JPH11214163A - Organic electromulinescence element and manufacture of the same - Google Patents

Organic electromulinescence element and manufacture of the same

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JPH11214163A
JPH11214163A JP1418498A JP1418498A JPH11214163A JP H11214163 A JPH11214163 A JP H11214163A JP 1418498 A JP1418498 A JP 1418498A JP 1418498 A JP1418498 A JP 1418498A JP H11214163 A JPH11214163 A JP H11214163A
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    • H01L51/52Details of devices
    • H01L51/5262Arrangements for extracting light from the device

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve light output efficiency to obtain high efficiency by providing one of anode and cathode electrodes with an inclined face, and forming a plurality of holes on an electrode opopsite to the electrode having the inclined face. SOLUTION: The light generated by a luminous layer 3 is reflected by an interface between the luminous layer 3 and a cathode 4 by mounting the cathode 4 comprising an inclined face, and converged in the direction of a base 1 by the action similar to a concave mirror. As the result, the component totally reflected by a base face, or the component outgoing in the horizontal direction to the base face among the luminescence from the area nipped by both electrodes, can be reflected in the vertical direction of the base face. Accordingly the impossibility of the taking-out of the light caused by the full-reflection can be prevented. By providing an anode 2 opposite to the cathode 4 having the inclined face, with a plurality of holes, the counter electrode (cathode) having the inclined face to the luminous layer 3 can be easily formed. That is, the dents are generated on the luminous layer 3 and the cathode 4 corresponding to the holes, and the inclined face can be naturally formed.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、発光効率に優れた有機エレクトロルミネッセンス素子に関する。 The present invention relates to relates to excellent organic electroluminescent device luminous efficiency.

【0002】 [0002]

【従来の技術】有機エレクトロルミネッセンス素子は、 BACKGROUND OF THE INVENTION organic electroluminescence element,
電界を印加することにより、陽極より注入された正孔と陰極より注入された電子の再結合エネルギーにより蛍光性物質が発光する原理を利用した自発光素子である。 By applying an electric field, a self-luminous element fluorescent substance using the principle of light emission by the recombination energy of injected holes and injected electrons from a cathode from an anode. イーストマン・コダック社のC. Eastman Kodak Company C. W. W. Tangらによる積層型素子による低電圧駆動有機エレクトロルミネッセンス素子の報告(C.W.Tang、S.A.VanSl It reported a low voltage driven organic electroluminescence device using a double layered structure Tang et al (C.W.Tang, S.A.VanSl
yke、アプライドフィジックスレターズ(Appli yke, Applied Physics Letters (Appli
ed Physics Letters)、51巻、9 ed Physics Letters), 51 vol., 9
13頁、1987年 など)がなされて以来、有機材料を構成材料とする有機エレクトロルミネッセンス素子に関する研究が盛んに行われている。 Page 13, since such 1987) is made studies on organic electroluminescent devices using organic materials as the constituting materials has been actively conducted. Tangらは、トリス(8−キノリノール)アルミニウムを発光層に、トリフェニルジアミン誘導体を正孔輸送層に用いている。 Tang et al., Tris (8-quinolinol) aluminum for the light emitting layer and a triphenyldiamine derivative for the hole transporting layer. 積層構造の利点としては、発光層への正孔の注入効率を高めること、陰極より注入された電子をブロックして再結合により生成する励起子の生成効率を高めること、発光層内で生成した励起子を閉じこめることなどが挙げられる。 Advantages of the laminate structure, to increase the injection efficiency of holes to the emitting layer, to increase generation efficiency of excitons generated by recombination by blocking electrons injected from a cathode, formed within the light emitting layer and the like to confine the exciton. この例のように有機エレクトロルミネッセンス素子の素子構造としては、正孔輸送(注入)層、電子輸送性発光層の2層型、又は正孔輸送(注入)層、発光層、電子輸送(注入)層の3層型等が良く知られている。 The device structure of the organic electroluminescence element as in this example, a hole transport (injection) layer, two-layer electron transporting light emitting layer, or a hole transporting (injecting) layer, a light emitting layer, an electron transporting (injecting) 3-layer type such layers are well known. こうした積層型構造素子では注入された正孔と電子の再結合効率を高めるため、素子構造や形成方法の工夫がなされている。 To increase the efficiency of recombination of holes and electrons injected in the laminate type structural devices, device structures and fabrication methods have been.

【0003】しかしながら、有機エレクトロルミネッセンス素子に於いてはキャリア再結合の際にスピン統計の依存性より一重項生成の確率に制限があり、したがって発光確率に上限が生じる。 However, in the organic electroluminescent device is limited to the probability of singlet generation from dependence of the spin statistics when the carrier recombination, thus limit the emission probability occurs. この上限の値は凡そ25%と知られている。 The value of this upper limit is known to approximately 25%. 更に有機エレクトロルミネッセンス素子に於いてはその発光体の屈折率の影響のため、図1に示すように、臨界角以上の出射角の光は全反射を起こし外部に取り出すことができない。 Furthermore because of the influence of the refractive index of the luminous body at the organic electroluminescence element, as shown in FIG. 1, the optical critical angle or more emission angle can not be taken out cause total reflection. このため発光体の屈折率が1.6とすると発光量全体の20%程度しか有効に利用できず、エネルギーの変換効率の限界としては一重項生成確率を併せ全体で5%程度と低効率とならざるをえない(筒井哲夫「有機エレクトロルミネッセンスの現状と動向」、月刊ディスプレイ、vol.1、 No. Therefore not be utilized effectively and the refractive index of the light emitters and 1.6 only 20% of the total amount of light emission, and about 5% overall combined singlet generation probability as the limit of the energy conversion efficiency and low efficiency forced to not help not ( "current Status and trends of the organic electroluminescence" Tetsuo Tsutsui, monthly display, vol.1, No.
3、p11、1995年9月)。 3, p11, 9 May 1995). 発光確率に強い制限の生じる有機エレクトロルミネッセンス素子に於いては、 It is In an organic electroluminescent device produced a strong limit on emission probabilities,
光の取り出し効率は致命的ともいえる効率の低下を招くことになる。 The light extraction efficiency will be deteriorated in efficiency also say fatal.

