JPH11176987A - High frequency power amplifier - Google Patents

High frequency power amplifier

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JPH11176987A
JPH11176987A JP9345507A JP34550797A JPH11176987A JP H11176987 A JPH11176987 A JP H11176987A JP 9345507 A JP9345507 A JP 9345507A JP 34550797 A JP34550797 A JP 34550797A JP H11176987 A JPH11176987 A JP H11176987A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a high frequency power amplifier which enables miniaturization and electrical characteristics to be adjusted easily with respect the dispersion of multilayered board characteristics with reduced manufacturing man- hours, thereby improving non-defective ratio of products, and is suited to the high volume production. SOLUTION: This amplifier comprises a multilayered board 22, having a ground electrode layer 23 beneath an uppermost insulation layer 22a, a strip line 26 which is formed on the board and electrically connected to a connection conductor leading a stripline 24 to the top face of the board 22, a power amplifier transistor 27 and chip components 28 which are mounted on the board 22 and electrically connected to the stripline 26, and a pad electrode 29 which is added to the stripline 26 on the board 22 and opposed to the ground electrode layer 23 via the uppermost insulation layer 22a. The pad electrode 29 is utilized for easy adjustment of the electrical characteristics.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、携帯電話等の移動
体通信機などに使用する送信用の高周波用電力増幅器に
関し、特に製品の製造工数の削減、良品率の向上ならび
に小型化を可能とした高周波用電力増幅器に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a high-frequency power amplifier for transmission used in a mobile communication device such as a mobile phone, and more particularly to a reduction in man-hours for manufacturing a product, an improvement in a non-defective product rate, and a reduction in size. The present invention relates to a high-frequency power amplifier described above.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、アナログあるいはディジタル携帯
電話等の移動体通信機などに使用される半導体デバイス
や電子部品に対する小型化・軽量化の要望が強くなって
いる。
2. Description of the Related Art In recent years, there has been an increasing demand for miniaturization and weight reduction of semiconductor devices and electronic components used in mobile communication devices such as analog or digital cellular phones.

【0003】この小型化に伴い、送信部に用いられる高
周波用電力増幅器においては、従来基板上に形成してい
た電力増幅用高周波トランジスタのドレイン線路の占有
面積が無視できなくなってきたため、ドレイン線路を内
層化することによって小型化が実施されている。
[0003] With the miniaturization, the occupied area of the drain line of the high-frequency power amplifying transistor conventionally formed on the substrate in the high-frequency power amplifier used in the transmission section cannot be ignored. Downsizing has been implemented by forming an inner layer.

【0004】また、高周波用電力増幅器の基板において
高周波回路を構成するマイクロストリップ線路の線路幅
や長さが基板の製造ロット毎にばらつき、これによって
電気特性がばらつくために良品率が低下するという問題
に対しては、電気特性の調整用に使用するチップコンデ
ンサの容量値を基板ロット毎に変更したり、基板上にあ
らかじめ調整用チップコンデンサの実装箇所を複数準備
しておいて希望する特性が得られる実装箇所に実装する
ことで、良品率を向上させることが行なわれてきた。
In addition, the width and length of the microstrip line constituting the high-frequency circuit on the substrate of the high-frequency power amplifier vary from one production lot to another, and the electrical characteristics vary, thereby lowering the yield rate. In order to obtain the desired characteristics, change the capacitance value of the chip capacitors used for adjusting the electrical characteristics for each board lot, or prepare multiple mounting locations for the adjustment chip capacitors on the board in advance. It has been practiced to improve the non-defective product rate by mounting the semiconductor device at a desired mounting location.

【0005】以下、従来の高周波用電力増幅器について
図6および図7を参照しながら説明する。図6は従来の
高周波用電力増幅器1の平面図であり、図7は図6のA
−A’線断面図である。
Hereinafter, a conventional high frequency power amplifier will be described with reference to FIGS. 6 and 7. FIG. FIG. 6 is a plan view of a conventional high-frequency power amplifier 1, and FIG.
It is a sectional view taken on line -A '.

【0006】図6および図7に示すように、従来の高周
波用電力増幅器1においては、誘電体から成る多層基板
2の上面にマイクロストリップ線路3が形成されてお
り、そのマイクロストリップ線路3にはチップコンデン
サ4やチップ抵抗5・トリマブル抵抗6等のチップ部品
が実装されて電気的に接続され、入力整合回路7およぴ
出力整合回路8が形成されている。
As shown in FIGS. 6 and 7, in a conventional high frequency power amplifier 1, a microstrip line 3 is formed on an upper surface of a multilayer substrate 2 made of a dielectric material. Chip components such as a chip capacitor 4, a chip resistor 5, and a trimmable resistor 6 are mounted and electrically connected to form an input matching circuit 7 and an output matching circuit 8.

【0007】11は電力増幅用トランジスタであり、その
ドレイン線路9は、高周波の漏洩防止のためその長さを
使用周波数の約4分のl波長(約λ/4)の長さ(例え
ば、比誘電率が約9.6 のアルミナセラミックス基板を用
いて周波数が940 MHzの場合であれば約30mm)とし
た伝送線路であり、その線路導体による占有面積が広い
ため内層化され、ドレイン線路9を挟む上下にはグラン
ド電極層10が配置されている。
Reference numeral 11 denotes a power amplifying transistor, and its drain line 9 has a length of about one quarter wavelength (about λ / 4) of a working frequency (about λ / 4) to prevent high frequency leakage, for example. This is a transmission line that uses an alumina ceramic substrate with a dielectric constant of about 9.6 and has a frequency of about 940 MHz and has a width of about 30 mm). Is provided with a ground electrode layer 10.

【0008】また、電力増幅用トランジスタ11は基板上
に銀ペースト等によってベアチップ実装され、その電極
がボンディングワイヤ12によって多層基板2上の電極パ
ッド13に接続され、さらに封止樹脂14により封止されて
いる。さらに、電力増幅用トランジスタ11で発生する熱
を放熱するため、トランジスタ実装部の底面と多層基板
2の裏面とを接続する多数の放熱用ビア導体15が設けら
れている。
The power amplifying transistor 11 is mounted on a substrate with a bare chip using a silver paste or the like, and its electrodes are connected to electrode pads 13 on the multilayer substrate 2 by bonding wires 12 and further sealed by a sealing resin 14. ing. Further, in order to dissipate the heat generated by the power amplifying transistor 11, a large number of heat dissipating via conductors 15 for connecting the bottom surface of the transistor mounting portion and the back surface of the multilayer substrate 2 are provided.

【0009】このような構成の高周波用電力増幅器1に
おいては、マイクロストリップ線路3の線路幅や線路長
が基板の製造ロット毎にばらつくことによって電気特性
がばらつくという問題があり、その中でも特に出力整合
回路8を構成するマイクロストリップ線路3のばらつき
による影響が大きい。
In the high-frequency power amplifier 1 having such a configuration, there is a problem in that the line width and the line length of the microstrip line 3 vary from one production lot to another, resulting in variations in electrical characteristics. The influence of the variation of the microstrip line 3 constituting the circuit 8 is large.

