JPH11210621A - トラップ装置 - Google Patents
トラップ装置Info
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- JPH11210621A JPH11210621A JP2504198A JP2504198A JPH11210621A JP H11210621 A JPH11210621 A JP H11210621A JP 2504198 A JP2504198 A JP 2504198A JP 2504198 A JP2504198 A JP 2504198A JP H11210621 A JPH11210621 A JP H11210621A
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- trap
- exhaust
- flow path
- vacuum pump
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 成膜処理等において、真空チャンバの許容す
るコンダクタンスを満たしながらトラップ効率を上げる
ことができ、真空ポンプの性能に影響すること無く、真
空ポンプの長寿命化、除害装置の保護を行って運転の信
頼性の向上を図り、さらに設備や運転コストの低減を図
ることができるトラップ装置を提供する。 【解決手段】 気密チャンバ１０から真空ポンプ１２に
より排気する排気経路１４に配置され、排ガス中の生成
物を付着させて除去するトラップ部１８を有するトラッ
プ装置において、前記トラップ部は、中心から外側に向
かって膨らむ上流側流路部分Ｕと、外側から中心側に向
かう下流側流路部分Ｄからなるトラップ流路４０ａ，４
０ｂ，４０ｃ，４０ｄを有する。
るコンダクタンスを満たしながらトラップ効率を上げる
ことができ、真空ポンプの性能に影響すること無く、真
空ポンプの長寿命化、除害装置の保護を行って運転の信
頼性の向上を図り、さらに設備や運転コストの低減を図
ることができるトラップ装置を提供する。 【解決手段】 気密チャンバ１０から真空ポンプ１２に
より排気する排気経路１４に配置され、排ガス中の生成
物を付着させて除去するトラップ部１８を有するトラッ
プ装置において、前記トラップ部は、中心から外側に向
かって膨らむ上流側流路部分Ｕと、外側から中心側に向
かう下流側流路部分Ｄからなるトラップ流路４０ａ，４
０ｂ，４０ｃ，４０ｄを有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製造
装置の真空チャンバを真空にするために用いる真空排気
システムにおいて用いられるトラップ装置に関する。
装置の真空チャンバを真空にするために用いる真空排気
システムにおいて用いられるトラップ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の真空排気システムを図７を参照し
て説明する。ここにおいて、真空チャンバ１０は、例え
ばエッチング装置や化学気相成長装置（ＣＶＤ）等の半
導体製造工程に用いるプロセスチャンバであり、この真
空チャンバ１０は、排気配管１４を通じて真空ポンプ１
２に接続されている。真空ポンプ１２は、真空チャンバ
１０からのプロセスの排気を大気圧に昇圧するためのも
ので、従来は油回転式ポンプが、現在はドライポンプが
主に使用されている。真空チャンバ１０が必要とする真
空度がドライポンプ１２の到達真空度よりも高い場合に
は、ドライポンプの上流側にさらにターボ分子等の超高
真空ポンプが配置されていることもある。
て説明する。ここにおいて、真空チャンバ１０は、例え
ばエッチング装置や化学気相成長装置（ＣＶＤ）等の半
導体製造工程に用いるプロセスチャンバであり、この真
空チャンバ１０は、排気配管１４を通じて真空ポンプ１
２に接続されている。真空ポンプ１２は、真空チャンバ
１０からのプロセスの排気を大気圧に昇圧するためのも
ので、従来は油回転式ポンプが、現在はドライポンプが
主に使用されている。真空チャンバ１０が必要とする真
空度がドライポンプ１２の到達真空度よりも高い場合に
は、ドライポンプの上流側にさらにターボ分子等の超高
真空ポンプが配置されていることもある。
【０００３】プロセスの排気は、プロセスの種類により
毒性や爆発性があるので、そのまま大気に放出できな
い。そのため、真空ポンプ１２の下流には排気処理装置
２０が配置されている。大気圧まで昇圧されたプロセス
の排気のうち、上記のような大気に放出できないもの
は、ここで吸着、分解、吸収等の処理が行われて無害な
ガスのみが大気に放出される。なお、配管１４には必要
に応じて適所にバルブが設けられている。
毒性や爆発性があるので、そのまま大気に放出できな
