JPH11166311A - 有軌道台車用の床材、床ユニット及び床 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 有軌道台車が走行する軌道を床に簡単に敷設
する。 【解決手段】 クリールームの床を構成するグレーチン
グ１には、１本の案内溝１ｃと２本の取付溝１ｄとが形
成されている。グレーチング１を繋ぎ合わせることによ
り床には搬送車が走行する軌道を描くように案内溝１ｃ
によりガイドレール１７が形成され、取付溝１ｄにより
走行用レール１８を組付けるための組付凹部が形成され
る。各グレーチング１は取付溝１ｄに組付けられた走行
用レール１８により接続されて繋ぎ合わせのずれが小さ
く抑えられる。また、グレーチング１には、ガイドレー
ル１７及び走行用レール１８に沿うように複数の長孔１
ｅ，１ｆが透設されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、有軌道台車が走行
する床を形成するための例えばクリーンルームの床を構
成するグレーチングなどの有軌道台車用の床材、床ユニ
ット及び床に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、クリーンルームでは、底床（コ
ンクリート面等）から所定高さに複数枚の床材（グレー
チング）を敷き詰めることで床が形成されている。グレ
ーチングでできた床は、クリーンルーム内の空気の清浄
化に寄与する。一方、一般の工場では、物品の搬送に自
動搬送車が使用される場合がある。自動搬送車には、例
えばレール上を走行する有軌道台車がある。例えばクリ
ーンルームにおける物品の搬送に有軌道台車を利用すれ
ば、半導体製造工程において搬送作業の無人化および作
業効率化を図ることができる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】有軌道台車を走行させ
るには、有軌道台車が走行するレールを床面に敷設する
工事が必要となる。しかしながら、クリーンルームにお
いて床面にレールを敷設しようとすると、床は上述のよ
うにグレーチングが敷き詰められて形成されているた
め、グレーチングに切断等の加工や溶接等を伴なう工事
が必要となる。また、有軌道台車が走行する床面の補強
工事が必要な場合は、底床から補強用支柱を建てるな
ど、レールを敷設する工事が大がかりとなるという問題
があった。

【０００４】また、床面からレールが突出することにな
ると、作業者がつまずき易いなど作業性が悪くなるとい
う問題を招来する。このため、グレーチングにレールを
埋込む工事にすると、大がかりな面倒な工事となる。

【０００５】本発明は前記課題を解決するためになされ
たものであって、その第１目的は、有軌道台車を走行さ
せるために必要な手段を床に設けるための工事を簡単に
済ませられる有軌道台車用の床材、床ユニット及び床を
提供することにある。また、第２の目的は、有軌道台車
が軌道を走行する際の発塵を円滑に除去することを可能
とすることにある。第３の目的は、床材の繋ぎ合わせの
精度を良くし、軌道の接続ずれを小さく抑えることにあ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成す
るため請求項１に記載の発明では、複数を繋ぎ合わせて
有軌道台車が走行する床を形成するための床材であっ
て、前記有軌道台車を軌道に沿って走行させるために床
に設ける必要のある付属手段が、該軌道の経路の一部を
描くように、あるいは該軌道の経路に沿う位置に形成さ
れている。

【０００７】請求項２に記載の発明では、請求項１に記
載の発明において、前記付属手段は、前記有軌道台車が
走行する軌道の経路の一部を描く軌道部である。請求項
３に記載の発明では、請求項２に記載の発明において、
前記軌道部は、前記軌道を構成する軌道部材を組付ける
ための組付部を有する。

【０００８】請求項４に記載の発明では、請求項２又は
請求項３に記載の発明において、前記軌道部は、前記有
軌道台車の輪を転動させるためのレール部を有する。請
求項５に記載の発明では、請求項２に記載の発明におい
て、前記軌道部は、前記有軌道台車の案内輪を案内する
ためのガイドレールを組付けるための組付凹部、もしく
は該案内輪を案内するためのガイドレール部を有する。

【０００９】請求項６に記載の発明では、請求項５に記
載の発明において、前記軌道部は、前記有軌道台車の走
行輪を転動させるための走行用レールを組付けるための
組付凹部、もしくは該走行輪を転動させるための走行用
レール部を有する。

【００１０】第２の目的を達成するため請求項７に記載
の発明では、請求項２〜請求項６のいずれか一項に記載
の発明において、前記軌道部に沿うように貫通孔が形成
されている。

【００１１】請求項８に記載の発明では、請求項１〜請
求項７のいずれか一項に記載の発明において、前記有軌
道台車に給電するための給電線を取付けるための前記付
属手段を構成する取付凹部が、前記軌道に沿うように形
成されている。

【００１２】請求項９に記載の発明では、請求項１〜請
求項８のいずれか一項に記載の発明において、前記床材
はクリーンルーム用のグレーチングである。第３の目的
を達成するため請求項１０に記載の発明では、床ユニッ
トは、前記軌道を分割したそれぞれのパターンに前記軌
道部が形成された請求項１〜請求項９のいずれか一項に
記載の複数の前記床材と、該複数の床材をそれぞれ接続
する接続手段とからなる。