【0004】この光の取り出し効率を向上させる手法としては、従来無機エレクトロルミネッセンス素子などの、同等な構造を持つ発光素子に於いて検討されてきた。 [0004] As a method for improving the extraction efficiency of the light, such as a conventional inorganic electroluminescence element, it has been studied at the light-emitting element having the same structure. 例えば、基板に集光性を持たせることで効率を向上させる方法(特開昭63−314795)や、素子の側面等に反射面を形成する方法(特開平1−22039 For example, a method (JP 63-314795) to improve the efficiency by giving the light collecting the substrate, and a method of forming a reflective surface on the side surface or the like of the element (JP-A-1-22039
4)は、発光面積の大きな素子に対しては有効であるが、ドットマトリクスディスプレイ等の画素面積の微小な素子に於いては、集光性を持たせるレンズや側面の反射面等の形成加工が困難である。 4) is effective for a large element of the light emitting area, it is at a very small element of the pixel area such as dot matrix displays, the formation of the reflecting surface or the like of the lens or the side to have a light collecting process it is difficult. 更に有機エレクトロルミネッセンス素子に於いては発光層の膜厚が数μm以下となるためテーパー状の加工を施し素子側面に反射鏡を形成することは現在の微細加工の技術では困難であり、 Further is In an organic electroluminescent element to form a reflecting mirror element side subjected to tapered processing for the film thickness of the light-emitting layer is several μm or less is difficult with current microfabrication technology,
大幅なコストアップをもたらす。 Result in a significant increase in cost. また基板ガラスと発光体の間に中間の屈折率を持つ層を導入し、反射防止膜を形成する方法(特開昭62−172691)もあるが、 Also it introduced a layer having a refractive index of the intermediate between the light emitter and the substrate glass, a method of forming an antireflection film (JP-62-172691) is also the case,
この方法は前方への光の取り出し効率の改善の効果はあるが全反射を防ぐことはできない。 This method is effective for improving the extraction efficiency of light to the front, but can not prevent total reflection. したがって屈折率の大きな無機エレクトロルミネッセンスに対しては有効であっても、比較的低屈折率の発光体である有機エレクトロルミネッセンス素子に対しては大きな改善効果を生まない。 Thus even effective for large inorganic electroluminescence refractive index, does not produce a significant improvement with respect to the organic electroluminescent device is a light emitting element having a relatively low refractive index.

【0005】したがって有機エレクトロルミネッセンス素子に有用な光の取り出し方法は未だ不十分であり、この光の取り出し方法の開発が有機エレクトロルミネッセンス素子の高効率化に不可欠である。 Accordingly extraction methods useful light on the organic electroluminescence element is still insufficient, the development of extraction methods of this light is essential for high efficiency of the organic electroluminescence element.

【0006】 [0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、有機エレクトロルミネッセンス素子の光の取り出し効率を改善し、高効率の有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することにある。 The object of the present invention is to solve the above improves the light extraction efficiency of the organic electroluminescent device is to provide an organic electroluminescent device having high efficiency.

【0007】 [0007]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発明によれば、陽極と陰極との間に発光層を含む一または二以上の有機薄膜層を有してなる有機エレクトロルミネッセンス素子において、陽極若しくは陰極のうち、一方の電極が傾斜面を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子が提供される。 According to the present invention to solve the above problems, there is provided a means for solving], an organic electroluminescent element comprising having one or more organic thin film layers including a light emitting layer between an anode and a cathode, anode or of the cathode, the organic electroluminescent device having one electrode and having an inclined surface is provided. ここで、傾斜面とは基板の平面方向に対して所定の角度をもった傾斜を有する面をいう。 Here refers to a surface having a slope with a predetermined angle with respect to the plane direction of the substrate is inclined.

【0008】例えば図3に示すように傾斜面を有する形状の陰極4を設けることにより、発光層3で生じた光は発光層3と陰極4の界面で反射した後、凹面鏡と同様の作用により基板1方向に集光される。 [0008] By providing a cathode 4 having a shape having an inclined surface as shown in FIG. 3, for example, after the light generated in the light emitting layer 3 is reflected at the interface between the light-emitting layer 3 and the cathode 4, the same function as the concave mirror It is focused on the substrate 1 direction. すなわち、両電極に挟まれた領域からの発光のうち、基板面で全反射する成分、あるいは基板面に水平方向に出射される成分を基板面垂直方向に反射させることができる。 That is, of the light emission from the region sandwiched between both electrodes, components totally reflected by the substrate surface, or the components to be emitted in the horizontal direction to the substrate surface can be reflected on the substrate surface vertically. したがって、 Therefore,
図1のように全反射のために光が取り出し不可能となるということは生じにくく、光の取り出し効率が顕著に向上する。 Hardly occurs that the light is not taken out for total reflection as shown in FIG. 1, the light extraction efficiency is remarkably improved. この際、発光面積は減少しており前方への反射効率も100%では無いため、孔の無い電極を用いた場合より輝度としては低下する場合もあるが、発光面積の減少により消費電力も低下するため、全体としては高効率となる。 In this case, reduction because not 100 percent reflection efficiency of the forward light emitting area is decreased, although in some cases decreases as the luminance than with no electrode aperture, the power consumption by reducing the light emitting area to, as a whole a high efficiency.

【0009】本発明において、前記傾斜面を有する電極と対向する電極に複数の孔が設けられることが好ましい。 [0009] In the present invention, it is preferable that the plurality of holes are provided in the electrode to electrode and a counter having the inclined surface.

【0010】このようにすることにより、発光層に対して傾斜面を有する対向電極を容易に形成することができる。 [0010] By doing so, the counter electrode having an inclined surface with respect to the light emitting layer can be easily formed. この点について図2を参照して説明する。 This point will be described with reference to FIG. 複数の孔が設けられた電極2の上に発光層3、対向電極4をこの順で成膜していくと、孔と対応する部分の発光層3および対向電極4に窪みが生じる。 Emitting layer 3 on the plurality of holes of the electrode 2 provided, and the confronting electrode 4 will deposited in this order, depression occurs in the light emitting layer 3 and the counter electrode 4 of the portion corresponding to the hole. すなわち成膜工程で自然に傾斜面が形成されるのである。 That is, the inclined surface naturally deposition process is formed.

【0011】本発明における孔は、上記のように対向電極に傾斜面を付与するために設けられるものであるから、このような作用を有するものであればいかなる形状であってもよい。 [0011] holes in the present invention, since it is provided in order to impart an inclined surface to the counter electrode as described above, may be any shape as long as it has such an action. 例えば、正方形、長方形、長楕円形等のストライプ形状や、円形などとすることができる。 For example, square, rectangular, or stripe shape such as oblong shape, may be such as a circle.

【0012】ただしこれらの孔は溝を形成するものではなく、当該電極は同一画素を形成するもので孔により分離されるものではない(図2)。 [0012] However, these holes are not intended to form a groove, the electrode is not intended to be separated by a hole in what form the same pixel (Figure 2). すなわち、この電極構造はドットマトリクスディスプレイなどに於いて、各水平方向または垂直方向の画素列を形成するストライプ状の電極間の溝を形成するものではなく、これらの電極の内部構造として更に微細な孔が空いているものである。 That is, the electrode structure is at such a dot matrix display, not to form a groove between the stripe-shaped electrodes forming the pixel columns of each horizontal or vertical direction, further fine as an internal structure of these electrodes in which holes are free.