い。そのため、真空ポンプ１２の下流には排気処理装置
２０が配置されている。大気圧まで昇圧されたプロセス
の排気のうち、上記のような大気に放出できないもの
は、ここで吸着、分解、吸収等の処理が行われて無害な
ガスのみが大気に放出される。なお、配管１４には必要
に応じて適所にバルブが設けられている。
【０００４】以上のような従来の真空排気システムにお
いては、反応副生成物の中に昇華温度の高い物質がある
場合、そのガスを真空ポンプが排気するので、昇圧途中
でガスが固形化し、真空ポンプ中に析出して真空ポンプ
の故障の原因になる欠点がある。
いては、反応副生成物の中に昇華温度の高い物質がある
場合、そのガスを真空ポンプが排気するので、昇圧途中
でガスが固形化し、真空ポンプ中に析出して真空ポンプ
の故障の原因になる欠点がある。
【０００５】例えば、アルミのエッチングを行うため
に、代表的なプロセスガスであるＢＣｌ3，Ｃｌ2を使用
すると、プロセスチャンバからは、ＢＣｌ3，Ｃｌ2のプ
ロセスガスの残ガスとＡｌＣｌ3の反応副生成物が真空
ポンプにより排気される。このＡｌＣｌ3は、真空ポン
プの吸気側では分圧が低いので析出しないが、加圧排気
する途中で分圧が上昇し、真空ポンプ内で析出して固形
化し、ポンプ内壁に付着して真空ポンプの故障の原因と
なる。これは、ＳｉＮの成膜を行うＣＶＤ装置から生じ
る（ＮＨ4）2ＳｉＦ6やＮＨ4Ｃｌ等の反応副生成物の場
合も同様である。
に、代表的なプロセスガスであるＢＣｌ3，Ｃｌ2を使用
すると、プロセスチャンバからは、ＢＣｌ3，Ｃｌ2のプ
ロセスガスの残ガスとＡｌＣｌ3の反応副生成物が真空
ポンプにより排気される。このＡｌＣｌ3は、真空ポン
プの吸気側では分圧が低いので析出しないが、加圧排気
する途中で分圧が上昇し、真空ポンプ内で析出して固形
化し、ポンプ内壁に付着して真空ポンプの故障の原因と
なる。これは、ＳｉＮの成膜を行うＣＶＤ装置から生じ
る（ＮＨ4）2ＳｉＦ6やＮＨ4Ｃｌ等の反応副生成物の場
合も同様である。
【０００６】従来、この問題に対して、真空ポンプ全体
を加熱して真空ポンプ内部で固形物質が析出しないよう
にし、ガスの状態で真空ポンプを通過させる等の対策が
施されてきた。しかし、この対策では真空ポンプ内での
析出に対しては効果があるが、その結果として、その真
空ポンプの下流に配置される排気処理装置で固形化物が
析出し、充填層の目詰まりを生じさせる問題があった。
を加熱して真空ポンプ内部で固形物質が析出しないよう
にし、ガスの状態で真空ポンプを通過させる等の対策が
施されてきた。しかし、この対策では真空ポンプ内での
析出に対しては効果があるが、その結果として、その真
空ポンプの下流に配置される排気処理装置で固形化物が
析出し、充填層の目詰まりを生じさせる問題があった。
【０００７】そこで、ポンプの上流、あるいは下流にト
ラップ装置を取り付けて生成物を付着させ、固形化物を
生成する成分を先に除去して排気配管に備えられた各種
機器を保護することが考えられる。このようなトラップ
装置１００として、図８又は図９に示すように、排気配
管中にその一部を形成する気密容器１０２を配置して、
その中に例えば板状のバッフル１０４（トラップ部）を
設ける構成が考えられる。バッフル１０４に一定量の析
出物が付着した時は、排気流路を切り換えてトラップの
洗浄や交換を行い、処理を継続させる。
ラップ装置を取り付けて生成物を付着させ、固形化物を
生成する成分を先に除去して排気配管に備えられた各種
機器を保護することが考えられる。このようなトラップ
装置１００として、図８又は図９に示すように、排気配
管中にその一部を形成する気密容器１０２を配置して、
その中に例えば板状のバッフル１０４（トラップ部）を
設ける構成が考えられる。バッフル１０４に一定量の析
出物が付着した時は、排気流路を切り換えてトラップの
洗浄や交換を行い、処理を継続させる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
トラップ装置はトラップ効率が悪く、排気中の大部分の
成分がトラップ部に付着することなくそのまま流れて、
下流の配管や各種機器に付着していた。これは、バッフ
ル１０４の構成が平行板状であるので排気とトラップ部
の接触が充分図られていないことによると考えられる。
トラップ装置はトラップ効率が悪く、排気中の大部分の
成分がトラップ部に付着することなくそのまま流れて、
下流の配管や各種機器に付着していた。これは、バッフ
ル１０４の構成が平行板状であるので排気とトラップ部
の接触が充分図られていないことによると考えられる。
【０００９】バッフル板を複雑な形状にすると、トラッ
プが部分的になされ、コンダクタンスが過度に低下した
り、詰まりを生じて排気の流れが不安定になったり、ト
