水素を２６重量％含有し、水酸化
ナトリウムを３重量％含有する水溶液（１リットル）に
浸漬（温度：３５℃で保持，時間：７２時間）する。な
お、過酸化水素および水酸化ナトリウムを常に上記濃度
となるように、過酸化水素および水酸化ナトリウムを適
宜補充する。
厚：４μｍ）高速度工具鋼の平板（サイズ：１０×１０
×５ｍｍ）を、過酸化水素を２６重量％含有し、水酸化
ナトリウムを３重量％含有する水溶液（１リットル）に
浸漬（温度：３５℃で保持，時間：７２時間）する。な
お、過酸化水素および水酸化ナトリウムを常に上記濃度
となるように、過酸化水素および水酸化ナトリウムを適
宜補充する。
【００２７】＜試験結果＞試験終了後、除去剤から取り
出したところ、ＴｉＡｌＮ被膜が残留していた。そこ
で、蛍光Ｘ線による膜厚計を用いて、残留しているＴｉ
ＡｌＮ被膜の厚さを計測して被膜除去速度を求めたとこ
ろ、０．０６μｍ／ｈであった。
出したところ、ＴｉＡｌＮ被膜が残留していた。そこ
で、蛍光Ｘ線による膜厚計を用いて、残留しているＴｉ
ＡｌＮ被膜の厚さを計測して被膜除去速度を求めたとこ
ろ、０．０６μｍ／ｈであった。
【００２８】
【発明の効果】本発明によるＴｉＡｌＮ被膜の除去剤
は、過酸化水素を含有すると共に、水酸化カリウムを５
重量％を越えて含有する水溶液であることから、ＴｉＡ
ｌＮ被膜を母材にコーティングした部材を浸漬すれば、
母材の表面に荒れを生じさせることなくＴｉＡｌＮ被膜
を効率よく除去することができる。
は、過酸化水素を含有すると共に、水酸化カリウムを５
重量％を越えて含有する水溶液であることから、ＴｉＡ
ｌＮ被膜を母材にコーティングした部材を浸漬すれば、
母材の表面に荒れを生じさせることなくＴｉＡｌＮ被膜
を効率よく除去することができる。
【００２９】また、本発明によるＴｉＡｌＮ被膜の除去
方法は、ＴｉＡｌＮ被膜を母材にコーティングした部材
を上述のＴｉＡｌＮ被膜の除去剤に浸漬して当該部材か
ら当該ＴｉＡｌＮ被膜を除去するので、母材の表面に荒
れを生じさせることなくＴｉＡｌＮ被膜を効率よく除去
することができる。
方法は、ＴｉＡｌＮ被膜を母材にコーティングした部材
を上述のＴｉＡｌＮ被膜の除去剤に浸漬して当該部材か
ら当該ＴｉＡｌＮ被膜を除去するので、母材の表面に荒
れを生じさせることなくＴｉＡｌＮ被膜を効率よく除去
することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森本 聡 滋賀県栗太郡栗東町六地蔵130番地 三菱 重工業株式会社京都精機製作所内 (72)発明者 小林 敏郎 広島県広島市西区観音新町四丁目６番22号 三菱重工業株式会社広島研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】 過酸化水素を含有すると共に、水酸化カ
リウムを５重量％を越えて含有する水溶液であることを
特徴とするＴｉＡｌＮ被膜の除去剤。 - 【請求項２】 ＴｉＡｌＮ被膜をコーティングした部材
を請求項１に記載のＴｉＡｌＮ被膜の除去剤に浸漬して
当該部材から当該ＴｉＡｌＮ被膜を除去することを特徴
とするＴｉＡｌＮ被膜の除去方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3101998A JPH11229164A (ja) | 1998-02-13 | 1998-02-13 | ＴｉＡｌＮ被膜の除去剤およびこれを使用するＴｉＡｌＮ被膜の除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3101998A JPH11229164A (ja) | 1998-02-13 | 1998-02-13 | ＴｉＡｌＮ被膜の除去剤およびこれを使用するＴｉＡｌＮ被膜の除去方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11229164A true JPH11229164A (ja) | 1999-08-24 |
Family
ID=12319822
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3101998A Withdrawn JPH11229164A (ja) | 1998-02-13 | 1998-02-13 | ＴｉＡｌＮ被膜の除去剤およびこれを使用するＴｉＡｌＮ被膜の除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11229164A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7964085B1 (en) | 2002-11-25 | 2011-06-21 | Applied Materials, Inc. | Electrochemical removal of tantalum-containing materials |
-
1998
- 1998-02-13 JP JP3101998A patent/JPH11229164A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7964085B1 (en) | 2002-11-25 | 2011-06-21 | Applied Materials, Inc. | Electrochemical removal of tantalum-containing materials |
| US9068273B2 (en) | 2002-11-25 | 2015-06-30 | Quantum Global Technologies LLC | Electrochemical removal of tantalum-containing materials |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050510 |