【００１３】請求項１１に記載の発明では、請求項１０
に記載の発明において、前記接続手段は、請求項３に記
載の前記組付部に組付けられる前記軌道部材、もしくは
請求項５又は請求項６に記載の前記組付凹部に組付けら
れる前記ガイドレールと前記走行用レールの少なくとも
一方である。

【００１４】請求項１２に記載の発明では、床は、前記
複数の床材が、請求項１０又は請求項１１に記載の前記
接続手段により接続されて形成されている。請求項１３
に記載の発明では、床は、請求項１〜請求項９のいずれ
か一項に記載の複数の床材が繋ぎ合わされて形成されて
いる。

【００１５】（作用）従って、請求項１に記載の発明に
よれば、床材を繋ぎ合わせれば、床材に形成された付属
手段により、有軌道台車を軌道に沿って走行させるため
に床に設ける必要のある手段が、軌道を描くように、あ
るいは軌道に沿って配置された床が形成される。この手
段には、例えば有軌道台車を軌道に沿って誘導するため
に必要な手段（軌道、軌道部材を組付けるための組付部
など）、有軌道台車に電力を供給するために必要な手段
（給電線を敷設するための組付部、給電装置を組付ける
ための組付部など）などがある。

【００１６】請求項２に記載の発明によれば、床材には
軌道の経路の一部を描く軌道部が形成されているので、
床材を繋ぎ合わせれば、有軌道台車が走行する軌道が形
成された床が形成される。

【００１７】請求項３に記載の発明によれば、床材を繋
ぎ合わせて床を形成し、その床面上に形成された組付部
に軌道部材を組付けるだけで有軌道台車が走行する軌道
が簡単に形成される。

【００１８】請求項４に記載の発明によれば、床材には
レール部が形成されているので、床材を繋ぎ合わせるだ
けで、有軌道台車の輪が転動するレール（軌道）が形成
される。

【００１９】請求項５に記載の発明によれば、床材を繋
ぎ合わせるだけで、有軌道台車の案内輪を案内するため
のガイドレールを組付けるための組付凹部、もしくは案
内輪を案内するためのガイドレールが形成される。前者
の場合は、組付凹部にガイドレールの部品を組付けるこ
とにより、案内輪を案内するためのガイドレールが床面
上に簡単に形成される。

【００２０】請求項６に記載の発明によれば、床材を繋
ぎ合わせるだけで、有軌道台車の走行輪を転動させるた
めの走行用レールを組付けるための組付凹部、もしくは
走行輪を転動させるための走行用レールが形成される。
前者の場合は、組付凹部に走行用レールの部品を組付け
ることにより、走行輪を案内するための走行用レールが
床面上に簡単に形成される。

【００２１】請求項７に記載の発明によれば、軌道部に
沿うように貫通孔が形成されているので、有軌道台車の
輪がレール上を転動するときの発塵が貫通孔を通じて床
材の裏面側へ除去される。

【００２２】請求項８に記載の発明によれば、床材を繋
ぎ合わせるだけで、給電線を取付けるための取付凹部が
軌道に沿って形成される。給電線を敷設するための工事
が給電線を取付凹部に取付けるだけで簡単に済む。

【００２３】請求項９に記載の発明によれば、床を形成
するためにグレーチングを繋ぎ合わせるだけで、グレー
チングでできた床において、請求項１〜請求項８のいず
れか一項に記載の発明と同様の作用が得られる。

【００２４】請求項１０に記載の発明によれば、各軌道
部が軌道を分割したそれぞれのパターンに形成された複
数の床材を、それぞれ接続手段により接続することによ
り床が形成される。このとき、各床材は接続手段により
位置精度よく繋ぎ合わせられるので、軌道の接続ガタが
小さく抑えられる。

【００２５】請求項１１に記載の発明によれば、床材を
繋ぎ合わせた後に床面上にできた組付部に軌道部材を組
付ける、あるいは組付凹部にガイドレールと走行用レー
ルの少なくとも一方を組付けることにより、各床材は軌
道の接続ガタを小さく抑えて位置精度よく繋ぎ合わせら
れる。

【００２６】請求項１２に記載の発明によれば、床は、
複数の床材が接続手段により接続されることにより形成
されているので、床面上にできた軌道の接続ガタが小さ
く抑えられる。

【００２７】請求項１３に記載の発明によれば、請求項
１〜請求項９のいずれか一項に記載の複数の床材が繋ぎ
合わされて形成される床は、請求項１〜請求項９のいず
れか一項に記載の発明と同様の作用が得られる。

【００２８】

【発明の実施の形態】（第１実施形態）以下、本発明を
具体化した第１実施形態を図１〜図５に従って説明す
る。

【００２９】図５は、クリーンルームの平面図であり、
複数枚のグレーチング１，２が敷き詰められて床３が形
成されている。床３には有軌道台車としての搬送車４が
走行する軌道５が形成されている。半導体製造に使用す
る各種設備６は軌道５に沿うように設置されている。グ
レーチング１，２は、本実施形態では例えば６０ｃｍ四
方の正四角形を有する。なお、グレーチング１により床
材が構成される。

