JPH11197471A

JPH11197471A - 膜分離装置の洗浄方法

Info

Publication number: JPH11197471A
Application number: JP10007584A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Sato; 武佐藤; Kiyohito Chikasawa; 清仁近沢
Original assignee: Kurita Water Industries Ltd
Current assignee: Kurita Water Industries Ltd
Priority date: 1998-01-19
Filing date: 1998-01-19
Publication date: 1999-07-27

Abstract

(57)【要約】【課題】膜分離装置の薬品洗浄後の洗浄薬液の押し出
しを効率的に行って、押出水量の低減を図ると共に、運
転再開時の透過水のｐＨ異常を防止し、処理水の採水を
運転再開後、早期に行えるようにする。【解決手段】膜分離装置を薬品洗浄した後、工業用水
で押し出し洗浄し、その後、汚泥側に汚泥を通水して汚
泥側の洗浄薬液を押し出す。透過水側の洗浄薬液は、汚
泥側に汚泥を通水し、汚泥側から透過水側へ膜を透過し
た透過水で押し出す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は膜分離装置の洗浄方
法に係り、特に、凝集汚泥等の汚泥を膜分離処理してい
る膜分離装置の薬品洗浄に当り、薬品洗浄後、装置内に
残留する洗浄薬品を効率的に系外に排出する膜分離装置
の洗浄方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】凝集汚泥等の汚泥の固液分離手段として
のＵＦ（限外濾過）膜分離装置又はＭＦ（精密濾過）膜
分離装置には、循環槽を設けない省エネルギー型のルー
プ方式と通常型の循環槽方式とがある。また、膜モジュ
ールの接続方法についても、多数の膜モジュールを並列
に接続したものと、直列と並列とを組み合せたものとが
ある。

【０００３】汚泥の膜分離を行う膜分離装置では、運転
を継続することにより、膜モジュールの膜面に濃縮汚泥
のケーキ層が付着堆積し、膜孔の目詰りで膜の透過流束
が低下してくる。このため、その方式、膜モジュールの
接続方法に係わらず、運転を停止して、汚泥側に洗浄薬
液を循環させ、更には必要に応じて透過水側にも洗浄薬
液を循環させる薬品洗浄を定期的に行うことにより、膜
性能を回復させる必要がある。

【０００４】薬品洗浄に当っては、汚泥又は透過水側に
洗浄薬液（例えば、２〜８重量％ＮａＯＨ水溶液又は２
〜７重量％ＨＣｌ水溶液）を循環させて洗浄した後、洗
浄薬液をブロー排出し、その後工業用水等の清澄水を３
０分〜１時間流して押し出し洗浄する。この押し出し洗
浄後、運転を再開する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】一般に膜分離装置の汚
泥循環ライン又は透過水抜出ラインと、洗浄薬液及び押
出水の循環ラインは、配管接続の都合上若干異なるもの
となり、汚泥循環ライン及び透過水抜出ラインには、洗
浄薬液及び押出水の循環ラインに開口していても洗浄薬
液及び押出水が流れない部分（以下「デッドスペース」
と称す。）が存在する。このデッドスペースは洗浄薬液
の循環ラインに開口しているため、薬品洗浄時には、デ
ッドスペースに洗浄薬液が拡散する。デッドスペースに
拡散した洗浄薬液は、押出水で押し出すことができず、
運転再開時において、デッドスペース内の液は、洗浄薬
液による酸性又はアルカリ性となっている。

【０００６】このため、運転再開初期には、デッドスペ
ースに存在する酸性又はアルカリ性の薬液が透過水側に
徐々に放出されるようになる。このデッドスペースに残
留する洗浄薬液の影響は長時間に亘るため、許容ｐＨ範
囲（ｐＨ４〜８）の処理水を得ることができるようにな
るまでに、かなりの長時間を要するようになる。例え
ば、洗浄薬液を循環させた後３０分〜１時間程度押し出
し洗浄を行っても、透過水が許容ｐＨ範囲となるまで
に、運転再開後１〜３時間を要している。この許容ｐＨ
範囲を外れる透過水は、前処理工程へ返送して再度処理
することとなり、被処理排水量の増大を招く。