【0010】このようなマイクロストリップ線路3は通
常は印刷技術によって形成されており、印刷精度を向上
させれば特性のばらつきも減少させることができるが、
実際には土20〜30μmの精度でも各基板ロット毎の特性
ばらつきを吸収することはできない。そこで、特性ばら
つきを吸収するために、電気特性の調整用に使用するチ
ップコンデンサ4の容量値を基板ロット毎に調整した
り、基板上にあらかじめ複数の実装電極59を準備してお
いて希望する特性が得られる実装箇所にチップコンデン
サ3を実装することで調整用のチップコンデンサ3の実
装位置を変更し、それによりマイクロストリップ線路3
の線路長を調整することによって、出力整合回路8のイ
ンピーダンスのずれを補正して特性ばらつきを吸収し、
製品の良品率を向上させてきた。
[0010] Such a microstrip line 3 is usually formed by a printing technique, and if the printing accuracy is improved, the variation in characteristics can be reduced.
In practice, even with an accuracy of 20 to 30 μm, it is not possible to absorb the characteristic variation of each substrate lot. Therefore, in order to absorb the characteristic variation, it is desired to adjust the capacitance value of the chip capacitor 4 used for adjusting the electric characteristics for each substrate lot or to prepare a plurality of mounting electrodes 59 on the substrate in advance. The mounting position of the chip capacitor 3 for adjustment is changed by mounting the chip capacitor 3 at the mounting position where the characteristics are obtained, thereby changing the microstrip line 3.
By adjusting the line length, the deviation of the impedance of the output matching circuit 8 is corrected to absorb the characteristic variation,
The rate of non-defective products has been improved.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の従来の高周波用電力増幅器1においてはドレイン線
路9のみを内層化しているので、高周波用電力増幅器1
のさらなる小型化を行なうためには、従来多層基板2上
に形成していたマイクロストリップ線路3の占有面積も
無視できなくなることから、これらもストリップ線路と
して内層化することにより小型化を実現する方法が考え
られる。しかし、この方法では、ストリップ線路と多層
基板2上面の電極パッド等とを接続するビア導体のイン
ダクタンス成分や、ストリップ線路を挟む上下のグラン
ド電極層との距離が製造のロット毎でばらつき、それに
より電気特性がばらつくという問題がある。
However, in the conventional high-frequency power amplifier 1 having the above-described structure, only the drain line 9 is formed in an inner layer, so that the high-frequency power amplifier 1
In order to further reduce the size, the occupied area of the microstrip line 3 conventionally formed on the multilayer substrate 2 cannot be neglected. Therefore, a method of realizing the miniaturization by forming these layers as strip lines in the inner layer is also required. Can be considered. However, according to this method, the inductance component of the via conductor connecting the strip line to the electrode pad or the like on the upper surface of the multilayer substrate 2 and the distance between the upper and lower ground electrode layers sandwiching the strip line vary from manufacturing lot to manufacturing lot. There is a problem that the electrical characteristics vary.

【0012】そこで、この電気特性のばらつきを調整す
るために従来のように調整用のチップコンデンサの容量
値を変えることで対応しようとすると、多層基板2の製
造ロット毎に最適なコンデンサ容量値を先行投入品で確
認して調整したり、また製造ロット毎に調整用のチップ
コンデンサの実装位置の最適化を図る必要があり、この
方法で大量生産を実施した場合には、多層基板2の製造
ロット毎に最適なコンデンサ容量値とその実装位置とを
決める必要があることから、製品の製造工数が多くなっ
て製造工程が複雑になり、製品の良品率を高くすること
も困難であるという問題点があった。また、調整用のチ
ップコンデンサもその容量値を例えば0.1 pF刻みで細
かく準備しておく必要があり、それらの在庫管理が難し
く、それによっても製品の製造工数が増加してしまうと
いう問題点もあった。
In order to adjust the variation in the electric characteristics, it is necessary to change the capacitance value of the chip capacitor for adjustment as in the prior art. It is necessary to check and adjust the preceding input products, and to optimize the mounting position of the chip capacitors for adjustment for each production lot. Since it is necessary to determine the optimal capacitor value and mounting position for each lot, the number of manufacturing steps increases, the manufacturing process becomes complicated, and it is difficult to increase the non-defective product rate. There was a point. In addition, the chip capacitors for adjustment also need to have their capacitance values finely prepared in increments of, for example, 0.1 pF, which makes it difficult to manage their inventory, thereby increasing the number of man-hours for manufacturing products. Was.

【0013】本発明は上記事情に鑑みて案出されたもの
であり、その目的は、小型化が可能であり、多層基板の
特性のばらつきに対する電気特性の調整を製造工数を削
減しつつ容易に行なうことができ、それにより製品とし
ての良品率も向上することができる、量産に好適な高周
波用電力増幅器を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to reduce the size of a multilayer substrate and easily adjust electric characteristics with respect to variations in characteristics of a multilayer substrate while reducing the number of manufacturing steps. It is an object of the present invention to provide a high-frequency power amplifier suitable for mass production, which can be carried out, thereby improving the non-defective rate as a product.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明の第1の高周波用
電力増幅器は、ガラスを主成分とする複数の絶縁層から
成り、この絶縁層の最上層の下面にグランド電極層を有
する多層基板と、この多層基板内の前記グランド電極層
の下方に形成されたストリップ線路と、前記多層基板上
に形成され前記ストリップ線路から前記多層基板の上面
にかけて導出する接続導体に電気的に接続されたマイク
ロストリップ線路と、前記多層基板上に実装され前記マ
イクロストリップ線路に電気的に接続された電力増幅用
トランジスタおよびチップ部品と、前記多層基板上に前
記マイクロストリップ線路に付加して形成され前記絶縁
層の最上層を介して前記グランド電極層と対向したパッ
ド電極とを具備することを特徴とするものである。
A first high frequency power amplifier according to the present invention comprises a plurality of insulating layers mainly composed of glass, and a multilayer substrate having a ground electrode layer on the lower surface of the uppermost layer of the insulating layers. A microstrip line formed below the ground electrode layer in the multi-layer substrate, and a micro-connector formed on the multi-layer substrate and electrically connected to a connection conductor extending from the strip line to the upper surface of the multi-layer substrate. A strip line, a power amplifying transistor and a chip component mounted on the multilayer substrate and electrically connected to the microstrip line, and the insulating layer formed on the multilayer substrate in addition to the microstrip line. And a pad electrode opposed to the ground electrode layer via an uppermost layer.

【0015】また、本発明の第2の高周波用電力増幅器
は、ガラスを主成分とする複数の絶縁層から成り、この
絶縁層の最上層の下面にグランド電極層を有する多層基
板と、この多層基板内の前記グランド電極層の下方に形
成され、互いに電気的に接続された第1および第2のス
トリップ線路と、前記多層基板上に実装され前記第1の
ストリップ線路から前記多層基板の上面にかけて導出す
る第1の接続導体に電気的に接続された電力増幅用トラ
ンジスタと、前記多層基板上に実装され前記第2のスト
リップ線路から前記多層基板の上面にかけて導出する第
2の接続導体に電気的に接続されたチップ部品と、前記
多層基板上に形成され前記第2のストリップ線路から前
記多層基板の上面にかけて導出する第3の接続導体に電
気的に接続されかつ前記絶縁層の最上層を介して前記グ
ランド電極層と対向したパッド電極とを具備することを
特徴とするものである。
The second high frequency power amplifier of the present invention comprises a plurality of insulating layers mainly composed of glass, a multilayer substrate having a ground electrode layer on the lower surface of the uppermost layer of the insulating layer, First and second strip lines formed below the ground electrode layer in the substrate and electrically connected to each other; and mounted on the multilayer substrate from the first strip line to the upper surface of the multilayer substrate. A power amplifying transistor electrically connected to the first connecting conductor to be derived; and a second connecting conductor mounted on the multilayer substrate and leading from the second strip line to the upper surface of the multilayer substrate. And a third connection conductor formed on the multilayer substrate and extending from the second strip line to the upper surface of the multilayer substrate. It is characterized in that it comprises a pad electrode which is opposed to the ground electrode layer via the uppermost layer of the insulating layer.

【0016】本発明の高周波用電力増幅器によれば、電
力増幅用トランジスタの約4分の1波長(約λ/4)長
さのドレインバイアス線路として、従来は多層基板の上
面に形成されていたマイクロストリップ線路に代えて、
ガラスを主成分とする多層基板を用いてその多層基板の
内部にストリップ線路を形成して、基板上面で広い表面
積を占めていたドレインバイアス線路を多層基板内に内
層化したことにより、基板の大幅な小型化が可能となっ
て高周波用電力増幅器を大幅に小型化することができ
る。
According to the high frequency power amplifier of the present invention, a drain bias line having a length of about a quarter wavelength (about λ / 4) of the power amplifying transistor is conventionally formed on the upper surface of the multilayer substrate. Instead of microstrip line,
Using a multilayer substrate consisting mainly of glass and forming a strip line inside the multilayer substrate, the drain bias line, which occupied a large surface area on the upper surface of the substrate, has been made into an internal layer inside the multilayer substrate. Therefore, the high-frequency power amplifier can be significantly reduced in size.