【００３０】搬送車４は軌道５上を例えば一方向に走行
し、各設備６を移動して半導体ウェハが収納されたカセ
ット７（図４に図示）を次工程に搬送する。搬送車４は
バッテリ８（図４に示す）に蓄電された電力により走行
用モータ（図示せず）を駆動して走行する。搬送車４が
各設備６の前で停止する各停止位置には、充電装置９が
設けられている。搬送車４は各設備６に対して作業をす
るときの停止時間を利用し、停止の度に本体４ａの底部
に設けられた充電器（図示せず）と充電装置９とにより
非接触でバッテリ８の充電を行なう。

【００３１】図４に示すように、搬送車４は本体４ａの
上方から水平に延出するアーム１０を備え、アーム１０
を駆動させることにより、本体４ａの進行方向（同図の
紙面直交方向）両側に備える一対の載置台１１と設備６
との間でカセット７の受渡し作業をする。本実施形態で
は、搬送車４は輪としての４つの走行輪１２を備え、走
行輪１２の一つまたは二つが走行用モータによって駆動
される。また、搬送車４は本体４ａの底部中央前後に２
組の操舵機構１３を備え、各操舵機構１３には輪として
の３個の案内輪１４が縦列に配置されている。

【００３２】図３，図４に示すように、コンクリート床
面１５には多数本の支柱１６がグレーチング１，２の一
辺の長さにほぼ等しいの間隔毎に立設されている。各支
柱１６はその上端部に４本のピン１６ａを有している。
グレーチング１，２はその４隅に形成されたピン穴１ａ
（図１参照）にピン１６ａを嵌挿させることで位置決め
され、コンクリート床面１５から所定高さのところに敷
き詰められている。多数枚のグレーチング１，２が縦横
に敷き詰められることでクリーンルームの床３が形成さ
れている。床３には裏面側へ抜ける吸気流が排気ダクト
（図示せず）により発生する。

【００３３】図３，図４に示すように、グレーチング１
には軌道５が通り、グレーチング２には軌道５が通って
いない。本実施形態では、軌道５は、案内輪１４を案内
するガイドレール１７と、左右の走行輪１２が転動する
２本の走行用レール１８とからなる。２本の走行用レー
ル１８は、ガイドレール１７を中央に挟むようにその両
側に配置されている。本実施形態では、複数枚のグレー
チング１と走行用レール１８とからなる部品群によって
床ユニットが構成されている。なお、ガイドレール１７
は付属手段、軌道部、レール部及びガイドレール部を構
成し、走行用レール１８は軌道部材及び接続手段を構成
する。

【００３４】図３に示すように、グレーチング１には、
床３を形成するために繋ぎ合わせたときにガイドレール
１７と２本の走行用レール１８とにより軌道５を所望経
路に形成できるように予め決められた軌道パターンを有
する複数種（本実施形態では例えば７種類）が用意され
ている。本実施形態では、図３に示すように、軌道５の
真っ直ぐの部分を作るためにグレーチング１の辺と平行
に延びる軌道パターンと、軌道５のカーブ部分を作るた
めに曲線をなす軌道パターンとに分かれる。カーブ部分
のためのグレーチング１には、ガイドレール１７と２本
の走行用レール１８を軌道パターンとして有するのもの
と、ガイドレール１７と１本の走行用レール１８を軌道
パターンとして有するものと、１本の走行用レール１８
だけを軌道パターンとして有するものとの３タイプがあ
る。

【００３５】図３に示すようなＵターン軌道は、同図か
ら分かるように、軌道パターンの異なる７種のグレーチ
ング１によって形成される。７種のグレーチング１を使
えば、９０°カーブを右カーブと左カーブの両方作るこ
とが可能である。このようにできるだけグレーチング１
の種類を少なくできるようにパターンが決められてい
る。もちろん、必要な経路を作る軌道設計のために、他
のパターンを有するグレーチング１を採用しても構わな
い。

【００３６】図１，図２は、軌道５が真っ直ぐの部分に
使う軌道パターンを有するグレーチング１を示す。グレ
ーチング１は、本実施形態ではアルミ製であり、その裏
面に縦横に延びたリブ１ｂにより強度補強がなされてい
る。前記ピン穴１ａはグレーチング１の裏面四隅に形成
されている。このグレーチング１には、その表面中央に
真っ直ぐ延びた１本の案内溝１ｃと、案内溝１ｃの両側
にこれと平行に延びる２本の取付溝１ｄとが一体形成さ
れている。案内溝１ｃにより付属手段及び軌道部が構成
され、取付溝１ｄにより付属手段、軌道部、組付部及び
組付凹部が構成される。

【００３７】前記ガイドレール１７は、案内溝１ｃの内
側にできた両側壁によって形成されている。つまり、グ
レーチング１はガイドレール一体型構造である。案内溝
１ｃの側壁、すなわちガイドレール１７に案内輪１４が
案内されることで、操舵機構１３が軌道５に沿うように
操舵される。また、２本の取付溝１ｄには、２本の走行
用レール１８がそれぞれ嵌込みにより組付けられてい
る。