ラップ部の交換や切り換えが円滑に行えないなどの不具
合が生じるのみでなく、構造が複雑になって製造やメン
テナンスのコストが上昇する。
プが部分的になされ、コンダクタンスが過度に低下した
り、詰まりを生じて排気の流れが不安定になったり、ト
ラップ部の交換や切り換えが円滑に行えないなどの不具
合が生じるのみでなく、構造が複雑になって製造やメン
テナンスのコストが上昇する。
【００１０】本発明は上述の事情に鑑みてなされたもの
であり、成膜処理等において、真空チャンバの許容する
コンダクタンスを満たしながらトラップ効率を上げるこ
とができ、それによって、真空ポンプの性能に影響する
こと無く、真空ポンプの長寿命化、除害装置の保護を行
って運転の信頼性の向上を図り、さらに装置設備や運転
コストの低減を図ることができるトラップ装置を提供す
ることを目的としている。
であり、成膜処理等において、真空チャンバの許容する
コンダクタンスを満たしながらトラップ効率を上げるこ
とができ、それによって、真空ポンプの性能に影響する
こと無く、真空ポンプの長寿命化、除害装置の保護を行
って運転の信頼性の向上を図り、さらに装置設備や運転
コストの低減を図ることができるトラップ装置を提供す
ることを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、気密チャンバから真空ポンプにより排気する排気経
路に配置され、排ガス中の生成物を付着させて除去する
トラップ部を有するトラップ装置において、前記トラッ
プ部は、中心から外側に向かって膨らむ上流側流路部分
と、外側から中心側に向かう下流側流路部分からなるト
ラップ流路を有することを特徴とするトラップ装置であ
る。
は、気密チャンバから真空ポンプにより排気する排気経
路に配置され、排ガス中の生成物を付着させて除去する
トラップ部を有するトラップ装置において、前記トラッ
プ部は、中心から外側に向かって膨らむ上流側流路部分
と、外側から中心側に向かう下流側流路部分からなるト
ラップ流路を有することを特徴とするトラップ装置であ
る。
【００１２】これにより、上流側流路部分で外側に向か
い、下流側流路部分で内側に向かうように方向転換しな
がら流れるので、トラップ流路の壁に接触する機会が増
え、トラップ効率が向上する。流路が過度に複雑でない
ので、製造やメンテナンスコストが上昇することもな
く、また、コンダクタンスを過度に低下させることがな
いので、排気系へ与える影響も小さい。
い、下流側流路部分で内側に向かうように方向転換しな
がら流れるので、トラップ流路の壁に接触する機会が増
え、トラップ効率が向上する。流路が過度に複雑でない
ので、製造やメンテナンスコストが上昇することもな
く、また、コンダクタンスを過度に低下させることがな
いので、排気系へ与える影響も小さい。
【００１３】請求項２に記載の発明は、前記トラップ流
路は、曲面により形成されていることを特徴とする請求
項１に記載のトラップ装置である。これにより、流路が
順次方向転換するので、直線的な流路の場合よりトラッ
プ効率が高い。
路は、曲面により形成されていることを特徴とする請求
項１に記載のトラップ装置である。これにより、流路が
順次方向転換するので、直線的な流路の場合よりトラッ
プ効率が高い。
【００１４】前記トラップ流路を複数多層に配置するよ
うにしてもよい。また、入口側に、気体の流れを案内す
る案内面部を設けるようにしてもよい。
うにしてもよい。また、入口側に、気体の流れを案内す
る案内面部を設けるようにしてもよい。
【００１５】請求項３に記載の発明は、いずれかのトラ
ップ流路の下流側部分を部分的に少なくとも２つの流路
に区分していることを特徴とする請求項１に記載のトラ
ップ装置である。これにより、下流側での滞流時間を稼
ぐとともに気体と壁を接触しやすくして、全体としての
トラップ効率を向上させる。
ップ流路の下流側部分を部分的に少なくとも２つの流路
に区分していることを特徴とする請求項１に記載のトラ
ップ装置である。これにより、下流側での滞流時間を稼
ぐとともに気体と壁を接触しやすくして、全体としての
トラップ効率を向上させる。
【００１６】請求項４に記載の発明は、前記トラップ部
は、前記排気流路に対して出し入れ可能に設けられてい
ることを特徴とする請求項１に記載のトラップ装置であ
る。これにより交換等が容易になるとともに、少なくと
も２つのトラップ部を用意しておき、一方でトラップ処
理しつつ他方を再生するようにして連続運転を可能にす
ることができる。
は、前記排気流路に対して出し入れ可能に設けられてい
ることを特徴とする請求項１に記載のトラップ装置であ
る。これにより交換等が容易になるとともに、少なくと
も２つのトラップ部を用意しておき、一方でトラップ処
