JPH11163113A - 多品種基板チャック機構 - Google Patents
多品種基板チャック機構Info
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- JPH11163113A JPH11163113A JP34051897A JP34051897A JPH11163113A JP H11163113 A JPH11163113 A JP H11163113A JP 34051897 A JP34051897 A JP 34051897A JP 34051897 A JP34051897 A JP 34051897A JP H11163113 A JPH11163113 A JP H11163113A
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- arm
- substrate
- chuck mechanism
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- arms
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 チャック機構にアクチュエータや可動部を少
なくすることで重量負荷をなくし、振動を抑えて高精度
なＸＹステージの制御を可能とした多品種基板チャック
機構を提供する。 【解決手段】 ロボット本体のロボットアーム２に１対
の前アーム２ａと後アーム２ｂを伸縮自在に取り付け、
この前アーム２ａ及び後アーム２ｂに挟持ロッド３を垂
下させ、前アーム２ａ及び後アーム２ｂに対応して前プ
レート６ａ及び後プレート６ｂを分割させて移動可能に
配置し、前プレート６ａ及び後プレート６ｂに挟持ロッ
ド３が嵌まる移動用６ｄを備えて、前プレート６ａ及び
後プレート６ｂ間の基板受け部分６ｃによる開口サイズ
を調整した。
なくすることで重量負荷をなくし、振動を抑えて高精度
なＸＹステージの制御を可能とした多品種基板チャック
機構を提供する。 【解決手段】 ロボット本体のロボットアーム２に１対
の前アーム２ａと後アーム２ｂを伸縮自在に取り付け、
この前アーム２ａ及び後アーム２ｂに挟持ロッド３を垂
下させ、前アーム２ａ及び後アーム２ｂに対応して前プ
レート６ａ及び後プレート６ｂを分割させて移動可能に
配置し、前プレート６ａ及び後プレート６ｂに挟持ロッ
ド３が嵌まる移動用６ｄを備えて、前プレート６ａ及び
後プレート６ｂ間の基板受け部分６ｃによる開口サイズ
を調整した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、フォトマスクのパ
ターン検査装置に備えられる基板チャック機構であっ
て、多品種の基板をチャックできるものに関する。
ターン検査装置に備えられる基板チャック機構であっ
て、多品種の基板をチャックできるものに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造用の原版であるフォトマスク
には、シリコンウエハ上にパターンを転写する露光機の
形式に応じて、種種の外形サイズのものが作られる。こ
のため、多くの異なる大きさのフォトマスクにつき、パ
ターン検査やパターン修正を１台の装置で行おうとする
とき、全ての大きさに応じた仕様を持つパターン検査装
置やパターン修正装置が必要である。具体的には、これ
らの装置にあってＸＹステージ上に備えられる基板保持
機構（いわゆるチャック機構）としては、基板サイズに
応じて開口エリアが変更したり、あるいは基板の厚みに
応じて保持装置が変わる等の必要がある。
には、シリコンウエハ上にパターンを転写する露光機の
形式に応じて、種種の外形サイズのものが作られる。こ
のため、多くの異なる大きさのフォトマスクにつき、パ
ターン検査やパターン修正を１台の装置で行おうとする
とき、全ての大きさに応じた仕様を持つパターン検査装
置やパターン修正装置が必要である。具体的には、これ
らの装置にあってＸＹステージ上に備えられる基板保持
機構（いわゆるチャック機構）としては、基板サイズに
応じて開口エリアが変更したり、あるいは基板の厚みに
応じて保持装置が変わる等の必要がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来では、この開口エ
リアや保持装置の変更のために、相当数の可動機構の搭
載が要求されることになる。しかし、複雑な可動機構や
アクチェエータ類をチャック機構上に搭載することは、
重量負荷の増大をもたらし、基板を保持する剛性が低下
し、振動発生装置を有する等、ＸＹステージの高精度な
制御にとって好ましくない要因が増大する。
リアや保持装置の変更のために、相当数の可動機構の搭
載が要求されることになる。しかし、複雑な可動機構や
アクチェエータ類をチャック機構上に搭載することは、
重量負荷の増大をもたらし、基板を保持する剛性が低下
し、振動発生装置を有する等、ＸＹステージの高精度な
制御にとって好ましくない要因が増大する。
