JPH11207723A - セラミックシートおよびその製造方法 - Google Patents
セラミックシートおよびその製造方法Info
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- JPH11207723A JPH11207723A JP1298898A JP1298898A JPH11207723A JP H11207723 A JPH11207723 A JP H11207723A JP 1298898 A JP1298898 A JP 1298898A JP 1298898 A JP1298898 A JP 1298898A JP H11207723 A JPH11207723 A JP H11207723A
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- JP
- Japan
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- green sheet
- sheet
- ceramic sheet
- break
- cutting
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高い機械的強度を有し、しかも歪などのない
高品質のセラミックシートおよびその製造方法を提供す
る。 【解決手段】 グリーンシートを、その引張破壊伸びが
２０〜５００％、または引張破壊伸びが２０〜５００
％、かつ引張降伏強さが２０〜２００ｋｇｆ／ｃｍ2と
なる状態にて、切断した後、焼成する。このようにして
得られるセラミックシートは、その切断面の表面粗さＲ
ａが０．６μｍ以下であって、機械的強度に優れ、しか
も歪などがない。
高品質のセラミックシートおよびその製造方法を提供す
る。 【解決手段】 グリーンシートを、その引張破壊伸びが
２０〜５００％、または引張破壊伸びが２０〜５００
％、かつ引張降伏強さが２０〜２００ｋｇｆ／ｃｍ2と
なる状態にて、切断した後、焼成する。このようにして
得られるセラミックシートは、その切断面の表面粗さＲ
ａが０．６μｍ以下であって、機械的強度に優れ、しか
も歪などがない。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はセラミックシートお
よびその製造方法に関し、詳しくは機械的強度などに優
れた高品質のセラミックシートおよびそのような高品質
のセラミックシートの製造に好適なセラミックシートの
製造方法に関する。
よびその製造方法に関し、詳しくは機械的強度などに優
れた高品質のセラミックシートおよびそのような高品質
のセラミックシートの製造に好適なセラミックシートの
製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】セラミックシートは、通常、ドクターブ
レード法やカレンダーロール法によってグリーンシート
を作成し、これを所定形状に切断した後、焼成して製造
されている。
レード法やカレンダーロール法によってグリーンシート
を作成し、これを所定形状に切断した後、焼成して製造
されている。
【０００３】しかし、従来の方法によって得られるセラ
ミックシートは、機械的強度が十分でなく、また形状の
歪みなどがあって、品質的に十分満足できるセラミック
シートは未だ得られていない。
ミックシートは、機械的強度が十分でなく、また形状の
歪みなどがあって、品質的に十分満足できるセラミック
シートは未だ得られていない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的の一つ
は、高い機械的強度を有する高品質のセラミックシート
を提供することにある。
は、高い機械的強度を有する高品質のセラミックシート
を提供することにある。
【０００５】本発明の他の目的は、高い機械的強度を有
し、さらに形状の歪みなどのない高品質のセラミックシ
ートを提供することにある。
し、さらに形状の歪みなどのない高品質のセラミックシ
ートを提供することにある。
【０００６】本発明の他の目的は、上記のような高品質
のセラミックシートの製造に好適なセラミックシートの
製造方法を提供することにある。
のセラミックシートの製造に好適なセラミックシートの