【0017】また、高周波信号の伝送線路であるドレイ
ンバイアス線路をストリップ線路として多層基板に内層
化していることから、それら伝送線路の信号線の上下に
グランド(接地)電極層が存在することになり、そのた
め外部から伝送線路に侵入してくる電磁ノイズの影響を
受けにくくなって、アイソレーション特性の良好な構成
となる。さらに、信号線である伝送線路の上下にグラン
ド電極層が配置されることで伝送される高周波信号の磁
界がグランド電極層間に封鎖されることとなり、そのた
め信号損失の少ない構造となって、ドレインバイアス線
路を多層基板の上面にマイクロストリップ線路で形成し
た場合と比較してQ特性が向上する(例えば70前後から
90程度となる)という効果もあるものとなる。
Further, since the drain bias line, which is a transmission line for high-frequency signals, is formed as a strip line inside the multilayer substrate, ground (ground) electrode layers exist above and below the signal lines of the transmission lines. Therefore, the configuration is less susceptible to the influence of electromagnetic noise entering the transmission line from the outside, and a configuration having good isolation characteristics is obtained. Furthermore, by arranging the ground electrode layers above and below the transmission line, which is a signal line, the magnetic field of the transmitted high-frequency signal is blocked between the ground electrode layers, so that the signal loss is reduced and the drain bias is reduced. The Q characteristic is improved as compared with the case where the line is formed by a microstrip line on the upper surface of the multilayer substrate (for example, from around 70).
About 90).

【0018】本発明の第1の高周波用電力増幅器によれ
ば、多層基板の上面にマイクロストリップ線路とチップ
部品により構成される出力整合回路や入力整合回路のマ
イクロストリップ線路に回路的に並列に接続されるパッ
ド電極を付加したことから、このパッド電極によってこ
れと絶縁層の最上層を介して対向する多層基板内部のグ
ランド電極層との間でコンデンサが形成され、このパッ
ド電極の面積をレーザやリュータ等を用いて選択的に削
ったり切断したりして変化させることによりその容量値
を変化させることができるものとなる。またこのような
パッド電極を複数付加することにより、それらとマイク
ロストリップ線路との接続部をレーザやリュータ等で選
択的に切断することでマイクロストリップ線路の長さを
調整することができる。従って、これらを組み合わせる
ことによって出力整合回路や入力整合回路の電気特性等
を製品の組立後においても所望の電気特性に容易に調整
することができるものとなり、多層基板の製造ロット毎
のばらつきによる電気特性のばらつきを製品の組立後に
簡単に調整することができる高周波用電力増幅器とな
る。
According to the first high frequency power amplifier of the present invention, a circuit is connected in parallel to an output matching circuit and an input matching circuit microstrip line composed of microstrip lines and chip components on the upper surface of the multilayer substrate. Since the pad electrode is added, a capacitor is formed between the pad electrode and a ground electrode layer inside the multilayer substrate facing the upper electrode through the uppermost layer of the insulating layer. The capacitance value can be changed by selectively cutting or cutting using a router or the like to change the capacitance value. In addition, by adding a plurality of such pad electrodes, the length of the microstrip line can be adjusted by selectively cutting the connection between the pad electrode and the microstrip line with a laser or a router. Therefore, by combining these, the electrical characteristics of the output matching circuit and the input matching circuit can be easily adjusted to the desired electrical characteristics even after assembling the product, and the electrical characteristics due to the variation among the production lots of the multilayer substrate are obtained. The high-frequency power amplifier can easily adjust the variation in characteristics after assembling the product.

【0019】本発明の第2の高周波用電力増幅器によれ
ば、出力整合回路や入力整合回路を多層基板の内部に形
成したストリップ線路と基板上面に実装したチップ部品
とにより構成することにより、マイクロストリップ線路
で構成した場合に比べて一層の小型化を図ることができ
るとともに、そのストリップ線路に回路的に並列に接続
されるパッド電極を基板上面に形成して付加したことか
ら、このパッド電極によってこれと絶縁層の最上層を介
して対向する多層基板内部のグランド電極層との間でコ
ンデンサが形成され、上記第1の高周波用電力増幅器と
同様に、出力整合回路や入力整合回路の電気特性等を製
品の組立後においても所望の電気特性に容易に調整する
ことができるものとなり、多層基板の製造ロット毎のば
らつきによる電気特性のばらつきを製品の組立後に簡単
に調整することができる高周波用電力増幅器となる。
According to the second high-frequency power amplifier of the present invention, the output matching circuit and the input matching circuit are constituted by the strip line formed inside the multilayer substrate and the chip component mounted on the upper surface of the substrate, thereby achieving the micro Since it is possible to further reduce the size as compared with the case of using a strip line, a pad electrode connected to the strip line in parallel with the circuit is formed on the upper surface of the substrate and added. A capacitor is formed between this and the ground electrode layer inside the multilayer substrate which is opposed via the uppermost layer of the insulating layer, and the electrical characteristics of the output matching circuit and the input matching circuit are similar to the first high frequency power amplifier. And the like can be easily adjusted to the desired electrical characteristics even after the product is assembled. The high-frequency power amplifier can be easily adjusted to variations in the sex after assembly of the product.

【0020】これらにより、本発明の高周波用電力増幅
器によれば、従来のように多層基板の製造ロット毎に定
数を決めて0.1 pFの細かい単位で選別したチップコン
デンサやチップ抵抗等の選別品を使用する工程が不要と
なって通常品のチップコンデンサ等を使用して電気特性
を調整することができるようになるため、製造工数の削
減や部材費の削減を図ることができるとともに、製品と
しての良品率も向上させることができる。
As described above, according to the high-frequency power amplifier of the present invention, as in the prior art, constants are determined for each production lot of a multilayer substrate, and sorted products such as chip capacitors and chip resistors that are sorted in fine units of 0.1 pF. Since the process to use is unnecessary and the electric characteristics can be adjusted by using a normal chip capacitor or the like, it is possible to reduce the number of manufacturing steps and the material cost, and also to reduce the cost as a product. The non-defective rate can also be improved.

【0021】また、多層基板の製造ロット毎にチップコ
ンデンサ等の実装位置を変更することも不要となり、製
造工程が簡素化され、いわゆる先行確認等の必要がなく
なって製造工数を削減することができるとともに、製品
としての良品率も向上させることができる。
Further, it is not necessary to change the mounting position of the chip capacitor or the like for each production lot of the multilayer substrate, so that the production process is simplified, so that there is no need for so-called advance confirmation, and the number of production steps can be reduced. At the same time, the non-defective rate as a product can be improved.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明を詳
細に説明する。なお、以下はあくまで本発明の例示であ
って、本発明はそれらに限定されるものではなく、本発
明の要旨を逸脱しない範囲での種々の変更や改良は何ら
差し支えないものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the drawings. The following is merely an illustration of the present invention, and the present invention is not limited thereto, and various changes and improvements may be made without departing from the spirit of the present invention.

