JPH11133297A - フーリエ変換レンズ - Google Patents

フーリエ変換レンズ

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JPH11133297A
JPH11133297A JP30164997A JP30164997A JPH11133297A JP H11133297 A JPH11133297 A JP H11133297A JP 30164997 A JP30164997 A JP 30164997A JP 30164997 A JP30164997 A JP 30164997A JP H11133297 A JPH11133297 A JP H11133297A
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JP
Japan
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lens
fourier transform
group
lenses
positive
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JP30164997A
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English (en)
Inventor
Katsumi Shimada
克己 島田
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 フーリエ変換レンズを簡易に構成する。 【解決手段】 物体側から順にそれぞれ1枚または2枚
のレンズL1 〜L4 からなる第1群レンズおよび第2群
レンズからレンズ系を構成する。第1群レンズおよび第
2群レンズは同一のレンズ素子からなり、かつ光軸Xに
垂直な面に関して対称に配置されてなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、フーリエ変換レン
ズに関するものである。
【0002】
【従来の技術】フーリエ変換レンズは、物体側の情報を
フーリエ変換して結像するレンズとして知られている。
すなわち、フーリエ変換レンズの物体側の焦点面に物体
をおいてコヒーレントな光で照明すると、物体上の光強
度分布フーリエ変換されて像側の焦点面状に結像する。
そしてこのようなフーリエ変換レンズはフーリエ変換ホ
ログラムの他、半導体製造装置のステッパ、レーザー共
振器などに用いられている。
【0003】このようなフーリエ変換レンズとしては、
例えば特公昭56−50247号公報に記載された8群
8枚構成のレンズ、特公平3−62242号公報に記載
された6枚構成のレンズ、特開昭63−75719号公
報に記載された5群構成のレンズ、特開平4−1843
10号公報に記載された5群5枚構成のレンズが知られ
ている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た特公昭56−50247号公報などに記載されたフー
リエ変換レンズはレンズ枚数が多く、構成が複雑であっ
た。
【0005】本発明は、上記事情に鑑みなされたもので
あり、簡易な構成のフーリエ変換レンズを提供すること
を目的とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明によるフーリエ変
換レンズは、物体側から順にそれぞれ1枚または2枚の
レンズからなる第1群レンズおよび第2群レンズが配列
されてなるフーリエ変換レンズであって、前記第1群レ
ンズおよび前記第2群レンズは同一のレンズ素子からな
り、かつ光軸に垂直な面に関して対称に配置されてなる
ことを特徴とするものである。
【0007】また、本発明によるフーリエ変換レンズに
おいては、全系の焦点距離をf、前記各群レンズ間の主
点間隔をtg としたとき、下記の条件式(1)を満足す
るように構成されてなることが好ましい。
【0008】(1)1.5≦|tg /f|≦2.7 さらに、本発明のフーリエ変換レンズを、前記第1群レ
ンズおよび前記第2群レンズがそれぞれ1枚の正のメニ
スカスレンズからなる2群2枚構成とし、該正のメニス