【０００７】押し出し洗浄時間を長くすることでデッド
スペース内に拡散した洗浄薬液をある程度押し出すこと
はできるが、この場合には大量の押出水を必要とする上
に、大量の押出水で押し出し洗浄しても、押出水はデッ
ドスペース内に殆ど流入しないため、十分な効果は得ら
れない。

【０００８】本発明は上記従来の問題点を解決し、膜分
離装置の薬品洗浄後の洗浄薬液の押し出しを効率的に行
って、押出水量の低減を図ると共に、運転再開時の透過
水のｐＨ異常を防止し、処理水の採水を運転再開後早期
に行える膜分離装置の洗浄方法を提供することを目的と
する。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１の膜分離装置の
洗浄方法は、汚泥を膜分離処理する膜分離装置を洗浄す
る方法において、膜分離装置の原水側を洗浄薬液で洗浄
し、次いで、原水側の洗浄薬液を水で押し出した後、汚
泥で押し出すことを特徴とする。

【００１０】請求項２の膜分離装置の洗浄方法は、汚泥
を膜分離処理する膜分離装置を洗浄する方法において、
膜分離装置の透過水側を洗浄薬液で洗浄し、次いで透過
水側の洗浄薬液を水で押し出した後、原水側に汚泥を通
水し膜を透過した透過水で押し出すことを特徴とする。

【００１１】請求項１の膜分離装置の洗浄方法によれ
ば、汚泥循環側のデッドスペースに残留する洗浄薬液を
汚泥により押し出した後運転を再開するための、運転再
開時の透過水のｐＨ異常の問題は殆どなく、直ちに処理
水を採水することが可能となる。

【００１２】また、請求項２の膜分離装置の洗浄方法で
は、汚泥を膜に透過させ、その透過水で透過水側のデッ
ドスペースに残留する洗浄薬液を押し出した後運転を再
開するため、運転再開時の透過水のｐＨ異常の問題は殆
どなく、直ちに処理水を採水することが可能となる。

【００１３】ところで、薬品洗浄時には、膜の内部（膜
孔の内部）にも洗浄薬液が拡散する。そして、この膜内
に拡散した洗浄薬液は、運転再開時に透過水側に押し出
されるため、従来においては、再開初期に得られる透過
水は、洗浄薬液による強アルカリ性又は強酸性を示すも
のとなり、処理水として採水することができなかった。
しかし、請求項２の方法であれば、この膜内の洗浄薬液
をも押し出すことができ、膜内の洗浄薬液による処理水
のｐＨ異常も防止される。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下に図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。

【００１５】まず、図１〜５を参照して、膜モジュール
を直列及び並列に接続したループ方式の膜分離装置に本
発明を適用した例を示す。

【００１６】図１〜５は、それぞれ、同一の膜分離装置
の凝集汚泥の運転（膜分離処理）時（図１）、薬品洗浄
（洗浄薬液循環）時（図２）、押し出し洗浄時（図
３）、汚泥側押し出し処理時（図４）及び透過水側押し
出し処理時（図５）を示し、図１〜５において、太線の
ラインが液の流れている部分を示す。また、黒塗りされ
た弁は開状態を示し、白抜きの弁は閉状態を示す。

【００１７】この膜分離装置は合計６個の膜モジュール
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，２Ａ，２Ｂ，２Ｃを備えている。図
中、３Ａは入口マニホルド、３Ｂは中間マニホルド、３
Ｃは出口マニホルドであり、４は洗浄水槽、５は工業用
水槽、６はスクリーン、Ｐ₁は補給ポンプ、Ｐ₂は循環
ポンプ、Ｐ₃は洗浄ポンプ、Ｆ₁，Ｆ₂，Ｆ₃は流量計
である。また、Ｖ_A1〜Ｖ_A5は空気抜き弁、Ｖ_C1，Ｖ_C2は
定流量弁、Ｖ_F1，Ｖ_F2は流量調整弁、Ｖ_Pは圧力調整
弁、Ｖ_Rは逆止弁、Ｖ_H1〜Ｖ_H3は手動弁、Ｖ₁〜Ｖ₃₈は
自動弁である（なお、図中、弁Ｖ_H3と流量計Ｆ₃を設け
た場合には、弁Ｖ_H1，Ｖ_H2及び流量計Ｆ₁，Ｆ₂は省略
できる。逆に、弁Ｖ_H1，Ｖ_H2及び流量計Ｆ₁，Ｆ₂があ
れば、弁Ｖ_H3と流量計Ｆ₃は省略可能である。また、流
量計Ｆ₁，Ｆ₂，Ｆ₃は必ずしも必要とされず、なくて
も良い。）。

