JPH11184925A - 製造工程の管理方法及びそれに使用される管理装置 - Google Patents
製造工程の管理方法及びそれに使用される管理装置Info
- Publication number
- JPH11184925A JPH11184925A JP34954397A JP34954397A JPH11184925A JP H11184925 A JPH11184925 A JP H11184925A JP 34954397 A JP34954397 A JP 34954397A JP 34954397 A JP34954397 A JP 34954397A JP H11184925 A JPH11184925 A JP H11184925A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing
- processed
- priority
- facility
- equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Abstract
(57)【要約】
【課題】 処理待ちの仕掛の蓄積を防止して優先度が低
い製品をも滞りなく処理することができると共に、工程
間の時間が規定されている製品を確実に規定時間内で処
理することができる製造工程の管理方法及びそれに使用
される管理装置を提供する。 【解決手段】 処理可能な被処理物の処理条件、残りの
処理工程及びその処理時間並びに納期に基づいて処理可
能な被処理物の全てについて第１の設備での処理の優先
度を算出する（Ｓ９）。そして、最も優先度が高い処理
可能な被処理物を処理候補とし、前記第１の設備よりも
後で使用される第２の設備の状態を示す情報に基づいて
第１の設備においてその処理候補の処理を行うか行わな
いかの判断を行う（Ｓ１０、Ｓ１１）。その処理候補の
処理を行わないと判断した場合には、その処理候補の次
に優先度が高い処理可能な被処理物を処理候補として判
断を行う工程に戻る（Ｓ１２、Ｓ１０）。
い製品をも滞りなく処理することができると共に、工程
間の時間が規定されている製品を確実に規定時間内で処
理することができる製造工程の管理方法及びそれに使用
される管理装置を提供する。 【解決手段】 処理可能な被処理物の処理条件、残りの
処理工程及びその処理時間並びに納期に基づいて処理可
能な被処理物の全てについて第１の設備での処理の優先
度を算出する（Ｓ９）。そして、最も優先度が高い処理
可能な被処理物を処理候補とし、前記第１の設備よりも
後で使用される第２の設備の状態を示す情報に基づいて
第１の設備においてその処理候補の処理を行うか行わな
いかの判断を行う（Ｓ１０、Ｓ１１）。その処理候補の
処理を行わないと判断した場合には、その処理候補の次
に優先度が高い処理可能な被処理物を処理候補として判
断を行う工程に戻る（Ｓ１２、Ｓ１０）。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、必要処理時間、納
期及び処理可能設備の状況等から処理される製品の順序
を管理し、半導体装置の製造に好適な製造工程の管理方
法及びそれに使用される管理装置に関し、特に、効率よ
く製品を処理することが可能な製造工程の管理方法及び
それに使用される管理装置に関する。
期及び処理可能設備の状況等から処理される製品の順序
を管理し、半導体装置の製造に好適な製造工程の管理方
法及びそれに使用される管理装置に関し、特に、効率よ
く製品を処理することが可能な製造工程の管理方法及び
それに使用される管理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置は、製品毎に所定の複数の処
理工程を経て製造されている。そして、各処理工程に
は、所定の処理条件が設定されている。
理工程を経て製造されている。そして、各処理工程に
は、所定の処理条件が設定されている。
【０００３】複数種の製品が処理される場合、どの製品
をどの工程にどのような順序で供給するかということ
は、効率的に設備を稼動させるために重要である。従来
の供給順序の決定方法としては、供給順序が決定される
対象の工程の前工程における終了時刻が前のものから対
象の工程に供給する方法がとられていた。しかし、この
方法では各製品の納期に拘わらず処理を進めるので、納
期が近く短期間で完成させる必要がある製品に関する納
期管理が困難である。
をどの工程にどのような順序で供給するかということ
は、効率的に設備を稼動させるために重要である。従来
の供給順序の決定方法としては、供給順序が決定される
対象の工程の前工程における終了時刻が前のものから対
象の工程に供給する方法がとられていた。しかし、この
方法では各製品の納期に拘わらず処理を進めるので、納
期が近く短期間で完成させる必要がある製品に関する納
期管理が困難である。
【０００４】そこで、納期が近く短期間で製造する必要
がある製品がある場合には、工程管理者がその製品の進
捗状況を逐次監視し、各工程の作業者に指示を出して他
の製品より優先して作業させていた。しかし、人が管理
することができる範囲は狭く、詳細な指示を各工程に出
すことは困難である。
がある製品がある場合には、工程管理者がその製品の進
捗状況を逐次監視し、各工程の作業者に指示を出して他
の製品より優先して作業させていた。しかし、人が管理
することができる範囲は狭く、詳細な指示を各工程に出
すことは困難である。
【０００５】そこで、例えば、特開平７−２９７８５号
公報に、処理の優先度を計算し、この優先度をもとにし
て製造工程を決定する工程管理システムが提案されてい
る。この公報に記載された従来の工程管理システムにお
いては、供給順序が決定される対象の工程の予定処理終
了日をＡ、実際の処理終了日をＣ、最終工程の予定処理
終了日をＢとしたとき、下記数式１で優先度Ｄを定義し
ている。
公報に、処理の優先度を計算し、この優先度をもとにし
て製造工程を決定する工程管理システムが提案されてい
る。この公報に記載された従来の工程管理システムにお
いては、供給順序が決定される対象の工程の予定処理終
了日をＡ、実際の処理終了日をＣ、最終工程の予定処理
終了日をＢとしたとき、下記数式１で優先度Ｄを定義し
ている。
【０００６】
【数１】Ｄ＝１００×（Ｂ−Ｃ）／（Ｂ−Ａ）
【０００７】そして、優先度Ｄの値が小さな順に各工程
で処理順を入れ替えて各製品を処理している。
で処理順を入れ替えて各製品を処理している。
【０００８】この従来の工程管理システムによれば、全
ての製品の納期を考慮して工程を管理することができ
る。
ての製品の納期を考慮して工程を管理することができ
