JPH11156582A - レーザ加工機のアシストガス供給方法およびその装置 - Google Patents

レーザ加工機のアシストガス供給方法およびその装置

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JPH11156582A
JPH11156582A JP9328714A JP32871497A JPH11156582A JP H11156582 A JPH11156582 A JP H11156582A JP 9328714 A JP9328714 A JP 9328714A JP 32871497 A JP32871497 A JP 32871497A JP H11156582 A JPH11156582 A JP H11156582A
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JP
Japan
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assist gas
pressure
supply
supplying
processing head
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JP9328714A
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Inventor
Takaaki Yamanashi
貴昭 山梨
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Amada Co Ltd
Original Assignee
Amada Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 微小圧力および高圧のアシストガスを供給す
ることのできるレーザ加工機のアシストガス供給方法お
よびその装置を提供する。 【解決手段】 レーザ加工時にＮＣ装置２７により配管
１５、１７、１９に設けられているソレノイドバルブ２
９、３１、３３を制御して複数種のアシストガスから選
択したアシストガスを加工ヘッド１に供給する際に、常
時は加工ヘッド１に直接供給するが、アシストガスの圧
力が所定の圧力よりも小さな微小圧であるときは、ＮＣ
装置２７により切換え弁３５を切り換えて微小圧供給部
３７を介して加工ヘッド１に供給する。また、供給すべ
きアシストガスの圧力が所定の圧力よりも高圧である場
合にはさらにＮＣ装置の制御により高圧アシストガス供
給管から高圧アシストガスを併せて加工ヘッドへ供給す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、レーザ加工に使
用される微小圧から高圧までのアシストガスを加工ヘッ
ドに供給するレーザ加工機のアシストガス供給方法およ
びその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４には、従来のレーザ加工機のアシス
トガス供給装置２０１が示されている。このレーザ加工
機のアシストガス供給装置２０１では、酸素供給管２０
３、窒素供給管２０５、空気供給管２０７に各々レギュ
レータ２０９、２１１、２１３、ソレノイドバルブ２１
５、２１７、２１９、チェックバルブ２２１、２２３、
２２５が設けられており、加工ヘッド２２７に供給され
るアシストガスを圧力計２２９により測定しながら各レ
ギュレータ２０９、２１１、２１３により調整してい
る。
【０００３】また、図５には、従来のレーザ加工機のア
シストガス供給装置２３１が示されている。このレーザ
加工機のアシストガス供給装置２３１では、ＮＣ装置２
３３からコントローラ２３５に圧力指令を発すると、加
工ヘッド２３７の圧力センサ２３９が検知した圧力を受
けてコントローラ２３５が電空レギュレータ２４１に補
正指令を発することにより、酸素供給バルブ２４３、窒
素供給バルブ２４５、空気供給バルブ２４７等を制御し
