JPH11221908A - Solvent vaporizing apparatus - Google Patents
Solvent vaporizing apparatusInfo
- Publication number
- JPH11221908A JPH11221908A JP10024997A JP2499798A JPH11221908A JP H11221908 A JPH11221908 A JP H11221908A JP 10024997 A JP10024997 A JP 10024997A JP 2499798 A JP2499798 A JP 2499798A JP H11221908 A JPH11221908 A JP H11221908A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solvent
- heater
- heat source
- vaporizer
- spray nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、容器内に噴霧され
た溶剤を気化する溶剤気化装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solvent vaporizer for vaporizing a solvent sprayed in a container.
【０００２】[0002]
【従来の技術】印刷機は、インキなどを塗布したウェブ
などを乾燥するために、窒素ガスなどの不活性ガスと溶
剤ガスとの混合ガスが充満する乾燥炉を備えている。こ
の乾燥炉は、その内部を通過するウェブに、混合ガスの
熱風を送風して、塗膜面を乾燥している。この塗膜は、
メチルエチルケトンやトルエンなどの溶剤を含み、塗膜
面の質を向上するためには、溶剤濃度を一定に保って、
塗膜面からの溶剤の蒸発速度をある程度抑制する必要が
ある。このために、乾燥炉内には、塗膜に含まれる溶剤
と同じ溶剤ガスが充満されている。このような乾燥装置
は、乾燥炉に供給する熱風の上流側に、溶剤気化装置を
備えており、熱風で気化した溶剤ガスを乾燥炉に供給し
て、乾燥炉内における溶剤ガスの濃度を上昇している。
この溶剤気化装置は、溶剤を供給する溶剤供給部と、熱
源ヒータの下流側に噴霧ノズルとを備えており、噴霧ノ
ズルによって溶剤を連続して噴霧して、熱源ヒータを通
過した熱風でこの溶剤を気化している。2. Description of the Related Art A printing machine is provided with a drying furnace filled with a mixed gas of an inert gas such as nitrogen gas and a solvent gas in order to dry a web or the like coated with ink or the like. This drying oven blows hot air of a mixed gas onto a web passing through the inside thereof to dry the coating surface. This coating is
Including solvents such as methyl ethyl ketone and toluene, in order to improve the quality of the coating surface, keep the solvent concentration constant,
It is necessary to suppress the evaporation rate of the solvent from the coating film surface to some extent. For this reason, the drying furnace is filled with the same solvent gas as the solvent contained in the coating film. Such a drying device is provided with a solvent vaporizer upstream of the hot air supplied to the drying furnace, and supplies the solvent gas vaporized by the hot air to the drying furnace to increase the concentration of the solvent gas in the drying furnace. doing.
This solvent vaporizer includes a solvent supply unit for supplying a solvent, and a spray nozzle downstream of the heat source heater. The spray nozzle continuously sprays the solvent, and the hot air that has passed through the heat source heater causes the solvent to flow. Is evaporating.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】従来の溶剤気化装置
は、噴霧ノズルによって噴霧した溶剤が、底面に落下す
るまでに、この溶剤を蒸発する必要があった。しかし、
溶剤が完全に蒸発するまでの時間が、溶剤の落下時間よ
りも長いときには、噴霧した溶剤が滴状態で底面に落下
して液溜まりを生じ、気化効率が悪化してしまうという
問題があった。In the conventional solvent vaporizer, it is necessary to evaporate the solvent before the solvent sprayed by the spray nozzle falls to the bottom surface. But,
If the time required for the solvent to completely evaporate is longer than the falling time of the solvent, there is a problem that the sprayed solvent drops to the bottom surface in the form of drops and a liquid pool is generated, resulting in deterioration of the vaporization efficiency.
【０００４】また、噴霧ノズルを工夫することによっ
て、噴霧した溶剤の外径を小さくして、溶剤の気化促進
を図り、蒸発時間の短縮を図る手段がある。しかし、こ
のような手段では、溶剤の物性や噴霧ノズルの大きさの
制約などにより、気化効率の低下を十分に解消すること
ができないという問題があった。Further, there is a means for reducing the outer diameter of the sprayed solvent by devising a spray nozzle to promote the vaporization of the solvent and shorten the evaporation time. However, such a method has a problem that a decrease in the vaporization efficiency cannot be sufficiently eliminated due to the physical properties of the solvent and the size of the spray nozzle.
【０００５】本発明の課題は、気化効率を向上すること
ができる溶剤気化装置を提供することである。An object of the present invention is to provide a solvent vaporizer capable of improving the vaporization efficiency.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、以下のような
解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容
易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付
して説明するが、これに限定するものではない。すなわ
ち、請求項１の発明は、気化容器（５０）内に溶剤を噴
霧する溶剤噴霧手段（５５，５７，５８）と、前記気化
容器内に設けられ、噴霧した溶剤を気化する加熱手段
（５４）とを含む溶剤気化装置において、前記気化容器
内に設けられ、前記加熱手段によって気化されなかった
溶剤を加熱する補助加熱手段（５９）を備えることを特
徴とする溶剤気化装置（５，６）である。The present invention solves the above-mentioned problems by the following means. In addition, in order to make it easy to understand, description is given with reference numerals corresponding to the embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to this. That is, the invention of claim 1 provides a solvent spraying means (55, 57, 58) for spraying a solvent into a vaporization vessel (50), and a heating means (54) provided in the vaporization vessel for vaporizing the sprayed solvent. ), Comprising an auxiliary heating means (59) provided in the vaporization vessel and for heating the solvent not vaporized by the heating means (5, 6). It is.
