JP3510971B2 - High frequency power amplifier - Google Patents

High frequency power amplifier

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JP3510971B2 JP34550797A JP34550797A JP3510971B2 JP 3510971 B2 JP3510971 B2 JP 3510971B2 JP 34550797 A JP34550797 A JP 34550797A JP 34550797 A JP34550797 A JP 34550797A JP 3510971 B2 JP3510971 B2 JP 3510971B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、携帯電話等の移動
体通信機などに使用する送信用の高周波用電力増幅器に
関し、特に製品の製造工数の削減、良品率の向上ならび
に小型化を可能とした高周波用電力増幅器に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a high frequency power amplifier for transmission used in a mobile communication device such as a mobile phone, and in particular, it is possible to reduce the number of manufacturing steps of the product, improve the yield rate and reduce the size. The present invention relates to a high frequency power amplifier.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、アナログあるいはディジタル携帯
電話等の移動体通信機などに使用される半導体デバイス
や電子部品に対する小型化・軽量化の要望が強くなって
いる。
2. Description of the Related Art In recent years, there has been a strong demand for miniaturization and weight reduction of semiconductor devices and electronic parts used in mobile communication devices such as analog or digital mobile phones.

【0003】この小型化に伴い、送信部に用いられる高
周波用電力増幅器においては、従来基板上に形成してい
た電力増幅用高周波トランジスタのドレイン線路の占有
面積が無視できなくなってきたため、ドレイン線路を内
層化することによって小型化が実施されている。
With the miniaturization, the area occupied by the drain line of the high-frequency power amplifier transistor, which is conventionally formed on the substrate, cannot be ignored in the high-frequency power amplifier used in the transmitting section. Miniaturization has been implemented by forming the inner layer.

【0004】また、高周波用電力増幅器の基板において
高周波回路を構成するマイクロストリップ線路の線路幅
や長さが基板の製造ロット毎にばらつき、これによって
電気特性がばらつくために良品率が低下するという問題
に対しては、電気特性の調整用に使用するチップコンデ
ンサの容量値を基板ロット毎に変更したり、基板上にあ
らかじめ調整用チップコンデンサの実装箇所を複数準備
しておいて希望する特性が得られる実装箇所に実装する
ことで、良品率を向上させることが行なわれてきた。
In addition, the line width and length of the microstrip line that constitutes the high frequency circuit in the substrate of the high frequency power amplifier varies depending on the manufacturing lot of the substrate, and as a result, the electrical characteristics vary and the yield rate decreases. In order to obtain the desired characteristics, change the capacitance value of the chip capacitor used to adjust the electrical characteristics for each board lot or prepare multiple mounting points for the adjustment chip capacitor on the board in advance. It has been attempted to improve the non-defective product rate by mounting it at a mounting location.

【0005】以下、従来の高周波用電力増幅器について
図6および図7を参照しながら説明する。図6は従来の
高周波用電力増幅器1の平面図であり、図7は図6のA
−A’線断面図である。
A conventional high frequency power amplifier will be described below with reference to FIGS. 6 and 7. FIG. 6 is a plan view of a conventional high frequency power amplifier 1, and FIG.
It is a sectional view taken along the line A-A '.

【0006】図6および図7に示すように、従来の高周
波用電力増幅器1においては、誘電体から成る多層基板
2の上面にマイクロストリップ線路3が形成されてお
り、そのマイクロストリップ線路3にはチップコンデン
サ4やチップ抵抗5・トリマブル抵抗6等のチップ部品
が実装されて電気的に接続され、入力整合回路7およぴ
出力整合回路8が形成されている。
As shown in FIGS. 6 and 7, in the conventional high frequency power amplifier 1, a microstrip line 3 is formed on the upper surface of a multilayer substrate 2 made of a dielectric material, and the microstrip line 3 is formed on the microstrip line 3. Chip components such as the chip capacitor 4, the chip resistor 5 and the trimmable resistor 6 are mounted and electrically connected, and an input matching circuit 7 and an output matching circuit 8 are formed.

【0007】11は電力増幅用トランジスタであり、その
ドレイン線路9は、高周波の漏洩防止のためその長さを
使用周波数の約4分のl波長(約λ/4)の長さ(例え
ば、比誘電率が約9.6 のアルミナセラミックス基板を用
いて周波数が940 MHzの場合であれば約30mm)とし
た伝送線路であり、その線路導体による占有面積が広い
ため内層化され、ドレイン線路9を挟む上下にはグラン
ド電極層10が配置されている。
Reference numeral 11 denotes a power amplifying transistor, and the drain line 9 thereof has a length of about 1/4 wavelength (about λ / 4) of the used frequency (for example, a ratio of 4: 1) to prevent leakage of high frequency. This is a transmission line that uses an alumina ceramics substrate with a dielectric constant of about 9.6 and a frequency of about 940 MHz and has a width of about 30 mm. Since the line conductor occupies a large area, it is layered inside and above and below the drain line 9. A ground electrode layer 10 is arranged in the.

【0008】また、電力増幅用トランジスタ11は基板上
に銀ペースト等によってベアチップ実装され、その電極
がボンディングワイヤ12によって多層基板2上の電極パ
ッド13に接続され、さらに封止樹脂14により封止されて
いる。さらに、電力増幅用トランジスタ11で発生する熱
を放熱するため、トランジスタ実装部の底面と多層基板
2の裏面とを接続する多数の放熱用ビア導体15が設けら
れている。
The power amplifying transistor 11 is bare-chip mounted on the substrate with silver paste or the like, the electrode thereof is connected to the electrode pad 13 on the multilayer substrate 2 by the bonding wire 12, and further sealed by the sealing resin 14. ing. Further, in order to dissipate the heat generated in the power amplification transistor 11, a large number of heat dissipation via conductors 15 that connect the bottom surface of the transistor mounting portion and the back surface of the multilayer substrate 2 are provided.

【0009】このような構成の高周波用電力増幅器1に
おいては、マイクロストリップ線路3の線路幅や線路長
が基板の製造ロット毎にばらつくことによって電気特性
がばらつくという問題があり、その中でも特に出力整合
回路8を構成するマイクロストリップ線路3のばらつき
による影響が大きい。
In the high frequency power amplifier 1 having such a configuration, there is a problem that the line width and line length of the microstrip line 3 are varied depending on the manufacturing lot of the substrate, and thus the electrical characteristics are varied. The influence of the variation of the microstrip line 3 forming the circuit 8 is large.

【0010】このようなマイクロストリップ線路3は通
常は印刷技術によって形成されており、印刷精度を向上
させれば特性のばらつきも減少させることができるが、
実際には土20〜30μmの精度でも各基板ロット毎の特性
ばらつきを吸収することはできない。そこで、特性ばら
つきを吸収するために、電気特性の調整用に使用するチ
ップコンデンサ4の容量値を基板ロット毎に調整した
り、基板上にあらかじめ複数の実装電極59を準備してお
いて希望する特性が得られる実装箇所にチップコンデン
サ3を実装することで調整用のチップコンデンサ3の実
装位置を変更し、それによりマイクロストリップ線路3
の線路長を調整することによって、出力整合回路8のイ
ンピーダンスのずれを補正して特性ばらつきを吸収し、
製品の良品率を向上させてきた。
Such a microstrip line 3 is usually formed by a printing technique, and if the printing accuracy is improved, the variation in characteristics can be reduced.
Actually, even if the soil has an accuracy of 20 to 30 μm, it is not possible to absorb the characteristic variation for each substrate lot. Therefore, in order to absorb the characteristic variation, it is desired that the capacitance value of the chip capacitor 4 used for adjusting the electrical characteristics be adjusted for each substrate lot or that a plurality of mounting electrodes 59 be prepared in advance on the substrate. By mounting the chip capacitor 3 at a mounting position where characteristics can be obtained, the mounting position of the chip capacitor 3 for adjustment is changed, whereby the microstrip line 3
By adjusting the line length of the output matching circuit 8, the impedance deviation of the output matching circuit 8 is corrected to absorb the characteristic variation,
We have improved the rate of non-defective products.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の従来の高周波用電力増幅器1においてはドレイン線
路9のみを内層化しているので、高周波用電力増幅器1
のさらなる小型化を行なうためには、従来多層基板2上
に形成していたマイクロストリップ線路3の占有面積も
無視できなくなることから、これらもストリップ線路と
して内層化することにより小型化を実現する方法が考え
られる。しかし、この方法では、ストリップ線路と多層
基板2上面の電極パッド等とを接続するビア導体のイン
ダクタンス成分や、ストリップ線路を挟む上下のグラン
ド電極層との距離が製造のロット毎でばらつき、それに
より電気特性がばらつくという問題がある。
However, in the conventional high frequency power amplifier 1 having the above structure, only the drain line 9 is formed as an inner layer, so that the high frequency power amplifier 1 is provided.
In order to achieve further miniaturization, the area occupied by the microstrip line 3 conventionally formed on the multilayer substrate 2 cannot be ignored. Therefore, a method for realizing miniaturization by also innerizing these as strip lines is also used. Can be considered. However, according to this method, the inductance component of the via conductor that connects the strip line and the electrode pad or the like on the upper surface of the multilayer substrate 2 and the distance between the upper and lower ground electrode layers that sandwich the strip line vary from lot to lot, and There is a problem that the electrical characteristics vary.

