JPH11186094A - Manufacture of stacked ceramic electronic part - Google Patents

Manufacture of stacked ceramic electronic part

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JPH11186094A
JPH11186094A JP35264097A JP35264097A JPH11186094A JP H11186094 A JPH11186094 A JP H11186094A JP 35264097 A JP35264097 A JP 35264097A JP 35264097 A JP35264097 A JP 35264097A JP H11186094 A JPH11186094 A JP H11186094A
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electrode
pattern
sheet
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恵一 中尾
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恭重 清水
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the manufacture of a stacked ceramic electronic part, capable of thinning and high integration of an electric body. SOLUTION: The process of transcribing a ceramic raw sheet onto a ceramic raw stack by heating and pressure-bonding an electrode embedded ceramic sheet, which is made by transcribing the ceramic raw sheet made on a second base film and a ceramic stripe pattern 16, at the same time onto plural electrode patterns 17 gravure-printed on a first base film 18, onto other ceramic stack from the base face of the ceramic raw sheet 15 after positioning without exfoliating it from the base film 14, thereby sticking the ceramic raw sheet 15 and the ceramic raw stuck fast to each other, and then exfoliating only the base film 14 is repeated several times.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、各種電子機器に用
いられる積層セラミック電子部品の製造方法に関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component used for various electronic devices.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、積層セラミックコンデンサは、各
種電子機器の小型化高性能化に伴い、一層の小型化、大
容量化、低コスト化が望まれてきた。このため、内部電
極を従来のパラジウムからニッケルに変更し、更に誘電
体の薄層化(焼成後2μm以下)及び高積層(300層
以上)が望まれているが、プロセスの複雑化や歩留まり
の低さに起因するコスト高が問題になっていた。
2. Description of the Related Art Conventionally, multilayer ceramic capacitors have been required to be further reduced in size, increased in capacity, and reduced in cost with the miniaturization and high performance of various electronic devices. For this reason, it is desired to change the internal electrode from the conventional palladium to nickel, and to further reduce the thickness of the dielectric (less than 2 μm after firing) and increase the number of layers (more than 300 layers). High cost due to lowness has been a problem.

【0003】従来より特公平5−25381号公報では
電極の転写方法が、特開平4−7577号公報ではグリ
ーンシートの熱転写方法がそれぞれ提案されている。図
9及び図10を用いてこれらをまとめて説明する。図9
(A)においてヒーター1は台2を一定温度に保ちなが
ら、その表面にグリーンシート3を固定している。また
ベースフィルム4の表面には電極5が形成されている。
また6はヒーターで熱盤7を一定の温度に保持する。次
に図9(B)に示すように熱盤7を上下させることで、
グリーンシート3の上に電極5を熱転写する。次に図9
(C)及び図9(D)に示すように、ベースフィルム4
上に形成されたセラミックグリーンシート8をグリーン
シート3及び電極5を覆うように熱転写する。
Conventionally, Japanese Patent Publication No. 5-25381 proposes an electrode transfer method, and Japanese Patent Laid-Open Publication No. Hei 4-7577 proposes a thermal transfer method of a green sheet. These will be described together with reference to FIG. 9 and FIG. FIG.
In (A), a heater 1 has a green sheet 3 fixed to the surface thereof while keeping a table 2 at a constant temperature. An electrode 5 is formed on the surface of the base film 4.
Reference numeral 6 denotes a heater for keeping the hot platen 7 at a constant temperature. Next, as shown in FIG. 9B, the hot platen 7 is moved up and down,
The electrode 5 is thermally transferred onto the green sheet 3. Next, FIG.
As shown in FIG. 9 (C) and FIG.
The ceramic green sheet 8 formed thereon is thermally transferred so as to cover the green sheet 3 and the electrode 5.

【0004】同様に図10(E)及び図10(F)に示
すように、ベースフィルム4上に形成された電極5をこ
の上に熱転写する。これらの工程を必要回数繰り返すこ
とで図10(G)に示すような積層体を形成した後、切
断位置9に沿って分割することで、図10(H)のよう
な電極5がグリーンシート8に内蔵された個片ができる
が、電極5の上下方向と左右方向でグリーンシートの密
度差が生じ易い。この個片は焼成され端面電極を形成す
ることで積層セラミック電子部品が完成する。
Similarly, as shown in FIGS. 10E and 10F, an electrode 5 formed on a base film 4 is thermally transferred thereon. These steps are repeated as many times as necessary to form a laminate as shown in FIG. 10 (G), and then divided along the cutting position 9 so that the electrode 5 as shown in FIG. However, a green sheet density difference is likely to occur between the vertical direction and the horizontal direction of the electrode 5. The individual pieces are fired to form end face electrodes, thereby completing a multilayer ceramic electronic component.

【0005】図11(A)はこうして作成された積層セ
ラミック電子部品の一例である積層セラミックコンデン
サの部分断面図である。図11(A)において、内部電
極10はセラミック層11の内部に数十から数百層埋め
込まれている。また端面電極12は、内部電極10に交
互に接続されている。
FIG. 11A is a partial cross-sectional view of a multilayer ceramic capacitor which is an example of the multilayer ceramic electronic component thus manufactured. In FIG. 11A, several tens to several hundreds of internal electrodes 10 are embedded in the ceramic layer 11. The end face electrodes 12 are alternately connected to the internal electrodes 10.

【0006】しかし図9(C)に示すように、ベースフ
ィルム4上に形成されたグリーンシート8は薄く均一な
厚みや均一な密度に形成されているため、図10(E)
から図10(G)に示すように、転写されたグリーンシ
ート8の表面には、埋め込まれた電極5の厚みに相当す
る凹凸が発生し、同時にセラミックグリーンシート3に
ピンホールやマイクロクラック(微小ヒビ)を発生させ
やすい。またここで発生したピンホールやマイクロクラ
ックは次の工程でも修復できない。こうして内部電極5
の積層数が増加するにつれて、凹凸が大きくなり、積層
不良やグリーンシートの密度ムラが更に多くなる可能性
がある。
However, as shown in FIG. 9C, since the green sheet 8 formed on the base film 4 is formed to be thin and uniform in thickness and uniform in density, FIG.
As shown in FIG. 10 (G), irregularities corresponding to the thickness of the embedded electrode 5 are generated on the surface of the transferred green sheet 8, and at the same time, pinholes or microcracks (fine cracks) are formed on the ceramic green sheet 3. Cracks are easily generated. The pinholes and microcracks generated here cannot be repaired in the next step. Thus, the internal electrode 5
As the number of stacked layers increases, the unevenness increases, and there is a possibility that lamination defects and density unevenness of the green sheet may increase.

【0007】図11(B)は不良の発生した積層セラミ
ックコンデンサの一例であり、図11(B)において1
3は側面ヒビと呼ばれる不良である。この側面ヒビ13
は外観上問題になると共に、その大きさ(あるいは深
さ)によっては、積層セラミック電子部品の信頼性にも
影響を与える。またこの側面ヒビ13は、セラミック層
11の上下外面に発生することは殆ど無く、セラミック
層の側面に発生しやすいことが経験的に知られている。
更にこの側面ヒビ13は、内部電極10を200層以上
(特に500層以上)積層した際に発生しやすいことか
ら、図9及び図10で説明したような現象がその発生原
因に有ることが考えられる。
FIG. 11B shows an example of a multilayer ceramic capacitor in which a defect has occurred.
3 is a defect called a lateral crack. This side crack 13
Not only poses a problem in appearance but also affects the reliability of the multilayer ceramic electronic component depending on its size (or depth). It is empirically known that the side cracks 13 hardly occur on the upper and lower outer surfaces of the ceramic layer 11 and easily occur on the side surfaces of the ceramic layer.
Further, since the side cracks 13 are likely to occur when the internal electrodes 10 are stacked in 200 layers or more (especially 500 layers or more), it is considered that the phenomenon described with reference to FIGS. Can be

【0008】そこで、発明者らによって特開平1−22
6131号公報では、電極埋込みセラミックグリーンシ
ートを熱転写する方法が提案されているが、グリーンシ
ートに厚みムラが発生し易い。また特開平8−2503
70号公報では、誘電体グリーンシート上に逆パターン
をグラビア印刷方法で印刷しながら積層する方法が提案
されているが、この場合も、電極インキ中に含まれてい
る溶剤によって、グリーンシートが膨潤し、ショートす
る可能性がある。
[0008] Then, the inventors disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-222.
No. 6131 proposes a method of thermally transferring a ceramic green sheet with embedded electrodes, but the green sheet tends to have uneven thickness. Also, Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-2503
No. 70 proposes a method of laminating a reverse pattern on a dielectric green sheet while printing it by a gravure printing method. In this case, however, the solvent contained in the electrode ink causes the green sheet to swell. Short circuit.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】電極埋込みセラミック
生シートをセラミック生積層体上に熱転写する積層方法
の場合、電極埋込みセラミック生シートの表面を高度に
平坦化しておかないと、誘電体の薄層化や積層数の増加
につれて、内部電極の重なり部分の凹凸が大きくなり、
出来上がった積層セラミック電子部品の側面ヒビが発生
しやすくなる課題があった。また埋め込まれた電極の凹
凸を少なくするため、電極間(電極パターンと電極パタ
ーンの隙間)に、誘電体インキで逆パターンを印刷する
ことも行われたが、グリーンシートが膨潤し、ショート
する可能性がある。
In the case of a laminating method in which a ceramic green sheet with embedded electrodes is thermally transferred onto a ceramic green laminate, a thin layer of a dielectric material must be obtained unless the surface of the green ceramic sheet with embedded electrodes is highly planarized. With the increase in the number of layers and the number of layers, the unevenness of the overlapping part of the internal electrodes increases,
There is a problem that side cracks are likely to occur in the completed multilayer ceramic electronic component. In order to reduce the unevenness of the embedded electrode, a reverse pattern was printed with dielectric ink between the electrodes (gap between the electrode patterns), but the green sheet swelled and could be short-circuited. There is.