る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
７−２９７８５号公報に記載された工程管理システムを
使用して各工程を管理する場合、処理される被処理物の
順序が入れ替えられた工程の後工程の状況に拘わらず、
優先度Ｄの値が小さい被処理物から処理するので、後工
程が作業不可能な状態なときには、被処理物が後工程で
設備待ちの状態となってしまう。この結果、その設備で
処理待ちの仕掛が蓄積されるという問題点がある。
７−２９７８５号公報に記載された工程管理システムを
使用して各工程を管理する場合、処理される被処理物の
順序が入れ替えられた工程の後工程の状況に拘わらず、
優先度Ｄの値が小さい被処理物から処理するので、後工
程が作業不可能な状態なときには、被処理物が後工程で
設備待ちの状態となってしまう。この結果、その設備で
処理待ちの仕掛が蓄積されるという問題点がある。
【００１０】また、常に優先度Ｄの値が小さな被処理物
から処理されるため、優先度Ｄの値が大きな被処理物の
処理が妨げられるという問題点もある。
から処理されるため、優先度Ｄの値が大きな被処理物の
処理が妨げられるという問題点もある。
【００１１】更に、ある被処理物について前工程の終了
から後工程での処理までの時間が決められている場合に
も、優先度Ｄの値のみで後工程で処理される被処理物の
順序が決定されてしまうと、その被処理物が所定時間内
に後工程で処理されないこともある。
から後工程での処理までの時間が決められている場合に
も、優先度Ｄの値のみで後工程で処理される被処理物の
順序が決定されてしまうと、その被処理物が所定時間内
に後工程で処理されないこともある。
【００１２】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、処理待ちの仕掛の蓄積を防止して優先度が
低い製品をも滞りなく処理することができると共に、工
程間の時間が規定されている被処理物を確実に規定時間
内で処理することができる製造工程の管理方法及びそれ
に使用される管理装置を提供することを目的とする。
のであって、処理待ちの仕掛の蓄積を防止して優先度が
低い製品をも滞りなく処理することができると共に、工
程間の時間が規定されている被処理物を確実に規定時間
内で処理することができる製造工程の管理方法及びそれ
に使用される管理装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明に係る製造工程の
管理方法は、複数種の被処理物を複数種の処理工程の組
み合わせで処理して製品を製造する製造工程の管理方法
において、前記被処理物の処理条件、残りの処理工程及
びその処理時間並びに納期に基づいて前記被処理物の優
先順位を決定し、その優先順位に従って処理するに際
し、前記被処理物の先工程の設備の状態を示す情報を考
慮して、処理を行うか行わないかを判断することを特徴
とする。
管理方法は、複数種の被処理物を複数種の処理工程の組
み合わせで処理して製品を製造する製造工程の管理方法
において、前記被処理物の処理条件、残りの処理工程及
びその処理時間並びに納期に基づいて前記被処理物の優
先順位を決定し、その優先順位に従って処理するに際
し、前記被処理物の先工程の設備の状態を示す情報を考
慮して、処理を行うか行わないかを判断することを特徴
とする。
【００１４】本発明に係る他の製造工程の管理方法は、
複数種の被処理物を複数種の処理工程の組み合わせで処
理して製品を製造する製造工程の管理方法において、第
１の設備において処理可能な被処理物が２種以上ある場
合に、前記処理可能な被処理物の処理条件、残りの処理
工程及びその処理時間並びに納期に基づいて前記処理可
能な被処理物の全てについて前記第１の設備での処理の
優先度を算出する工程と、最も優先度が高い処理可能な
被処理物を処理候補とする工程と、その時点での処理候
補について前記第１の設備よりも後で使用される第２の
設備の状態を示す情報に基づいて前記第１の設備におい
て前記処理候補の処理を行うか行わないかの判断を行う
工程と、前記処理候補の処理を行わないと判断した場合
に、前記処理候補の次に優先度が高い処理可能な被処理
物を処理候補として前記判断を行う工程に戻る工程とを
有することを特徴とする。
複数種の被処理物を複数種の処理工程の組み合わせで処
理して製品を製造する製造工程の管理方法において、第
１の設備において処理可能な被処理物が２種以上ある場
合に、前記処理可能な被処理物の処理条件、残りの処理
工程及びその処理時間並びに納期に基づいて前記処理可
能な被処理物の全てについて前記第１の設備での処理の
優先度を算出する工程と、最も優先度が高い処理可能な
被処理物を処理候補とする工程と、その時点での処理候
補について前記第１の設備よりも後で使用される第２の
設備の状態を示す情報に基づいて前記第１の設備におい
て前記処理候補の処理を行うか行わないかの判断を行う
工程と、前記処理候補の処理を行わないと判断した場合
に、前記処理候補の次に優先度が高い処理可能な被処理
物を処理候補として前記判断を行う工程に戻る工程とを
有することを特徴とする。
【００１５】本発明においては、第１の設備における処
理可能な被処理物の優先度を算出し、この優先度が最も
高いものについて、第２の設備の状態を示す情報に基づ
いて第１の設備で処理するかしないかの判断を行ってい
るので、例えば、第２の設備が非稼動状態のときにも仕
掛が蓄積することが防止される。また、常に優先度が高
い被処理物から処理するわけではないので、優先度が高
い被処理物が優先度が低い被処理物の処理を妨げること
が抑制される。
理可能な被処理物の優先度を算出し、この優先度が最も
高いものについて、第２の設備の状態を示す情報に基づ
いて第１の設備で処理するかしないかの判断を行ってい
るので、例えば、第２の設備が非稼動状態のときにも仕
掛が蓄積することが防止される。また、常に優先度が高
い被処理物から処理するわけではないので、優先度が高
い被処理物が優先度が低い被処理物の処理を妨げること
が抑制される。
【００１６】なお、前記処理候補の処理を行うと判断し
た場合に、前記処理候補の処理を前記第２の設備で最も
優先して行うという予約をする工程と、前記第２の設備
で前記処理候補の処理が終了した後に前記予約を消去す
る工程とを有することができる。
た場合に、前記処理候補の処理を前記第２の設備で最も
優先して行うという予約をする工程と、前記第２の設備
で前記処理候補の処理が終了した後に前記予約を消去す
る工程とを有することができる。
【００１７】また、前記判断を行う工程は、前記第２の