製造方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者らの研究によれ
ば、次のことが判明した。
ば、次のことが判明した。
【０００８】（１）グリーンシートを切断する際に、シ
ートの断面に極微小なクラックが発生し、これが原因と
なってセラミックシートの機械的強度が低下する。
ートの断面に極微小なクラックが発生し、これが原因と
なってセラミックシートの機械的強度が低下する。
【０００９】（２）グリーンシートを切断する際に、グ
リーンシートを特定の硬さに調整することにより、その
切断時の極微小なクラックの発生を抑制できる。
リーンシートを特定の硬さに調整することにより、その
切断時の極微小なクラックの発生を抑制できる。
【００１０】（３）極微小なクラックの発生の程度は、
セラミックシートの切断面の表面粗さによって数値化で
き、表面粗さが特定数値以下のセラミックシートは機械
的強度に関し十分満足できるものである。
セラミックシートの切断面の表面粗さによって数値化で
き、表面粗さが特定数値以下のセラミックシートは機械
的強度に関し十分満足できるものである。
【００１１】本発明はこれらの知見に基づいて完成され
たものである。
たものである。
【００１２】すなわち、本発明は、グリーンシートを切
断した後、焼成してなるセラミックシートであって、該
セラミックシート切断面の表面粗さＲａが０．６μｍ以
下であるセラミックシートである。
断した後、焼成してなるセラミックシートであって、該
セラミックシート切断面の表面粗さＲａが０．６μｍ以
下であるセラミックシートである。
【００１３】また、本発明は、グリーンシートを、その
引張破壊伸びが２０〜５００％となる状態にて、切断し
た後、焼成することを特徴とするセラミックシートの製
造方法である。
引張破壊伸びが２０〜５００％となる状態にて、切断し
た後、焼成することを特徴とするセラミックシートの製
造方法である。
【００１４】また、本発明は、グリーンシートを、その
引張破壊伸びが２０〜５００％、かつ引張降伏強さが２
０〜２００ｋｇｆ／ｃｍ2となる状態にて、切断した
後、焼成することを特徴とするセラミックシートの製造
方法である。
引張破壊伸びが２０〜５００％、かつ引張降伏強さが２
０〜２００ｋｇｆ／ｃｍ2となる状態にて、切断した
後、焼成することを特徴とするセラミックシートの製造
方法である。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明のセラミックシートは、グ
リーンシートを所定形状に切断した後、焼成して得られ
るセラミックシートであって、その切断面の表面粗さＲ
ａが０．６μｍ以下、好ましくは０．５μｍ、更に好ま
しくは０．３μｍ以下のものである。本発明の切断面の
表面粗さＲａは下記方法により測定したものである。
リーンシートを所定形状に切断した後、焼成して得られ
るセラミックシートであって、その切断面の表面粗さＲ
ａが０．６μｍ以下、好ましくは０．５μｍ、更に好ま
しくは０．３μｍ以下のものである。本発明の切断面の
表面粗さＲａは下記方法により測定したものである。
【００１６】表面粗さＲａの測定方法 表面粗さ試験法：ＪＩＳ Ｂ−０６０１に準じる 測定方式：触針式 使用機器：ＤＥＫＴＡＫ社製 ３０３０型 上記のような表面粗さＲａを有するセラミックシートの
作製方法の一つは、グリーンシートを所定形状に切断し
た後、焼成して得られるセラミックシートの断面を研磨
するものである。この方法によれば、表面粗さＲａを著
しく低下させることができるが、このような操作は手間
とコストがかかるので必ずしも実用的ではない。
作製方法の一つは、グリーンシートを所定形状に切断し
た後、焼成して得られるセラミックシートの断面を研磨
するものである。この方法によれば、表面粗さＲａを著
しく低下させることができるが、このような操作は手間
とコストがかかるので必ずしも実用的ではない。
【００１７】他の好適な作製方法は、グリーンシート
を、その引張試験において引張破壊伸びが２０〜５００
％、好ましくは３０〜４００％、更に好ましくは４０〜
３００％となる状態にて、切断した後、焼成するもので
ある。この方法によれば、必ずしも焼成後にシートを研
磨することなく、表面粗さＲａが０．０５〜０．６μｍ
のセラミックシートを効率よく製造することができる。