【0013】また本発明によれば、基板上に第一の電極層を形成した後、該第一の電極層に複数の孔を設ける工程と、該第一の電極層の上に、発光層を含む一または二以上の有機薄膜層と第二の電極層とをこの順で形成する工程とを含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法が提供される。 [0013] According to the present invention, after forming a first electrode layer on a substrate, comprising the steps of providing a plurality of holes in said first electrode layer, on top of said first electrode layer, the light-emitting layer method of manufacturing an organic electroluminescence device which comprises a step of the one or more organic thin film layer and the second electrode layer are formed in this order containing is provided. ここで第一の電極層とは、一対の電極のうち光の出射面側に位置する電極層をいい、第二の電極層とは第一の電極層と対向する電極層をいう。 Here, the first electrode layer means an electrode layer located on the exit surface side of the inner light of the pair of electrodes, and the second electrode layer means an electrode layer facing the first electrode layer. 例えば図2において、陽極2を構成するのが第一の電極層、陰極4を構成するのが第二の電極層である。 For example, in FIG. 2, the first electrode layer that constitutes the anode 2, to constitute the cathode 4 is the second electrode layer. このような製造方法によれば、発光層に対して傾斜面を有する対向電極を積層工程にて自然に形成することができる。 According to such a manufacturing method, it is possible to naturally form a counter electrode having an inclined surface with respect to the light emitting layer in the lamination process.

【0014】複数の孔は、例えば以下のようにして作製される。 [0014] a plurality of holes, for example, produced as follows. すなわち、第一の電極層の表面に所定のパターンでレジストを塗布した後、エッチングにより第一の電極層の所定部分を除去することにより、複数の孔を設けることができる。 That is, a resist is applied in a predetermined pattern on a surface of the first electrode layer, by removing a predetermined portion of the first electrode layer by etching, it is possible to provide a plurality of holes. このような方法によれば、所望のパターンを有する複数の孔を簡便に形成することができる。 According to this method, it is possible to easily form a plurality of holes having a desired pattern.

【0015】 [0015]

【発明の実施の形態】本発明における有機エレクトロルミネッセンス素子の素子構造は、電極間に有機層を1層あるいは2層以上積層した構造であり、特にその構造に制約を受けない。 Device structure of the organic electroluminescence element in the Detailed Description of the Invention The present invention is a structure formed by laminating the organic layer one layer or two or more layers between the electrodes, no particular restrictions on the structure. 例としては、陽極、発光層、陰極、 Examples include an anode, a light-emitting layer, a cathode,
陽極、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、陰極、陽極、正孔輸送層、発光層、陰極、あるいは陽極、発光層、電子輸送層、陰極等の構造が挙げられる。 Anode, a hole transport layer, light emitting layer, electron transporting layer, a cathode, an anode, a hole transport layer, light emitting layer, a cathode, or anode, light emitting layer, an electron transport layer, and the structure of the cathode and the like. またこれらの有機層間及び有機層電極間に、電荷注入特性の向上や絶縁破壊を抑制あるいは発光効率を向上させる目的で、弗化リチウム、弗化マグネシウム、酸化珪素、二酸化珪素、窒化珪素等の無機の誘電体、絶縁体からなる薄膜層、あるいは有機層と電極材料又は金属との混合層、 Also among these organic interlayer and the organic layer electrodes, for the purpose of improving the suppression or luminous efficiency improvement and dielectric breakdown of the charge injection properties, lithium fluoride, magnesium fluoride, silicon oxide, silicon dioxide, inorganic, such as silicon nitride the dielectric thin film layer made of an insulator, or an organic layer and an electrode material or a mixed layer of metal,
あるいはポリアニリン、ポリアセチレン誘導体、ポリジアセチレン誘導体、ポリビニルカルバゾール誘導体、ポリパラフェニレンビニレン誘導体等の有機高分子薄膜を挿入しても構わない。 Alternatively polyaniline, polyacetylene derivatives, polydiacetylene derivatives, polyvinylcarbazole derivatives, may be inserted organic thin film such as a polyparaphenylene vinylene derivative.

【0016】本発明において、電極としては、陽極は正孔を正孔輸送層に注入する役割を担うものであり、4. [0016] In the present invention, as the electrode, the anode plays a role of injecting holes into a hole transport layer, 4.
5eV以上の仕事関数を有することが効果的である。 It is effective to have a work function of more than 5eV. 本発明に用いられる陽極材料の具体例としては、酸化インジウム錫合金(ITO)、酸化錫(NESA)、金、 Specific examples of the anode material used in the present invention, indium tin oxide (ITO), tin oxide (NESA), gold,
銀、白金、銅等の金属又は酸化物、並びにこれらの混合物が適用できる。 Silver, platinum, metals or oxides such as copper, and mixtures thereof applied. また陰極としては、電子輸送帯又は発光層に電子を注入する目的で、仕事関数の小さい材料が好ましい。 As the cathode, in order to inject electrons into electron transport band or emission layer, materials of small work function are preferable. 陰極材料は特に限定されないが、具体的にはインジウム、アルミニウム、マグネシウム、マグネシウム−インジウム合金、マグネシウム−アルミニウム合金、アルミニウム−リチウム合金、アルミニウム−スカンジウム−リチウム合金、マグネシウム−銀合金、並びにこれらの混合物等が使用できる。 Although the cathode material is not particularly limited, specifically indium, aluminum, magnesium, a magnesium - indium alloy, a magnesium - aluminum alloy, an aluminum - lithium alloy, aluminum - scandium - lithium alloy, a magnesium - silver alloy, and mixtures thereof such as There can be used.

【0017】ここで孔の空いた電極は陽極、陰極の何れでもよく、また何れかの電極が可視光の領域に於いて透明あるいは高反射率を有するもののどちらでもよい。 The electrode vacant wherein pores anode may be either a cathode, also has one of the electrodes either but has a transparent or highly reflective at the region of visible light. また、この電極の厚さは電極として本来の機能を果たす厚さであれば特に限定されることはないが、0.02μm The thickness of the electrode is not limited in particular as long as the thickness a primary function as an electrode but, 0.02 [mu] m
〜2μmの範囲にあることが望ましい。 It is preferably in the range of ~2Myuemu.