てアシストガスを制御する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら最初に図
４に示したレーザ加工機のアシストガス供給装置２０１
のように各レギュレータ２０９、２１１、２１３により
調整する場合にあっては、０．１kgf ／cm2 未満の低
圧、例えば０．０１kgf ／cm2 や０．００５kgf ／cm2
等の低圧における圧力制御ができないという問題があ
る。このため、アクリル等を切断する場合にアシストガ
スとして要求される微小圧のエアーの圧力が大きすぎて
切断面が曇ってしまうという問題がある。
【０００５】また、アシストガスによって図示省略の集
光レンズ等を冷却するが、この際にあまりアシストガス
が少ないと冷却効果が出ずに熱影響でレンズを損なうお
それがある。
【０００６】一方、次いで図５に示したレーザ加工機の
アシストガス供給装置２３１のように電空レギュレータ
２４１により調整する場合にあっては、電空レギュレー
タ２４１が０〜１０kgf ／cm2 の範囲でしか仕様がな
く、仮に２０kgf ／cm2 の仕様のものがあっても０〜１
kgf ／cm2 の低圧における圧力制御がハンチング等によ
りできないという問題がある。
【０００７】また、電空レギュレータ２４１に高圧をか
けると電空レギュレータ２４１が破損しやすくなり、破
損した場合、レーザ加工がまったくできなくなるという
問題がある。
【０００８】この発明の目的は、以上のような従来の技
術に着目してなされたものであり、微小圧力から高圧ま
でのアシストガスを供給することのできるレーザ加工機
のアシストガス供給方法およびその装置を提供すること
にある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１による発明のレーザ加工機のアシストガ
ス供給方法は、レーザ加工時に使用されるアシストガス
を加工ヘッドに供給するレーザ加工機のアシストガス供
給方法において、複数種のアシストガスを供給する配管
に各々設けられているソレノイドバルブをＮＣ装置によ
り制御して所望のアシストガスのみを選択し、常時は選
択されたアシストガスを加工ヘッドに直接供給し、供給
すべきアシストガスの圧力が所定の圧力よりも微小な場
合には微小圧供給部を介して加工ヘッドに供給するこ
と、を特徴とするものである。
【００１０】従って、レーザ加工時にＮＣ装置によりソ
レノイドバルブを制御して種々のアシストガスから選択
されたアシストガスを加工ヘッドに供給する際に、常時
は加工ヘッドに直接供給するが、アシストガスの圧力が
所定の圧力よりも小さな微小圧であるときは、微小圧供
給部を介して加工ヘッドに供給する。
【００１１】請求項２による発明のレーザ加工機のアシ
ストガス供給方法は、請求項１記載のレーザ加工機のア
シストガス供給方法において、前記微小圧供給部が、流
量調整バルブによりアシストガスの流量を調整して所定
の圧力となるように調整すること、を特徴とするもので
ある。
【００１２】従って、微小圧供給部では、アシストガス
の流量を調整して所望の微小圧にして加工ヘッドに供給
する。
【００１３】請求項３による発明のレーザ加工機のアシ
ストガス供給方法は、レーザ加工時に使用されるアシス
トガスを加工ヘッドに供給するレーザ加工機のアシスト
ガス供給方法において、複数種のアシストガスを供給す
る配管に各々設けられているソレノイドバルブをＮＣ装
置により制御して所望のアシストガスのみを選択し、常
時は選択されたアシストガスを加工ヘッドに直接供給
し、供給すべきアシストガスの圧力が所定の圧力よりも
高圧である場合にはＮＣ装置の制御により高圧アシスト
ガス供給管のみから供給すること、を特徴とするもので
ある。
【００１４】従って、レーザ加工時にＮＣ装置によりソ
レノイドバルブを制御して複数種のアシストガスから選
択されたアシストガスを加工ヘッドに供給する際に、常
時は加工ヘッドに直接供給するが、供給すべきアシスト
ガスの圧力が所定の圧力よりも高圧である場合には、高
圧アシストガス供給管のみから高圧アシストガスを加工
ヘッドへ供給する。
【００１５】請求項４による発明のレーザ加工機のアシ
