JPH11224799A - シェンケル形直流高圧電源装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】保守点検の際に高周波電極が汚損されたり損傷
したりするおそれがないシェンケル形直流高圧電源装置
を提供する。 【解決手段】タンク本体１Ａとタンクベース１Ｂとから
なるタンク１内に電極列２０２と上部高周波電極２０３
Ａ及び下部高周波電極２０３Ｂとを含むシェンケル回路
２の構成要素を収納する。電極列２０２は、タンクベー
ス１Ｂに片持ちで支持された絶縁板体２００に支持し、
タンクベース１Ｂを外してタンク本体１Ａの軸線方向に
移動させることにより電極列２０２をタンク外に引き出
し得るようにしておく。タンクベース１Ｂに片持ちで支
持された可動ベース９に下部高周波電極２０３Ｂを支持
し、タンクベースの移動に伴って下部高周波電極２０３
Ｂを可動ベース９とともにタンク外に引き出し得るよう
にする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、イオンビームを加
速する加速装置の電源として用いるのに好適なシェンケ
ル形直流高圧電源装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】イオン注入装置などのイオンビーム応用
機器においては、イオンを加速するためにタンデム加速
器やシングルエンド形加速器が用いられており、これら
の加速器に加速電圧を与える直流高圧電源装置として、
周知のシェンケル回路を用いた直流高圧電源装置が多く
用いられている。

【０００３】図２及び図３はシェンケル形直流高圧電源
装置の要部の構成を示したもので、これらの図におい
て、１は円筒状に形成されたタンク本体１Ａと該タンク
本体の軸線方向の一端側に設けられた開口部を閉じるタ
ンクベース（蓋）１Ｂとを備えたタンク、２はタンク１
内に収納されたバランス形のシェンケル回路である。

【０００４】シェンケル回路２は、長手方向をタンク本
体１Ａの軸線方向に向けた状態で該タンク本体内に平行
に配置されてタンクベース１Ｂに片持ちで支持された対
の絶縁板体２００，２００と、絶縁板体２００，２００
に支持金具２１０を介して支持された電極列２０２と、
電極列２０２を間にして上下に対向するように設けられ
た上部高周波電極２０３Ａ及び下部高周波電極２０３Ｂ
と、絶縁板体２００に支持されて電極列２０２及び上下
の高周波電極２０３Ａ，２０３Ｂとともにｎ倍電圧整流
回路を構成する整流器２０４，２０４，…と、図示しな
い高周波電源の出力を昇圧して上部高周波電極２０３Ａ
と接地電位部との間及び下部高周波電極２０３Ｂと接地
電位部との間にそれぞれ印加する高周波コイル（図２に
は図示せず。）とを備えている。

【０００５】電極列２０２は、図３に示すように周方向
の両端を下方に向けたほぼ円弧状の上部単位電極２０１
Ａと、周方向の両端を上方に向けたほぼ円弧状の下部単
位電極２０１Ｂとからなる昇圧回路電極２０１を軸線方
向に複数個並設した構造を有している。図示の例では、
各昇圧回路電極２０１を構成する上下の単位電極２０１
Ａ及び２０１Ｂが軸線方向に位置をずらした状態で配置
されている。

【０００６】上部高周波電極２０３Ａ及び下部高周波電
極２０３Ｂは、電極列２０２を構成する一連の昇圧回路
電極２０１，２０１，…の上部単位電極２０１Ａ，２０
１Ａ，…及び下部単位電極２０１Ｂ，２０１Ｂ，…にそ
れぞれ対応するように設けられていて、タンク本体１Ａ
の内側で電極列２０２を間にして上下に対向するように
配置されている。上部高周波電極２０３Ａ及び下部高周
波電極２０３Ｂは半円筒状に形成されて、タンク本体１
Ａの内周部に絶縁支持物３を介して支持されている。

【０００７】整流器２０４は、各昇圧回路電極２０１の
上部単位電極２０１Ａ及び下部単位電極２０１Ｂをそれ
ぞれ隣接の昇圧回路電極２０１の下部単位電極２０１Ｂ
及び上部単位電極２０１Ａに接続するように設けられて
いる。

【０００８】絶縁板体２００の自由端付近には、高電位
側の端子とシールドとを兼ねる高電圧ターミナル２０５
が配置され、高電圧ターミナル２０５は電極列２０２の
高電位側の最端部の昇圧回路電極２０１にリアクトル
（図２には図示せず。）を介して接続されている。

