JPH11216327A - エアフィルタユニット - Google Patents
エアフィルタユニットInfo
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- JPH11216327A JPH11216327A JP10021189A JP2118998A JPH11216327A JP H11216327 A JPH11216327 A JP H11216327A JP 10021189 A JP10021189 A JP 10021189A JP 2118998 A JP2118998 A JP 2118998A JP H11216327 A JPH11216327 A JP H11216327A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 微粒子除去に加え、有機物、酸性ガスおよび
アルカリ性ガスを除去することができるとともに、フィ
ルタユニットを取り外すことなく、有機物、酸性ガスお
よびアルカリ性ガスを除去するセパレータを交換するこ
とで、ランニングコストを下げることができ、かつ小型
のエアフィルタユニットを提供するものである。 【解決手段】 蛇腹状に折り畳んだ構造で、エアを導入
する複数の風上側溝とエアを排出する複数の風下側溝と
を持つ微粒子除去フィルタ１と、微粒子除去フィルタ１
の風下側溝に挿入され、この風下側溝の両壁にまたがる
支持部６を有する複数の第１のセパレータ２と、上記風
上側溝に挿入され、有機物吸着機能、酸性物質を捕獲す
る機能、およびアルカリ物質を捕獲する機能の少なくと
も１つの機能を有し、上記風上側溝の両壁にまたがる支
持部７を有する複数の第２のセパレータ３とを備えたも
のとする。
アルカリ性ガスを除去することができるとともに、フィ
ルタユニットを取り外すことなく、有機物、酸性ガスお
よびアルカリ性ガスを除去するセパレータを交換するこ
とで、ランニングコストを下げることができ、かつ小型
のエアフィルタユニットを提供するものである。 【解決手段】 蛇腹状に折り畳んだ構造で、エアを導入
する複数の風上側溝とエアを排出する複数の風下側溝と
を持つ微粒子除去フィルタ１と、微粒子除去フィルタ１
の風下側溝に挿入され、この風下側溝の両壁にまたがる
支持部６を有する複数の第１のセパレータ２と、上記風
上側溝に挿入され、有機物吸着機能、酸性物質を捕獲す
る機能、およびアルカリ物質を捕獲する機能の少なくと
も１つの機能を有し、上記風上側溝の両壁にまたがる支
持部７を有する複数の第２のセパレータ３とを備えたも
のとする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造装置
またはクリーンルームなどの半導体製造のための空間に
おいて、空気中の微粒子の他、有機物、酸性ガスまたは
アルカリ性ガスを除去するためのフィルタユニットに関
するものである。
またはクリーンルームなどの半導体製造のための空間に
おいて、空気中の微粒子の他、有機物、酸性ガスまたは
アルカリ性ガスを除去するためのフィルタユニットに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、空気中の微粒子の除去には、ＨＥ
ＰＡ（ｈｉｇｈ ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ ｐａｒｔｉｃ
ｕｌａｔｅ ａｉｒ）フィルタまたはＵＬＰＡ（ｕｌｔ
ｒａｌｏｗ ｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎ ａｉｒ）フィル
タが用いられる。一方、空気中の有機物の除去には活性
炭繊維がフィルタとして用いられ、酸性またはアルカリ
性ガスの除去にはイオン交換繊維や活性炭繊維に吸着物
質を添加したものをフィルタとして用いられており、こ
れらはケミカルフィルタと呼ばれている。微粒子除去用
のフィルタおよびケミカルフィルタは、圧損の低下およ
び長寿命化のために、フィルタを蛇腹状に折りたたんで
空気の通過面積を増大するようにしている。
ＰＡ（ｈｉｇｈ ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ ｐａｒｔｉｃ
ｕｌａｔｅ ａｉｒ）フィルタまたはＵＬＰＡ（ｕｌｔ
ｒａｌｏｗ ｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎ ａｉｒ）フィル
タが用いられる。一方、空気中の有機物の除去には活性
炭繊維がフィルタとして用いられ、酸性またはアルカリ
性ガスの除去にはイオン交換繊維や活性炭繊維に吸着物
質を添加したものをフィルタとして用いられており、こ
れらはケミカルフィルタと呼ばれている。微粒子除去用
のフィルタおよびケミカルフィルタは、圧損の低下およ
び長寿命化のために、フィルタを蛇腹状に折りたたんで
空気の通過面積を増大するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体装置およ