【0010】本発明は、上記従来の課題を解決するため
のものであり、電極埋込みセラミックグリーンシートの
熱転写方法を改善することにより、生産性を高め、電体
の薄層化、高積層化にも対応できる誘電体セラミック電
子部品の製造方法を提供することを目的とするものであ
る。
The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems. By improving the thermal transfer method of a ceramic green sheet with an embedded electrode, it is possible to increase productivity and reduce the thickness and the number of layers of an electric body. It is another object of the present invention to provide a method of manufacturing a dielectric ceramic electronic component that can cope with the above.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、従来の電極埋込みセラミック生シートの積
層の際に問題になっていた、内部電極の凹凸を無くすた
めに、電極インキの間にセラミックストライプパターン
を形成し、更に他のベースフィルム上で作成したセラミ
ック生シートを、この上に転写して作成した電極埋込み
セラミック生シートを、必要枚数積層するものであり、
これにより誘電体層の厚みが10μm以下と薄くても、
凹凸や積層ヒビを発生させることなく300層以上の高
積層の積層セラミック電子部品を高歩留まりで製造する
ことができる。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention provides a method of forming an electrode ink in order to eliminate the unevenness of the internal electrodes, which has been a problem when laminating a conventional ceramic sheet with embedded electrodes. A ceramic stripe pattern is formed in between, and a ceramic raw sheet created on another base film is transferred onto the ceramic raw sheet, and the required number of ceramic embedded sheets made by embedding electrodes are laminated.
Thereby, even if the thickness of the dielectric layer is as thin as 10 μm or less,
A multilayer ceramic electronic component having a high lamination of 300 or more layers can be manufactured with a high yield without generating irregularities or lamination cracks.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】請求項1に記載の発明は、第1の
ベースフィルム上のグラビア印刷された電極パターン上
に、第2のベースフィルムより厚み10μm以下のセラ
ミック生シート及び等ピッチのセラミックストライプパ
ターンを転写して電極埋込みセラミック生シートを作成
し、この電極埋込みセラミック生シートを他のセラミッ
ク生積層体の上に位置合わせした後、前記電極埋込みセ
ラミック生シートのベース面から、加熱圧着させること
で、前記セラミック生シートと前記セラミック生積層体
を密着させた後、前記電極埋込みセラミック生シートの
ベース面から、加熱圧着させて前記セラミック生シート
と前記セラミック生積層体を密着させ、前記ベースフィ
ルムのみを剥離する一連の工程を、複数回繰り返した
後、出来上がったセラミック生積層体を所定形状に切断
し、焼成、端面電極を形成する積層セラミック電子部品
の製造方法であり、電極パターンをグラビア印刷するこ
とで従来のスクリーン印刷法で問題になった印刷ずれを
防止し、セラミックストライプパターンで電極パターン
の凹凸を低減しながら均一な厚みのセラミック生シート
を転写することで、より積層セラミック電子部品の薄層
化及び高積層化時の生産コスト及び歩留まりを向上でき
るという作用を有する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The invention according to claim 1 is characterized in that a ceramic raw sheet having a thickness of 10 .mu.m or less and a ceramic having an equal pitch are formed on a gravure-printed electrode pattern on a first base film. The stripe-embedded raw ceramic sheet is formed by transferring the stripe pattern, and the raw ceramic sheet with the embedded electrodes is positioned on another ceramic green laminate, and then heat-pressed from the base surface of the raw ceramic sheet with embedded electrodes. Thus, after the ceramic green sheet and the ceramic green laminate are brought into close contact with each other, the ceramic raw sheet and the ceramic green laminate are brought into close contact with each other by heating and pressing from the base surface of the electrode embedded ceramic green sheet, After repeating a series of steps of peeling only the film several times, This is a method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component that cuts a MIC raw laminate into a predetermined shape, fires it, and forms an end face electrode, and prevents printing misalignment that has been a problem with the conventional screen printing method by gravure printing the electrode pattern Then, by transferring a ceramic raw sheet having a uniform thickness while reducing unevenness of the electrode pattern by the ceramic stripe pattern, it is possible to further improve the production cost and yield when the multilayer ceramic electronic component is thinned and highly laminated. Has an action.

【0013】請求項2に記載の発明は、等ピッチのセラ
ミックストライプパターンと、前記セラミックパターン
を挟んでグラビア印刷された電極パターンの形成された
第1のベースフィルムの上に、前記セラミックパターン
及び前記電極パターンを覆うように第2のベースフィル
ムの上に形成された10μm以下のセラミック生シート
を転写した後に第2のベースフィルムを剥離して作成し
た電極埋込みセラミック生シートを、他のセラミック生
積層体の上に位置合わせした後、前記電極埋込みセラミ
ック生シートのベース面から、加熱圧着させて前記セラ
ミック生シートと前記セラミック生積層体を密着させ、
前記ベースフィルムのみを剥離する一連の工程を、複数
回繰り返した後、出来上がったセラミック生積層体を所
定形状に切断し、焼成、端面電極を形成する積層セラミ
ック電子部品の製造方法に関するものであり、電極パタ
ーンをグラビア印刷することで従来のスクリーン印刷法
で問題になった印刷ずれを防止し、セラミックストライ
プパターンで電極パターンの凹凸を低減し、更にこの上
に均一な厚みのセラミック生シートを転写することで、
より積層セラミック電子部品の薄層化及び高積層化時の
生産コスト及び歩留まりを向上できるという作用を有す
る。
According to a second aspect of the present invention, the ceramic pattern and the ceramic pattern are formed on a first base film on which a ceramic stripe pattern having an equal pitch and an electrode pattern gravure printed with the ceramic pattern interposed therebetween. A ceramic raw sheet with embedded electrodes formed by transferring a ceramic raw sheet of 10 μm or less formed on the second base film so as to cover the electrode pattern and then peeling the second base film is laminated with another ceramic raw laminate After positioning on the body, from the base surface of the electrode-embedded ceramic raw sheet, the ceramic raw sheet and the ceramic green laminate are brought into close contact with each other by heating and pressing,
A series of steps of peeling only the base film, after repeating a plurality of times, cutting the finished ceramic green laminate into a predetermined shape, firing, relates to a method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component to form an end face electrode, The gravure printing of the electrode pattern prevents print misalignment that has been a problem with conventional screen printing methods, reduces the unevenness of the electrode pattern with a ceramic stripe pattern, and transfers a ceramic raw sheet of uniform thickness onto this. By that
This has the effect of improving the production cost and yield when the multilayer ceramic electronic component is made thinner and more highly laminated.

【0014】請求項3に記載の発明は、第1のベースフ
ィルム上のグラビア印刷された電極パターンを覆うよう
に、第2のベースフィルム上の厚み10μm以下のセラ
ミック生シートと、第3のベースフィルム上のセラミッ
クストライプパターンを転写した後に第2のベースフィ
ルムを剥離して作成した電極埋込みセラミック生シート
を作成し、この電極埋込みセラミック生シートを他のセ
ラミック生積層体の上に位置合わせした後、前記電極埋
込みセラミック生シートのベース面から、加熱圧着させ
て前記セラミック生シートと前記セラミック生積層体を
密着させ、前記ベースフィルムのみを剥離する一連の工
程を、複数回繰り返した後、出来上がったセラミック生
積層体を所定形状に切断し、焼成、端面電極を形成する
積層セラミック電子部品の製造方法であり、電極パター
ンをグラビア印刷することで従来のスクリーン印刷法で
問題になった印刷ずれを防止し、セラミックストライプ
パターンで電極パターンの凹凸を低減し、更にこの上に
均一な厚みのセラミック生シートを転写することで、よ
り積層セラミック電子部品の薄層化及び高積層化時の生
産コスト及び歩留まりを向上できるという作用を有す
る。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a ceramic base sheet having a thickness of 10 μm or less on a second base film so as to cover a gravure-printed electrode pattern on the first base film; After transferring the ceramic stripe pattern on the film, the second base film is peeled off to form an embedded ceramic raw sheet, which is formed, and the electrode embedded ceramic raw sheet is positioned on another ceramic raw laminate. From a base surface of the electrode-embedded ceramic raw sheet, the ceramic green sheet and the ceramic green laminate were brought into close contact with each other by heating and pressure bonding, and a series of steps of peeling off only the base film were repeated a plurality of times, and thus completed. The ceramic laminate is cut into a predetermined shape, fired, and laminated ceramic electrodes are formed to form end electrodes. This is a method of manufacturing parts, and gravure printing of the electrode pattern prevents printing misregistration that has been a problem with conventional screen printing, reduces the unevenness of the electrode pattern with a ceramic stripe pattern, and has a uniform thickness on this By transferring the ceramic green sheet, the production cost and yield can be improved when the multilayer ceramic electronic component is made thinner and more highly laminated.

