JPS60207300A - 荷電粒子線加速装置 - Google Patents
荷電粒子線加速装置Info
- Publication number
- JPS60207300A JPS60207300A JP59062672A JP6267284A JPS60207300A JP S60207300 A JPS60207300 A JP S60207300A JP 59062672 A JP59062672 A JP 59062672A JP 6267284 A JP6267284 A JP 6267284A JP S60207300 A JPS60207300 A JP S60207300A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- column
- power supply
- particle beam
- charged particle
- electron gun
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/248—Components associated with high voltage supply
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、保守の容易な仙雷粒子線）Ｊ１１速装ｊｆｆ
ｉ Ｌこ関する。
ｉ Ｌこ関する。
電子顕微鏡においては、観察目的によって電子銃から発
生する電子線を高い電圧で加速することが必要になる。
生する電子線を高い電圧で加速することが必要になる。
しかも単に高電圧で加速するｌど（プでなく、加速電圧
の安定度を１０（程度に保つ必要があり、そのため高圧
電源装置は大型になることが避けられない。第１図は、
比較的高い加速電圧を与える従来の電子顕微鏡における
電子線加速に関係する部分の概略を表わす回路構成図で
ある。
の安定度を１０（程度に保つ必要があり、そのため高圧
電源装置は大型になることが避けられない。第１図は、
比較的高い加速電圧を与える従来の電子顕微鏡における
電子線加速に関係する部分の概略を表わす回路構成図で
ある。
・第１図において、鎖線１で囲んだ部分はコツククロフ
ト・ウオルトン回路等の昇圧整流回路２からなるトＩＴ
（高電圧）回路部を表わしており、昇１］−整流回路２
の出力はリップル除去用のフィルター回路４及び出力検
出用回路（図示せず）及び陰極加熱電源３等から成るＤ
Ｃ回路部５に供給される。
ト・ウオルトン回路等の昇圧整流回路２からなるトＩＴ
（高電圧）回路部を表わしており、昇１］−整流回路２
の出力はリップル除去用のフィルター回路４及び出力検
出用回路（図示せず）及び陰極加熱電源３等から成るＤ
Ｃ回路部５に供給される。
ＤＣ回路部５の出力はバランス抵抗１゛１とバイアス抵
抗ｒ２を介して絶縁ケーブル６を軽て電子銃部８の制御
電極７及び陰極９に印加される。１」−「回路部１を収
納する容器（電源カラム）１９にはフロンガス（化学式
〇Ｃ１’ｚＦ２）又は６弗化イオウガス（化学式ＳＦｓ
、）等の電気絶縁ガスが充填されている。電子銃部８に
おける陰極９には前記陰極加熱電源３の出力がケーブル
６を経て供給され、陰極９の両端子間に設【ブられた前
記ＤＣ０回路５からの高電圧出力が印加される。制御電
極７ど接地電位の間には電圧分割用の抵抗１ｏが設置Ｊ
られ、これらの分割抵抗１０によって分圧された電圧は
各加速電極１１に印加される。図中の鎖線１２は加速管
部を表わしており、この加速管部１２と電子銃部８の陰
極及び制御電極部分は図中の鎖線′１４で示す真空鏡筒
内に収納されている。又、電子銃部と加速管部の真空鏡
筒外の部材は絶縁ガスが充填された電子銃・加速管カラ
ム１３内に収納されている。
抗ｒ２を介して絶縁ケーブル６を軽て電子銃部８の制御
電極７及び陰極９に印加される。１」−「回路部１を収
納する容器（電源カラム）１９にはフロンガス（化学式
〇Ｃ１’ｚＦ２）又は６弗化イオウガス（化学式ＳＦｓ
、）等の電気絶縁ガスが充填されている。電子銃部８に
おける陰極９には前記陰極加熱電源３の出力がケーブル
６を経て供給され、陰極９の両端子間に設【ブられた前
記ＤＣ０回路５からの高電圧出力が印加される。制御電
極７ど接地電位の間には電圧分割用の抵抗１ｏが設置Ｊ
られ、これらの分割抵抗１０によって分圧された電圧は
各加速電極１１に印加される。図中の鎖線１２は加速管
部を表わしており、この加速管部１２と電子銃部８の陰