【０００４】本発明は、アクチェエータ等のチャック機
構への搭載を止めてＸＹステージの高精度制御を可能と
した多品種基板チャック機構の提供を目的とする。
構への搭載を止めてＸＹステージの高精度制御を可能と
した多品種基板チャック機構の提供を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成する本
発明は、次の特定事項を有する。 （１）基板の両側を挟むロボットアームにあって、一対
の片側アームそれぞれに互いに平行な２本の前アームと
後アームとを伸縮自在に備え、このそれぞれの片側アー
ムの上記前アーム及び後アームそれぞれに挟持ロッドを
備える一方、上記基板が搭載されるプレートを基板受け
部分を対向させて前プレートと後プレートとに分割し、
これら前プレート及び後プレートを直線ロッド上にて移
動可能とし、上記前プレート及び後プレートに上記前ア
ーム及び後アームの各挟持ロッドが嵌り込む移動用穴を
設けたことを特徴とする。
発明は、次の特定事項を有する。 （１）基板の両側を挟むロボットアームにあって、一対
の片側アームそれぞれに互いに平行な２本の前アームと
後アームとを伸縮自在に備え、このそれぞれの片側アー
ムの上記前アーム及び後アームそれぞれに挟持ロッドを
備える一方、上記基板が搭載されるプレートを基板受け
部分を対向させて前プレートと後プレートとに分割し、
これら前プレート及び後プレートを直線ロッド上にて移
動可能とし、上記前プレート及び後プレートに上記前ア
ーム及び後アームの各挟持ロッドが嵌り込む移動用穴を
設けたことを特徴とする。
【０００６】（２）上記（１）において、上記ロボット
アームは旋回及び上下移動を行い前後方向に伸縮し、左
右方向に開閉する機能を有することを特徴とする。
アームは旋回及び上下移動を行い前後方向に伸縮し、左
右方向に開閉する機能を有することを特徴とする。
【０００７】（３）上記（１）において、上記基板受け
部分は平面的に階段状に形成したことを特徴とする。
部分は平面的に階段状に形成したことを特徴とする。
【０００８】（４）上記（１）において、上記前プレー
ト及び後プレートには上記直線ロッドにこれらプレート
を固定する位置決めシリンダを備えたことを特徴とす
る。
ト及び後プレートには上記直線ロッドにこれらプレート
を固定する位置決めシリンダを備えたことを特徴とす
る。
【０００９】（５）上記（１）において、アームには搭
載された基板を前後方向に押し付ける機能を有すること
を特徴とする。
載された基板を前後方向に押し付ける機能を有すること
を特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】ここで、図１、図２を参照して本
発明の実施の形態の一例を説明する。図１、図２はフォ
トマスクの検査あるいは修正装置等の一部を示してお
り、基板であるフォトマスクをＸＹステージ上のチャッ
ク機構に搭載する部分を示している。基板であるフォト
マスクを搬送するローダ本体１は、図１に示すＸ、Ｙ方
向、高さ（Ｚ）方向、旋回の動作を行う円筒座標型のロ
ボットアーム２を有し、このアーム２は、Ｙ方向（前後
方向）に伸縮自在で間隔を有して両側一対備えられてお
り、更にこの片側アーム２はそれぞれ前アーム２ａと後
アーム２ｂによって構成されている。
発明の実施の形態の一例を説明する。図１、図２はフォ
トマスクの検査あるいは修正装置等の一部を示してお
り、基板であるフォトマスクをＸＹステージ上のチャッ
ク機構に搭載する部分を示している。基板であるフォト
マスクを搬送するローダ本体１は、図１に示すＸ、Ｙ方
向、高さ（Ｚ）方向、旋回の動作を行う円筒座標型のロ
ボットアーム２を有し、このアーム２は、Ｙ方向（前後
方向）に伸縮自在で間隔を有して両側一対備えられてお
り、更にこの片側アーム２はそれぞれ前アーム２ａと後
アーム２ｂによって構成されている。
【００１１】一対の片側アーム２の前アーム２ａそれぞ
れは、同時に前後に動き、またそれぞれの後アーム２ｂ
も同時に前後に動くが、前アーム２ａと後アーム２ｂと
は別々に関係なく動くようになっている。もっとも、前
アーム２ａどおし、及び後アーム２ｂどうしを別々に動
かすようにしてもよい。このため、前アーム２ａの先端
及び後アーム２ｂの先端に取り付けられている挟持ロッ
ド３は、前アーム２ａ及び後アーム２ｂの伸縮具合によ
って前後間の間隔が挟まったり拡がったりする。
れは、同時に前後に動き、またそれぞれの後アーム２ｂ
も同時に前後に動くが、前アーム２ａと後アーム２ｂと
は別々に関係なく動くようになっている。もっとも、前
アーム２ａどおし、及び後アーム２ｂどうしを別々に動
かすようにしてもよい。このため、前アーム２ａの先端
及び後アーム２ｂの先端に取り付けられている挟持ロッ
ド３は、前アーム２ａ及び後アーム２ｂの伸縮具合によ
って前後間の間隔が挟まったり拡がったりする。
【００１２】挟持ロッド３は、前アーム２ａ及び後アー
ム２ｂの先端にあって下方向に垂下している構造であ
り、その下端には図２に示す如く基板４を挟持するため