【００１８】凝集汚泥の膜分離処理時には、図１に示す
如く、補給ポンプＰ₁により導入した凝集汚泥を、出口
マニホルド３Ｃ側から返送される濃縮汚泥と共に、循環
ポンプＰ₂によりスクリーン６を経て入口マニホルド３
Ａに供給し、入口マニホルド３Ａから１段目の膜モジュ
ール１Ａ，１Ｂ，１Ｃに供給する。膜モジュール１Ａ〜
１Ｃの透過水は処理水として系外へ排出し、濃縮汚泥は
中間マニホルド３Ｂを経て２段目の膜モジュール２Ａ，
２Ｂ，２Ｃに供給する。膜モジュール２Ａ〜２Ｃの透過
水は処理水として系外へ排出し、濃縮汚泥は出口マニホ
ルド３Ｃを経て、一部を前段の凝集工程へ返送し、残部
を循環ポンプＰ₂の上流側へ返送する。

【００１９】薬品洗浄時においては図２に示す如く、汚
泥側の薬品洗浄を行うときには、洗浄ポンプＰ₃によ
り、洗浄薬液槽４内の洗浄薬液を入口マニホルド３Ａ、
膜モジュール１Ａ，１Ｂ，１Ｃの汚泥側、中間マニホル
ド３Ｂ、膜モジュール２Ａ，２Ｂ，２Ｃの汚泥側、出口
マニホルド３Ｃ及び洗浄薬液槽４に循環させる。また、
透過水側の薬品洗浄を行うときには、ポンプＰ₃により
洗浄薬液槽４内の洗浄薬液を膜モジュール１Ａ，１Ｂ，
１Ｃの透過水側、膜モジュール２Ａ，２Ｂ，２Ｃの透過
水側及び洗浄薬液槽４に循環させる。

【００２０】この汚泥側の薬品洗浄と透過水側の薬品洗
浄は同時に行っても良く、順次行っても良い。また、汚
泥側又は透過水側のみ薬品洗浄を行っても良い。

【００２１】その後の洗浄薬液の押し出し洗浄時には、
図３に示す如く、ポンプＰ₃により、工業用水槽５内の
工業用水を入口マニホルド３Ａ、膜モジュール１Ａ，１
Ｂ，１Ｃの汚泥側、中間マニホルド３Ｂ、膜モジュール
２Ａ，２Ｂ，２Ｃの汚泥側、出口マニホルド３Ｃに流し
て弁Ｖ₂₃側から排出して汚泥側の洗浄薬液を押し出す。
また、ポンプＰ₃により、工業用水槽５内の工業用水を
膜モジュール１Ａ，１Ｂ，１Ｃの透過水側に流し更に洗
浄薬液槽４の弁Ｖ₂₆から排出して透過水側の洗浄薬液を
押し出す。

【００２２】この押し出し洗浄も汚泥側と透過水側とで
同時に行っても良く順次行っても良い。

【００２３】従来法では、この押し出し洗浄後、運転を
再開していたため、汚泥側では、バルブＶ₁の下流側の
Ｄ₁の部分及びバルブＶ₂₈の上流側のＤ₂の部分が、ま
た、透過水側では、処理水取り出し側のＤ₃，Ｄ₄の部
分が、それぞれデッドスペースとなり、薬品洗浄時に拡
散した洗浄薬液が残留していた。