【０００７】請求項２の発明は、請求項１に記載の溶剤
気化装置において、前記溶剤噴霧手段は、溶剤を収納す
る溶剤タンク（５５）と、前記溶剤を噴霧する噴霧ノズ
ル（５８）と、前記溶剤タンクから前記噴霧ノズルに、
前記溶剤を供給する溶剤供給路（５７）とを含み、前記
溶剤供給路は、その内部の溶剤を加熱する溶剤加熱ヒー
タ（６０）を備えることを特徴とする溶剤気化装置であ
る。According to a second aspect of the present invention, in the solvent vaporizer according to the first aspect, the solvent spraying means includes: a solvent tank (55) for storing a solvent; a spray nozzle (58) for spraying the solvent; From the solvent tank to the spray nozzle,
A solvent supply path (57) for supplying the solvent, wherein the solvent supply path is provided with a solvent heater (60) for heating the solvent therein.
【０００８】請求項３の発明は、請求項１又は請求項２
に記載の溶剤気化装置において、前記補助加熱手段は、
前記気化容器内を加熱する加熱ヒータ（５９ａ，５９
ｂ，５９ｃ）であることを特徴とする溶剤気化装置であ
る。[0008] The invention of claim 3 is claim 1 or claim 2.
In the solvent vaporizer according to the above, the auxiliary heating means,
A heater (59a, 59) for heating the inside of the vaporization container
b, 59c).
【０００９】請求項４の発明は、請求項１から請求項３
までのいずれか１項に記載の溶剤気化装置において、前
記補助加熱手段は、噴霧した溶剤が付着する付着面を有
する加熱ヒータ（５９ａ，５９ｂ，５９ｃ）であること
を特徴とする溶剤気化装置である。[0009] The invention of claim 4 is the invention of claims 1 to 3.
In the solvent vaporizer according to any one of the above, the auxiliary heating means is a heater (59a, 59b, 59c) having an adhesion surface to which the sprayed solvent adheres. is there.
【００１０】請求項５の発明は、請求項１から請求項４
までのいずれか１項に記載の溶剤気化装置において、前
記溶剤噴霧手段は、前記溶剤を横方向に噴霧し、前記補
助加熱手段（５９ａ，５９ｂ）は、前記気化容器の側面
及び／又は底面に設けられていることを特徴とする溶剤
気化装置である。[0010] The invention of claim 5 is the invention of claims 1 to 4.
In the solvent vaporizer according to any one of the above, the solvent spraying means sprays the solvent in a lateral direction, and the auxiliary heating means (59a, 59b) is provided on a side surface and / or a bottom surface of the vaporization container. It is a solvent vaporizer characterized by being provided.
【００１１】請求項６の発明は、請求項１から請求項５
までのいずれか１項に記載の溶剤気化装置において、前
記溶剤噴霧手段は、前記溶剤を上方向に噴霧し、前記補
助加熱手段（５９ａ，５９ｂ，５９ｃ）は、前記気化容
器の上面、底面、側面のうちの少なくとも一面に設けら
れていることを特徴とする溶剤気化装置である。[0011] The invention of claim 6 is the invention of claims 1 to 5.
In the solvent vaporizer according to any one of the above, the solvent spraying means sprays the solvent upward, and the auxiliary heating means (59a, 59b, 59c) includes an upper surface, a lower surface, A solvent vaporizer provided on at least one of the side surfaces.
【００１２】[0012]
【発明の実施の形態】（第１実施形態）以下、図面を参
照して、本発明の第１実施形態について、さらに詳しく
説明する。以下では、本発明の第１実施形態に係る溶剤
気化装置を、ウェブを乾燥する乾燥装置に適用した例を
挙げて説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る
溶剤気化装置を備える乾燥装置を概略的に示す図であ
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS (First Embodiment) Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings. Hereinafter, an example in which the solvent vaporizer according to the first embodiment of the present invention is applied to a dryer for drying a web will be described. FIG. 1 is a diagram schematically illustrating a drying device including a solvent vaporizer according to a first embodiment of the present invention.
【００１３】乾燥炉１は、溶剤を含む塗膜面を有するウ
ェブ２を乾燥するためのものである。乾燥炉１は、その
長手方向の両端部に、ウェブ２が図中矢印方向に通過可
能なように、搬入口１ａと搬出口１ｂとを備えている。
乾燥炉１内には、例えば、窒素ガスなどの不活性ガスが
充満している。また、乾燥炉１内には、ウェブ２上の塗
膜面の質向上を図るとともに、この塗膜面に含まれる溶
剤の蒸発速度を抑制するために、塗膜面に含まれる溶剤
と同じ溶剤ガスが充満している。The drying furnace 1 is for drying a web 2 having a coating surface containing a solvent. The drying furnace 1 has a carry-in port 1a and a carry-out port 1b at both ends in the longitudinal direction so that the web 2 can pass in the direction of the arrow in the figure.
The drying furnace 1 is filled with an inert gas such as nitrogen gas, for example. In the drying furnace 1, the same solvent as the solvent contained in the coating surface is used to improve the quality of the coating surface on the web 2 and to suppress the evaporation rate of the solvent contained in the coating surface. Gas is full.
【００１４】カーテンボックス１０，１１は、乾燥炉１
内に空気が入るのを防止するためのものである。カーテ
ンボックス１０，１１は、ウェブ２が通過可能な搬入口
１０ａ及び搬出口１１ａをそれぞれ備え、乾燥炉１の搬
入口１ａ及び搬出口１ｂを覆うようにそれぞれ設けられ
ている。カーテンボックス１０，１１は、乾燥炉１内に
向けて窒素ガスを吹き付けることによって、搬入口１１
及び搬出口１２をシールし、乾燥炉１内に空気が浸入す
るのを防止している。The curtain boxes 10 and 11 are provided in the drying oven 1.