【００３８】案内溝１ｃの底部にはその長手方向に沿っ
て２列をなすように貫通孔としての長孔１ｅが所定間隔
ごとに列設されている。また、取付溝１ｄに沿う両側に
は、その長手方向に沿って２列をなすように貫通孔とし
ての長孔１ｆが所定間隔ごとに列設されている。これら
の長孔１ｅ，１ｆは、案内輪１４とガイドレール１７と
の擦れ、走行輪１２と走行用レール１８との擦れによる
発塵を、グレーチング１の下方へ排気ダクトへの吸引力
を利用して除去するためのものである。本実施形態で
は、グレーチング１は長孔１ｅ，１ｆ以外に孔を有さな
いが、クリーンルームに要求されるクリーン度に応じて
適宜孔を形成することができる。なお、説明は省略する
が、他の軌道パターンを有するグレーチング１において
も、案内溝１ｃや取付溝１ｄが描く軌道パターンが異な
るだけで、基本構造は同じである。

【００３９】グレーチング１に形成された案内溝１ｃお
よび取付溝１ｄが描く軌道パターンには、図３に示す複
数種（本実施形態では例えば７種類）がある。グレーチ
ング１の境界を跨がるように走行用レール１８が取付溝
１ｄに組付けられるようになっており、走行用レール１
８によりグレーチング１を接続することにより、グレー
チング１の繋ぎ合わせのずれがでないようにしている。

【００４０】床面工事は次のように行われる。コンクリ
ート床面１５から立設された支柱１６の上部に突出する
ピン１６ａをピン穴１ａに差込ませるようにしてグレー
チング１，２を敷き詰めていく。軌道５が通る箇所に
は、グレーチング１をそれぞれに形成された案内溝１ｃ
と取付溝１ｄの軌道パターンを考慮して軌道５が形成さ
れるようにセットする。

【００４１】グレーチング１，２がセットできたら、次
に取付溝１ｄに走行用レール１８を嵌合により組付け
る。走行用レール１８はグレーチング１の境界を跨ぐよ
うに長さ設定されているため、走行用レール１８を取付
溝１ｄに嵌合させた状態においては、走行用レール１８
によって各グレーチング１の繋ぎ合わせのずれが補正さ
れて、案内溝１ｃは１本に精度良く繋がる。また、走行
用レール１８はグレーチング１の表面からほとんど突出
しないほぼ面一の状態に組付けられる。

【００４２】搬送車４が走行時に、案内輪１４と案内溝
１ｃ（ガイドレール１７）との当接による発塵、および
走行輪１２と走行用レール１８との接触による発塵は、
それぞれ長孔１ｅ，１ｆを通じてグレーチング１の裏面
側に除去される。

【００４３】以上詳述したように本実施形態によれば、
以下に示す効果を得る。 （ａ）案内溝１ｃと取付溝１ｄとを一体的に形成したグ
レーチング１としたので、搬送車４を走行させるための
ガイドレール１７や走行用レール１８を床３に敷設する
工事を非常に簡単にすることができる。

【００４４】（ｂ）複数のグレーチング１は取付溝１ｄ
に組付けた走行用レール１８により接続されるので、グ
レーチング１の繋ぎ合わせの精度をよくすることができ
る。このため、走行用レール１８の接続ガタを小さく抑
え、しかも案内溝１ｃを１本に精度良く接続することが
できる。この結果、例えば搬送車４が各グレーチング１
の境界を通過するときのがたつきや、案内輪１４のガイ
ドレール１７との接触による摩耗を小さく抑えることが
できる。

【００４５】（ｃ）案内溝１ｃおよび取付溝１ｄの長手
方向に沿って長孔１ｅ，１ｆを形成したので、搬送車４
が走行時に案内輪１４や走行輪１２のレール１７，１８
との接触による発塵を床３の裏面側へ円滑に逃がすこと
ができる。このため、このような発塵があっても空気の
清浄化を図ることができる。

【００４６】（第２実施形態）以下、本発明を具体化し
た第２実施形態を図６，図７に従って説明する。本実施
形態では、軌道部が形成されたグレーチングの構造が前
記第１実施形態と異なる。他の構成については第１実施
形態と同様であるので、同じ構成は同じ符号を付してそ
の説明を省略する。

【００４７】図６，図７に示すグレーチング１０１は、
軌道５が真っ直ぐ延びた部分のパターンを有するもので
ある。第２実施形態におけるグレーチング１０１は、第
１実施形態におけるグレーチング１と同じように軌道が
配置される床材である。

【００４８】グレーチング１０１は、本実施形態ではア
ルミ製であり、その裏面に縦横に延びたリブ１ｂが形成
されている。グレーチング１０１の裏面四隅にピン穴１
ａが形成されている。このグレーチング１０１には、そ
の表面中央に真っ直ぐ延びた１本の取付溝１ｇが一体形
成されている。取付溝１ｇにより付属手段、軌道部、組
付部及び組付凹部が構成される。

【００４９】取付溝１ｇの内部両側壁にガイドレール２
０がボルト２１を用いて組付けられている。搬送車４は
ガイドレール２０に案内輪１４を案内させて軌道５に沿
うように操舵される。本実施形態では、複数枚のグレー
チング１０１とガイドレール２０とからなる部品群によ
って床ユニットが構成されている。なお、ガイドレール
２０は軌道部材及び接続手段を構成する。