極及び制御電極部分は図中の鎖線′１４で示す真空鏡筒
内に収納されている。又、電子銃部と加速管部の真空鏡
筒外の部材は絶縁ガスが充填された電子銃・加速管カラ
ム１３内に収納されている。
以上の構成において、加速電圧を高くするに従・てＨＴ
回路部１及びＤＣ０回路′５を１給する容器１９と電子
銃・加速管カラム１３とを結ぶ絶縁ケーブル６に可撓性
を持たせることが困難になり、５００ＫＶ程度以上の高
電圧ではＨＴ回路部１Ａ′）ＤＣ回路部５を収納する容
器１９と電子銃・加速管カラムとをケーブルを用いるこ
となく一体に４７１’ｉ成せざるを得なくなり、大きな
単一気密容器内に電源カラムと電子銃・加速管ノＪラム
等か一緒に収納されることになる。このような装置は装
置債を小さく分離して輸送することが困難になるばかり
でなく、電源カラムの一部を修理したり電子銃部ヤ加速
管部にお（プる汚れを除こうとする際には大きなカラム
内の絶縁カスを全部排出してからカラムの蓋を取外すこ
とが必要となり、装置の保守か不経済且つ面倒になる欠
点がある。
回路部１及びＤＣ０回路′５を１給する容器１９と電子
銃・加速管カラム１３とを結ぶ絶縁ケーブル６に可撓性
を持たせることが困難になり、５００ＫＶ程度以上の高
電圧ではＨＴ回路部１Ａ′）ＤＣ回路部５を収納する容
器１９と電子銃・加速管カラムとをケーブルを用いるこ
となく一体に４７１’ｉ成せざるを得なくなり、大きな
単一気密容器内に電源カラムと電子銃・加速管ノＪラム
等か一緒に収納されることになる。このような装置は装
置債を小さく分離して輸送することが困難になるばかり
でなく、電源カラムの一部を修理したり電子銃部ヤ加速
管部にお（プる汚れを除こうとする際には大きなカラム
内の絶縁カスを全部排出してからカラムの蓋を取外すこ
とが必要となり、装置の保守か不経済且つ面倒になる欠
点がある。
本発明は、このような問題を解決して電子銃と加速管部
を収納するカラムと電源部を収納するカラムとを分離す
ると共に、その接続を可１尭性のある絶縁ケーブルを用
いずに電気的に接続することを目的とするものである。
を収納するカラムと電源部を収納するカラムとを分離す
ると共に、その接続を可１尭性のある絶縁ケーブルを用
いずに電気的に接続することを目的とするものである。
この目的を達成づる本発明装置は、昇圧整流回路及び該
昇圧整流回路の出力に含まれる交流成分を除去するため
のフィルター回路等からなる電源回路部と、該電源回路
部の出力が印加される荷電粒子線源の電極及び該荷電粒
子線源からの粒子線を加速する加速管の電極を収納する
真空鏡筒を備え、前記電源回路部を収納する絶縁ガスの
充填される電源カラムと、前記真空鏡筒の一部を気密を
保って覆い絶縁ガスの充填される荷電粒子線源・加速管
カラムとを別個に構成した装置において、前記電源カラ
ムに設けた接続部と前記電子銃・加速管カラムに設けた
接続部とに分離可能にその両端部が接続する棒状の接続
体と、該接続体によって電源カラムと荷電粒子線源・加
速管カラムとが接続された状態にお（プる接続体の軸方
向に沿って前記電源カラムを移動させる案内手段を設け
たことを特徴としている。
昇圧整流回路の出力に含まれる交流成分を除去するため
のフィルター回路等からなる電源回路部と、該電源回路
部の出力が印加される荷電粒子線源の電極及び該荷電粒
子線源からの粒子線を加速する加速管の電極を収納する
真空鏡筒を備え、前記電源回路部を収納する絶縁ガスの
充填される電源カラムと、前記真空鏡筒の一部を気密を
保って覆い絶縁ガスの充填される荷電粒子線源・加速管
カラムとを別個に構成した装置において、前記電源カラ
ムに設けた接続部と前記電子銃・加速管カラムに設けた
接続部とに分離可能にその両端部が接続する棒状の接続
体と、該接続体によって電源カラムと荷電粒子線源・加
速管カラムとが接続された状態にお（プる接続体の軸方
向に沿って前記電源カラムを移動させる案内手段を設け
たことを特徴としている。
第２図は本発明の一実施例装置の外観を表り図である。
図中、１４は電子顕微鏡の真空＆ｎ筒を表し、その上部
には第１図において説明した電子銃・加速管カラム１３
が積載されている。真空鏡筒１４を載置づる基台１５の
後部には架台１６が設けられ、その上部には平行な２本
のレール１７８゜１７ｂ （図示せず）が設けられてい
る。該レール１７ａ、１７ｂの上には車輪を備えた移動
台１８が載置されており、移動台１８の中央には太さイ
ｆ穴が穿ってあり、該穴を通してＨＴ回路部１とＤＣ回