【００２４】本発明では、この押し出し洗浄後、図４，
５に示す如く、汚泥による押し出し処理を行う。

【００２５】即ち、汚泥側の押し出し処理に当っては、
図４に示す如く、まず、補給ポンプＰ₁により、汚泥を
入口マニホルド３Ａ、膜モジュール１Ａ，１Ｂ，１Ｃの
汚泥側、中間マニホルド３Ｂ、膜モジュール２Ａ，２
Ｂ，２Ｃの汚泥側、出口マニホルド３Ｃの順で流し、弁
Ｖ₂₃側から排出する（このとき、弁Ｖ₂₈は閉）。次い
で、弁Ｖ₂₃を閉、弁Ｖ₂₈，Ｖ₂₉を開として、汚泥の排出
先を切り換え、入口マニホルド３Ａ、膜モジュール１
Ａ，１Ｂ，１Ｃの汚泥側、中間マニホルド３Ｂ、膜モジ
ュール２Ａ，２Ｂ，２Ｃの汚泥側、出口マニホルド３Ｃ
の順で流した汚泥を弁Ｖ₂₉側から排出する。これによ
り、デッドスペースＤ₁，Ｄ₂部分の洗浄薬液を系外へ
押し出すことができる。

【００２６】また、透過水側の押し出し処理に当って
は、図５に示す如く、補給ポンプＰ₁，循環ポンプＰ₂
を作動させて、汚泥を入口マニホルド３Ａから膜モジュ
ール１Ａ，１Ｂ，１Ｃに供給し、各膜モジュールの汚泥
側から透過水側へ透過した液を弁Ｖ₁₈側から系外へ排出
する。また、膜モジュール１Ａ，１Ｂ，１Ｃの汚泥側の
液を中間マニホルド３Ｂを経て膜モジュール２Ａ，２
Ｂ，２Ｃに供給し、各膜モジュールの汚泥側から透過水
側へ透過した液を弁Ｖ₂₁側から系外へ排出する。このと
き、過度に多量の液が系外に排出することがないよう
に、手動弁Ｖ_H1，Ｖ_H2，Ｖ_H3により流量を制御する。こ
の流量は、運転時の処理水流量の設定値以下となるよう
に、制御される。この流量制御はオリフィス等によって
行っても良い。なお、膜モジュール２Ａ，２Ｂ，２Ｃの
汚泥側の液は循環ポンプＰ₂の上流側へ循環する。これ
によりデッドスペースＤ₃，Ｄ₄部分の洗浄薬液を系外
へ押し出すことができる。また、この押し出し処理によ
れば、膜内に残留する洗浄薬液をも系外へ押し出すこと
ができる。

【００２７】本発明方法による通常の薬品洗浄は、図２
の洗浄薬液循環後、図３の汚泥側の押し出し洗浄、図３
の透過水側の押し出し洗浄、図４の汚泥側の押し出し処
理及び図５の透過水側の押し出し処理の順で行われ、こ
のような押し出し処理を行うことにより、洗浄薬液を完
全に系外へ排出することができ、運転再開時には、直ち
に処理水の採水を行うことが可能となる。

【００２８】上記押し出し洗浄及び押し出し処理の切り
換えはタイマー設定で行うことができる。

【００２９】次に、図６〜１０を参照して、膜モジュー
ルを直列に接続した循環槽方式の膜分離装置に本発明を
適用した例を示す。

【００３０】図６〜１０は、それぞれ、同一の膜分離装
置の凝集汚泥の運転（膜分離処理）時（図６）、薬品洗
浄（洗浄薬液循環）時（図７）、押し出し洗浄時（図
８）、汚泥側押し出し処理時（図９）及び透過水側押し
出し処理時（図１０）を示し、図６〜１０において、太
線のラインが液の流れている部分を示す。また、黒塗り
された弁は開状態を示し、白抜きの弁は閉状態を示す。
また、図６〜１０において図１〜５に示す部材と同一機
能を奏する部材には同一符号を付してある。なお、７は
汚泥循環槽、Ｐ₄は押出ポンプ、Ｖ₄₀，Ｖ₄₁，Ｖ₄₂，Ｖ
₄₃は弁である。

【００３１】凝集汚泥の膜分離処理時には、図６に示す
如く、汚泥循環槽７内の凝集汚泥を、循環ポンプＰ₂に
より１段目の膜モジュール１Ａに供給する。膜モジュー
ル１Ａの透過水は処理水として系外へ排出し、濃縮汚泥
は２段目の膜モジュール２Ａに供給する。膜モジュール
２Ａの透過水は処理水として系外へ排出し、濃縮汚泥は
一部を前段の凝集工程へ返送し、残部を汚泥循環槽７に
循環する。