【００５０】取付溝１ｇの底部両側にはその長手方向に
沿って２列をなすように長孔１ｅが所定間隔ごとに複数
列設されている。また、走行輪１２が転動する軌跡に沿
って両側に２列をなすように長孔１ｆが所定間隔ごとに
複数列設されている。つまり、２列の長孔１ｆに挟まれ
て延びる領域により走行輪１２が転動する走行用レール
部２２が形成される。走行用レール部２２は付属手段、
軌道部及びレール部を構成する。これらの長孔１ｅ，１
ｆは、案内輪１４とガイドレール２０との擦れ、走行輪
１２とグレーチング１０１の表面との擦れによる発塵
を、グレーチング１０１の下方へ排気ダクトへの吸気流
を利用して除去するためのものである。なお、他の軌道
パターンを有するグレーチング１０１においても、取付
溝１ｇや長孔１ｅ，１ｆが描くパターンが異なるだけ
で、基本構造は同じである。

【００５１】本実施形態では、グレーチング１０１に
は、取付溝１ｇの軌道パターンが異なる複数種（本実施
形態では例えば７種類）が用意されている。グレーチン
グ１０１を繋ぎ合わせることにより所望する経路を作る
ことができるようになっている。グレーチング１０１の
境界を跨ぐようにガイドレール２０が取付溝１ｇに組付
けられ、ガイドレール２０により各グレーチング１０１
が接続されることにより、グレーチング１０１の繋ぎ合
わせの接続ずれがでないようになっている。従って、第
１実施形態と同様の効果を得ることができる。

【００５２】（第３実施形態）以下、本発明を具体化し
た第３実施形態を図８，図９に従って説明する。本実施
形態では、軌道部が形成されたグレーチングの構造が前
記各実施形態と異なる。同一の構成については同じ符号
を付してその説明を省略する。

【００５３】図８，９に示す床材としてのグレーチング
１０２は、軌道５が真っ直ぐ延びた部分のパターンを有
するものである。グレーチング１０２には、その表面中
央に真っ直ぐ延びた１本の案内溝１ｃと、案内溝１ｃの
両側にこれと平行に延びる２本の肉厚部１ｈとが一体形
成されている。この案内溝１ｃにより付属手段及び軌道
部が構成される。

【００５４】案内溝１ｃの内側にできた両側壁によって
ガイドレール１７が形成されている。また、肉厚部１ｈ
によって走行輪１２が転動する走行用レール部２３が形
成されている。つまり、グレーチング１０２はガイドレ
ール１７および走行用レール部２３を有する一体型構造
を有する。なお、走行用レール部２３は付属手段、軌道
部及びレール部を構成する。

【００５５】案内溝１ｃの底部両側にはその長手方向に
沿って２列をなすように長孔１ｅが所定間隔ごとに複数
列設されている。また、走行用レール部２３に沿って両
側に２列をなすように長孔１ｆが所定間隔ごとに複数列
設されている。長孔１ｅ，１ｆは、案内輪１４とガイド
レール１７との擦れ、走行輪１２とグレーチング１の表
面（走行用レール部２３）との擦れによる発塵を、グレ
ーチング１０２の下方へ排気ダクトへの吸気流を利用し
て除去するためのものである。なお、他の軌道パターン
を有するグレーチング１０２においても、案内溝１ｃや
長孔１ｅ，１ｆが描くパターンが異なるだけで、基本構
造は同じである。

【００５６】本実施形態では、グレーチング１０２をピ
ン１６ａをピン穴１ａに差込んで繋ぎ合わせることによ
り隣接するもの同士の位置決めがなされ、グレーチング
１０２を繋ぎ合わせるだけで、ガイドレール１７および
走行用レール部２３からなる軌道５が形成される。グレ
ーチング１０２を軌道５と直交する方向に繋ぎ合わせの
ずれがでないように位置決めできれば、グレーチング１
０２の境界を跨ぐように軌道５を形成するためのレール
部品を組付ける手間が省ける。

【００５７】（第４実施形態）以下、本発明を具体化し
た第４実施形態を図１０，図１１に従って説明する。本
実施形態では、軌道部が形成されたグレーチングの構造
が前記各実施形態と異なる。同一の構成については同じ
符号を付してその説明を省略する。

【００５８】図１０，１１に示す床材としてのグレーチ
ング１０３は、軌道５が真っ直ぐ延びた部分のパターン
を有するものである。グレーチング１０３には、その表
面中央に真っ直ぐ延びた１本の案内溝１ｃと、案内溝１
ｃの両側にこれと平行に延びる２本の取付溝１ｄとが一
体形成されている。この案内溝１ｃおよび取付溝１ｄに
より付属手段及び軌道部が構成される。

【００５９】案内溝１ｃの内側にできた両側壁によって
ガイドレール１７が形成されている。また、２本の取付
溝１ｄには、２本の走行用レール１８がそれぞれ嵌込み
により組付けられている。グレーチング１０３の境界を
跨ぐように走行用レール１８が取付溝１ｄに嵌込まれて
組付けられるようにしており、走行用レール１８により
グレーチング１０３を繋ぎ合わせることにより、グレー
チング１０３を繋ぎ合わせるときの接続ずれがでないよ
うにしている。本実施形態では、複数枚のグレーチング
１０３と走行用レール１８とからなる部品群によって床
ユニットが構成されている。