【0012】そこで、この電気特性のばらつきを調整す
るために従来のように調整用のチップコンデンサの容量
値を変えることで対応しようとすると、多層基板2の製
造ロット毎に最適なコンデンサ容量値を先行投入品で確
認して調整したり、また製造ロット毎に調整用のチップ
コンデンサの実装位置の最適化を図る必要があり、この
方法で大量生産を実施した場合には、多層基板2の製造
ロット毎に最適なコンデンサ容量値とその実装位置とを
決める必要があることから、製品の製造工数が多くなっ
て製造工程が複雑になり、製品の良品率を高くすること
も困難であるという問題点があった。また、調整用のチ
ップコンデンサもその容量値を例えば0.1 pF刻みで細
かく準備しておく必要があり、それらの在庫管理が難し
く、それによっても製品の製造工数が増加してしまうと
いう問題点もあった。
Therefore, in order to adjust the variation of the electrical characteristics by changing the capacitance value of the adjusting chip capacitor as in the conventional case, the optimum capacitor capacitance value for each manufacturing lot of the multilayer substrate 2 is determined. It is necessary to check and adjust the product in advance and optimize the mounting position of the adjustment chip capacitor for each manufacturing lot. When mass production is performed by this method, the multilayer substrate 2 is manufactured. Since it is necessary to determine the optimum capacitor capacitance value and its mounting position for each lot, the number of man-hours for manufacturing the product becomes large, the manufacturing process becomes complicated, and it is difficult to increase the yield rate of the product. There was a point. In addition, it is necessary to prepare the capacitance value of the chip capacitors for adjustment in small increments of, for example, 0.1 pF, and it is difficult to manage the inventory of them, which also causes the problem of increasing the number of product manufacturing processes. It was

【0013】本発明は上記事情に鑑みて案出されたもの
であり、その目的は、小型化が可能であり、多層基板の
特性のばらつきに対する電気特性の調整を製造工数を削
減しつつ容易に行なうことができ、それにより製品とし
ての良品率も向上することができる、量産に好適な高周
波用電力増幅器を提供することにある。
The present invention has been devised in view of the above circumstances. An object of the present invention is to enable miniaturization, and to easily adjust electric characteristics with respect to variations in characteristics of a multilayer substrate while reducing the number of manufacturing steps. It is an object of the present invention to provide a high-frequency power amplifier suitable for mass production, which can be performed, and thereby can improve the non-defective product rate.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明の第1の高周波用
電力増幅器は、ガラスを主成分とする複数の絶縁層から
成り、上面にキャビティを、内部に前記キャビティから
下面まで貫通する放熱用ビア導体を、前記絶縁層の最上
層の下面にグランド電極層をそれぞれ有する多層基板
と、この多層基板内の前記キャビティおよび前記放熱用
ビア導体の周囲であって前記グランド電極層の下方に形
成されたストリップ線路と、前記多層基板の上面の前記
キャビティの周囲に形成され前記ストリップ線路から前
記多層基板の上面にかけて導出する接続導体に電気的に
接続されたマイクロストリップ線路と、前記キャビティ
の前記放熱用ビア導体上に実装され前記マイクロストリ
ップ線路に電気的に接続された電力増幅用トランジスタ
および前記多層基板の上面に実装されたチップ部品と、
前記多層基板の上面の前記キャビティの周囲に前記マイ
クロストリップ線路に付加して形成され前記絶縁層の最
上層を介して前記グランド電極層と対向したパッド電極
とを具備することを特徴とするものである。
A first high frequency power amplifier of the present invention comprises a plurality of insulating layers containing glass as a main component, and has a cavity on the top surface and a cavity for radiating heat from the cavity to the bottom surface. A via conductor is formed below the ground electrode layer around the multilayer substrate having a ground electrode layer on the lower surface of the uppermost layer of the insulating layer and around the cavity and the heat dissipation via conductor in the multilayer substrate. Strip line, a microstrip line formed around the cavity on the upper surface of the multilayer substrate and electrically connected to a connection conductor extending from the strip line to the upper surface of the multilayer substrate, and the heat radiation for the cavity. Power amplification transistor mounted on via conductor and electrically connected to the microstrip line, and the multilayer substrate A chip component mounted on the upper surface,
A pad electrode that is formed in addition to the microstrip line around the cavity on the upper surface of the multilayer substrate and that faces the ground electrode layer through the uppermost layer of the insulating layer. is there.

【0015】また、本発明の第2の高周波用電力増幅器
は、ガラスを主成分とする複数の絶縁層から成り、上面
にキャビティを、内部に前記キャビティから下面まで貫
通する放熱用ビア導体を、前記絶縁層の最上層の下面に
グランド電極層をそれぞれ有する多層基板と、この多層
基板内の前記キャビティおよび前記放熱用ビア導体の周
囲であって前記グランド電極層の下方に形成され、互い
に電気的に接続された第1および第2のストリップ線路
と、前記キャビティの前記放熱用ビア導体上に実装され
前記第1のストリップ線路から前記多層基板の上面にか
けて導出する第1の接続導体に電気的に接続された電力
増幅用トランジスタと、前記多層基板の上面に実装され
前記第2のストリップ線路から前記多層基板の上面にか
けて導出する第2の接続導体に電気的に接続されたチッ
プ部品と、前記多層基板の上面の前記キャビティの周囲
に形成され前記第2のストリップ線路から前記多層基板
の上面にかけて導出する第3の接続導体に電気的に接続
されかつ前記絶縁層の最上層を介して前記グランド電極
層と対向したパッド電極とを具備することを特徴とする
ものである。
The second high frequency power amplifier of the present invention is composed of a plurality of insulating layers containing glass as a main component, and has a cavity on the upper surface and a heat dissipation via conductor which penetrates from the cavity to the lower surface inside. A multi-layer substrate having a ground electrode layer on the lower surface of the uppermost layer of the insulating layer, and formed around the cavity and the heat dissipation via conductor in the multi-layer substrate below the ground electrode layer and electrically connected to each other. Electrically connected to the first and second strip lines connected to the first connection conductor and the first connection conductor that is mounted on the heat dissipation via conductor of the cavity and extends from the first strip line to the upper surface of the multilayer substrate. The connected power amplification transistor and the second strip line which is mounted on the upper surface of the multilayer substrate and extends from the second strip line to the upper surface of the multilayer substrate. A chip component electrically connected to the connection conductor and a third connection conductor formed around the cavity on the upper surface of the multilayer substrate and led out from the second strip line to the upper surface of the multilayer substrate. A pad electrode connected to and facing the ground electrode layer through the uppermost layer of the insulating layer.

【0016】本発明の高周波用電力増幅器によれば、電
力増幅用トランジスタの約4分の1波長(約λ/4)長
さのドレインバイアス線路として、従来は多層基板の上
面に形成されていたマイクロストリップ線路に代えて、
ガラスを主成分とする多層基板を用いてその多層基板の
内部にストリップ線路を形成して、基板上面で広い表面
積を占めていたドレインバイアス線路を多層基板内に内
層化したことにより、基板の大幅な小型化が可能となっ
て高周波用電力増幅器を大幅に小型化することができ
る。
According to the high frequency power amplifier of the present invention, a drain bias line having a length of about one-quarter wavelength (about λ / 4) of the power amplification transistor is conventionally formed on the upper surface of the multilayer substrate. Instead of the microstrip line,
By forming a strip line inside the multilayer board using glass as the main component and lining the drain bias line that occupied a large surface area on the top surface of the board inside the multilayer board, The size of the high frequency power amplifier can be greatly reduced.