び半導体製造空間では、欠陥の元となる微粒子の除去の
みを行っている場合が多い。しかし、半導体の高集積化
に伴い、有機物、酸性ガスあるいはアルカリ性ガスの除
去が必要なプロセスが生じている。
び半導体製造空間では、欠陥の元となる微粒子の除去の
みを行っている場合が多い。しかし、半導体の高集積化
に伴い、有機物、酸性ガスあるいはアルカリ性ガスの除
去が必要なプロセスが生じている。
【０００４】たとえば、化学増幅レジストを用いた製版
を行う場合には、アンモニア等のアルカリガスにより、
正確なパタニングができないことが知られており、微粒
子の除去に加え、アルカリ性ガスを除去する必要があ
る。
を行う場合には、アンモニア等のアルカリガスにより、
正確なパタニングができないことが知られており、微粒
子の除去に加え、アルカリ性ガスを除去する必要があ
る。
【０００５】また、絶縁膜であるシリコン酸化膜の形成
において、有機物汚染がその絶縁特性を悪化させるとの
報告があり、酸化膜の形成前後では、有機物汚染を無く
す必要がある。
において、有機物汚染がその絶縁特性を悪化させるとの
報告があり、酸化膜の形成前後では、有機物汚染を無く
す必要がある。
【０００６】微粒子除去に加え、有機物、酸性ガスまた
はアルカリ性ガスを除去する場合には、それぞれを対象
としたエアフィルタユニットを重ねる必要がある。通常
のエアフィルタユニットは蛇腹状になっているため、そ
の厚さは１５ｃｍ〜３０ｃｍある。微粒子用のＨＥＰＡ
フィルタユニットまたはＵＬＰＡフィルタユニットに加
え、有機物用、酸性ガス用、アルカリ性ガス用の１５ｃ
ｍの厚さのエアフィルタユニットを設置すると、単純に
積み重ねてもエアフィルタユニット厚さの合計は６０ｃ
ｍにもなる。また、エアフィルタユニット交換を考慮し
た構造とすると更にスペースが必要になる。このため、
微粒子除去フィルタのみを設置した従来の半導体製造装
置や半導体製造工場に対して、新たに有機物、酸性ガス
またはアルカリガスの除去を行うには、上記エアフィル
タユニットの設置のために大きなスペースの確保が必要
であり、改良のために多くの時間および費用を要する。
また、新規に作製する場合でも広いスペースが必要とな
り、コスト高になる。
はアルカリ性ガスを除去する場合には、それぞれを対象
としたエアフィルタユニットを重ねる必要がある。通常
のエアフィルタユニットは蛇腹状になっているため、そ
の厚さは１５ｃｍ〜３０ｃｍある。微粒子用のＨＥＰＡ
フィルタユニットまたはＵＬＰＡフィルタユニットに加
え、有機物用、酸性ガス用、アルカリ性ガス用の１５ｃ
ｍの厚さのエアフィルタユニットを設置すると、単純に
積み重ねてもエアフィルタユニット厚さの合計は６０ｃ
ｍにもなる。また、エアフィルタユニット交換を考慮し
た構造とすると更にスペースが必要になる。このため、
微粒子除去フィルタのみを設置した従来の半導体製造装
置や半導体製造工場に対して、新たに有機物、酸性ガス
またはアルカリガスの除去を行うには、上記エアフィル
タユニットの設置のために大きなスペースの確保が必要
であり、改良のために多くの時間および費用を要する。
また、新規に作製する場合でも広いスペースが必要とな
り、コスト高になる。
【０００７】そこで、スペースを減少させるため、たと
えば有機物用フィルタ、酸性ガス用フィルタ、アルカリ
性ガス用フィルタを積層して一つのエアフィルタユニッ
トにまとめる方法がある。この場合は、エアフィルタユ
ニットの体積は少なくてすむが、エアフィルタユニット
の寿命がもっとも寿命の短いフィルタで決定するため、
ランニングコストが高くなる問題がある。使用環境にも
よるが、微粒子用フィルタの寿命は５年〜数１０年に対
して、ケミカルフィルタの寿命は半年〜１年程度である
ため、同時に取り換えることは大変不経済である。
えば有機物用フィルタ、酸性ガス用フィルタ、アルカリ
性ガス用フィルタを積層して一つのエアフィルタユニッ
トにまとめる方法がある。この場合は、エアフィルタユ
ニットの体積は少なくてすむが、エアフィルタユニット
の寿命がもっとも寿命の短いフィルタで決定するため、
ランニングコストが高くなる問題がある。使用環境にも
よるが、微粒子用フィルタの寿命は５年〜数１０年に対
して、ケミカルフィルタの寿命は半年〜１年程度である
ため、同時に取り換えることは大変不経済である。
【０００８】この問題を解決する方法として、たとえ
ば、特開平７―２０４４３９号公報にあるエアフィルタ
ユニットでは、蛇腹状の微粒子除去用フィルタの風上側
に、交換可能なケミカルフィルタを乗せている。前記公
報のエアフィルタでは、蛇腹型のフィルタとして、シー
ト自体に剛性のあるＤＰＣＣ（ｄｒｙ ｐｒｏｓｅｓｓ
ｅｄ ｃａｒｂｏｎ ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ，ＥＸＴＲＡ
ＣＴＩＯＮ ＳＹＳＴＥＭＳ ＩＮＣ．製）、または、