理しつつ他方を再生するようにして連続運転を可能にす
ることができる。
【００１７】請求項５に記載の発明は、気密チャンバか
ら真空ポンプにより排気する排気経路に配置され、排ガ
ス中の生成物を付着させて除去するトラップ部を有する
トラップ装置において、前記トラップ部は、軸線が排気
流路に交差する円弧面状のトラップ面を有するバッフル
板を有することを特徴とするトラップ装置である。
ら真空ポンプにより排気する排気経路に配置され、排ガ
ス中の生成物を付着させて除去するトラップ部を有する
トラップ装置において、前記トラップ部は、軸線が排気
流路に交差する円弧面状のトラップ面を有するバッフル
板を有することを特徴とするトラップ装置である。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
の形態について説明する。図１ないし図３に示すのは、
この発明のトラップ装置の第１の実施の形態を示すもの
で、これは、図７に示す気密チャンバ１０を真空ポンプ
１２により排気する排気配管１４の左右に隣接して再生
配管１６が配置され、この排気配管１４及び再生配管１
６に交差する方向に直進移動して切替可能に配置された
２つのトラップ部１８が設けられている切替式トラップ
装置である。
の形態について説明する。図１ないし図３に示すのは、
この発明のトラップ装置の第１の実施の形態を示すもの
で、これは、図７に示す気密チャンバ１０を真空ポンプ
１２により排気する排気配管１４の左右に隣接して再生
配管１６が配置され、この排気配管１４及び再生配管１
６に交差する方向に直進移動して切替可能に配置された
２つのトラップ部１８が設けられている切替式トラップ
装置である。
【００１９】この切替式トラップ装置は、排気配管１４
と再生配管１６に跨って配置された円筒状の容器２２
と、この容器２２を交差方向に貫通する軸体２４と、こ
の軸体２４を軸方向に往復移動させる駆動手段であるエ
アシリンダ２６を備えている。容器２２は、中央が開口
する隔壁２７及び軸体２４に取り付けられた仕切板２８
によってトラップ室３０と再生室３２に仕切られてお
り、各部屋にはそれぞれ排気配管１４又は再生配管１６
が接続されている。
と再生配管１６に跨って配置された円筒状の容器２２
と、この容器２２を交差方向に貫通する軸体２４と、こ
の軸体２４を軸方向に往復移動させる駆動手段であるエ
アシリンダ２６を備えている。容器２２は、中央が開口
する隔壁２７及び軸体２４に取り付けられた仕切板２８
によってトラップ室３０と再生室３２に仕切られてお
り、各部屋にはそれぞれ排気配管１４又は再生配管１６
が接続されている。
【００２０】エアシリンダ２６と容器２２の間にはベロ
ーズ３４が設けられてこれらの間の気密性を維持してい
る。また、隔壁２７と仕切板２８が接する箇所にはＯリ
ング３５が配置されて、トラップ室３０と再生室３２の
間の気密性を維持している。仕切板２８は断熱性の高い
素材で形成されて、トラップ室３０と再生室３２の間の
熱移動を阻止するようにしている。
ーズ３４が設けられてこれらの間の気密性を維持してい
る。また、隔壁２７と仕切板２８が接する箇所にはＯリ
ング３５が配置されて、トラップ室３０と再生室３２の
間の気密性を維持している。仕切板２８は断熱性の高い
素材で形成されて、トラップ室３０と再生室３２の間の
熱移動を阻止するようにしている。
【００２１】トラップ部１８は、軸体２４に軸方向に対
向して取り付けられた一対の端板３６と、これら端板の
間に渡って設けられたバッフル板３８ａ，３８ｂ，３８
ｃとから構成されている。バッフル板３８ａ，３８ｂ，
３８ｃは左右対称に複数（図示例では６枚）が配置さ
れ、それぞれの間及び軸体２４又は容器壁との間に、中
心から外側に向かって膨らむ上流側流路部分Ｕと、外側
から中心側に向かう下流側流路部分Ｄとを有するトラッ
プ流路４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄを形成してい
る。バッフル板３８ａ，３８ｂ，３８ｃは、この例で
は、円弧面部４２と、上下の連絡部を形成する平面部４
４を有している。
向して取り付けられた一対の端板３６と、これら端板の
間に渡って設けられたバッフル板３８ａ，３８ｂ，３８
ｃとから構成されている。バッフル板３８ａ，３８ｂ，
３８ｃは左右対称に複数（図示例では６枚）が配置さ
れ、それぞれの間及び軸体２４又は容器壁との間に、中
心から外側に向かって膨らむ上流側流路部分Ｕと、外側
から中心側に向かう下流側流路部分Ｄとを有するトラッ
プ流路４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄを形成してい
る。バッフル板３８ａ，３８ｂ，３８ｃは、この例で