を、その引張試験において引張破壊伸びが２０〜５００
％、好ましくは３０〜４００％、更に好ましくは４０〜
３００％となる状態にて、切断した後、焼成するもので
ある。この方法によれば、必ずしも焼成後にシートを研
磨することなく、表面粗さＲａが０．０５〜０．６μｍ
のセラミックシートを効率よく製造することができる。
【００１８】他の好適は作製方法は、グリーンシート
を、その引張試験において引張破壊伸びが２０〜５００
％、かつ引張降伏強さが２０〜２００ｋｇｆ／ｃｍ2、
好ましくは引張破壊伸びが３０〜４００％、かつ引張降
伏強さが３０〜２００ｋｇｆ／ｃｍ2、更に好ましくは
引張破壊伸びが４０〜３００％、かつ引張降伏強さが３
０〜２００ｋｇｆ／ｃｍ2となる状態にて、切断した
後、焼成するものである。この方法によれば、必ずしも
焼成後にシートを研磨することなく、表面粗さＲａが
０．０５〜０．６μｍの範囲にあり、かつ形状の歪のな
いセラミックシートを効率よく製造することができる。
を、その引張試験において引張破壊伸びが２０〜５００
％、かつ引張降伏強さが２０〜２００ｋｇｆ／ｃｍ2、
好ましくは引張破壊伸びが３０〜４００％、かつ引張降
伏強さが３０〜２００ｋｇｆ／ｃｍ2、更に好ましくは
引張破壊伸びが４０〜３００％、かつ引張降伏強さが３
０〜２００ｋｇｆ／ｃｍ2となる状態にて、切断した
後、焼成するものである。この方法によれば、必ずしも
焼成後にシートを研磨することなく、表面粗さＲａが
０．０５〜０．６μｍの範囲にあり、かつ形状の歪のな
いセラミックシートを効率よく製造することができる。
【００１９】本発明の引張破壊伸びおよび引張降伏強さ
は下記方法により測定したものである。
は下記方法により測定したものである。
【００２０】引張破壊伸びおよび引張降伏強さの測定方
法 引張試験法：ＪＩＳ Ｋ−７１１３に準じる 引張速度：１００ｍｍ／分 試験片：平行部分の幅 １ｃｍ 使用機器：インストロン・ジャパン（株）製 万能材料
試験機 ４３０１型 引張破壊伸びが小さすぎると切断時にクラックが生じや
すくなり、一方大きすぎる場合には、切断作業中にグリ
ーンシートにのびが生じて寸法精度が悪くなる。引張降
伏強さが大きすぎると切断が困難になり、一方小さすぎ
ると、グリーンシートに伸びが生じやすくなったり、脆
くて破れやすくなったりし、寸法精度が悪くなったり、
クラックが生じたりする。
法 引張試験法：ＪＩＳ Ｋ−７１１３に準じる 引張速度：１００ｍｍ／分 試験片：平行部分の幅 １ｃｍ 使用機器：インストロン・ジャパン（株）製 万能材料
試験機 ４３０１型 引張破壊伸びが小さすぎると切断時にクラックが生じや
すくなり、一方大きすぎる場合には、切断作業中にグリ
ーンシートにのびが生じて寸法精度が悪くなる。引張降
伏強さが大きすぎると切断が困難になり、一方小さすぎ
ると、グリーンシートに伸びが生じやすくなったり、脆
くて破れやすくなったりし、寸法精度が悪くなったり、
クラックが生じたりする。
【００２１】グリーンシートの切断時に、その引張破壊
伸びが２０〜５００％、または引張破壊伸びが２０〜５
００％、かつ引張降伏強さが２０〜２００ｋｇｆ／ｃｍ
2となるようにする具体的方法について以下に説明す
る。
伸びが２０〜５００％、または引張破壊伸びが２０〜５
００％、かつ引張降伏強さが２０〜２００ｋｇｆ／ｃｍ
2となるようにする具体的方法について以下に説明す
る。
【００２２】方法１ この方法は、グリーンシートを、その引張破壊伸びが２
０〜５００％、または引張破壊伸びが２０〜５００％、
かつ引張降伏強さが２０〜２００ｋｇｆ／ｃｍ2となる
ような温度に加熱するものである。特に、グリーンシー
トの切断時のみに、その引張破壊伸び、または引張破壊
伸びと引張降伏強さとが上記範囲内となるようにグリー
ンシートを加熱するするのがよい。このようにすると、
切断前および切断後はグリーンシートはその本来の硬さ
を保持しているので、切断以外の工程の作業時に歪が入
るのを防ぐことができる。このような加熱は、例えばグ
リーンシートを切断する際に載置する基板にヒーターな
どの加熱手段を設けて行うことができる。
０〜５００％、または引張破壊伸びが２０〜５００％、
かつ引張降伏強さが２０〜２００ｋｇｆ／ｃｍ2となる
ような温度に加熱するものである。特に、グリーンシー
トの切断時のみに、その引張破壊伸び、または引張破壊