This is to prevent air from entering the inside. The curtain boxes 10 and 11 have a carry-in port 10a and a carry-out port 11a, respectively, through which the web 2 can pass, and are provided so as to cover the carry-in port 1a and the carry-out port 1b of the drying furnace 1, respectively. The curtain boxes 10 and 11 are sprayed with nitrogen gas into the drying furnace 1 so that
In addition, the outlet 12 is sealed to prevent air from entering the drying furnace 1.
【００１５】窒素タンク３は、内部に窒素ガスを収納し
ている。窒素タンク３は、配管３０ａ，３０ｂ，３０ｃ
を通じて、カーテンボックス１０内に窒素ガスを供給す
るとともに、配管３０ａ，３０ｂ，３０ｄを通じて、カ
ーテンボックス１１内に窒素ガスを供給する。また、窒
素タンク３は、配管３０ａから分岐した配管３０ｅに、
窒素ガスを供給する。The nitrogen tank 3 contains a nitrogen gas. The nitrogen tank 3 includes pipes 30a, 30b, 30c
, A nitrogen gas is supplied into the curtain box 10, and a nitrogen gas is supplied into the curtain box 11 through the pipes 30a, 30b, 30d. The nitrogen tank 3 is connected to a pipe 30e branched from the pipe 30a.
Supply nitrogen gas.
【００１６】凝縮器４は、配管３０ｅに供給された窒素
ガスと、乾燥炉１から排出された混合ガスとを、冷却水
４１によって冷却するものである。凝縮器４は、冷却し
た窒素ガスの一部を排気するとともに、残りの窒素ガス
を、配管３０ｆを通じて溶剤気化装置５，６に供給して
いる。The condenser 4 cools the nitrogen gas supplied to the pipe 30 e and the mixed gas discharged from the drying furnace 1 with cooling water 41. The condenser 4 exhausts a part of the cooled nitrogen gas, and supplies the remaining nitrogen gas to the solvent vaporizers 5 and 6 through the pipe 30f.
【００１７】図２は、本発明の第１実施形態に係る溶剤
気化装置を概略的に示す平面図である。図３は、本発明
の第１実施形態に係る溶剤気化装置における熱源ボック
スを示す断面図である。溶剤気化装置５，６は、熱風に
よって溶剤を気化する装置である。なお、溶剤気化装置
５，６は、いずれも同一構造であり、以下では、溶剤気
化装置５について説明する。FIG. 2 is a plan view schematically showing a solvent vaporizer according to the first embodiment of the present invention. FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a heat source box in the solvent vaporizer according to the first embodiment of the present invention. The solvent vaporizers 5 and 6 are devices that vaporize the solvent by hot air. Note that the solvent vaporizers 5 and 6 have the same structure, and the solvent vaporizer 5 will be described below.
【００１８】溶剤気化装置５は、図２及び図３に示すよ
うに、熱源ボックス５０と、流入用ダクト５１と、リタ
ーン用ダクト５２と、循環ファン５３と、熱源ヒータ５
４と、溶剤タンク５５と、溶剤供給ポンプ５６と、溶剤
供給配管５７と、噴霧ノズル５８と、プレートヒータ５
９と、供給配管用ヒータ６０などからなる。As shown in FIGS. 2 and 3, the solvent vaporizer 5 includes a heat source box 50, an inflow duct 51, a return duct 52, a circulation fan 53, a heat source heater 5,
4, solvent tank 55, solvent supply pump 56, solvent supply pipe 57, spray nozzle 58, plate heater 5
9 and a supply pipe heater 60.
【００１９】熱源ボックス５０は、乾燥炉１から吸引し
た混合ガスを加熱するとともに、内部に噴霧した溶剤を
気化するための容器である。熱源ボックス５０は、内部
に循環ファン５３と、熱源ヒータ５４と、噴霧ノズル５
８と、プレートヒータ５９とが設けられている。The heat source box 50 is a container for heating the mixed gas sucked from the drying furnace 1 and evaporating the solvent sprayed inside. The heat source box 50 includes a circulation fan 53, a heat source heater 54, and a spray nozzle 5 therein.
8 and a plate heater 59 are provided.
【００２０】流入用ダクト５１は、乾燥炉１内から混合
ガスを吸引して、熱源ボックス５０に供給するためのも
のである。流入用ダクト５１は、その一端が乾燥炉１に
接続されており、他端が熱源ボックス５０に接続されて
いる。The inflow duct 51 is for sucking the mixed gas from the drying furnace 1 and supplying it to the heat source box 50. The inflow duct 51 has one end connected to the drying furnace 1 and the other end connected to the heat source box 50.
【００２１】リターン用ダクト５２は、ヒータ５４が加
熱した混合ガスを、乾燥炉１内に戻すためのものであ
る。リターン用配管３ｄは、下流側が乾燥炉１に接続さ
れており、上流側が熱源ボックス５０に接続されてい
る。リターン用ダクト５２は、混合ガスの熱風を、ウェ
ブ２上の塗膜面に送風して、この塗布面を乾燥する。The return duct 52 is for returning the mixed gas heated by the heater 54 into the drying furnace 1. The return pipe 3 d has the downstream side connected to the drying furnace 1 and the upstream side connected to the heat source box 50. The return duct 52 sends hot air of the mixed gas to the coating surface of the web 2 to dry the coating surface.
