JPH11218500A - 一次元ｃｃｄカメラを使用した疵検査装置の光学系調整方法 - Google Patents
一次元ｃｃｄカメラを使用した疵検査装置の光学系調整方法Info
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- JPH11218500A JPH11218500A JP2249198A JP2249198A JPH11218500A JP H11218500 A JPH11218500 A JP H11218500A JP 2249198 A JP2249198 A JP 2249198A JP 2249198 A JP2249198 A JP 2249198A JP H11218500 A JPH11218500 A JP H11218500A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 一次元ＣＣＤカメラを使用した疵検査装置の
光学系調整を容易にかつ正確に行う。 【解決手段】 一次元ＣＣＤカメラを使用した疵検査装
置の光学系調整において、正反射位置、最適視野、最適
焦点を、受光信号の最大面積の算出、目標画素数と現状
画素数の比較、調整用マーク紙の調整用マークの最大傾
きを算出することで、次の工程で容易かつ正確に行う。
：正反射位置を受光信号の面積を算出しながら、ステ
ッピングモーターとシリンダーでカメラの上下方向の角
度を変更して決定。：カメラ視野を目標画素数と受光
信号の指定範囲内の現状画素数を比較しながら、ステッ
ピングモーターとシリンダーでカメラを前後方向に移動
して決定。：カメラの焦点を調整用マーク紙の両端の
調整用マークの傾きを計算しながら、両調整マークの受
光信号の傾きが最大かつフォーカスリングの位置が許容
内となる位置をステッピングモーターとシリンダーで移
動して決定。
光学系調整を容易にかつ正確に行う。 【解決手段】 一次元ＣＣＤカメラを使用した疵検査装
置の光学系調整において、正反射位置、最適視野、最適
焦点を、受光信号の最大面積の算出、目標画素数と現状
画素数の比較、調整用マーク紙の調整用マークの最大傾
きを算出することで、次の工程で容易かつ正確に行う。
：正反射位置を受光信号の面積を算出しながら、ステ
ッピングモーターとシリンダーでカメラの上下方向の角
度を変更して決定。：カメラ視野を目標画素数と受光
信号の指定範囲内の現状画素数を比較しながら、ステッ
ピングモーターとシリンダーでカメラを前後方向に移動
して決定。：カメラの焦点を調整用マーク紙の両端の
調整用マークの傾きを計算しながら、両調整マークの受
光信号の傾きが最大かつフォーカスリングの位置が許容
内となる位置をステッピングモーターとシリンダーで移
動して決定。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一次元ＣＣＤカメ
ラを使用した疵検査装置において、効率的に光学系の調
整を行う方法である。
ラを使用した疵検査装置において、効率的に光学系の調
整を行う方法である。
【０００２】
【従来の技術】一次元ＣＣＤカメラを使用した疵検査装
置の光学系調整には、大別すると、正反射位置の決定、
視野の決定および焦点の調整の三つがある。これら調整
は、疵検査装置の性能を発揮する上で、基本的かつ重要
な要素であり、正確に行う必要がある。しかし、自動化
の及んでいない部分でもあり、通常これらの作業はライ
ンが止まっている際に行われるが、ライン停止の時間は
非常に限られているのが一般的で、効率的な調整の実施
が求められている。
置の光学系調整には、大別すると、正反射位置の決定、
視野の決定および焦点の調整の三つがある。これら調整
は、疵検査装置の性能を発揮する上で、基本的かつ重要
な要素であり、正確に行う必要がある。しかし、自動化
の及んでいない部分でもあり、通常これらの作業はライ
ンが止まっている際に行われるが、ライン停止の時間は
非常に限られているのが一般的で、効率的な調整の実施
が求められている。