【0023】図1は本発明の第1の高周波用電力増幅器
の実施の形態の例を示す図7と同様の断面図であり、図
2はそのケースを取り外した状態の上面の様子を示す外
観斜視図である。これらの図に示した高周波用電力増幅
器21において、22はガラスを主成分とする複数の絶縁層
を積層して成る多層基板であり、23は多層基板22の絶縁
層の最上層22aの下面に形成されたグランド電極層、24
は多層基板22内のグランド電極層23の下方に形成された
ストリップ線路、25はストリップ線路24から多層基板22
の上面にかけて導出される接続導体、26は多層基板22上
に形成され接続導体25に電気的に接続されたマイクロス
トリップ線路、27は多層基板22上に実装されマイクロス
トリップ線路26に電気的に接続された電力増幅用トラン
ジスタ、28は多層基板22上に実装されマイクロストリッ
プ線路26に電気的に接続されたチップ抵抗やチップコン
デンサ等のチップ部品、29は多層基板22上にマイクロス
トリップ線路26に付加して形成され絶縁層の最上層22a
を介してグランド電極層23と対向したパッド電極であ
る。このパッド電極29と、これと絶縁層の最上層22aを
介して対向する多層基板22内部のグランド電極層23とに
よってコンデンサが形成されている。この多層基板22上
面のパッド電極29の面積をレーザやリュータ等を用いて
変化させることで、対向するグランド電極層23との間で
形成されるコンデンサの容量値を変化させることがで
き、マイクロストリップ線路26とチップ部品28とにより
構成されている出力整合回路または入力整合回路を所望
の電気特性に調整することができ、これにより、多層基
板22の製造ロット毎のばらつきによる特性ばらつきを製
造工数の削減を図りつつ調整することができる。
FIG. 1 is a sectional view similar to FIG. 7 showing an embodiment of a first high-frequency power amplifier according to the present invention, and FIG. 2 is an external view showing a state of an upper surface of the power amplifier with its case removed. It is a perspective view. In the high-frequency power amplifier 21 shown in these figures, reference numeral 22 denotes a multilayer substrate formed by laminating a plurality of insulating layers mainly composed of glass, and reference numeral 23 denotes a lower surface of the uppermost layer 22a of the insulating layers of the multilayer substrate 22. Ground electrode layer formed, 24
Is a strip line formed below the ground electrode layer 23 in the multilayer substrate 22, and 25 is a strip line
A connection conductor led out over the upper surface of the microstrip line formed on the multilayer substrate 22 and electrically connected to the connection conductor 25; 27 is mounted on the multilayer substrate 22 and electrically connected to the microstrip line 26 The power amplifying transistor 28 is mounted on the multilayer substrate 22 and chip components such as chip resistors and chip capacitors electrically connected to the microstrip line 26, and 29 is added to the microstrip line 26 on the multilayer substrate 22 The uppermost layer 22a of the insulating layer formed
The pad electrode is opposed to the ground electrode layer 23 through the pad. A capacitor is formed by the pad electrode 29 and the ground electrode layer 23 in the multilayer substrate 22 opposed to the pad electrode 29 via the uppermost layer 22a of the insulating layer. By changing the area of the pad electrode 29 on the upper surface of the multilayer substrate 22 by using a laser, a leuter, or the like, the capacitance value of a capacitor formed between the ground electrode layer 23 and the opposing ground electrode layer 23 can be changed. The output matching circuit or the input matching circuit formed by the line 26 and the chip component 28 can be adjusted to a desired electric characteristic, whereby the characteristic variation due to the variation of each production lot of the multilayer substrate 22 can be reduced. It can be adjusted while reducing the amount.

【0024】また、30はボンディングワイヤであり、電
力増幅用トランジスタ27の各電極(ソース・ゲート・ド
レイン)とドレインバイアス線路としてのストリップ線
路24とを接続導体25を介して(例えば接続導体25に接続
され多層基板22の上面に少なくともその一部が露出して
いる、マイクロストリップ線路26に電気的に接続された
導体層等にボンディングされて)電気的に接続されてい
る。
A bonding wire 30 connects each electrode (source / gate / drain) of the power amplifying transistor 27 and a strip line 24 as a drain bias line via a connection conductor 25 (for example, to the connection conductor 25). It is electrically connected (bonded to a conductor layer or the like which is electrically connected to the microstrip line 26 and is at least partially exposed on the upper surface of the multilayer substrate 22).

【0025】本例では、電力増幅用トランジスタ27は多
層基板22上の搭載用キャビティ31に樹脂や半田系の接続
ペースト32により固定され、封止樹脂33により封止され
ている。なお、キャビティ31は、例えば多層基板22の上
面側の数層のシートに所定の形状の開口部を設けて積層
することにより、電力増幅用トランジスタ27のサイズに
応じて階段状に深さ0.3 mm程度で形成されている。ま
た、34は電力増幅用トランジスタ27下部の多層基板22の
内部に形成された放熱用ビア導体である。
In this embodiment, the power amplifying transistor 27 is fixed to the mounting cavity 31 on the multilayer substrate 22 with a resin or solder-based connection paste 32 and sealed with a sealing resin 33. The cavity 31 has a depth of 0.3 mm in a stepwise manner in accordance with the size of the power amplifying transistor 27, for example, by stacking several layers of sheets on the upper surface side of the multilayer substrate 22 with openings having a predetermined shape. It is formed in the degree. Reference numeral 34 denotes a heat dissipation via conductor formed inside the multilayer substrate 22 below the power amplification transistor 27.

【0026】また、本例の高周波用電力増幅器21におい
ては、ドレインバイアス線路としてのストリップ線路24
は、グランド電極層23の下方において、上下のグランド
電極層35・36の間に形成されている。ストリップ線路24
はまた、グランド電極層23を上部のグランド電極層とし
て内層化してもよい。
In the high-frequency power amplifier 21 of this embodiment, a strip line 24 as a drain bias line is provided.
Is formed between the upper and lower ground electrode layers 35 and 36 below the ground electrode layer 23. Stripline 24
Alternatively, the ground electrode layer 23 may be formed as an inner layer as an upper ground electrode layer.

【0027】そして、37はケースであり、多層基板22上
に電力増幅用トランジスタ27やチップ部品28を搭載実装
した後、多層基板22の上面を覆うように封止樹脂等(図
示せず)を介して取り付けられ、これにより高周波用電
力増幅器21が完成し、多層基板22の上面周辺ならびに側
面のキャスタレーション等を利用して形成された端子電
極38を介して外部電気回路の接続ランドと電気的に接続
される。
Reference numeral 37 denotes a case. After the power amplifying transistor 27 and the chip component 28 are mounted on the multilayer substrate 22 and mounted thereon, a sealing resin or the like (not shown) is coated so as to cover the upper surface of the multilayer substrate 22. This completes the high-frequency power amplifier 21 and electrically connects to the connection lands of the external electric circuit through terminal electrodes 38 formed by using castellations on the upper surface periphery and side surfaces of the multilayer substrate 22. Connected to.

【0028】なお、端子電極38からは所望により多層基
板22の下面あるいは上面に導体層やグランド電極層36等
を延設してもよく、これによりマザーボード等の外部回
路基板への実装時に、外部回路基板上の接続ランドとの
電気的な接続をより確実なものとすることができる。
A conductor layer, a ground electrode layer 36 and the like may be extended from the terminal electrode 38 on the lower surface or the upper surface of the multilayer substrate 22 as required. Electrical connection with the connection land on the circuit board can be made more reliable.

【0029】多層基板22は、ガラスを主成分とするいわ
ゆる低温焼成多層基板であり、例えばガラスセラミック
スなどから成る厚み0.14〜0.16mm程度のグリーンシー
トに内部配線パターンを印刷したりスルーホールやビア
ホール加工を施したものを複数層積層して焼成したもの
が用いられ、実効比誘電率が8.1 程度のものが好適に使
用される。
The multilayer substrate 22 is a so-called low-temperature fired multilayer substrate containing glass as a main component. For example, an internal wiring pattern is printed on a green sheet of glass ceramics or the like having a thickness of about 0.14 to 0.16 mm, or a through hole or a via hole is formed. A laminate obtained by laminating a plurality of layers and firing the resultant is used, and those having an effective relative dielectric constant of about 8.1 are preferably used.

【0030】ストリップ線路24およびマイクロストリッ
プ線路26ならびにグランド電極層23・35・36等は、例え
ばAg系の導電性ペーストを多層基板22の焼成前のグリ
ーンシートに所望のパターンに印刷し、同時に焼成する
ことによって多層基板22の内部ならびに表面もしくは裏
面に形成される。その厚みは、例えば所望の伝送特性に
応じて10〜20μm程度に設定される。
The strip line 24, the microstrip line 26, the ground electrode layers 23, 35, and 36 are formed by printing, for example, an Ag-based conductive paste on a green sheet of the multilayer substrate 22 before firing in a desired pattern, and simultaneously firing the paste. By doing so, it is formed inside the multilayer substrate 22 and on the front surface or the back surface. The thickness is set to, for example, about 10 to 20 μm according to desired transmission characteristics.