【0018】本発明において、前述のように孔の形状は特に制限されないが、たとえばストライプ状の形状(図4)や櫛歯状の形状(図7)を有することが好ましく、 [0018] In the present invention, preferably has a the shape of the hole as described above is not particularly limited, for example, stripe-like shape (FIG. 4) and comb-like shape (FIG. 7),
あるいは図9のように複数の島状の電極部を残すように孔が形成されることが好ましい。 Alternatively it is preferred that the holes are formed so as to leave the electrode portions of a plurality of islands as shown in FIG. 電極面積に対する縁の全長がふえ、電極傾斜面による反射の効果をより有効に利用できるからである。 Increasing the total length of the edge with respect to the electrode area, because available effect of reflection by the electrode inclined surface more effectively. ここで、ストライプ状の形状とは、前述のように正方形、長方形、長楕円形等を含むものである。 Here, the stripe-like shape, is intended to include squares, as described above, rectangular, elliptical shape or the like. 櫛歯状の形状とは、図7のように孔の外周が入り組んだ形状をいう。 The comb-like shape means a shape intricate the outer periphery of the hole as shown in FIG. また「複数の島状の電極部を残すように」とは、図9のように島状の電極部を残すようにその周りをくりぬいた形状の孔を形成することをいう。 Also the "so as to leave a plurality of island-shaped electrode portion" refers to a hole shape around the hollowed out so as to leave the island-shaped electrode portion as shown in FIG. 島状の電極の形状は特に制限されず、図のような円形でもよいし、楕円形、正方形、長方形など、任意の形状とすることができる。 The shape of the island-shaped electrode is not particularly limited, and may be circular as shown, oval, square, rectangular, etc., can be any shape.

【0019】本発明において有機発光層の厚さは、用いる材料、層構造によりそれぞれ効率、寿命等を考慮して最適な範囲が決定され、電極厚は有機発光層厚により最適な範囲が決定される。 [0019] The present invention thickness of the organic light emitting layer in is determined materials, respectively efficiency by the layer structure, the optimum range considering the lifetime and the like to be used, the electrode thickness is optimal range is determined by the organic light-emitting layer thickness that.

【0020】孔の径あるいは孔の開口部の最小距離は、 The minimum distance of the opening portion of the hole diameter or hole,
特に限定されることはないが、積層する有機発光層厚、 Particularly but are not limited to, organic light-emitting layer thickness to be laminated,
電極厚によって最適な範囲が決定される。 Optimum range is determined by the electrode thickness. 電極の厚さに比して大きすぎる場合又は小さすぎる場合の何れも効率の低下を招くことから、孔の径あるいは孔の最小幅は電極の厚さに対し0.1倍以上10倍以下の範囲にあることが望ましい。 Since lead to any reduction in efficiency when the case or too small compared to the thickness of the electrode is too large, the minimum width of the diameter or bore of the holes 10 times the 0.1 times or more relative to the thickness of the electrode it is desirable in the range. このようにすることによって、反射、発光のいずれも起こらない領域が増えることによる効率の低下を防ぎつつ、反射する光の量を十分にして光取り出し効率の向上を図ることができる。 By doing so, the reflection, while preventing a decrease in efficiency due to the area where neither occur in the light emission increases, and a sufficient amount of reflected light can be improved light extraction efficiency. また孔の径あるいは最小幅は、電極サイズにもよるが、たとえば0.1μm The diameter or the minimum width of the hole, depending on the electrode size, for example, 0.1μm
以上2μm以下とすることが好ましい。 Is preferably at least 2μm or less.

【0021】本発明において、孔の設けられた電極の面積に対する前記孔の総面積の比率は、好ましくは10% In the present invention, the ratio of the total area of ​​the holes to the area of ​​electrodes provided with holes, preferably 10%
以上85%以下である。 It is 85% or less. このようにすることによって、 By doing so,
反射、発光のいずれも起こらない領域が増えることによる効率の低下を防ぎつつ光取り出し効率の向上を図ることができる。 Reflection, while preventing a decrease in efficiency due to the area where neither occur in the emission is increased thereby improving the light extraction efficiency.

【0022】本発明において、孔の径あるいは最小幅は、好ましくは有機薄膜層の層厚の0.5倍以上10倍以下、さらに好ましくは、1倍以上5倍以下である。 [0022] In the present invention, the diameter or the minimum width of the hole is preferably 10 times 0.5 times or more the thickness of the organic thin film layer below, more preferably at most 5 times 1 times. このようにすることによって、反射、発光のいずれも起こらない領域が増えることによる効率の低下を防ぎつつ電極に傾斜を十分に設けることができる。 By doing so, the reflection, the inclined electrode while preventing a decrease in efficiency due to the area where neither occur in the emission is increased can be sufficiently provided. このようにすることによって、反射、発光のいずれも起こらない領域が増えることによる効率の低下を防ぎつつ光取り出し効率の向上を図ることができる。 By doing so, the reflection, while preventing a decrease in efficiency due to the area where neither occur in the emission is increased thereby improving the light extraction efficiency.

【0023】また本発明において、孔の設けられた電極の厚さは有機薄膜層の層厚に対して、0.3倍以上5倍以下とすることが好ましい。 [0023] In the present invention, the layer thickness of the thickness of the electrode provided with the holes organic thin film layer, is preferably 5 times or less than 0.3 times. 0.3倍未満では凹面反射の効果が十分でなく効率が低下する場合がある。 If it is less than 0.3 times in some cases the effect of the concave reflecting decreases the efficiency not sufficient. 5倍を超えると光を出射できる領域が減り効率が低下する場合がある。 More than 5 times the efficiency reduces the area that can emit light may decrease.

【0024】本発明において、孔の配置規則性は特に限定されることはなく、周期的な配置でも、完全に不規則な配置でも構わない。 [0024] In the present invention, the arrangement rule of the holes is not particularly limited, and a periodic arrangement, it may be a completely random arrangement. しかしながら、例えば図4、6、 However, for example 4 and 6,
7のように、複数の孔を平面方向に規則性をもって配置することにより、干渉等の異方性を抑制することができる。 7 as in, by arranged with regularity a plurality of holes in the planar direction, it is possible to suppress anisotropy of interference or the like.

【0025】また本発明において、複数の孔を次のようなパターンをもって配置することができる。 [0025] In the present invention, it is possible to a plurality of holes arranged with the following pattern. 孔の設けられた電極を複数の基本単位から構成し、その基本単位中に所定パターンの孔を設ける。 It constitutes an electrode provided with the holes of a plurality of basic units, providing holes in a predetermined pattern in its basic unit. 一の基本単位中の孔のパターンと、この基本単位に隣接する基本単位中の孔のパターンとが90度回転した関係とすることができる。 And the hole pattern in one of the basic unit, and the hole pattern in the base unit adjacent to the base unit can be a relationship rotated 90 degrees. すなわち、図4、7のように、一の基本単位中の孔のパターンを90度回転させると、これに隣接する基本単位中の孔のパターンと一致するような配置とすることができる。 That is, as shown in FIG. 4 and 7, to rotate the hole pattern in one of the basic units 90 degrees, can be arranged as to match the hole pattern in the base unit adjacent thereto. このような配置とすることにより、一次元的な周期性による干渉の効果の異方性を抑制できる。 With such an arrangement, it is possible to suppress anisotropy of the effect of interference due to one-dimensional periodicity.