は、円弧面部４２と、上下の連絡部を形成する平面部４
４を有している。
【００２２】バッフル板３８ａ，３８ｂ，３８ｃ及び端
板３６はそれぞれ熱伝導性の良い材質から形成されてお
り、バッフル板３８ａ，３８ｂ，３８ｃは端板３６を介
して軸体２４との間の熱伝導により冷却されるようにな
っている。各バッフル板には、後述する再生の場合に付
着物の排出に用いる排出穴３９が設けられている。
板３６はそれぞれ熱伝導性の良い材質から形成されてお
り、バッフル板３８ａ，３８ｂ，３８ｃは端板３６を介
して軸体２４との間の熱伝導により冷却されるようにな
っている。各バッフル板には、後述する再生の場合に付
着物の排出に用いる排出穴３９が設けられている。
【００２３】軸体２４は、金属等の熱伝導性の良い材料
により形成され、内部に冷却用の熱媒体流路４６が形成
されている。この熱媒体流路４６には、液体窒素のよう
な液体又は冷却された空気又は水等の冷却用熱媒体が供
給される。
により形成され、内部に冷却用の熱媒体流路４６が形成
されている。この熱媒体流路４６には、液体窒素のよう
な液体又は冷却された空気又は水等の冷却用熱媒体が供
給される。
【００２４】以上のように構成されたトラップ装置の作
用を説明する。真空ポンプ１２の作動により、チャンバ
１０から排出された気体は排気配管１４を介してトラッ
プ容器２２に導入される。排気は、バッフル板３８ａ，
３８ｂ，３８ｃの間の湾曲したトラップ流路４０ａ，４
０ｂ，４０ｃに沿って流れ、バッフル板３８ａ，３８
ｂ，３８ｃに当たって冷却される。冷却された排気中の
凝結しやすい成分はそこで析出し、析出した固形物は、
これらバッフル板の内外面に付着する。
用を説明する。真空ポンプ１２の作動により、チャンバ
１０から排出された気体は排気配管１４を介してトラッ
プ容器２２に導入される。排気は、バッフル板３８ａ，
３８ｂ，３８ｃの間の湾曲したトラップ流路４０ａ，４
０ｂ，４０ｃに沿って流れ、バッフル板３８ａ，３８
ｂ，３８ｃに当たって冷却される。冷却された排気中の
凝結しやすい成分はそこで析出し、析出した固形物は、
これらバッフル板の内外面に付着する。
【００２５】トラップ流路４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４
０ｄが湾曲して形成されているので、排気中のガス分子
がトラップ面に当たる確率が高くなり、冷却されてトラ
ップされる効率も向上する。これは、冷却によるトラッ
プだけでなく、例えば粒子をトラップ面に吸着させるト
ラップでも同様である。所定量の固形物が付着したトラ
ップ部１８は、エアシリンダ２６の動作により再生室３
２に切り換えられて、高温ガスや洗浄液による再生処理
を受ける。切換のタイミングは、一定時間の処理後とす
るか、適当な圧力センサ、温度センサをトラップ部１８
等に設けて、温度や差圧を検知して判断するようにして
も良い。
０ｄが湾曲して形成されているので、排気中のガス分子
がトラップ面に当たる確率が高くなり、冷却されてトラ
ップされる効率も向上する。これは、冷却によるトラッ
プだけでなく、例えば粒子をトラップ面に吸着させるト
ラップでも同様である。所定量の固形物が付着したトラ
ップ部１８は、エアシリンダ２６の動作により再生室３
２に切り換えられて、高温ガスや洗浄液による再生処理
を受ける。切換のタイミングは、一定時間の処理後とす
るか、適当な圧力センサ、温度センサをトラップ部１８
等に設けて、温度や差圧を検知して判断するようにして
も良い。
【００２６】次に、トラップ部の他の構成の例を説明す
る。図４に示すバッフル部１８は、軸体２４を取り囲む
ように複数の円弧板状のバッフル板３８ａ，３８ｂ，３
８ｃ，３８ｄ，３８ｅが配置され、これらのバッフル板
の間に湾曲したトラップ流路４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，
４０ｄが多層に構成されている。これらの各流路の上流
側の入口５０及び出口５２の幅は、入口５０側が広く鈍
角に開いており、出口５２側は狭く開いており、これに
より、気体を特にバッフル部１８の下流側部分で充分滞
流させてトラップ時間を稼ぐようにしている。
る。図４に示すバッフル部１８は、軸体２４を取り囲む
ように複数の円弧板状のバッフル板３８ａ，３８ｂ，３
８ｃ，３８ｄ，３８ｅが配置され、これらのバッフル板
の間に湾曲したトラップ流路４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，
４０ｄが多層に構成されている。これらの各流路の上流
側の入口５０及び出口５２の幅は、入口５０側が広く鈍
角に開いており、出口５２側は狭く開いており、これに
より、気体を特にバッフル部１８の下流側部分で充分滞