伸びと引張降伏強さとが上記範囲内となるようにグリー
ンシートを加熱するするのがよい。このようにすると、
切断前および切断後はグリーンシートはその本来の硬さ
を保持しているので、切断以外の工程の作業時に歪が入
るのを防ぐことができる。このような加熱は、例えばグ
リーンシートを切断する際に載置する基板にヒーターな
どの加熱手段を設けて行うことができる。
【００２３】切断時のグリーンシートの温度は、グリー
ンシートの硬さなどにより変わるので一概に特定できな
いが、通常、８０℃以下、好ましくは３０〜６０℃、更
に好ましくは４０〜５０℃とするのがよい。
ンシートの硬さなどにより変わるので一概に特定できな
いが、通常、８０℃以下、好ましくは３０〜６０℃、更
に好ましくは４０〜５０℃とするのがよい。
【００２４】この方法は、上記のとおり、グリーンシー
トの切断時のみに、その引張破壊伸びおよび引張降伏強
さを上記範囲内に調整できるので、後記の方法２〜４に
比べて、歪などの発生が少なく、高品質のセラミックシ
ートを製造するのに好適である。
トの切断時のみに、その引張破壊伸びおよび引張降伏強
さを上記範囲内に調整できるので、後記の方法２〜４に
比べて、歪などの発生が少なく、高品質のセラミックシ
ートを製造するのに好適である。
【００２５】方法２ この方法は、グリーンシートを作製する際に用いる可塑
剤の種類または量、特に可塑剤の量を調整して、その引
張破壊伸びおよび引張降伏強さが上記範囲内になるよう
にするものである。上記可塑剤とは、グリーンシートの
作製に一般に用いられている可塑剤であり、その種類に
特に制約はない。その代表例としては、ジブチルフタレ
ートなどを挙げることができる。
剤の種類または量、特に可塑剤の量を調整して、その引
張破壊伸びおよび引張降伏強さが上記範囲内になるよう
にするものである。上記可塑剤とは、グリーンシートの
作製に一般に用いられている可塑剤であり、その種類に
特に制約はない。その代表例としては、ジブチルフタレ
ートなどを挙げることができる。
【００２６】可塑剤の具体的使用量は、その他の成分の
種類および量などによって変わるので一概に特定できな
いが、通常、セラミック粉体１００重量部に対し、１２
重量部以下、好ましくは８重量部以下、更に好ましくは
４重量部以下とすれば十分である。なお、使用するバイ
ンダーの種類によっては、例えばそのガラス転移温度
（Ｔｇ）が低い場合には、可塑剤を添加する必要はな
い。可塑剤の使用量が多すぎるとコストアップとなり、
またグリーンシートにべとつきが生じたり、歪が生じや
すくなる。
種類および量などによって変わるので一概に特定できな
いが、通常、セラミック粉体１００重量部に対し、１２
重量部以下、好ましくは８重量部以下、更に好ましくは
４重量部以下とすれば十分である。なお、使用するバイ
ンダーの種類によっては、例えばそのガラス転移温度
（Ｔｇ）が低い場合には、可塑剤を添加する必要はな
い。可塑剤の使用量が多すぎるとコストアップとなり、
またグリーンシートにべとつきが生じたり、歪が生じや
すくなる。
【００２７】方法３ この方法は、グリーンシートを作製する際にガラス転移
温度の低いバインダーを使用して、グリーンシートの引
張破壊伸びおよび引張降伏強さが上記範囲内になるよう
にするものである。具体的なガラス転移温度は、その他
の成分の種類および量などによって変わるので一概に特
定できないが、通常、ガラス転移温度が−４０〜４０
℃、好ましくは−４０〜３０℃、更に好ましくは−４０
〜２０℃のバインダーを使用するのがよい。
温度の低いバインダーを使用して、グリーンシートの引
張破壊伸びおよび引張降伏強さが上記範囲内になるよう
にするものである。具体的なガラス転移温度は、その他
の成分の種類および量などによって変わるので一概に特
定できないが、通常、ガラス転移温度が−４０〜４０
℃、好ましくは−４０〜３０℃、更に好ましくは−４０
〜２０℃のバインダーを使用するのがよい。
【００２８】上記ガラス転移温度を有するバインダー
は、グリーンシートの作製に一般に用いられている、例
えばアクリル系バインダーなどから適宜選択することが
できる。
は、グリーンシートの作製に一般に用いられている、例
えばアクリル系バインダーなどから適宜選択することが
できる。
【００２９】なお、ガラス転移温度が高いバインダーを
