JPH11169849A - ガラス研削機用供給液のリサイクルシステム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 供給液中のスラッジを略完全に除去すること
ができ、しかも、ガラス研削機の稼働率を飛躍的に向上
させることができるガラス研削機用供給液のリサイクル
システムを提供する。 【解決手段】 ガラスＧを研削するための研削機１にク
ーラントＣを供給する供給部２と、使用済のクーラント
Ｃをダーティタンク３２に排出する排出部３と、使用済
クーラントＣを濾過して供給部２に戻す濾過器４，５と
を具備している。具体的には、濾過器４，５のタンク４
０でクーラントＣ内のスラッジＳを沈殿濾過すると共
に、中空糸膜４１でクーラントＣに混入しているスラッ
ジＳを吸着濾過して供給部２に戻す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、クーラントや研
削液などの供給液を濾過してガラス研削機に再供給する
ガラス研削機用供給液のリサイクルシステムに関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ガラスの平坦化加工技術では、
ガラス面を研磨する前に、ガラス面全体の研削を行う。
すなわち、ダイアモンド等の硬質粒を埋め込み又は突設
したガラス研削機の上，下定盤でガラスの両面を挟み、
所定押圧下でこれらの上，下定盤を互いに逆回転するこ
とで、ガラスの両面を同時に研削する。この際、ガラス
や定盤を冷却するために及び研削を効率化するためにク
ーラントや研削液などの供給液が定盤上に供給される。
そして、この供給液を再利用するために、ガラス研削機
からの排液を再度ガラス研削機に供給するリサイクルシ
ステムが採用されている。しかし、ガラス研削機による
研削作業では、ガラスを略半分の厚さまで削ることか
ら、大量のガラス研削くず（以下「スラッジ」という）
が発生し、供給液に混入してガラス研削機外に排出され
ることとなる。したがって、従来のリサイクルシステム
では、供給液に混入したスラッジを除去した後、ガラス
研削機に再供給する技術が採用されている。

【０００３】従来、この種の技術としては、例えば次の
ようなものがある。第１の技術は、ガラス研削機からの
排液を遠心分離器に通し、遠心力で供給液内のスラッジ
を除去する方法である。また、第２の技術は、珪藻土を
積層したフィルタに排液を通して、スラッジを濾過する
方法である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
の技術では、次のような問題があった。遠心分離器を用
いた第１の技術では、遠心力を用いるため、重い即ち粒
径の大きなスラッジしか取り除くことができない。これ
に対して、供給液内に混入しているスラッジの粒径は、
略０．１μｍ〜１０μｍに渡り、細かくて遠心力では除
去することができないものが多量に含まれている。した
がって、この技術では、スラッジの除去が不十分であっ
た。一方、フィルタを用いた第２の技術では、珪藻土の
目を細かくすることで、細かいスラッジをも除去するこ
とができる。しかしながら、珪藻土の目が細かい分スラ
ッジによる目詰まりが早く、５〜６時間程度で目詰まり
を起こしてしまう。このため、５〜６時間毎ガラス研削
機を止めて、フィルタの交換を行わなければならず、ガ
ラス研削機の稼働率の低下を招いていた。かといって、
珪藻土の目を荒くすると、供給液が粒径の大きなスラッ
ジを含んだ状態で、ガラス研削機に再供給され、研削中
のガラスにスクラッチが生じてしまう。

【０００５】この発明は上述した課題を解決するために
なされたもので、供給液中のスラッジを略完全に除去す
ることができ、しかも、ガラス研削機の稼働率を飛躍的
に向上させることができるガラス研削機用供給液のリサ
イクルシステムを提供することを目的とするものであ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１の発明は、ガラスを研削するための研削機
に供給液を案内する供給経路と、使用済の供給液を研削
機から排出する排出経路と、この排出経路から排出され
る供給液に混入しているスラッジを濾過して供給経路に
導入する濾過手段とを具備するガラス研削機用供給液の
リサイクルシステムにおいて、濾過手段は、排出経路か
らの供給液を溜める収容槽と、略０．５μｍ以下の中空
孔を有する中空糸で形成された中空糸膜と、収容槽内の
供給液を中空糸膜を介して吸い出し、供給経路に導入す
るポンプとを具備する構成とした。かかる構成により、
研削機で使用された供給液が排出経路から収容槽内に溜
められると、大径の重いスラッジが収容槽の底に沈殿す
る。そして、供給液がポンプで吸い出される際に、０．
５μｍ以上の小，中径のスラッジが中空糸膜で吸着濾過
される。この結果、スラッジをほとんど含んでいない供
給液が再度供給経路に導入され、研削機で再利用され
る。