流させてトラップ時間を稼ぐようにしている。
【００２７】また、入口５０には、中央側を流れる気体
を周辺側の流路に分配する作用をする案内バッフル５４
ｃ，５４ｄ，５４ｅが設けられている。これらの案内バ
ッフル５４ｃ，５４ｄ，５４ｅは、この例では、円弧板
状のバッフル板３８ｃ，３８ｄ，３８ｅの一部として、
すなわち、筒状のバッフル板に軸方向に延びるスリット
を形成することによって形成されているが、これに限る
わけではない。この例では、案内バッフル５４ｃ，５４
ｄ，５４ｅは流れに沿って交互に配置されており、それ
により、気体の分配機能を高めている。
を周辺側の流路に分配する作用をする案内バッフル５４
ｃ，５４ｄ，５４ｅが設けられている。これらの案内バ
ッフル５４ｃ，５４ｄ，５４ｅは、この例では、円弧板
状のバッフル板３８ｃ，３８ｄ，３８ｅの一部として、
すなわち、筒状のバッフル板に軸方向に延びるスリット
を形成することによって形成されているが、これに限る
わけではない。この例では、案内バッフル５４ｃ，５４
ｄ，５４ｅは流れに沿って交互に配置されており、それ
により、気体の分配機能を高めている。
【００２８】このように、トラップ部１８には同心の複
数のトラップ流路４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄが形
成されており、外側のトラップ流路の方が距離が大きく
従ってトラップ面積も大きい。従って、上記のようにト
ラップ面積が大きい外側のトラップ流路に気体を分配す
ることにより、全体のトラップ効率を向上させることが
できる。なお、各流路への気体の分配は、各流路のコン
ダクタンスによっても調整することができるので、例え
ば、外側の流路幅を内側より大きくすることにより、気
体流量分布を調整してもよい。
数のトラップ流路４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄが形
成されており、外側のトラップ流路の方が距離が大きく
従ってトラップ面積も大きい。従って、上記のようにト
ラップ面積が大きい外側のトラップ流路に気体を分配す
ることにより、全体のトラップ効率を向上させることが
できる。なお、各流路への気体の分配は、各流路のコン
ダクタンスによっても調整することができるので、例え
ば、外側の流路幅を内側より大きくすることにより、気
体流量分布を調整してもよい。
【００２９】図５は、図３に示したトラップ部を改良し
た他の実施の形態を示すもので、トラップ流路４０ａ，
４０ｂの下流側部分に各流路を２分する分割バッフル板
５６ａ，５６ｂを挿入して流路幅を狭め、ここに気体を
充分滞流させるようにしている。これにより、全流路の
幅を狭める場合に比べて過度にコンダクタンスを下げる
ことなく、気体の流れが安定した下流側部分でトラップ
時間を稼ぎ、全体としてのトラップ効率を向上させるこ
とができる。
た他の実施の形態を示すもので、トラップ流路４０ａ，
４０ｂの下流側部分に各流路を２分する分割バッフル板
５６ａ，５６ｂを挿入して流路幅を狭め、ここに気体を
充分滞流させるようにしている。これにより、全流路の
幅を狭める場合に比べて過度にコンダクタンスを下げる
ことなく、気体の流れが安定した下流側部分でトラップ
時間を稼ぎ、全体としてのトラップ効率を向上させるこ
とができる。
【００３０】図６は、この発明のさらに他の実施の形態
のトラップ部を示すもので、図３の実施の形態と異なる
点は、中心から外側に向かって膨らむ上流側流路部分Ｕ
と、外側から中心側に向かう下流側流路部分Ｄとが、そ
れぞれ平坦なバッフル板５８ａ，５８ｂ，５８ｃ，５８
ｄによって形成されている点である。この実施の形態で
は、バッフル板の加工が容易で比較的低コストで、先の
実施の形態と同様の作用効果を得ることができる。な
お、この実施の形態において、図４のような案内バッフ
ル板や、図５のような分割バッフル板を用いてもよいこ
とは言うまでもない。
のトラップ部を示すもので、図３の実施の形態と異なる
点は、中心から外側に向かって膨らむ上流側流路部分Ｕ
と、外側から中心側に向かう下流側流路部分Ｄとが、そ
れぞれ平坦なバッフル板５８ａ，５８ｂ，５８ｃ，５８
ｄによって形成されている点である。この実施の形態で
は、バッフル板の加工が容易で比較的低コストで、先の
実施の形態と同様の作用効果を得ることができる。な
お、この実施の形態において、図４のような案内バッフ
ル板や、図５のような分割バッフル板を用いてもよいこ
とは言うまでもない。
【００３１】図１及び図２の実施の形態では、トラップ
部はケーシング内を直線的に移動して切り替えられるよ
うになっているが、ケーシングを環状に形成し、トラッ
プ部をロータリー運動させることによって移動させても