シートに剛性がない場合空気の下流方向のみにセパレー
タ（上記特許では支持体と表現）を設置することで形状
を保持している。
ば、特開平７―２０４４３９号公報にあるエアフィルタ
ユニットでは、蛇腹状の微粒子除去用フィルタの風上側
に、交換可能なケミカルフィルタを乗せている。前記公
報のエアフィルタでは、蛇腹型のフィルタとして、シー
ト自体に剛性のあるＤＰＣＣ（ｄｒｙ ｐｒｏｓｅｓｓ
ｅｄ ｃａｒｂｏｎ ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ，ＥＸＴＲＡ
ＣＴＩＯＮ ＳＹＳＴＥＭＳ ＩＮＣ．製）、または、
シートに剛性がない場合空気の下流方向のみにセパレー
タ（上記特許では支持体と表現）を設置することで形状
を保持している。
【０００９】しかし、半導体製造工場や半導体製造装置
において、微粒子除去用として一般的に用いれられるフ
ィルタは、コストと微粒子除去性能から、ＨＥＰＡとＵ
ＬＰＡである。ＨＥＰＡフィルタとＵＬＰＡフィルタに
は、それだけで形状を保持できるだけの剛性がない。実
際に上流側のセパレータがないと、誤ってフィルタに触
れたり、軽い衝撃が加わっただけで、上流側の蛇腹間隔
がずれ、空気の流れが不均一になり、圧損の増大、寿命
の低下を引き起こす問題がある。また、上記特開平７―
２０４４３９号公報では、上記微粒子除去フィルタの交
換方法については記載されていない。
において、微粒子除去用として一般的に用いれられるフ
ィルタは、コストと微粒子除去性能から、ＨＥＰＡとＵ
ＬＰＡである。ＨＥＰＡフィルタとＵＬＰＡフィルタに
は、それだけで形状を保持できるだけの剛性がない。実
際に上流側のセパレータがないと、誤ってフィルタに触
れたり、軽い衝撃が加わっただけで、上流側の蛇腹間隔
がずれ、空気の流れが不均一になり、圧損の増大、寿命
の低下を引き起こす問題がある。また、上記特開平７―
２０４４３９号公報では、上記微粒子除去フィルタの交
換方法については記載されていない。
【００１０】また、実開昭６４―１７３１８号公報に
は、蛇腹状に折った脱臭作用を有する活性炭素繊維の背
パレータをいれた構造が示されている。この構造は、対
象が脱臭機能を有する空気清浄フィルタである。活性炭
素繊維からは若干の発塵を伴う。この発塵量は、室内や
車内等の一般環境では全く問題にはならないが、超清浄
な空間が必要な半導体製造装置または半導体製造工場に
は使用できない。
は、蛇腹状に折った脱臭作用を有する活性炭素繊維の背
パレータをいれた構造が示されている。この構造は、対
象が脱臭機能を有する空気清浄フィルタである。活性炭
素繊維からは若干の発塵を伴う。この発塵量は、室内や
車内等の一般環境では全く問題にはならないが、超清浄
な空間が必要な半導体製造装置または半導体製造工場に
は使用できない。
【００１１】この発明は、上記のような問題を解決し、
微粒子除去に加え、有機物、酸性ガスおよびアルカリ性
ガスを除去することができるとともに、エアフィルタユ
ニットを取り外すことなく、有機物、酸性ガスおよびア
ルカリ性ガスを除去するセパレータを交換することで、
ランニングコストを下げることができ、かつ小型のエア
フィルタユニットを提供するものである。
微粒子除去に加え、有機物、酸性ガスおよびアルカリ性
ガスを除去することができるとともに、エアフィルタユ
ニットを取り外すことなく、有機物、酸性ガスおよびア
ルカリ性ガスを除去するセパレータを交換することで、
ランニングコストを下げることができ、かつ小型のエア
フィルタユニットを提供するものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この発明に係る第１のエ
アフィルタユニットは、蛇腹状に折り畳んだ構造で、エ
アを導入する複数の風上側溝とエアを排出する複数の風
下側溝とを持つ微粒子除去フィルタと、上記微粒子除去
フィルタの風下側溝に挿入され、この風下側溝の両壁に
またがる支持部を有する複数の第１のセパレータと、上
記風上側溝に挿入され、有機物吸着機能、酸性物質を捕
獲する機能、およびアルカリ物質を捕獲する機能の少な
くとも１つの機能を有し、上記風上側溝の両壁にまたが
る支持部を有する複数の第２のセパレータとを備えたも
のである。
アフィルタユニットは、蛇腹状に折り畳んだ構造で、エ
アを導入する複数の風上側溝とエアを排出する複数の風
下側溝とを持つ微粒子除去フィルタと、上記微粒子除去
フィルタの風下側溝に挿入され、この風下側溝の両壁に
またがる支持部を有する複数の第１のセパレータと、上
記風上側溝に挿入され、有機物吸着機能、酸性物質を捕
獲する機能、およびアルカリ物質を捕獲する機能の少な
くとも１つの機能を有し、上記風上側溝の両壁にまたが
る支持部を有する複数の第２のセパレータとを備えたも
のである。
【００１３】この発明に係る第２のエアフィルタユニッ
トは、上記第１のエアフィルタユニットにおいて、第２
のセパレータは、有機物吸着機能を有した活性炭繊維、
酸性物質を捕獲する機能を有したイオン交換繊維、およ