【０００７】また、請求項２の発明は、請求項１に記載
のガラス研削機用供給液のリサイクルシステムにおい
て、中空糸膜の供給液吸入側を下側に向けた状態で、中
空糸膜を収容槽内に配設し、中空糸膜の下側で気泡を発
生させる気泡発生手段を設けた構成としてある。かかる
構成により、気泡発生手段により発生させられた気泡が
供給液内を上昇し、中空糸膜の供給液吸入側に付着した
スラッジに衝突し、このスラッジが中空糸膜から離され
る。

【０００８】さらに、請求項３の発明は、請求項１又は
請求項２に記載のガラス研削機用供給液のリサイクルシ
ステムにおいて、濾過手段を複数設け、初段の濾過手段
の収容槽に溜められた排出経路からの供給液を次段以降
の濾過手段の収容槽に順次供給する槽間経路を設けた構
成としてある。かかる構成により、排出経路から初段の
濾過手段の収容槽に溜められた供給液中の大径のスラッ
ジが沈殿し、小，中径のスラッジが中空糸膜で濾過され
て、供給経路に導入される。これと並行して、初段の収
容槽内の供給液が槽間経路により次段の濾過手段の収容
槽内に供給される。これにより、未沈殿の大径のスラッ
ジがこの収容槽の底に沈殿し、また、小，中径のスラッ
ジがこの濾過手段の中空糸膜によって濾過されて供給経
路に導入される。同様に、後段の各濾過手段において、
スラッジの沈殿及び濾過処理が行われ、スラッジをほと
んど含んでいない供給液が各濾過手段から供給経路に導
入される。

【０００９】また、請求項４の発明は、請求項１又は請
求項２に記載のガラス研削機用供給液のリサイクルシス
テムにおいて、濾過手段を複数設け、一の濾過手段の収
容槽に溜められた排出経路からの供給液を他の濾過手段
の収容槽に供給する第１の槽間経路と、他の濾過手段の
ポンプで吸い出された供給液を一の濾過手段の収容槽に
戻す第２の槽間経路とを設けた構成としてある。かかる
構成により、一の濾過手段から第２の槽間経路を介して
他の濾過手段に供給された供給液が他の濾過手段で濾過
された後、再び一の濾過手段に戻されるので、一の濾過
手段の収容槽内のクーラントのスラッジ濃度が小さくな
り、一の濾過手段の中空糸膜の負担が軽減される。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。 （第１の実施形態）図１は、この発明の第１の実施形態
に係るガラス研削機用供給液のリサイクルシステムを示
す概略図である。図１に示すように、このガラス研削機
用供給液のリサイクルシステムは研削機１と、供給部２
（供給経路）と排出部３（排出経路）と一対の濾過器
４，５（濾過手段）とを具備している。

【００１１】研削機１は、ガラスＧを研削する機器であ
り、図１に概略的に示すように、表面にダイヤモンド粒
Ｄを突設した上定盤１０と下定盤１１とでガラスＧを挟
み、所定押圧力をガラスＧに加えながら、定盤１０，１
１を互いに逆方向に回転させて、ガラスＧの両面を研削
するようになっている。

【００１２】供給部２は、ガラスＧや定盤１０，１１を
冷却するためのクーラントＣ（供給液）を上記研削機１
に案内するための部分であり、クリーンタンク２０と送
液ポンプ２１とを有している。クリーンタンク２０は、
濾過器４，５から導入されたクーラントＣを一時貯える
容器であり、送液ポンプ２１は、クリーンタンク２０内
のクーラントＣを吸い上げて、研削機１に供給するため
のものである。すなわち、送液ポンプ２１で吸い上げら
れたクーラントＣは、パイプ２２を介してパイプ２２に
連通したチューブ２３に至り、上定盤１０に穿設され且
つチューブ２３の先端が連結された孔１０ａから流出す
るようになっている。