ストガス供給方法は、請求項３記載のレーザ加工機のア
シストガス供給方法において、前記高圧アシストガス供
給管の圧力を手動調整すること、を特徴とするものであ
る。
【００１６】従って、高圧のアシストガスを供給する際
には、手動にて高圧アシストガス供給管の圧力を調整し
て所定の圧力になるようにして供給する。
【００１７】請求項５による発明のレーザ加工機のアシ
ストガス供給装置は、レーザ加工時に使用されるアシス
トガスを加工ヘッドに供給するレーザ加工機のアシスト
ガス供給装置であって、複数種のアシストガスのうち所
望のアシストガスを選択して供給すべく配管に各々設け
られているソレノイドバルブを制御するＮＣ装置と、微
小圧力のアシストガスを供給するための微小圧供給部
と、常時は選択されたアシストガスを加工ヘッドに直接
供給させると共にアシストガスの圧力が所定の圧力より
も微小な場合には前記微小圧供給部を介して加工ヘッド
に供給すべく前記制御装置により切換えられる切換え弁
と、を備えてなることを特徴とするものである。
【００１８】従って、レーザ加工時にＮＣ装置により配
管に設けられているソレノイドバルブを制御して複数種
のアシストガスから選択したアシストガスを加工ヘッド
に供給する際に、常時は加工ヘッドに直接供給するが、
アシストガスの圧力が所定の圧力よりも小さな微小圧で
あるときは、ＮＣ装置により切換え弁を切り換えて微小
圧供給部を介して加工ヘッドに供給する。
【００１９】請求項６による発明のレーザ加工機のアシ
ストガス供給装置は、請求項５記載のレーザ加工機のア
シストガス供給装置において、前記加工ヘッドが、レー
ザ加工用のレーザ光を集光する集光レンズとレーザ光を
ワークに照射するノズルとの間に設けられたフィルタ
と、このフィルタと前記集光レンズとの間に冷却媒体を
供給すべく設けられた冷却媒体供給口と、を備えてなる
ことを特徴とするものである。
【００２０】従って、微小圧のアシストガスを供給して
レーザ加工を行なう際には、加工ヘッドの集光レンズと
ノズルの間にフィルタを設け、このフィルタと集光レン
ズの間に設けられている冷却媒体供給口から冷却媒体を
供給して集光レンズを冷却する。
【００２１】請求項７による発明のレーザ加工機のアシ
ストガス供給装置は、請求項５記載のレーザ加工機のア
シストガス供給装置において、前記微小圧供給部が、流
量調整バルブを備えてなることを特徴とするものであ
る。
【００２２】従って、微小圧供給部を介して微小圧のア
シストガスを加工ヘッドに供給する際には、流量調整バ
ルブによりアシストガスの流量を調整して所定の微小圧
にしてアシストガスを供給する。
【００２３】請求項８による発明のレーザ加工機のアシ
ストガス供給装置は、レーザ加工時に使用されるアシス
トガスを加工ヘッドに供給するレーザ加工機のアシスト
ガス供給装置であって、複数種のアシストガスのうち所
望のアシストガスを選択して供給すべく配管に各々設け
られているソレノイドバルブを制御するＮＣ装置と、所
定の圧力よりも高圧のアシストガスを供給する場合に前
記ＮＣ装置の制御により高圧アシストガスを併せて供給
すべく設けられた高圧アシストガス供給管と、を備えて
なることを特徴とするものである。
【００２４】従って、レーザ加工時にＮＣ装置によりソ
レノイドバルブを制御して複数種のアシストガスから選
択されたアシストガスを加工ヘッドに供給する際に、常
時は加工ヘッドに直接供給するが、供給すべきアシスト
ガスの圧力が所定の圧力よりも高圧である場合にはさら
にＮＣ装置の制御により高圧アシストガス供給管から高
圧アシストガスを併せて加工ヘッドへ供給する。
【００２５】請求項９による発明のレーザ加工機のアシ
ストガス供給装置は、請求項８記載のレーザ加工機のア
シストガス供給装置において、前記高圧アシストガス供
給管が、流量を手動で調整する手動調整バルブを備えて
なることを特徴とするものである。
【００２６】従って、高圧のアシストガスを供給する際
には、手動調整バルブを用いて手動にて高圧アシストガ
ス供給管における高圧アシストガスの流量を調整して所