よい。この場合には１つの排気経路に対してトラップ部
を３つ以上設けて２つ以上の再生・洗浄経路で同時に再
生させることができる。通常、トラップのの速度より再
生の速度が遅いので、この点は特に有利である。また、
ロータリー式では２つのトラップ部の場合には再生経路
が１つで済むことになる。
部はケーシング内を直線的に移動して切り替えられるよ
うになっているが、ケーシングを環状に形成し、トラッ
プ部をロータリー運動させることによって移動させても
よい。この場合には１つの排気経路に対してトラップ部
を３つ以上設けて２つ以上の再生・洗浄経路で同時に再
生させることができる。通常、トラップのの速度より再
生の速度が遅いので、この点は特に有利である。また、
ロータリー式では２つのトラップ部の場合には再生経路
が１つで済むことになる。
【００３２】
【実施例】従来のトラップ装置と、この発明の実施の形
態のバッフル部を有するトラップ装置を用いて、ＮＨ4
Ｃｌを捕捉する実験を行い、トラップ効率を比較した値
を表１に示す。 図３の形状による捕捉効率がよいことが分かった。ここ
で、このバッフルとチャンバの組み合わせによるトラッ
プ後のコンダクタンスは４２２００（Ｌ／ｍｉｎ）（実
績値）となり、プロセスに与える影響はまったく無かっ
た。
態のバッフル部を有するトラップ装置を用いて、ＮＨ4
Ｃｌを捕捉する実験を行い、トラップ効率を比較した値
を表１に示す。 図３の形状による捕捉効率がよいことが分かった。ここ
で、このバッフルとチャンバの組み合わせによるトラッ
プ後のコンダクタンスは４２２００（Ｌ／ｍｉｎ）（実
績値）となり、プロセスに与える影響はまったく無かっ
た。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、コンダクタンスを過度に低下させずに、トラップ効
率を上げることができ、それによって、排気システムの
真空ポンプの性能に影響すること無く、真空ポンプの長
寿命化、除害装置の保護等を行って排気システムの運転
の信頼性の向上を図り、半導体製造等の生産性向上に寄
与することができる。
ば、コンダクタンスを過度に低下させずに、トラップ効
率を上げることができ、それによって、排気システムの
真空ポンプの性能に影響すること無く、真空ポンプの長
寿命化、除害装置の保護等を行って排気システムの運転
の信頼性の向上を図り、半導体製造等の生産性向上に寄
与することができる。
【図１】この発明の１つの実施の形態のトラップ装置を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図２】図１の実施の形態のトラップ装置を別の方向か
ら見た断面図である。
ら見た断面図である。
【図３】図１の実施の形態のトラップ部を拡大して示す
図である。
図である。
【図４】トラップ部の他の実施の形態を示す図である。
【図５】トラップ部のさらに他の実施の形態を示す図で
ある。
ある。
【図６】トラップ部のさらに他の実施の形態を示す図で
ある。
ある。
【図７】トラップ装置が用いられる排気システムを示す
図である。
図である。
【図８】従来のトラップ装置の例を示す図である。
【図９】従来のトラップ装置の他の例を示す図である。
１０ 真空チャンバ １２ 真空ポンプ １４ 排気配管 ２２ トラップ容器 ２６ エアシリンダ ３０ トラップ室 ３２ 再生室 ３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，３８ｄ，３８ｅ バッフル
板 ４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ，４０ｅ トラップ
流路 ５４ｃ，５４ｄ，５４ｅ 案内バッフル板 ５６ａ，５６ｂ 分割バッフル板 ５８ａ，５８ｂ，５８ｃ，５８ｄ バッフル板 Ｕ 上流側部分 Ｄ 下流側部分
板 ４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ，４０ｅ トラップ
流路 ５４ｃ，５４ｄ，５４ｅ 案内バッフル板 ５６ａ，５６ｂ 分割バッフル板 ５８ａ，５８ｂ，５８ｃ，５８ｄ バッフル板 Ｕ 上流側部分 Ｄ 下流側部分
Claims (5)
- 【請求項１】 気密チャンバから真空ポンプにより排気
する排気経路に配置され、排ガス中の生成物を付着させ
て除去するトラップ部を有するトラップ装置において、 前記トラップ部は、中心から外側に向かって膨らむ上流
側流路部分と、外側から中心側に向かう下流側流路部分
からなるトラップ流路を有することを特徴とするトラッ
プ装置。 - 【請求項２】 前記トラップ流路は、曲面により形成さ
れていることを特徴とする請求項１に記載のトラップ装
置。 - 【請求項３】 いずれかのトラップ流路の下流側部分を