設備の仕掛を示す情報及び仕掛予定を示す情報を調査す
る工程を有してもよい。
設備の仕掛を示す情報及び仕掛予定を示す情報を調査す
る工程を有してもよい。
【００１８】本発明に係る製造工程の管理装置は、複数
種の被処理物を複数種の処理工程の組み合わせで処理し
て製品を製造する製造工程の管理装置において、前記被
処理物の処理条件、残りの処理工程及びその処理時間並
びに納期からその被処理物の第１の設備での優先度を算
出する優先度算出手段と、前記第１の設備よりも後で使
用される第２の設備の状態を示す情報に基づいて前記第
１の設備での前記被処理物の処理を行うか行わないかの
判断を行う判断手段とを有することを特徴とする。
種の被処理物を複数種の処理工程の組み合わせで処理し
て製品を製造する製造工程の管理装置において、前記被
処理物の処理条件、残りの処理工程及びその処理時間並
びに納期からその被処理物の第１の設備での優先度を算
出する優先度算出手段と、前記第１の設備よりも後で使
用される第２の設備の状態を示す情報に基づいて前記第
１の設備での前記被処理物の処理を行うか行わないかの
判断を行う判断手段とを有することを特徴とする。
【００１９】本発明においては、第１の設備において処
理可能な被処理物の優先度が算出された後、最も優先度
が高い処理可能被処理物が選択され、その処理可能な被
処理物から製品を製造する際に第１の設備よりも後で使
用される第２の設備の状態を示す情報に基づいて第１の
設備でその処理可能な被処理物が処理されるかされない
かが判断される。このため、第２の設備が非稼動状態の
ときにも仕掛が蓄積することが防止される。また、優先
度が低い被処理物が優先度が高い被処理物よりも先に処
理されることもある。
理可能な被処理物の優先度が算出された後、最も優先度
が高い処理可能被処理物が選択され、その処理可能な被
処理物から製品を製造する際に第１の設備よりも後で使
用される第２の設備の状態を示す情報に基づいて第１の
設備でその処理可能な被処理物が処理されるかされない
かが判断される。このため、第２の設備が非稼動状態の
ときにも仕掛が蓄積することが防止される。また、優先
度が低い被処理物が優先度が高い被処理物よりも先に処
理されることもある。
【００２０】なお、前記被処理物の処理を行うと判断し
た場合に、前記被処理物の処理を前記第２の設備で最も
優先して行うという予約をする予約手段と、前記第２の
設備で前記被処理物の処理が終了した後に前記予約を消
去する予約消去手段とを有することができる。
た場合に、前記被処理物の処理を前記第２の設備で最も
優先して行うという予約をする予約手段と、前記第２の
設備で前記被処理物の処理が終了した後に前記予約を消
去する予約消去手段とを有することができる。
【００２１】また、前記判断手段は、前記第２の設備の
仕掛を示す情報及び仕掛予定を示す情報を調査する調査
手段を有してもよい。
仕掛を示す情報及び仕掛予定を示す情報を調査する調査
手段を有してもよい。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第１の実施例方法
に係る工程の管理方法について、添付の図面を参照して
具体的に説明する。図１は本実施例方法に使用する工程
の管理装置を示すブロック図である。本実施例において
は、中央演算装置１に各種データを入力するための入力
装置２が接続されている。また、製品毎にその製造に使
用される工程フロー、納期等の情報及び状況が記憶され
る製品情報記憶装置５、工程フロー毎に使用される工程
フロー及び設備群等が記憶される工程フロー記憶装置３
並びに設備群毎に使用される処理可能号機及び処理時間
等が記憶される処理条件記憶装置４が中央演算装置１に
接続されている。更に、工程フロー記憶装置３、処理条
件記憶装置４又は製品情報記憶装置５に記憶されている
データに基づいて製品となる被処理物の処理順序を決定
する処理順決定モジュール６が中央処理装置１に接続さ
れている。
に係る工程の管理方法について、添付の図面を参照して
具体的に説明する。図１は本実施例方法に使用する工程
の管理装置を示すブロック図である。本実施例において
は、中央演算装置１に各種データを入力するための入力
装置２が接続されている。また、製品毎にその製造に使
用される工程フロー、納期等の情報及び状況が記憶され
る製品情報記憶装置５、工程フロー毎に使用される工程
フロー及び設備群等が記憶される工程フロー記憶装置３
並びに設備群毎に使用される処理可能号機及び処理時間
等が記憶される処理条件記憶装置４が中央演算装置１に
接続されている。更に、工程フロー記憶装置３、処理条
件記憶装置４又は製品情報記憶装置５に記憶されている
データに基づいて製品となる被処理物の処理順序を決定
する処理順決定モジュール６が中央処理装置１に接続さ
れている。
【００２３】記憶装置３、４又は５に記憶されるデータ
について、下記表１乃至３を参照して説明する。表１は
工程フロー記憶装置３に記憶されるデータの構成の一例
を示しており、表２は処理条件記憶装置４に記憶される
データの構成の一例を示しており、表３は製品情報記憶
装置５に記憶されるデータの構成の一例を示している。
について、下記表１乃至３を参照して説明する。表１は
工程フロー記憶装置３に記憶されるデータの構成の一例
を示しており、表２は処理条件記憶装置４に記憶される
データの構成の一例を示しており、表３は製品情報記憶
装置５に記憶されるデータの構成の一例を示している。
【００２４】
【表１】
【００２５】
【表２】
【００２６】
【表３】
【００２７】上記表１に示すように、工程フロー記憶装
置３においては、工程フロー名毎にデータテーブルが設
定され、このデータテーブルには、処理段階毎の工程
名、処理に使用される設備群、処理条件及び指定フラグ
が記憶される。指定フラグは何工程先の設備状態をチェ
ックするかを示す数値である。
置３においては、工程フロー名毎にデータテーブルが設
定され、このデータテーブルには、処理段階毎の工程
名、処理に使用される設備群、処理条件及び指定フラグ
が記憶される。指定フラグは何工程先の設備状態をチェ
ックするかを示す数値である。
【００２８】また、上記表２に示すように、処理条件記
憶装置４においては、設備群毎にデータテーブルが設定
され、このデータテーブルには、処理条件、処理時間及
び処理可能な設備号機が記憶される。
憶装置４においては、設備群毎にデータテーブルが設定
され、このデータテーブルには、処理条件、処理時間及
び処理可能な設備号機が記憶される。
【００２９】更に、上記表３に示すように、製品情報記
憶装置５においては、製品番号毎にその製造に使用され
る工程フロー名、被処理物が仕掛かっている仕掛工程