定の圧力になるようにしてアシストガスを供給する。
【００２７】請求項１０による発明のレーザ加工機のア
シストガス供給装置は、レーザ加工時に使用されるアシ
ストガスを加工ヘッドに供給するレーザ加工機のアシス
トガス供給装置であって、複数種のアシストガスのうち
所望のアシストガスを選択して供給すべく配管に各々設
けられているソレノイドバルブを制御するＮＣ装置と、
微小圧力のアシストガスを供給するための微小圧供給部
と、所定の圧力よりも高圧のアシストガスを供給する場
合に前記ＮＣ装置の制御により高圧アシストガスを併せ
て供給すべく設けられた高圧アシストガス供給管と、常
時または高圧のアシストガスを供給する場合は混合され
たアシストガスを加工ヘッドに直接供給させると共にア
シストガスの圧力が所定の圧力よりも微小な場合には前
記微小圧供給部を介して加工ヘッドに供給すべく前記制
御装置により切換えられる切換え弁と、を備えてなるこ
とを特徴とするものである。
【００２８】従って、レーザ加工時にＮＣ装置により配
管に設けられているソレノイドバルブを制御して複数種
のアシストガスから選択されたアシストガスを加工ヘッ
ドに供給する際に、常時は加工ヘッドに直接供給し、供
給すべきアシストガスの圧力が所定の圧力よりも高圧で
ある場合にはさらにＮＣ装置の制御により高圧アシスト
ガス供給管から高圧アシストガスを併せて加工ヘッドへ
直接供給する。一方、アシストガスの圧力が所定の圧力
よりも小さな微小圧であるときは、ＮＣ装置により切換
え弁を切り換えて微小圧供給部を介して加工ヘッドに供
給する。
【００２９】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて詳細に説明する。
【００３０】図１には、レーザ加工時に用いられるアシ
ストガスを加工ヘッド１に供給するレーザ加工機のアシ
ストガス供給装置３の一例が示されている。このアシス
トガス供給装置３は微小圧アシストガスの供給を行なう
ためのものである。
【００３１】図２を参照するに、微小圧アシストガスを
使用するための加工ヘッド１の断面図が示されている。
この加工ヘッド１では、レーザ光ＬＢを集光させてノズ
ル５から照射するための集光レンズ７およびアシストガ
スを供給するためのアシストガス供給口９を有してい
る。
【００３２】さらに、集光レンズ７とノズル５の間には
フィルター１１が設けられており、このフィルター１１
と集光レンズ７の間には冷却媒体を供給する冷却媒体供
給口１３が設けられている。これにより、集光レンズ７
とフィルター１１の間に供給された冷却媒体により集光
レンズ７が高率よく冷却されるので、熱による破損を回
避することができる。
【００３３】図１に戻って、このレーザ加工機のアシス
トガス供給装置３では、複数種のアシストガスを供給す
る酸素供給管１５、窒素供給管１７、空気供給管１９が
各々レギュレータ２１、２３、２５およびＮＣ装置２７
により制御されるソレノイドバルブ２９、３１、３３を
介して電磁切換え弁３５に導かれている。
【００３４】この切換え弁３５は、直接加工ヘッド１に
接続されると共に、微小圧供給部３７を介して加工ヘッ
ド１に接続されており、いずれかを選択するものであ
る。このときの圧力は第一圧力スイッチ３９により監視
されてＮＣ装置２７に伝達されている。なお、いずれの
供給管にもチェックバルブ４１、４３、４５が設けられ
ている。
【００３５】前記微小圧供給部３７は、電磁切換え弁３
５に接続されている流量調整バルブ４７を有しており、
このときの圧力は第二圧力スイッチ４９で監視されてＮ
Ｃ装置２７に伝達されている。
【００３６】前記流量調整バルブ４７としては、配管に
設けられて直接アシストガスの流量を調整するものでも
良いが、その他ＮＣ装置２７から出力される電圧で作動
する電気的流量計を用いることもできる。この場合に
は、配管に流量センサを設けておき、ＮＣ装置２７にフ
ィードバックさせるようにして正確な流量調整を行なう
ようにする。
【００３７】上記構成により、微小圧アシストガスの供
給を行なう場合には、まず、酸素、窒素、空気の選択は