【０００３】ここで、一次元ＣＣＤカメラを使用した疵
検査装置とは、シート状の被検査材の幅方向と同じ方向
に直線上に配列されたＣＣＤを備えたカメラにて、被検
査材からの反射光をとらえ、それを電気信号に変換して
から信号処理を行い、正常部と異常部（疵部）の判別を
行って疵部を顕在化することにより、被検査材の疵発生
を知らしめるものである。
検査装置とは、シート状の被検査材の幅方向と同じ方向
に直線上に配列されたＣＣＤを備えたカメラにて、被検
査材からの反射光をとらえ、それを電気信号に変換して
から信号処理を行い、正常部と異常部（疵部）の判別を
行って疵部を顕在化することにより、被検査材の疵発生
を知らしめるものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来、一次元ＣＣＤカ
メラを使用した疵検査装置の光学系調整である正反射位
置の決定における受光信号の最高レベルの決定、および
視野の決定におけるカメラの前後方向の移動および焦点
の調整における調整用マークの受光信号の最大傾きの決
定は、それぞれ目分量で行われ、手動でカメラを動かし
ていたため、非常な手間と時間を要していた。また、調
整結果の精度確保が非常に困難であるため、検査結果に
悪い影響を及ぼすという問題があった。
メラを使用した疵検査装置の光学系調整である正反射位
置の決定における受光信号の最高レベルの決定、および
視野の決定におけるカメラの前後方向の移動および焦点
の調整における調整用マークの受光信号の最大傾きの決
定は、それぞれ目分量で行われ、手動でカメラを動かし
ていたため、非常な手間と時間を要していた。また、調
整結果の精度確保が非常に困難であるため、検査結果に
悪い影響を及ぼすという問題があった。
【０００５】従って、本発明は、上記問題点を解決する
ために、光学系調整の効率と精度を向上させることがで
きる一次元ＣＣＤカメラを使用した疵検査装置の光学系
調整方法を提供することを課題とする。
ために、光学系調整の効率と精度を向上させることがで
きる一次元ＣＣＤカメラを使用した疵検査装置の光学系
調整方法を提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の要旨は、 （１）被検査材の表面からの反射光を一次元ＣＣＤでと
らえ、その光量変化から前記被検査材の表面疵を検出す
る一次元ＣＣＤカメラを使用した疵検査装置の光学系調
整方法において、カメラ角度を変えながら視野内の受光
信号の面積を算出し、その受光信号の面積が最大となる
角度を求めることで、正反射位置を決定することを特徴
とする一次元ＣＣＤカメラを使用した疵検査装置の光学
系調整方法である。 （２）検査材の表面からの反射光を一次元ＣＣＤでとら
え、その光学変化から前記被検査材の表面疵を検出する
一次元ＣＣＤカメラを使用した疵検査装置の光学系調整
方法において、カメラの指定視野内の画素数をカウント
し、カメラ前後方向の移動量を求め、視野内画素を目標
画素数に調整することを特徴とする一次元ＣＣＤカメラ
を使用した疵検査装置の光学系調整方法である。 （３）検査材の表面からの反射光を一次元ＣＣＤでとら
え、その光学変化から前記被検査材の表面疵を検出する
一次元ＣＣＤカメラを使用した疵検査装置の光学系調整
方法において、レンズの収差を考慮して、視野両端付近
の調整用マークのカメラ受光信号の傾きが最大となるよ
うに、自動的に焦点を調整することを特徴とする一次元
ＣＣＤカメラを使用した疵検査装置の光学系調整方法で
ある。
に、本発明の要旨は、 （１）被検査材の表面からの反射光を一次元ＣＣＤでと
らえ、その光量変化から前記被検査材の表面疵を検出す
る一次元ＣＣＤカメラを使用した疵検査装置の光学系調
整方法において、カメラ角度を変えながら視野内の受光
信号の面積を算出し、その受光信号の面積が最大となる
角度を求めることで、正反射位置を決定することを特徴
とする一次元ＣＣＤカメラを使用した疵検査装置の光学
系調整方法である。 （２）検査材の表面からの反射光を一次元ＣＣＤでとら