【0017】また、高周波信号の伝送線路であるドレイ
ンバイアス線路をストリップ線路として多層基板に内層
化していることから、それら伝送線路の信号線の上下に
グランド(接地)電極層が存在することになり、そのた
め外部から伝送線路に侵入してくる電磁ノイズの影響を
受けにくくなって、アイソレーション特性の良好な構成
となる。さらに、信号線である伝送線路の上下にグラン
ド電極層が配置されることで伝送される高周波信号の磁
界がグランド電極層間に封鎖されることとなり、そのた
め信号損失の少ない構造となって、ドレインバイアス線
路を多層基板の上面にマイクロストリップ線路で形成し
た場合と比較してQ特性が向上する(例えば70前後から
90程度となる)という効果もあるものとなる。
Further, since the drain bias line, which is a transmission line for high-frequency signals, is internally layered on the multilayer substrate as a strip line, there are ground electrode layers above and below the signal lines of those transmission lines. Therefore, it becomes difficult to be influenced by the electromagnetic noise that intrudes into the transmission line from the outside, and the isolation characteristic becomes good. Furthermore, by arranging the ground electrode layers above and below the transmission line that is a signal line, the magnetic field of the high-frequency signal transmitted is blocked between the ground electrode layers, which results in a structure with less signal loss and a drain bias. The Q characteristic is improved compared to the case where the line is formed by the microstrip line on the upper surface of the multilayer substrate (for example, from about 70
It will be about 90).

【0018】本発明の第1の高周波用電力増幅器によれ
ば、多層基板の上面にマイクロストリップ線路とチップ
部品により構成される出力整合回路や入力整合回路のマ
イクロストリップ線路に回路的に並列に接続されるパッ
ド電極を付加したことから、このパッド電極によってこ
れと絶縁層の最上層を介して対向する多層基板内部のグ
ランド電極層との間でコンデンサが形成され、このパッ
ド電極の面積をレーザやリュータ等を用いて選択的に削
ったり切断したりして変化させることによりその容量値
を変化させることができるものとなる。またこのような
パッド電極を複数付加することにより、それらとマイク
ロストリップ線路との接続部をレーザやリュータ等で選
択的に切断することでマイクロストリップ線路の長さを
調整することができる。従って、これらを組み合わせる
ことによって出力整合回路や入力整合回路の電気特性等
を製品の組立後においても所望の電気特性に容易に調整
することができるものとなり、多層基板の製造ロット毎
のばらつきによる電気特性のばらつきを製品の組立後に
簡単に調整することができる高周波用電力増幅器とな
る。
According to the first high-frequency power amplifier of the present invention, the upper surface of the multi-layer substrate is connected in parallel to the microstrip line of the output matching circuit or the input matching circuit formed by the microstrip line and the chip parts. Since the pad electrode is added, the pad electrode forms a capacitor between the pad electrode and the ground electrode layer inside the multi-layer substrate facing the uppermost layer of the insulating layer. The capacitance value can be changed by selectively shaving or cutting by using a luteer or the like. Further, by adding a plurality of such pad electrodes, the length of the microstrip line can be adjusted by selectively cutting the connection part between them and the microstrip line with a laser, a lute, or the like. Therefore, by combining these, the electrical characteristics of the output matching circuit and the input matching circuit can be easily adjusted to the desired electrical characteristics even after the product is assembled. It becomes a high frequency power amplifier in which variations in characteristics can be easily adjusted after product assembly.

【0019】本発明の第2の高周波用電力増幅器によれ
ば、出力整合回路や入力整合回路を多層基板の内部に形
成したストリップ線路と基板上面に実装したチップ部品
とにより構成することにより、マイクロストリップ線路
で構成した場合に比べて一層の小型化を図ることができ
るとともに、そのストリップ線路に回路的に並列に接続
されるパッド電極を基板上面に形成して付加したことか
ら、このパッド電極によってこれと絶縁層の最上層を介
して対向する多層基板内部のグランド電極層との間でコ
ンデンサが形成され、上記第1の高周波用電力増幅器と
同様に、出力整合回路や入力整合回路の電気特性等を製
品の組立後においても所望の電気特性に容易に調整する
ことができるものとなり、多層基板の製造ロット毎のば
らつきによる電気特性のばらつきを製品の組立後に簡単
に調整することができる高周波用電力増幅器となる。
According to the second high frequency power amplifier of the present invention, the output matching circuit and the input matching circuit are constituted by the strip line formed inside the multi-layer substrate and the chip parts mounted on the upper surface of the substrate. It is possible to achieve further miniaturization compared to the case where it is configured with a strip line, and since a pad electrode connected in parallel to the strip line in a circuit is formed and added on the upper surface of the substrate, this pad electrode is used. A capacitor is formed between this and the ground electrode layer inside the multi-layered substrate facing through the uppermost layer of the insulating layer, and the electrical characteristics of the output matching circuit and the input matching circuit are similar to those of the first high frequency power amplifier. Even after assembling the product, etc., it can be easily adjusted to the desired electrical characteristics. The high-frequency power amplifier can be easily adjusted to variations in the sex after assembly of the product.

【0020】これらにより、本発明の高周波用電力増幅
器によれば、従来のように多層基板の製造ロット毎に定
数を決めて0.1 pFの細かい単位で選別したチップコン
デンサやチップ抵抗等の選別品を使用する工程が不要と
なって通常品のチップコンデンサ等を使用して電気特性
を調整することができるようになるため、製造工数の削
減や部材費の削減を図ることができるとともに、製品と
しての良品率も向上させることができる。
As described above, according to the high frequency power amplifier of the present invention, a selected product such as a chip capacitor or a chip resistor, in which a constant is determined for each manufacturing lot of a multi-layered board and selected in fine units of 0.1 pF as in the prior art. Since the process to be used is unnecessary and the electrical characteristics can be adjusted by using a normal chip capacitor, etc., it is possible to reduce the manufacturing man-hours and material costs, and The non-defective rate can also be improved.

【0021】また、多層基板の製造ロット毎にチップコ
ンデンサ等の実装位置を変更することも不要となり、製
造工程が簡素化され、いわゆる先行確認等の必要がなく
なって製造工数を削減することができるとともに、製品
としての良品率も向上させることができる。
Further, it is not necessary to change the mounting position of the chip capacitor or the like for each manufacturing lot of the multi-layer substrate, the manufacturing process is simplified, and so-called prior confirmation is not necessary, and the number of manufacturing steps can be reduced. At the same time, the rate of non-defective products can be improved.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明を詳
細に説明する。なお、以下はあくまで本発明の例示であ
って、本発明はそれらに限定されるものではなく、本発
明の要旨を逸脱しない範囲での種々の変更や改良は何ら
差し支えないものである。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be described in detail below with reference to the drawings. Note that the following is merely an example of the present invention, and the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements may be made without departing from the scope of the present invention.