使用する場合には、可塑剤の使用量を増やすことによっ
て、グリーンシートの引張破壊伸びおよび引張降伏強さ
を上記範囲内になるようにすることができる。しかし、
この場合には、可塑剤の使用量が多くなると、グリーン
シートにべとつきが生じたり、歪が生じやすくなる。 方法４ この方法は、グリーンシートの作製時に使用するバイン
ダーの量を調整して、その引張破壊伸びおよび引張降伏
強さが上記範囲内になるようにするものである。上記バ
インダーとは、グリーンシートの作製に一般に用いられ
ているバインダーであり、その種類に特に制約はない。
使用する場合には、可塑剤の使用量を増やすことによっ
て、グリーンシートの引張破壊伸びおよび引張降伏強さ
を上記範囲内になるようにすることができる。しかし、
この場合には、可塑剤の使用量が多くなると、グリーン
シートにべとつきが生じたり、歪が生じやすくなる。 方法４ この方法は、グリーンシートの作製時に使用するバイン
ダーの量を調整して、その引張破壊伸びおよび引張降伏
強さが上記範囲内になるようにするものである。上記バ
インダーとは、グリーンシートの作製に一般に用いられ
ているバインダーであり、その種類に特に制約はない。
【００３０】バインダーの具体的使用量は、セラミック
粉体などのその他の成分の種類および量などによって変
わるので一概に特定できないが、通常、セラミック粉体
１００重量部に対し、５〜５０重量部、好ましくは５〜
３０重量部、更に好ましくは５〜２０重量部である。な
お、バインダーの使用量が多すぎると、脱脂時の蒸発ま
たは熱分解が増加することから、時間をかけて脱脂しな
ければ、うねりが生じやすくなる。
粉体などのその他の成分の種類および量などによって変
わるので一概に特定できないが、通常、セラミック粉体
１００重量部に対し、５〜５０重量部、好ましくは５〜
３０重量部、更に好ましくは５〜２０重量部である。な
お、バインダーの使用量が多すぎると、脱脂時の蒸発ま
たは熱分解が増加することから、時間をかけて脱脂しな
ければ、うねりが生じやすくなる。
【００３１】本発明においては、上記方法１〜４を単独
で行う必要はなく、これらを適宜組み合わせて、グリー
ンシートの引張破壊伸びおよび引張降伏強さを上記範囲
内に調整することができる。例えば、方法１と方法２と
を組み合わせた場合には、可塑剤の使用量を低減でき、
また加熱温度を低くすることができるので、方法１また
は方法２を単独で採用した場合に比べて経済的に有利と
なることもある。
で行う必要はなく、これらを適宜組み合わせて、グリー
ンシートの引張破壊伸びおよび引張降伏強さを上記範囲
内に調整することができる。例えば、方法１と方法２と
を組み合わせた場合には、可塑剤の使用量を低減でき、
また加熱温度を低くすることができるので、方法１また
は方法２を単独で採用した場合に比べて経済的に有利と
なることもある。
【００３２】本発明で用いるグリーンシートは、常法に
したがって、セラミック粉体にバインダー、溶剤および
必要に応じて可塑剤、分散剤などを添加し、混練して得
られるスラリーをドクターブレード法やカレンダーロー
ル法によって成型した後、乾燥して作製することができ
る。
したがって、セラミック粉体にバインダー、溶剤および
必要に応じて可塑剤、分散剤などを添加し、混練して得
られるスラリーをドクターブレード法やカレンダーロー
ル法によって成型した後、乾燥して作製することができ
る。
【００３３】本発明で用いるグリーンシートおよび本発
明のセラミックシートの材質、厚さ、形状などに特に制
約はない。しかし、厚さが薄いセラミックシートほど、
その機械的強度に及ぼす切断面の粗さＲａの影響が大き
くなる。なお、シート材料の代表例としては、イットリ
ウム、ガドリニウム、カルシウムなどの希土類元素やア
ルカリ土類元素を固溶したジルコニアやセリアなどがあ
り、特にイットリウムで安定化したジルコニアを挙げる
ことができる。また、厚さが０．５ｍｍ以下、特に０．
０５〜０．３ｍｍのセラミックシートの場合に効果的で
ある。
明のセラミックシートの材質、厚さ、形状などに特に制
約はない。しかし、厚さが薄いセラミックシートほど、
その機械的強度に及ぼす切断面の粗さＲａの影響が大き
くなる。なお、シート材料の代表例としては、イットリ
ウム、ガドリニウム、カルシウムなどの希土類元素やア