の挟持部３ａが備えられている。また、この挟持部３ａ
は後述するプレートの移動用穴５に嵌合する長さと大き
さを有する。
ム２ｂの先端にあって下方向に垂下している構造であ
り、その下端には図２に示す如く基板４を挟持するため
の挟持部３ａが備えられている。また、この挟持部３ａ
は後述するプレートの移動用穴５に嵌合する長さと大き
さを有する。
【００１３】基板４の搬送は、基板４の表裏や向きを別
機構によって調整された後、ローダ本体１の制御によっ
て１対のロボットアームのＸ方向（左右方向）とＹ方向
（前後方向）の調整にて挟持ロッド３の挟持部３ａに基
板４を図２の如く挟んで保持し、ＸＹステージ上のチャ
ック機構に吊り降ろすように搬送される。この場合、基
板４の搬送に際しその外形サイズに応じて前アーム２ａ
及び後アーム２ｂ間の間隔、すなわち開口サイズも当然
調整される。
機構によって調整された後、ローダ本体１の制御によっ
て１対のロボットアームのＸ方向（左右方向）とＹ方向
（前後方向）の調整にて挟持ロッド３の挟持部３ａに基
板４を図２の如く挟んで保持し、ＸＹステージ上のチャ
ック機構に吊り降ろすように搬送される。この場合、基
板４の搬送に際しその外形サイズに応じて前アーム２ａ
及び後アーム２ｂ間の間隔、すなわち開口サイズも当然
調整される。
【００１４】ローダ本体によって搬送される基板４を受
けるチャック機構５は、図１に示すようにフォトマスク
等種種の外形サイズを有する基板４を受け取り固定する
ものであり、基板受け部分６ｃを階段状に有するプレー
トは、その前プレート６ａと後プレート６ｂとが基板受
け部分６ｃを対向させて配置され、これら前プレート６
ａ及び後プレート６ｂはＹ（前後）方向に自在に移動で
きるよう直線ガイド７上に移動可能に配置される。
けるチャック機構５は、図１に示すようにフォトマスク
等種種の外形サイズを有する基板４を受け取り固定する
ものであり、基板受け部分６ｃを階段状に有するプレー
トは、その前プレート６ａと後プレート６ｂとが基板受
け部分６ｃを対向させて配置され、これら前プレート６
ａ及び後プレート６ｂはＹ（前後）方向に自在に移動で
きるよう直線ガイド７上に移動可能に配置される。
【００１５】ここで、前プレート６ａ及び後プレート６
ｂには移動用穴６ｄが形成され、この移動用穴６ｄは、
前プレート６ａには前アーム２ａの挟持ロッド３が嵌ま
り合うように、また後プレート６ｂには後アーム２ｂの
挟持ロッド３が嵌まり合うようにそれぞれ形成される。
したがって、前プレート６ａ及び後プレート６ｂ共１対
の前アーム２ａ及び後アーム２ｂによって前後方向に直
線ガイド７上を摺動でき、このため前アーム２ａと後ア
ーム２ｂの移動のより前プレート６ａ及び後プレート６
ｂ間の間隔ひいては基板受け部分６ｃどおし間の面積が
（開口サイズ）調整でき、また、基板抜け部分６ｃどお
し間のローダ本体１に対する位置が調整できる。
ｂには移動用穴６ｄが形成され、この移動用穴６ｄは、
前プレート６ａには前アーム２ａの挟持ロッド３が嵌ま
り合うように、また後プレート６ｂには後アーム２ｂの
挟持ロッド３が嵌まり合うようにそれぞれ形成される。
したがって、前プレート６ａ及び後プレート６ｂ共１対
の前アーム２ａ及び後アーム２ｂによって前後方向に直
線ガイド７上を摺動でき、このため前アーム２ａと後ア
ーム２ｂの移動のより前プレート６ａ及び後プレート６
ｂ間の間隔ひいては基板受け部分６ｃどおし間の面積が
（開口サイズ）調整でき、また、基板抜け部分６ｃどお
し間のローダ本体１に対する位置が調整できる。
【００１６】更に、前プレート６ａ及び後プレート６ｂ
それぞれには、直線ガイド７上での前プレート６ａ及び
後プレート６ｂの位置を固定するための位置決めシリン
ダ８が備えられている。したがって、前プレート６ａ及
び後プレート６ｂには、位置決めシリンダ８を除いてプ
レートのみからなり、プレートを含めたチャック機構５
に複雑な可動機構やアクチュエータ類は搭載されない。
本例ではローダ本体による開閉機構等を利用して行って
いる。
それぞれには、直線ガイド７上での前プレート６ａ及び
後プレート６ｂの位置を固定するための位置決めシリン
ダ８が備えられている。したがって、前プレート６ａ及
び後プレート６ｂには、位置決めシリンダ８を除いてプ
レートのみからなり、プレートを含めたチャック機構５
に複雑な可動機構やアクチュエータ類は搭載されない。
本例ではローダ本体による開閉機構等を利用して行って
いる。
【００１７】本例の動作を説明する。まずチャック機構
５でのプレート６ａ、６ｂのＹ方向位置決めを行うに際
し、基板４を保持しない状態でロボットアーム２ａ、２
ｂの先端をチャック機構５上に位置決めすることにな
る。この場合、ロボットアーム２ａ、２ｂの先端の挟持
ロッド３をプレート６ａ、６ｂの移動用穴６ｄに位置合
わせし、ロボットアーム２ａ、２ｂを下方に移動して、
挟持ロッド３を移動用穴６ｄに差し込み、この状態にて
ロボットアーム２ａ、２ｂをＹ方向に動かすことによ
り、基板４の外形サイズに合わせた位置にてプレート６