え、その光学変化から前記被検査材の表面疵を検出する
一次元ＣＣＤカメラを使用した疵検査装置の光学系調整
方法において、カメラの指定視野内の画素数をカウント
し、カメラ前後方向の移動量を求め、視野内画素を目標
画素数に調整することを特徴とする一次元ＣＣＤカメラ
を使用した疵検査装置の光学系調整方法である。 （３）検査材の表面からの反射光を一次元ＣＣＤでとら
え、その光学変化から前記被検査材の表面疵を検出する
一次元ＣＣＤカメラを使用した疵検査装置の光学系調整
方法において、レンズの収差を考慮して、視野両端付近
の調整用マークのカメラ受光信号の傾きが最大となるよ
うに、自動的に焦点を調整することを特徴とする一次元
ＣＣＤカメラを使用した疵検査装置の光学系調整方法で
ある。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明で言う一次元ＣＣＤカメラ
を使用した疵検査装置は、ＣＣＤカメラに加えて、信号
処理部、計算機および入力表示装置を通常備えており、
調整のためのカメラ・焦点の移動は移動駆動機構によ
る。
を使用した疵検査装置は、ＣＣＤカメラに加えて、信号
処理部、計算機および入力表示装置を通常備えており、
調整のためのカメラ・焦点の移動は移動駆動機構によ
る。
【０００８】以下に、本発明の実施例の図面に従って説
明する。図１は、本発明の実施例の装置構成である。図
２は、一次元ＣＣＤカメラを使用した疵検査装置の光学
系調整を行うにあたって、被検査材１１や搬送ロール１
２に貼る調整用マーク紙３０とそれを見ている一次元Ｃ
ＣＤカメラ１の受光信号の出力波形である。ＣＣＤカメ
ラは、被検査材からの光を、連続して配列された画素と
呼ぶ微小な電子素子（ＣＣＤ）で受光し、光強度（明る
さ）に応じて電気信号を出力する。また、調整用マーク
紙３０は、被検査材１１の最大幅とほぼ同じ長さのシー
トからなり、表面には複数個の調整用マーク３１ａ〜３
１ｃが設けられている。図２の実施例では、調整用マー
クは、両端と中心に３個設けている。
明する。図１は、本発明の実施例の装置構成である。図
２は、一次元ＣＣＤカメラを使用した疵検査装置の光学
系調整を行うにあたって、被検査材１１や搬送ロール１
２に貼る調整用マーク紙３０とそれを見ている一次元Ｃ
ＣＤカメラ１の受光信号の出力波形である。ＣＣＤカメ
ラは、被検査材からの光を、連続して配列された画素と
呼ぶ微小な電子素子（ＣＣＤ）で受光し、光強度（明る
さ）に応じて電気信号を出力する。また、調整用マーク
紙３０は、被検査材１１の最大幅とほぼ同じ長さのシー
トからなり、表面には複数個の調整用マーク３１ａ〜３
１ｃが設けられている。図２の実施例では、調整用マー
クは、両端と中心に３個設けている。
【０００９】最初に、図４のフローにあるように正反射
位置を決定する方法について説明する。調整用マーク紙
３０の受光信号は入力表示装置１９に３２のごとく表示
されるが、調整マーク紙３０の両端３１ｄ、３１ｅ近傍
を、入力表示装置１９にて受光信号３２上の３４ａ、３
４ｇとして指定する。次に、３４ａを始点として３４ｇ
までのカメラの受光信号３２の面積を各画素位置での明
るさ濃度を積分し、信号の面積を算出する。カメラ角度
変更用シリンダー５とカメラ角度変更用ステッピングモ
ーター６を使い、図１においてカメラの上下方向に角度
を微量変更する。そこで、前述と同様に受光信号３２の
面積を算出する。このように、カメラ角度を微量変え
て、受光信号３２の面積を算出していき、最も面積の大
きい角度にカメラ角度を設定する。この角度が被検査材
からの受光量が最も大きいカメラ角度で、正反射近傍と
なっている。
位置を決定する方法について説明する。調整用マーク紙
３０の受光信号は入力表示装置１９に３２のごとく表示
されるが、調整マーク紙３０の両端３１ｄ、３１ｅ近傍
を、入力表示装置１９にて受光信号３２上の３４ａ、３
４ｇとして指定する。次に、３４ａを始点として３４ｇ
までのカメラの受光信号３２の面積を各画素位置での明
るさ濃度を積分し、信号の面積を算出する。カメラ角度