【００２２】循環ファン５３は、流入用ダクト５１を介
して、乾燥炉１内から熱源ボックス５０内に混合ガスを
吸引し、図中矢印方向に循環するものである。循環ファ
ン５３は、熱源ボックス５０内に吸引した混合ガスを、
ヒータ５４に向けて送出している。The circulation fan 53 sucks the mixed gas from the drying furnace 1 into the heat source box 50 through the inflow duct 51 and circulates the mixed gas in the direction of the arrow in the figure. The circulation fan 53 converts the mixed gas sucked into the heat source box 50 into
It is sent out to the heater 54.
【００２３】ヒータ５４は、循環ファン５３が送出した
混合ガスを所定温度まで昇温して、熱源ボックス５０内
に噴霧した溶剤を、加熱した混合ガスの熱風によって気
化するものである。ヒータ５４は、循環ファン５３の下
流側に設けられている。ヒータ５４は、加熱した混合ガ
スを噴霧ノズル５８に向けて送出している。The heater 54 raises the temperature of the mixed gas sent out by the circulation fan 53 to a predetermined temperature, and vaporizes the solvent sprayed into the heat source box 50 by hot air of the heated mixed gas. The heater 54 is provided downstream of the circulation fan 53. The heater 54 sends out the heated mixed gas toward the spray nozzle 58.
【００２４】噴霧ノズル５８は、熱源ボックス５０内に
溶剤を噴霧するためのものである。噴霧ノズル５８は、
図３に示すように、熱源ボックス５０内において、溶剤
を横方向に噴霧している。The spray nozzle 58 sprays the solvent into the heat source box 50. The spray nozzle 58 is
As shown in FIG. 3, the solvent is sprayed in the heat source box 50 in the lateral direction.
【００２５】プレートヒータ５９は、ヒータ５４が加熱
した混合ガスの熱風によって、気化しきれなかった溶剤
を加熱する補助ヒータである。また、プレートヒータ５
９は、熱源ボックス５０内を加熱する補助ヒータであ
る。プレートヒータ５９は、噴霧した溶剤が飛散する方
向であって、熱源ボックス５０の側面（壁面）に設けら
れたプレートヒータ５９ａと、熱源ボックス５０内の底
面に設けられたプレートヒータ５９ｂとからなる。プレ
ートヒータ５９ａ，５９ｂは、いずれも、飛散した溶剤
が付着する面をカバーするような付着面を有している。
プレートヒータ５９ａ，５９ｂは、気化しきれずに付着
した溶剤を、ヒータの熱によって即時に加熱して気化す
る。The plate heater 59 is an auxiliary heater for heating the solvent that cannot be vaporized by the hot air of the mixed gas heated by the heater 54. Also, the plate heater 5
9 is an auxiliary heater for heating the inside of the heat source box 50. The plate heater 59 is a direction in which the sprayed solvent is scattered, and includes a plate heater 59a provided on a side surface (wall surface) of the heat source box 50 and a plate heater 59b provided on a bottom surface in the heat source box 50. Each of the plate heaters 59a and 59b has an attachment surface that covers the surface to which the scattered solvent adheres.
The plate heaters 59a and 59b immediately vaporize the solvent adhered without being completely vaporized by the heat of the heater.
【００２６】溶剤タンク５５は、溶剤を収納するタンク
であり、溶剤供給ポンプ５６及び溶剤供給配管５７を介
して、噴霧ノズル５８に接続されている。溶剤供給ポン
プ５６は、溶剤タンク５５内の溶剤を噴霧ノズル５８に
送出するためのものである。溶剤供給ポンプ５６は、溶
剤供給配管５７の略中間に配置されている。The solvent tank 55 is a tank for storing a solvent, and is connected to a spray nozzle 58 via a solvent supply pump 56 and a solvent supply pipe 57. The solvent supply pump 56 is for sending the solvent in the solvent tank 55 to the spray nozzle 58. The solvent supply pump 56 is disposed substantially in the middle of the solvent supply pipe 57.
【００２７】供給配管用ヒータ６０は、溶剤供給配管５
７内の溶剤を加熱するためのものである。供給配管用ヒ
ータ６０は、溶剤供給配管５７の外周部に巻き付くよう
な形状であって、熱源ボックス５０内において、溶剤供
給配管５７が露出する部分に取り付けられている。The supply pipe heater 60 is connected to the solvent supply pipe 5.
This is for heating the solvent in 7. The supply pipe heater 60 is shaped so as to be wound around the outer periphery of the solvent supply pipe 57, and is attached to a portion of the heat source box 50 where the solvent supply pipe 57 is exposed.
【００２８】つぎに、本発明の第１実施形態に係る溶剤
気化装置の動作を説明する。図１に示す配管３０ａ，３
０ｂ，３０ｃ，３０ｄを通じて、窒素タンク３が乾燥室
１内に窒素ガスを供給し、図２に示す循環ファン５３が
駆動を開始する。循環ファン５３は、流入用ダクト５１
を通じて、乾燥炉１内の窒素ガスを熱源ボックス５０内
に吸引する。熱源ヒータ５４は、循環ファン５３が送出
する窒素ガスを所定温度まで徐々に上げる。ヒータ５４
によって加熱された窒素ガスは、リターン用ダクト５２
を通じて、乾燥炉１内に供給される。Next, the operation of the solvent vaporizer according to the first embodiment of the present invention will be described. The piping 30a, 3 shown in FIG.
The nitrogen tank 3 supplies nitrogen gas into the drying chamber 1 through Ob, 30c, and 30d, and the circulation fan 53 shown in FIG. 2 starts driving. The circulation fan 53 is provided with the inflow duct 51.