びアルカリ物質を捕獲する機能を有したイオン交換繊維
の少なくとも１つを用いてなるものである。
トは、上記第１のエアフィルタユニットにおいて、第２
のセパレータは、有機物吸着機能を有した活性炭繊維、
酸性物質を捕獲する機能を有したイオン交換繊維、およ
びアルカリ物質を捕獲する機能を有したイオン交換繊維
の少なくとも１つを用いてなるものである。
【００１４】この発明に係る第３のエアフィルタユニッ
トは、上記第１のエアフィルタユニットにおいて、第２
のセパレータは、カーボンナノチーブを用いてなるもの
である。
トは、上記第１のエアフィルタユニットにおいて、第２
のセパレータは、カーボンナノチーブを用いてなるもの
である。
【００１５】この発明に係る第４のエアフィルタユニッ
トは、上記第１のエアフィルタユニットにおいて、第１
のセパレータは、カーボンナノチーブを用いてなるもの
である。
トは、上記第１のエアフィルタユニットにおいて、第１
のセパレータは、カーボンナノチーブを用いてなるもの
である。
【００１６】この発明に係る第５のエアフィルタユニッ
トは、上記第３または第４のエアフィルタユニットにお
いて、カーボンナノチーブは、酸性ガスを吸着する基を
付加したもの、およびアルカリ性ガスを吸着する基を付
加したものの内の少なくともいずれか１つを含むもので
ある。
トは、上記第３または第４のエアフィルタユニットにお
いて、カーボンナノチーブは、酸性ガスを吸着する基を
付加したもの、およびアルカリ性ガスを吸着する基を付
加したものの内の少なくともいずれか１つを含むもので
ある。
【００１７】この発明に係る第６のエアフィルタユニッ
トは、上記第１のエアフィルタユニットにおいて、複数
の第２のセパレータを、風上側溝から引き抜くことによ
り交換可能としたものである。
トは、上記第１のエアフィルタユニットにおいて、複数
の第２のセパレータを、風上側溝から引き抜くことによ
り交換可能としたものである。
【００１８】この発明に係る第７のエアフィルタユニッ
トは、上記第１のエアフィルタユニットにおいて、複数
の第１のセパレータを、風下側溝から引き抜くことによ
り交換可能としたものである。
トは、上記第１のエアフィルタユニットにおいて、複数
の第１のセパレータを、風下側溝から引き抜くことによ
り交換可能としたものである。
【００１９】この発明に係る第８のエアフィルタユニッ
トは、上記第１または第６のエアフィルタユニットにお
いて、複数の第２のセパレータが少なくとも一部で連結
されているものである。
トは、上記第１または第６のエアフィルタユニットにお
いて、複数の第２のセパレータが少なくとも一部で連結
されているものである。
【００２０】この発明に係る第９のエアフィルタユニッ
トは、上記第１または第７のエアフィルタユニットにお
いて、複数の第１のセパレータが少なくとも一部で連結
されているものである。
トは、上記第１または第７のエアフィルタユニットにお
いて、複数の第１のセパレータが少なくとも一部で連結
されているものである。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下に、図に従って、この発明の
実施の形態を説明する。 実施の形態１．図１および図２は、この発明の実施の形
態１によるエアフィルタユニットを示すものである。図
において、１および４は従来のエアフィルタユニットと
同一のもので、１は、先端が丸い形状をした蛇腹状に折
り畳んだ形状の微粒子除去フィルタで、図１および図２
のの矢印で示す風下側の方向に流れる空気中の微粒子を
除去するものであり、エアを導入する複数の風上側溝と
エアを排出する複数の風下側溝とを持つ。２は、微粒子
除去フィルタ１の複数の風下側溝に挿入した第１のセパ
レータであり、波型に成形され、この波型の頂部６ａ、
６ｂ、６ｃが、上記風下側溝の両壁にまたがる支持部６
となっており、この支持部６が微粒子除去フィルタ１の
変形を防ぐ。３は、微粒子除去フィルタ１の複数の風上
側溝に挿入した第２のセパレータであり、波型に成形さ
れ、この波型の頂部７ａ、７ｂ、７ｃが、上記風下側溝
の両壁にまたがる支持部７となっており、この支持部７
が微粒子除去フィルタ１の変形を防ぐ機能に加え、有機
物、酸性ガスおよびアルカリ性ガスを除去する機能を有
する。４は、ケースである。５は、第２のセパレータ３
を連結する連結部であり、微粒子除去フィルタ１の蛇腹
型のピッチに合わせて、複数の第２のセパレータ３を連
結している。連結部５は、剛性のある例えば金属、プラ
スチックの帯状板でもよいし、変形しても伸び縮みの少
ない材料である例えば布、紙、ビニールシートの帯でも
よい。
実施の形態を説明する。 実施の形態１．図１および図２は、この発明の実施の形
態１によるエアフィルタユニットを示すものである。図
において、１および４は従来のエアフィルタユニットと
同一のもので、１は、先端が丸い形状をした蛇腹状に折
り畳んだ形状の微粒子除去フィルタで、図１および図２