カスレンズにおける凹面の曲率半径をrf 、凸面の曲率
半径をrb 、レンズ厚をdとしたとき、下記の条件式
(2)および(3)を満足するように構成することが好
ましい。
【0009】(2)1.0<rf /rb <1.1 (3)0.8<d/f<1.3 また、本発明のフーリエ変換レンズを、前記第1群レン
ズおよび前記第2群レンズがそれぞれ負のメニスカスレ
ンズおよび正レンズからなる2群4枚構成とし、負のメ
ニスカスレンズの焦点距離をfm 、正レンズの焦点距離
をfp 、負のメニスカスレンズと正レンズとの主点間隔
をte としたとき、下記の条件式(4)および(5)を
満足するように構成することが好ましい。
【0010】(4)1.1<|fm /fp |<1.9 (5)0.6≦te /f≦1.8 さらに、本発明のフーリエ変換レンズは、前記第1群レ
ンズおよび前記第2群レンズを構成するレンズの少なく
とも1つの面が非球面であることが好ましい。
【0011】
【発明の効果】本発明によるフーリエ変換レンズは、第
1群レンズおよび第2群レンズをそれぞれ1枚または2
枚の同一のレンズ素子からなるものとするとともに、各
群レンズを光軸に垂直な平面に関して対称に構成したた
め、レンズの構成枚数を少なくすることができるととも
に、構成するレンズの種類をも少なくすることができ
る。したがって、フーリエ変換レンズの構成を簡易なも
のとすることができるとともに、その製造も容易に行う
ことができ、これによりレンズのコストダウンを図るこ
とができる。
【0012】また、本発明によるフーリエ変換レンズを
構成するレンズの少なくとも1面を非球面とすることに
より、収差の補正を容易に行うことができる。
【0013】次に、上記条件式(1)〜(5)について
説明する。
【0014】条件式(1)の上限値を越えると、各群レ
ンズの間隔が狭くなり、構成上好ましくない。また、条
件式(1)の下限値を越えると、各群レンズを構成する
レンズ素子のパワーを強くしなければならなくなり、そ
の結果誤差に対する感度が高くなって、耐誤差性が悪化
する。
【0015】条件式(2)の上限値を超えると、横収
差、非点収差、f−sinθ性が補正不足となる。条件
式(2)の下限値を超えると、横収差、メリジオナル
(タンジェンシャル)方向の非点収差、f−sinθ性
が補正過剰となる。
【0016】条件式(3)の上限値を越えると、レンズ
が厚くなりすぎ製造適正が劣化する。条件式(3)の下
限値を超えると、各群レンズを構成するレンズ素子のパ
ワーを強くしなければならなくなり、その結果誤差に対
する感度が高くなって、耐誤差性が悪化する。
【0017】条件式(4)の上限値を超えると、横収
差、メリジオナル(タンジェンシャル)方向の非点収差
が補正過剰になる。条件式(4)の下限値を超えると、
球面収差が補正過剰になり、また負のメニスカスレンズ
および正のメニスカスレンズのパワーが強くなりすぎて
製造適正が劣化する。
【0018】条件式(5)の上限値を超えると、f−s
inθ性が補正不足になる。条件式(5)の下限値を超
えると、f−sinθ性が補正過剰になる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の実施
形態について説明する。なお、以下2つの実施形態によ
る6つの実施例について具体的に説明するが、各実施例
に各々対応する図面の説明において同一の要素について
は同一の符号を付し、重複する説明については省略す
る。
【0020】−第1の実施形態− 図1から図3は本発明の第1の実施形態によるフーリエ
変換レンズの構成を示す図である。なお、第1の実施形
態において、図1から図3をそれぞれ実施例1から3と
する。第1の実施形態によるフーリエ変換レンズは、図
1から図3に示すように、物体側から、正の第1レンズ
1 および正の第2レンズL2 がこの順に配列されてな
る2群2枚構成であり、正の第1レンズL1 および正の
第2レンズL2 が光軸Xに垂直な平面に関して対称とな
るように配列されている。第1レンズL1 および第2レ
ンズL2 は同一構成の正のメニスカスレンズからなり、
かつ下記各条件式を満足するように構成されている。