変更用シリンダー５とカメラ角度変更用ステッピングモ
ーター６を使い、図１においてカメラの上下方向に角度
を微量変更する。そこで、前述と同様に受光信号３２の
面積を算出する。このように、カメラ角度を微量変え
て、受光信号３２の面積を算出していき、最も面積の大
きい角度にカメラ角度を設定する。この角度が被検査材
からの受光量が最も大きいカメラ角度で、正反射近傍と
なっている。
【００１０】続いて出力信号３２を図２の３４ａから３
４ｇのように偶数値に分割する（ここでは６分割）。各
分割３４ａ〜３４ｂ、３４ｂ〜３４ｃ、３４ｃ〜３４
ｄ、３４ｄ〜３４ｅ、３４ｅ〜３４ｆ、３４ｆ〜３４ｇ
毎の受光信号３２についての面積を、各画素位置の明る
さ濃度を積分することにより、算出する。図１のカメラ
左右角度変更用シリンダー１６と左右角度変更用ステッ
ピングモーター１７でカメラを正面から見て左右方向
（図２でカメラ位置を軸に左右に旋回する方向）の角度
を微量変更する。同様に、分割された各部分の受光信号
の面積を算出する。そして、３４ａ〜３４ｂと３４ｆ〜
３４ｇ、３４ｂ〜３４ｃと３４ｅ〜３４ｆ、３４ｃ〜３
４ｄと３４ｄ〜３４ｅの各分割区分について、前回の信
号面積と今回の信号面積とを比較する。それぞれの差が
許容値以内かどうかを評価し、許容値以内であれば現位
置に正反射位置が決定となる。
４ｇのように偶数値に分割する（ここでは６分割）。各
分割３４ａ〜３４ｂ、３４ｂ〜３４ｃ、３４ｃ〜３４
ｄ、３４ｄ〜３４ｅ、３４ｅ〜３４ｆ、３４ｆ〜３４ｇ
毎の受光信号３２についての面積を、各画素位置の明る
さ濃度を積分することにより、算出する。図１のカメラ
左右角度変更用シリンダー１６と左右角度変更用ステッ
ピングモーター１７でカメラを正面から見て左右方向
（図２でカメラ位置を軸に左右に旋回する方向）の角度
を微量変更する。同様に、分割された各部分の受光信号
の面積を算出する。そして、３４ａ〜３４ｂと３４ｆ〜
３４ｇ、３４ｂ〜３４ｃと３４ｅ〜３４ｆ、３４ｃ〜３
４ｄと３４ｄ〜３４ｅの各分割区分について、前回の信
号面積と今回の信号面積とを比較する。それぞれの差が
許容値以内かどうかを評価し、許容値以内であれば現位
置に正反射位置が決定となる。
【００１１】次に、図５のフローにあるように、カメラ
視野３５を決定する方法を説明する。入力表示装置１９
に、調整用マーク紙３２の表面に設けた調整用マーク３
１ａ、３１ｃの受光信号３３ａ、３３ｃが表示される
が、これを入力表示装置１９で指定すると共に、その調
整用マーク間に対応するＣＣＤカメラの目標画素数、目
標画素サイズ、目標カメラ距離、調整許容画素数を入力
表示装置１９より入力する。ここで、調整用マーク３１
ａと３１ｃは、この間の距離をあらかじめ測定を行って
描かれている。
視野３５を決定する方法を説明する。入力表示装置１９
に、調整用マーク紙３２の表面に設けた調整用マーク３
１ａ、３１ｃの受光信号３３ａ、３３ｃが表示される
が、これを入力表示装置１９で指定すると共に、その調
整用マーク間に対応するＣＣＤカメラの目標画素数、目
標画素サイズ、目標カメラ距離、調整許容画素数を入力
表示装置１９より入力する。ここで、調整用マーク３１
ａと３１ｃは、この間の距離をあらかじめ測定を行って
描かれている。
【００１２】まず、３３ａと３３ｃの間の画素数をカウ
ントし、以下の式から図１で、カメラの前後方向の移動
量を算出する。 画素数差 ：ｄｅｖ＝現状画素数−目標画素数 ・・・・（１） 現状画素サイズ：ｐｉｘ＝Ｍ／現状画素数 ・・・・（２） 現状カメラ距離：Ｌ′＝現状画素サイズ／目標画素サイズ×目標カメラ距離 Ｌ ・・・・（３） 移動量 ：ｍｏｖ＝Ｌ−Ｌ′ ・・・・（４）
ントし、以下の式から図１で、カメラの前後方向の移動
量を算出する。 画素数差 ：ｄｅｖ＝現状画素数−目標画素数 ・・・・（１） 現状画素サイズ：ｐｉｘ＝Ｍ／現状画素数 ・・・・（２） 現状カメラ距離：Ｌ′＝現状画素サイズ／目標画素サイズ×目標カメラ距離 Ｌ ・・・・（３） 移動量 ：ｍｏｖ＝Ｌ−Ｌ′ ・・・・（４）