ルカリ土類元素を固溶したジルコニアやセリアなどがあ
り、特にイットリウムで安定化したジルコニアを挙げる
ことができる。また、厚さが０．５ｍｍ以下、特に０．
０５〜０．３ｍｍのセラミックシートの場合に効果的で
ある。
【００３４】また、上記グリーンシートの切断につい
て、その際に使用する装置などに特に制限はなく、一般
にグリーンシートの切断に用いられている装置などを用
いて行うことができる。なお、上記方法１を採用する場
合には、加熱に必要なヒーターなどを切断装置またはそ
の近傍に設ける必要がある。
て、その際に使用する装置などに特に制限はなく、一般
にグリーンシートの切断に用いられている装置などを用
いて行うことができる。なお、上記方法１を採用する場
合には、加熱に必要なヒーターなどを切断装置またはそ
の近傍に設ける必要がある。
【００３５】
【発明の効果】本発明のセラミックシートは、高い機械
的強度を有し、しかも歪などもなく高品質なものであ
る。
的強度を有し、しかも歪などもなく高品質なものであ
る。
【００３６】また、本発明の方法によれば、高い機械的
強度を有し、しかも歪などのない高品質のセラミックシ
ートを効率よく製造することができる。
強度を有し、しかも歪などのない高品質のセラミックシ
ートを効率よく製造することができる。
【００３７】
【実施例】以下、実施例を挙げて本発明を更に具体的に
説明する。
説明する。
【００３８】実施例１〜８、比較例１〜５ 使用した原料は次のとおりである。
【００３９】セラミック粉体 ジルコニア粉体（イットリアを８モル％含む：安定化ジ
ルコニアの組成）バインダー （イ）メタクリル酸／メタクリル酸ｎ−ブチル／メタク
リル酸２−エチルヘキシル系共重合体（１％／３０％／
６９％の混合物を原料とし、酢酸エチルとトルエン（１
／１）の混合溶剤中で共重合させて得た）、Ｔｇ＝０℃ （ロ）メタクリル酸／メタクリル酸ｎ−ブチル／メタク
リル酸２−エチルヘキシル系共重合体（１％／６５％／
３４％）、Ｔｇ＝１０℃ （ハ）メタクリル酸／メタクリル酸ｎ−ブチル／メタク
リル酸２−エチルヘキシル系共重合体（１％／９５％／
４％）、Ｔｇ＝２０℃ （ニ）メタクリル酸／メタクリル酸メチル／メタクリル
酸２−エチルヘキシル系共重合体（１％／８２％／１７
％）、Ｔｇ＝８０℃可塑剤 ジブチルフタレート（ＤＢＰ） 上記ジルコニア粉体１００重量部と表１に示すガラス転
移温度（Ｔｇ）および量のバインダーと表１に示す量の
ＤＢＰとをボールミルで混合し、粘度を調整した後、ド
クターブレード法によりグリーンシートを作製して、１
００℃で乾燥した。
ルコニアの組成）バインダー （イ）メタクリル酸／メタクリル酸ｎ−ブチル／メタク
リル酸２−エチルヘキシル系共重合体（１％／３０％／
６９％の混合物を原料とし、酢酸エチルとトルエン（１
／１）の混合溶剤中で共重合させて得た）、Ｔｇ＝０℃ （ロ）メタクリル酸／メタクリル酸ｎ−ブチル／メタク
リル酸２−エチルヘキシル系共重合体（１％／６５％／
３４％）、Ｔｇ＝１０℃ （ハ）メタクリル酸／メタクリル酸ｎ−ブチル／メタク
リル酸２−エチルヘキシル系共重合体（１％／９５％／
４％）、Ｔｇ＝２０℃ （ニ）メタクリル酸／メタクリル酸メチル／メタクリル
酸２−エチルヘキシル系共重合体（１％／８２％／１７
％）、Ｔｇ＝８０℃可塑剤 ジブチルフタレート（ＤＢＰ） 上記ジルコニア粉体１００重量部と表１に示すガラス転
移温度（Ｔｇ）および量のバインダーと表１に示す量の
ＤＢＰとをボールミルで混合し、粘度を調整した後、ド
クターブレード法によりグリーンシートを作製して、１
００℃で乾燥した。
【００４０】このグリーンシートを表１に示す温度に加
熱して小型打ち抜き機にて所定寸法に切断した後、１４
５０℃で焼成して、焼き上がりで３０ｍｍ×５ｍｍ幅×
０．２ｍｍ厚さの試験片（Ａ）と１００ｍｍ角の試験片
（Ｂ）を作製した。
熱して小型打ち抜き機にて所定寸法に切断した後、１４
５０℃で焼成して、焼き上がりで３０ｍｍ×５ｍｍ幅×
０．２ｍｍ厚さの試験片（Ａ）と１００ｍｍ角の試験片
（Ｂ）を作製した。
【００４１】試験片（Ａ）については、３点曲げ試験法
（ＪＩＳ Ｒ１６０１に準じる）により３点曲げ強度を
測定し、１０点の平均値をもって、その３点曲げ強度と
した。試験片（Ｂ）については、定規をあてて目視によ
り、その形状の歪みを観察した。また、試験片（Ａ）に