【0021】(1)1.5≦|tg /f|≦2.7 (2)1.0<rf /rb <1.1 (3)0.8<d/f<1.3 但し、f :全系の焦点距離 tg :各群間の主点間隔 rf :レンズにおける凹面の曲率半径 rb :レンズにおける凸面の曲率半径 d :レンズ厚 次に、上記各条件式(1)〜(3) の技術的意義につい
て説明する。
【0022】条件式(1)の上限値を越えると、各群レ
ンズの間隔が狭くなり、構成上好ましくない。また、条
件式(1)の下限値を越えると、各群レンズを構成する
レンズ素子のパワーを強くしなければならなくなり、そ
の結果誤差に対する感度が高くなって、耐誤差性が悪化
する。
【0023】条件式(2)の上限値を超えると、横収
差、メリジオナル(タンジェンシャル)非点収差、f−
sinθ性が補正不足となる。条件式(2)の下限値を
超えると、横収差、非点収差、f−sinθ性が補正過
剰となる。
【0024】条件式(3)の上限値を越えると、レンズ
が厚くなりすぎ製造適正が劣化する。条件式(3)の下
限値を超えると、各群レンズを構成するレンズ素子のパ
ワーを強くしなければならなくなり、その結果誤差に対
する感度が高くなって、耐誤差性が悪化する。
【0025】また、実施例1〜3において、各レンズの
凹面および凸面は非球面となるように構成されている。
これにより、収差の補正を容易に行うことができる。
【0026】以下、実施例1〜3の各々について具体的
数値を用いて説明する。
【0027】<実施例1>実施例1における各レンズ面
の曲率半径r(mm)、各レンズの中心厚および各レン
ズ間の空気間隔d(mm)、各レンズの屈折率を下記表
1に示す。
【0028】但し、この表1および後述する表2,3に
おいて、各記号r,dに対応させた数字は物体側から順
次増加するようになっている。また、数字1は各表にお
けるSTOに対応している。
【0029】なお、表1の上段に、この実施例1のフー
リエ変換レンズにおける、レンズ系全体の焦点距離f、
群間の主点間隔tg 、前側(物体側)面曲率/後側面曲
率rf /rb およびレンズ厚dの値を示す。また、各実
施例1〜3におけるレンズデータの波長は808nm、
画角12°、f数は2.4である。さらに、表1〜表3
におけるA,B,Cは非球面係数であり、Aは4次の非
球面係数、Bは6次の非球面係数、Cは8次の非球面係
数である。
【0030】
【表1】
【0031】表1から明らかなように、実施例1では各
条件式(1)〜(3)が全て満足されており、各収差の
補正が充分になされている。
【0032】ここで、実施例1の球面収差、非点収差、
歪曲収差の収差図を図4に、f−sinθ性を図5に、
横収差の収差図を図6に示す。なお、図4において、LO
NGITUDINAL SPHERICAL ABER.が球面収差を、ASTIGMATIC
FIELD CURVES が非点収差を、DISTORTIONが歪曲収差を
示す。また、非球面収差図には、サジタル(S)像面
(実線)およびタンジェンシャル(T)像面(破線)に
対する収差が示されている。これら図4〜図6から明ら
かなように、実施例1によれば、前述した各収差および
f−sinθ性を全て良好なものとすることができる。
【0033】<実施例2>実施例2における各レンズ面
の曲率半径r(mm)、各レンズの中心厚および各レン
ズ間の空気間隔d(mm)、各レンズの屈折率を下記表
2に示す。
【0034】なお、表2の上段に、この実施例2のフー
リエ変換レンズにおける、レンズ系全体の焦点距離f、
群間の主点間隔tg 、前側(物体側)面曲率/後側面曲
率rf /rb およびレンズ厚dの値を示す。
【0035】
【表2】
【0036】表2から明らかなように、実施例2では各
条件式(1)〜(3)が全て満足されており、各収差の
補正が充分になされている。
【0037】ここで、実施例2の球面収差、非点収差、
歪曲収差の収差図を図7に、f−sinθ性を図8に、
横収差の収差図を図9に示す。なお、図7において、LO
NGITUDINAL SPHERICAL ABER.が球面収差を、ASTIGMATIC
FIELD CURVES が非点収差を、DISTORTIONが歪曲収差を
示す。また、非球面収差図には、サジタル(S)像面
(実線)およびタンジェンシャル(T)像面(破線)に
対する収差が示されている。これら図7〜図9から明ら