ＮＣ装置２７からの指令でソレノイドバルブ２９、３
１、３３を開閉して行なう。アシストガスが所定圧力以
下の微小圧の場合には、ＮＣ装置２７の指令により電磁
切換え弁３５を微小圧供給部３７に切り換えて、流量調
整バルブ４７によりアシストガスの流量を調整して５０
cc／分〜１００cc／分程度の微小圧を供給する。
【００３８】このときのアシストガスの圧力は第二圧力
スイッチ４９により監視されており、仮に必要な圧力の
アシストガスが供給されていない場合には、ＮＣ装置２
７が電磁切換え弁３５により足りない分のアシストガス
を供給する。
【００３９】以上の結果から、微小圧のアシストガスを
制御することができると共に、集光レンズ７が熱により
破損するのを防止することができる。
【００４０】次に、別の実施の形態について説明する。
図３には、高圧アシストガスの供給を行なうためのアシ
ストガス供給装置５１が示されている。このアシストガ
ス供給装置５１では、複数種のアシストガスを供給する
酸素供給管５３、窒素供給管５５、空気供給管５７が各
々ＮＣ装置５９により制御されるソレノイドバルブ６
１、６３、６５を介してマニホールド６７に導かれて合
流している。なお、前記ソレノイドバルブ６１、６３、
６５の上流側にはリリーフバルブ６９、７１、７３が設
けられ、下流側にはチェックバルブ７５、７７、７９が
設けられている。
【００４１】また、マニホールド６７に供給された酸
素、窒素、空気は、コントローラ８１を介してＮＣ装置
５９により制御される電空レギュレータ８３に供給され
ている。このときの圧力は、第一圧力スイッチ８５によ
り検知されてＮＣ装置５９に伝達される。
【００４２】また、圧力が適正でない場合には、コント
ローラ８１からＮＣ装置５９にアラームが発せられる。
さらに、チェックバルブ８７を介して加工ヘッド９１に
接続されているが、このときの圧力は第二圧力スイッチ
８９により検知されてＮＣ装置５９に伝達される。ま
た、加工ヘッド９１内部の圧力は、圧力センサ９３によ
り測定されてＮＣ装置５９に伝達される。
【００４３】一方、高圧アシストガス供給管としての高
圧窒素供給管９５がカプラーブラケット９７、リリーフ
バルブ９９、レギュレータパネル１０１を介して加工ヘ
ッド９１に導かれている。なお、このレギュレータパネ
ル１０１には、手動レギュレータ１０３およびＮＣ装置
５９により制御される高圧用ソレノイドバルブ１０５が
設けられている。
【００４４】上記構成により、０〜１０kgf ／cm2 のア
シストガスを供給する場合には、ＮＣ装置５９からコン
トローラ８１へ０〜１０Ｖを出力すると同時に、酸素、
窒素、空気の選択指令をソレノイドバルブ６１、６３、
６５へ出力する。
【００４５】圧力センサ９３で加工ヘッド９１内チャン
バーの圧力を検出し、その値をコントローラ８１で監視
して補正電圧を電空レギュレータ８３へ出力し、クロー
ズドループにより圧力制御を行なう。
【００４６】そして、仮に１０kgf ／cm2 以上の圧力が
かかった場合には、ソレノイドバルブ６１、６３、６５
の上流側にあるリリーフバルブ６９、７１、７３により
ガスをリークして、ソレノイドバルブ６１、６３、６５
や電空レギュレータ８３等の配管類を保護する。また、
第一圧力スイッチ８５によりガスが噴出しているのを管
理して、ガスが流れていない場合に温度が上昇して集光
レンズ７（図２参照）が破損したり加工不良を生じるの
を防止する。
【００４７】また、レーザ加工において１０kgf ／cm2
以上のアシストガスを必要とする場合には、ＮＣ装置５
９から高圧用ソレノイドバルブ１０５に信号を発する。
このとき、コントローラ８１は指令値に対して±５％程
度のばらつきでＮＣ装置５９にアラームを出力している
ため、コントローラ８１をオープンループにしてアラー
ムを出力しないようにする。
【００４８】そして、高圧用ソレノイドバルブ１０５を
開いて圧力を手動レギュレータ１０３で調整する。この
ときの圧力は、第二圧力スイッチ８９により監視する。
【００４９】以上の結果から、圧力をＮＣ装置５９によ
る制御と高圧用ソレノイドバルブ１０５を使い分けるこ