名、処理待ち又は処理中を示す状態、後工程で予約して
いる設備及び納期日時が記憶される。
憶装置５においては、製品番号毎にその製造に使用され
る工程フロー名、被処理物が仕掛かっている仕掛工程
名、処理待ち又は処理中を示す状態、後工程で予約して
いる設備及び納期日時が記憶される。
【００３０】また、中央演算装置１にはネットワーク７
が接続されており、ネットワーク７には、製造ライン８
中の各種設備９及び被処理物保管棚１０が接続されてい
る。被処理物保管棚１０は処理待ちの被処理物を保管す
るものである。また、各種設備９と被処理物保管棚１０
との間又は被処理物保管棚１０間で被処理物を搬送する
搬送装置１１が設けられている。各種設備９から処理開
始、処理終了及び設備の状態等の情報がネットワーク７
を介して中央処理装置１に送信される。また、搬送装置
による被処理物の搬送がネットワーク７を介して中央処
理装置１により制御される。
が接続されており、ネットワーク７には、製造ライン８
中の各種設備９及び被処理物保管棚１０が接続されてい
る。被処理物保管棚１０は処理待ちの被処理物を保管す
るものである。また、各種設備９と被処理物保管棚１０
との間又は被処理物保管棚１０間で被処理物を搬送する
搬送装置１１が設けられている。各種設備９から処理開
始、処理終了及び設備の状態等の情報がネットワーク７
を介して中央処理装置１に送信される。また、搬送装置
による被処理物の搬送がネットワーク７を介して中央処
理装置１により制御される。
【００３１】次に、処理順決定モジュール６による処理
フローについて説明する。図２は処理順決定モジュール
による処理を示すフローチャートである。製造ライン８
中の設備９から、例えば、被処理物要求のトリガ信号が
ネットワーク７を介して中央処理装置１に入力される
と、中央処理装置１により処理順決定モジュール６が起
動される。
フローについて説明する。図２は処理順決定モジュール
による処理を示すフローチャートである。製造ライン８
中の設備９から、例えば、被処理物要求のトリガ信号が
ネットワーク７を介して中央処理装置１に入力される
と、中央処理装置１により処理順決定モジュール６が起
動される。
【００３２】起動した処理順位決定モジュール６は中央
処理装置１を介して製品情報記憶装置５に記憶されてい
るデータから被処理物要求のトリガ信号を発した設備９
に予約されている被処理物を検索する（Ｓ１）。予約さ
れている被処理物がある場合には、その被処理物をその
設備９に搬送することを搬送装置１１に指示する（Ｓ
８）。
処理装置１を介して製品情報記憶装置５に記憶されてい
るデータから被処理物要求のトリガ信号を発した設備９
に予約されている被処理物を検索する（Ｓ１）。予約さ
れている被処理物がある場合には、その被処理物をその
設備９に搬送することを搬送装置１１に指示する（Ｓ
８）。
【００３３】一方、予約されている被処理物がない場合
には、後工程の処理設備で予約されている被処理物の有
無を前述の方法と同様の方法により検索する（Ｓ２）。
ここで、予約されている被処理物がある場合には、その
被処理物をトリガ信号を発した設備９に搬送することを
搬送装置１１に指示する（Ｓ８）。
には、後工程の処理設備で予約されている被処理物の有
無を前述の方法と同様の方法により検索する（Ｓ２）。
ここで、予約されている被処理物がある場合には、その
被処理物をトリガ信号を発した設備９に搬送することを
搬送装置１１に指示する（Ｓ８）。
【００３４】ここでも、予約されている被処理物がない
場合には、中央処理装置１を介して製品情報記憶装置５
に記憶されているデータからトリガ信号を発した設備９
で処理することが可能な被処理物を検索する（Ｓ３）。
場合には、中央処理装置１を介して製品情報記憶装置５
に記憶されているデータからトリガ信号を発した設備９
で処理することが可能な被処理物を検索する（Ｓ３）。
【００３５】検索の結果（Ｓ４）、処理可能な被処理物
が１つの場合、工程フロー記憶装置３に記憶されたその
製品の工程フローを検索し、仕掛工程の指定フラグがＯ
ｎになっているかチェックする（Ｓ５）。指定フラグが
Ｏｆｆの場合、その被処理物をトリガ信号を発した設備
９に搬送することを搬送装置１１に指示する（Ｓ８）。
が１つの場合、工程フロー記憶装置３に記憶されたその
製品の工程フローを検索し、仕掛工程の指定フラグがＯ
ｎになっているかチェックする（Ｓ５）。指定フラグが
Ｏｆｆの場合、その被処理物をトリガ信号を発した設備
９に搬送することを搬送装置１１に指示する（Ｓ８）。
【００３６】一方、指定フラグがＯｎの場合、指定フラ
グ内に記憶されている数値分だけ後の工程の処理条件に
応じることができる設備群を処理条件記憶装置４に記憶
されているデータから検索し、その設備群の状況をネッ
トワーク７を介してチェックする（Ｓ６）。チェックの
結果、その被処理物を処理することが可能であり他の被
処理物の予約がない号機が存在する場合、その設備群を
予約して、その被処理物の処理が完了するまで、他の被
処理物が処理されないようにする。また、製品情報記憶
装置５に予約した設備群を記憶させる（Ｓ７）。これに
より、前工程の終了から後工程での処理までの時間が決
められている場合でも、その時間内で対処することがで
きる。
グ内に記憶されている数値分だけ後の工程の処理条件に
応じることができる設備群を処理条件記憶装置４に記憶
されているデータから検索し、その設備群の状況をネッ
トワーク７を介してチェックする（Ｓ６）。チェックの
結果、その被処理物を処理することが可能であり他の被
処理物の予約がない号機が存在する場合、その設備群を
予約して、その被処理物の処理が完了するまで、他の被
処理物が処理されないようにする。また、製品情報記憶
装置５に予約した設備群を記憶させる（Ｓ７）。これに
より、前工程の終了から後工程での処理までの時間が決
められている場合でも、その時間内で対処することがで
きる。
【００３７】また、検索の結果（Ｓ４）、処理可能な被
処理物が２つ以上ある場合、それらの優先度αを算出す
る（Ｓ９）。優先度αは下記数式２で表される。
処理物が２つ以上ある場合、それらの優先度αを算出す
る（Ｓ９）。優先度αは下記数式２で表される。
【００３８】
【数２】α＝（最終工程終了までの処理時間の総和）／
（（納期日時）−（現在日時））
（（納期日時）−（現在日時））
【００３９】最終工程終了までの処理時間の総和は以下
のようにして算出される。先ず、工程フロー記憶装置３
に記憶されているデータから、残り工程及びその各工程
の処理条件が読込まれ、その処理条件に要する処理時間
が処理条件記憶装置４から読込まれる。そして、最終工