【0015】請求項4に記載の発明は、第1のベースフ
ィルム上のグラビア印刷された電極パターンの上に、セ
ラミック生シートもしくはセラミックストライプパター
ンを転写する際に、ロール転写装置を用いる積層セラミ
ック電子部品の製造方法であり、ロール転写装置を用い
ることで、連続的に電極埋込みセラミック生シートを製
造でき、生産コスト及び歩留まりを向上できるという作
用を有する。
According to a fourth aspect of the present invention, when a ceramic green sheet or a ceramic stripe pattern is transferred onto a gravure printed electrode pattern on a first base film, a multilayer ceramic electronic device using a roll transfer device is used. This is a method for manufacturing a component, and has the effect of using a roll transfer device to continuously manufacture an electrode-embedded ceramic raw sheet, thereby improving production cost and yield.

【0016】請求項5に記載の発明は、電極パターン
は、15μm以上の大きさの凝集体が除去された、少な
くとも樹脂と溶剤と直径1μm以下の金属粉を含む10
ポイズ以下の粘度の電極インキを、グラビア印刷する請
求項1から3のいずれかに記載の積層セラミック電子部
品の製造方法であり、従来のスクリーン印刷では粘度が
低すぎて印刷不能であった低粘度の電極インキを用いる
ことで従来のスクリーン印刷では不可能であった15μ
m以上の大きさの凝集体も除去でき、更にグラビア印刷
することで印刷パターンの変形を最小限に抑えられ、積
層セラミック電子部品の薄層化及び高積層化時の生産コ
スト及び歩留まりを向上できるという作用を有する。
According to a fifth aspect of the present invention, the electrode pattern includes at least a resin, a solvent, and metal powder having a diameter of 1 μm or less, from which aggregates having a size of 15 μm or more have been removed.
The method for producing a multilayer ceramic electronic component according to any one of claims 1 to 3, wherein the electrode ink having a viscosity equal to or less than a poise is gravure-printed. 15μ which was impossible with conventional screen printing by using electrode ink of
It is also possible to remove aggregates having a size of m or more, and further minimize the deformation of the printed pattern by performing gravure printing, thereby improving the production cost and yield when the multilayer ceramic electronic component is thinned and highly laminated. It has the action of:

【0017】請求項6に記載の発明は、セラミックスト
ライプパターンは、15μm以上の大きさの凝集体が除
去された、少なくとも樹脂と溶剤とセラミック粉を含む
粘度20ポイズ以下のセラミックインキがグラビア印刷
されたものである請求項1から3のいずれかに記載の積
層セラミック電子部品の製造方法であり、従来のスクリ
ーン印刷では粘度が低すぎて印刷不能であった低粘度の
セラミックインキを用いることで従来のスクリーン印刷
では不可能であった15ミクロン以上の大きさの凝集体
を除去でき、更にグラビア印刷することで、電極パター
ンと同じ高精度でセラミックストライプパターンが印刷
形成でき、積層セラミック電子部品の薄層化及び高積層
化時の生産コスト及び歩留まりを向上できるという作用
を有する。
According to a sixth aspect of the present invention, the ceramic stripe pattern is formed by gravure printing a ceramic ink having a viscosity of 20 poise or less containing at least a resin, a solvent and a ceramic powder, from which aggregates having a size of 15 μm or more have been removed. The method for producing a multilayer ceramic electronic component according to any one of claims 1 to 3, which uses a low-viscosity ceramic ink which has a viscosity that is too low in conventional screen printing and cannot be printed. Aggregates with a size of 15 microns or more, which were impossible with conventional screen printing, can be removed. By gravure printing, a ceramic stripe pattern can be formed by printing with the same high precision as the electrode pattern. This has the effect of improving the production cost and yield during layering and high lamination.

【0018】請求項7に記載の発明は、セラミックスト
ライプパターンのピッチと、電極パターンのピッチが一
致しており、セラミックストライプパターンの厚みと電
極パターンの厚み差は5μm以下である請求項1から3
のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造方法
であり、こうして電極パターンとセラミックパターンの
厚み差を小さくし、積層時の電極厚みに起因する凹凸の
発生を低減でき、積層セラミック電子部品の薄層化及び
高積層化時の生産コスト及び歩留まりを向上できるとい
う作用を有する。
According to a seventh aspect of the present invention, the pitch of the ceramic stripe pattern and the pitch of the electrode pattern match, and the difference between the thickness of the ceramic stripe pattern and the thickness of the electrode pattern is 5 μm or less.
Wherein the thickness difference between the electrode pattern and the ceramic pattern is reduced, the occurrence of irregularities due to the electrode thickness during lamination can be reduced, and the thickness of the multilayer ceramic electronic component can be reduced. This has the effect of improving the production cost and yield during layering and high lamination.

【0019】請求項8に記載の発明は、セラミックスト
ライプパターンは、15ミクロン以上の大きさの凝集体
が除去された、少なくとも樹脂と溶剤と可塑剤とセラミ
ック粉を含む粘度20ポイズ以下のセラミックインキ
が、グラビア印刷されたものである請求項1から3のい
ずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造方法であ
り、セラミックストライプパターンもグラビア印刷する
ことで、従来のスクリーン印刷法で問題になった印刷ず
れを防止し、セラミックストライプパターンで電極パタ
ーンの凹凸を低減し、更にセラミック生シートに埋め込
むことで、より積層セラミック電子部品の薄層化及び高
積層化時の生産コスト及び歩留まりを向上できるという
作用を有する。
According to a preferred embodiment of the present invention, the ceramic stripe pattern is a ceramic ink having a viscosity of 20 poise or less containing at least a resin, a solvent, a plasticizer, and ceramic powder, from which aggregates having a size of 15 μm or more have been removed. Is a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to any one of claims 1 to 3, wherein the ceramic stripe pattern is also gravure-printed. By preventing printing misalignment, reducing the unevenness of the electrode pattern with a ceramic stripe pattern, and embedding it in a ceramic raw sheet, it is possible to improve the production cost and yield when thinning and high lamination of multilayer ceramic electronic components. Has an action.

【0020】請求項9に記載の発明は、セラミックスト
ライプパターンは、15μm以上の大きさの凝集体が除
去された、少なくとも樹脂と溶剤と可塑剤とセラミック
粉を含むセラミックインキが転写フィルム上にグラビア
印刷された後、前記転写フィルムからベースフィルムも
しくはセラミック生シートの上に転写されたものである
請求項1から3のいずれかに記載の積層セラミック電子
部品の製造方法であり、セラミックストライプパターン
を転写することにより、セラミックインキを直接印刷す
る際に問題になるインキ溶剤の影響を最小限に抑えるこ
とができ、積層セラミック電子部品の薄層化及び高積層
化時の生産コスト及び歩留まりを向上できるという作用
を有する。グラビア印刷時のベースフィルムの左右での
張力のバラツキを低減することで電極パターンとセラミ
ックパターンの印刷精度を改善でき、更に印刷生産性も
向上するものであり、これにより積層セラミック電子部
品の薄層化及び高積層化時の生産コスト及び歩留まりを
向上できるという作用を有する。
According to a ninth aspect of the present invention, in the ceramic stripe pattern, a ceramic ink containing at least a resin, a solvent, a plasticizer, and ceramic powder from which an agglomerate having a size of 15 μm or more has been removed is gravure on a transfer film. 4. The method for producing a multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the ceramic stripe pattern is transferred from the transfer film onto a base film or a ceramic green sheet after being printed. By doing so, it is possible to minimize the influence of the ink solvent, which becomes a problem when printing ceramic ink directly, and to improve the production cost and yield when thinning and high stacking of multilayer ceramic electronic components. Has an action. By reducing the variation in tension between the left and right sides of the base film during gravure printing, the printing accuracy of the electrode pattern and the ceramic pattern can be improved, and the printing productivity can be improved. This has the effect of improving the production cost and yield during high integration and high lamination.