かなように、実施例2によれば、前述した各収差および
f−sinθ性を全て良好なものとすることができる。
【0038】<実施例3>実施例3における各レンズ面
の曲率半径r(mm)、各レンズの中心厚および各レン
ズ間の空気間隔d(mm)、各レンズの屈折率を下記表
3に示す。
【0039】なお、表3の上段に、この実施例3のフー
リエ変換レンズにおける、レンズ系全体の焦点距離f、
群間の主点間隔tg 、前側(物体側)面曲率/後側面曲
率rf /rb およびレンズ厚dの値を示す。
【0040】
【表3】
【0041】表3から明らかなように、実施例3では各
条件式(1)〜(3)が全て満足されており、各収差の
補正が充分になされている。
【0042】ここで、実施例3の球面収差、非点収差、
歪曲収差の収差図を図10に、f−sinθ性を図11
に、横収差の収差図を図12に示す。なお、図10にお
いて、LONGITUDINAL SPHERICAL ABER.が球面収差を、AS
TIGMATIC FIELD CURVES が非点収差を、DISTORTIONが歪
曲収差を示す。また、非球面収差図には、サジタル
(S)像面(実線)およびタンジェンシャル(T)像面
(破線)に対する収差が示されている。これら図10〜
図12から明らかなように、実施例3によれば、前述し
た各収差およびf−sinθ性を全て良好なものとする
ことができる。
【0043】−第2の実施形態−図13から図15は本
発明の第2の実施形態によるフーリエ変換レンズの構成
を示す図である。なお、第2の実施形態において、図1
3から図15をそれぞれ実施例4から6とする。第2の
実施形態によるフーリエ変換レンズは、図13から図1
5に示すように、物体側から、負の第1レンズL1 、正
の第2レンズL2、正の第3レンズL3 および負の第4
レンズL4 がこの順に配列されてなる2群4枚構成であ
り、負の第1レンズL1 および正の第2レンズL2 から
なる第1群レンズと正の第3レンズL3 および負の第4
レンズL4 からなる第2群レンズが光軸Xに垂直な平面
に関して対称となるように配列されている。第1および
第4のレンズL1 ,L4 、第2および第3のレンズ
3 ,L4 はそれぞれ同一構成のレンズからなり、かつ
下記各条件式を満足するように構成されている。
【0044】(1)1.5≦|tg /f|≦2.7 (4)1.1<|fm /fp |<1.9 (5)0.6≦te /f≦1.8 但し、f :全系の焦点距離 tg :各群レンズ間の主点間隔 fm :負のメニスカスレンズの焦点距離 fp :正レンズの焦点距離 te :負のメニスカスレンズと正レンズとの主点間隔 次に、上記各条件式(1),(4),(5) の技術的意
義について説明する。
【0045】条件式(1)の上限値を越えると、各群レ
ンズの間隔が狭くなり、構成上好ましくない。また、条
件式(1)の下限値を越えると、各群レンズを構成する
レンズ素子のパワーを強くしなければならなくなり、そ
の結果誤差に対する感度が高くなって、耐誤差性が悪化
する。
【0046】条件式(4)の上限値を超えると、横収
差、メリジオナル方向の非点収差が補正過剰になる。条
件式(4)の下限値を超えると、球面収差が補正過剰に
なり、また負のメニスカスレンズおよび正のメニスカス
レンズのパワーが強くなりすぎて製造適正が劣化する。
【0047】条件式(5)の上限値を超えると、f−s
inθ性が補正不足になる。条件式(5)の下限値を超
えると、f−sinθ性が補正過剰になる。
【0048】また、実施例4〜6において、第1レンズ
1 および第4レンズL4 の凹面および凸面は非球面と
なるように構成されている。これにより、収差の補正を
容易に行うことができる。
【0049】以下、実施例4〜6の各々について具体的
数値を用いて説明する。
【0050】<実施例4>実施例4における各レンズ面
の曲率半径r(mm)、各レンズの中心厚および各レン
ズ間の空気間隔d(mm)、各レンズの屈折率を下記表
4に示す。
【0051】但し、この表4および後述する表5,6に
おいて、各記号r,dに対応させた数字は物体側から順
次増加するようになっている。また、数字1は各表にお
けるSTOに対応している。
【0052】なお、表4の上段に、この実施例4のフー