【０００９】図２において２０６は、高電位側の最端部
の昇圧回路電極２０１と高電圧ターミナル２０５との間
に形成される隙間の電位を、高電圧ターミナル２０５の
電位と同じ電位に固定するために設けられたシールド板
である。

【００１０】タンク本体１Ａの側面には、該タンク本体
の軸線方向に対して直角な方向に突出した分岐管部（図
示せず。）が設けられていて、該分岐管部にタンデム加
速器５を収容した容器が接続されている。タンデム加速
器５はタンク本体１Ａの軸線方向に対して直角な方向に
長く伸びるように設けられていて、該加速器５の中間部
に設けられた高電位側の端子に高電圧ターミナルシール
ド２０５が接続されている。

【００１１】またタンク本体１Ａの側面に設けられた図
示しない分岐管部に昇圧コイル容器が接続されて、該昇
圧コイル容器内に昇圧コイルが収納され、図示しない高
周波電源の出力電圧が該昇圧コイルを通して上部高周波
電極２０３Ａと接地電位部（タンク１）との間及び下部
高周波電極２０３Ｂと接地電位部との間に印加されてい
る。タンク１内にはＳＦ₆ ガスが所定の圧力で封入され
ている。

【００１２】シェンケル回路２は、図示しない高周波電
源の出力電圧を昇圧コイルにより昇圧して得た電圧で高
周波電極２０３Ａ，２０３Ｂと電極列２０２を構成する
一連の昇圧回路電極２０１の単位電極２０１Ａ，２０１
Ｂとの間にそれぞれ形成された浮遊静電容量を充電して
高電圧を発生させる周知のもので、その回路構成は例え
ば図４に示す通りである。

【００１３】図４において、図２の各部と同じ部分には
それぞれ同一の符号を付してあり、１は接地電位にある
タンク、２０１Ａ，２０１Ｂは昇圧回路電極２０１を構
成する単位電極、２０３Ａ，２０３Ｂは高周波電極、２
０４は各昇圧回路電極２０１の上部単位電極２０１Ａ及
び下部単位電極２０１Ｂをそれぞれ隣接する昇圧回路電
極２０１の下部単位電極２０１Ｂ及び上部単位電極２０
１Ａに接続するように設けられた整流器、２０５は高電
圧ターミナル、２０７は昇圧コイル、６は高周波電源で
ある。

【００１４】また７は電極列２０２の低電位側の最端部
の単位電極２０１Ａ，２０１Ｂを対地電位部に接続する
リアクトルであり、８は電極列の高電位側の最端部の昇
圧回路電極２０１を構成する単位電極２０１Ａ，２０１
Ｂを高電圧ターミナル２０５に接続するリアクトルであ
る。Ｃ1 は上部高周波電極２０３Ａ及び下部高周波電極
２０３Ｂのそれぞれと対地間の浮遊静電容量、Ｃ2 は上
部高周波電極２０３Ａと上部単位電極２０１Ａとの間、
及び下部高周波電極２０３Ｂと下部単位電極２０１Ｂと
の間のそれぞれの浮遊静電容量、Ｃ3 は整流器２０４が
有する静電容量、Ｃ4 は高電圧ターミナル２０５と対地
間の静電容量、Ｌは昇圧コイル２０７のインダクタンス
である。

【００１５】この例では、各昇圧回路電極２０１の単位
電極２０１Ａ，２０１Ｂを整流器２０４により隣接する
昇圧回路電極２０１の単位電極２０１Ｂ，２０１Ａに接
続することにより、電極列の低電位側の端部からｎ番目
（ｎ＝１，２，…）に配置された昇圧回路電極の上下の
単位電極２０１Ａ，２０１Ｂと上下の高周波電極２０３
Ａ，２０３Ｂとの間の浮遊静電容量Ｃ2 を高周波電圧の
ピーク値Ｅのｎ倍の電圧ｎＥまで充電するｎ倍電圧整流
回路を構成している。