【0026】孔の空いていない側の電極は、その可視光域に於ける光の反射率が高ければ高いほど効率が良いが、実用的には30%以上の反射率が必要となる。 [0026] on the side not vacant hole electrode is the higher the reflectance in the light in the visible region efficient, it is necessary that 30% or more reflectivity practical.

【0027】本発明に用いられる発光材料としては特に限定されず、通常発光材料として使用されている化合物であれば何を使用してもよい。 [0027] is not particularly restricted but includes light emitting material used in the present invention, what may be used as long as it is a compound which is usually used as the light emitting material. 例えば、下記のトリス(8−キノリノール)アルミニウム錯体(Alq3) For example, the following tris (8-quinolinol) aluminum complex (Alq3)
[1]やビスジフェニルビニルビフェニル(BDPVB [1] and bis diphenyl vinyl biphenyl (BDPVB
i)[2]、1,3−ビス(p−t−ブチルフェニル− i) [2], 1,3- bis (p-t-butylphenyl -
1,3,4−オキサジアゾールイル)フェニル(OXD 1,3,4-oxadiazol-yl) phenyl (OXD
−7)[3]、N,N'−ビス(2,5−ジ−t−ブチルフェニル)ペリレンテトラカルボン酸ジイミド(BP -7) [3], N, N'- bis (2,5-di -t- butyl-phenyl) perylenetetracarboxylic diimide (BP
PC)[4]、1,4ビス(p−トリル−p−メチルスチリルフェニル)ナフタレン[5]などである。 PC) [4], l, 4-bis (p- tolyl -p- methyl styryl phenyl) naphthalene [5], and the like.

【0028】 [0028]

【化1】 [Formula 1]

【0029】また、電荷輸送材料に蛍光材料をドープした層を発光材料として用いることもできる。 Further, it is also possible to use a layer of a fluorescent material is doped as a luminescent material in the charge transporting material. 例えば、前記のAlq3[1]などのキノリノール金属錯体に4− For example, the quinolinol metal complexes such as the above Alq3 [1] 4-
ジシアノメチレン−2−メチル−6−(p−ジメチルアミノスチリル)−4H−ピラン(DCM)[6]、2, Dicyano-2-methyl-6-(p-dimethylaminostyryl) -4H- pyran (DCM) [6], 2,
3−キナクリドン[7]などのキナクリドン誘導体、3 Quinacridone derivatives such as 3-quinacridone [7], 3
−(2'−ベンゾチアゾール)−7−ジエチルアミノクマリン[8]などのクマリン誘導体をドープした層、あるいは電子輸送材料ビス(2−メチル−8−ヒドロキシキノリン)−4−フェニルフェノール−アルミニウム錯体[9]にペリレン[10]等の縮合多環芳香族をドープした層、あるいは正孔輸送材料4,4'−ビス(m− - (2'-benzothiazole) -7-doped layer coumarin derivatives such as diethylamino coumarin [8] or the electron transport material bis (2-methyl-8-hydroxyquinoline) -4-phenylphenol, - aluminum complex [9 ] perylene [10] a fused polycyclic aromatic doped layers of like, or a hole transporting material 4,4'-bis, (m-
トリルフェニルアミノ)ビフェニル (TPD)[1 Tolyl phenylamino) biphenyl (TPD) [1
1]にルブレン[12]等をドープした層を用いることができる。 1] rubrene [12] can be used as the doped layers.

【0030】 [0030]

【化2】 ## STR2 ##

【0031】本発明に用いられる正孔輸送材料は特に限定されず、通常正孔輸送材料として使用されている化合物であれば何を使用してもよい。 The hole transporting material used in the present invention is not particularly limited, what may be used as long as it is a compound which is usually used as a hole transporting material. 例えば、ビス(ジ(p For example, bis (di (p
−トリル)アミノフェニル)−1,1−シクロヘキサン[13]、TPD[11]、N,N'−ジフェニル−N - tolyl) aminophenyl) -1,1-cyclohexane [13], TPD [11], N, N'- diphenyl--N
−N−ビス(1−ナフチル)−1,1'−ビフェニル) -N- bis (1-naphthyl) -1,1'-biphenyl)
−4,4'−ジアミン(NPB)[14]等のトリフェニルジアミン類や、スターバースト型分子([15]〜 And 4,4'-diamine (NPB) [14] triphenyl diamine such as, starburst molecules ([15] -
[17]等)等が挙げられる。 [17], etc.) and the like.

【0032】 [0032]

【化3】 [Formula 3]

【0033】本発明に用いられる電子輸送材料は特に限定されず、通常電子輸送材として使用されている化合物であれば何を使用してもよい。 The electron transporting material used in the present invention is not particularly limited, what may be used as long as the compound is being used as an ordinary electron transporting material. 例えば、2−(4−ビフェニリル)−5−(4−t−ブチルフェニル)−1, For example, 2- (4-biphenylyl)-5-(4-t-butylphenyl) -1,
3,4−オキサジアゾール(Bu−PBD)[18]、 3,4-oxadiazole (Bu-PBD) [18],
OXD−7[3]等のオキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体([19]、[20]等)、キノリノール系の金属錯体([1]、[9]、[21]〜[24] OXD-7 [3] oxadiazole derivatives, such as, triazole derivatives ([19], [20], etc.), quinolinol metal complex ([1], [9], [21] - [24]
等)が挙げられる。 Etc.) and the like.

【0034】 [0034]

【化4】 [Of 4]

【0035】本発明の有機EL素子に於ける各層の形成方法は特に限定されない。 The method for forming in each layer in the organic EL device of the present invention is not particularly limited. 従来公知の真空蒸着法、スピンコーティング法等による形成方法を用いることができる。 Conventionally known vacuum vapor deposition process and the spin coating method or the like can be used. 本発明の有機EL素子に用いる、前記の化合物を含有する有機薄膜層は、真空蒸着法、分子線蒸着法(MB Used in the organic EL device of the present invention, the organic thin film layer containing the compound, a vacuum vapor deposition method, molecular beam deposition (MB
E法)あるいは溶媒に溶かした溶液のディッピング法、 Method E) or dipping method of a solution in a solvent,
スピンコーティング法、キャスティング法、バーコート法、ロールコート法等の塗布法による公知の方法で形成することができる。 Spin coating method, a casting method, a bar coating method, can be formed by a conventional coating method such as roll coating. 本発明に於ける有機EL素子の各有機層の膜厚は特に制限されないが、通常は数10nmから1μmの範囲が好ましい。 The thickness of each organic layer of at organic EL device of the present invention is not particularly limited, the range of several 10nm of 1μm is preferred.

【0036】 [0036]

【実施例】以下本発明を、実施例をもとに詳細に説明するが、本発明はその要旨を越えない限り、以下の実施例に限定されない。 EXAMPLES The present invention will now be described in detail an embodiment on the basis of the present invention as long as not exceeding the gist thereof is not limited to the following examples.