【００６０】案内溝１ｃの底部両側にはその長手方向に
沿って２列をなすように長孔１ｅが所定間隔ごとに複数
列設されている。また、取付溝１ｄに沿う両側には、そ
の長手方向に沿って２列をなすように長孔１ｆが所定間
隔ごとに複数列設されている。長孔１ｅ，１ｆは、案内
輪１４とガイドレール１７との擦れ、走行輪１２と走行
用レール１８との擦れによる発塵を、グレーチング１０
３の下方へ排気ダクトへの吸引力を利用して除去するた
めのものである。なお、他の軌道パターンを有するグレ
ーチング１０３においても、案内溝１ｃと取付溝１ｄの
パターンが異なるだけで、基本構造は同じである。

【００６１】案内溝１ｃおよび取付溝１ｄの間にはこれ
らと平行に延びる取付凹部としての取付溝１ｉが形成さ
れている。取付溝１ｉには給電線２４が支持部材２５に
支持された状態で延設されている。給電線２４は先端で
ループ状となる２本が平行に延びており、その端部は電
源（図示せず）に接続されている。給電線２４に高周波
電流が流れ、搬送車４の本体底部に取付けられたＥ型コ
ア２６の中央脚部に巻回されたコイル２７に電磁誘導作
用により電流が誘起される。搬送車４はコイル２７に誘
起された誘導電流を電力として非接触で受電する。グレ
ーチング１０３には給電線２４を配線するための取付溝
１ｉが形成されているので、非接触で電力を受電する搬
送車４が走行する床３に対する給電線２４の配線作業が
簡単に済ませられる。

【００６２】なお、上記実施形態に限定されるものでは
なく、例えば次のような形態で実施することができる。 ○ グレーチング１，１０１，１０２，１０３を繋ぎ合
わせた床３に形成される軌道５の経路は、図５に示すも
のに限定されない。例えば図１２に示す軌道５のように
ポイント切換部３０においてポイント切換え可能な経路
を描くものであってもよい。グレーチング１，１０１，
１０２，１０３における軌道部のパターンは、図１２に
示す軌道５をグレーチング毎に分割したものとする。そ
の他、必要な軌道経路を適宜設定できる。

【００６３】○ 貫通孔はその形状、位置、数量等を限
定されない。例えば、長孔ではなく丸孔や楕円などの形
状でもよく、位置も軌道の両側でなく、片側のみであっ
ても良いし、両側に各一列ではなく、２列以上設けても
よい。また、位置も、軌道の全沿線に渡ってではなく、
特定の一部にのみ設けてもよい。

【００６４】○ グレーチングの材質は、アルミに限定
はされず、強度が得られれば他の材質を用いてもよい。
例えば、鋼材やチタンなどの他の金属であっても良い
し、ＡＢＳ等の樹脂であってもよい。或いは、陶器（セ
ラミック）であってもよい。

【００６５】○ 床に軌道を設けない誘導方式に本願発
明を適用してもよい。例えば、無線あるいは光式等が挙
げられる。この場合、グレーチングに給電設備のみを設
ける際、軌道を設けたときと同様、その設置が極めて容
易になる。

【００６６】○ 前記各実施形態では、軌道としてガイ
ドレールを設けているが、これには限定されず、床に敷
設する他の誘導方法に適用してもよい。例えば、床に磁
気テープ、あるいは光電装置を設ける場合が挙げられ
る。この場合も、必要な経路に敷設されたグレーチング
を所望の経路が形成されるように設置するだけで、容易
に誘導路が作れる。

【００６７】○ 走行輪や案内輪は前記実施形態の個数
に限定されず、他の個数であってももちろんよい。走行
輪は１輪以上、案内輪も１〜２輪、あるいは４輪以上で
あってもよい。

【００６８】○ 駆動輪は、走行輪のうちの１輪あるい
は２輪に限定されず、３輪以上の走行輪を駆動輪として
もよい。また、走行輪の一部を駆動輪にする場合は勿
論、走行輪の全てを駆動輪としてもよい。

【００６９】○ 駆動を走行輪以外で行なってもよい。
例えば、ガイドレールに案内される案内輪を駆動輪と兼
ねてもよいし、駆動輪ではなく車両を牽引して駆動して
もよい。この場合、ガイドレール内に牽引機構を設ける
構造が考えられる。その場合、走行輪を省略し、案内輪
のみとしてもよい。要は、グレーチングの設置により、
走行経路に関連する装置の設置が容易に行なえれば、走
行車両の走行構造がどのようなものにでも適用可能であ
る。

【００７０】○ 床材の形状は四角に限定されない。繋
ぎ合わせにより所定形状の床を埋め尽くせられるのであ
ればよい。例えば菱形・三角・台形・六角形などの多角
形であってもよい。また、全てが同形状であることに限
定されず、複数種の形状が混在していても構わない。