【００１３】式（４）より得られた移動量を計算機１８
よりカメラ前後移動用ステッピングモーター１０に指示
し、カメラ前後移動用シリンダー９に備えたスケールで
位置を測定しながら移動架台８をカメラ前後方向に駆動
する。ここで式（１）より画素数差を再度算出し、この
値が調整許容画素数以内であれば、カメラ視野が決定と
なる。
よりカメラ前後移動用ステッピングモーター１０に指示
し、カメラ前後移動用シリンダー９に備えたスケールで
位置を測定しながら移動架台８をカメラ前後方向に駆動
する。ここで式（１）より画素数差を再度算出し、この
値が調整許容画素数以内であれば、カメラ視野が決定と
なる。
【００１４】引き続いて、図６のフローにあるように、
カメラの焦点を調整する方法を説明する。レンズの収差
を考慮して、図２の視野片端のマーク３３ａの拡大図３
６を入力表示装置１９に表示し、上端の点３７［座標
（明るさ濃度ｄ３７、画素位置ｐ３７）］、下端の点３
８［座標（明るさ濃度ｄ３８、画素位置ｐ３８）］を指
定する。ここで、点３７と３８間の傾きを以下の式から
算出する。 マーク部傾き：ｄｅｇ３３ａ＝（明るさ濃度ｄ３７−明るさ濃度ｄ３８）／ （画素位置ｐ３７−画素位置ｐ３８） ・・・・（５）
カメラの焦点を調整する方法を説明する。レンズの収差
を考慮して、図２の視野片端のマーク３３ａの拡大図３
６を入力表示装置１９に表示し、上端の点３７［座標
（明るさ濃度ｄ３７、画素位置ｐ３７）］、下端の点３
８［座標（明るさ濃度ｄ３８、画素位置ｐ３８）］を指
定する。ここで、点３７と３８間の傾きを以下の式から
算出する。 マーク部傾き：ｄｅｇ３３ａ＝（明るさ濃度ｄ３７−明るさ濃度ｄ３８）／ （画素位置ｐ３７−画素位置ｐ３８） ・・・・（５）
【００１５】図１の焦点調整用ステッピングモーター１
５を駆動し、焦点調整用シリンダー１４にてフォーカス
リング１３を微少角度動かす。ここで、式（５）によ
り、マーク部の傾きを再度算出し、この値が最大となる
点でフォーカスリング１３を固定する。このとき、焦点
調整用シリンダー１４の位置をｓ３３ａとして計算機１
８に記憶する。続いて、視野の他端マーク３３ｃも同様
に入力表示装置１９より上端と下端の点を指定し、マー
ク部傾きｄｅｇ３３ｃ最大となる点を求め、フォーカス
リング１３を固定する。ここでも焦点調整用シリンダー
１４の位置をｓ３３ｃとして計算機１８に記憶する。こ
こで、｜ｓ３３ａ−ｓ３３ｃ｜が許容値以内であれば、
最適な焦点位置の決定である。
５を駆動し、焦点調整用シリンダー１４にてフォーカス
リング１３を微少角度動かす。ここで、式（５）によ
り、マーク部の傾きを再度算出し、この値が最大となる
点でフォーカスリング１３を固定する。このとき、焦点
調整用シリンダー１４の位置をｓ３３ａとして計算機１
８に記憶する。続いて、視野の他端マーク３３ｃも同様
に入力表示装置１９より上端と下端の点を指定し、マー
ク部傾きｄｅｇ３３ｃ最大となる点を求め、フォーカス
リング１３を固定する。ここでも焦点調整用シリンダー
１４の位置をｓ３３ｃとして計算機１８に記憶する。こ
こで、｜ｓ３３ａ−ｓ３３ｃ｜が許容値以内であれば、
最適な焦点位置の決定である。
【００１６】以上でもって、一次元ＣＣＤカメラを使用
した疵検査装置の光学系調整は終了である。なお、被検
査材は、鋼板、ステンレス鋼板などがあるが、これらに
限定されるものではなく、シート状のものであればよ
い。また、カメラの台数は、一台に限らず図３に示すよ
うに、カメラが被検査材の幅方向に複数台設置されてい
てもよい。
した疵検査装置の光学系調整は終了である。なお、被検
査材は、鋼板、ステンレス鋼板などがあるが、これらに
限定されるものではなく、シート状のものであればよ
い。また、カメラの台数は、一台に限らず図３に示すよ
うに、カメラが被検査材の幅方向に複数台設置されてい
てもよい。
【００１７】
【発明の効果】請求項１に係る本発明により、一次元Ｃ
ＣＤカメラを使用した疵検査装置の光学系調整におい
て、カメラ視野内の受光信号の面積を算出し、ステッピ