【0021】請求項10に記載の発明は、セラミックス
トライプパターンは、15ミクロン以上の大きさの凝集
体が除去された、少なくとも樹脂と溶剤と可塑剤とセラ
ミック粉を含むセラミックスラリーが、電極パターンも
しくはセラミックストライプパターンの上に、少なくと
も1回以上塗布、乾燥されてできたものである請求項1
から3のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製
造方法であり、セラミックストライプパターンを複数回
印刷形成することで、厚み精度やピンホールの発生を最
小限に抑えられ、積層セラミック電子部品の薄層化及び
高積層化時の生産コスト及び歩留まりを向上できるとい
う作用を有する。
According to a tenth aspect of the present invention, in the ceramic stripe pattern, a ceramic slurry containing at least a resin, a solvent, a plasticizer, and a ceramic powder, from which aggregates having a size of 15 μm or more have been removed, is used as an electrode pattern or 2. The method of claim 1, wherein the ceramic stripe pattern is applied and dried at least once.
3. The method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to any one of items 1 to 3, wherein the ceramic stripe pattern is printed and formed a plurality of times to minimize the thickness accuracy and the occurrence of pinholes. This has the effect of improving the production cost and yield during layering and high lamination.

【0022】以下、本発明の実施の形態について図面を
用いて説明する。図1は本発明の第1の実施の形態にお
ける電極埋込みセラミック生シートを製造するための部
材を示し、また図2は同実施の形態で製造された電極埋
込みセラミック生シートの構成を示し、図3及び図4は
同電極埋込みセラミック生シートの積層の様子を説明す
る図である。図5は本発明の第2の実施の形態における
電極埋込みセラミック生シートのより安価な製造方法を
説明する図、図6は本発明の第3の実施の形態における
電極埋込みセラミック生シートの作成方法について説明
する図、図7は本発明の第4の実施の形態における電極
埋込みセラミック生シートの構成部材を個別に転写、作
成する方法について説明する図、図8は本発明の第7の
実施の形態におけるスムーザを用いてセラミックストラ
イプパターンと電極パターンを平坦化させる様子を示す
図である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a member for producing a raw ceramic sheet with embedded electrodes according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 shows a configuration of the raw ceramic sheet with embedded electrodes manufactured in the same embodiment. 3 and 4 are views for explaining the state of lamination of the ceramic raw sheets with embedded electrodes. FIG. 5 is a diagram for explaining a less expensive method for producing a green ceramic sheet with embedded electrodes according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a method for producing a green ceramic sheet with embedded electrodes according to the third embodiment of the present invention. FIG. 7 is a view for explaining a method of individually transferring and forming the constituent members of the ceramic green sheet with embedded electrodes according to the fourth embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a view for explaining a seventh embodiment of the present invention. FIG. 3 is a diagram showing a state in which a ceramic stripe pattern and an electrode pattern are flattened using a smoother according to the embodiment.

【0023】なお、以上の説明では積層セラミック電子
部品として、積層セラミックコンデンサを例に説明した
が、その他の積層セラミック電子部品についても同様に
実施可能である。
In the above description, a multilayer ceramic capacitor has been described as an example of a multilayer ceramic electronic component, but other multilayer ceramic electronic components can be similarly implemented.

【0024】(実施の形態1)図1及び図2において、
14は第2のベースフィルムであり、第2のベースフィ
ルムの上に厚み10ミクロン以下のセラミック生シート
15及びセラミックストライプパターン16が等ピッチ
で形成されている。また17は電極パターンであり、グ
ラビア印刷によって第1のベースフィルム18の上に複
数個が形成されている。なお図1(C)は、図1(A)
の矢印の方向から見た様子を示すものであり、各部材の
位置関係を示している。そして図1(A)及び図1
(B)に示すように、第2のベースフィルム14上に形
成されたセラミック生シート15及びセラミックストラ
イプパターン16と、第1のベースフィルム18の上に
形成された電極パターン17を向き合わせる。
(Embodiment 1) In FIGS. 1 and 2,
Reference numeral 14 denotes a second base film, on which a ceramic green sheet 15 and a ceramic stripe pattern 16 having a thickness of 10 μm or less are formed on the second base film at an equal pitch. Reference numeral 17 denotes an electrode pattern, a plurality of which are formed on the first base film 18 by gravure printing. Note that FIG. 1C corresponds to FIG.
3 shows the state viewed from the direction of the arrow of FIG. 1 (A) and FIG.
As shown in (B), the ceramic raw sheet 15 and the ceramic stripe pattern 16 formed on the second base film 14 face the electrode pattern 17 formed on the first base film 18.

【0025】そして図2(B)に示すように、圧力をか
けて互いに密着、一体化させる。そして一体化させた後
に第2のベースフィルム14のみを剥離することで、図
2(C)に示すような電極埋込みセラミック生シートが
出来上がる。なお図2(A)を矢印の方向から見た図
が、図2(C)である。こうして図2(A)及び図2
(C)に示すように、第1のベースフィルム18の上
に、電極パターン17、セラミックストライプパターン
16及びセラミック生シート15より構成された電極埋
込みセラミック生シートが完成することになる。
Then, as shown in FIG. 2 (B), pressure is applied to bring them into close contact with each other and integrate them. Then, after the integration, only the second base film 14 is peeled off, whereby a ceramic sheet with embedded electrodes as shown in FIG. 2C is completed. FIG. 2C is a diagram of FIG. 2A viewed from the direction of the arrow. 2A and FIG.
As shown in (C), on the first base film 18, the electrode embedded ceramic raw sheet including the electrode pattern 17, the ceramic stripe pattern 16 and the ceramic raw sheet 15 is completed.

【0026】図3,4は電極埋込みセラミック生シート
の積層の様子を説明するものである。なおこの電極埋込
みセラミック生シートの積層には、発明者らが特開平1
−226133号公報等で提案した熱転写による積層セ
ラミック電子部品の製造方法を用いることができる。図
3(A)においてヒーター1は台2を一定温度に保ちな
がら、その表面にグリーンシート3を固定している。ま
た第1のベースフィルム18の表面には電極パターン1
7とセラミックストライプパターン16と、これらを覆
うように形成されたセラミック生シート15が形成され
ている。また6はヒーターで熱盤7を一定の温度に保持
する。
FIGS. 3 and 4 illustrate the state of lamination of the ceramic green sheets with embedded electrodes. Note that the lamination of the electrode-embedded ceramic raw sheets is disclosed in
A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component by thermal transfer proposed in, for example, Japanese Unexamined Patent Publication No. 226133/1996 can be used. In FIG. 3 (A), a heater 1 has a green sheet 3 fixed on the surface thereof while keeping the table 2 at a constant temperature. The electrode pattern 1 is formed on the surface of the first base film 18.
7, a ceramic stripe pattern 16, and a ceramic raw sheet 15 formed so as to cover them. Reference numeral 6 denotes a heater for keeping the hot platen 7 at a constant temperature.

【0027】次に図3(B)に示すように熱盤7を上下
させることで、グリーンシート3の上に電極パターン1
7とセラミックストライプパターン16とセラミック生
シート15を同時に熱転写する。次に図3(C)及び図
4(D)に示すように、こうした積層工程を所定回数繰
り返す。これらの工程を必要回数繰り返すことで図4
(E)に示すような積層体を形成した後、切断位置9に
沿って分割することで、図4(F)のような電極パター
ン17がセラミック生シート15に内蔵された個片がで
きる。図3,4に示すように、本発明の場合ではセラミ
ックストライプパターン16を入れることで、電極パタ
ーン17に起因した凹凸の発生を防止でき、積層工程の
歩留まりが上がる。さらにこうして作成した積層体に
は、内部に密度差が生じないため、出来上がった積層セ
ラミック電子部品においても、側面ヒビ等の不良が発生
することもない。
Next, as shown in FIG. 3B, the hot platen 7 is moved up and down so that the electrode pattern 1 is placed on the green sheet 3.
7, the ceramic stripe pattern 16 and the ceramic raw sheet 15 are simultaneously thermally transferred. Next, as shown in FIGS. 3C and 4D, such a lamination process is repeated a predetermined number of times. By repeating these steps as many times as necessary, FIG.
After forming the laminated body as shown in (E), by dividing along the cutting position 9, individual pieces in which the electrode patterns 17 are embedded in the ceramic raw sheet 15 as shown in FIG. As shown in FIGS. 3 and 4, in the case of the present invention, by forming the ceramic stripe pattern 16, it is possible to prevent the occurrence of unevenness due to the electrode pattern 17, thereby increasing the yield of the lamination process. Furthermore, since the density difference does not occur in the laminated body produced in this way, defects such as side cracks do not occur in the finished laminated ceramic electronic component.