ａ、６ｂを位置決めする。ついで、位置決めシリンダ８
にて直線ガイド７を挟み込み、プレート６ａ、６ｂを固
定する。この後移動用穴６ｄのクリアランスに応じて微
少量ロボットアーム２をＹ方向に動かして交際を生じさ
せ、ロボットアーム２を上方に引き上げることにより、
プレート６ａ、６ｂの位置決めが完了する。
５でのプレート６ａ、６ｂのＹ方向位置決めを行うに際
し、基板４を保持しない状態でロボットアーム２ａ、２
ｂの先端をチャック機構５上に位置決めすることにな
る。この場合、ロボットアーム２ａ、２ｂの先端の挟持
ロッド３をプレート６ａ、６ｂの移動用穴６ｄに位置合
わせし、ロボットアーム２ａ、２ｂを下方に移動して、
挟持ロッド３を移動用穴６ｄに差し込み、この状態にて
ロボットアーム２ａ、２ｂをＹ方向に動かすことによ
り、基板４の外形サイズに合わせた位置にてプレート６
ａ、６ｂを位置決めする。ついで、位置決めシリンダ８
にて直線ガイド７を挟み込み、プレート６ａ、６ｂを固
定する。この後移動用穴６ｄのクリアランスに応じて微
少量ロボットアーム２をＹ方向に動かして交際を生じさ
せ、ロボットアーム２を上方に引き上げることにより、
プレート６ａ、６ｂの位置決めが完了する。
【００１８】次に、ロボットアーム２の先端での挟持ロ
ッド３の挟持部３ａに基板４を保持し、ローダ本体を旋
回し、上下移動を行い、プレート６ａ、６ｂ間の空間に
基板４を搬送することにより、チャック機構５への基板
４の搭載が完了する。
ッド３の挟持部３ａに基板４を保持し、ローダ本体を旋
回し、上下移動を行い、プレート６ａ、６ｂ間の空間に
基板４を搬送することにより、チャック機構５への基板
４の搭載が完了する。
【００１９】なお、プレート６ａ、６ｂを位置決めした
後基板４をプレート６ａ、６ｂ間に搭載するに当たり、
基板４の公差を補う必要があるが、ローダ本体によるロ
ボットアーム２ａ、２ｂの水平Ｙ方向の押し当てによ
り、この公差を補償することができる。
後基板４をプレート６ａ、６ｂ間に搭載するに当たり、
基板４の公差を補う必要があるが、ローダ本体によるロ
ボットアーム２ａ、２ｂの水平Ｙ方向の押し当てによ
り、この公差を補償することができる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、チ
ャック機構のサイズ変更を行うアクチェエータをローダ
本体及びロボットアームに持たせたことにより、チャッ
ク機構を軽量化することができてＸＹステージへの重負
荷を軽減でき、XＹステージの高精度制御を可能にでき
ると共に内部振動の影響も軽減できる。
ャック機構のサイズ変更を行うアクチェエータをローダ
本体及びロボットアームに持たせたことにより、チャッ
ク機構を軽量化することができてＸＹステージへの重負
荷を軽減でき、XＹステージの高精度制御を可能にでき
ると共に内部振動の影響も軽減できる。
【図１】本発明の実施の形態の一例の斜視図。
【図２】基板搬送状態の斜視図。
１ ローダ本体 ２ ロボットアーム ２ａ 前アーム ２ｂ 後アーム ３ 挟持ロッド ３ａ 挟持部 ４ 基板 ５ チャック機構 ６ａ 前プレート、６ｂ…後プレート、６ｃ…基板受け
部分 ６ｄ 移動用穴 ７…直線ガイド ８…位置決めシリンダ
部分 ６ｄ 移動用穴 ７…直線ガイド ８…位置決めシリンダ
Claims (5)
- 【請求項１】 基板の両側を挟むロボットアームにあっ
て、一対の片側アームそれぞれに互いに平行な２本の前
アームと後アームとを伸縮自在に備え、このそれぞれの
片側アームの上記前アーム及び後アームそれぞれに挟持
ロッドを備える一方、上記基板が搭載されるプレートを
基板受け部分を対向させて前プレートと後プレートとに
分割し、これら前プレート及び後プレートを直線ロッド
上にて移動可能とし、上記前プレート及び後プレートに
上記前アーム及び後アームの各挟持ロッドが嵌り込む移
動用穴を設けた多品種基板チャック機構。 - 【請求項２】 上記ロボットアームは旋回及び上下移動
を行い、前後方向に伸縮し、左右方向に開閉する機能を
有する請求項１記載の多品種基板チャック機構。 - 【請求項３】 上記基板受け部分は平面的に階段状に形
成した請求項１記載の多品種チャック機構。 - 【請求項４】 上記前プレート及び後プレートには上記
直線ロッドにこれらプレートを固定する位置決めシリン
ダを備えた請求項１記載の多品種基板チャック機構。 - 【請求項５】 上記ロボットアームには搭載された基板
を前後方向に押し付ける機能を有する請求項１記載の多
品種基板チャック機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34051897A JP3240982B2 (ja) | 1997-11-26 | 1997-11-26 | 多品種基板チャック機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34051897A JP3240982B2 (ja) | 1997-11-26 | 1997-11-26 | 多品種基板チャック機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11163113A true JPH11163113A (ja) | 1999-06-18 |