ングモーターとシリンダーでカメラ角度を微量自動的に
動かすことにより、正確に正反射位置を決定することが
可能となる。
ＣＤカメラを使用した疵検査装置の光学系調整におい
て、カメラ視野内の受光信号の面積を算出し、ステッピ
ングモーターとシリンダーでカメラ角度を微量自動的に
動かすことにより、正確に正反射位置を決定することが
可能となる。
【００１８】また、請求項２に係る本発明により、所定
の視野内の画素数、１画素サイズ、許容画素数差を入力
表示装置にて指定し、カメラの受光信号の画素数をカウ
ントしながら、カメラを前後方向に自動的に移動するこ
とにより、正確に視野範囲を決定することが可能とな
る。
の視野内の画素数、１画素サイズ、許容画素数差を入力
表示装置にて指定し、カメラの受光信号の画素数をカウ
ントしながら、カメラを前後方向に自動的に移動するこ
とにより、正確に視野範囲を決定することが可能とな
る。
【００１９】さらに、請求項３に係る本発明により、レ
ンズの収差を考慮して、調整用マーク紙上のカメラ視野
両端付近の調整用マークを入力表示装置にて指定し、調
整用マークのカメラの受光信号の傾きを算出し、自動的
にフォーカスリングを動かすことにより、正確に焦点の
あう点を決定することが可能となる。
ンズの収差を考慮して、調整用マーク紙上のカメラ視野
両端付近の調整用マークを入力表示装置にて指定し、調
整用マークのカメラの受光信号の傾きを算出し、自動的
にフォーカスリングを動かすことにより、正確に焦点の
あう点を決定することが可能となる。
【００２０】以上の本発明の調整方法は、能率よく高精
度にしかも再現性を持って行うことができ、調整の手間
と時間を大幅に少なくしただけでなく、疵検査の精度向
上と調整による検査精度のばらつきも減少した。
度にしかも再現性を持って行うことができ、調整の手間
と時間を大幅に少なくしただけでなく、疵検査の精度向
上と調整による検査精度のばらつきも減少した。
【図１】本発明の正反射位置、視野調整、焦点調整を行
うための機器配置を示す図である。
うための機器配置を示す図である。
【図２】本発明の正反射位置、視野調整、焦点調整を行
う際の調整用マーク紙と受光信号の出力波形との関係を
示す模式図である。
う際の調整用マーク紙と受光信号の出力波形との関係を
示す模式図である。
【図３】本発明のカメラが被検査材の幅方向に複数台設
置された場合の調整用マーク紙とカメラ視野の配置を示
す図である。
置された場合の調整用マーク紙とカメラ視野の配置を示
す図である。
【図４】本発明の正反射位置決定の処理フローを示す図
である。
である。
【図５】本発明の視野調整の処理フローを示す図であ
る。
る。
【図６】本発明の焦点調整の処理フローを示す図であ
る。
る。
１ 一次元ＣＣＤカメラ ２ レンズおよびフォーカスリング ３ 視野方向 ４ カメラ角度変更支点 ５ カメラ角度変更用シリンダー ６ カメラ角度変更用ステッピングモーター ７ カメラ架台 ８ カメラ前後移動用レール ９ カメラ前後移動用シリンダー １０ カメラ前後移動用ステッピングモーター １１ 被検査材 １２ 搬送ロール １３ フォーカスリング １４ 焦点調整用シリンダー １５ 焦点調整用ステッピングモーター １６ カメラ左右角度変更用シリンダー １７ カメラ左右角度変更用ステッピングモーター １８ 計算機 １９ 入力表示装置 ３０ 調整用マーク紙 ３１ａ〜３１ｃ 調整用マーク ３２ カメラ受光信号 ３３ａ〜３３ｃ 調整用マーク受光信号 ３４ａ〜３４ｇ 指定視野偶数個分割点 ３５ カメラ視野 ３６ マーク部拡大図 ３７ マーク部上端の点 ３８ マーク部下端の点
Claims (3)
- 【請求項１】 被検査材の表面からの反射光を一次元Ｃ
ＣＤでとらえ、その光量変化から前記被検査材の表面疵
を検出する一次元ＣＣＤカメラを使用した疵検査装置の
光学系調整方法において、カメラ角度を変えながら視野
内の受光信号の面積を算出し、その受光信号の面積が最
大となる角度を求めることで、正反射位置を決定するこ
とを特徴とする一次元ＣＣＤカメラを使用した疵検査装