【００３２】薬品洗浄時においては、図７に示す如く、
汚泥側の薬品洗浄を行うときには、洗浄ポンプＰ₃によ
り、洗浄薬液槽４内の洗浄薬液を膜モジュール１Ａの汚
泥側、膜モジュール２Ａの汚泥側及び洗浄薬液槽４に循
環させる。また、透過水側の薬品洗浄を行うときには、
ポンプＰ₃により洗浄薬液槽４内の洗浄薬液を膜モジュ
ール１Ａ，１Ｂ，１Ｃの透過水側、膜モジュール２Ａ，
２Ｂ，２Ｃの透過水側及び洗浄薬液槽４に循環させる。

【００３３】この汚泥側の薬品洗浄と透過水側の薬品洗
浄は同時に行っても良く、順次行っても良い。また、汚
泥側又は透過水側のみ薬品洗浄を行っても良い。

【００３４】その後の洗浄薬液の押し出し洗浄時には、
図８に示す如く、ポンプＰ₃により、工業用水槽５内の
工業用水を膜モジュール１Ａの汚泥側、膜モジュール２
Ａの汚泥側に流して弁Ｖ₂₃側から排出して汚泥側の洗浄
薬液を押し出す。また、ポンプＰ₃により、工業用水槽
５内の工業用水を膜モジュール１Ａ，２Ａの透過水側に
流し、更に洗浄薬液槽４の弁Ｖ₂₆から排出して透過水側
の洗浄薬液を押し出す。

【００３５】この押し出し洗浄も汚泥側と透過水側とで
同時に行っても良く順次行っても良い。

【００３６】従来法では、この押し出し洗浄後、運転を
再開していたため、汚泥側では、バルブＶ₁の下流側の
Ｄ₁の部分及びバルブＶ₂₈の上流側のＤ₂の部分が、ま
た、透過水側では、処理水取り出し側のＤ₃，Ｄ₄の部
分が、それぞれデッドスペースとなり、薬品洗浄時に拡
散した洗浄薬液が残留していた。

【００３７】本発明では、この押し出し洗浄後、図９，
１０に示す如く、汚泥による押し出し処理を行う。

【００３８】即ち、汚泥側の押し出し処理に当っては、
図９に示す如く、まず、押出ポンプＰ₄により、汚泥循
環槽７内の汚泥を膜モジュール１Ａの汚泥側、膜モジュ
ール２Ａの汚泥側の順で流し、弁Ｖ₂₃側から排出する
（このとき、弁Ｖ₂₈は閉）。次いで、弁Ｖ₂₃を閉、弁Ｖ
₂₈，Ｖ₂₉を開として、汚泥の排出先を切り換え、膜モジ
ュール１Ａの汚泥側、膜モジュール２Ａの汚泥側の順で
流した汚泥を弁Ｖ₂₉側から排出する。これにより、デッ
ドスペースＤ₁，Ｄ₂部分の洗浄薬液を系外へ押し出す
ことができる。

【００３９】また、透過水側の押し出し処理に当って
は、図１０に示す如く、循環ポンプＰ₂を作動させて、
汚泥循環槽７内の汚泥を膜モジュール１Ａに供給し、こ
の膜モジュール１Ａの汚泥側から透過水側へ透過した液
を弁Ｖ₁₈側から系外へ排出する。また、膜モジュール１
Ａの汚泥側の液を膜モジュール２Ａに供給し、膜モジュ
ール２Ａの汚泥側から透過水側へ透過した液を弁Ｖ₂₁側
から系外へ排出する。このとき、過度に多量の液が系外
に排出することがないように、手動弁Ｖ_H1，Ｖ_H2，Ｖ_H3
により流量を制御する。この流量は、運転時の処理水流
量の設定値以下となるように、制御される。この流量制
御もオリフィス等によって行っても良い。なお、膜モジ
ュール２Ａの汚泥側の液は汚泥循環槽７へ循環する。こ
れによりデッドスペースＤ₃，Ｄ₄部分の洗浄薬液を系
外へ押し出すことができる。また、この押し出し処理に
よれば、膜内に残留する洗浄薬液をも系外へ押し出すこ
とができる。