【0031】接続導体25は、ストリップ線路24から多層
基板22の上面にかけて導出して形成されてストリップ線
路24とマイクロストリップ線路26とを、またストリップ
線路24と電力増幅用トランジスタ27およびチップ部品28
とを電気的に接続するものであれば種々の形状や構造の
ものを用いることができ、例えば、多層基板22に設けた
貫通孔の内側にメッキや導電性ペーストの印刷・焼結な
どの方法によりAg等を主成分とする導体金属を被着形
成したスルーホールとしたもの、あるいは貫通孔の内部
に導電性ペーストの印刷・焼結などの方法により前記導
体金属を充填したビアホ一ル(ビア導体)としたもの、
前記のスルーホールやビアホールの断面形状を円形でな
く楕円状・矩形状・多角形状・板状等の種々の形状とし
たものなどを用いることができる。
The connection conductor 25 is formed to extend from the strip line 24 to the upper surface of the multilayer substrate 22 so as to connect the strip line 24 and the microstrip line 26, and to connect the strip line 24 with the power amplification transistor 27 and the chip component 28.
Any of various shapes and structures can be used as long as they electrically connect to the substrate. For example, a method such as plating or printing and sintering of a conductive paste on the inside of a through hole provided in the multilayer substrate 22 can be used. Via holes formed by applying a conductive metal mainly composed of Ag or the like, or via holes filled with the conductive metal by a method such as printing and sintering of a conductive paste inside the through holes. Conductor),
The through-holes and via holes may have various cross-sectional shapes such as elliptical shapes, rectangular shapes, polygonal shapes, and plate shapes instead of circular shapes.

【0032】電力増幅用トランジスタ27としては、例え
ば高周波電力増幅用のFET(電界効果トランジスタ)
が用いられ、キャビティ31内に搭載されて、Au/Si
や半田・Agペースト等のダイアタッチ材としての接続
ペースト32により固定されるとともに電気的にも接続さ
れており、Au等から成る太さ25μm程度のボンディン
グワイヤ30により、多層基板22の上面に導出された接続
導体25あるいは接続導体25に延設された導体層等を介し
てストリップ線路24およびマイクロストリップ線路26と
電気的に接続される。
As the power amplifying transistor 27, for example, a high-frequency power amplifying FET (field effect transistor)
Is mounted in the cavity 31 and Au / Si
It is fixed and electrically connected by a connection paste 32 as a die attach material such as solder or Ag paste, and is led out to the upper surface of the multilayer substrate 22 by a bonding wire 30 made of Au or the like and having a thickness of about 25 μm. It is electrically connected to the strip line 24 and the microstrip line 26 via the connected connection conductor 25 or a conductor layer extended from the connection conductor 25.

【0033】チップ部品28としては、高周波用電力増幅
器21の回路として一般に用いられる表面実装型のチップ
抵抗やチップコンデンサ等が用いられる。
As the chip component 28, a surface mount type chip resistor, chip capacitor or the like generally used as a circuit of the high frequency power amplifier 21 is used.

【0034】端子電極38を形成するには、高周波用電力
増幅器21が実装される外部回路基板の回路配置等に応じ
て多層基板22の所望の位置に、各グリーンシートの端部
に幅0.6 〜0.8 mm・深さ0.6 〜0.8 mm程度の切り欠
きを施して凹部を形成してキャスタレーションを形成す
るとともに、それらのシートを積層した後の多層基板22
の凹部(側面)に、前述の導電性ペーストの印刷・焼成
あるいはメタライズ法などにより形成すればよい。
In order to form the terminal electrode 38, the end of each green sheet is placed at a desired position on the multilayer substrate 22 according to the circuit arrangement of the external circuit board on which the high-frequency power amplifier 21 is mounted. A notch having a depth of about 0.8 mm and a depth of about 0.6 to 0.8 mm is formed to form a recess to form a castellation.
May be formed in the recesses (side surfaces) by printing and baking the above-mentioned conductive paste or by metallizing.

【0035】放熱用ビア導体34は、前述の接続導体25と
してのビア導体と同様のものを用いればよく、電力増幅
用トランジスタ27の実装箇所において多層基板22をキャ
ビティ31からその対向する多層基板22の裏面まで貫通す
るように多数形成され、電力増幅用トランジスタ27から
の発熱を多層基板22の裏面のグランド電極層となる導体
層36を介して外部回路基販に伝導し放熱する。
The heat dissipating via conductor 34 may be the same as the via conductor as the connection conductor 25 described above, and the multilayer substrate 22 is removed from the cavity 31 at the mounting position of the power amplifying transistor 27 from the cavity 31. The heat generation from the power amplifying transistor 27 is conducted to the external circuit base via the conductor layer 36 serving as the ground electrode layer on the back surface of the multilayer substrate 22 to radiate heat.

【0036】この放熱用ビア導体34は、図1に示したよ
うに電力増幅用トランジスタ27の下部において多層基板
22の上から下まで同数を配置したものとしてもよいし、
電力増幅用トランジスタ27からの熱の拡散に応じて電力
増幅用トランジスタ27の下から多層基板22の下面にかけ
て順次その数を増やすように配置したものとしてもよ
い。
The heat dissipating via conductor 34 is provided below the power amplification transistor 27 as shown in FIG.
The same number may be arranged from the top to the bottom of 22,
It may be arranged such that the number thereof is sequentially increased from below the power amplifying transistor 27 to the lower surface of the multilayer substrate 22 in accordance with diffusion of heat from the power amplifying transistor 27.

【0037】また、放熱用ビア導体34は可能な限り数多
く設けるほど放熱性が良くなるので、同一面積内で最も
数を多く設定できるように、例えば千鳥状などに配置す
ると効率よく放熱することができるようになって好まし
い。
Further, since the heat dissipating property is improved as many heat dissipating via conductors 34 as possible are provided, the heat dissipating can be efficiently performed by disposing the via conductors 34 in a staggered shape so that the largest number can be set within the same area. It is preferable to be able to do so.

【0038】次に、特性調整用のパッド電極29による電
気特性の調整について詳しく説明する。図3は、高周波
用電力増幅器21においてマイクロストリップ線路26とチ
ップ部品28・パッド電極29・グランド電極層23等により
構成される出力整合回路部の回路構成を示す等価回路図
であり、図1および図2と同様の箇所には同じ符号を付
してある。
Next, the adjustment of electric characteristics by the pad electrode 29 for characteristic adjustment will be described in detail. FIG. 3 is an equivalent circuit diagram showing a circuit configuration of an output matching circuit section including the microstrip line 26, the chip component 28, the pad electrode 29, the ground electrode layer 23, and the like in the high-frequency power amplifier 21, and FIGS. The same parts as those in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals.

【0039】図3において、C1 〜C4 はパッド電極29
が絶縁層の最上層22aを介してグランド電極層23に対向
することによって形成されるパターンコンデンサであ
る。
In FIG. 3, C 1 to C 4 are pad electrodes 29
Is a pattern capacitor formed by facing the ground electrode layer 23 via the uppermost layer 22a of the insulating layer.