【0023】図1は本発明の第1の高周波用電力増幅器
の実施の形態の例を示す図7と同様の断面図であり、図
2はそのケースを取り外した状態の上面の様子を示す外
観斜視図である。これらの図に示した高周波用電力増幅
器21において、22はガラスを主成分とする複数の絶縁層
を積層して成る多層基板であり、23は多層基板22の絶縁
層の最上層22aの下面に形成されたグランド電極層、24
は多層基板22内のグランド電極層23の下方に形成された
ストリップ線路、25はストリップ線路24から多層基板22
の上面にかけて導出される接続導体、26は多層基板22上
に形成され接続導体25に電気的に接続されたマイクロス
トリップ線路、27は多層基板22上に実装されマイクロス
トリップ線路26に電気的に接続された電力増幅用トラン
ジスタ、28は多層基板22上に実装されマイクロストリッ
プ線路26に電気的に接続されたチップ抵抗やチップコン
デンサ等のチップ部品、29は多層基板22上にマイクロス
トリップ線路26に付加して形成され絶縁層の最上層22a
を介してグランド電極層23と対向したパッド電極であ
る。このパッド電極29と、これと絶縁層の最上層22aを
介して対向する多層基板22内部のグランド電極層23とに
よってコンデンサが形成されている。この多層基板22上
面のパッド電極29の面積をレーザやリュータ等を用いて
変化させることで、対向するグランド電極層23との間で
形成されるコンデンサの容量値を変化させることがで
き、マイクロストリップ線路26とチップ部品28とにより
構成されている出力整合回路または入力整合回路を所望
の電気特性に調整することができ、これにより、多層基
板22の製造ロット毎のばらつきによる特性ばらつきを製
造工数の削減を図りつつ調整することができる。
FIG. 1 is a sectional view similar to FIG. 7 showing an example of an embodiment of a first high frequency power amplifier of the present invention, and FIG. 2 is an external view showing the state of the upper surface with the case removed. It is a perspective view. In the high frequency power amplifier 21 shown in these figures, 22 is a multilayer substrate formed by laminating a plurality of insulating layers containing glass as a main component, and 23 is a lower surface of the uppermost layer 22a of the insulating layers of the multilayer substrate 22. Formed ground electrode layer, 24
Is a strip line formed below the ground electrode layer 23 in the multilayer substrate 22, and 25 is a strip line from the strip line 24 to the multilayer substrate 22.
, A microstrip line formed on the multilayer substrate 22 and electrically connected to the connection conductor 25, and a microchip line 27 mounted on the multilayer substrate 22 and electrically connected to the microstrip line 26. The power amplification transistor 28 is a chip component such as a chip resistor or a chip capacitor that is mounted on the multilayer substrate 22 and electrically connected to the microstrip line 26.29 is added to the microstrip line 26 on the multilayer substrate 22. The uppermost layer 22a of the insulating layer formed by
The pad electrode is opposed to the ground electrode layer 23 via the. A capacitor is formed by the pad electrode 29 and the ground electrode layer 23 inside the multilayer substrate 22 facing the pad electrode 29 with the uppermost layer 22a of the insulating layer interposed therebetween. By changing the area of the pad electrode 29 on the upper surface of the multilayer substrate 22 by using a laser, a lutor, or the like, it is possible to change the capacitance value of the capacitor formed between the opposing ground electrode layer 23 and the microstrip. The output matching circuit or the input matching circuit configured by the line 26 and the chip component 28 can be adjusted to desired electrical characteristics, and thus the characteristic variation due to the variation of each manufacturing lot of the multilayer substrate 22 can be reduced by the number of manufacturing steps. Adjustments can be made while reducing the amount.

【0024】また、30はボンディングワイヤであり、電
力増幅用トランジスタ27の各電極(ソース・ゲート・ド
レイン)とドレインバイアス線路としてのストリップ線
路24とを接続導体25を介して(例えば接続導体25に接続
され多層基板22の上面に少なくともその一部が露出して
いる、マイクロストリップ線路26に電気的に接続された
導体層等にボンディングされて)電気的に接続されてい
る。
Further, 30 is a bonding wire, which connects each electrode (source / gate / drain) of the power amplification transistor 27 and the strip line 24 as a drain bias line via a connection conductor 25 (for example, to the connection conductor 25). They are electrically connected (bonded to a conductor layer or the like electrically connected to the microstrip line 26, at least a part of which is exposed on the upper surface of the connected multilayer substrate 22).

【0025】本例では、電力増幅用トランジスタ27は多
層基板22上の搭載用キャビティ31に樹脂や半田系の接続
ペースト32により固定され、封止樹脂33により封止され
ている。なお、キャビティ31は、例えば多層基板22の上
面側の数層のシートに所定の形状の開口部を設けて積層
することにより、電力増幅用トランジスタ27のサイズに
応じて階段状に深さ0.3 mm程度で形成されている。ま
た、34は電力増幅用トランジスタ27下部の多層基板22の
内部に形成された放熱用ビア導体である。
In this example, the power amplification transistor 27 is fixed to the mounting cavity 31 on the multilayer substrate 22 with a resin or solder-based connection paste 32 and sealed with a sealing resin 33. Note that the cavity 31 has a depth of 0.3 mm in a stepwise manner according to the size of the power amplification transistor 27, for example, by stacking several sheets on the upper surface side of the multi-layer substrate 22 with an opening having a predetermined shape and stacking them. It is formed with a degree. Reference numeral 34 is a heat dissipation via conductor formed inside the multilayer substrate 22 below the power amplification transistor 27.

【0026】また、本例の高周波用電力増幅器21におい
ては、ドレインバイアス線路としてのストリップ線路24
は、グランド電極層23の下方において、上下のグランド
電極層35・36の間に形成されている。ストリップ線路24
はまた、グランド電極層23を上部のグランド電極層とし
て内層化してもよい。
Further, in the high frequency power amplifier 21 of this example, the strip line 24 as the drain bias line is used.
Is formed between the upper and lower ground electrode layers 35 and 36 below the ground electrode layer 23. Stripline 24
Alternatively, the ground electrode layer 23 may be an inner layer as the upper ground electrode layer.

【0027】そして、37はケースであり、多層基板22上
に電力増幅用トランジスタ27やチップ部品28を搭載実装
した後、多層基板22の上面を覆うように封止樹脂等(図
示せず)を介して取り付けられ、これにより高周波用電
力増幅器21が完成し、多層基板22の上面周辺ならびに側
面のキャスタレーション等を利用して形成された端子電
極38を介して外部電気回路の接続ランドと電気的に接続
される。
Reference numeral 37 denotes a case, which is used to mount and mount the power amplification transistor 27 and the chip component 28 on the multilayer substrate 22 and then to apply a sealing resin or the like (not shown) so as to cover the upper surface of the multilayer substrate 22. The high frequency power amplifier 21 is completed by this, and electrically connected to the connection land of the external electric circuit via the terminal electrode 38 formed by utilizing the castellation on the upper surface periphery and the side surface of the multilayer substrate 22. Connected to.

【0028】なお、端子電極38からは所望により多層基
板22の下面あるいは上面に導体層やグランド電極層36等
を延設してもよく、これによりマザーボード等の外部回
路基板への実装時に、外部回路基板上の接続ランドとの
電気的な接続をより確実なものとすることができる。
If desired, a conductor layer, a ground electrode layer 36, or the like may be extended from the terminal electrode 38 to the lower surface or the upper surface of the multi-layer substrate 22, so that the external layer can be mounted on an external circuit board such as a mother board. The electrical connection with the connection land on the circuit board can be made more reliable.

【0029】多層基板22は、ガラスを主成分とするいわ
ゆる低温焼成多層基板であり、例えばガラスセラミック
スなどから成る厚み0.14〜0.16mm程度のグリーンシー
トに内部配線パターンを印刷したりスルーホールやビア
ホール加工を施したものを複数層積層して焼成したもの
が用いられ、実効比誘電率が8.1 程度のものが好適に使
用される。
The multi-layer substrate 22 is a so-called low temperature firing multi-layer substrate containing glass as a main component. For example, an internal wiring pattern is printed on a green sheet made of glass ceramics having a thickness of about 0.14 to 0.16 mm, and through holes and via holes are processed. A laminate obtained by laminating a plurality of layers subjected to the above and firing is used, and one having an effective relative dielectric constant of about 8.1 is preferably used.

【0030】ストリップ線路24およびマイクロストリッ
プ線路26ならびにグランド電極層23・35・36等は、例え
ばAg系の導電性ペーストを多層基板22の焼成前のグリ
ーンシートに所望のパターンに印刷し、同時に焼成する
ことによって多層基板22の内部ならびに表面もしくは裏
面に形成される。その厚みは、例えば所望の伝送特性に
応じて10〜20μm程度に設定される。
The strip line 24, the microstrip line 26, the ground electrode layers 23, 35, 36, etc. are printed in a desired pattern on the green sheet of the multi-layer substrate 22 before firing, for example, by using an Ag-based conductive paste and firing at the same time. By doing so, it is formed inside and on the front surface or the back surface of the multilayer substrate 22. The thickness is set to, for example, about 10 to 20 μm according to desired transmission characteristics.

【0031】接続導体25は、ストリップ線路24から多層
基板22の上面にかけて導出して形成されてストリップ線
路24とマイクロストリップ線路26とを、またストリップ
線路24と電力増幅用トランジスタ27およびチップ部品28
とを電気的に接続するものであれば種々の形状や構造の
ものを用いることができ、例えば、多層基板22に設けた
貫通孔の内側にメッキや導電性ペーストの印刷・焼結な
どの方法によりAg等を主成分とする導体金属を被着形
成したスルーホールとしたもの、あるいは貫通孔の内部
に導電性ペーストの印刷・焼結などの方法により前記導
体金属を充填したビアホ一ル(ビア導体)としたもの、
前記のスルーホールやビアホールの断面形状を円形でな
く楕円状・矩形状・多角形状・板状等の種々の形状とし
たものなどを用いることができる。
The connection conductor 25 is formed by being led out from the strip line 24 to the upper surface of the multilayer substrate 22 to form the strip line 24 and the microstrip line 26, and the strip line 24, the power amplification transistor 27 and the chip component 28.
Various shapes and structures can be used as long as they are electrically connected to each other. For example, a method such as plating or printing / sintering of a conductive paste inside the through hole provided in the multilayer substrate 22. A through hole formed by depositing a conductive metal containing Ag or the like as a main component, or a via hole filled with the conductive metal by a method such as printing or sintering of a conductive paste inside the through hole. Conductor),
It is possible to use various shapes such as elliptical shapes, rectangular shapes, polygonal shapes, and plate shapes for the cross-sectional shapes of the through holes and the via holes instead of the circular shapes.