のの矢印で示す風下側の方向に流れる空気中の微粒子を
除去するものであり、エアを導入する複数の風上側溝と
エアを排出する複数の風下側溝とを持つ。２は、微粒子
除去フィルタ１の複数の風下側溝に挿入した第１のセパ
レータであり、波型に成形され、この波型の頂部６ａ、
６ｂ、６ｃが、上記風下側溝の両壁にまたがる支持部６
となっており、この支持部６が微粒子除去フィルタ１の
変形を防ぐ。３は、微粒子除去フィルタ１の複数の風上
側溝に挿入した第２のセパレータであり、波型に成形さ
れ、この波型の頂部７ａ、７ｂ、７ｃが、上記風下側溝
の両壁にまたがる支持部７となっており、この支持部７
が微粒子除去フィルタ１の変形を防ぐ機能に加え、有機
物、酸性ガスおよびアルカリ性ガスを除去する機能を有
する。４は、ケースである。５は、第２のセパレータ３
を連結する連結部であり、微粒子除去フィルタ１の蛇腹
型のピッチに合わせて、複数の第２のセパレータ３を連
結している。連結部５は、剛性のある例えば金属、プラ
スチックの帯状板でもよいし、変形しても伸び縮みの少
ない材料である例えば布、紙、ビニールシートの帯でも
よい。
【００２２】第２のセパレータ３には、有機物を吸着す
るために、例えば、表面積の広い活性炭素繊維あるいは
中空糸膜を用い、アルカリ性ガスの吸着ために、例え
ば、母材となる活性炭素繊維に、酸性の物質である例え
ば燐酸を添着させたり、母材となる化学繊維に、アルカ
リ性物質を捕らえる基である例えばスルホン基、カルボ
キシル基等をつける。酸性ガスを吸着するためには、ア
ルカリ性物質である例えば炭酸カリウム、炭酸ナトリウ
ムを添着されたり、母材となる化学繊維に、例えば酸性
物質を捕らえるアンモニウム基、アミノ基等を付ける。
有機物、酸性ガスおよびアルカリ性ガスを吸着する場合
には、有機物、酸性ガスおよびアルカリ性ガスを吸着す
るそれぞれの材料を混在させる。
るために、例えば、表面積の広い活性炭素繊維あるいは
中空糸膜を用い、アルカリ性ガスの吸着ために、例え
ば、母材となる活性炭素繊維に、酸性の物質である例え
ば燐酸を添着させたり、母材となる化学繊維に、アルカ
リ性物質を捕らえる基である例えばスルホン基、カルボ
キシル基等をつける。酸性ガスを吸着するためには、ア
ルカリ性物質である例えば炭酸カリウム、炭酸ナトリウ
ムを添着されたり、母材となる化学繊維に、例えば酸性
物質を捕らえるアンモニウム基、アミノ基等を付ける。
有機物、酸性ガスおよびアルカリ性ガスを吸着する場合
には、有機物、酸性ガスおよびアルカリ性ガスを吸着す
るそれぞれの材料を混在させる。
【００２３】第２のセパレータ３に、上記活性炭素繊維
あるいは中空糸膜材料を用いれば、通常の使用条件にお
いては微粒子除去フィルタ１の変形を防ぐだけの剛性を
得ることが可能である。また、挿入時に引っ掛かりを無
くすため、第２のセパレータ３の風下側の先端部に丸み
を付けている。
あるいは中空糸膜材料を用いれば、通常の使用条件にお
いては微粒子除去フィルタ１の変形を防ぐだけの剛性を
得ることが可能である。また、挿入時に引っ掛かりを無
くすため、第２のセパレータ３の風下側の先端部に丸み
を付けている。
【００２４】上記のように構成されたエアフィルタユニ
ットにおいては、図３に示すように、風上側から来た空
気は、第２のセパレター３と接触することで、空気中に
含まれる有機物、酸性ガスおよびアルカリ性ガスが除去
され、微粒子除去フィルタ１を通過することで、空気中
に含まれる微粒子が除去される。このとき、第２のセパ
レータ３からは微量ではあるが微粒子が発生するが、微
粒子除去フィルタ１で除去される。これにより、エアフ
ィルタユニットの風下側では、微粒子、有機物、酸性ガ
スおよびアルカリ性ガスの無い清浄な空気が得られる。
ットにおいては、図３に示すように、風上側から来た空
気は、第２のセパレター３と接触することで、空気中に
含まれる有機物、酸性ガスおよびアルカリ性ガスが除去
され、微粒子除去フィルタ１を通過することで、空気中
に含まれる微粒子が除去される。このとき、第２のセパ
レータ３からは微量ではあるが微粒子が発生するが、微
粒子除去フィルタ１で除去される。これにより、エアフ
ィルタユニットの風下側では、微粒子、有機物、酸性ガ
スおよびアルカリ性ガスの無い清浄な空気が得られる。
【００２５】微粒子除去フィルタ１は、通常の使用にお
いては、５年〜数１０年の寿命を持つ。一方、有機物の
吸着は、第２のセパレータ３の表面積に依存する。酸性
ガスおよびアルカリ性ガスの除去は、添着した化学物質
または基の量で吸着量が決まるため、通常の使用条件で
は寿命が半年〜１年である。そこで、エアフィルタユニ
ットの内、第２のセパレータ３および連結部５のみを交
換することで安価に清浄な空気を長期間にわたって得る
ことができる。
いては、５年〜数１０年の寿命を持つ。一方、有機物の
吸着は、第２のセパレータ３の表面積に依存する。酸性
ガスおよびアルカリ性ガスの除去は、添着した化学物質
または基の量で吸着量が決まるため、通常の使用条件で