【0040】多層基板22の製造ロットによってストリッ
プ線路24の幅や長さおよびストリップ線路24とそれを絶
縁層を介して上下から挟むグランド電極層35・36との距
離が変化すると、高周波用電力増幅器21の電気特性にお
いて隣接チャネル漏洩電力特性や消費電流特性・出力電
力等がばらつく。そこで、これらのばらつきを吸収し調
整するために、ストリップ線路24と回路的に並列にマイ
クロストリップ線路26に付加されたパッド電極29とグラ
ンド電極層23とにより形成されるパターンコンデンサC
1 〜C4 の容量値ならびにこれらパターンコンデンサC
1 〜C4 の接続の有無を調整することにより電気特性を
調整する。例えば、ストリップ線路24の長さのばらつき
によるACP(隣接チャンネル漏洩電力)特性のばらつ
きに対応するためには、マイクロストリップ線路26とパ
ッド電極29との接続部をレーザあるいはリュータ等を用
いて選択的に切断することで、パッド電極29の接続がな
くなってマイクロストリップ線路26が長くなって長さが
調整されることにより、出力整合インピーダンスの調整
が可能となる。また、同じくACP特性のばらつきの抑
制に対応するには、パッド電極29の面積をレーザあるい
はリュータ等を用いて選択的に削ったり切断したりして
変化させることによりパッド電極29で形成される容量値
を変化させることによって、出力整合インピーダンスの
調整が可能となる。
When the width and length of the strip line 24 and the distance between the strip line 24 and the ground electrode layers 35 and 36 sandwiching the strip line 24 from above and below via an insulating layer change depending on the manufacturing lot of the multilayer substrate 22, the high frequency power amplifier is used. In the 21 electrical characteristics, the adjacent channel leakage power characteristics, current consumption characteristics, output power, and the like vary. Therefore, in order to absorb and adjust these variations, the pattern capacitor C formed by the pad electrode 29 and the ground electrode layer 23 added to the microstrip line 26 in a circuit parallel with the strip line 24.
1 to C 4 and the pattern capacitors C
Adjusting the electrical characteristics by adjusting the presence or absence of connection 1 -C 4. For example, in order to cope with variations in ACP (adjacent channel leakage power) characteristics due to variations in the length of the strip line 24, the connection between the microstrip line 26 and the pad electrode 29 is selectively formed using a laser or a router. By cutting, the connection of the pad electrode 29 is lost and the microstrip line 26 is lengthened and its length is adjusted, so that the output matching impedance can be adjusted. Similarly, in order to cope with the suppression of the variation in the ACP characteristics, the area formed by the pad electrode 29 is changed by selectively shaving or cutting the area of the pad electrode 29 by using a laser or a router. By changing the value, the output matching impedance can be adjusted.

【0041】次に、本発明の第2の高周波用電力増幅器
について、図3および図4に基づいて説明する。図4は
本発明の第2の高周波用電力増幅器の実施の形態の例を
示す図1と同様の断面図であり、図5はそのケースを取
り外した状態の上面の様子を示す図2と同様の外観斜視
図である。
Next, a second high frequency power amplifier according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 4 is a sectional view similar to FIG. 1 showing an embodiment of the second high-frequency power amplifier according to the present invention, and FIG. 5 is a view similar to FIG. It is an external appearance perspective view of.

【0042】図4および図5に示した高周波用電力増幅
器41において、42はガラスを主成分とする複数の絶縁層
を積層して成る多層基板であり、43は多層基板42の絶縁
層の最上層42aの下面に形成されたグランド電極層、44
は多層基板42内のグランド電極層43の下方に形成された
第1のストリップ線路、45は第1のストリップ線路44か
ら多層基板42の上面にかけて導出される第1の接続導
体、46は多層基板42の内部に形成され第1のストリップ
線路44と互いに電気的に接続された第2のストリップ線
路、47は多層基板42上に実装され第1の接続導体45に電
気的に接続された電力増幅用トランジスタ、48は第2の
ストリップ線路46から多層基板42の上面にかけて導出さ
れる第2の接続導体、49は多層基板42上に実装され第2
のストリップ線路46から導出される第2の接続導体48に
電気的に接続されたチップ抵抗やチップコンデンサ等の
チップ部品、50は第2のストリップ線路46から多層基板
42の上面にかけて導出される第3の接続導体、51は多層
基板42上に形成され第3の接続導体50に電気的に接続さ
れかつ絶縁層の最上層42aを介してグランド電極層43と
対向したパッド電極である。このパッド電極51と、これ
と絶縁層の最上層42aを介して対向する多層基板42内部
のグランド電極層43とによってコンデンサが形成されて
いる。この多層基板42上面のパッド電極51の面積をレー
ザやリュータ等を用いて変化させることで、対向するグ
ランド電極層43との間で形成されるコンデンサの容量値
を変化させることができ、第2のストリップ線路46とチ
ップ部品49とにより構成されている出力整合回路または
入力整合回路を所望の電気特性に調整することができ、
これにより、多層基板42の製造ロット毎のばらつきによ
る特性ばらつきを製造工数の削減を図りつつ調整するこ
とができる。
In the high-frequency power amplifier 41 shown in FIGS. 4 and 5, reference numeral 42 denotes a multilayer substrate formed by laminating a plurality of insulating layers mainly composed of glass, and reference numeral 43 denotes the uppermost insulating layer of the multilayer substrate 42. A ground electrode layer 44 formed on the lower surface of the upper layer 42a;
Is a first strip line formed below the ground electrode layer 43 in the multilayer substrate 42, 45 is a first connection conductor derived from the first strip line 44 to the upper surface of the multilayer substrate 42, 46 is a multilayer substrate A second strip line 47 formed inside 42 and electrically connected to the first strip line 44 is mounted on the multi-layer substrate 42 and electrically connected to the first connection conductor 45. Transistor 48 is a second connection conductor led out from the second strip line 46 to the upper surface of the multilayer substrate 42, and 49 is a second connection conductor mounted on the multilayer substrate 42
A chip component such as a chip resistor or a chip capacitor electrically connected to a second connection conductor 48 derived from the strip line 46 of the first embodiment is shown in FIG.
A third connection conductor 51 led out to the upper surface of 42 is formed on the multilayer substrate 42, is electrically connected to the third connection conductor 50, and faces the ground electrode layer 43 via the uppermost layer 42a of the insulating layer. This is the pad electrode. A capacitor is formed by the pad electrode 51 and the ground electrode layer 43 in the multilayer substrate 42 opposed to the pad electrode 51 via the uppermost layer 42a of the insulating layer. By changing the area of the pad electrode 51 on the upper surface of the multilayer substrate 42 by using a laser, a router, or the like, the capacitance value of the capacitor formed between the ground electrode layer 43 and the opposing ground electrode layer 43 can be changed. The output matching circuit or the input matching circuit constituted by the strip line 46 and the chip component 49 can be adjusted to desired electric characteristics,
As a result, it is possible to adjust the characteristic variation due to the variation of each production lot of the multilayer substrate 42 while reducing the number of manufacturing steps.

【0043】また、52はボンディングワイヤであり、電
力増幅用トランジスタ47の各電極(ソース・ゲート・ド
レイン)とドレインバイアス線路としての第1のストリ
ップ線路44とを第1の接続導体45を介して(例えば第1
の接続導体45に接続され多層基板42の上面に少なくとも
その一部が露出している、第2のストリップ線路46に電
気的に接続された導体層等にボンディングされて)電気
的に接続している。
Reference numeral 52 denotes a bonding wire, which connects each electrode (source / gate / drain) of the power amplifying transistor 47 and the first strip line 44 as a drain bias line via a first connection conductor 45. (For example, first
Electrically connected to a conductor layer or the like which is electrically connected to the second strip line 46 and which is connected to the connection conductor 45 and at least a part of which is exposed on the upper surface of the multilayer substrate 42. I have.

【0044】本例では、電力増幅用トランジスタ47は多
層基板42上の搭載用キャビティ53に樹脂や半田系の接続
ペースト54により固定され、封止樹脂55により封止され
ている。なお、キャビティ53は前述のキャビティ31と同
様に形成されている。また、56は電力増幅用トランジス
タ47下部の多層基板42の内部に形成された放熱用ビア導
体である。
In this embodiment, the power amplifying transistor 47 is fixed to the mounting cavity 53 on the multilayer substrate 42 with a resin or solder connection paste 54 and is sealed with a sealing resin 55. Note that the cavity 53 is formed in the same manner as the cavity 31 described above. Reference numeral 56 denotes a heat dissipating via conductor formed inside the multilayer substrate 42 below the power amplifying transistor 47.

【0045】また、本例の高周波用電力増幅器41におい
ては、ドレインバイアス線路としての第1のストリップ
線路44は、グランド電極層43の下方において、上下のグ
ランド電極層57・58の間に形成されている。第1のスト
リップ線路44もまた、前述のストリップ線路24と同様に
グランド電極層43を上部のグランド電極層として内層化
してもよい。
In the high frequency power amplifier 41 of the present embodiment, the first strip line 44 as a drain bias line is formed below the ground electrode layer 43 and between the upper and lower ground electrode layers 57 and 58. ing. The first strip line 44 may also be formed as an inner layer with the ground electrode layer 43 as the upper ground electrode layer, similarly to the above-described strip line 24.