【0032】電力増幅用トランジスタ27としては、例え
ば高周波電力増幅用のFET(電界効果トランジスタ)
が用いられ、キャビティ31内に搭載されて、Au/Si
や半田・Agペースト等のダイアタッチ材としての接続
ペースト32により固定されるとともに電気的にも接続さ
れており、Au等から成る太さ25μm程度のボンディン
グワイヤ30により、多層基板22の上面に導出された接続
導体25あるいは接続導体25に延設された導体層等を介し
てストリップ線路24およびマイクロストリップ線路26と
電気的に接続される。
The power amplification transistor 27 is, for example, a high frequency power amplification FET (field effect transistor).
Is used to mount Au / Si in the cavity 31.
It is fixed and electrically connected by a connection paste 32 as a die attach material such as solder or Ag paste, and is led to the upper surface of the multilayer substrate 22 by a bonding wire 30 made of Au and having a thickness of about 25 μm. It is electrically connected to the strip line 24 and the microstrip line 26 via the connected connection conductor 25 or a conductor layer extended to the connection conductor 25.

【0033】チップ部品28としては、高周波用電力増幅
器21の回路として一般に用いられる表面実装型のチップ
抵抗やチップコンデンサ等が用いられる。
As the chip component 28, a surface mount type chip resistor or chip capacitor generally used as a circuit of the high frequency power amplifier 21 is used.

【0034】端子電極38を形成するには、高周波用電力
増幅器21が実装される外部回路基板の回路配置等に応じ
て多層基板22の所望の位置に、各グリーンシートの端部
に幅0.6 〜0.8 mm・深さ0.6 〜0.8 mm程度の切り欠
きを施して凹部を形成してキャスタレーションを形成す
るとともに、それらのシートを積層した後の多層基板22
の凹部(側面)に、前述の導電性ペーストの印刷・焼成
あるいはメタライズ法などにより形成すればよい。
To form the terminal electrode 38, a width of 0.6 to 0.6 mm is provided at the end of each green sheet at a desired position of the multilayer substrate 22 according to the circuit arrangement of the external circuit substrate on which the high frequency power amplifier 21 is mounted. A multi-layer substrate 22 after stacking these sheets while forming a recess by forming a notch with a depth of 0.8 mm and a depth of 0.6 to 0.8 mm 22
The conductive paste may be formed in the concave portion (side surface) by printing / sintering of the above-described conductive paste, a metallizing method, or the like.

【0035】放熱用ビア導体34は、前述の接続導体25と
してのビア導体と同様のものを用いればよく、電力増幅
用トランジスタ27の実装箇所において多層基板22をキャ
ビティ31からその対向する多層基板22の裏面まで貫通す
るように多数形成され、電力増幅用トランジスタ27から
の発熱を多層基板22の裏面のグランド電極層となる導体
層36を介して外部回路基販に伝導し放熱する。
As the heat radiating via conductor 34, the same via conductor as the above-mentioned connecting conductor 25 may be used, and the multilayer substrate 22 from the cavity 31 to the opposing multilayer substrate 22 at the mounting location of the power amplifying transistor 27. A large number are formed so as to penetrate to the back surface of the power amplification transistor 27, and the heat generated from the power amplification transistor 27 is conducted to the external circuit base via the conductor layer 36 serving as the ground electrode layer on the back surface of the multilayer substrate 22 and radiated.

【0036】この放熱用ビア導体34は、図1に示したよ
うに電力増幅用トランジスタ27の下部において多層基板
22の上から下まで同数を配置したものとしてもよいし、
電力増幅用トランジスタ27からの熱の拡散に応じて電力
増幅用トランジスタ27の下から多層基板22の下面にかけ
て順次その数を増やすように配置したものとしてもよ
い。
The heat-dissipating via conductor 34 is provided under the power amplifying transistor 27 as shown in FIG.
You may arrange the same number from the top to the bottom of 22,
The number may be sequentially increased from the bottom of the power amplification transistor 27 to the lower surface of the multilayer substrate 22 according to the diffusion of heat from the power amplification transistor 27.

【0037】また、放熱用ビア導体34は可能な限り数多
く設けるほど放熱性が良くなるので、同一面積内で最も
数を多く設定できるように、例えば千鳥状などに配置す
ると効率よく放熱することができるようになって好まし
い。
Further, since the heat dissipation becomes better as the heat dissipation via conductors 34 are provided as many as possible, the heat dissipation can be efficiently performed by arranging the via conductors 34 in a staggered manner so that the maximum number can be set in the same area. Being able to do this is preferable.

【0038】次に、特性調整用のパッド電極29による電
気特性の調整について詳しく説明する。図3は、高周波
用電力増幅器21においてマイクロストリップ線路26とチ
ップ部品28・パッド電極29・グランド電極層23等により
構成される出力整合回路部の回路構成を示す等価回路図
であり、図1および図2と同様の箇所には同じ符号を付
してある。
Next, the adjustment of electric characteristics by the pad electrode 29 for adjusting characteristics will be described in detail. FIG. 3 is an equivalent circuit diagram showing a circuit configuration of an output matching circuit portion constituted by the microstrip line 26, the chip component 28, the pad electrode 29, the ground electrode layer 23, etc. in the high frequency power amplifier 21. The same parts as those in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals.

【0039】図3において、C1 〜C4 はパッド電極29
が絶縁層の最上層22aを介してグランド電極層23に対向
することによって形成されるパターンコンデンサであ
る。
In FIG. 3, C 1 to C 4 are pad electrodes 29.
Is a pattern capacitor formed by facing the ground electrode layer 23 through the uppermost layer 22a of the insulating layer.

【0040】多層基板22の製造ロットによってストリッ
プ線路24の幅や長さおよびストリップ線路24とそれを絶
縁層を介して上下から挟むグランド電極層35・36との距
離が変化すると、高周波用電力増幅器21の電気特性にお
いて隣接チャネル漏洩電力特性や消費電流特性・出力電
力等がばらつく。そこで、これらのばらつきを吸収し調
整するために、ストリップ線路24と回路的に並列にマイ
クロストリップ線路26に付加されたパッド電極29とグラ
ンド電極層23とにより形成されるパターンコンデンサC
1 〜C4 の容量値ならびにこれらパターンコンデンサC
1 〜C4 の接続の有無を調整することにより電気特性を
調整する。例えば、ストリップ線路24の長さのばらつき
によるACP(隣接チャンネル漏洩電力)特性のばらつ
きに対応するためには、マイクロストリップ線路26とパ
ッド電極29との接続部をレーザあるいはリュータ等を用
いて選択的に切断することで、パッド電極29の接続がな
くなってマイクロストリップ線路26が長くなって長さが
調整されることにより、出力整合インピーダンスの調整
が可能となる。また、同じくACP特性のばらつきの抑
制に対応するには、パッド電極29の面積をレーザあるい
はリュータ等を用いて選択的に削ったり切断したりして
変化させることによりパッド電極29で形成される容量値
を変化させることによって、出力整合インピーダンスの
調整が可能となる。
When the width and length of the strip line 24 and the distance between the strip line 24 and the ground electrode layers 35 and 36 sandwiching the strip line 24 from above and below vary depending on the manufacturing lot of the multilayer substrate 22, the high frequency power amplifier Among the 21 electrical characteristics, adjacent channel leakage power characteristics, current consumption characteristics, output power, etc. vary. Therefore, in order to absorb and adjust these variations, the pattern capacitor C formed by the pad electrode 29 and the ground electrode layer 23 added to the microstrip line 26 in circuit parallel with the strip line 24.
1 to C 4 capacitance value and these pattern capacitors C
Adjusting the electrical characteristics by adjusting the presence or absence of connection 1 -C 4. For example, in order to cope with the variation in the ACP (adjacent channel leakage power) characteristic due to the variation in the length of the strip line 24, the connecting portion between the microstrip line 26 and the pad electrode 29 is selectively used by using a laser or a luteer. By disconnecting the pad electrode 29, the connection of the pad electrode 29 is lost and the microstrip line 26 is lengthened and the length is adjusted, whereby the output matching impedance can be adjusted. Similarly, in order to suppress variation in ACP characteristics, the capacitance formed by the pad electrode 29 is changed by selectively shaving or cutting the area of the pad electrode 29 by using a laser or a luteer. The output matching impedance can be adjusted by changing the value.