【0028】積層セラミックコンデンサの製造方法を例
に更に詳しく説明する。積層セラミックコンデンサとし
ては、焼成後の誘電体厚みが2μm、積層数が600層
のニッケルを内部電極としたものを試作した。まず、図
1(A)の第1のベースフィルム18としては、厚み5
0μm、幅300mmの市販のポリエステルフィルムを
用い、この上に直接、電極インキをグラビア印刷した。
グラビア印刷仕様のニッケルインキは内部開発したもの
を用いた。グラビア印刷機は市販の食品包装用のものを
用い、グラビア版は直径10cmのものを用いた。印刷
には約300mm角の面積で、表面の円周上に前記積層
セラミックコンデンサの内部電極のパターンを形成し、
更にニッケルめっきを行い長寿命化を行った。こうして
図1(B)相当のものを作成した。
The method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor will be described in more detail by way of example. As a monolithic ceramic capacitor, a prototype having a nickel thickness of 2 μm and an internal electrode of 600 layers after firing was manufactured. First, the first base film 18 shown in FIG.
A commercially available polyester film having a thickness of 0 μm and a width of 300 mm was used, and the electrode ink was directly gravure printed thereon.
The internally developed gravure printing nickel ink was used. The gravure printing machine used was a commercially available one for food packaging, and the gravure plate used was a gravure plate having a diameter of 10 cm. For printing, an area of about 300 mm square, the pattern of the internal electrodes of the multilayer ceramic capacitor is formed on the circumference of the surface,
Further, nickel plating was performed to extend the life. Thus, a device equivalent to FIG. 1B was prepared.

【0029】また剥離処理した第2のベースフィルム1
4の上に厚み10μm以下でセラミック生シート15を
形成し、更にこの上にセラミックストライプパターン1
6を形成した。こうして作成した図1(A)及び図1
(C)相当のサンプルを、約300mm角の枚葉(シー
ト状)に切断し、更に図2(B)に示すように塗膜面同
士が互いに向き合うようにセットし、上下動のプレス装
置を用いて一体化した後、第2のベースフィルム14を
剥離し、図2(C)相当の電極埋込みセラミック生シー
トを作成した。
Further, the second base film 1 subjected to the release treatment
A ceramic green sheet 15 having a thickness of 10 μm or less is formed on
6 was formed. FIG. 1A and FIG.
(C) The equivalent sample is cut into sheets (sheets) of about 300 mm square, and further set so that the coating surfaces face each other as shown in FIG. 2 (B). After being integrated using the same, the second base film 14 was peeled off, and an electrode-embedded ceramic raw sheet corresponding to FIG. 2C was prepared.

【0030】次に、図3,4に示すような積層工程を経
て、電極パターン17を600層積層し、所定形状に切
断した後、焼成、端面電極を形成し、積層セラミックコ
ンデンサを試作した。出来上がったサンプルを観察した
が、図11(B)で示したような側面ヒビ13は無く、
信頼性評価でも良品が得られた。こうして良品を高歩留
まりで作成することができた。
Next, through a laminating process as shown in FIGS. 3 and 4, 600 electrode patterns 17 were laminated, cut into a predetermined shape, fired, and end face electrodes were formed, thereby producing a prototype multilayer ceramic capacitor. Although the completed sample was observed, there was no side crack 13 as shown in FIG.
Good products were obtained in reliability evaluation. In this way, good products could be produced with a high yield.

【0031】従来例として、この若干の凹凸が残ったま
まの図7のサンプルで積層を試みたところ、積層数の増
加と共にその表面の凹凸が大きくなり、200層以上の
積層は困難であった。そこで積層数200層のままで積
層を止め、所定形状切断した後、焼成、端面電極を形成
し、積層セラミックコンデンサを試作した。しかし出来
上がったサンプルには、図11(B)で示したような側
面ヒビが見られ、信頼性的にも課題が残った。また図
9,10の工法では、電極とセラミックグリーンシート
は別々に積層するため、本発明に比べ積層時間及び積層
コストは2倍かかってしまう。
As a conventional example, when the lamination was attempted using the sample shown in FIG. 7 with the slight irregularities remaining, the irregularities on the surface increased as the number of laminated layers increased, and it was difficult to laminate 200 or more layers. . Therefore, lamination was stopped with the number of laminations kept at 200, cut into a predetermined shape, fired, and end face electrodes were formed, thereby producing a prototype multilayer ceramic capacitor. However, the completed sample had side cracks as shown in FIG. 11 (B), and a problem remained in terms of reliability. 9 and 10, since the electrodes and the ceramic green sheets are separately laminated, the lamination time and the lamination cost are twice as large as those of the present invention.

【0032】なおグリーンシート単体の厚みは10μm
以下(特に5μm以下)が望ましい。12μm以上の厚
みのグリーンシートを用いると、焼成後のセラミック層
11の厚みが大きくなり製品の容量特性が下がる。また
12μm以上の厚みのグリーンシートでは適当な弾力性
(または圧縮性)が有るため、電極パターンの厚みを吸
収しやすい。しかし本実施の形態で説明するような、数
μmのごく薄セラミック生シートでは、もはや電極の厚
みを吸収しきれない。このためこのようなごく薄セラミ
ック生シートにおいてセラミックストライプパターンを
導入することで、電極の厚みを容易に吸収できる。
The thickness of the single green sheet is 10 μm.
The following (especially, 5 μm or less) is desirable. When a green sheet having a thickness of 12 μm or more is used, the thickness of the fired ceramic layer 11 increases, and the capacitance characteristics of the product decrease. Further, a green sheet having a thickness of 12 μm or more has appropriate elasticity (or compressibility), so that the thickness of the electrode pattern is easily absorbed. However, a very thin ceramic sheet having a thickness of several μm as described in the present embodiment can no longer absorb the electrode thickness. Therefore, by introducing a ceramic stripe pattern in such a very thin ceramic raw sheet, the thickness of the electrode can be easily absorbed.

【0033】(実施の形態2)図5において、19は巻
芯である。巻芯19aの上には、第2のベースフィルム
14と、その上に形成されたセラミック生シート15、
セラミックストライプパターン16が長尺にわたって巻
かれている。また巻芯19bの上には、第1のベースフ
ィルム18と、その上に形成された電極パターン17が
長尺にわたって巻かれている。20はロールプレスであ
り、第1のベースフィルム18及び第2のベースフィル
ム14に接しながら、互いを加圧、密着させる。
(Embodiment 2) In FIG. 5, reference numeral 19 denotes a winding core. On the core 19a, a second base film 14, and a ceramic raw sheet 15 formed thereon,
The ceramic stripe pattern 16 is wound over a long length. On the core 19b, a first base film 18 and an electrode pattern 17 formed thereon are wound over a long length. Reference numeral 20 denotes a roll press, which presses and adheres each other while contacting the first base film 18 and the second base film 14.

【0034】こうして電極パターン17の上にセラミッ
クストライプパターン16とセラミック生シート15が
転写され、第1のベースフィルム18と共に巻芯19d
に巻き取られる。また不要となった第2のベースフィル
ム14は、巻芯19cに回収され、再利用される。なお
図5において矢印は、それぞれロールプレス20の圧力
印加の様子、巻芯19の回転する方向を示す。
In this way, the ceramic stripe pattern 16 and the ceramic raw sheet 15 are transferred onto the electrode pattern 17, and the core 19d together with the first base film 18 is transferred.
It is wound up. The unnecessary second base film 14 is collected by the core 19c and reused. In FIG. 5, arrows indicate the state of application of pressure by the roll press 20 and the direction in which the core 19 rotates.

【0035】このようにロールプレス20を用いること
により、生産性を高めると共に、ベースフィルムの再利
用を容易にすることができ、コストダウン及び廃棄物削
減に効果がある。
By using the roll press 20 in this way, the productivity can be improved, and the reuse of the base film can be facilitated, which is effective in cost reduction and waste reduction.

【0036】(実施の形態3)図6(A)において、第
2のベースフィルム14の上には、セラミック生シート
15のみが形成されている。一方の第1のベースフィル
ム18の上には、電極パターン17とセラミックストラ
イプパターン16が互いに重ならないように形成されて
いる。実施の形態3においては、図6(A)に示すよう
に、セラミック生シート15と、電極パターン17及び
セラミックストライプパターン16を向き合わせてセッ
トし、お互いに密着、一体化させることになる。その
後、図6(B)に示すように、第2のベースフィルム1
4のみを剥離することで、電極埋込みセラミック生シー
トが作成できる。
(Embodiment 3) In FIG. 6A, only a ceramic green sheet 15 is formed on a second base film 14. On one first base film 18, the electrode pattern 17 and the ceramic stripe pattern 16 are formed so as not to overlap with each other. In the third embodiment, as shown in FIG. 6A, the ceramic raw sheet 15, the electrode pattern 17 and the ceramic stripe pattern 16 are set facing each other, and are adhered and integrated with each other. After that, as shown in FIG.
By peeling off only 4, an electrode-embedded ceramic raw sheet can be prepared.

【0037】なお電極パターン17を印刷したグラビア
印刷機を用いて、セラミックストライプパターン16を
印刷することができる。この場合、まず第1のベースフ
ィルム上にグラビア印刷機を用いてセラミックストライ
プパターン16を印刷し、次に電極パターン17を印刷
することが望ましい。こうすることで、電極パターン1
7に傷がつくことを最小限に抑えられる。
The ceramic stripe pattern 16 can be printed by using a gravure printing machine on which the electrode pattern 17 is printed. In this case, it is preferable to first print the ceramic stripe pattern 16 on the first base film using a gravure printing machine, and then print the electrode pattern 17. By doing so, the electrode pattern 1
7 can be minimized.