【0046】また第2のストリップ線路46も、本例では
グランド電極層43を上部のグランド電極層として形成さ
れているが、第1のストリップ線路44と同様に他のグラ
ンド電極層57等を上部のグランド電極層として内層化し
てもよく、これら第1のストリップ線路44と第2のスト
リップ線路46とを同じ層内に形成して内層化してもよ
い。
In the present embodiment, the second strip line 46 is also formed with the ground electrode layer 43 as the upper ground electrode layer. However, like the first strip line 44, another ground electrode layer 57 is formed on the second strip line 46. The first strip line 44 and the second strip line 46 may be formed in the same layer to form an inner layer.

【0047】そして、59はケースであり、多層基板42上
に電力増幅用トランジスタ47やチップ部品49を搭載実装
した後、多層基板42の上面を覆うように封止樹脂等(図
示せず)を介して取り付けられ、これにより高周波用電
力増幅器41が完成し、多層基板42の上面周辺ならびに側
面のキャスタレーション等を利用して形成された端子電
極60を介して外部電気回路の接続ランドと電気的に接続
される。
Reference numeral 59 denotes a case. After the power amplifying transistor 47 and the chip component 49 are mounted and mounted on the multilayer substrate 42, a sealing resin or the like (not shown) is coated so as to cover the upper surface of the multilayer substrate 42. This completes the high-frequency power amplifier 41, and electrically connects to the connection lands of the external electric circuit through the terminal electrodes 60 formed by using castellations around the upper surface and side surfaces of the multilayer substrate 42. Connected to.

【0048】なお、端子電極60からも所望により多層基
板42の下面あるいは上面に導体層やグランド電極層58等
を延設してもよい。
Note that a conductor layer, a ground electrode layer 58 and the like may be provided on the lower surface or the upper surface of the multilayer substrate 42 from the terminal electrode 60 if desired.

【0049】多層基板42は前述の多層基板22と同様に、
また第1のストリップ線路44および第2のストリップ線
路46ならびにグランド電極層43・57・58等は前述の第1
のストリップ線路24およびマイクロストリップ線路26な
らびにグランド電極層23・35・36と同様に、第1の接続
導体45・第2の接続導体48・第3の接続導体50は前述の
第1の接続導体45と同様に、端子電極60は前述の端子電
極38と同様に、放熱用ビア導体56は前述の放熱用ビア導
体34と同様にして形成すればよい。
The multilayer substrate 42 is similar to the multilayer substrate 22 described above.
The first strip line 44, the second strip line 46, the ground electrode layers 43, 57, 58, etc.
The first connection conductor 45, the second connection conductor 48, and the third connection conductor 50 are the same as the first connection conductor, similarly to the strip line 24, the microstrip line 26, and the ground electrode layers 23, 35, and 36 of FIG. Similarly to the terminal electrode 45, the terminal electrode 60 may be formed in the same manner as the terminal electrode 38 described above, and the heat dissipation via conductor 56 may be formed in the same manner as the heat dissipation via conductor 34 described above.

【0050】また、電力増幅用トランジスタ47は、キャ
ビティ53内に搭載されてダイアタッチ材としての接続ペ
ースト54により固定されるとともに電気的にも接続され
ており、ボンディングワイヤ52により、多層基板42の上
面に導出された第1の接続導体45あるいはそれに延設さ
れた導体層等を介して第1のストリップ線路44および第
2のストリップ線路46と電気的に接続される。
The power amplifying transistor 47 is mounted in the cavity 53 and fixed and electrically connected by the connection paste 54 as a die attach material. It is electrically connected to the first strip line 44 and the second strip line 46 via the first connection conductor 45 led out to the upper surface or a conductor layer extended therefrom.

【0051】このようにして形成された特性調整用のパ
ッド電極51によっても前述のパッド電極29と同様に特性
の調整を容易に行なうことができ、高周波用電力増幅器
41において第2のストリップ線路46とチップ部品49・パ
ッド電極51・グランド電極層43等により構成される出力
整合回路部の回路構成を示す等価回路図は図3と同様の
ものとなり、その機能も前述したものと同様となる。な
お、図3には高周波用電力増幅器41の各部に対応する符
号も併せて付してある。
With the pad electrode 51 for characteristic adjustment formed in this way, the characteristic can be easily adjusted similarly to the pad electrode 29 described above.
In FIG. 41, an equivalent circuit diagram showing the circuit configuration of the output matching circuit section composed of the second strip line 46, the chip component 49, the pad electrode 51, the ground electrode layer 43, and the like is the same as FIG. It is the same as described above. In FIG. 3, reference numerals corresponding to each part of the high-frequency power amplifier 41 are also given.

【0052】このようにして、本発明の高周波用電力増
幅器21・41によれば、多層基板22・42上に形成され、多
層基板22・42の絶縁層の最上層22a・42aを介してグラ
ンド電極層23・43と対向したパッド電極29・51によるパ
ターンコンデンサC1 〜C4の容量値の調整とパターン
コンデンサC1 〜C4 の接続の選択との組み合わせによ
り、高周波用電力増幅器21・41の組立後においても容易
に多層基板22・42の製造ロット毎の特性ばらつきを吸収
し調整することができる。
As described above, according to the high frequency power amplifiers 21 and 41 of the present invention, the power amplifiers 21 and 41 are formed on the multilayer substrates 22 and 42, and are grounded via the uppermost layers 22a and 42a of the insulating layers of the multilayer substrates 22 and 42. the combination of the selection of the electrode layers 23, 43 and adjustment of the opposing capacitance value of the pattern capacitor C 1 -C 4 by the pad electrode 29, 51 and pattern the capacitor C 1 -C 4 connection, high-frequency power amplifier 21, 41 Even after assembling, it is possible to easily absorb and adjust the characteristic variation of each production lot of the multilayer substrates 22 and 42.

【0053】[0053]

【発明の効果】以上のように、本発明の高周波用電力増
幅器によれば、電力増幅用トランジスタのドレインバイ
アス線路を多層基板の内部にストリップ線路を形成して
内層化したことにより、基板の大幅な小型化が可能とな
って高周波用電力増幅器を大幅に小型化することがで
き、またドレインバイアス線路をストリップ線路として
多層基板に内層化していることから、電磁ノイズの影響
を受けにくくなってアイソレーション特性が良好とな
り、信号損失が少なくなってマイクロストリップ線路で
形成した場合と比較してQ特性を向上させることができ
る。
As described above, according to the high-frequency power amplifier of the present invention, the drain bias line of the power amplifying transistor is formed as an inner layer by forming a strip line inside the multilayer substrate, so that the size of the substrate can be greatly increased. The size of the power amplifier for high frequency can be reduced significantly, and the drain bias line is stripped and the inner layer is formed on the multilayer substrate. As a result, the Q characteristic can be improved as compared with the case where the microstrip line is used.

【0054】本発明の第1の高周波用電力増幅器によれ
ば、多層基板の上面にマイクロストリップ線路とチップ
部品により構成される出力整合回路や入力整合回路のマ
イクロストリップ線路に回路的に並列に接続されるパッ
ド電極を付加したことから、このパッド電極によってこ
れと絶縁層の最上層を介して対向する多層基板内部のグ
ランド電極層との間でパターンコンデンサが形成され、
このパッド電極の面積をレーザやリュータ等を用いて選
択的に削ったり切断したりして変化させることによりそ
のパターンコンデンサの容量値を変化させることができ
るものとなるとともに、このようなパッド電極を複数付
加してそれらとマイクロストリップ線路との接続部をレ
ーザやリュータ等で選択的に切断することによりマイク
ロストリップ線路の長さを調整することができ、これら
を組み合わせることによって出力整合回路や入力整合回
路の電気特性等を製品の組立後においても所望の電気特
性に容易に調整することができるものとなる。
According to the first high-frequency power amplifier of the present invention, a circuit is connected in parallel to the microstrip line of the output matching circuit or the input matching circuit formed by the microstrip line and the chip component on the upper surface of the multilayer substrate. Since the pad electrode is added, a pattern capacitor is formed between the pad electrode and a ground electrode layer inside the multilayer substrate opposed to the pad electrode via the uppermost layer of the insulating layer,
By selectively shaving or cutting the area of the pad electrode using a laser, a luter, or the like, the capacitance value of the pattern capacitor can be changed. The length of the microstrip line can be adjusted by selectively cutting the connection between the microstrip line and a microstrip line using a laser or a router, etc. The electrical characteristics and the like of the circuit can be easily adjusted to the desired electrical characteristics even after the product is assembled.