【００１３】排出部３は、研削機１で使用されたクーラ
ントＣを排出部分であり、排液受け３０とパイプ３１と
ダーティタンク３２とで構成されている。排液受け３０
は、下定盤１１から排出されたクーラントＣを受けるた
めのものであり、その底に穿設された孔３０ａを介して
パイプ３１に連結されている。これにより、排液受け３
０に排出されたクーラントＣが孔３０ａからパイプ３１
内に流れ込み、ダーティタンク３２に貯えられる。な
お、この排出部３には、ダーティタンク３２内のクーラ
ントＣを吸い上げて濾過器４に供給する返送ポンプ３３
を有している。

【００１４】濾過器４，５は、排出部３のダーティタン
ク３２に排出されたクーラントＣに混入しているスラッ
ジＳを濾過して供給部２のクリーンタンク２０に導入す
る器機である。

【００１５】濾過器４は、タンク４０（収容槽）と中空
糸膜４１とポンプ４２と気泡発生器６（気泡発生手段）
とを有している。

【００１６】タンク４０は、ダーティタンク３２からの
クーラントＣを溜めるためのものであり、その底部４０
ａはテーパ状に形成されている。この底部４０ａの最深
部位には排出口４０ｂが穿設されており、排出口４０ｂ
にはパイプ４３が連結され、このパイプ４３にはバルブ
４３ａが取り付けられている。

【００１７】中空糸膜４１は、クーラントＣを濾過する
ための周知の膜体であり、図２に示すように、短径が略
０．１μｍで長径が略０．３μｍの楕円形の中空孔４１
ａを有した中空糸４１′で形成されている。なお、図１
は、理解を容易にするため、中空糸膜４１の構造を模式
的に示している。この中空糸膜４１は、クーラントＣの
吸入側即ち、中空孔４１ａの開口を下に向けた状態で筒
状の保持体４４内に装着されている。この保持体４４の
内周面と中空糸膜４１の外周面とは液密に当接してお
り、保持体４４の上部開口は閉塞されている。

【００１８】ポンプ４２は、タンク４０内のクーラント
Ｃを中空糸膜４１を介して吸い出し、供給部２のクリー
ンタンク２０内に導入するためのものである。具体的に
は、複数のパイプ４５の下端部が保持体４４の内部と連
通した状態で保持体４４の上面に取り付けられ、その上
端部がバルブ４５ａを介して導入パイプ４６に連結され
ている。そして、導入パイプ４６がクリーンタンク２０
に向かって折り曲げられ、その先端開口がクリーンタン
ク２０の上方に位置されている。ポンプ４２は、このよ
うな導入パイプ４６の中途に介設されており、パイプ４
５側を負圧にして、タンク４０内のクーラントＣを吸い
上げ、クリーンタンク２０に排出する。なお、符号４６
ａは真空計であり、符号４６ｂはバルブであり、符号４
６ｃは濾過流量計である。

【００１９】気泡発生器６は、中空糸膜４１の下側で気
泡Ｂを発生させる機器であり、ドラム６０とパイプ６１
とブロア６２とで構成されている。ドラム６０は、図３
に示すように、内部が中空になっており、その上端部は
複数の小孔６０ａが穿設されている。パイプ６１は、図
１に示すように、ブロア６２から延出し、途中で分岐し
て分岐部６１ａ，６１ｂの先端が、図３に示すように、
ドラム６０の内部と連通している。

【００２０】一方、濾過器５も気泡発生器６と同構造で
あり、タンク４０と中空糸膜４１とポンプ４２と気泡発
生器６とを有している。すなわち、タンク４０内のクー
ラントＣをポンプ４２により中空糸膜４１を介して吸い
出し導入パイプ４６によりクリーンタンク２０に排出す
るようになっている。この濾過器５のタンク４０には、
初段の濾過手段である濾過器４のタンク４０内のクーラ
ントＣが溜められるようになっており、このため、濾過
器４と濾過器５との間に供給機７（槽間経路）が介設さ
れ、供給機７を用いて、濾過器４のタンク４０内のクー
ラントＣを濾過器５のタンク４０に順次供給するように
なっている。具体的には、クーラントＣを濾過器５のタ
ンク４０に導くパイプ７０が濾過器４のタンク４０に取
り付けられ、バルブ７１ａ，７１ｂを介してブロア６２
に取り付けられたパイプ７１の先端がパイプ７０の下部
に連結されている。これにより、ブロア６２からの空気
をパイプ７１を介してパイプ７０内に送り込み、パイプ
７０内のクーラントＣを空気泡により押し上げて、濾過
器５のタンク４０に送り込む。