【0041】次に、本発明の第2の高周波用電力増幅器
について、図3および図4に基づいて説明する。図4は
本発明の第2の高周波用電力増幅器の実施の形態の例を
示す図1と同様の断面図であり、図5はそのケースを取
り外した状態の上面の様子を示す図2と同様の外観斜視
図である。
Next, a second high frequency power amplifier of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 and 4. FIG. 4 is a sectional view similar to FIG. 1 showing an example of an embodiment of a second high frequency power amplifier of the present invention, and FIG. 5 is similar to FIG. 2 showing the state of the upper surface with the case removed. FIG.

【0042】図4および図5に示した高周波用電力増幅
器41において、42はガラスを主成分とする複数の絶縁層
を積層して成る多層基板であり、43は多層基板42の絶縁
層の最上層42aの下面に形成されたグランド電極層、44
は多層基板42内のグランド電極層43の下方に形成された
第1のストリップ線路、45は第1のストリップ線路44か
ら多層基板42の上面にかけて導出される第1の接続導
体、46は多層基板42の内部に形成され第1のストリップ
線路44と互いに電気的に接続された第2のストリップ線
路、47は多層基板42上に実装され第1の接続導体45に電
気的に接続された電力増幅用トランジスタ、48は第2の
ストリップ線路46から多層基板42の上面にかけて導出さ
れる第2の接続導体、49は多層基板42上に実装され第2
のストリップ線路46から導出される第2の接続導体48に
電気的に接続されたチップ抵抗やチップコンデンサ等の
チップ部品、50は第2のストリップ線路46から多層基板
42の上面にかけて導出される第3の接続導体、51は多層
基板42上に形成され第3の接続導体50に電気的に接続さ
れかつ絶縁層の最上層42aを介してグランド電極層43と
対向したパッド電極である。このパッド電極51と、これ
と絶縁層の最上層42aを介して対向する多層基板42内部
のグランド電極層43とによってコンデンサが形成されて
いる。この多層基板42上面のパッド電極51の面積をレー
ザやリュータ等を用いて変化させることで、対向するグ
ランド電極層43との間で形成されるコンデンサの容量値
を変化させることができ、第2のストリップ線路46とチ
ップ部品49とにより構成されている出力整合回路または
入力整合回路を所望の電気特性に調整することができ、
これにより、多層基板42の製造ロット毎のばらつきによ
る特性ばらつきを製造工数の削減を図りつつ調整するこ
とができる。
In the high frequency power amplifier 41 shown in FIGS. 4 and 5, 42 is a multilayer substrate formed by laminating a plurality of insulating layers containing glass as a main component, and 43 is the maximum of the insulating layers of the multilayer substrate 42. A ground electrode layer formed on the lower surface of the upper layer 42a, 44
Is a first strip line formed below the ground electrode layer 43 in the multilayer substrate 42, 45 is a first connecting conductor led from the first strip line 44 to the upper surface of the multilayer substrate 42, and 46 is a multilayer substrate A second strip line formed inside 42 and electrically connected to the first strip line 44, and 47 is a power amplifier mounted on the multilayer substrate 42 and electrically connected to the first connection conductor 45. Transistor, 48 is a second connection conductor led from the second strip line 46 to the upper surface of the multilayer substrate 42, and 49 is a second connection conductor mounted on the multilayer substrate 42.
Chip parts such as chip resistors and chip capacitors electrically connected to the second connecting conductor 48 derived from the strip line 46 of the above, and 50 is a multilayer substrate from the second strip line 46.
A third connecting conductor 51 led out to the upper surface of 42 is formed on the multilayer substrate 42, is electrically connected to the third connecting conductor 50, and is opposed to the ground electrode layer 43 via the uppermost layer 42a of the insulating layer. Pad electrode. A capacitor is formed by the pad electrode 51 and the ground electrode layer 43 inside the multilayer substrate 42 facing the pad electrode 51 with the uppermost layer 42a of the insulating layer interposed therebetween. By changing the area of the pad electrode 51 on the upper surface of the multi-layer substrate 42 by using a laser, a lutor or the like, it is possible to change the capacitance value of the capacitor formed between the opposing ground electrode layer 43 and the second electrode. It is possible to adjust the output matching circuit or the input matching circuit configured by the strip line 46 and the chip component 49 of the above to the desired electrical characteristics,
As a result, it is possible to adjust the characteristic variation due to the variation in the manufacturing lot of the multilayer substrate 42 while reducing the number of manufacturing steps.

【0043】また、52はボンディングワイヤであり、電
力増幅用トランジスタ47の各電極(ソース・ゲート・ド
レイン)とドレインバイアス線路としての第1のストリ
ップ線路44とを第1の接続導体45を介して(例えば第1
の接続導体45に接続され多層基板42の上面に少なくとも
その一部が露出している、第2のストリップ線路46に電
気的に接続された導体層等にボンディングされて)電気
的に接続している。
Further, 52 is a bonding wire, which connects each electrode (source / gate / drain) of the power amplification transistor 47 and the first strip line 44 as a drain bias line via the first connection conductor 45. (For example, first
Electrically connected to a conductor layer or the like electrically connected to the second strip line 46, which is connected to the connection conductor 45 of which at least a part thereof is exposed on the upper surface of the multilayer substrate 42). There is.

【0044】本例では、電力増幅用トランジスタ47は多
層基板42上の搭載用キャビティ53に樹脂や半田系の接続
ペースト54により固定され、封止樹脂55により封止され
ている。なお、キャビティ53は前述のキャビティ31と同
様に形成されている。また、56は電力増幅用トランジス
タ47下部の多層基板42の内部に形成された放熱用ビア導
体である。
In this example, the power amplification transistor 47 is fixed to the mounting cavity 53 on the multilayer substrate 42 with a resin or solder-based connection paste 54, and is sealed with a sealing resin 55. The cavity 53 is formed in the same manner as the cavity 31 described above. Reference numeral 56 denotes a heat dissipation via conductor formed inside the multilayer substrate 42 below the power amplification transistor 47.

【0045】また、本例の高周波用電力増幅器41におい
ては、ドレインバイアス線路としての第1のストリップ
線路44は、グランド電極層43の下方において、上下のグ
ランド電極層57・58の間に形成されている。第1のスト
リップ線路44もまた、前述のストリップ線路24と同様に
グランド電極層43を上部のグランド電極層として内層化
してもよい。
Further, in the high frequency power amplifier 41 of this example, the first strip line 44 as the drain bias line is formed below the ground electrode layer 43 and between the upper and lower ground electrode layers 57 and 58. ing. Similarly to the strip line 24 described above, the first strip line 44 may be internally layered with the ground electrode layer 43 as an upper ground electrode layer.

【0046】また第2のストリップ線路46も、本例では
グランド電極層43を上部のグランド電極層として形成さ
れているが、第1のストリップ線路44と同様に他のグラ
ンド電極層57等を上部のグランド電極層として内層化し
てもよく、これら第1のストリップ線路44と第2のスト
リップ線路46とを同じ層内に形成して内層化してもよ
い。
The second strip line 46 is also formed with the ground electrode layer 43 as the upper ground electrode layer in this example, but like the first strip line 44, other ground electrode layers 57 and the like are formed on the upper side. The first strip line 44 and the second strip line 46 may be formed in the same layer to form an inner layer.

【0047】そして、59はケースであり、多層基板42上
に電力増幅用トランジスタ47やチップ部品49を搭載実装
した後、多層基板42の上面を覆うように封止樹脂等(図
示せず)を介して取り付けられ、これにより高周波用電
力増幅器41が完成し、多層基板42の上面周辺ならびに側
面のキャスタレーション等を利用して形成された端子電
極60を介して外部電気回路の接続ランドと電気的に接続
される。
Reference numeral 59 denotes a case. After mounting the power amplifying transistor 47 and the chip component 49 on the multilayer substrate 42, a sealing resin or the like (not shown) is provided to cover the upper surface of the multilayer substrate 42. The high frequency power amplifier 41 is completed by this, and electrically connected to the connection land of the external electric circuit via the terminal electrode 60 formed by utilizing the castellation on the upper surface periphery and the side surface of the multilayer substrate 42. Connected to.