とにより、低圧から高圧までのアシストガスの圧力を管
理することができる。また、リリーフバルブ６９、７
１、７３を設けたことにより配管保護を図ると共に、第
一圧力スイッチ８５、第二圧力スイッチ８９により集光
レンズ７の保護および加工不良の防止を図ることができ
る。
【００５０】なお、この発明は前述の実施の形態に限定
されることなく、適宜な変更を行うことにより、その他
の態様で実施し得るものである。すなわち、前述の実施
の形態においては、微小圧のアシストガスを供給するア
シストガス供給装置３と、高圧のアシストガスを供給す
るアシストガス供給装置５１を別個に示したが、両者を
同時に含むようなアシストガス供給装置とすることもで
きる。この場合には、微小圧から高圧までの所望の圧力
でアシストガスの供給を行なうことができる。
【００５１】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よるレーザ加工機のアシストガス供給方法では、レーザ
加工時にＮＣ装置によりソレノイドバルブを制御して種
々のアシストガスから選択されたアシストガスを加工ヘ
ッドに供給する際に、常時は加工ヘッドに直接供給する
が、アシストガスの圧力が所定の圧力よりも小さな微小
圧であるときは、微小圧供給部を介して加工ヘッドに供
給するようにするので、所望の微小圧アシストガスを供
給することができる。
【００５２】請求項２の発明によるレーザ加工機のアシ
ストガス供給方法では、微小圧供給部でアシストガスの
流量を調整するので所望の微小圧アシストガスを加工ヘ
ッドに供給することができる。
【００５３】請求項３の発明によるレーザ加工機のアシ
ストガス供給方法では、レーザ加工時にＮＣ装置により
ソレノイドバルブを制御して複数種のアシストガスから
選択されたアシストガスを加工ヘッドに供給する際に、
常時は加工ヘッドに直接供給するが、供給すべきアシス
トガスの圧力が所定の圧力よりも高圧である場合には、
さらに高圧アシストガス供給管から高圧アシストガスを
併せて加工ヘッドへ供給するので、所望の高圧アシスト
ガスを供給することができる。
【００５４】請求項４の発明によるレーザ加工機のアシ
ストガス供給方法では、高圧のアシストガスを供給する
際には、手動にて高圧アシストガス供給管の圧力を調整
するので所定の高圧アシストガスを供給することができ
る。
【００５５】請求項５の発明によるレーザ加工機のアシ
ストガス供給装置では、レーザ加工時にＮＣ装置により
配管に設けられているソレノイドバルブを制御して複数
種のアシストガスから選択したアシストガスを加工ヘッ
ドに供給する際に、常時は加工ヘッドに直接供給する
が、アシストガスの圧力が所定の圧力よりも小さな微小
圧であるときは、ＮＣ装置により切換え弁を切り換えて
微小圧供給部を介して加工ヘッドにアシストガスを供給
するので、所望の微小圧アシストガスを供給することが
できる。
【００５６】請求項６の発明によるレーザ加工機のアシ
ストガス供給装置では、微小圧のアシストガスを供給し
てレーザ加工を行なう際には、加工ヘッドの集光レンズ
とノズルの間にフィルタを設け、このフィルタと集光レ
ンズの間に設けられている冷却媒体供給口から冷却媒体
を供給して集光レンズを冷却するので、アシストガスの
圧力が微小である場合でも、集光レンズが熱により破損
するのを防止することができる。
【００５７】請求項７の発明によるレーザ加工機のアシ
ストガス供給装置では、微小圧供給部を介して微小圧の
アシストガスを加工ヘッドに供給する際には、流量調整
バルブによりアシストガスの流量を調整して所定の微小
圧にしてアシストガスを供給するので、所望の微小圧ア
シストガスを供給することができる。
【００５８】請求項８の発明によるレーザ加工機のアシ
ストガス供給装置では、レーザ加工時にＮＣ装置により
ソレノイドバルブを制御して複数種のアシストガスから
選択されたアシストガスを加工ヘッドに供給する際に、
常時は加工ヘッドに直接供給するが、供給すべきアシス
トガスの圧力が所定の圧力よりも高圧である場合にはさ
らにＮＣ装置の制御により高圧アシストガス供給管から