【００２１】次に、この実施形態のリサイクルシステム
が示す動作について説明する。図１において、供給部２
の送液ポンプ２１が駆動されると、クリーンタンク２０
内のクーラントＣが吸い上げられ、パイプ２２とチュー
ブ２３とを介して研削機１の上定盤１０の孔１０ａから
ガラスＧに流出される。これにより、互いに逆回転する
上定盤１０及び下定盤１１で研削されているガラスＧや
上定盤１０及び下定盤１１がクーラントＣによって冷却
される。そして、ガラスＧ等の冷却に供与したクーラン
トＣは、下定盤１１の遠心力により排出部３の排液受け
３０に排出され、また、クーラントＣの一部は下定盤１
１の図示しない中心孔から排液受け３０内に排出され
る。このとき、研削機１で研削されているガラスＧのス
ラッジＳがクーラントＣに混入しており、このクーラン
トＣはこのスラッジＳを含んだ状態で、パイプ３１から
ダーティタンク３２に溜められる。

【００２２】ダーティタンク３２に溜められたクーラン
トＣは、返送ポンプ３３の駆動により吸い上げられ、濾
過器４のタンク４０内に移される。タンク４０内に溜め
られたクーラントＣには、小〜大径のスラッジＳが含ま
れいるが、径が略１μｍ以上の大径のスラッジＳの大部
分は、その自重よってタンク４０の底部４０ａに沈殿す
る。なお、１μｍより小さい中径のスラッジＳも時間経
過により沈殿するが、略０．１μｍ程度の小径のスラッ
ジＳはクーラントＣ内で浮遊し、相当の時間経過しない
と沈殿しない。また、クーラントＣをダーティタンク３
２から濾過器４のタンク４０内に移す動作と併行して、
このタンク４０内のクーラントＣが供給機７によって濾
過器５のタンク４０内に移される。クーラントＣが濾過
器５のタンク４０内に溜められると、濾過器４のタンク
４０内では沈殿しなかった大径のスラッジＳのほとんど
が濾過器５のタンク４０の底部４０ａに沈殿すると共
に、中径のスラッジＳの一部も時間経過と共に沈殿す
る。このように、クーラントＣが順次濾過器４，５のタ
ンク４０に溜められることで、クーラントＣ内の大径の
スラッジＳのほとんどと中径のスラッジＳの大半とが沈
殿除去される。なお、沈殿したスラッジＳが底部４０ａ
に多量に積もったときには、バルブ４３ａを開いて、こ
れらのスラッジＳをタンク４０外に排出することができ
る。

【００２３】以上のように、濾過器４，５のタンク４０
内に溜められたクーラントＣのスラッジＳが沈殿除去さ
れるにしても、濾過器４，５のタンク４０内のクーラン
トＣには、多量の小〜中径のスラッジＳと少量の大径の
スラッジＳとが混入している。このようなクーラントＣ
は、各ポンプ４２の駆動により、複数のパイプ４５に吸
い上げられる。このとき、タンク４０内のクーラントＣ
は中空糸膜４１の中空孔４１ａ内を通ってパイプ４５内
に至ることとなるが、図２に示したように、中空孔４１
ａの短径が略０．１μｍであるので、短径が略０．１μ
ｍ以上のスラッジＳは中空孔４１ａを通過することがで
きない。このため、図４に示すように、クーラントＣに
混入しているほとんどのスラッジＳが中空糸膜４１のク
ーラント吸入側の面４１ｂに吸着され、澄んだクーラン
トＣがパイプ４５に吸引されて、クリーンタンク

【００２４】このように、クーラントＣに混入している
スラッジＳは中空糸膜４１の面４１ｂにほぼ完全に吸着
濾過されるが、面４１ｂに吸着されるスラッジＳは大部
分小，中径のものであり、大径のスラッジＳは少ないの
で、中空糸膜４１が目詰まりを起こす迄には長時間を要
する。そして、気泡発生器６を常時又は所定時点に動作
させることで、中空糸膜４１が目詰まりを起こす迄の時
間をさらに延長させることができる。すなわち、ブロア
６２を駆動させ、パイプ６１を介してドラム６０に空気
を送り込むことで、図３に示すように、ドラム６０内の
空気が気泡ＢとなってクーラントＣ内を上昇し、図４に
示すように、気泡Ｂは中空糸膜４１の面４１ｂに付着し
ているスラッジＳに衝突すると共に、気泡Ｂの衝突後の
動きによってスラッジＳを面４１ｂから取り除くように
作用する。