置の光学系調整方法。 - 【請求項２】 検査材の表面からの反射光を一次元ＣＣ
Ｄでとらえ、その光学変化から前記被検査材の表面疵を
検出する一次元ＣＣＤカメラを使用した疵検査装置の光
学系調整方法において、カメラの指定視野内の画素数を
カウントし、カメラ前後方向の移動量を求め、視野内画
素を目標画素数に調整することを特徴とする一次元ＣＣ
Ｄカメラを使用した疵検査装置の光学系調整方法。 - 【請求項３】 検査材の表面からの反射光を一次元ＣＣ
Ｄでとらえ、その光学変化から前記被検査材の表面疵を
検出する一次元ＣＣＤカメラを使用した疵検査装置の光
学系調整方法において、レンズの収差を考慮して、視野
両端付近の調整用マークのカメラ受光信号の傾きが最大
となるように自動的に焦点を調整することを特徴とする
一次元ＣＣＤカメラを使用した疵検査装置の光学系調整
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2249198A JPH11218500A (ja) | 1998-02-04 | 1998-02-04 | 一次元ｃｃｄカメラを使用した疵検査装置の光学系調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2249198A JPH11218500A (ja) | 1998-02-04 | 1998-02-04 | 一次元ｃｃｄカメラを使用した疵検査装置の光学系調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11218500A true JPH11218500A (ja) | 1999-08-10 |
Family
ID=12084211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2249198A Withdrawn JPH11218500A (ja) | 1998-02-04 | 1998-02-04 | 一次元ｃｃｄカメラを使用した疵検査装置の光学系調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11218500A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010112846A (ja) * | 2008-11-07 | 2010-05-20 | Jfe Steel Corp | 表面検査装置の調整方法および装置 |
| JP2014139550A (ja) * | 2013-01-21 | 2014-07-31 | Tokyo Electron Ltd | 基板検査装置 |
| JP2015219181A (ja) * | 2014-05-20 | 2015-12-07 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 金属帯エッジ部撮像装置および金属帯エッジ部撮像方法 |
-
1998
- 1998-02-04 JP JP2249198A patent/JPH11218500A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010112846A (ja) * | 2008-11-07 | 2010-05-20 | Jfe Steel Corp | 表面検査装置の調整方法および装置 |
| JP2014139550A (ja) * | 2013-01-21 | 2014-07-31 | Tokyo Electron Ltd | 基板検査装置 |
| JP2015219181A (ja) * | 2014-05-20 | 2015-12-07 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 金属帯エッジ部撮像装置および金属帯エッジ部撮像方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050405 |