Through, the nitrogen gas in the drying furnace 1 is sucked into the heat source box 50. The heat source heater 54 gradually raises the nitrogen gas sent from the circulation fan 53 to a predetermined temperature. Heater 54
The nitrogen gas heated by the
Through the drying furnace 1.
【００２９】また、熱源ヒータ５４とともに、プレート
ヒータ５９が熱源ボックス５０内を補助的に加熱し、乾
燥炉１内及び熱源ボックス５０内の温度を、短時間で所
定温度まで上がる。溶剤供給ポンプ５６は、溶剤タンク
５５内の溶剤を溶剤供給配管５７を通じて、噴霧ノズル
５８に供給する。噴霧ノズル５８は、十分に加熱した熱
源ボックス５０内に溶剤を噴霧し、ヒータ５４を通過し
た窒素ガスの熱風が、噴霧した溶剤を気化する。プレー
トヒータ５９ａ，５９ｂは、窒素ガスの熱風によって気
化しきれずに、このプレートヒータ５９ａ，５９ｂに付
着したり、液溜まりを生じた溶剤を加熱して気化する。
その結果、乾燥炉１内の溶剤ガス濃度を所定の濃度に短
時間で上げて、溶剤の気化効率を向上することができ
る。Further, together with the heat source heater 54, the plate heater 59 additionally heats the inside of the heat source box 50, and raises the temperatures in the drying furnace 1 and the heat source box 50 to predetermined temperatures in a short time. The solvent supply pump 56 supplies the solvent in the solvent tank 55 to the spray nozzle 58 through the solvent supply pipe 57. The spray nozzle 58 sprays the solvent into the heat source box 50 that has been sufficiently heated, and the hot air of the nitrogen gas passing through the heater 54 vaporizes the sprayed solvent. The plate heaters 59a and 59b are not completely vaporized by the hot air of the nitrogen gas, and heat and vaporize the solvent that has adhered to the plate heaters 59a and 59b or that has formed a liquid pool.
As a result, the solvent gas concentration in the drying furnace 1 can be increased to a predetermined concentration in a short time, and the solvent vaporization efficiency can be improved.
【００３０】図４は、本発明の第１実施形態に係る溶剤
気化装置における床面温度と溶剤ガス濃度との関係を示
すグラフである。図４において、縦軸は、乾燥炉１（温
度１００（°Ｃ））内の溶剤ガス濃度（ｖｏｌ％）であ
り、横軸は、溶剤（トルエン）の噴霧時間（ｍｉｎ）で
ある。図２に示すプレートヒータ５９ｂを７０（°Ｃ）
又は９０（°Ｃ）に設定して、図４に示すように、同じ
時間だけ溶剤を噴霧すると、床面温度を高く設定したほ
うが、溶剤が十分に蒸発して溶剤ガス濃度が高くなって
いる。このために、比較的高い溶剤ガス濃度、例えば、
３０（ｖｏｌ％）程度に乾燥炉１内を設定したいときで
あっても、溶剤ガス濃度を短時間で上げることができ
る。FIG. 4 is a graph showing the relationship between the floor surface temperature and the solvent gas concentration in the solvent vaporizer according to the first embodiment of the present invention. In FIG. 4, the vertical axis represents the solvent gas concentration (vol%) in the drying furnace 1 (temperature 100 (° C.)), and the horizontal axis represents the spraying time (min) of the solvent (toluene). The plate heater 59b shown in FIG.
Alternatively, when the temperature is set to 90 (° C.) and the solvent is sprayed for the same time as shown in FIG. 4, the higher the floor temperature, the more the solvent evaporates and the solvent gas concentration becomes higher. . For this reason, relatively high solvent gas concentrations, for example,
Even when it is desired to set the inside of the drying furnace 1 to about 30 (vol%), the solvent gas concentration can be increased in a short time.
【００３１】本発明の第１実施形態に係る溶剤気化装置
は、以下に記載するような効果を有する。 （１） 本発明の第１実施形態は、噴霧ノズル５８によ
って噴霧した溶剤が、熱源ボックス５０の内面に付着す
る位置に、プレートヒータ５９を設けている。このため
に、ヒータ５４によって加熱した混合ガスでは気化しき
れずに、熱源ボックス５０の内面に浮遊又は落下して付
着した溶剤が、液溜まりを生じても、プレートヒータ５
９がこの溶剤を気化して蒸発を促進する。その結果、気
化効率を向上させて、乾燥炉１内の溶剤ガス濃度を効率
よく上昇させることができる。The solvent vaporizer according to the first embodiment of the present invention has the following effects. (1) In the first embodiment of the present invention, the plate heater 59 is provided at a position where the solvent sprayed by the spray nozzle 58 adheres to the inner surface of the heat source box 50. For this reason, even if the mixed gas heated by the heater 54 cannot completely vaporize and the solvent floating or falling and adhering to the inner surface of the heat source box 50 forms a liquid pool, the plate heater 5
9 evaporates this solvent to promote evaporation. As a result, the vaporization efficiency is improved, and the concentration of the solvent gas in the drying furnace 1 can be efficiently increased.