【００２５】このように、この実施形態のリサイクルシ
ステムによれば、供給部２のクリーンタンク２０から供
給され研削機１で使用されたクーラントＣを濾過器４，
５のタンク４０に溜めてクーラントＣ内のスラッジＳを
沈殿濾過すると共に、未沈殿のスラッジＳを中空糸膜４
１で吸着濾過するので、クーラントＣ内のスラッジＳを
略完全に除去することができ、この結果、澄んだクーラ
ントＣを研削機１に再供給することができる。しかも、
中空糸膜４１に付着したスラッジＳを気泡発生器６で取
り除くようにしたので、中空糸膜４１の使用時間を３３
６時間〜５０４時間という長さ迄飛躍的に長くすること
ができ、この結果、研削機１の稼働率の飛躍的な向上を
図ることができる。また、スラッジＳの沈殿濾過と吸着
濾過とを２つの濾過器４，５で分担するので、スラッジ
Ｓ除去の略完全化を図ることができるだけでなく、各中
空糸膜４１の負担が軽減され、その分、中空糸膜４１の
使用時間の延長化を図ることができる。

【００２６】（第２の実施形態）図５は、この発明の第
２の実施形態に係るガラス研削機用供給液のリサイクル
システムを示す概略図である。この実施形態のリサイク
ルシステムは、図５に示すように、濾過器４のタンク４
０内のクーラントＣを供給機７（第１の槽間経路）で濾
過器５のタンク４０に供給する点は上記第１の実施形態
と同様であるが、濾過器５のタンク４０に供給されたク
ーラントＣをポンプ４２を用いて導入パイプ４６（第２
の槽間経路）から濾過器４のタンク４０に戻す構成とな
っている点が上記第１の実施形態と異なる。すなわち、
濾過器５の複数のパイプ４５に連結した導入パイプ４６
が濾過器４のタンク４０側に折り曲げられ、その先端開
口がこのタンク４０の上方に位置されている。これによ
り、濾過器５のタンク４０に溜められたクーラントＣが
その中空糸膜４１で濾過され、導入パイプ４６を介して
濾過器４のタンク４０に戻されるので、濾過器４のタン
ク４０内のクーラントＣのスラッジＳ濃度が低くなり、
この結果、濾過器４の中空糸膜４１の負担が軽減され
る。その他の構成，作用効果は上記第１の実施形態と同
様であるので、その記載は省略する。

【００２７】なお、この発明は、上記実施形態に限定さ
れるものではなく、発明の要旨の範囲内において種々の
変形や変更が可能である。例えば、上記実施形態では、
供給液としてクーラントＣを用いたが、研削液に対して
も、同様の効果を得ることができることは勿論である。
また、上記実施形態では、供給機７をブロア６２からパ
イプ７１を介して送られてきた空気でパイプ７０内のク
ーラントＣを押し上げて、濾過器５のタンク４０に送り
込む構成としたが、パイプ７０にポンプを取り付けて濾
過器４のタンク４０内のクーラントＣを吸い上げるよう
にすることもできる。また、上記第１の実施形態では、
２つの濾過器４，５を設けたが、濾過器４のみでスラッ
ジＳの沈殿濾過と吸着濾過とを行う構成としてもよい、
また逆に、濾過器５の後段にさらに、複数の濾過器を配
設し、各濾過器のタンク間に供給機７を設けて、クーラ
ントＣを順次次段のタンクに供給するようにしてもよ
い。また、第２の実施形態では、濾過器５に気泡発生器
６を設けていないが、気泡発生器６を設けることを除外
するものではない。また、第２の実施形態では、１つの
濾過器５のタンク４０から濾過器４のタンク４０にクー
ラントＣを戻す構成としたが、複数の濾過器５を設け
て、濾過器４のタンク４０から複数の濾過器５のタンク
４０にクーラントＣを供給した後、複数の濾過器５のタ
ンク４０内のクーラントＣを中空糸膜４１を介して再度
濾過器４のタンク４０に戻すようにしてもよい。