路部５を収納した電源カラム１９が移動台１８に取付け
られる。電源カラム１９の移動台１８への取付けは、電
源カラム１９の横に取（ｑられｌこ部材１９ｃと移動台
１８との間に設けられた（８／首調整手段２０によって
取付は位置の調整が可能て゛ある。第２図は、接続部材
２１の両端に設けられｉ＝フランジ２２と各カラムのフ
ランジ１９ａ、１３ａとをボルトによって接続した状態
を示している。このような接続状態における接続体２１
の軸方向Ｙは真空鏡筒１４′）軸方向Ｚと直交しており
、レール１７ａ、１７ｂの上を移動リ−る移動台１８の
移動方向はＹ方向と一致するように組立てられている。
には第１図において説明した電子銃・加速管カラム１３
が積載されている。真空鏡筒１４を載置づる基台１５の
後部には架台１６が設けられ、その上部には平行な２本
のレール１７８゜１７ｂ （図示せず）が設けられてい
る。該レール１７ａ、１７ｂの上には車輪を備えた移動
台１８が載置されており、移動台１８の中央には太さイ
ｆ穴が穿ってあり、該穴を通してＨＴ回路部１とＤＣ回
路部５を収納した電源カラム１９が移動台１８に取付け
られる。電源カラム１９の移動台１８への取付けは、電
源カラム１９の横に取（ｑられｌこ部材１９ｃと移動台
１８との間に設けられた（８／首調整手段２０によって
取付は位置の調整が可能て゛ある。第２図は、接続部材
２１の両端に設けられｉ＝フランジ２２と各カラムのフ
ランジ１９ａ、１３ａとをボルトによって接続した状態
を示している。このような接続状態における接続体２１
の軸方向Ｙは真空鏡筒１４′）軸方向Ｚと直交しており
、レール１７ａ、１７ｂの上を移動リ−る移動台１８の
移動方向はＹ方向と一致するように組立てられている。
第３図は、電源カラム１９及び電子銃・加速１へ′カラ
ム１３の内部構造を説明するだめの断面略図であり、第
１図及び第２図と同一番舅を付したものは同一構成要素
を表している。電源カラム１９の内部はシールド板１９
ｂによって２つに仕切られ、その一方には１」Ｖ回路部
１が他方にはＤＣ回路部５が収納され、シールド板１９
ｂの穴を通して配置されるフィルター回路３・を構成づ
る抵抗体ｒ３を介してＨＶ回路部１とＤＣ回路部５が接
続される。電源カラム１９の一部には接続体２１の端部
を受けるためのエポキシ樹脂からなるブッシング２３が
カラム１９の気密性を保って設（プられており、電子銃
・加速管カラム１３にも同じ構造のブッシング２３が設
けられている。従って、対称な構造を有する接続体２１
の端部をこれらのブッシングに挿入することにより電源
カラム１９と電子銃・加速管カラム１３どを電気的に接
続することができる。電子銃・加速管カラム１３の側に
設りられたブッシング２３の端部に取付けられた端子よ
り取出された高電圧出力は電子銃の電極支持部８ａに印
加されると共に、その一部は分割抵抗１０を介して真空
鏡筒１４内の加速電極１１に印加される。又、電源カラ
ム１９と電子銃・加速管カラム１３内には前述した絶縁
ガスが充填されている。
ム１３の内部構造を説明するだめの断面略図であり、第
１図及び第２図と同一番舅を付したものは同一構成要素
を表している。電源カラム１９の内部はシールド板１９
ｂによって２つに仕切られ、その一方には１」Ｖ回路部
１が他方にはＤＣ回路部５が収納され、シールド板１９
ｂの穴を通して配置されるフィルター回路３・を構成づ
る抵抗体ｒ３を介してＨＶ回路部１とＤＣ回路部５が接
続される。電源カラム１９の一部には接続体２１の端部
を受けるためのエポキシ樹脂からなるブッシング２３が
カラム１９の気密性を保って設（プられており、電子銃
・加速管カラム１３にも同じ構造のブッシング２３が設
けられている。従って、対称な構造を有する接続体２１
の端部をこれらのブッシングに挿入することにより電源
カラム１９と電子銃・加速管カラム１３どを電気的に接
続することができる。電子銃・加速管カラム１３の側に
設りられたブッシング２３の端部に取付けられた端子よ
り取出された高電圧出力は電子銃の電極支持部８ａに印
加されると共に、その一部は分割抵抗１０を介して真空
鏡筒１４内の加速電極１１に印加される。又、電源カラ
ム１９と電子銃・加速管カラム１３内には前述した絶縁
ガスが充填されている。
第４図は、電源カラム１９と接続体２１の接続部分を拡
大した断面図であり、接続体２１０軸Ｅ＋１％分にはそ
の内部に２本の導線（図示せず〉を通した銅製のパイプ
２４がエポキシ樹脂２５に埋包されている。エポキシ樹