【0037】(比較例1)以下に比較例に用いる有機薄膜エレクトロルミネッセンス素子の作製手順について説明する。 [0037] (Comparative Example 1) For fabrication procedure of the organic thin film electroluminescent device used in Comparative Examples will be described below. 素子は陽極/正孔注入層/発光層/電子輸送層/陰極により構成されている。 The device is composed of an anode / hole injection layer / light emitting layer / electron transporting layer / cathode. 50mm×25mmのガラス基板(HOYA製、NA45、1.1mm厚)上にITOをスパッタリングによって300nm積層した。 50 mm × 25 mm glass substrate (HOYA made, NA45,1.1Mm thickness) of the 300nm deposited by sputtering ITO on.
この際、メタルマスクを用いITOを2mm×50mm In this case, 2mm × 50mm the ITO using a metal mask
の帯状になるように形成した。 It was formed so as to be of the strip. このときのシート抵抗は8Ω/□であった。 The sheet resistance of this time was 8Ω / □.

【0038】有機発光層の形成は抵抗加熱式真空蒸着を用いて行った。 The formation of the organic light emitting layer was carried out using a resistance heating vacuum deposition. 真空槽の上部に設置した基板に対し、下方250mmの距離にモリブデン製のボートを設置、基板への入射角は38度の配置にし、基板回転は毎分30 To substrate placed on top of the vacuum chamber, placed boat made of molybdenum distance below 250 mm, the angle of incidence on the substrate is the arrangement of 38 degrees, the substrate rotation per minute 30
回転とした。 It was a rotation. 圧力が5×10 The pressure is 5 × 10 -7 Torrに到達した時点で蒸着を開始、基板横に装着した水晶振動子式膜厚制御装置により蒸着速度を制御した。 Initiate deposition Upon reaching -7 Torr, it was controlled deposition rate by a quartz oscillator type film thickness control device mounted on the substrate side. 蒸着速度は毎秒0. The deposition rate per second 0.
15nmと設定して行った。 It was carried out set to 15nm. 正孔注入層として化合物[15]を上記条件にて40nm形成したのち、発光層として化合物[5]を70nm、電子輸送層として化合物[19]を40nm順次同条件にて蒸着した。 After the compound [15] was 40nm formed under the above conditions as the hole injection layer, 70 nm of the compound [5] as a light emitting layer, the compound as the electron transport layer [19] was deposited in 40nm sequentially same conditions. つぎに陰極としてマグネシウム−銀合金をそれぞれ独立のボートより同時に蒸着し陰極を形成した。 Then magnesium as cathode - silver alloy was deposited simultaneously from independent boat to form the cathode. このとき、マグネシウム対銀の蒸着速度がそれぞれ毎秒1.0nm、0. In this case, every second deposition rate of magnesium to silver, respectively 1.0 nm, 0.
2nmとなるように上記膜厚制御装置にて制御し、膜厚は200nmとした。 It was controlled by the film thickness controller so that 2 nm, the film thickness was 200 nm. 蒸着時にメタルマスクを用い、2 Using a metal mask at the time of evaporation, 2
5mm×2mmの帯状パターンをITOの帯状パターンと直交する方向に、1mm間隔で12個形成し陰極とした。 The band-shaped pattern of 5 mm × 2 mm in a direction perpendicular to the stripe pattern of ITO, was 12 formed cathode at 1mm intervals. この素子に電圧を10V印加時に、電流密度は50 The voltage at 10V is applied to the device, the current density is 50
mA/cm 2 、輝度は1950cd/m 2を示した。 mA / cm 2, the luminance exhibited 1950cd / m 2. したがって効率は、3.9cd/A、1.22lm/Wとなる。 Thus efficiency, 3.9cd / A, the 1.22lm / W.

【0039】(実施例1)図4に示すような微細ストライプパターンをITOに形成すること以外は比較例1と同様にして行った。 [0039] except that the fine stripe pattern as shown in (Example 1) FIG. 4 is formed on the ITO was performed in the same manner as in Comparative Example 1. 図5に示すストライプパターンの寸法でs=0.6μm、d=0.6μm、l=20μmとして、15対を一つのパターン(すなわちn=15)にし、図4のように隣り合うパターンで配置が90度異なるようにし、ITO全面に形成した。 s = 0.6 .mu.m in size of the stripe pattern shown in FIG. 5, d = 0.6μm, as l = 20 [mu] m, 15 pairs in the single pattern (i.e. n = 15), disposed in a pattern adjacent to the FIG. 4 There were different as 90 degrees was formed on ITO entire surface. 微細ストライプパターンの形成は、フォトリソグラフィ工程を用いて行った。 Form a fine stripe pattern was performed using a photolithography process. ITO基板上にi線レジスト(東京応化製 THM i-line resist on the ITO substrate (Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. THM
R−iP1700)をスピンコート法により2μm厚に形成し、i線ステッパーを用いパターンを行った。 R-iP1700) was formed in 2μm thickness by spin coating, a pattern was using an i-ray stepper. 次にその基板を、リアクティブイオンエッチング法を用いメタン-水素混合ガスによって露出部分のITOを除去した後装置より取り出し、残存レジストを専用の剥離液を用い除去した。 Then the substrate, methane using a reactive ion etching method - taken out of the device after removing the ITO of the exposed portion by the hydrogen mixed gas, and the remaining resist is removed using a special stripping solution. このあとの有機層、電極の蒸着は比較例1と全く同様に行った。 The organic layer that follow the deposition of the electrode was conducted in the same manner as in Comparative Example 1.

【0040】この素子に10Vの電圧を印可したところ、35mA/cm 2の電流密度で、輝度は2180c [0040] When a voltage is applied to 10V to the device at a current density of 35 mA / cm 2, the luminance 2180c
d/m 2であった。 was d / m 2. したがって効率は、6.24cd/ Thus efficiency, 6.24cd /
A、1.96lm/Wとなった。 A, it became a 1.96lm / W.

【0041】(実施例2〜13)以下に示す実施例2〜 [0041] (Example 2-13) Example 2 below
13に於いてはs、d、n及びITOの膜厚を変え測定を行った。 Is at the 13 was measured varying s, d, the thickness of the n and ITO. その結果を表1、表2に示す。 The results in Tables 1 and 2.

【0042】 [0042]

【表1】 [Table 1]

【0043】 [0043]

【表2】 [Table 2]

【0044】(実施例14)電極パターンとして図6に示す格子状のものを用いる以外は、実施例1と同様な方法で作成した。 [0044] except for using (Example 14) as an electrode pattern grid shown in FIG. 6 was prepared in the same manner as in Example 1. パターンのサイズはs=0.4μm、d The size of the pattern is s = 0.4μm, d
=0.6μmとした。 = Was 0.6μm. この素子に10V印可したときの電流密度は33.1mA/cm 2で、輝度は2120c Current density when the 10V applied to the device is 33.1mA / cm 2, the luminance 2120c
d/m 2であった。 was d / m 2. したがって、効率は6.04cd/ Therefore, the efficiency is 6.04cd /
A、2.01lm/Wであった。 A, it was 2.01lm / W.