【0038】(実施の形態4)図7(A)において、第
2のベースフィルム14の上には、セラミック生シート
15のみが形成されている。このセラミック生シート1
5と、第1のベースフィルム18上に形成された電極パ
ターン17が、互いに向き合うようにセットし、図7
(B)に示すように、互いを密着、一体化させる。その
後、第2のベースフィルム14のみを剥離する。更に、
図7(C)に示すように、第2のベースフィルム14の
上に、セラミックストライプパターン16のみを形成
し、これを図7(D)に示すように、セラミック生シー
ト15の表面に、密着、一体化させた後、第2のベース
フィルム14のみを剥離することとなる。
(Embodiment 4) In FIG. 7A, only a ceramic green sheet 15 is formed on a second base film 14. This ceramic raw sheet 1
5 and the electrode pattern 17 formed on the first base film 18 are set so as to face each other.
As shown in (B), they are brought into close contact with each other and integrated. After that, only the second base film 14 is peeled off. Furthermore,
As shown in FIG. 7 (C), only the ceramic stripe pattern 16 is formed on the second base film 14, and this is adhered to the surface of the ceramic raw sheet 15 as shown in FIG. 7 (D). After the integration, only the second base film 14 is peeled off.

【0039】本実施の形態に示すように、セラミックス
トライプパターン16を最後に転写することで(トータ
ルで2回の転写工程を行うことになり)、電極パターン
17と、セラミック生シート15の密着性を上げなが
ら、セラミック生シートのピンホールやマイクロクラッ
ク(微小ヒビ)が発生したとしても、再度の転写でこれ
らを修復できる。またセラミック生シート15だけの転
写時には、位置合わせが不要のため、設備費も安く、高
速転写を行え、コスト高にはならない。
As shown in the present embodiment, by transferring the ceramic stripe pattern 16 last (in total, two transfer steps are performed), the adhesion between the electrode pattern 17 and the ceramic raw sheet 15 is obtained. Even if pinholes or microcracks (microcracks) occur in the ceramic raw sheet while raising the temperature, these can be repaired by re-transferring. In addition, when transferring only the ceramic raw sheet 15, no alignment is required, so that the equipment cost is low, high-speed transfer can be performed, and the cost does not increase.

【0040】なお、電極パターン17とセラミックスト
ライプパターン16のいずれかの形成をスクリーン印刷
法を用いて試作したところ、互いの位置ずれが大きく、
目的とするものが得られなかった。特にスクリーン印刷
法を用いると、印刷回数の増加によって、スクリーン版
が次第に伸びたり変形したりするために必要な精度が得
られない。
When any one of the electrode pattern 17 and the ceramic stripe pattern 16 was formed on a trial basis using a screen printing method, the mutual displacement was large.
The target was not obtained. In particular, when the screen printing method is used, the precision required for the screen plate to gradually elongate or deform cannot be obtained due to an increase in the number of times of printing.

【0041】一方、グラビア印刷の場合、版自体が剛体
であるため、印刷回数に関係なく、高精度を保持でき
る。以上のように、セラミックストライプパターンと電
極パターンの両方をグラビア印刷で行うことで、初めて
目的とする効果が得られる。
On the other hand, in the case of gravure printing, since the plate itself is a rigid body, high accuracy can be maintained regardless of the number of printings. As described above, by performing both the ceramic stripe pattern and the electrode pattern by gravure printing, the intended effect can be obtained for the first time.

【0042】(実施の形態5)本発明に用いる電極パタ
ーン及び電極グラビアインキについて更に詳しく説明す
る。グラビア印刷に用いる電極インキは、少なくとも樹
脂と溶剤と直径1μm以下の金属粉から構成され、その
粘度は10ポイズ以下(特に5ポイズ以下)が望まし
い。また15μm以上の大きさ(できれば10μm以
上)の凝集体が除去される必要がある。こうした電極イ
ンキを用いることで、誘電体の薄層化及び高積層化に対
しても高歩留まりで所定の積層セラミック電子部品を製
造することができる。
(Embodiment 5) The electrode pattern and the electrode gravure ink used in the present invention will be described in more detail. The electrode ink used for gravure printing is composed of at least a resin, a solvent, and metal powder having a diameter of 1 μm or less, and desirably has a viscosity of 10 poise or less (particularly 5 poise or less). Aggregates having a size of 15 μm or more (preferably 10 μm or more) need to be removed. By using such an electrode ink, a predetermined multilayer ceramic electronic component can be manufactured with a high yield even when the dielectric is made thinner and more highly laminated.

【0043】なお、凝集体の除去手段としては、市販の
ろ過材の中から適当な耐溶剤性のものを選び、加圧ろ過
することで対応できる。もし電極インキの粘度が20ポ
イズを超えると求める印刷精度及び膜厚が得られない。
この原因の一つとしては、グリーンシートに直接グラビ
ア印刷するときはインキがグリーンシートに染込むが、
ベースフィルムに対して電極インキは染込まないために
起きる現象であると考えられる。
The means for removing the aggregates can be dealt with by selecting an appropriate solvent-resistant material from commercially available filter media and performing pressure filtration. If the viscosity of the electrode ink exceeds 20 poise, the required printing accuracy and film thickness cannot be obtained.
One of the causes is that when gravure printing is performed directly on the green sheet, the ink penetrates the green sheet,
This is considered to be a phenomenon that occurs because the electrode ink does not penetrate into the base film.

【0044】(実施の形態6)本発明に用いるセラミッ
クストライプパターン及びセラミックグラビアインキに
ついて説明する。セラミックストライプパターンの形成
に用いるセラミックインキは、15μm以上(できれば
10μm以上)の大きさの凝集体が除去された、少なく
とも樹脂と溶剤と可塑剤とセラミック粉を含む粘度20
ポイズ以下のセラミックインキがグラビア印刷されたも
のであることが望ましい。セラミックストライプパター
ンは、印刷方向に連続したパターンであるため、この印
刷方向にずれても(スリップしても)特に問題が無い。
そのため、グラビア印刷の印刷条件に余裕を持たせら
れ、グラビア印刷用電極インキより高粘度のものでも使
用できる(同じ粘度や低粘度であっても使用できること
は当然であるが、電極インキとセラミックインキに用い
る樹脂材料を変えることで積層安定性を改善できる)。
(Embodiment 6) A ceramic stripe pattern and a ceramic gravure ink used in the present invention will be described. The ceramic ink used for forming the ceramic stripe pattern has a viscosity of at least 20 μm including at least a resin, a solvent, a plasticizer, and ceramic powder from which aggregates having a size of 15 μm or more (preferably 10 μm or more) have been removed.
It is desirable that the ceramic ink of a poise or less be gravure printed. Since the ceramic stripe pattern is a continuous pattern in the printing direction, there is no particular problem even if the ceramic stripe pattern is shifted (slipped) in the printing direction.
Therefore, the printing conditions for gravure printing have a margin, and it is possible to use a material having a higher viscosity than the electrode ink for gravure printing. The lamination stability can be improved by changing the resin material used for (1).

【0045】(実施の形態7)セラミックストライプパ
ターンと電極パターンの関係について図8を用いて説明
する。図8はスムーザを用いてセラミックストライプパ
ターンと電極パターンを平坦化させている様子を示す。
例えばセラミックストライプパターン16の幅は電極パ
ターン17の間隔より狭めに、セラミックストライプパ
ターン16を電極パターン17より厚めに作成し、図8
の矢印の方向に第1のベースフィルム18を走らせるこ
とで、スムーザ21により互いに平坦化できる。特にセ
ラミックインキを未乾燥状態のままでスムージングを行
うことで、電極パターンとの隙間を簡単かつ正確に埋め
ることができる。
(Embodiment 7) The relationship between the ceramic stripe pattern and the electrode pattern will be described with reference to FIG. FIG. 8 shows a state where the ceramic stripe pattern and the electrode pattern are flattened using a smoother.
For example, the width of the ceramic stripe pattern 16 is made narrower than the interval between the electrode patterns 17 and the ceramic stripe pattern 16 is made thicker than the electrode pattern 17.
By running the first base film 18 in the direction of the arrow, the smoothers 21 can flatten each other. In particular, by smoothing the ceramic ink in an undried state, the gap between the ceramic ink and the electrode pattern can be easily and accurately filled.

【0046】なお、スムージング以外に、ロールプレス
やカレンダー装置を用いることもできる。こうした装置
は、セラミックストライプが完成した後、セラミックス
トライプパターンの厚みが電極パターンより厚かった場
合でも、自動的に電極パターンの厚みに揃えられる。
In addition to the smoothing, a roll press or a calender may be used. In such an apparatus, after the ceramic stripe is completed, even if the thickness of the ceramic stripe pattern is thicker than the electrode pattern, the thickness is automatically adjusted to the thickness of the electrode pattern.