リエ変換レンズにおける、レンズ系全体の焦点距離f、
群間の主点間隔tg 、負素子(負のメニスカスレンズ)
焦点距離/正素子焦点距離fm /fp および主点間隔t
e の値を示す。また、各実施例4〜6におけるレンズデ
ータの波長は808nm、画角12°、f数は2.4で
ある。さらに、表4〜表6におけるA,B,Cは非球面
係数であり、Aは4次の非球面係数、Bは6次の非球面
係数、Cは8次の非球面係数である。
【0053】
【表4】
【0054】表4から明らかなように、実施例4では各
条件式(1)、(4)および(5)が全て満足されてお
り、各収差の補正が充分になされている。
【0055】ここで、実施例4の球面収差、非点収差、
歪曲収差の収差図を図16に、f−sinθ性を図17
に、横収差の収差図を図18に示す。なお、図16にお
いて、LONGITUDINAL SPHERICAL ABER.が球面収差を、AS
TIGMATIC FIELD CURVES が非点収差を、DISTORTIONが歪
曲収差を示す。また、非球面収差図には、サジタル
(S)像面(実線)およびタンジェンシャル(T)像面
(破線)に対する収差が示されている。これら図16〜
図18から明らかなように、実施例4によれば、前述し
た各収差およびf−sinθ性を全て良好なものとする
ことができる。
【0056】<実施例5>実施例5における各レンズ面
の曲率半径r(mm)、各レンズの中心厚および各レン
ズ間の空気間隔d(mm)、各レンズの屈折率を下記表
5に示す。
【0057】なお、表5の上段に、この実施例5のフー
リエ変換レンズにおける、レンズ系全体の焦点距離f、
群間の主点間隔tg 、負素子(負のメニスカスレンズ)
焦点距離/正素子焦点距離fm /fp および主点間隔t
e の値を示す。
【0058】
【表5】
【0059】表5から明らかなように、実施例5では各
条件式(1)、(4)および(5)が全て満足されてお
り、各収差の補正が充分になされている。
【0060】ここで、実施例5の球面収差、非点収差、
歪曲収差の収差図を図19に、f−sinθ性を図20
に、横収差の収差図を図21に示す。なお、図19にお
いて、LONGITUDINAL SPHERICAL ABER.が球面収差を、AS
TIGMATIC FIELD CURVES が非点収差を、DISTORTIONが歪
曲収差を示す。また、非球面収差図には、サジタル
(S)像面(実線)およびタンジェンシャル(T)像面
(破線)に対する収差が示されている。これら図19〜
図21から明らかなように、実施例5によれば、前述し
た各収差およびf−sinθ性を全て良好なものとする
ことができる。
【0061】<実施例6>実施例6における各レンズ面
の曲率半径r(mm)、各レンズの中心厚および各レン
ズ間の空気間隔d(mm)、各レンズの屈折率を下記表
6に示す。
【0062】なお、表6の上段に、この実施例6のフー
リエ変換レンズにおける、レンズ系全体の焦点距離f、
群間の主点間隔tg 、負素子(負のメニスカスレンズ)
焦点距離/正素子焦点距離fm /fp および主点間隔t
e の値を示す。
【0063】
【表6】
【0064】表6から明らかなように、実施例6では各
条件式(1)、(4)および(5)が全て満足されてお
り、各収差の補正が充分になされている。
【0065】ここで、実施例6の球面収差、非点収差、
歪曲収差の収差図を図22に、f−sinθ性を図23
に、横収差の収差図を図24に示す。なお、図22にお
いて、LONGITUDINAL SPHERICAL ABER.が球面収差を、AS
TIGMATIC FIELD CURVES が非点収差を、DISTORTIONが歪
曲収差を示す。また、非球面収差図には、サジタル
(S)像面(実線)およびタンジェンシャル(T)像面
(破線)に対する収差が示されている。これら図22〜
図24から明らかなように、実施例6によれば、前述し
た各収差およびf−sinθ性を全て良好なものとする
ことができる。
【0066】なお、本発明のフーリエ変換レンズとして
は上記実施例のものに限られるものではなく、種々の変
更が可能であり、例えば各レンズの曲率半径rおよびレ
ンズ間隔(もしくはレンズ厚)dを任意に変更すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1によるフーリエ変換レンズの構成を示