は寿命が半年〜１年である。そこで、エアフィルタユニ
ットの内、第２のセパレータ３および連結部５のみを交
換することで安価に清浄な空気を長期間にわたって得る
ことができる。
【００２６】第２のセパレータ３の交換は、連結部５を
手前に引くことで、簡単にエアフィルタユニットから外
すことができる。新しい第２のセパレータ３は連結部５
により、微粒子除去フィルタ１の間隙のピッチと等しく
並んでいるため、平易に挿入することができる。この
時、第２のセパレータ３の先が丸みを持っているため、
微粒子除去フィルタ１に引っかかることなく、平滑に挿
入できる。また、第２のセパレータ３は、図４のように
折りたたむことで、搬送時に小さくまとめることができ
る。
手前に引くことで、簡単にエアフィルタユニットから外
すことができる。新しい第２のセパレータ３は連結部５
により、微粒子除去フィルタ１の間隙のピッチと等しく
並んでいるため、平易に挿入することができる。この
時、第２のセパレータ３の先が丸みを持っているため、
微粒子除去フィルタ１に引っかかることなく、平滑に挿
入できる。また、第２のセパレータ３は、図４のように
折りたたむことで、搬送時に小さくまとめることができ
る。
【００２７】実施の形態２．実施の形態１において、第
２のセパレータ３として、カーボンナノチューブの不織
布を用いる。カーボンナノチューブは剛性の高い材料で
あり、従来の炭素繊維と比較して発塵がほとんどない。
また、カーボンナノチューブは、従来の炭素繊維と比較
して表面積が広く、同体積でより多くの有機物の吸着が
可能になリ、より一層の性能向上を図ることができる。
また、カーボンナノチューブは化学修飾が可能であるた
め、アルカリ性の基および酸性の基を付けることで、酸
性ガスおよびアルカリ性ガスを吸着することができる。
２のセパレータ３として、カーボンナノチューブの不織
布を用いる。カーボンナノチューブは剛性の高い材料で
あり、従来の炭素繊維と比較して発塵がほとんどない。
また、カーボンナノチューブは、従来の炭素繊維と比較
して表面積が広く、同体積でより多くの有機物の吸着が
可能になリ、より一層の性能向上を図ることができる。
また、カーボンナノチューブは化学修飾が可能であるた
め、アルカリ性の基および酸性の基を付けることで、酸
性ガスおよびアルカリ性ガスを吸着することができる。
【００２８】実施の形態３．実施の形態１では、第２の
セパレータ３から発塵するため、第２のセパレータ３
は、微粒子除去フィルタ１の風上側にのみ設置したが、
第２のセパレータ３を発塵のないカーボンナノチューブ
製にすることで、粒子除去フィルタ１の風下側にも設置
することができる。第１のセパレータ２をカーボンナノ
チューブ製にすることによって、風上側と風下側の両方
に設置することができ、有機物、酸性ガスおよびアルカ
リ性ガスの吸着効率を上げることができ、かつ寿命を伸
ばすことができる。このカーボンナノチューブ製セパレ
ータも、実施の形態１と同様に交換が可能である。
セパレータ３から発塵するため、第２のセパレータ３
は、微粒子除去フィルタ１の風上側にのみ設置したが、
第２のセパレータ３を発塵のないカーボンナノチューブ
製にすることで、粒子除去フィルタ１の風下側にも設置
することができる。第１のセパレータ２をカーボンナノ
チューブ製にすることによって、風上側と風下側の両方
に設置することができ、有機物、酸性ガスおよびアルカ
リ性ガスの吸着効率を上げることができ、かつ寿命を伸
ばすことができる。このカーボンナノチューブ製セパレ
ータも、実施の形態１と同様に交換が可能である。
【００２９】なお、上記実施の形態において、第１のセ
パレータ、第２の背パレータの形状を先端部が丸い形状
のものについて説明したが、矩形、三角形、ハニカム状
等種々の形状をとり得るものであり、本発明が、上記実
施の形態に限定されるものではない。
パレータ、第２の背パレータの形状を先端部が丸い形状
のものについて説明したが、矩形、三角形、ハニカム状
等種々の形状をとり得るものであり、本発明が、上記実
施の形態に限定されるものではない。
【００３０】
【発明の効果】この発明に係る第１および第２のエアフ
ィルタユニットによれば、蛇腹状に折り畳んだ構造で、
エアを導入する複数の風上側溝とエアを排出する複数の
風下側溝とを持つ微粒子除去フィルタの風下側溝および
風下側溝にそれぞれ、各溝の両壁にまたがる支持部を有
する複数の第１のセパレータおよび第２のセパレータを
挿入することによって、微粒子除去フィルタの変形を防
止できるとともに、上記風上側溝に挿入された第２のセ
パレータが、有機物吸着機能、酸性物質を捕獲する機
能、およびアルカリ物質を捕獲する機能の少なくとも１
つの機能を有するので、有機物、酸性物質、およびアル
カリ物質を捕獲することができ、かつ第２のセパレータ
から発生する微量の発塵をも除去することができる効果
がある。
ィルタユニットによれば、蛇腹状に折り畳んだ構造で、
エアを導入する複数の風上側溝とエアを排出する複数の