【００２８】

【発明の効果】以上詳しく説明したように、請求項１の
発明によれば、大径のスラッジを収容槽内で沈殿させ、
小，中径のスラッジを中空糸膜で吸着濾過するので、ス
ラッジが略完全に除去された供給液を研削機に再供給す
ることができるという優れた効果がある。また、小，中
径のスラッジのみが中空糸膜に付着し、大径のスラッジ
が沈殿して中空糸膜に付着しないので、大径のスラッジ
をも付着させる従来のフィルタに比べて目詰まりを起こ
す迄の時間が長く、この結果、中空糸膜の交換頻度を減
少させることができ、研削機の稼働率の向上を図ること
ができる。また、請求項２の発明によれば、中空糸膜に
付着したスラッジに気泡が衝突して、このスラッジが中
空糸膜から離れるので、中空糸膜の目詰まりがほとんど
生ぜず、この結果、中空糸膜の使用時間をさらに長くす
ることができ、研削機の稼働率を飛躍的に向上させるこ
とができるという効果がある。さらに、請求項３及び請
求項４の発明によれば、供給液中に含まれる大径のスラ
ッジを複数の濾過手段における沈殿処理によってほぼ完
全に除去すると共に、小，中径のスラッジの吸着濾過を
複数の濾過手段の中空糸膜で分担するので、スラッジの
除去を略完全に行うことができると共に、中空糸膜の使
用時間を飛躍的に長くすることができるという効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施形態に係るガラス研削機
用供給液のリサイクルシステムを示す概略図である。

【図２】中空糸の断面図である。

【図３】気泡発生器のドラムの構造を示す断面図であ
る。

【図４】スラッジの中空糸膜への吸着状態及び気泡の作
用を示す概略図である。

【図５】この発明の第２の実施形態に係るガラス研削機
用供給液のリサイクルシステムを示す概略図である。

【符号の説明】

１…研削機、 ２…供給部、 ３…排出部、 ４，５…
濾過器、 ６…気泡発生器、 ７…供給機、 ４０…タ
ンク、 ４１…中空糸膜、 ４１ａ…中空孔、４２…ポ
ンプ、 Ｃ…クーラント、 Ｂ…気泡、 Ｓ…スラッ
ジ。

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１０年２月１３日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】発明の名称

【補正方法】変更

【補正内容】

【発明の名称】 ガラス研削機用供給液のリサイクル
システム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｂ２４Ｂ 55/12 Ｂ２４Ｂ 55/12

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガラスを研削するための研削機に供給液
   を案内する供給経路と、使用済の供給液を上記研削機か
   ら排出する排出経路と、この排出経路から排出される供
   給液に混入しているスラッジを濾過して上記供給経路に
   導入する濾過手段とを具備するガラス研削機用供給液の
   リサイクルシステムにおいて、 上記濾過手段は、 上記排出経路からの供給液を溜める収容槽と、 略０．５μｍ以下の中空孔を有する中空糸で形成された
   中空糸膜と、 上記収容槽内の供給液を上記中空糸膜を介して吸い出
   し、上記供給経路に導入するポンプとを具備することを
   特徴とするガラス研削機用供給液のリサイクルシステ
   ム。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のガラス研削機用供給液
   のリサイクルシステムにおいて、 上記中空糸膜の供給液吸入側を下側に向けた状態で、上
   記中空糸膜を上記収容槽内に配設し、 上記中空糸膜の下側で気泡を発生させる気泡発生手段を
   設けた、 ことを特徴とするガラス研削機用供給液のリサイクルシ
   ステム。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載のガラス研
   削機用供給液のリサイクルシステムにおいて、 上記濾過手段を複数設け、 初段の濾過手段の収容槽に溜められた上記排出経路から
   の供給液を次段以降の濾過手段の収容槽に順次供給する
   槽間経路を設けた、 ことを特徴とするガラス研削機用供給液のリサイクルシ
   ステム。
4. 【請求項４】 請求項１又は請求項２に記載のガラス研
   削機用供給液のリサイクルシステムにおいて、 上記濾過手段を複数設け、 一の濾過手段の収容槽に溜められた上記排出経路からの
   供給液を他の濾過手段の収容槽に供給する第１の槽間経
   路と、他の濾過手段のポンプで吸い出された供給液を上
   記一の濾過手段の収容槽に戻す第２の槽間経路とを設け
   た、ことを特徴とするガラス研削機用供給液のリサイク
   ルシステム。