【００１６】図４に示したシェンケル回路において、高
周波電源６が投入されると、昇圧コイル２０７のインダ
クタンスＬと、上部及び下部高周波電極２０３Ａ及び２
０３Ｂのそれぞれと対地間の静電容量Ｃ1 とにより構成
される共振回路の共振周波数に等しい周波数（例えば１
０ＫＨｚ）の高周波電圧が発生し、この高周波電圧が上
部高周波電極２０３Ａと対地間及び下部高周波電極２０
３Ｂと対地間に印加される。この高周波電圧の正負の半
サイクルの交番に伴って、電極列の低電位側の端部から
高電位側の端部に向けて順次配置された昇圧回路電極２
０１，２０１，…をそれぞれ構成する上下の単位電極２
０１Ａ，２０１Ｂと高周波電極２０３Ａ，２０３Ｂとの
間の静電容量Ｃ2 がそれぞれＥ，２Ｅ，３Ｅ，…の電圧
まで充電されて、最終的に電極列の高電位側の端部のｎ
番目の昇圧回路電極の上部単位電極２０１Ａと上部高周
波電極２０３Ａとの間の静電容量Ｃ2 の両端及び下部単
位電極２０１Ｂと下部高周波電極２０３Ｂとの間の静電
容量Ｃ2 の両端にｎＥの直流高電圧が得られる。この高
電圧は高電圧ターミナル２０５を通して加速管５に加速
電圧として印加される。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】図２に示したシェンケ
ル形直流高圧電源装置において、タンク１の内部の保守
点検を行う際には、図２に鎖線で示したように、タンク
ベース１Ｂを外して、該タンクベース１Ｂとともに電極
列２０２を引出し、タンク本体１Ａ内に作業者が入って
必要な作業を行う。

【００１８】従来の電源装置では、上部高周波電極２０
３Ａ及び下部高周波電極２０３Ｂの双方がタンク本体１
Ａに絶縁支持物３を介して支持されていたため、保守点
検の際に作業者が使用できるタンク内のスペースが狭く
なり、保守点検の作業がやりにくいという問題があっ
た。また従来の電源装置では、保守点検の際に、作業者
が下部高周波電極２０３Ｂの上に乗ってタンク内に入る
必要があったため、下部高周波電極２０３Ｂが汚損した
り、該高周波電極に傷がついたりするおそれがあり、好
ましくなかった。

【００１９】本発明の目的は、保守点検の際に作業者が
使用し得るスペースを従来よりも広くして作業性を向上
させるとともに、下部高周波電極が汚損されたり、傷付
けられたりするおそれをなくすことができるようにした
シェンケル形直流高圧電源装置を提供することにある。

【００２０】

【課題を解決するための手段】本発明が改良の対象とす
るシェンケル形直流高圧電源装置は、軸線を水平方向に
向けた状態で配置されたタンク本体と該タンク本体の軸
線方向の一端を閉じる着脱可能なタンクベースとを備え
て接地電位に保たれるタンクと、周方向の両端を下方に
向けたほぼ円弧状の上部単位電極と周方向の両端を上方
に向けたほぼ円弧状の下部単位電極とからなる昇圧回路
電極を軸線方向に複数個並設した構造を有していて、該
昇圧回路電極の並設方向をタンク本体の軸線方向に一致
させた状態でタンク本体の内側に配置された電極列と、
電極列を構成する一連の昇圧回路電極の上部単位電極及
び下部単位電極にそれぞれ対応するように設けられて前
記タンク本体の内側で前記電極列を間にして上下に対向
配置された上部高周波電極及び下部高周波電極と、高周
波電源の出力電圧を昇圧して上部高周波電極と接地電位
部との間及び下部高周波電極と接地電位部との間に印加
する昇圧コイルと、タンク本体の内側に配置されてい
て、電極列の低電位側の端部からｎ番目（ｎは１以上の
整数）の昇圧回路電極の上部単位電極と上部高周波電極
との間の静電容量及び該ｎ番目の昇圧回路電極の下部単
位電極と下部高周波電極との間の静電容量を、昇圧コイ
ルから印加される高周波電圧のピーク値Ｅのｎ倍の電圧
ｎＥまで充電するｎ倍電圧整流回路を構成するように、
各昇圧回路電極の上部単位電極及び下部単位電極をそれ
ぞれ隣接の昇圧回路電極の下部単位電極及び上部単位電
極に接続する整流器とを備えていて、タンク本体からタ
ンクベースを取り外すことにより電極列を整流器ととも
に外部に引き出し得るように構成されたものである。

【００２１】本発明においては、下部高周波電極を、タ
ンク本体の軸線方向に移動可能に設けられた可動ベース
に絶縁支持物を介して支持して、タンクベースが外され
たときに、下部高周波電極を可動ベースとともに外部に
引出すことができるようにした。

【００２２】上記可動ベースはタンクベースに片持ちで
支持されていてもよく、タンク本体にガイドレールを介
してタンク本体の軸線方向に移動可能に支持されていて
もよい。

【００２３】上記のように、下部高周波電極を、タンク
本体の軸線方向に移動可能に設けられた可動ベースに絶
縁支持物を介して支持する構造として、タンクベースが
外された際に下部高周波電極を外部に引出すことができ
るようにしておくと、タンク内の保守点検を行う際に、
下部高周波電極を外部に引出してタンク内のスペースを
広くすることができるため、保守点検の作業性を向上さ
せることができる。また、上記のように下部高周波電極
を外部に引出すことができるようにしておくと、作業者
は下部高周波電極に乗ることなくタンク内に入ることが
できるため、保守点検の際に下部高周波電極が汚損され
たり傷付けられたりするのを防ぐことができる。

【００２４】上記のように本発明は、下部高周波電極を
タンク本体の軸線方向に対して移動可動に設けられた可
動ベースに支持することを特徴とするが、本発明におい
ては、下部高周波電極を支持する可動ベースと別個に、
タンク本体の軸線方向に移動可能な他の可動ベースを設
けて、該他の可動ベースに絶縁支持物を介して上部高周
波電極を支持する構成をとることを何等妨げない。

【００２５】下部高周波電極及び上部高周波電極の双方
を可動ベースに支持して、両高周波電極をタンクの外部
に引出し得るようにしておくと、保守点検の際に作業者
が使用し得るタンク内のスペースをいっそう広くするこ
とができるため、保守点検の作業性を更に向上させるこ
とができる。

【００２６】

【発明の実施の形態】図１は本発明に係わるシェンケル
形直流高圧電源装置の構成例を示したもので、同図にお
いて、１は円筒状に形成されたタンク本体１Ａと該タン
ク本体の軸線方向の一端側に設けられた開口部を閉じる
タンクベース１Ｂとを備えたタンク、２はタンク１内に
収納されたシェンケル回路である。

【００２７】タンクベース１Ｂは、タンク本体１Ａの軸
線方向に延びるガイドレールに沿って走行する図示しな
い台車の上に支持され、タンクベース１Ｂをタンク本体
１Ａから外した状態で該台車を走行させることにより、
タンクベース１Ｂをタンク本体の軸線方向に移動させ
て、該タンクベースに片持ちで支持されたシェンケル回
路の構成部品をタンクから外部に引き出すことができる
ようになっている。

【００２８】シェンケル回路２は、図２に示した従来の
電源装置と同様に、タンクベース１Ｂに片持ちで支持さ
れた対の絶縁板体２００，２００を備えていて、該絶縁
板体２００，２００に電極列２０２が支持されている。

【００２９】電極列２０２は、図２に示した従来例と同
様に、ほぼ円弧状の上部単位電極２０１Ａと、周方向の
両端を上方に向けたほぼ円弧状の下部単位電極２０１Ｂ
とからなる昇圧回路電極２０１を軸線方向に複数個並設
した構造を有していて、絶縁板体２００に支持金具を介
して支持されている。上部単位電極２０１Ａ及び下部単
位電極２０１Ｂにそれぞれ対応する半円筒状の上部高周
波電極２０３Ａ及び下部高周波電極２０３Ｂが設けられ
て、両高周波電極が電極列２０２を間にして上下に対向
配置されている。また各昇圧回路電極２０１の上部単位
電極２０１Ａ及び下部単位電極２０１Ｂと隣接の昇圧回
路電極の下部単位電極２０１Ｂ及び上部単位電極２０１
Ａとの間にそれぞれ整流器２０４が接続され、一連の整
流器２０４と、電極列２０２と、上下の高周波電極２０
３Ａ及び２０３Ｂとにより、ｎ倍電圧整流回路が構成さ
れている。絶縁板体２００の自由端側にはシールドを兼
ねる高電圧ターミナル２０５が配置されている。高電圧
ターミナル２０５は電極列２０２の高電位側の最端部の
上部単位電極２０１Ａ及び下部単位電極２０１Ｂに接続
され、高電圧ターミナル２０５と電極列２０２の高電位
側の端部との間にはシールド板２０６が配置されてい
る。高電圧ターミナル２０５はタンデム加速器５の高電
位側の端子に接続されている。

【００３０】上記のシェンケル回路の構成は従来のもの
と同様であるが、本発明においては、タンク本体１Ａの
周壁部の最下部付近に該タンク本体の軸線方向に延びる
板状の可動ベース９が設けられて、該可動ベース９に下
部高周波電極２０３Ｂが絶縁支持物３を介して支持され
ている。可動ベース９はタンク本体１Ａの周壁部との間
に所定の間隙を保った状態で配置されていて、電極列２
０２を引き出すためにタンクベース１Ｂをタンク本体１
Ａから外してタンク本体１Ａの軸線方向に沿って該タン
ク本体から離れる方向に移動させた際に、可動ベース９
が下部高周波電極２０３Ｂとともにタンク本体１Ａの軸
線方向に移動してタンクの外部に引き出されるようにな
っている。

【００３１】上部高周波電極３Ａは従来の電源装置と同
様に、絶縁支持物（図示の例では碍子）３を介してタン
ク本体１Ａの周壁部の上部に支持されている。その他の
構成は図２に示した従来の電源装置と全く同様であり、
その電気的構成は図４の回路図に示された通りである。

【００３２】上記のように、下部高周波電極２０３Ｂ
を、タンク本体１Ａの軸線方向に移動可能に設けられた
可動ベース９に絶縁支持物３を介して支持する構造とし
て、タンクベース１Ｂが外された際に下部高周波電極２
０３Ｂを外部に引出すことができるようにしておくと、
タンク内の保守点検を行う際に、下部高周波電極２０３
Ｂを外部に引出してタンク１内のスペースを広くするこ
とができるため、保守点検の作業性を向上させることが
できる。また、上記のように下部高周波電極２０３Ｂを
外部に引出すことができるようにしておくと、作業者は
下部高周波電極２０３Ｂに乗ることなくタンク内に入る
ことができるため、保守点検の際に下部高周波電極２０
３Ｂが汚損されたり傷付けられたりするのを防ぐことが
できる。

【００３３】上記の例では、下部高周波電極２０３Ｂを
支持する可動ベース９をタンクベース１Ｂに片持ちで支
持するようにしたが、可動ベース９はタンク本体１Ａの
軸線方向に移動可能に設ければよく、必ずしもタンクベ
ース１Ｂに片持ちで支持する必要はない。例えば、可動
ベース９をタンク本体１Ａの周壁部の下部にガイドレー
ルを介してタンク本体の軸線方向に移動自在に支持し
て、該可動ベースに下部高周波電極２０３Ｂを絶縁支持
物を介して支持する構造としてもよい。このように構成
した場合には、タンクベース１Ｂを外して電極列２０２
を絶縁板体２００とともに外部に引き出した後、高周波
電極２０３Ｂを可動ベースとともにタンク外に引き出し
て、保守点検を行う。

【００３４】また図１に示した例において、可動ベース
９をより安定に支えるために、可動ベース９の自由端側
（または自由端付近）に該可動ベース９を支えつつタン
ク本体１Ａの周壁部の上を転動する車輪を取り付けるこ
ともできる。

【００３５】上記の例では、上部高周波電極２０３Ａが
タンク本体１Ａの周壁部に絶縁支持物３を介して支持さ
れているが、上部高周波電極２０３Ａに対してもタンク
本体の軸線方向に移動可能な可動ベースを設けて、該可
動ベースに上部高周波電極２０３Ａを絶縁支持物を介し
て支持する構造としてもよい。このように構成すると、
保守点検時に下部高周波電極２０３Ｂだけでなく、上部
高周波電極２０３Ａをもタンク外に引き出すことができ
るため、作業者が使用できるタンク内のスペースを広く
して、作業性をいっそう向上させることができる。

【００３６】図１に示した例では、タンデム加速器５が
タンク１と別個に設けられたタンク内に配置されている
が、加速器５をシェンケル回路２を収容するタンク１内
に配置して、該加速器５の周囲に電極列２０２を配置し
てシェンケル回路を構成するようにすることもできる。

【００３７】また上記の例では、タンデム加速器に加速
電圧を与える場合を例にとったが、シングルエンド形の
加速器に加速電圧を与える場合にも本発明に係わる電源
装置を適用し得るのはもちろんである。

【００３８】上記の例では、昇圧回路電極２０１を構成
する上部単位電極２０１Ａ及び下部単位電極２０１Ｂが
軸線方向に僅かに位置をずらした状態で配置されている
が、上部単位電極２０１Ａ及び下部単位電極２０１Ｂを
整合させた状態で配置するようにしてもよい。

【００３９】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、下部高
周波電極を、タンク本体の軸線方向に移動可能に設けら
れた可動ベースに絶縁支持物を介して支持する構造とし
て、タンクベースが外された際に下部高周波電極を外部
に引出すことができるようにしたので、タンク内の保守
点検を行う際に、下部高周波電極を外部に引出してタン
ク内のスペースを広くすることができ、保守点検の作業
性を向上させることができる。

【００４０】また本発明においては、タンク内の保守点
検時に下部高周波電極を外部に引出すことができるよう
にしたので、作業者は下部高周波電極に乗ることなくタ
ンク内に入ることができる。したがって、本発明によれ
ば、保守点検の際に下部高周波電極が汚損されたり傷付
けられたりするのを防ぐことができ、下部高周波電極の
汚損や損傷により電界が乱されて、絶縁耐力が低下する
のを防ぐことができる利点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる直流高圧電源装置の要部の構成
例を示した断面図である。

【図２】従来の直流高圧電源装置の要部の構成を示した
断面図である。

【図３】昇圧回路電極を構成する単位電極の配置を説明
するための説明図である。

【図４】直流高圧電源を構成するバランス形シェンケル
回路の構成を示した回路図である。

【符号の説明】

１ 容器 １Ａ タンク本体 １Ｂ タンクベース ２ シェンケル回路 ２００ 絶縁板体 ２０１ 昇圧回路電極 ２０１Ａ 上部単位電極 ２０１Ｂ 下部単位電極 ２０２ 電極列 ２０３Ａ 上部高周波電極 ２０３Ｂ 下部高周波電極 ２０４ 整流器 ２０７ 昇圧コイル ３ 絶縁支持物 ６ 高周波電源 ９ 可動ベース

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 軸線を水平方向に向けた状態で配置され
   たタンク本体と該タンク本体の軸線方向の一端を閉じる
   着脱可能なタンクベースとを備えたタンクと、 周方向の両端を下方に向けたほぼ円弧状の上部単位電極
   と周方向の両端を上方に向けたほぼ円弧状の下部単位電
   極とからなる昇圧回路電極を軸線方向に複数個並設した
   構造を有していて、該昇圧回路電極の並設方向を前記タ
   ンク本体の軸線方向に一致させた状態で前記タンク本体
   の内側に配置された電極列と、 前記電極列を構成する一連の昇圧回路電極の上部単位電
   極及び下部単位電極にそれぞれ対応するように設けられ
   て前記タンク本体の内側で前記電極列を間にして上下に
   対向配置された上部高周波電極及び下部高周波電極と、 高周波電源の出力電圧を昇圧して前記上部高周波電極と
   接地電位部との間及び前記下部高周波電極と接地電位部
   との間に印加する昇圧コイルと、 前記タンク本体の内側に配置されていて、前記電極列の
   低電位側の端部からｎ番目（ｎは１以上の整数）の昇圧
   回路電極の上部単位電極と前記上部高周波電極との間の
   静電容量及び該ｎ番目の昇圧回路電極の下部単位電極と
   前記下部高周波電極との間の静電容量を、前記昇圧コイ
   ルから印加される高周波電圧のピーク値Ｅのｎ倍の電圧
   ｎＥまで充電するｎ倍電圧整流回路を構成するように、
   各昇圧回路電極の上部単位電極及び下部単位電極をそれ
   ぞれ隣接の昇圧回路電極の下部単位電極及び上部単位電
   極に接続する整流器とを備え、 前記タンク本体から前記タンクベースを取り外すことに
   より前記電極列を前記整流器とともに外部に引き出し得
   るように構成されているシェンケル形直流高圧電源装置
   において、 前記下部高周波電極は前記タンク本体の軸線方向に移動
   可能に設けられた可動ベースに絶縁支持物を介して支持
   され、前記タンクベースが外されたときに前記下部高周
   波電極を前記可動ベースとともに外部に引出し得るよう
   に構成されていることを特徴とするシェンケル形直流高
   圧電源装置。
2. 【請求項２】 前記可動ベースは前記タンクベースに片
   持ちで支持されていることを特徴とする請求項１に記載
   のシェンケル形直流高圧電源装置。
3. 【請求項３】 前記可動ベースは前記タンク本体にガイ
   ドレールを介してタンク本体の軸線方向に移動可能に支
   持されていることを特徴とする請求項１に記載のシェン
   ケル形直流高圧電源装置。