高圧アシストガスを併せて加工ヘッドへ供給するので、
所望の高圧アシストガスを供給することができる。
【００５９】請求項９の発明によるレーザ加工機のアシ
ストガス供給装置では、高圧のアシストガスを供給する
際には、手動調整バルブを用いて手動にて高圧アシスト
ガス供給管における高圧アシストガスの流量を調整する
ので、所望の高圧アシストガスを供給することができ
る。
【００６０】請求項１０の発明によるレーザ加工機のア
シストガス供給装置では、レーザ加工時にＮＣ装置によ
り配管に設けられているソレノイドバルブを制御して複
数種のアシストガスから選択されたアシストガスを加工
ヘッドに供給する際に、常時は加工ヘッドに直接供給
し、供給すべきアシストガスの圧力が所定の圧力よりも
高圧である場合にはさらにＮＣ装置の制御により高圧ア
シストガス供給管から高圧アシストガスを併せて加工ヘ
ッドへ直接供給するので所望の高圧アシストガスを供給
することができる。さらに、アシストガスの圧力が所定
の圧力よりも小さな微小圧であるときは、ＮＣ装置によ
り切換え弁を切り換えて微小圧供給部を介して加工ヘッ
ドに供給するので、所望の微小圧アシストガスを供給す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係るレーザ加工機のアシストガス供
給装置により微小圧アシストガスの供給を行なう場合の
一例を示す回路図である。
【図２】微小アシストガスを使用する場合に使用される
加工ヘッドの一例を示す断面図である。
【図３】この発明に係るレーザ加工機のアシストガス供
給装置により高圧アシストガスの供給を行なう場合の一
例を示す回路図である。
【図４】従来のアシストガス供給装置を示す回路図であ
る。
【図５】従来のアシストガス供給装置を示す回路図であ
る。
【符号の説明】
１、９１ 加工ヘッド ３、５１ レーザ加工機のアシストガス供給装置 ７ 集光レンズ １１ フィルタ １３ 冷却媒体供給口 ２７、５９ ＮＣ装置 ２９、３１、３３、６１、６３、６５ ソレノイドバル
ブ ３５ 切換え弁 ３７ 微小圧供給部 ４７ 流量調整バルブ ９５ 高圧窒素供給管（高圧アシストガス供給管） １０３ 手動レギュレータ（手動調整バルブ）

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 レーザ加工時に使用されるアシストガス
    を加工ヘッドに供給するレーザ加工機のアシストガス供
    給方法において、複数種のアシストガスを供給する配管
    に各々設けられているソレノイドバルブをＮＣ装置によ
    り制御して所望のアシストガスのみを選択し、常時は選
    択されたアシストガスを加工ヘッドに直接供給し、供給
    すべきアシストガスの圧力が所定の圧力よりも微小な場
    合には微小圧供給部を介して加工ヘッドに供給するこ
    と、を特徴とするレーザ加工機のアシストガス供給方
    法。
  2. 【請求項２】 前記微小圧供給部が、流量調整バルブに
    よりアシストガスの流量を調整して所定の圧力となるよ
    うに調整すること、を特徴とする請求項１記載のレーザ
    加工機のアシストガス供給方法。
  3. 【請求項３】 レーザ加工時に使用されるアシストガス
    を加工ヘッドに供給するレーザ加工機のアシストガス供
    給方法において、複数種のアシストガスを供給する配管
    に各々設けられているソレノイドバルブをＮＣ装置によ
    り制御して所望のアシストガスのみを選択し、常時は選
    択されたアシストガスを加工ヘッドに直接供給し、供給
    すべきアシストガスの圧力が所定の圧力よりも高圧であ
    る場合にはＮＣ装置の制御により高圧アシストガス供給
    管のみから供給すること、を特徴とするレーザ加工機の
    アシストガス供給方法。
  4. 【請求項４】 前記高圧アシストガス供給管の圧力を手
    動調整すること、を特徴とする請求項３記載のレーザ加
    工機のアシストガス供給方法。