【0045】(実施例15)陽極としてITOの代わりに0.3μm厚の金を用いる以外は実施例14と同様な方法で素子を作成した。 [0045] except for using 0.3μm thick gold instead of ITO (Example 15) anode A device was produced in the same manner as in Example 14. 金電極のパターニングは王水による湿式エッチングで行った。 The patterning of the gold electrode was carried out by wet etching with aqua regia. この素子に10V印可したときの電流密度は27.6mA/cm 2で輝度は13 Current density when the 10V applied to this device luminance 27.6mA / cm 2 is 13
30cd/m 2であった。 Was 30cd / m 2. したがって効率は4.8cd Therefore efficiency 4.8cd
/A、1.53lm/Wであった。 Was /A,1.53lm/W.

【0046】(実施例16)電極パターンとして図7に示す形状のものを用いる以外は実施例1と同様な方法で作成した。 [0046] except for using a shape shown in FIG. 7 (Example 16) electrode patterns created in the same manner as in Example 1. パターンサイズはs=0.4μm、d=1. Pattern size is s = 0.4μm, d = 1.
4μm、s1=0.4μm、s2=0.4μmとした。 4μm, s1 = 0.4μm, was s2 = 0.4μm.
この素子に10V印可したときの電流密度は26.3m Current density when the 10V applied to the device is 26.3m
A/cm 2で、輝度は1729cd/m 2であった。 In A / cm 2, the luminance was 1729cd / m 2. したがって、効率は6.57cd/A、2.06lm/Wであった。 Therefore, the efficiency is 6.57cd / A, was 2.06lm / W.

【0047】 [0047]

【発明の効果】以上説明したとおり、本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子は一方の電極が傾斜面を有しているため、従来に比べて高い発光効率を実現することができる。 As described above, according to the present invention, the organic electroluminescent device of the present invention, since the one electrode has an inclined surface, it is possible to realize high emission efficiency as compared with the prior art.

【0048】 [0048]

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】従来の有機エレクトロルミネッセンス素子の断面模式図である。 1 is a cross-sectional schematic view of a conventional organic electroluminescent device.

【図2】本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子の斜視図である。 2 is a perspective view of an organic electroluminescence device of the present invention.

【図3】本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子の断面模式図である。 3 is a cross-sectional schematic view of an organic electroluminescence device of the present invention.

【図4】実施例1〜13に使用した電極パターンの図である。 4 is a diagram of an electrode pattern used in Examples 1-13.

【図5】実施例1〜13に使用した電極パターンの拡大図である。 5 is an enlarged view of the electrode pattern used in Examples 1-13.

【図6】実施例14、15に使用した電極パターンの図である。 6 is a diagram of an electrode pattern used in Examples 14 and 15.

【図7】実施例16に使用した電極パターンの図である。 7 is a diagram of an electrode pattern used in Example 16.

【図8】実施例16に使用した電極パターンの拡大図である。 8 is an enlarged view of the electrode pattern used in Example 16.

【図9】複数の島状の電極部を残すように形成された孔を設けた例を示す図である。 9 is a diagram showing an example in which a hole formed so as to leave a plurality of island-shaped electrode portion.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 基板 2 陽極 3 発光層 4 陰極 s 電極幅 d 間隔 l パターン長 n パターン対数 s1 島の幅 s2 島の突起長 1 substrate 2 anode 3 emitting layer 4 cathode s electrode width d spacing l pattern length n pattern logarithmic s1 island width s2 Island projections length

【手続補正書】 [Procedure amendment]

【提出日】平成10年12月4日 [Filing date] 1998 December 4

【手続補正1】 [Amendment 1]

【補正対象書類名】明細書 [Correction target document name] specification

【補正対象項目名】特許請求の範囲 [Correction target item name] the scope of the appended claims

【補正方法】変更 [Correction method] change

【補正内容】 [Correction contents]

【特許請求の範囲】 [The claims]

【請求項 】 前記孔が、ストライプ状の形状を有する請求項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 Wherein said hole is an organic electroluminescent device according to claim 1 having a stripe-like shape.

【請求項 】 前記孔が、櫛歯状の形状を有する請求項 Wherein the hole is, claims having a comb-like shape
に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 The organic electroluminescent device according to 1.

【請求項 】 前記孔が、複数の島状の電極部を残すように形成された請求項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 Wherein said hole is an organic electroluminescent device according to claim 1 which is formed so as to leave a plurality of island-shaped electrode portion.

【請求項 】 前記孔の設けられた電極の面積に対する前記孔の総面積の比率が10%以上85%以下である請求項1乃至4いずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 5. The organic electroluminescence device according to claim 1 to 4 or the ratio of the total area is 85% or less 10% or more of the holes to the area of the electrode provided with the said hole.

【請求項 】 前記孔の径または最小幅が0.1μm以上2μm以下である請求項1乃至5いずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 6. The organic electroluminescence device according to any one of claims 1 to 5 diameter or minimum width of the hole is 0.1μm or more 2μm or less.

【請求項 】 前記孔の径または最小幅が、前記有機薄膜層の層厚の0.5倍以上10倍以下である請求項1乃 7. The diameter or the minimum width of the hole, the more than 10-fold 0.5-fold or more of the layer thickness of the organic thin film layer according to claim 1乃
至6いずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 Optimum 6 organic electroluminescent device according to any one.

【請求項 】 前記孔の設けられた電極の厚さが、上記有機薄膜層の層厚の0.3倍以上5倍以下である請求項 8. The thickness of the electrode provided with the said holes, according to claim 5 or less times 0.3 times the layer thickness of the organic thin film layer
1乃至7いずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 The organic electroluminescent device according to any one 1 to 7.

【請求項 】 前記複数の孔が平面方向に規則性をもって配置された請求項1乃至8いずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 Wherein said plurality of holes organic electroluminescence device described in any one of claims 1 to 8 are arranged with regularity in the planar direction.

【請求項10 】 前記孔の設けられた電極が複数の基本単位から構成され、該基本単位中に所定パターンの孔が設けられ、一の基本単位中の孔のパターンと該基本単位に隣接する基本単位中の孔のパターンとが90度回転させることにより実質的に一致する関係にある請求項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 10. A electrodes provided with the said hole is composed of a plurality of basic units, holes of a predetermined pattern is provided in the basic unit, adjacent to the pattern and the basic unit of the holes in one of the basic unit the organic electroluminescent device according to claim 9 in which the pattern of holes in the base unit is in a substantially independent matching by rotating 90 degrees.