【００７１】○ 床材は、クリーンルーム用のグレーチ
ングに限定されない。クリーンルーム以外の工場など
で、有軌道台車を走行させるための床を形成するために
使用される床材に適用することもできる。

【００７２】○ 有軌道台車はガイドレールに案内され
る案内輪だけを有するものであってもよい。例えば１本
または２本のガイドレールに案内される構成でもよい。
また、案内輪は水平面内を回転するものに限定されず、
走行輪のように鉛直面内を回転するものであってもよ
い。

【００７３】○ 床材としてのグレーチングに充電装置
を組付けるための組付凹部を形成してもよい。 ○ 軌道部材（ガイドレールまたは走行用レール）を組
付けるための組付部は、凹部に限定されない。例えばレ
ールが床材の上面に突出して敷設すための組付部であっ
ても構わない。

【００７４】○ 接続手段は、レールに限定されない。
各床材の境界部に位置決めを目的として嵌め込む位置決
め専用の部材であってもよい。 ○ グレーチング１，１０１，１０２，１０３から貫通
孔１ｅ，１ｆを無くしてもよい。

【００７５】明細書中で使用した用語を次のように定義
する。「有軌道台車：予め決められた軌道を描くように
走行する台車をいう。予め決められた軌道を描くのであ
れば、その誘導方法はどのような方法でもよく、レール
式、磁気誘導方式、光誘導方式、無線誘導方式をはじ
め、予めプログラムされた経路を外れないように走行制
御される台車を含む概念である。」 前記各実施形態から把握され、特許請求の範囲に記載さ
れていない技術的思想（発明）を、その効果とともに以
下に記載する。

【００７６】（イ）請求項１〜請求項１３のいずれか一
項において、前記付属手段は、床材の繋ぎ合わせの組合
せを変えることで、複数通りの軌道経路を形成可能なパ
ターンを有している。

【００７７】（ロ）請求項３において、前記軌道部材
は、前記有軌道台車の案内輪を案内するためのガイドレ
ールと、前記有軌道台車の走行輪が転動する走行用レー
ルのうち少なくとも一方である。

【００７８】（ハ）請求項４において、前記レール部
は、前記有軌道台車の案内輪を案内するためのガイドレ
ール部と、前記有軌道台車の走行輪が転動する走行用レ
ール部のうち少なくとも一方である。

【００７９】（ニ）請求項１〜請求項１３のいずれか一
項において、前記軌道は周回経路を有している。（ホ）
請求項１〜請求項１３のいずれか一項において、前記軌
道はポイント切換を有している。

【００８０】

【発明の効果】以上詳述したように請求項１及び請求項
１３に記載の発明によれば、有軌道台車を軌道に沿って
走行させるために床に設ける必要のある付属手段を、床
材に対し、軌道の経路の一部を描くように、あるいは軌
道に沿う位置に形成したので、床材を繋ぎ合わせて形成
した床に、有軌道台車を走行させるために必要な手段を
設けるための工事にかかる手間を減らすことができる。

【００８１】請求項２及び請求項１３に記載の発明によ
れば、床材に軌道の経路の一部を描く軌道部を形成した
ので、床材を繋ぎ合わせて形成した床に、有軌道台車が
走行する軌道を形成する工事の手間を減らすことができ
る。

【００８２】請求項３及び請求項１３に記載の発明によ
れば、床材に軌道部材を組付けるための組付部を形成し
たので、床材を繋ぎ合わせて形成した床に、有軌道台車
が走行する軌道を簡単に形成することができる。

【００８３】請求項４及び請求項１３に記載の発明によ
れば、床材にレール部を形成したので、床材を繋ぎ合わ
せるだけで、床上に有軌道台車の輪が転動するレール
（軌道）を形成できる。

【００８４】請求項５及び請求項１３に記載の発明によ
れば、床材に有軌道台車の案内輪を案内するためのガイ
ドレールを組付けるための組付凹部、もしくは案内輪を
案内するためのガイドレール部を形成したので、有軌道
台車の案内輪を案内するためのガイドレールを形成する
工事の手間を減らすことができる。

【００８５】請求項６及び請求項１３に記載の発明によ
れば、床材に有軌道台車の走行輪を転動させるための走
行用レールを組付けるための組付凹部、もしくは走行輪
を転動させるための走行用レールを形成したので、有軌
道台車の走行輪を案内するための走行用レールを形成す
る工事の手間を減らすことができる。

【００８６】請求項７及び請求項１３に記載の発明によ
れば、軌道部に沿うように貫通孔を形成したので、有軌
道台車の輪がレール上を転動するときの発塵を床材の裏
面側へ除去できる。

【００８７】請求項８及び請求項１３に記載の発明によ
れば、床材に給電線を取付けるための取付凹部を軌道に
沿って形成したので、給電線を敷設するための工事の手
間を減らすことができる。

【００８８】請求項９及び請求項１３に記載の発明によ
れば、床材がクリーンルーム用のグレーチングであるの
で、クリーンルームの床に有軌道台車の軌道を敷設する
工事の手間を減らすことができるなど、請求項１〜請求
項８のいずれか一項に記載の発明と同様の効果が得られ
る。