部分的に少なくとも２つの流路に区分していることを特
徴とする請求項１に記載のトラップ装置。 - 【請求項４】 前記トラップ部は、前記排気流路に対し
て出し入れ可能に設けられていることを特徴とする請求
項１に記載のトラップ装置。 - 【請求項５】 気密チャンバから真空ポンプにより排気
する排気経路に配置され、排ガス中の生成物を付着させ
て除去するトラップ部を有するトラップ装置において、 前記トラップ部は、軸線が排気流路に交差する円弧面状
のトラップ面を有するバッフル板を有することを特徴と
するトラップ装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02504198A JP3874524B2 (ja) | 1998-01-22 | 1998-01-22 | トラップ装置及びトラップ方法 |
| EP99901126A EP1050681A4 (en) | 1998-01-22 | 1999-01-21 | TRAP AND CASE SYSTEM |
| PCT/JP1999/000204 WO1999037919A1 (fr) | 1998-01-22 | 1999-01-21 | Dispositif et systeme de piegeage |
| US09/485,616 US6368371B1 (en) | 1998-01-22 | 1999-01-21 | Trap device and trap system |
| EP08002135A EP1914423A2 (en) | 1998-01-22 | 1999-01-21 | Trap apparatus and trap system |
| KR1019997011854A KR100552643B1 (ko) | 1998-01-22 | 1999-01-21 | 트랩장치 및 트랩시스템 |
| TW088100937A TW500878B (en) | 1998-01-22 | 1999-01-22 | Trap apparatus and trap system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02504198A JP3874524B2 (ja) | 1998-01-22 | 1998-01-22 | トラップ装置及びトラップ方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11210621A true JPH11210621A (ja) | 1999-08-03 |
| JP3874524B2 JP3874524B2 (ja) | 2007-01-31 |
Family
ID=12154840
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02504198A Expired - Lifetime JP3874524B2 (ja) | 1998-01-22 | 1998-01-22 | トラップ装置及びトラップ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3874524B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002206480A (ja) * | 2000-11-13 | 2002-07-26 | Ebara Corp | 連続処理型トラップ装置 |
| US6554879B1 (en) | 1999-08-03 | 2003-04-29 | Ebara Corporation | Trap apparatus |
-
1998
- 1998-01-22 JP JP02504198A patent/JP3874524B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6554879B1 (en) | 1999-08-03 | 2003-04-29 | Ebara Corporation | Trap apparatus |
| JP2002206480A (ja) * | 2000-11-13 | 2002-07-26 | Ebara Corp | 連続処理型トラップ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3874524B2 (ja) | 2007-01-31 |
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| A521 | Written amendment |
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