す図
【図2】実施例2によるフーリエ変換レンズの構成を示
す図
【図3】実施例3によるフーリエ変換レンズの構成を示
す図
【図4】実施例1によるフーリエ変換レンズの収差図
(球面収差、非点収差、歪曲収差)
【図5】実施例1によるフーリエ変換レンズのf−si
nθ性を示す図
【図6】実施例1によるフーリエ変換レンズの横収差図
【図7】実施例2によるフーリエ変換レンズの収差図
(球面収差、非点収差、歪曲収差)
【図8】実施例2によるフーリエ変換レンズのf−si
nθ性を示す図
【図9】実施例2によるフーリエ変換レンズの横収差図
【図10】実施例3によるフーリエ変換レンズの収差図
(球面収差、非点収差、歪曲収差)
【図11】実施例3によるフーリエ変換レンズのf−s
inθ性を示す図
【図12】実施例3によるフーリエ変換レンズの横収差
【図13】実施例4によるフーリエ変換レンズの構成を
示す図
【図14】実施例5によるフーリエ変換レンズの構成を
示す図
【図15】実施例6によるフーリエ変換レンズの構成を
示す図
【図16】実施例4によるフーリエ変換レンズの収差図
(球面収差、非点収差、歪曲収差)
【図17】実施例4によるフーリエ変換レンズのf−s
inθ性を示す図
【図18】実施例4によるフーリエ変換レンズの横収差
【図19】実施例5によるフーリエ変換レンズの収差図
(球面収差、非点収差、歪曲収差)
【図20】実施例5によるフーリエ変換レンズのf−s
inθ性を示す図
【図21】実施例5によるフーリエ変換レンズの横収差
【図22】実施例6によるフーリエ変換レンズの収差図
(球面収差、非点収差、歪曲収差)
【図23】実施例6によるフーリエ変換レンズのf−s
inθ性を示す図
【図24】実施例6によるフーリエ変換レンズの横収差
【符号の説明】
1 〜r12 曲率半径 d1 〜d11 軸上面間隔

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 物体側から順にそれぞれ1枚または2枚
    のレンズからなる第1群レンズおよび第2群レンズが配
    列されてなるフーリエ変換レンズであって、 前記第1群レンズおよび前記第2群レンズは同一のレン
    ズ素子からなり、かつ光軸に垂直な面に関して対称に配
    置されてなることを特徴とするフーリエ変換レンズ。
  2. 【請求項2】 全系の焦点距離をf、前記各群レンズ間
    の主点間隔をtg としたとき、下記の条件式(1)を満
    足するように構成されてなることを特徴とする請求項1
    記載のフーリエ変換レンズ。 (1)1.5≦|tg /f|≦2.7
  3. 【請求項3】 前記第1群レンズおよび前記第2群レン
    ズは、それぞれ1枚の正のメニスカスレンズからなり、
    該正のメニスカスレンズにおける凹面の曲率半径を
    f 、凸面の曲率半径をrb 、レンズ厚をdとしたと
    き、下記の条件式(2)および(3)を満足するように
    構成されてなることを特徴とする請求項1または2記載
    のフーリエ変換レンズ。 (2)1.0<rf /rb <1.1 (3)0.8<d/f<1.3
  4. 【請求項4】 前記第1群レンズおよび前記第2群レン
    ズは、それぞれ負のメニスカスレンズおよび正レンズか
    らなり、負のメニスカスレンズの焦点距離をfm 、正レ
    ンズの焦点距離をfp 、負のメニスカスレンズと正レン
    ズとの主点間隔をte としたとき、下記の条件式(4)
    および(5)を満足するように構成されてなることを特
    徴とする請求項1または2記載のフーリエ変換レンズ。 (4)1.1<|fm /fp |<1.9 (5)0.6≦te /f≦1.8
  5. 【請求項5】 前記第1群レンズおよび前記第2群レン
    ズを構成するレンズの少なくとも1つの面が非球面であ
    ることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項記載
    のフーリエ変換レンズ。
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