【0048】なお、端子電極60からも所望により多層基
板42の下面あるいは上面に導体層やグランド電極層58等
を延設してもよい。
If desired, a conductor layer, a ground electrode layer 58, etc. may be extended from the terminal electrode 60 to the lower surface or the upper surface of the multilayer substrate 42.

【0049】多層基板42は前述の多層基板22と同様に、
また第1のストリップ線路44および第2のストリップ線
路46ならびにグランド電極層43・57・58等は前述の第1
のストリップ線路24およびマイクロストリップ線路26な
らびにグランド電極層23・35・36と同様に、第1の接続
導体45・第2の接続導体48・第3の接続導体50は前述の
第1の接続導体45と同様に、端子電極60は前述の端子電
極38と同様に、放熱用ビア導体56は前述の放熱用ビア導
体34と同様にして形成すればよい。
The multilayer substrate 42 is similar to the multilayer substrate 22 described above,
Further, the first strip line 44, the second strip line 46, the ground electrode layers 43, 57, 58, etc.
Similarly to the strip line 24, the micro strip line 26, and the ground electrode layers 23, 35, and 36, the first connecting conductor 45, the second connecting conductor 48, and the third connecting conductor 50 are the above-mentioned first connecting conductors. Similar to 45, the terminal electrode 60 may be formed similarly to the terminal electrode 38 described above, and the heat dissipation via conductor 56 may be formed similar to the heat dissipation via conductor 34 described above.

【0050】また、電力増幅用トランジスタ47は、キャ
ビティ53内に搭載されてダイアタッチ材としての接続ペ
ースト54により固定されるとともに電気的にも接続され
ており、ボンディングワイヤ52により、多層基板42の上
面に導出された第1の接続導体45あるいはそれに延設さ
れた導体層等を介して第1のストリップ線路44および第
2のストリップ線路46と電気的に接続される。
The power amplifying transistor 47 is mounted in the cavity 53, fixed by a connection paste 54 as a die attach material, and electrically connected, and is bonded to the multilayer substrate 42 by a bonding wire 52. It is electrically connected to the first strip line 44 and the second strip line 46 via the first connection conductor 45 led out to the upper surface or a conductor layer extended to the first connection conductor 45.

【0051】このようにして形成された特性調整用のパ
ッド電極51によっても前述のパッド電極29と同様に特性
の調整を容易に行なうことができ、高周波用電力増幅器
41において第2のストリップ線路46とチップ部品49・パ
ッド電極51・グランド電極層43等により構成される出力
整合回路部の回路構成を示す等価回路図は図3と同様の
ものとなり、その機能も前述したものと同様となる。な
お、図3には高周波用電力増幅器41の各部に対応する符
号も併せて付してある。
The characteristic adjusting pad electrode 51 thus formed can easily adjust the characteristic similarly to the pad electrode 29 described above, and the high frequency power amplifier can be obtained.
In 41, the equivalent circuit diagram showing the circuit configuration of the output matching circuit portion constituted by the second strip line 46, the chip component 49, the pad electrode 51, the ground electrode layer 43, etc. is similar to that of FIG. It is similar to that described above. In FIG. 3, reference numerals corresponding to the respective parts of the high frequency power amplifier 41 are also attached.

【0052】このようにして、本発明の高周波用電力増
幅器21・41によれば、多層基板22・42上に形成され、多
層基板22・42の絶縁層の最上層22a・42aを介してグラ
ンド電極層23・43と対向したパッド電極29・51によるパ
ターンコンデンサC1 〜C4の容量値の調整とパターン
コンデンサC1 〜C4 の接続の選択との組み合わせによ
り、高周波用電力増幅器21・41の組立後においても容易
に多層基板22・42の製造ロット毎の特性ばらつきを吸収
し調整することができる。
In this way, according to the high frequency power amplifiers 21 and 41 of the present invention, the high frequency power amplifiers 21 and 41 are formed on the multilayer substrates 22 and 42, and the uppermost layers 22a and 42a of the insulating layers of the multilayer substrates 22 and 42 are grounded. By combining the adjustment of the capacitance values of the pattern capacitors C 1 to C 4 by the pad electrodes 29 and 51 facing the electrode layers 23 and 43 and the selection of connection of the pattern capacitors C 1 to C 4 , the high frequency power amplifiers 21 and 41 are combined. Even after assembling, it is possible to easily absorb and adjust the characteristic variation between the manufacturing lots of the multilayer substrates 22 and 42.

【0053】[0053]

【発明の効果】以上のように、本発明の高周波用電力増
幅器によれば、電力増幅用トランジスタのドレインバイ
アス線路を多層基板の内部のキャビティおよび放熱用ビ
ア導体の周囲にストリップ線路を形成して、従来は基板
の上面で広い面積を占めていたドレインバイアス線路を
内層化したことにより、電力増幅用トランジスタからの
発熱を良好に放熱することができながら基板の大幅な小
型化が可能となって高周波用電力増幅器を大幅に小型化
することができ、またドレインバイアス線路をストリッ
プ線路として多層基板に内層化していることから、電磁
ノイズの影響を受けにくくなってアイソレーション特性
が良好となり、信号損失が少なくなってマイクロストリ
ップ線路で形成した場合と比較してQ特性を向上させる
ことができる。
As described above, according to the high frequency power amplifier of the present invention, the drain bias line of the power amplifying transistor is formed into the strip line around the cavity inside the multilayer substrate and around the heat radiating via conductor. , The internal structure of the drain bias line, which used to occupy a large area on the upper surface of the substrate in the past, allows the heat generated from the power amplification transistor to be dissipated well while allowing the substrate to be significantly downsized. The power amplifier for high frequency can be significantly downsized, and since the drain bias line is striplined inside the multilayer substrate, it is less susceptible to electromagnetic noise, resulting in better isolation characteristics and less signal loss. The Q characteristic can be improved as compared with the case where the microstrip line is used.

【0054】本発明の第1の高周波用電力増幅器によれ
ば、多層基板の上面にマイクロストリップ線路とチップ
部品により構成される出力整合回路や入力整合回路のマ
イクロストリップ線路に回路的に並列に接続されるパッ
ド電極を付加したことから、このパッド電極によってこ
れと絶縁層の最上層を介して対向する多層基板内部のグ
ランド電極層との間でパターンコンデンサが形成され、
このパッド電極の面積をレーザやリュータ等を用いて選
択的に削ったり切断したりして変化させることによりそ
のパターンコンデンサの容量値を変化させることができ
るものとなるとともに、このようなパッド電極を複数付
加してそれらとマイクロストリップ線路との接続部をレ
ーザやリュータ等で選択的に切断することによりマイク
ロストリップ線路の長さを調整することができ、これら
を組み合わせることによって出力整合回路や入力整合回
路の電気特性等を製品の組立後においても所望の電気特
性に容易に調整することができるものとなる。
According to the first high frequency power amplifier of the present invention, it is connected in parallel to the microstrip line of the output matching circuit or the input matching circuit constituted by the microstrip line and the chip component on the upper surface of the multilayer substrate. Since the pad electrode is added, the pad electrode forms a pattern capacitor between the pad electrode and the ground electrode layer inside the multilayer substrate facing the uppermost layer of the insulating layer,
By changing the area of this pad electrode by selectively shaving or cutting it by using a laser or a lute, it becomes possible to change the capacitance value of the pattern capacitor. The length of the microstrip line can be adjusted by adding multiple units and selectively cutting the connection between them and the microstrip line with a laser or a router.By combining these, an output matching circuit or an input matching circuit can be used. The electrical characteristics of the circuit can be easily adjusted to desired electrical characteristics even after the product is assembled.