脂２５の外側は接地電位に保たれる金属製のス（〜レス
コーン２６によって覆われている。ストレスコーン２Ｇ
の端部には締め付は用のフランジ２２が取イ」けられて
いる。パイプ２４の端部には絶縁体２７と端子部２８ａ
、２８ｂ 、２８Ｃが層状に設けられ、夫々の端子部は
陰極加熱電流と制御電極の電位を伝達するために用いら
れる。但し、図にはこれらの端子部に接続する受け部分
は省略しである。エポキシ樹脂２ｂの端面は円錐状に形
成され、そのデーパ−角はブッシング２３のテーパー角
と一致するように製作されている。又、ブッシング２３
との間に隙間を生じさせないで当接させるに必要な精度
に余裕を持たせるため、エポキシ樹脂２５のテーパ一部
分には弾性に富むＥＰ（エチレンプ［Ｊピレン）ゴムキ
レツブ２９が被せられ、更にＥＰゴムキャップ２９の内
外面には絶縁用のシリコングリスが塗布される。該「Ｐ
ゴムキャップ２９に対してはフランジ２２と１９ａ、１
３ａを結ぶボルトの締め例り具合を調整することによっ
てブッシング２３との間に適当な面圧を与えることがで
きるように構成されている。
大した断面図であり、接続体２１０軸Ｅ＋１％分にはそ
の内部に２本の導線（図示せず〉を通した銅製のパイプ
２４がエポキシ樹脂２５に埋包されている。エポキシ樹
脂２５の外側は接地電位に保たれる金属製のス（〜レス
コーン２６によって覆われている。ストレスコーン２Ｇ
の端部には締め付は用のフランジ２２が取イ」けられて
いる。パイプ２４の端部には絶縁体２７と端子部２８ａ
、２８ｂ 、２８Ｃが層状に設けられ、夫々の端子部は
陰極加熱電流と制御電極の電位を伝達するために用いら
れる。但し、図にはこれらの端子部に接続する受け部分
は省略しである。エポキシ樹脂２ｂの端面は円錐状に形
成され、そのデーパ−角はブッシング２３のテーパー角
と一致するように製作されている。又、ブッシング２３
との間に隙間を生じさせないで当接させるに必要な精度
に余裕を持たせるため、エポキシ樹脂２５のテーパ一部
分には弾性に富むＥＰ（エチレンプ［Ｊピレン）ゴムキ
レツブ２９が被せられ、更にＥＰゴムキャップ２９の内
外面には絶縁用のシリコングリスが塗布される。該「Ｐ
ゴムキャップ２９に対してはフランジ２２と１９ａ、１
３ａを結ぶボルトの締め例り具合を調整することによっ
てブッシング２３との間に適当な面圧を与えることがで
きるように構成されている。
このような装置を組立てて、接続体２１にｊ；す′；ｕ
源カラム１つと電子銃・加速管カラム１３を接続Ｊるに
は、接続の前に適当な治具等を用いて位置調整手段２０
を操作し、電源カラム］９と移り３台１８との高さ及び
水平方向の位置関係を調整し℃おく必要がある。しかし
、一度位置調整をしくおりば、次に１妾続１木２１をカ
ラムから切り１ｉｓｉｔ Ｌ、でも位置調整なしに容易
に接続体２１とカラムを接続づることができるＪ：うに
なる。このような構成によれば、電子銃・加速管カラム
１３と電源カラム１９の薔を別個に開けてクリーニング
や修理を行うことができるので、装置の保守が極めて容
易になる。又、電源回路部をチェックするには、接続体
２１を電子銃・加速管カラム１３から切離づことにより
接続体２１の端子を利用して電源回路を動作させた状態
でチェック覆ることかできるので極めて便利である。逆
に、電子銃のフィラメント状陰極の断線等をチェックＪ
−る場合には、接続体２１を電源カラム１９から切−Ｉ
Ｌ ’Ｕ接続体２′１の端子を利用して簡単に行うこ
とか可能でｉ１６る。
源カラム１つと電子銃・加速管カラム１３を接続Ｊるに
は、接続の前に適当な治具等を用いて位置調整手段２０
を操作し、電源カラム］９と移り３台１８との高さ及び
水平方向の位置関係を調整し℃おく必要がある。しかし
、一度位置調整をしくおりば、次に１妾続１木２１をカ
ラムから切り１ｉｓｉｔ Ｌ、でも位置調整なしに容易
に接続体２１とカラムを接続づることができるＪ：うに
なる。このような構成によれば、電子銃・加速管カラム
１３と電源カラム１９の薔を別個に開けてクリーニング
や修理を行うことができるので、装置の保守が極めて容
易になる。又、電源回路部をチェックするには、接続体
２１を電子銃・加速管カラム１３から切離づことにより
接続体２１の端子を利用して電源回路を動作させた状態
でチェック覆ることかできるので極めて便利である。逆
に、電子銃のフィラメント状陰極の断線等をチェックＪ
−る場合には、接続体２１を電源カラム１９から切−Ｉ
Ｌ ’Ｕ接続体２′１の端子を利用して簡単に行うこ