【００３２】（２） 本発明の第１実施形態は、ヒータ
５４とは別に、補助的なプレートヒータ５９を設けてい
る。熱源ボックス５０内は、底部側よりも上部側の温度
が高く、噴霧ノズル５８が噴霧した溶剤のうち落下する
溶剤は、気化せずに底面に残りやすい。床面に設けたプ
レートヒータ５９ｂは、ヒータ５４では温めにくい熱源
ボックス５０の底部側を加熱する。このために、熱源ボ
ックス５０内を均一に加熱して、溶剤を速やかに気化
し、乾燥炉１内の溶剤ガス濃度を所定濃度に短時間で上
げることができる。また、ヒータ５４は、混合ガスの温
度を上げるのにある程度時間を要するが、プレートヒー
タ５９が熱源ボックス５０内を速やかに温めるために、
溶剤ガス濃度を所定濃度に短時間で上げることができ
る。(2) In the first embodiment of the present invention, an auxiliary plate heater 59 is provided separately from the heater 54. In the heat source box 50, the temperature on the upper side is higher than that on the bottom side, and the solvent that falls out of the solvent sprayed by the spray nozzle 58 is likely to remain on the bottom surface without being vaporized. The plate heater 59b provided on the floor heats the bottom side of the heat source box 50, which is hardly heated by the heater 54. For this reason, the inside of the heat source box 50 is uniformly heated, the solvent is quickly vaporized, and the solvent gas concentration in the drying furnace 1 can be increased to a predetermined concentration in a short time. The heater 54 requires a certain amount of time to raise the temperature of the mixed gas. However, since the plate heater 59 quickly heats the inside of the heat source box 50,
The solvent gas concentration can be increased to a predetermined concentration in a short time.
【００３３】（３） 本発明の第１実施形態は、溶剤供
給配管５７内の噴霧前の溶剤を加熱する供給配管用ヒー
タ６０を、溶剤供給配管５７の外周部に設けている。こ
のために、噴霧した溶剤に混合ガスの熱風が供給する熱
量のうち、この溶剤自体の温度上昇に要する熱量を減ら
して、その分の熱量をこの溶剤が蒸発するのに要する熱
量に充てることができる。その結果、溶剤の気化促進を
図ることができるとともに、熱効率を向上することがで
きる。(3) In the first embodiment of the present invention, the supply pipe heater 60 for heating the solvent before spraying in the solvent supply pipe 57 is provided on the outer periphery of the solvent supply pipe 57. For this reason, of the heat supplied by the hot air of the mixed gas to the sprayed solvent, the amount of heat required to raise the temperature of the solvent itself can be reduced and the amount of heat can be used for the amount of heat required for the solvent to evaporate. it can. As a result, the evaporation of the solvent can be promoted, and the thermal efficiency can be improved.
【００３４】（第２実施形態）図５は、本発明の第２実
施形態に係る溶剤気化装置を概略的に示す平面図であ
る。図６は、本発明の第２実施形態に係る溶剤気化装置
における熱源ボックスを示す断面図である。本発明の第
２実施形態は、溶剤の噴霧方向が第１実施形態と異なる
他の実施形態である。なお、以下では、図１〜図３に示
した部材と同一の部材は、同一の番号を付して説明し、
その部材の詳細な説明は省略する。(Second Embodiment) FIG. 5 is a plan view schematically showing a solvent vaporizer according to a second embodiment of the present invention. FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a heat source box in a solvent vaporizer according to the second embodiment of the present invention. The second embodiment of the present invention is another embodiment in which the spray direction of the solvent is different from the first embodiment. In the following, the same members as those shown in FIGS. 1 to 3 are denoted by the same reference numerals and described.
Detailed description of the members is omitted.
【００３５】噴霧ノズル５８は、図５及び図６に示すよ
うに、熱源ボックス５０内において、上方向に溶剤を噴
霧している。The spray nozzle 58 sprays the solvent upward in the heat source box 50 as shown in FIGS.
【００３６】プレートヒータ５９は、噴霧した溶剤が飛
散する方向であって、熱源ボックス５０の対向する側面
（壁面）に設けられた一対のプレートヒータ５９ａと、
熱源ボックス５０内の底面に設けられたプレートヒータ
５９ｂと、熱源ボックス５０内の上面に設けられたプレ
ートヒータ５９ｃとからなる。The plate heater 59 has a pair of plate heaters 59a provided on the opposite side surfaces (wall surfaces) of the heat source box 50 in the direction in which the sprayed solvent is scattered.
A plate heater 59b provided on the bottom surface in the heat source box 50 and a plate heater 59c provided on the upper surface in the heat source box 50 are provided.
【００３７】本発明の第２実施形態に係る溶剤気化装置
は、第１実施形態の効果に加えて、以下に記載する効果
を有する。本発明の第２実施形態は、噴霧ノズル５８が
上方向に溶剤を噴霧しているために、熱源ボックス５０
の底面まで溶剤が落下する時間が長くなり、第１実施形
態よりも気化効率を向上することができる。The solvent vaporizer according to the second embodiment of the present invention has the following effects in addition to the effects of the first embodiment. The second embodiment of the present invention uses the heat source box 50 because the spray nozzle 58 sprays the solvent in the upward direction.
The time required for the solvent to fall to the bottom surface becomes longer, and the vaporization efficiency can be improved as compared with the first embodiment.
【００３８】（他の実施形態）本発明は、以上説明した
実施形態に限定するものではなく、以下に記載するよう
に、種々の変形又は変更が可能であって、それらも本発
明の均等の範囲内である。 （１） 本発明の第１実施形態は、熱源ボックス５０の
側面及び底面に、それぞれプレートヒータ５９ａ，５９
ｂを設けているが、設置位置はこれらに限定するもので
はない。例えば、噴霧ノズル５８から側面までの距離、
熱源ボックス５０の高さ、噴霧ノズル５８の性能などに
応じて、いずれか一方を省略してもよく、プレートヒー
タ５９ａと対向する側面や上面に、プレートヒータを設
けてもよい。(Other Embodiments) The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications or changes can be made as described below. Within range. (1) In the first embodiment of the present invention, the plate heaters 59a and 59
Although b is provided, the installation position is not limited to these. For example, the distance from the spray nozzle 58 to the side,
Either one may be omitted depending on the height of the heat source box 50, the performance of the spray nozzle 58, and the like, and a plate heater may be provided on a side surface or an upper surface facing the plate heater 59a.