【請求項11 】 基板上に第一の電極層を形成した後、 11. After forming the first electrode layer on a substrate,
該第一の電極層に複数の孔を設ける工程と、該第一の電極層の上に、発光層を含む一または二以上の有機薄膜層と第二の電極層とをこの順で形成する工程とを含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 A step of providing a plurality of holes in said first electrode layer, on top of said first electrode layer to form one or more organic thin film layers including a light emitting layer and a second electrode layer in this order method of manufacturing an organic electroluminescence device which comprises a step.

【請求項12 】 前記第一の電極層の表面に所定のパターンでレジストを塗布した後エッチングにより前記第一の電極層の所定部分を除去することにより、前記複数の孔を設けることを特徴とする請求項11に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 12. By removing a predetermined portion of the first electrode layer by etching after a resist is applied in a predetermined pattern on a surface of the first electrode layer, and characterized by providing a plurality of holes method of manufacturing an organic electroluminescent device according to claim 11.

【手続補正2】 [Amendment 2]

【補正対象書類名】明細書 [Correction target document name] specification

【補正対象項目名】0007 [Correction target item name] 0007

【補正方法】変更 [Correction method] change

【補正内容】 [Correction contents]

【0007】 [0007]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発明によれば、陽極と陰極との間に発光層を含む一または二以上の有機薄膜層を有してなる有機エレクトロルミネッセンス素子において、陽極若しくは陰極のうち、一方の電極が傾斜面を有し、前記傾斜面を有する電極と対向 According to the present invention to solve the above problems, there is provided a means for solving], an organic electroluminescent element comprising having one or more organic thin film layers including a light emitting layer between an anode and a cathode, anode or of the cathode, one electrode have a sloping surface, the electrode and the counter having the inclined surface
する電極に複数の孔が設けられたことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子が提供される。 The organic electroluminescent device in which a plurality of holes in the electrode to which is characterized in that provided is provided. ここで、 here,
傾斜面とは基板の平面方向に対して所定の角度をもった傾斜を有する面をいう。 An inclined surface refers to a surface having a slope with a predetermined angle with respect to the plane direction of the substrate.

【手続補正3】 [Amendment 3]

【補正対象書類名】明細書 [Correction target document name] specification

【補正対象項目名】0009 [Correction target item name] 0009

【補正方法】変更 [Correction method] change

【補正内容】 [Correction contents]

【0009】本発明において、前記傾斜面を有する電極と対向する電極に複数の孔が設けられる。 [0009] In the present invention, Ru plurality of holes are provided in the electrode to electrode and a counter having the inclined surface.

Claims (13)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 陽極と陰極との間に発光層を含む一または二以上の有機薄膜層を有してなる有機エレクトロルミネッセンス素子において、陽極若しくは陰極のうち、一方の電極が傾斜面を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。 1. A positive electrode and the organic electroluminescent element comprising having one or more organic thin film layers including a light emitting layer between a cathode, of an anode or cathode, the one electrode has an inclined surface the organic electroluminescent device characterized.
  2. 【請求項2】 前記傾斜面を有する電極と対向する電極に複数の孔が設けられたことを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 2. The organic electroluminescence device according to claim 1, wherein a plurality of holes in the electrode facing the electrode having the inclined surface is provided.
  3. 【請求項3】 前記孔が、ストライプ状の形状を有する請求項2に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 Wherein the hole is, the organic electroluminescent device according to claim 2 having a stripe-like shape.
  4. 【請求項4】 前記孔が、櫛歯状の形状を有する請求項2に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 Wherein said hole is an organic electroluminescent device according to claim 2 having a comb-like shape.
  5. 【請求項5】 前記孔が、複数の島状の電極部を残すように形成された請求項2に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 Wherein said hole is an organic electroluminescent device according to claim 2 which is formed so as to leave a plurality of island-shaped electrode portion.
  6. 【請求項6】 前記孔の設けられた電極の面積に対する前記孔の総面積の比率が10%以上85%以下である請求項2乃至5いずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 6. The organic electroluminescence device according to any one of claims 2 to 5 ratio of the total area of ​​the holes to the area of ​​the electrode provided with the said hole is 85% or less than 10%.
  7. 【請求項7】 前記孔の径または最小幅が0.1μm以上2μm以下である請求項2乃至6いずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 7. The organic electroluminescence device according to any one of claims 2 to 6 diameter or the minimum width of the hole is 0.1μm or more 2μm or less.
  8. 【請求項8】 前記孔の径または最小幅が、前記有機薄膜層の層厚の0.5倍以上10倍以下である請求項2乃至7いずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 8. diameter or minimum width of the hole is, the organic electroluminescent device according to any one of claims 2 to 7 wherein more than 10 times 0.5 times or more the thickness of the organic thin film layer.
  9. 【請求項9】 前記孔の設けられた電極の厚さが、上記有機薄膜層の層厚の0.3倍以上5倍以下である請求項2乃至8いずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 9. The thickness of the electrode provided with the said hole, an organic electroluminescent device according to any one of claims 2 to 8 or less 5 times 0.3 times the layer thickness of the organic thin film layer.
  10. 【請求項10】 前記複数の孔が平面方向に規則性をもって配置された請求項2乃至9いずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 Wherein said plurality of holes organic electroluminescence device described in any one of claims 2 to 9 are arranged with regularity in the planar direction.
  11. 【請求項11】 前記孔の設けられた電極が複数の基本単位から構成され、該基本単位中に所定パターンの孔が設けられ、一の基本単位中の孔のパターンと該基本単位に隣接する基本単位中の孔のパターンとが90度回転させることにより実質的に一致する関係にある請求項10 11. An electrode provided with the said hole is composed of a plurality of basic units, holes of a predetermined pattern is provided in the basic unit, adjacent to the pattern and the basic unit of the holes in one of the basic unit claims and pattern of holes in the base unit is in a substantially independent matching by rotating 90 degrees 10
    に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。 The organic electroluminescent device according to.
  12. 【請求項12】 基板上に第一の電極層を形成した後、 12. After forming the first electrode layer on a substrate,
    該第一の電極層に複数の孔を設ける工程と、該第一の電極層の上に、発光層を含む一または二以上の有機薄膜層と第二の電極層とをこの順で形成する工程とを含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 A step of providing a plurality of holes in said first electrode layer, on top of said first electrode layer to form one or more organic thin film layers including a light emitting layer and a second electrode layer in this order method of manufacturing an organic electroluminescence device which comprises a step.
  13. 【請求項13】 前記第一の電極層の表面に所定のパターンでレジストを塗布した後エッチングにより前記第一の電極層の所定部分を除去することにより、前記複数の孔を設けることを特徴とする請求項12に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 13. By removing a predetermined portion of the first electrode layer by etching after a resist is applied in a predetermined pattern on a surface of the first electrode layer, and characterized by providing a plurality of holes method of manufacturing an organic electroluminescent device according to claim 12,.
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