程終了までの処理時間の総和として、全ての残り工程に
要する処理時間が算出される。
のようにして算出される。先ず、工程フロー記憶装置３
に記憶されているデータから、残り工程及びその各工程
の処理条件が読込まれ、その処理条件に要する処理時間
が処理条件記憶装置４から読込まれる。そして、最終工
程終了までの処理時間の総和として、全ての残り工程に
要する処理時間が算出される。
【００４０】上記数式２より、例えば、２種類の製品の
納期日時が等しく、被処理物の最終工程終了までの処理
時間の総和が相違する場合、最終工程終了までの処理時
間の総和が大きい方が優先度αが高くなり、優先して処
理される。また、２種類の被処理物の最終工程終了まで
の処理時間の総和が等しく、製品の納期日時が相違する
場合、納期日時が近く、納期日時と現在日時との差が小
さい方の優先度αが高くなり、優先して処理される。
納期日時が等しく、被処理物の最終工程終了までの処理
時間の総和が相違する場合、最終工程終了までの処理時
間の総和が大きい方が優先度αが高くなり、優先して処
理される。また、２種類の被処理物の最終工程終了まで
の処理時間の総和が等しく、製品の納期日時が相違する
場合、納期日時が近く、納期日時と現在日時との差が小
さい方の優先度αが高くなり、優先して処理される。
【００４１】優先度αを計算（Ｓ９）した後、優先度α
が最も大きい製品の指定フラグをチェックする（Ｓ１
０）。指定フラグがＯｆｆの場合、その製品の被処理物
をトリガ信号を発した設備９に搬送することを搬送装置
１１に指示する（Ｓ８）。
が最も大きい製品の指定フラグをチェックする（Ｓ１
０）。指定フラグがＯｆｆの場合、その製品の被処理物
をトリガ信号を発した設備９に搬送することを搬送装置
１１に指示する（Ｓ８）。
【００４２】指定フラグがＯｎの場合、指定フラグ内に
記憶されている数値分だけ後の工程の処理条件に応じる
ことができる設備群を処理条件記憶装置４に記憶されて
いるデータから検索し、その設備群の状況をネットワー
ク７を介してチェックする（Ｓ１１）。チェックの結
果、その被処理物を処理することが可能であり他の被処
理物の予約がない号機が存在する場合、その設備を予約
して、その被処理物の処理が完了するまで、他の被処理
物が処理されないようにする。また、製品情報記憶装置
５に予約した設備群を記憶させる（Ｓ７）。チェックの
結果、設備の予約が不可能な場合（Ｓ１２）、次に優先
度αが高い被処理物について指定フラグをチェックする
（Ｓ１０）。
記憶されている数値分だけ後の工程の処理条件に応じる
ことができる設備群を処理条件記憶装置４に記憶されて
いるデータから検索し、その設備群の状況をネットワー
ク７を介してチェックする（Ｓ１１）。チェックの結
果、その被処理物を処理することが可能であり他の被処
理物の予約がない号機が存在する場合、その設備を予約
して、その被処理物の処理が完了するまで、他の被処理
物が処理されないようにする。また、製品情報記憶装置
５に予約した設備群を記憶させる（Ｓ７）。チェックの
結果、設備の予約が不可能な場合（Ｓ１２）、次に優先
度αが高い被処理物について指定フラグをチェックする
（Ｓ１０）。
【００４３】検索の結果（Ｓ４）、処理可能な被処理物
が２以上ある場合には、このように、優先度αが高い順
に指定フラグのチェックを行い（Ｓ１０）、処理可能な
被処理物が決定したら、その被処理物をトリガ信号を発
した設備９に搬送することを搬送装置１１に指示する
（Ｓ８）。
が２以上ある場合には、このように、優先度αが高い順
に指定フラグのチェックを行い（Ｓ１０）、処理可能な
被処理物が決定したら、その被処理物をトリガ信号を発
した設備９に搬送することを搬送装置１１に指示する
（Ｓ８）。
【００４４】そして、予約された設備で予約被処理物の
処理を開始した時点で、製品情報記憶装置５内に記憶さ
れているデータを消去して予約を解除する。
処理を開始した時点で、製品情報記憶装置５内に記憶さ
れているデータを消去して予約を解除する。
【００４５】本実施例方法においては、先ず、優先度α
の高低を基準にして被処理物の処理順序の目処を立てた
後、指定フラグをチェックすることにより、後工程の状
況をチェックして、後工程の設備状態が処理可能である
場合に限りその被処理物を処理するので、仕掛を蓄積す
ることが防止される。また、常に優先度αが高い製品の
被処理物から処理するわけではないので、優先度αが高
い製品が優先度αが低い製品の被処理物の処理を妨げる
ことが抑制される。
の高低を基準にして被処理物の処理順序の目処を立てた
後、指定フラグをチェックすることにより、後工程の状
況をチェックして、後工程の設備状態が処理可能である
場合に限りその被処理物を処理するので、仕掛を蓄積す
ることが防止される。また、常に優先度αが高い製品の
被処理物から処理するわけではないので、優先度αが高
い製品が優先度αが低い製品の被処理物の処理を妨げる
ことが抑制される。
【００４６】次に、本発明の第２の実施例方法について
説明する。本実施例方法においても、第１の実施例方法
と同様に、図１に示す工程の管理装置が使用される。但
し、各記憶装置３、４又は５に記憶されるデータは第１
の実施例方法のものと相違する。表４は工程フロー記憶
装置３に記憶されるデータの構成の一例を示しており、
表５は処理条件記憶装置４に記憶されるデータの構成の
一例を示しており、表６は製品情報記憶装置５に記憶さ
れるデータの構成の一例を示している。
説明する。本実施例方法においても、第１の実施例方法
と同様に、図１に示す工程の管理装置が使用される。但
し、各記憶装置３、４又は５に記憶されるデータは第１
の実施例方法のものと相違する。表４は工程フロー記憶
装置３に記憶されるデータの構成の一例を示しており、
表５は処理条件記憶装置４に記憶されるデータの構成の
一例を示しており、表６は製品情報記憶装置５に記憶さ
れるデータの構成の一例を示している。
【００４７】
【表４】
【００４８】
【表５】
【００４９】
【表６】
【００５０】上記表４に示すように、工程フロー記憶装
置３においては、工程フロー名毎にデータテーブルが設
定され、このデータテーブルには、処理段階毎の工程
名、処理に使用される設備群及び処理条件が記憶され
る。第１の実施例と相違する点は、指定フラグが記憶さ
れない点である。
置３においては、工程フロー名毎にデータテーブルが設
定され、このデータテーブルには、処理段階毎の工程
名、処理に使用される設備群及び処理条件が記憶され
る。第１の実施例と相違する点は、指定フラグが記憶さ
れない点である。
【００５１】また、上記表５に示すように、処理条件記