とか可能でｉ１６る。
更に、電源カラム１つや電子銃・加速管７Ｊラム１３内
に絶縁カスを充填したまま接続体２１の両端を２つのカ
ラムから分子１１ ′？ｌることかできるの（装置の移
動か容易となる。
に絶縁カスを充填したまま接続体２１の両端を２つのカ
ラムから分子１１ ′？ｌることかできるの（装置の移
動か容易となる。
尚、本発明は前記実施例装置に限定されるものでｔ、！
なく、例えば電子顕微鏡の代わりにイＡンヒーム装置に
本発明を適用づることし容易てルンイ）、１
なく、例えば電子顕微鏡の代わりにイＡンヒーム装置に
本発明を適用づることし容易てルンイ）、１
第１図は電子顕微鏡における電子線加速ｔこ関連する個
所の回路、第２図は本発明の〜実施例装置の外観図、第
３図及び第４図は第３図に示？ｌ装置の要部断面図であ
る。 １：ＨＴ回路部、２：昇圧整流回路、３：陰極加熱電源
、４：フィルター回路、５：ＤＣ回路部、６：絶縁ケー
ブル、７：制御電極、８：電子銃部、９：陰極、１０：
分割抵抗、１１：加速電極、１２：加速管部、１３二電
子銃・加ｉ管カラム′、１４：真空鏡筒、１５：基台、
１６：架台、１７ａ ：レール、１８：移動台、１９：
電源カラム、２０：位置調整手段、２１：接続体、２２
；フランジ、２３：ブッシング、２４：パイプ、２５：
土ボキシ樹脂、２６：ストレスコーン、２７：絶縁体、
２８ａ、２８ｂ、２８ｃ ：端子部、２９：［二Ｐゴム
キＶツブ。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤−夫
所の回路、第２図は本発明の〜実施例装置の外観図、第
３図及び第４図は第３図に示？ｌ装置の要部断面図であ
る。 １：ＨＴ回路部、２：昇圧整流回路、３：陰極加熱電源
、４：フィルター回路、５：ＤＣ回路部、６：絶縁ケー
ブル、７：制御電極、８：電子銃部、９：陰極、１０：
分割抵抗、１１：加速電極、１２：加速管部、１３二電
子銃・加ｉ管カラム′、１４：真空鏡筒、１５：基台、
１６：架台、１７ａ ：レール、１８：移動台、１９：
電源カラム、２０：位置調整手段、２１：接続体、２２
；フランジ、２３：ブッシング、２４：パイプ、２５：
土ボキシ樹脂、２６：ストレスコーン、２７：絶縁体、
２８ａ、２８ｂ、２８ｃ ：端子部、２９：［二Ｐゴム
キＶツブ。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤−夫
Claims (1)
- 昇圧整流回路及び該昇圧整流回路の出力に含まれる交流
成分を除去するためのフィルター回路等からなる電源回
路部と、該電、源回路部の出力が印加される荷電粒子線
源の電極及び該荷電粒子線源からの粒子線を加速する加
速管の電極を収納づる真空鏡筒を描え、前記電源回路部
を収納する絶縁ガスの充填される電源ノコラムと、前記
真空鏡筒の一部を気密を保って覆い絶縁ガスの充填され
る荷電粒子線源・加速管カラムとを別個に構成しだ装置
において、前記電源カラムに設りた接続部と前記電子銃
・加速管カラムに設けた接続部とに分離可能にその両端
部が接続する棒状の接続体と、該接続体によって電源カ
ラムと荷電粒子線源・加速管カラムとが接続された状態
における接続体の軸方向に沿って前記電源カラムを移動
さける案内手段を設けたことを特徴とする荷電粒子線加
速装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59062672A JPS60207300A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 荷電粒子線加速装置 |
| US06/714,613 US4703234A (en) | 1984-03-30 | 1985-03-21 | Charged-particle accelerator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59062672A JPS60207300A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 荷電粒子線加速装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60207300A true JPS60207300A (ja) | 1985-10-18 |
| JPH0460319B2 JPH0460319B2 (ja) | 1992-09-25 |
Family
ID=13207009
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59062672A Granted JPS60207300A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 荷電粒子線加速装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4703234A (ja) |
| JP (1) | JPS60207300A (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4845337A (en) * | 1988-02-02 | 1989-07-04 | Eg&G, Inc. | Ovenized oscillator assembly |
| ES2037590B1 (es) * | 1991-06-26 | 1996-02-01 | Ormazabal & Cie | Sistema de acoplamiento entre modulos de aparamenta electrica para centros de transformacion y similares. |
| US6407492B1 (en) | 1997-01-02 | 2002-06-18 | Advanced Electron Beams, Inc. | Electron beam accelerator |
| US5962995A (en) * | 1997-01-02 | 1999-10-05 | Applied Advanced Technologies, Inc. | Electron beam accelerator |
| US6545398B1 (en) | 1998-12-10 | 2003-04-08 | Advanced Electron Beams, Inc. | Electron accelerator having a wide electron beam that extends further out and is wider than the outer periphery of the device |
| US6246190B1 (en) | 1999-07-30 | 2001-06-12 | Etec Systems, Inc. | Integrated electron gun and electronics module |
| IL151155A0 (en) * | 2000-02-11 | 2003-04-10 | Varian Semiconductor Equipment | Methods and apparatus for operating high energy accelerator in low energy mode |
| US7276708B2 (en) * | 2005-11-23 | 2007-10-02 | Far-Tech, Inc. | Diagnostic resonant cavity for a charged particle accelerator |
| EP2048673B1 (en) * | 2007-10-12 | 2014-05-14 | ABB Research Ltd. | A device for electric connection, a method for producing such a device, and an electric power installation provided therewith |
| CN109275255B (zh) * | 2018-10-29 | 2024-04-26 | 同方威视技术股份有限公司 | 用于电子加速器的灯丝电源和电子加速器 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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1985
- 1985-03-21 US US06/714,613 patent/US4703234A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
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