【0047】(実施の形態8)電極パターン及びセラミ
ックパターンを印刷する(または所定のコーターでスト
ライプ塗工する)ベースフィルムの幅は、100mm以
上が望ましい。ベースフィルムの幅が70mmの場合、
特にベースフィルムの厚みが30μm以下になってしま
うと、フィルムの幅方向の左右の張力の調整が難しくな
り、電極パターンとセラミックパターンのアライメント
に手間取る。フィルム幅が100mm以上、できれば1
50mm以上が望ましい。グラビア印刷時のフィルムの
張力を均一にしやすい。そのため、グラビア版は円周方
向に多面取りする以外に、フィルムの幅方向に多面取り
することができる。こうして、一つの印刷パターン(埋
込みセラミック生シートの一回の積層面積に相当)が2
00mm角であっても、ベースフィルム幅を450mm
とすることで、ベースフィルムの幅方向に2面取りする
ことができ、生産性を高められる。またベースフィルム
最大幅は1000mm程度までが望ましい。ベースフィ
ルムの最大幅が2mを超えるとスリッター等で分割しな
いと、単体がかなりの重量となり、取扱いが大変にな
る。
(Embodiment 8) The width of a base film on which an electrode pattern and a ceramic pattern are printed (or stripe-coated with a predetermined coater) is desirably 100 mm or more. When the width of the base film is 70 mm,
In particular, when the thickness of the base film is less than 30 μm, it is difficult to adjust the right and left tension in the width direction of the film, and it takes time to align the electrode pattern and the ceramic pattern. Film width 100mm or more, preferably 1
It is desirable to be 50 mm or more. It is easy to make film tension uniform during gravure printing. Therefore, in addition to the gravure printing in the circumferential direction, the gravure printing plate can be obtained in the width direction of the film. Thus, one print pattern (corresponding to one lamination area of the embedded ceramic green sheet) is 2
Even if it is 00mm square, base film width is 450mm
By doing so, two chamfers can be formed in the width direction of the base film, and the productivity can be increased. Also, the maximum width of the base film is desirably up to about 1000 mm. If the maximum width of the base film exceeds 2 m, if the base film is not divided by a slitter or the like, the weight of the single body becomes considerable and handling becomes difficult.

【0048】また電極パターン及びセラミックストライ
プパターンをグラビア印刷する際の印刷速度は、10m
/分以上が望ましい。10m/分以上の速度に設定する
ことで、ベースフィルムを一定以上の張力でピンと張る
ことができ、電極パターンとセラミックストライプパタ
ーンを高精度にアライメントできる。7m/分以下で
は、印刷機や乾燥機の中で、ベースフィルムが弛みやす
くなり、ずれもできる。
The printing speed for gravure printing of the electrode pattern and the ceramic stripe pattern is 10 m.
/ Min or more is desirable. By setting the speed to 10 m / min or more, the base film can be tightened with a certain tension or more, and the electrode pattern and the ceramic stripe pattern can be aligned with high precision. When the speed is 7 m / min or less, the base film is easily loosened in a printing machine or a drier, and the base film can be displaced.

【0049】ここで用いるセラミック生シートは、少な
くとも樹脂と溶剤と可塑剤とセラミック粉を含み15ミ
クロン以上の大きさの凝集体が除去されたセラミックス
ラリーを転写フィルム上に、少なくとも1回以上塗布、
乾燥させてセラミック生シートを作成し、これを前記転
写フィルムから図1(B)の電極パターン17の上に転
写してもよい。あるいはこれを前記転写フィルムから図
3(A)の電極パターン17及びセラミックストライプ
パターン16の形成された上に転写してもよい。こうし
て表面の凹凸を最小限に低減した電極埋込みセラミック
生シートを作成できる。このようにセラミックスラリー
を塗布するのでなく、セラミック生シートを転写するこ
とにより、生産性を向上させられる。
The ceramic raw sheet used here is formed by applying a ceramic slurry containing at least a resin, a solvent, a plasticizer, and a ceramic powder and having a size of 15 μm or more from which agglomerates have been removed onto a transfer film at least once.
The ceramic raw sheet may be dried to be transferred from the transfer film onto the electrode pattern 17 shown in FIG. Alternatively, this may be transferred from the transfer film onto the electrode pattern 17 and the ceramic stripe pattern 16 shown in FIG. In this way, an electrode-embedded ceramic raw sheet with minimal surface irregularities can be produced. By transferring the ceramic raw sheet instead of applying the ceramic slurry in this manner, productivity can be improved.

【0050】特に本発明においては、セラミック生シー
トはベースフィルム上に単独で形成することができるた
め、その密度、厚み、機械的強度等を高精度に管理でき
る。またベースフィルムを塗工直前に清浄化できるた
め、ピンホール等の不良発生を防止できる。また電極パ
ターンとセラミックストライプパターンの両方をグラビ
ア印刷で行った場合、互いのグラビアインキの製造仕様
(溶剤、樹脂、設備)のみならず印刷装置も共通化でき
る。そのためグラビア印刷パターンの精度、厚み、塗膜
密度等も容易に合わせられる。
Particularly, in the present invention, since the ceramic green sheet can be formed alone on the base film, its density, thickness, mechanical strength, etc. can be controlled with high precision. Further, since the base film can be cleaned immediately before coating, occurrence of defects such as pinholes can be prevented. When both the electrode pattern and the ceramic stripe pattern are formed by gravure printing, not only the gravure ink production specifications (solvent, resin, equipment) but also the printing apparatus can be shared. Therefore, the accuracy, thickness, coating density, and the like of the gravure printing pattern can be easily adjusted.

【0051】[0051]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、均質なセ
ラミック生シートを用いることで、精度良く埋込みセラ
ミック生シートを作成でき、高積層化した場合でも側面
ヒビの発生を防止しながら、セラミック層や誘電体層の
2μm以下への薄層化や、500層以上の超高積層化が
高歩留まり、低コストで実現できる効果が得られる。
As described above, according to the present invention, by using a homogeneous ceramic green sheet, a buried ceramic green sheet can be produced with high accuracy, and even when high lamination is performed, the occurrence of side cracks can be prevented. The effect of reducing the thickness of the ceramic layer or the dielectric layer to 2 μm or less and the ultra-high lamination of 500 or more layers can be obtained at a high yield and can be realized at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態における電極埋込み
セラミック生シートを製造するための部材の構成を示す
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a member for manufacturing a ceramic raw sheet with embedded electrodes according to a first embodiment of the present invention.

【図2】同実施の形態で製造された電極埋込みセラミッ
ク生シートの構成を示す図
FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a raw ceramic sheet with embedded electrodes manufactured in the same embodiment.

【図3】同電極埋込みセラミック生シートの積層の様子
を説明するための工程図
FIG. 3 is a process diagram for explaining a state of lamination of the ceramic raw sheet with embedded electrodes.

【図4】同工程図[Fig. 4]

【図5】本発明の第2の実施の形態における電極埋込み
セラミック生シートのより安価な製造方法を示す図
FIG. 5 is a diagram showing a less expensive method of manufacturing a ceramic green sheet with embedded electrodes according to the second embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第3の実施の形態における電極埋込み
セラミック生シートの作成方法を説明するための図
FIG. 6 is a diagram for explaining a method for producing a ceramic raw sheet with embedded electrodes according to a third embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第4の実施の形態における電極埋込み
セラミック生シートの構成部材を個別に転写、作成する
方法を説明するための図
FIG. 7 is a view for explaining a method of individually transferring and forming constituent members of a ceramic raw sheet with embedded electrodes according to a fourth embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第7の実施の形態におけるスムーザを
用いてセラミックストライプパターンと電極パターンを
平坦化させる様子を示す図
FIG. 8 is a diagram showing a state in which a ceramic stripe pattern and an electrode pattern are flattened using a smoother according to a seventh embodiment of the present invention.

【図9】従来法によるセラミック生シートの積層の様子
を説明するための工程図
FIG. 9 is a process chart for explaining a state of laminating a ceramic raw sheet according to a conventional method.