憶装置４においては、設備群毎にデータテーブルが設定
され、このデータテーブルには、設備（号機）１台あた
りの仕掛限界値、設備号機毎の処理可能な処理条件、仕
掛又は仕掛予定製品番号及び各製品の仕掛値並びに合計
仕掛値が記憶される。
憶装置４においては、設備群毎にデータテーブルが設定
され、このデータテーブルには、設備（号機）１台あた
りの仕掛限界値、設備号機毎の処理可能な処理条件、仕
掛又は仕掛予定製品番号及び各製品の仕掛値並びに合計
仕掛値が記憶される。
【００５２】更に、上記表６に示すように、製品情報記
憶装置５においては、製品番号毎に使用される工程フロ
ー名、被処理物が仕掛かっている工程名、処理待ち又は
処理中を示す状態及び納期日時が記憶される。第１の実
施例と相違する点は、後工程で予約している設備が記憶
されない点である。
憶装置５においては、製品番号毎に使用される工程フロ
ー名、被処理物が仕掛かっている工程名、処理待ち又は
処理中を示す状態及び納期日時が記憶される。第１の実
施例と相違する点は、後工程で予約している設備が記憶
されない点である。
【００５３】次に、処理順決定モジュール６による処理
フローについて説明する。図３は処理順決定モジュール
による処理を示すフローチャートである。製造ライン８
中の設備９から、例えば、被処理物要求のトリガ信号が
ネットワーク７を介して中央処理装置１に入力される
と、中央処理装置１により処理順決定モジュール６が起
動される。
フローについて説明する。図３は処理順決定モジュール
による処理を示すフローチャートである。製造ライン８
中の設備９から、例えば、被処理物要求のトリガ信号が
ネットワーク７を介して中央処理装置１に入力される
と、中央処理装置１により処理順決定モジュール６が起
動される。
【００５４】起動した処理順位決定モジュール６は中央
処理装置１を介して製品情報記憶装置５に記憶されてい
る情報からトリガ信号を発した設備９で処理することが
可能な被処理物を検索する（Ｓ２１）。
処理装置１を介して製品情報記憶装置５に記憶されてい
る情報からトリガ信号を発した設備９で処理することが
可能な被処理物を検索する（Ｓ２１）。
【００５５】検索の結果（Ｓ２２）、処理可能な被処理
物が２以上ある場合、第１の実施例と同様の方法によ
り、被処理物の最終工程終了までの処理時間の総和及び
製品の納期日時と現在日時との差から優先度αを算出す
る（Ｓ２３）。優先度αを算出した後、優先度αが最も
高い被処理物を検索し、その被処理物の後工程で使用さ
れる処理設備群を工程フロー記憶処置３に記憶されてい
るデータから検索する（Ｓ２４）。また、検索の結果
（Ｓ２２）、処理可能な被処理物が１のみの場合、優先
度αを算出することなくその被処理物の後工程で使用さ
れる処理設備群を工程フロー記憶処置３に記憶されてい
るデータから検索する（Ｓ２４）。
物が２以上ある場合、第１の実施例と同様の方法によ
り、被処理物の最終工程終了までの処理時間の総和及び
製品の納期日時と現在日時との差から優先度αを算出す
る（Ｓ２３）。優先度αを算出した後、優先度αが最も
高い被処理物を検索し、その被処理物の後工程で使用さ
れる処理設備群を工程フロー記憶処置３に記憶されてい
るデータから検索する（Ｓ２４）。また、検索の結果
（Ｓ２２）、処理可能な被処理物が１のみの場合、優先
度αを算出することなくその被処理物の後工程で使用さ
れる処理設備群を工程フロー記憶処置３に記憶されてい
るデータから検索する（Ｓ２４）。
【００５６】そして、検索された処理条件で処理可能な
号機を処理条件記憶装置４に記憶されているデータから
検索し、検索された号機の稼働状況をネットワーク７を
介してチェックする（Ｓ２５）。全ての号機が故障中又
はメンテナンス中等の理由で非稼働状態の場合には、次
に優先度αが高い製品の有無をチェックする（Ｓ２
６）。
号機を処理条件記憶装置４に記憶されているデータから
検索し、検索された号機の稼働状況をネットワーク７を
介してチェックする（Ｓ２５）。全ての号機が故障中又
はメンテナンス中等の理由で非稼働状態の場合には、次
に優先度αが高い製品の有無をチェックする（Ｓ２
６）。
【００５７】チェック（Ｓ２４）の結果、稼働号機が存
在する場合、各号機の合計仕掛値を処理条件記憶装置４
に記憶されているデータから検索する（Ｓ２７）。そし
て、全ての号機の合計仕掛値が仕掛限界値を超えている
ときには、次に優先度αが高い被処理物の有無をチェッ
クする（Ｓ２６）。例えば、表５中の号機３の合計仕掛
値が仕掛限界値を超えている。一方、合計仕掛値が仕掛
限界値以下の設備号機が存在するときには、その号機の
合計仕掛値を以下の手順により変更する（Ｓ２８）。仕
掛限界値以下の号機が１台のみ存在する場合には、仕掛
値１．０をその号機の仕掛合計値に加算する。表５中の
製品Ｎｏ．２がこれに該当する。また、仕掛限界値以下
の号機が２台以上存在する場合、仕掛値１．０を仕掛限
界値以下の号機台数で割る。そして、その計算結果の値
をそれぞれの号機の仕掛合計値に加算する。表５中の製
品Ｎｏ．５は、仕掛限界値以下の号機が２台存在する場
合に、それらの号機に割り振られた例である。いずれの
場合にも、全体で仕掛合計値は１増加することになる。
在する場合、各号機の合計仕掛値を処理条件記憶装置４
に記憶されているデータから検索する（Ｓ２７）。そし
て、全ての号機の合計仕掛値が仕掛限界値を超えている
ときには、次に優先度αが高い被処理物の有無をチェッ
クする（Ｓ２６）。例えば、表５中の号機３の合計仕掛
値が仕掛限界値を超えている。一方、合計仕掛値が仕掛
限界値以下の設備号機が存在するときには、その号機の
合計仕掛値を以下の手順により変更する（Ｓ２８）。仕
掛限界値以下の号機が１台のみ存在する場合には、仕掛
値１．０をその号機の仕掛合計値に加算する。表５中の
製品Ｎｏ．２がこれに該当する。また、仕掛限界値以下
の号機が２台以上存在する場合、仕掛値１．０を仕掛限
界値以下の号機台数で割る。そして、その計算結果の値
をそれぞれの号機の仕掛合計値に加算する。表５中の製
品Ｎｏ．５は、仕掛限界値以下の号機が２台存在する場
合に、それらの号機に割り振られた例である。いずれの
場合にも、全体で仕掛合計値は１増加することになる。
【００５８】なお、合計仕掛値を変更するのと同時に、
処理条件記憶装置４内の製品Ｎｏ．が記憶されているフ
ィールドに、その製品Ｎｏ．及び算出された仕掛値を追
加記憶させる。
処理条件記憶装置４内の製品Ｎｏ．が記憶されているフ
ィールドに、その製品Ｎｏ．及び算出された仕掛値を追
加記憶させる。
【００５９】次に、処理される製品が決定したら、その
被処理物をトリガ信号を発した目的の設備９に搬送する