【００４０】本発明法による通常の薬品洗浄は、図７の
洗浄薬液循環後、図８の汚泥側の押し出し洗浄、図８の
透過水側の押し出し洗浄、図９の汚泥側の押し出し処理
及び図１０の透過水側の押し出し処理の順で行われ、こ
のような押し出し処理を行うことにより、洗浄薬液を完
全に系外へ排出することができ、運転再開時には、直ち
に処理水の採水を行うことが可能となる。

【００４１】この膜分離装置においても、押し出し洗浄
及び押し出し処理の切り換えはタイマー設定で行うこと
ができる。

【００４２】このような本発明の押し出し処理を採用す
ることにより、運転再開時の透過水のｐＨ異常は防止さ
れ、押し出し洗浄に必要とされる工業用水の量も大幅に
低減される。例えば、１０個の膜モジュールを備え、薬
品洗浄時の押し出し洗浄に当り、従来では２０ｍ³の工
業用水を必要としていた膜分離装置では、押し出し洗浄
時の工業用水の使用量を３〜４ｍ³程度に大幅に低減で
きる。

【００４３】本発明の膜分離装置の洗浄方法は、特に、
排煙脱硫排水の凝集処理汚泥等を膜分離処理する膜分離
装置の洗浄に有効である。

【００４４】

【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の膜分離装置
の洗浄方法によれば、膜分離装置の薬品洗浄後の洗浄薬
液の押し出しを効率的に行って、押出水量の低減を図る
と共に、運転再開時の透過水のｐＨ異常を防止し、処理
水の採水を運転再開後、早期に行えるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の膜分離装置の洗浄方法の実施の形態を
示すループ方式の膜分離装置の運転時を示す系統図であ
る。

【図２】本発明の膜分離装置の洗浄方法の実施の形態を
示すループ方式の膜分離装置の薬品洗浄時を示す系統図
である。

【図３】本発明の膜分離装置の洗浄方法の実施の形態を
示すループ方式の膜分離装置の押し出し洗浄時を示す系
統図である。

【図４】本発明の膜分離装置の洗浄方法の実施の形態を
示すループ方式の膜分離装置の汚泥側押し出し処理時を
示す系統図である。

【図５】本発明の膜分離装置の洗浄方法の実施の形態を
示すループ方式の膜分離装置の透過水側押し出し処理時
を示す系統図である。

【図６】本発明の膜分離装置の洗浄方法の別の実施の形
態を示す循環槽方式の膜分離装置の運転時を示す系統図
である。

【図７】本発明の膜分離装置の洗浄方法の別の実施の形
態を示す循環槽方式の膜分離装置の薬品洗浄時を示す系
統図である。

【図８】本発明の膜分離装置の洗浄方法の別の実施の形
態を示す循環槽方式の膜分離装置の押し出し洗浄時を示
す系統図である。

【図９】本発明の膜分離装置の洗浄方法の別の実施の形
態を示す循環槽方式の膜分離装置の汚泥側押し出し処理
時を示す系統図である。

【図１０】本発明の膜分離装置の洗浄方法の別の実施の
形態を示す循環槽方式の膜分離装置の透過水側押し出し
処理時を示す系統図である。

【符号の説明】

１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，２Ａ，２Ｂ，２Ｃ膜モジュール３Ａ入口マニホルド３Ｂ中間マニホルド３Ｃ出口マニホルド４洗浄薬液槽５工業用水槽６スクリーン７汚泥循環槽Ｐ₁ 補給ポンプＰ₂ 循環ポンプＰ₃ 洗浄ポンプ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】汚泥を膜分離処理する膜分離装置を洗浄
する方法において、膜分離装置の原水側を洗浄薬液で洗浄し、次いで、原水
側の洗浄薬液を水で押し出した後、汚泥で押し出すこと
を特徴とする膜分離装置の洗浄方法。
【請求項２】汚泥を膜分離処理する膜分離装置を洗浄
する方法において、膜分離装置の透過水側を洗浄薬液で洗浄し、次いで透過
水側の洗浄薬液を、水で押し出した後、原水側に汚泥を
通水し膜を透過した透過水で押し出すことを特徴とする
膜分離装置の洗浄方法。