ついて、その切断面の表面粗さＲａを測定した。結果を
表１に示した。
（ＪＩＳ Ｒ１６０１に準じる）により３点曲げ強度を
測定し、１０点の平均値をもって、その３点曲げ強度と
した。試験片（Ｂ）については、定規をあてて目視によ
り、その形状の歪みを観察した。また、試験片（Ａ）に
ついて、その切断面の表面粗さＲａを測定した。結果を
表１に示した。
【００４２】また、グリーンシートの引張降伏強さおよ
び引張破壊伸びとをその切断時と同条件下において測定
した結果を表１に示した。
び引張破壊伸びとをその切断時と同条件下において測定
した結果を表１に示した。
【００４３】
【表１】
【００４４】
Claims (3)
- 【請求項１】 グリーンシートを切断した後、焼成して
なるセラミックシートであって、該セラミックシート切
断面の表面粗さＲａが０．６μｍ以下であるセラミック
シート。 - 【請求項２】 グリーンシートを、その引張破壊伸びが
２０〜５００％となる状態にて、切断した後、焼成する
ことを特徴とするセラミックシートの製造方法。 - 【請求項３】 グリーンシートを、その引張破壊伸びが
２０〜５００％、かつ引張降伏強さが２０〜２００ｋｇ
ｆ／ｃｍ2となる状態にて、切断した後、焼成すること
を特徴とするセラミックシートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1298898A JPH11207723A (ja) | 1998-01-26 | 1998-01-26 | セラミックシートおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1298898A JPH11207723A (ja) | 1998-01-26 | 1998-01-26 | セラミックシートおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11207723A true JPH11207723A (ja) | 1999-08-03 |
Family
ID=11820596
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1298898A Pending JPH11207723A (ja) | 1998-01-26 | 1998-01-26 | セラミックシートおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11207723A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005276893A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Kyocera Corp | セラミック多層配線基板の製造方法 |
| JP2007045160A (ja) * | 2006-09-26 | 2007-02-22 | Toshiba Corp | セラミックス回路基板の製造方法 |
| JP2013208876A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-10 | Nippon Shokubai Co Ltd | セラミックシートの製造方法 |
-
1998
- 1998-01-26 JP JP1298898A patent/JPH11207723A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005276893A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Kyocera Corp | セラミック多層配線基板の製造方法 |
| JP2007045160A (ja) * | 2006-09-26 | 2007-02-22 | Toshiba Corp | セラミックス回路基板の製造方法 |
| JP2013208876A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-10 | Nippon Shokubai Co Ltd | セラミックシートの製造方法 |
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