風下側溝とを持つ微粒子除去フィルタの風下側溝および
風下側溝にそれぞれ、各溝の両壁にまたがる支持部を有
する複数の第１のセパレータおよび第２のセパレータを
挿入することによって、微粒子除去フィルタの変形を防
止できるとともに、上記風上側溝に挿入された第２のセ
パレータが、有機物吸着機能、酸性物質を捕獲する機
能、およびアルカリ物質を捕獲する機能の少なくとも１
つの機能を有するので、有機物、酸性物質、およびアル
カリ物質を捕獲することができ、かつ第２のセパレータ
から発生する微量の発塵をも除去することができる効果
がある。
【００３１】この発明に係る第３および第５のエアフィ
ルタユニットによれば、第２のセパレータは、カーボン
ナノチーブを用いてなるものであるので、発塵がほとん
どなく、また、カーボンナノチューブは、表面積が広
く、同体積でより多くの有機物の吸着が可能になリ、よ
り一層の性能向上を図ることができる。また、カーボン
ナノチューブは化学修飾が可能であるため、アルカリ性
の基および酸性の基を付けることで、酸性ガスおよびア
ルカリ性ガスを吸着することができる効果がある。
ルタユニットによれば、第２のセパレータは、カーボン
ナノチーブを用いてなるものであるので、発塵がほとん
どなく、また、カーボンナノチューブは、表面積が広
く、同体積でより多くの有機物の吸着が可能になリ、よ
り一層の性能向上を図ることができる。また、カーボン
ナノチューブは化学修飾が可能であるため、アルカリ性
の基および酸性の基を付けることで、酸性ガスおよびア
ルカリ性ガスを吸着することができる効果がある。
【００３２】この発明に係る第４および第５のエアフィ
ルタユニットによれば、第１のセパレータは、カーボン
ナノチーブを用いてなるものであるので、風下側に挿入
されても発塵がほとんどなく、風下側でも有機物の吸着
が可能になリ、より一層の性能向上を図ることができる
効果がある。
ルタユニットによれば、第１のセパレータは、カーボン
ナノチーブを用いてなるものであるので、風下側に挿入
されても発塵がほとんどなく、風下側でも有機物の吸着
が可能になリ、より一層の性能向上を図ることができる
効果がある。
【００３３】この発明に係る第６ないし第９のエアフィ
ルタユニットによれば、セパレータの交換が容易にでき
る効果がある。
ルタユニットによれば、セパレータの交換が容易にでき
る効果がある。
【図１】 この発明の実施の形態１のエアフィルタユニ
ットを示す斜視図（風上側から見た図）である。
ットを示す斜視図（風上側から見た図）である。
【図２】 この発明の実施の形態１のエアフィルタユニ
ットを示す斜視図（風下側から見た図）である。
ットを示す斜視図（風下側から見た図）である。
【図３】 この発明のエアフィルタユニットにおける動
作を説明する断面図である。
作を説明する断面図である。
【図４】 この発明のセパレータ部の構成図である。
１ 微粒子除去フィルター、２ 第１のセパレータ、３
第２のセパレータ、４ ケース、５ 連結部、６およ
び７ 支持部、６ａ、６ｂ、７ａおよび７ｂ頂部
第２のセパレータ、４ ケース、５ 連結部、６およ
び７ 支持部、６ａ、６ｂ、７ａおよび７ｂ頂部
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ // Ｆ２４Ｆ 7/06 Ｆ２４Ｆ 7/06 Ｃ
Claims (9)
- 【請求項１】 蛇腹状に折り畳んだ構造で、エアを導入
する複数の風上側溝とエアを排出する複数の風下側溝と
を持つ微粒子除去フィルタと、上記微粒子除去フィルタ
の風下側溝に挿入され、この風下側溝の両壁にまたがる
支持部を有する複数の第１のセパレータと、上記風上側
溝に挿入され、有機物吸着機能、酸性物質を捕獲する機
能、およびアルカリ物質を捕獲する機能の少なくとも１
つの機能を有し、上記風上側溝の両壁にまたがる支持部
を有する複数の第２のセパレータとを備えたことを特徴
とするエアフィルタユニット。 - 【請求項２】 第２のセパレータは、有機物吸着機能を
有した活性炭繊維、酸性物質を捕獲する機能を有したイ
オン交換繊維、およびアルカリ物質を捕獲する機能を有
したイオン交換繊維の少なくとも１つを用いてなること
を特徴とする請求項１記載のエアフィルタユニット。 - 【請求項３】 第２のセパレータは、カーボンナノチー
ブを用いてなることを特徴とする請求項１記載のエアフ
ィルタユニット。 - 【請求項４】 第１のセパレータは、カーボンナノチー
ブを用いてなることを特徴とする請求項１記載のエアフ
ィルタユニット。 - 【請求項５】 カーボンナノチーブは、酸性ガスを吸着
する基を付加したもの、およびアルカリ性ガスを吸着す
る基を付加したものの内の少なくともいずれか１つを含
むものであることを特徴とする請求項３または４記載の
エアフィルタユニット。 - 【請求項６】 複数の第２のセパレータを、風上側溝か
ら引き抜くことにより交換可能としたことを特徴とする
請求項１記載のエアフィルタユニット。 - 【請求項７】 複数の第１のセパレータを、風下側溝か