【００３９】（２） 本発明の第２実施形態は、熱源ボ
ックス５０の側面、底面及び上面に、それぞれプレート
ヒータ５９ａ，５９ｂ，５９ｃを設けているが、熱源ボ
ックス５０の構造などによっては、これらの面の少なく
とも一つに設けてもよい。(2) In the second embodiment of the present invention, the plate heaters 59a, 59b and 59c are provided on the side, bottom and top surfaces of the heat source box 50, respectively. May be provided on at least one of the surfaces.
【００４０】（３） 本発明の実施形態は、溶剤供給配
管５７が熱源ボックス５０内で露出する部分に、溶剤配
管用ヒータ６０を設けているが、これに限定するもので
はなく、露出する部分の一部に、溶剤配管用ヒータ６０
を設けてもよい。また、溶剤供給配管５７の全部に溶剤
配管用ヒータ６０を設けてもよい。(3) In the embodiment of the present invention, the heater 60 for the solvent pipe is provided in the portion where the solvent supply pipe 57 is exposed in the heat source box 50. However, the present invention is not limited to this. A part of the heater 60 for solvent piping
May be provided. Further, a solvent piping heater 60 may be provided on the entire solvent supply piping 57.
【００４１】（４） 本発明の実施形態は、熱源ボック
ス５０の内面にプレートヒータ５９を取り付けている
が、熱源ボックス５０内の空間に、プレートヒータ５９
を吊り下げてもよい。(4) In the embodiment of the present invention, the plate heater 59 is attached to the inner surface of the heat source box 50.
May be suspended.
【００４２】[0042]
【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
れば、加熱手段によって気化されなかった溶剤を加熱す
る補助加熱手段を設けたので、気化効率を向上すること
ができる。As described in detail above, according to the present invention, since the auxiliary heating means for heating the solvent which has not been vaporized by the heating means is provided, the vaporization efficiency can be improved.
【図１】本発明の第１実施形態に係る溶剤気化装置を備
える乾燥装置を概略的に示す図である。FIG. 1 is a view schematically showing a drying apparatus provided with a solvent vaporizer according to a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第１実施形態に係る溶剤気化装置を概
略的に示す平面図である。FIG. 2 is a plan view schematically showing a solvent vaporizer according to the first embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第１実施形態に係る溶剤気化装置にお
ける熱源ボックスを示す断面図である。FIG. 3 is a sectional view showing a heat source box in the solvent vaporizer according to the first embodiment of the present invention.
【図４】本発明の第１実施形態に係る溶剤気化装置にお
ける床面温度と溶剤ガス濃度との関係を示すグラフであ
る。FIG. 4 is a graph showing a relationship between a floor surface temperature and a solvent gas concentration in the solvent vaporizer according to the first embodiment of the present invention.
【図５】本発明の第２実施形態に係る溶剤気化装置を概
略的に示す平面図である。FIG. 5 is a plan view schematically showing a solvent vaporizer according to a second embodiment of the present invention.
【図６】本発明の第２実施形態に係る溶剤気化装置にお
ける熱源ボックスを示す断面図である。FIG. 6 is a sectional view showing a heat source box in a solvent vaporizer according to a second embodiment of the present invention.
１ 乾燥炉 ２ ウェブ ５，６ 溶剤気化装置 ５０ 熱源ボックス ５４ 熱源ヒータ ５５ 溶剤タンク ５６ 溶剤供給ポンプ ５７ 溶剤供給配管 ５８ 噴霧ノズル ５９ プレートヒータ ６０ 供給配管用ヒータ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Drying furnace 2 Web 5, 6 Solvent vaporizer 50 Heat source box 54 Heat source heater 55 Solvent tank 56 Solvent supply pump 57 Solvent supply pipe 58 Spray nozzle 59 Plate heater 60 Supply pipe heater
Claims (6)
段と、 前記気化容器内に設けられ、噴霧した溶剤を気化する加
熱手段と、 を含む溶剤気化装置において、 前記気化容器内に設けられ、前記加熱手段によって気化
されなかった溶剤を加熱する補助加熱手段を備えるこ
と、 を特徴とする溶剤気化装置。1. A solvent vaporizer comprising: a solvent spraying unit for spraying a solvent into a vaporization container; and a heating unit provided in the vaporization container and vaporizing the sprayed solvent. And an auxiliary heating means for heating a solvent which has not been vaporized by the heating means.
て、 前記溶剤噴霧手段は、 溶剤を収納する溶剤タンクと、 前記溶剤を噴霧する噴霧ノズルと、 前記溶剤タンクから前記噴霧ノズルに、前記溶剤を供給
する溶剤供給路とを含み、 前記溶剤供給路は、その内部の溶剤を加熱する溶剤加熱
ヒータを備えること、 を特徴とする溶剤気化装置。2. The solvent vaporizer according to claim 1, wherein the solvent spraying means includes: a solvent tank for storing a solvent; a spray nozzle for spraying the solvent; and a spray nozzle from the solvent tank to the spray nozzle. And a solvent supply path for supplying a solvent. The solvent supply path includes a solvent heater for heating the solvent inside the solvent supply path.