  5. 【請求項５】 レーザ加工時に使用されるアシストガス
    を加工ヘッドに供給するレーザ加工機のアシストガス供
    給装置であって、複数種のアシストガスのうち所望のア
    シストガスを選択して供給すべく配管に各々設けられて
    いるソレノイドバルブを制御するＮＣ装置と、微小圧力
    のアシストガスを供給するための微小圧供給部と、常時
    は選択されたアシストガスを加工ヘッドに直接供給させ
    ると共にアシストガスの圧力が所定の圧力よりも微小な
    場合には前記微小圧供給部を介して加工ヘッドに供給す
    べく前記制御装置により切換えられる切換え弁と、を備
    えてなることを特徴とするレーザ加工機のアシストガス
    供給装置。
  6. 【請求項６】 前記加工ヘッドが、レーザ加工用のレー
    ザ光を集光する集光レンズとレーザ光をワークに照射す
    るノズルとの間に設けられたフィルタと、このフィルタ
    と前記集光レンズとの間に冷却媒体を供給すべく設けら
    れた冷却媒体供給口と、を備えてなることを特徴とする
    請求項５記載のレーザ加工機のアシストガス供給装置。
  7. 【請求項７】 前記微小圧供給部が、流量調整バルブを
    備えてなることを特徴とする請求項５記載のレーザ加工
    機のアシストガス供給装置。
  8. 【請求項８】 レーザ加工時に使用されるアシストガス
    を加工ヘッドに供給するレーザ加工機のアシストガス供
    給装置であって、複数種のアシストガスのうち所望のア
    シストガスを選択して供給すべく配管に各々設けられて
    いるソレノイドバルブを制御するＮＣ装置と、所定の圧
    力よりも高圧のアシストガスを供給する場合に前記ＮＣ
    装置の制御により高圧アシストガスを併せて供給すべく
    設けられた高圧アシストガス供給管と、を備えてなるこ
    とを特徴とするレーザ加工機のアシストガス供給装置。
  9. 【請求項９】 前記高圧アシストガス供給管が、流量を
    手動で調整する手動調整バルブを備えてなることを特徴
    とする請求項８記載のレーザ加工機のアシストガス供給
    装置。
  10. 【請求項１０】 レーザ加工時に使用されるアシストガ
    スを加工ヘッドに供給するレーザ加工機のアシストガス
    供給装置であって、複数種のアシストガスのうち所望の
    アシストガスを選択して供給すべく配管に各々設けられ
    ているソレノイドバルブを制御するＮＣ装置と、微小圧
    力のアシストガスを供給するための微小圧供給部と、所
    定の圧力よりも高圧のアシストガスを供給する場合に前
    記ＮＣ装置の制御により高圧アシストガスを選択して供
    給すべく設けられた高圧アシストガス供給管と、常時ま
    たは高圧のアシストガスを供給する場合はアシストガス
    を加工ヘッドに直接供給させると共にアシストガスの圧
    力が所定の圧力よりも微小な場合には前記微小圧供給部
    を介して加工ヘッドに供給すべく前記制御装置により切
    換えられる切換え弁と、を備えてなることを特徴とする
    レーザ加工機のアシストガス供給装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006231408A (ja) 2005-02-25 2006-09-07 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh & Co Kg レーザ加工機の管路及び中空室又はそのいずれか一方を掃気する方法
CN107790893A (zh) * 2016-08-30 2018-03-13 奔腾激光(温州)有限公司 激光切割机智能高速不锈钢穿孔切割装置及控制方法
CN110842355A (zh) * 2019-11-29 2020-02-28 奔腾楚天激光（武汉）有限公司 一种光纤激光切割机快速换气的装置及控制方法

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