| JP3240982B2 JP3240982B2 (ja) | 2001-12-25 |
Family
ID=18337755
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34051897A Expired - Lifetime JP3240982B2 (ja) | 1997-11-26 | 1997-11-26 | 多品種基板チャック機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3240982B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008235800A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Tokyo Electron Ltd | ロードロック装置および基板の処理システム |
| JP2010192685A (ja) * | 2009-02-18 | 2010-09-02 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置及び基板処理システム |
| WO2021167584A1 (en) | 2020-02-17 | 2021-08-26 | Jabil Inc. | Apparatus, system and method for providing self extracting grips for an end effector |
| EP3755991A4 (en) * | 2018-02-20 | 2021-12-01 | Nanotronics Imaging, Inc. | SYSTEMS, DEVICES AND METHODS FOR COMBINED WAFER AND PHOTOMASK INSPECTION |
| JP7066244B1 (ja) * | 2020-11-26 | 2022-05-13 | スターテクノ株式会社 | 物品処理装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5072697B2 (ja) * | 2008-04-23 | 2012-11-14 | セマテックノース インコーポレテッド | 薄板の保持装置及び該装置を有するフォトマスクの保持システム並びに搬送方法 |
-
1997
- 1997-11-26 JP JP34051897A patent/JP3240982B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008235800A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Tokyo Electron Ltd | ロードロック装置および基板の処理システム |
| JP2010192685A (ja) * | 2009-02-18 | 2010-09-02 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置及び基板処理システム |
| EP3755991A4 (en) * | 2018-02-20 | 2021-12-01 | Nanotronics Imaging, Inc. | SYSTEMS, DEVICES AND METHODS FOR COMBINED WAFER AND PHOTOMASK INSPECTION |
| WO2021167584A1 (en) | 2020-02-17 | 2021-08-26 | Jabil Inc. | Apparatus, system and method for providing self extracting grips for an end effector |
| EP4107778A4 (en) * | 2020-02-17 | 2023-04-19 | Jabil Inc. | APPARATUS, SYSTEM AND METHOD FOR PROVIDING SELF-EXTRACTING END EFFECTOR PLIERS |
| JP7066244B1 (ja) * | 2020-11-26 | 2022-05-13 | スターテクノ株式会社 | 物品処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3240982B2 (ja) | 2001-12-25 |
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| JP2715182B2 (ja) | 露光装置 |
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