【００８９】請求項１０及び請求項１２に記載の発明に
よれば、軌道を分割した各パターンを軌道部に有する複
数の床材と、各床材を接続する接続手段とをユニット部
品とし、各床材を接続手段により位置精度よく繋ぎ合わ
せられるようにしたので、軌道の接続ガタを小さく抑え
ることができる。

【００９０】請求項１１及び請求項１２に記載の発明に
よれば、各床材は組付凹部などの組付部に組付けたガイ
ドレールと走行用レールの少なくとも一方で構成される
軌道部材により接続され、各床材の繋ぎ合わせの精度が
よくなるので、軌道の接続ガタを小さく抑えることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態におけるグレーチングの平面図。

【図２】同じく側断面図。

【図３】床の部分平面図。

【図４】搬送車が装備されたクリーンルームの側断面
図。

【図５】クリーンルーム内の搬送システムを示す平面
図。

【図６】第２実施形態におけるグレーチングの平面図。

【図７】同じく側断面図。

【図８】第３実施形態におけるグレーチングの平面図。

【図９】同じく側断面図。

【図１０】第４実施形態におけるグレーチングの平面
図。

【図１１】同じく部分側断面図。

【図１２】別例の搬送システムを示す平面図。

【符号の説明】

１，１０１，１０２，１０３…床材としてのグレーチン
グ、１ｃ…付属手段及び軌道部としての案内溝、１ｄ…
付属手段、軌道部、組付部及び組付凹部としての取付
溝、１ｅ，１ｆ…貫通孔としての長孔、１ｇ…付属手
段、軌道部、組付部及び組付凹部としての取付溝、１ｉ
…付属手段及び取付凹部としての取付溝、３…床、４…
有軌道台車としての搬送車、５…軌道、１２…輪として
の走行輪、１４…輪としての案内輪、１７…付属手段、
軌道部、レール部及びガイドレール部としてのガイドレ
ール、１８…軌道部材及び接続手段としての走行用レー
ル、２０…軌道部材及び接続手段としてのガイドレー
ル、２２…付属手段、軌道部及びレール部としての走行
用レール部、２３…付属手段、軌道部及びレール部とし
ての走行用レール部、２４…給電線。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 黒柳 陸男 愛知県刈谷市豊田町２丁目１番地 株式会 社豊田自動織機製作所内

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数を繋ぎ合わせて有軌道台車が走行す
   る床を形成するための床材であって、 前記有軌道台車を軌道に沿って走行させるために床に設
   ける必要のある付属手段が、該軌道の経路の一部を描く
   ように、あるいは該軌道の経路に沿う位置に形成されて
   いる有軌道台車用の床材。
2. 【請求項２】 前記付属手段は、前記有軌道台車が走行
   する軌道の経路の一部を描く軌道部である請求項１に記
   載の有軌道台車用の床材。
3. 【請求項３】 前記軌道部は、前記軌道を構成する軌道
   部材を組付けるための組付部を有する請求項２に記載の
   有軌道台車用の床材。
4. 【請求項４】 前記軌道部は、前記有軌道台車の輪を転
   動させるためのレール部を有する請求項２又は請求項３
   に記載の有軌道台車用の床材。
5. 【請求項５】 前記軌道部は、前記有軌道台車の案内輪
   を案内するためのガイドレールを組付けるための組付凹
   部、もしくは該案内輪を案内するためのガイドレール部
   を有する請求項２に記載の有軌道台車用の床材。
6. 【請求項６】 前記軌道部は、前記有軌道台車の走行輪
   を転動させるための走行用レールを組付けるための組付
   凹部、もしくは該走行輪を転動させるための走行用レー
   ル部を有する請求項５に記載の有軌道台車用の床材。
7. 【請求項７】 前記軌道部に沿うように貫通孔が形成さ
   れている請求項２〜請求項６のいずれか一項に記載の有
   軌道台車用の床材。
8. 【請求項８】 前記有軌道台車に給電するための給電線
   を取付けるための前記付属手段を構成する取付凹部が、
   前記軌道に沿うように形成されている請求項１〜請求項
   ７のいずれか一項に記載の有軌道台車用の床材。
9. 【請求項９】 前記床材はクリーンルーム用のグレーチ
   ングである請求項１〜請求項８のいずれか一項に記載の
   有軌道台車用の床材。
10. 【請求項１０】 前記軌道を分割したそれぞれのパター
    ンに前記軌道部が形成された請求項２〜請求項９のいず
    れか一項に記載の複数の前記床材と、該複数の床材をそ
    れぞれ接続する接続手段とからなる床ユニット。
11. 【請求項１１】 前記接続手段は、請求項３に記載の前
    記組付部に組付けられる前記軌道部材、もしくは請求項
    ５又は請求項６に記載の前記組付凹部に組付けられる前
    記ガイドレールと前記走行用レールの少なくとも一方で
    ある請求項１０に記載の床ユニット。
12. 【請求項１２】 前記複数の床材が、請求項１０又は請
    求項１１に記載の前記接続手段により接続されて形成さ
    れている床。
13. 【請求項１３】 請求項１〜請求項９のいずれか一項に
    記載の前記複数の床材が繋ぎ合わされて形成された床。