【図10】同工程図FIG. 10

【図11】従来法で作成された積層セラミックコンデン
サの一部切欠斜視図
FIG. 11 is a partially cutaway perspective view of a multilayer ceramic capacitor manufactured by a conventional method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ヒーター 2 台 3 グリーンシート 4 ベースフィルム 5 電極 6 ヒーター 7 熱盤 9 切断位置 14 第2のベースフィルム 15 セラミック生シート 16 セラミックストライプパターン 17 電極パターン 18 第1のベースフィルム 19 巻芯 20 ロールプレス 21 スムーザ Reference Signs List 1 heater 2 units 3 green sheet 4 base film 5 electrode 6 heater 7 hot platen 9 cutting position 14 second base film 15 ceramic raw sheet 16 ceramic stripe pattern 17 electrode pattern 18 first base film 19 core 20 roll press 21 Smoother

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1のベースフィルム上のグラビア印刷
された電極パターン上に、第2のベースフィルムより厚
み10μm以下のセラミック生シート及び等ピッチのセ
ラミックストライプパターンを転写して電極埋込みセラ
ミック生シートを作成し、この電極埋込みセラミック生
シートを他のセラミック生積層体の上に位置合わせした
後、前記電極埋込みセラミック生シートのベース面か
ら、加熱圧着させることで、前記セラミック生シートと
前記セラミック生積層体を密着させた後、前記電極埋込
みセラミック生シートのベース面から、加熱圧着させて
前記セラミック生シートと前記セラミック生積層体を密
着させ、前記ベースフィルムのみを剥離する一連の工程
を、複数回繰り返した後、出来上がったセラミック生積
層体を所定形状に切断し、焼成、端面電極を形成する積
層セラミック電子部品の製造方法。
1. A ceramic raw sheet having a thickness of 10 μm or less and a ceramic stripe pattern having an equal pitch from a second base film are transferred onto a gravure-printed electrode pattern on a first base film and embedded with electrodes. After the ceramic green sheet with embedded electrodes is positioned on another ceramic green laminate, the ceramic green sheet and the ceramic green sheet are heat-pressed from the base surface of the ceramic green sheets with embedded electrodes. After the laminated body is brought into close contact, from the base surface of the electrode-embedded ceramic raw sheet, the ceramic raw sheet and the ceramic green laminated body are brought into close contact with each other by heating and pressure bonding, and a series of steps of peeling only the base film are performed. After repetition, cut the finished ceramic green laminate into the desired shape , Baking, manufacturing method of a multilayer ceramic electronic component forming the end face electrodes.
【請求項2】 等ピッチのセラミックストライプパター
ンと、前記セラミックパターンを挟んでグラビア印刷さ
れた電極パターンの形成された第1のベースフィルムの
上に、前記セラミックパターン及び前記電極パターンを
覆うように第2のベースフィルムの上に形成された10
μm以下のセラミック生シートを転写した後に第2のベ
ースフィルムを剥離して作成した電極埋込みセラミック
生シートを、他のセラミック生積層体の上に位置合わせ
した後、前記電極埋込みセラミック生シートのベース面
から、加熱圧着させて前記セラミック生シートと前記セ
ラミック生積層体を密着させ、前記ベースフィルムのみ
を剥離する一連の工程を、複数回繰り返した後、出来上
がったセラミック生積層体を所定形状に切断し、焼成、
端面電極を形成する積層セラミック電子部品の製造方
法。
2. A first base film on which a ceramic stripe pattern having an equal pitch and an electrode pattern formed by gravure printing with the ceramic pattern interposed is formed so as to cover the ceramic pattern and the electrode pattern. 10 formed on the base film of 2
After the ceramic raw sheet having a thickness of μm or less has been transferred and the second base film has been peeled off, the electrode-embedded ceramic raw sheet formed by peeling off the second base film is positioned on another ceramic raw laminate, and then the base of the electrode-embedded ceramic raw sheet is formed. A series of steps of heat-pressing the ceramic green sheet and the ceramic green laminate to adhere the ceramic green laminate to each other and peeling only the base film from the surface are repeated a plurality of times, and then the completed ceramic green laminate is cut into a predetermined shape. And firing,
A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component for forming an end face electrode.
【請求項3】 第1のベースフィルム上のグラビア印刷
された電極パターンを覆うように、第2のベースフィル
ム上の厚み10μm以下のセラミック生シートと、第3
のベースフィルム上のセラミックストライプパターンを
転写した後に第2のベースフィルムを剥離して作成した
電極埋込みセラミック生シートを作成し、この電極埋込
みセラミック生シートを他のセラミック生積層体の上に
位置合わせした後、前記電極埋込みセラミック生シート
のベース面から、加熱圧着させて前記セラミック生シー
トと前記セラミック生積層体を密着させ、前記ベースフ
ィルムのみを剥離する一連の工程を、複数回繰り返した
後、出来上がったセラミック生積層体を所定形状に切断
し、焼成、端面電極を形成する積層セラミック電子部品
の製造方法。
3. A ceramic green sheet having a thickness of 10 μm or less on a second base film so as to cover a gravure-printed electrode pattern on the first base film.
After transferring the ceramic stripe pattern on the base film, the second base film is peeled off to produce an embedded ceramic raw sheet, and this electrode embedded ceramic raw sheet is positioned on another ceramic raw laminate. After that, from the base surface of the electrode-embedded ceramic raw sheet, the ceramic green sheet and the ceramic green laminate are brought into close contact with each other by heating and pressing, and a series of steps of peeling only the base film is repeated a plurality of times. A method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component in which a completed ceramic green laminate is cut into a predetermined shape, fired, and an end face electrode is formed.
【請求項4】 第1のベースフィルム上のグラビア印刷
された電極パターンの上に、セラミック生シートもしく
はセラミックストライプパターンを転写する際に、ロー
ル転写装置を用いる請求項1から3のいずれか1つに記
載の積層セラミック電子部品の製造方法。
4. The method according to claim 1, wherein a roll transfer device is used to transfer the ceramic raw sheet or the ceramic stripe pattern onto the gravure printed electrode pattern on the first base film. 3. The method for producing a multilayer ceramic electronic component according to item 1.
【請求項5】 電極パターンは、15μm以上の大きさ
の凝集体が除去された、少なくとも樹脂と溶剤と直径1
μm以下の金属粉を含む10ポイズ以下の粘度の電極イ
ンキを、グラビア印刷されたものである請求項1から3
のいずれか1つに記載の積層セラミック電子部品の製造
方法。
5. The electrode pattern according to claim 1, wherein at least a resin, a solvent, a diameter of 1 μm and a size of 15 μm or more are removed.
An electrode ink having a viscosity of 10 poise or less containing a metal powder of not more than μm is gravure printed.
The method for producing a multilayer ceramic electronic component according to any one of the above.
【請求項6】 セラミックストライプパターンは、15
μm以上の大きさの凝集体が除去された、少なくとも樹
脂と溶剤と可塑剤とセラミック粉を含む粘度20ポイズ
以下のセラミックインキがストライプ印刷またはストラ
イプ塗工されたものである請求項1から3のいずれか1
つに記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
6. A ceramic stripe pattern comprising:
4. A ceramic ink having a viscosity of 20 poise or less containing at least a resin, a solvent, a plasticizer, and ceramic powder, from which an aggregate having a size of not less than μm has been removed, is subjected to stripe printing or stripe coating. Any one
5. A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to any one of the above.
【請求項7】 セラミックストライプパターンのピッチ
と、電極パターンのピッチが一致しており、セラミック
ストライプパターンの厚みと電極パターンの厚み差は5
μm以下である請求項1から3のいずれか1つに記載の
積層セラミック電子部品の製造方法。
7. The pitch of the ceramic stripe pattern is equal to the pitch of the electrode pattern, and the thickness difference between the ceramic stripe pattern and the electrode pattern is 5
The method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the thickness is not more than μm.
【請求項8】 セラミックストライプパターンは、15
μm以上の大きさの凝集体が除去された、少なくとも樹
脂と溶剤と可塑剤とセラミック粉を含むセラミックイン
キが転写フィルム上にグラビア印刷された後、前記転写
フィルムからベースフィルムもしくはセラミック生シー
トの上に転写されたものである請求項1から3のいずれ
か1つに記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
8. A ceramic stripe pattern comprising:
After the agglomerates having a size of at least μm have been removed, at least a ceramic ink containing a resin, a solvent, a plasticizer, and ceramic powder is gravure-printed on a transfer film. The method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the multilayer ceramic electronic component is transferred to a multilayer ceramic electronic component.
【請求項9】 電極パターンもしくはセラミックストラ
イプパターンは、10m/分以上の速度でグラビア印刷
され、少なくとも電極パターンの乾燥後の厚みは3μm
以下である請求項1から3のいずれか1つに記載の積層
セラミック電子部品の製造方法。
9. An electrode pattern or a ceramic stripe pattern is gravure printed at a speed of 10 m / min or more, and at least the thickness of the electrode pattern after drying is 3 μm.
The method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein:
【請求項10】 セラミックストライプパターンは、1
5ミクロン以上の大きさの凝集体が除去された、少なく
とも樹脂と溶剤と可塑剤とセラミック粉を含むセラミッ
クスラリーが、電極パターンもしくはセラミックストラ
イプパターンの上に、少なくとも1回以上塗布、乾燥さ
れてできたものである請求項1から3のいずれか1つに
記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
10. The ceramic stripe pattern is 1
A ceramic slurry containing at least a resin, a solvent, a plasticizer, and ceramic powder from which aggregates having a size of 5 microns or more have been removed is applied and dried at least once on an electrode pattern or a ceramic stripe pattern. The method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to any one of claims 1 to 3, wherein:
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011258933A (en) * 2010-05-13 2011-12-22 Murata Mfg Co Ltd Laminated electronic component manufacturing device and method for manufacturing laminated electronic components
CN114245926A (en) * 2019-08-23 2022-03-25 株式会社村田制作所 Clip for chip electronic component

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