ことを搬送装置１１に指示する（Ｓ２９）。
被処理物をトリガ信号を発した目的の設備９に搬送する
ことを搬送装置１１に指示する（Ｓ２９）。
【００６０】また、各設備で処理条件記憶装置４内の製
品Ｎｏ．が記憶されるフィールドに記憶されている被処
理物の処理を開始した時点で、各号機の製品Ｎｏ．フィ
ールドからその製品Ｎｏ．を消去する共に、その被処理
物の仕掛値を各号機の合計仕掛値から減算し、この値を
処理条件記憶装置４内の製品Ｎｏ．フィールドに記憶さ
せる。
品Ｎｏ．が記憶されるフィールドに記憶されている被処
理物の処理を開始した時点で、各号機の製品Ｎｏ．フィ
ールドからその製品Ｎｏ．を消去する共に、その被処理
物の仕掛値を各号機の合計仕掛値から減算し、この値を
処理条件記憶装置４内の製品Ｎｏ．フィールドに記憶さ
せる。
【００６１】本実施例においては、優先度αの高低を基
準にして製品の被処理物の処理順序の目処を立てた後、
仕掛合計値をチェックすることにより、後工程の状況を
チェックして、後工程で仕掛値が上限を超えていない場
合に限りその被処理物を処理するので、仕掛を蓄積する
ことが防止される。また、本実施例においても、常に優
先度αが高い製品の被処理物から処理するわけではない
ので、優先度αが高い製品が優先度αが低い製品の被処
理物の処理を妨げることが抑制される。
準にして製品の被処理物の処理順序の目処を立てた後、
仕掛合計値をチェックすることにより、後工程の状況を
チェックして、後工程で仕掛値が上限を超えていない場
合に限りその被処理物を処理するので、仕掛を蓄積する
ことが防止される。また、本実施例においても、常に優
先度αが高い製品の被処理物から処理するわけではない
ので、優先度αが高い製品が優先度αが低い製品の被処
理物の処理を妨げることが抑制される。
【００６２】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
後の設備の状態に基づいて処理順序を判断する設備で被
処理物を処理するか否かの判断を行っているので、後の
設備が非稼動状態のときにも、その後の設備で仕掛が蓄
積することが防止される。また、優先度が低い被処理物
が優先度が高い被処理物よりも先に処理されることがあ
るので、優先度が低い製品をも滞りなく処理することが
できる。更に、工程間の時間が規定されている製品を確
実にその規定時間内で処理することができる。
後の設備の状態に基づいて処理順序を判断する設備で被
処理物を処理するか否かの判断を行っているので、後の
設備が非稼動状態のときにも、その後の設備で仕掛が蓄
積することが防止される。また、優先度が低い被処理物
が優先度が高い被処理物よりも先に処理されることがあ
るので、優先度が低い製品をも滞りなく処理することが
できる。更に、工程間の時間が規定されている製品を確
実にその規定時間内で処理することができる。
【図１】本発明の実施例方法に使用する工程の管理装置
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
【図２】第１の実施例方法における処理順決定モジュー
ルによる処理を示すフローチャートである。
ルによる処理を示すフローチャートである。
【図３】第２の実施例方法における処理順決定モジュー
ルによる処理を示すフローチャートである。
ルによる処理を示すフローチャートである。
１；中央処理装置 ２；入力装置 ３；工程フロー記憶装置 ４；処理条件記憶装置 ５；製品情報記憶装置 ６；処理順決定モジュール ７；ネットワーク ８；製造ライン ９；設備 １０；被処理物保管棚 １１；搬送装置
Claims (7)
- 【請求項１】 複数種の被処理物を複数種の処理工程の
組み合わせで処理して製品を製造する製造工程の管理方
法において、前記被処理物の処理条件、残りの処理工程
及びその処理時間並びに納期に基づいて前記被処理物の
優先順位を決定し、その優先順位に従って処理するに際
し、前記被処理物の先工程の設備の状態を示す情報を考
慮して、処理を行うか行わないかを判断することを特徴
とする製造工程の管理方法。 - 【請求項２】 複数種の被処理物を複数種の処理工程の
組み合わせで処理して製品を製造する製造工程の管理方
法において、第１の設備において処理可能な被処理物が
２種以上ある場合に、前記処理可能な被処理物の処理条
件、残りの処理工程及びその処理時間並びに納期に基づ
いて前記処理可能な被処理物の全てについて前記第１の
設備での処理の優先度を算出する工程と、最も優先度が
高い処理可能な被処理物を処理候補とする工程と、その
時点での処理候補について前記第１の設備よりも後で使
用される第２の設備の状態を示す情報に基づいて前記第
１の設備において前記処理候補の処理を行うか行わない
かの判断を行う工程と、前記処理候補の処理を行わない
と判断した場合に、前記処理候補の次に優先度が高い処
理可能な被処理物を処理候補として前記判断を行う工程
に戻る工程とを有することを特徴とする製造工程の管理
方法。 - 【請求項３】 前記処理候補の処理を行うと判断した場
合に、前記処理候補の処理を前記第２の設備で最も優先
して行うという予約をする工程と、前記第２の設備で前
記処理候補の処理が終了した後に前記予約を消去する工
程とを有することを特徴とする請求項２に記載の製造工
程の管理方法。 - 【請求項４】 前記判断を行う工程は、前記第２の設備
の仕掛を示す情報及び仕掛予定を示す情報を調査する工
程を有することを特徴とする請求項２に記載の製造工程
の管理方法。 - 【請求項５】 複数種の被処理物を複数種の処理工程の
組み合わせで処理して製品を製造する製造工程の管理装
置において、前記被処理物の処理条件、残りの処理工程
及びその処理時間並びに納期からその被処理物の第１の
設備での優先度を算出する優先度算出手段と、前記第１
の設備よりも後で使用される第２の設備の状態を示す情
報に基づいて前記第１の設備での前記被処理物の処理を
行うか行わないかの判断を行う判断手段とを有すること
を特徴とする製造工程の管理装置。 - 【請求項６】 前記被処理物の処理を行うと判断した場
合に、前記被処理物の処理を前記第２の設備で最も優先
して行うという予約をする予約手段と、前記第２の設備
で前記被処理物の処理が終了した後に前記予約を消去す
る予約消去手段とを有することを特徴とする請求項５に
記載の製造工程の管理装置。 - 【請求項７】 前記判断手段は、前記第２の設備の仕掛
を示す情報及び仕掛予定を示す情報を調査する調査手段
を有することを特徴とする請求項５に記載の製造工程の