装置において、 前記補助加熱手段は、前記気化容器内を加熱する加熱ヒ
ータであること、 を特徴とする溶剤気化装置。3. The solvent vaporizer according to claim 1, wherein the auxiliary heating unit is a heater that heats the inside of the vaporization container.
項に記載の溶剤気化装置において、 前記補助加熱手段は、噴霧した溶剤が付着する付着面を
有する加熱ヒータであること、 を特徴とする溶剤気化装置。4. One of claims 1 to 3
The solvent vaporizer according to any one of claims 1 to 3, wherein the auxiliary heating means is a heater having an adhesion surface to which the sprayed solvent adheres.
項に記載の溶剤気化装置において、 前記溶剤噴霧手段は、前記溶剤を横方向に噴霧し、 前記補助加熱手段は、前記気化容器の側面及び／又は底
面に設けられていること、 を特徴とする溶剤気化装置。5. The method according to claim 1, wherein:
In the solvent vaporizer described in the paragraph, the solvent spraying unit sprays the solvent in a lateral direction, and the auxiliary heating unit is provided on a side surface and / or a bottom surface of the vaporization container. Solvent vaporizer.
項に記載の溶剤気化装置において、 前記溶剤噴霧手段は、前記溶剤を上方向に噴霧し、 前記補助加熱手段は、前記気化容器の上面、底面、側面
のうちの少なくとも一面に設けられていること、 を特徴とする溶剤気化装置。6. Any one of claims 1 to 5
In the solvent vaporizer described in the paragraph, the solvent spraying unit sprays the solvent upward, and the auxiliary heating unit is provided on at least one of an upper surface, a bottom surface, and a side surface of the vaporization container. A solvent vaporizer, characterized in that:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10024997A JPH11221908A (en) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | Solvent vaporizing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10024997A JPH11221908A (en) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | Solvent vaporizing apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11221908A true JPH11221908A (en) | 1999-08-17 |
Family
ID=12153626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10024997A Pending JPH11221908A (en) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | Solvent vaporizing apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11221908A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010247019A (en) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Panasonic Corp | Solvent gas producer, solvent gas treatment apparatus using the same, and operation method therefor |
| KR101149019B1 (en) | 2010-01-05 | 2012-05-24 | 금호석유화학 주식회사 | Apparatus for preparing catalyst for synthesis of carbon nano tube |
| JP2014014981A (en) * | 2012-07-09 | 2014-01-30 | Seiko Epson Corp | Printer and printing method |
| KR20180067763A (en) * | 2016-12-12 | 2018-06-21 | 주식회사 에이치시티엠 | Gas Generator of Mixed Solvents for Testing Inhalation Toxicity |
-
1998
- 1998-02-06 JP JP10024997A patent/JPH11221908A/en active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010247019A (en) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Panasonic Corp | Solvent gas producer, solvent gas treatment apparatus using the same, and operation method therefor |
| KR101149019B1 (en) | 2010-01-05 | 2012-05-24 | 금호석유화학 주식회사 | Apparatus for preparing catalyst for synthesis of carbon nano tube |
| JP2014014981A (en) * | 2012-07-09 | 2014-01-30 | Seiko Epson Corp | Printer and printing method |
| KR20180067763A (en) * | 2016-12-12 | 2018-06-21 | 주식회사 에이치시티엠 | Gas Generator of Mixed Solvents for Testing Inhalation Toxicity |
| WO2018110728A1 (en) * | 2016-12-12 | 2018-06-21 | 주식회사 에이치시티엠 | Mixture solvent spray generation device for inhalation toxicity test |
| KR101878893B1 (en) * | 2016-12-12 | 2018-07-17 | 주식회사 에이치시티엠 | Gas Generator of Mixed Solvents for Testing Inhalation Toxicity |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3897404B2 (en) | Vapor dryer and drying method | |
| CA2719104C (en) | Ultrasonic humidifier | |
| CN104882363B (en) | Processing gas generation device, processing gas production method, substrate processing method using same | |
| US7448604B2 (en) | Heat treatment apparatus | |
| US6598805B2 (en) | Substrate cleaning apparatus | |
| KR101022089B1 (en) | Substrate cooling method and substrate cooling apparatus | |
| TW200428484A (en) | Developing apparatus and developing method | |
| JPH11221908A (en) | Solvent vaporizing apparatus | |
| JP4350298B2 (en) | Drying equipment | |
| JP7462161B2 (en) | Drying method and drying device | |
| JPH0629204A (en) | Method and apparatus for development of resist | |
| JPH07163892A (en) | Heating cooling apparatus | |
| JPH11254642A (en) | Dryer | |
| TW201730366A (en) | Vapor emission device and film forming apparatus | |
| JP3425826B2 (en) | Fluid supply device for substrate processing | |
| JP3808725B2 (en) | Substrate cleaning device | |
| JPS5930074B2 (en) | vacuum thawing device | |
| JP3923193B2 (en) | Vapor dryer | |
| EP1282804B1 (en) | Water spray web cooling apparatus for web dryer | |
| KR101262860B1 (en) | Adiabatic chamber for micro machining device using saturated liquid and method for maintaining temperature of the same | |
| KR100554022B1 (en) | Apparatus for vaporization | |
| JP7141793B2 (en) | Evaporation source for vacuum deposition apparatus and vacuum deposition method | |
| JP2005126809A (en) | Method for cooling high-temperature metal | |
| JPS62192261A (en) | Vapor phase type soldering device | |
| JPH1092787A (en) | Vapor drying equipment |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20040206 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040206 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20040206 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20040209 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20050225 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051208 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20060105 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060427 |