【0055】本発明の第2の高周波用電力増幅器によれ
ば、出力整合回路や入力整合回路を多層基板の内部に形
成したストリップ線路と基板上面に実装したチップ部品
とにより構成することにより、マイクロストリップ線路
で構成した場合に比べて一層の小型化を図ることができ
るとともに、そのストリップ線路に回路的に並列に接続
されるパッド電極を基板上面に形成して付加したことか
ら、このパッド電極によってこれと絶縁層の最上層を介
して対向する多層基板内部のグランド電極層との間でパ
ターンコンデンサが形成され、上記第1の高周波用電力
増幅器と同様に、出力整合回路や入力整合回路の電気特
性等を製品の組立後においても所望の電気特性に容易に
調整することができるものとなり、多層基板の製造ロッ
ト毎のばらつきによる電気特性のばらつきを製品の組立
後に簡単に調整することができる高周波用電力増幅器と
なる。
According to the second high frequency power amplifier of the present invention, the output matching circuit and the input matching circuit are constituted by the strip line formed inside the multilayer substrate and the chip parts mounted on the upper surface of the substrate. It is possible to achieve further miniaturization compared to the case where it is configured with a strip line, and since a pad electrode connected in parallel to the strip line in a circuit is formed and added on the upper surface of the substrate, this pad electrode is used. A pattern capacitor is formed between this and the ground electrode layer inside the multi-layered substrate facing through the uppermost layer of the insulating layer, and like the first high-frequency power amplifier, the electrical characteristics of the output matching circuit and the input matching circuit are reduced. The characteristics can be easily adjusted to the desired electrical characteristics even after the product is assembled, and variations in manufacturing lots of multilayer boards can be avoided. The high-frequency power amplifier can be easily adjusted variation in electrical characteristics that after assembly of the product.

【0056】以上により本発明によれば、さらなる小型
化が可能であり、多層基板の特性の製造ロット毎のばら
つきに対する電気特性の調整を製造工数を削減しつつ容
易に行なうことができ、それにより製品の良品率も向上
することができる、量産に好適な高周波用電力増幅器を
提供することができた。
As described above, according to the present invention, it is possible to further reduce the size, and it is possible to easily adjust the electric characteristics with respect to the variation of the characteristics of the multilayer substrate for each manufacturing lot while reducing the number of manufacturing steps. It was possible to provide a high-frequency power amplifier suitable for mass production, which can improve the non-defective product rate.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の高周波用電力増幅器の実施の形
態の例を示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing an example of an embodiment of a first high frequency power amplifier of the present invention.

【図2】図1の高周波用電力増幅器のケースを取り外し
た状態の上面の様子を示す外観斜視図である。
FIG. 2 is an external perspective view showing a state of the upper surface of the high frequency power amplifier of FIG. 1 with a case removed.

【図3】本発明の第2の高周波用電力増幅器の実施の形
態の例を示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of an embodiment of a second high frequency power amplifier of the present invention.

【図4】図3の高周波用電力増幅器のケースを取り外し
た状態の上面の様子を示す外観斜視図である。
4 is an external perspective view showing a state of the upper surface of the high frequency power amplifier of FIG. 3 with a case removed.

【図5】本発明の高周波用電力増幅器の実施の形態の一
例における出力整合回路の回路構成を示す等価回路図で
ある。
FIG. 5 is an equivalent circuit diagram showing a circuit configuration of an output matching circuit in an example of the embodiment of the high-frequency power amplifier of the present invention.

【図6】従来の高周波電力増幅器の例を示す平面図であ
る。
FIG. 6 is a plan view showing an example of a conventional high frequency power amplifier.

【図7】図6のA−A’線断面図である。7 is a cross-sectional view taken along the line A-A ′ of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

21、41・・・・・高周波用電力増幅器 22、42・・・・・多層基板 22a、42a・・・絶縁層の最上層 23、43・・・・・グランド電極層 24・・・・・・・ストリップ線路 44・・・・・・・第1のストリップ線路 46・・・・・・・第2のストリップ線路 25・・・・・・・接続導体 45・・・・・・・第1の接続導体 48・・・・・・・第2接続導体 50・・・・・・・第3の接続導体 26・・・・・・・マイクロストリップ線路 27、47・・・・・電力増幅用トランジスタ 28、49・・・・・チップ部品 29、51・・・・・パッド電極 21, 41 ・ ・ ・ ・ ・ High frequency power amplifier 22, 42 ... Multilayer substrate 22a, 42a ... the uppermost layer of the insulating layer 23, 43 ... Ground electrode layer 24 ・ ・ ・ ・ Strip line 44 ........ First strip line 46 ... Second strip line 25 ... Connection conductor 45 ........ First connection conductor 48 ... Second connecting conductor 50 --- The third connecting conductor 26 ... Microstrip line 27, 47 ・ ・ ・ ・ ・ Power amplification transistor 28,49 ・ ・ ・ ・ ・ Chip parts 29, 51 ・ ・ ・ ・ ・ Pad electrodes

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 ガラスを主成分とする複数の絶縁層から
成り、上面にキャビティを、内部に前記キャビティから
下面まで貫通する放熱用ビア導体を、前記絶縁層の最上
層の下面にグランド電極層をそれぞれ有する多層基板
と、該多層基板内の前記キャビティおよび前記放熱用ビ
ア導体の周囲であって前記グランド電極層の下方に形成
されたストリップ線路と、前記多層基板面の前記キ
ャビティの周囲に形成され前記ストリップ線路から前記
多層基板の上面にかけて導出する接続導体に電気的に接
続されたマイクロストリップ線路と、前記キャビティの
前記放熱用ビア導体上に実装され前記マイクロストリッ
プ線路に電気的に接続された電力増幅用トランジスタお
よび前記多層基板の上面に実装されたチップ部品と、前
記多層基板面の前記キャビティの周囲に前記マイク
ロストリップ線路に付加して形成され前記絶縁層の最上
層を介して前記グランド電極層と対向したパッド電極と
を具備することを特徴とする高周波用電力増幅器。
1. A plurality of insulating layers containing glass as a main component , wherein a cavity is provided on an upper surface and the cavity is provided inside.
The heat radiation via conductors penetrating to the lower surface, the a multilayer substrate having an insulating layer lower surface of the top layer to the ground electrode layer of each of said cavities and bi for the heat radiation of the multilayer substrate
A strip line formed below the ground electrode layer a surrounding A conductor, said upper surface of said multilayer substrate key
A microstrip line formed around the cavity and electrically connected to a connection conductor extending from the strip line to the upper surface of the multilayer substrate ;
A chip component mounted on the upper surface of the mounted on the heat radiation via conductor said microstrip line electrically connected to the power amplifying transistor and the multilayer substrate, the periphery of the cavity of the upper surface of the multilayer substrate A high-frequency power amplifier, comprising: a pad electrode that is formed in addition to the microstrip line and faces the ground electrode layer with the uppermost layer of the insulating layer interposed therebetween.
【請求項2】 ガラスを主成分とする複数の絶縁層から
成り、上面にキャビティを、内部に前記キャビティから
下面まで貫通する放熱用ビア導体を、前記絶縁層の最上
層の下面にグランド電極層をそれぞれ有する多層基板
と、該多層基板内の前記キャビティおよび前記放熱用ビ
ア導体の周囲であって前記グランド電極層の下方に形成
され、互いに電気的に接続された第1および第2のスト
リップ線路と、前記キャビティの前記放熱用ビア導体
に実装され前記第1のストリップ線路から前記多層基板
の上面にかけて導出する第1の接続導体に電気的に接続
された電力増幅用トランジスタと、前記多層基板
に実装され前記第2のストリップ線路から前記多層基板
の上面にかけて導出する第2の接続導体に電気的に接続
されたチップ部品と、前記多層基板面の前記キャビ
ティの周囲に形成され前記第2のストリップ線路から前
記多層基板の上面にかけて導出する第3の接続導体に電
気的に接続されかつ前記絶縁層の最上層を介して前記グ
ランド電極層と対向したパッド電極とを具備することを
特徴とする高周波用電力増幅器。
2. A plurality of insulating layers containing glass as a main component , wherein a cavity is provided on the upper surface and the cavity is provided inside.
The heat radiation via conductors penetrating to the lower surface, the a multilayer substrate having an insulating layer lower surface of the top layer to the ground electrode layer of each of said cavities and bi for the heat radiation of the multilayer substrate
A first and second strip lines that are formed around the conductor and below the ground electrode layer and are electrically connected to each other; and the first and second strip lines that are mounted on the heat dissipation via conductor in the cavity . a power amplifying transistor which is electrically connected to the first connecting conductor deriving from the stripline toward the upper surface of the multilayer substrate, is mounted on the upper surface <br/> of the multilayer substrate from said second stripline a second connecting conductor electrically connected to the chip component to derive toward the upper surface of the multilayer substrate, the cavity of the upper surface of the multilayer substrate
Pad formed around the tee and electrically connected to a third connection conductor extending from the second strip line to the upper surface of the multilayer substrate and facing the ground electrode layer via the uppermost layer of the insulating layer. A high-frequency power amplifier comprising an electrode.
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