ら引き抜くことにより交換可能としたことを特徴とする
請求項１記載のエアフィルタユニット。 - 【請求項８】 複数の第２のセパレータが少なくとも一
部で連結されていることを特徴とする請求項１または６
記載のエアフィルタユニット。 - 【請求項９】 複数の第１のセパレータが少なくとも一
部で連結されていることを特徴とする請求項１または７
記載のエアフィルタユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10021189A JPH11216327A (ja) | 1998-02-02 | 1998-02-02 | エアフィルタユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10021189A JPH11216327A (ja) | 1998-02-02 | 1998-02-02 | エアフィルタユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11216327A true JPH11216327A (ja) | 1999-08-10 |
Family
ID=12048017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10021189A Pending JPH11216327A (ja) | 1998-02-02 | 1998-02-02 | エアフィルタユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11216327A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003334423A (ja) * | 2002-05-15 | 2003-11-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 排煙処理装置 |
| JPWO2003043717A1 (ja) * | 2001-11-21 | 2005-03-10 | 三菱重工業株式会社 | 集塵フィルタ及び集塵装置及びガスタービンの吸気装置 |
| WO2006022199A1 (ja) * | 2004-08-23 | 2006-03-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | スピーカ装置 |
| JP2006095429A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Sharp Corp | 気体清浄装置 |
| JP2006524177A (ja) * | 2003-03-07 | 2006-10-26 | セルドン テクノロジーズ，エルエルシー | ナノ物質による流体の浄化 |
| US7927567B2 (en) | 2004-12-20 | 2011-04-19 | Sharp Kabushiki Kaisha | Adsorbent, porous filter, air cleaning device, method of cleaning air, and method of manufacturing porous filter |
| CN108176153A (zh) * | 2017-12-15 | 2018-06-19 | 上海美滴智能科技有限公司 | 复合滤网及其制备工艺 |
| CN108704396A (zh) * | 2018-05-25 | 2018-10-26 | 合肥奇呗数字科技有限公司 | 一种新型空气过滤净化材料及其制备方法 |
-
1998
- 1998-02-02 JP JP10021189A patent/JPH11216327A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2003043717A1 (ja) * | 2001-11-21 | 2005-03-10 | 三菱重工業株式会社 | 集塵フィルタ及び集塵装置及びガスタービンの吸気装置 |
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| US7974423B2 (en) | 2004-08-23 | 2011-07-05 | Panasonic Corporation | Loudspeaker system |
| JP2006095429A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Sharp Corp | 気体清浄装置 |
| JP4674071B2 (ja) * | 2004-09-29 | 2011-04-20 | シャープ株式会社 | 気体清浄装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20040625 |