【0055】本発明の第2の高周波用電力増幅器によれ
ば、出力整合回路や入力整合回路を多層基板の内部に形
成したストリップ線路と基板上面に実装したチップ部品
とにより構成することにより、マイクロストリップ線路
で構成した場合に比べて一層の小型化を図ることができ
るとともに、そのストリップ線路に回路的に並列に接続
されるパッド電極を基板上面に形成して付加したことか
ら、このパッド電極によってこれと絶縁層の最上層を介
して対向する多層基板内部のグランド電極層との間でパ
ターンコンデンサが形成され、上記第1の高周波用電力
増幅器と同様に、出力整合回路や入力整合回路の電気特
性等を製品の組立後においても所望の電気特性に容易に
調整することができるものとなり、多層基板の製造ロッ
ト毎のばらつきによる電気特性のばらつきを製品の組立
後に簡単に調整することができる高周波用電力増幅器と
なる。
According to the second high-frequency power amplifier of the present invention, the output matching circuit and the input matching circuit are constituted by the strip line formed inside the multilayer substrate and the chip component mounted on the upper surface of the substrate, thereby achieving the micro Since it is possible to further reduce the size as compared with the case of using a strip line, a pad electrode connected to the strip line in parallel with the circuit is formed on the upper surface of the substrate and added. A pattern capacitor is formed between this and a ground electrode layer inside the multilayer substrate which is opposed via the uppermost layer of the insulating layer, and similarly to the first high frequency power amplifier, the electrical characteristics of the output matching circuit and the input matching circuit are formed. Characteristics can be easily adjusted to the desired electrical characteristics even after the product is assembled. The high-frequency power amplifier can be easily adjusted variation in electrical characteristics that after assembly of the product.

【0056】以上により本発明によれば、さらなる小型
化が可能であり、多層基板の特性の製造ロット毎のばら
つきに対する電気特性の調整を製造工数を削減しつつ容
易に行なうことができ、それにより製品の良品率も向上
することができる、量産に好適な高周波用電力増幅器を
提供することができた。
As described above, according to the present invention, further miniaturization is possible, and it is possible to easily adjust the electric characteristics with respect to the variation of the characteristics of the multilayer substrate for each manufacturing lot while reducing the number of manufacturing steps. A high-frequency power amplifier suitable for mass production, which can improve the non-defective product rate, can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の高周波用電力増幅器の実施の形
態の例を示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing an example of an embodiment of a first high-frequency power amplifier of the present invention.

【図2】図1の高周波用電力増幅器のケースを取り外し
た状態の上面の様子を示す外観斜視図である。
FIG. 2 is an external perspective view showing a state of an upper surface of the high-frequency power amplifier shown in FIG. 1 with a case removed.

【図3】本発明の第2の高周波用電力増幅器の実施の形
態の例を示す断面図である。
FIG. 3 is a sectional view showing an example of an embodiment of a second high-frequency power amplifier according to the present invention.

【図4】図3の高周波用電力増幅器のケースを取り外し
た状態の上面の様子を示す外観斜視図である。
4 is an external perspective view showing a state of an upper surface of the high-frequency power amplifier shown in FIG. 3 with a case removed.

【図5】本発明の高周波用電力増幅器の実施の形態の一
例における出力整合回路の回路構成を示す等価回路図で
ある。
FIG. 5 is an equivalent circuit diagram showing a circuit configuration of an output matching circuit in an example of the high-frequency power amplifier according to the embodiment of the present invention;

【図6】従来の高周波電力増幅器の例を示す平面図であ
る。
FIG. 6 is a plan view showing an example of a conventional high-frequency power amplifier.

【図7】図6のA−A’線断面図である。FIG. 7 is a sectional view taken along line A-A ′ of FIG. 6;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

21、41・・・・・高周波用電力増幅器 22、42・・・・・多層基板 22a、42a・・・絶縁層の最上層 23、43・・・・・グランド電極層 24・・・・・・・ストリップ線路 44・・・・・・・第1のストリップ線路 46・・・・・・・第2のストリップ線路 25・・・・・・・接続導体 45・・・・・・・第1の接続導体 48・・・・・・・第2接続導体 50・・・・・・・第3の接続導体 26・・・・・・・マイクロストリップ線路 27、47・・・・・電力増幅用トランジスタ 28、49・・・・・チップ部品 29、51・・・・・パッド電極 21, 41 ... High frequency power amplifier 22, 42 ... Multilayer substrate 22a, 42a ... Top layer of insulating layer 23, 43 ... Ground electrode layer 24 ... ..Strip line 44... First strip line 46... Second strip line 25... Connection conductor 45. Connection conductors 48: Second connection conductors 50: Third connection conductors 26: Microstrip lines 27, 47 ... Power amplification Transistors 28, 49 ... chip parts 29, 51 ... pad electrodes

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ガラスを主成分とする複数の絶縁層から
成り、該絶縁層の最上層の下面にグランド電極層を有す
る多層基板と、該多層基板内の前記グランド電極層の下
方に形成されたストリップ線路と、前記多層基板上に形
成され前記ストリップ線路から前記多層基板の上面にか
けて導出する接続導体に電気的に接続されたマイクロス
トリップ線路と、前記多層基板上に実装され前記マイク
ロストリップ線路に電気的に接続された電力増幅用トラ
ンジスタおよびチップ部品と、前記多層基板上に前記マ
イクロストリップ線路に付加して形成され前記絶縁層の
最上層を介して前記グランド電極層と対向したパッド電
極とを具備することを特徴とする高周波用電力増幅器。
1. A multilayer substrate comprising a plurality of insulating layers mainly composed of glass, having a ground electrode layer on the lower surface of the uppermost layer of the insulating layer, and formed below the ground electrode layer in the multilayer substrate. And a microstrip line formed on the multilayer substrate and electrically connected to a connection conductor derived from the strip line to the upper surface of the multilayer substrate, and a microstrip line mounted on the multilayer substrate. A power amplification transistor and a chip component electrically connected to each other, and a pad electrode formed on the multilayer substrate in addition to the microstrip line and facing the ground electrode layer via an uppermost layer of the insulating layer. A high-frequency power amplifier, comprising:
【請求項2】 ガラスを主成分とする複数の絶縁層から
成り、該絶縁層の最上層の下面にグランド電極層を有す
る多層基板と、該多層基板内の前記グランド電極層の下
方に形成され、互いに電気的に接続された第1および第
2のストリップ線路と、前記多層基板上に実装され前記
第1のストリップ線路から前記多層基板の上面にかけて
導出する第1の接続導体に電気的に接続された電力増幅
用トランジスタと、前記多層基板上に実装され前記第2
のストリップ線路から前記多層基板の上面にかけて導出
する第2の接続導体に電気的に接続されたチップ部品
と、前記多層基板上に形成され前記第2のストリップ線
路から前記多層基板の上面にかけて導出する第3の接続
導体に電気的に接続されかつ前記絶縁層の最上層を介し
て前記グランド電極層と対向したパッド電極とを具備す
ることを特徴とする高周波用電力増幅器。
2. A multilayer substrate comprising a plurality of insulating layers mainly composed of glass, having a ground electrode layer on the lower surface of the uppermost layer of the insulating layer, and formed below the ground electrode layer in the multilayer substrate. First and second strip lines electrically connected to each other, and electrically connected to a first connection conductor mounted on the multilayer substrate and led out from the first strip line to the upper surface of the multilayer substrate. The power amplifying transistor, and the second
A chip component electrically connected to a second connection conductor extending from the strip line to the upper surface of the multilayer substrate; and a chip component formed on the multilayer substrate and extending from the second strip line to the upper surface of the multilayer substrate. A high-frequency power amplifier, comprising: a pad electrode electrically connected to a third connection conductor and facing the ground electrode layer via an uppermost layer of the insulating layer.
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