管理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34954397A JP3228206B2 (ja) | 1997-12-18 | 1997-12-18 | 製造工程の管理方法及びそれに使用される管理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34954397A JP3228206B2 (ja) | 1997-12-18 | 1997-12-18 | 製造工程の管理方法及びそれに使用される管理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11184925A true JPH11184925A (ja) | 1999-07-09 |
| JP3228206B2 JP3228206B2 (ja) | 2001-11-12 |
Family
ID=18404438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34954397A Expired - Fee Related JP3228206B2 (ja) | 1997-12-18 | 1997-12-18 | 製造工程の管理方法及びそれに使用される管理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3228206B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001086704A1 (en) * | 2000-05-09 | 2001-11-15 | Tokyo Electron Limited | Semiconductor manufacturing system and control method thereof |
| US6535778B2 (en) | 2000-08-24 | 2003-03-18 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Process control method and process control apparatus |
-
1997
- 1997-12-18 JP JP34954397A patent/JP3228206B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001086704A1 (en) * | 2000-05-09 | 2001-11-15 | Tokyo Electron Limited | Semiconductor manufacturing system and control method thereof |
| US6839603B2 (en) | 2000-05-09 | 2005-01-04 | Tokyo Electron Limited | Semiconductor manufacturing system and control method thereof |
| US6535778B2 (en) | 2000-08-24 | 2003-03-18 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Process control method and process control apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3228206B2 (ja) | 2001-11-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100275639B1 (ko) | 설비 그룹의 버퍼 용량을 고려하여 설비 그룹의 각 설비의 작업 개시를 제어할 수 있는 생산 제어 장치 | |
| US6434440B1 (en) | Production estimate management system | |
| JP2003257808A (ja) | 半導体製造装置、その管理装置、その部品管理装置、半導体ウェーハ収納容器搬送装置 | |
| GB2296818A (en) | Producing semiconductor wafers | |
| US7058627B2 (en) | Reticle management system | |
| JP2800795B2 (ja) | 生産制御方法及び生産制御装置 | |
| JPH11184925A (ja) | 製造工程の管理方法及びそれに使用される管理装置 | |
| JP2009145942A (ja) | 作業スケジューリング装置、そのシステムおよびそのプログラム | |
| US6535778B2 (en) | Process control method and process control apparatus | |
| JP2001230598A (ja) | 部品振り分け制御装置、部品振り分け方法、部品実装設備および部品振り分けシステム。 | |
| JP2980182B2 (ja) | 工具管理装置 | |
| JP2005190031A (ja) | 半導体デバイス製造におけるボトルネック発生回避方法およびシステム | |
| JP2973884B2 (ja) | 生産制御装置 | |
| JP2001125621A (ja) | 製造工程における作業ロットの配膳システム | |
| US7241044B1 (en) | Production control system of autonomous and decentralized type | |
| JP5359312B2 (ja) | 製造ラインの工程管理方法および工程管理システム | |
| JPH0744614A (ja) | 生産管理装置および生産管理方法 | |
| JPH0816206A (ja) | 着工順序決定方法及び装置 | |
| JP3246461B2 (ja) | レチクル搬送制御方法 | |
| JP2702469B2 (ja) | 半導体ウェーハの生産方法 | |
| JP2663890B2 (ja) | 生産制御装置 | |
| JP2600628B2 (ja) | 複数の割り付け条件を考慮した作業順序決定方式 | |
| JPH04348856A (ja) | 作業着手順序決定方式 | |
| JP2003316419A (ja) | 製造ラインの進捗制御装置及び進捗制御方法 | |
| JP2002347933A (ja) | 搬送管理システム、搬送管理方法および搬送管理プログラム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |