JPH11132931A - フロー式粒子測定装置 - Google Patents
フロー式粒子測定装置Info
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- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
度分布を均一化し、粒子測定の測定精度を高めることが
できるフロー式粒子測定装置を提供する。 【解決手段】 粒子測定を行なうための測定部(フロー
セル5)と、粒子成分を含有した流体試料を前記測定部
に導入するための試料導入流路と、この試料導入流路に
設けられ、その試料導入流路を通る流体試料を撹拌する
ための撹拌部4とを備え、この撹拌部4が、試料導入流
路に設けられた撹拌チャンバ4と、この撹拌チャンバ内
に回転又は振動可能に設けられた撹拌子(マグネットス
ターラ42)と、この撹拌子を撹拌チャンバ41の外部
から回転又は振動させることにより、撹拌チャンバ41
を通る流体試料を撹拌させる駆動部43(駆動モータ4
8及び制御回路47)とからなるフロー式粒子測定装
置。
Description
定装置に関するものであり、さらに詳しくは、フローセ
ルなどのフロー部に粒子成分を含有した液体試料を流す
ことによって試料中の粒子の大きさや形状などを測定す
るためのフロー式粒子測定装置に関するものである。
体、化粧品用パウダなどの品質を管理する上で、これら
の粉体の粒子の大きさや形状などを測定することは極め
て重要である。そのための測定装置として、フロー式粒
子測定装置が用いられている。このようなフロー式粒子
測定装置は、フローセルなどのフロー部を備え、そのフ
ロー部に測定部を設け、測定部で所定の粒子測定を行う
ようになっている。
装置により、粒子を含有した液体試料を吸引して測定部
で粒子測定を行う場合、流路を流れる粒子の密度が経時
的に変化すれば、測定部での粒子密度は測定部に入る前
の試料中の粒子密度とは異なったものとなり、測定精度
に悪影響が出るおそれがある。
は、流体中での粒子の沈降が起こりやすいため、粒子密
度が不均一になって測定精度に悪影響が出る。すなわ
ち、粒子成分が沈降している液体試料を容器の底部から
吸引すれば、流路中の粒子密度は、時間の経過とともに
高密度から低密度へ変化するし、吸引の初期に容器の上
層部から吸引し後期に容器の底部から吸引すれば、流路
中の粒子密度は、時間の経過とともに低密度から高密度
へ変化する。もちろん粒子の沈降が起こらないように注
意すればそれなりに効果はあるが、比重が比較的大きい
粒子の場合、それはかなり困難である。
吸引流路に、吸引流路の内径よりも大きい内径部分を有
するトラップチャンバや、流体試料を異なる複数の部位
から吸引し、しかる後合流させる特定の組み合わせ流路
を形成し、粒子の密度を均一化する提案がすでになされ
ている(特開平9−170977号公報参照)。
拌してから測定部へ導入され測定が終了するまでの間に
も粒子成分の沈降が起こり、濃度むらが生じる。そこ
で、測定部直前の流路に撹拌部を設けて、試料測定中も
常に撹拌できるようにすることが好ましい。ところが、
測定部には試料導入する圧力がかかっているため、プロ
ペラなどの撹拌装置を流路に設ければ、流路内のプロペ
ラと駆動源とのシャフトのシール、耐久性が問題とな
る。特に試料導入が加圧で行われる分析装置では撹拌部
を密閉しなければならないためにこの耐久性を高めるこ
とは難しい。
定の組み合わせ流路によって得られる粒子密度の均一化
程度を更に高めるためになされたものであり、特にそれ
を試料導入流路のシール(液密性)に支障なく可能にす
ることを主たる目的とするものである。
測定を行なうための測定部と、粒子成分を含有した流体
試料を前記測定部に導入するための試料導入流路と、こ
の試料導入流路に設けられ、その試料導入流路を通る流
体試料を撹拌するための撹拌部とを備え、この撹拌部
が、前記試料導入流路に設けられたチャンバと、このチ
ャンバ内に回転又は振動可能に設けられた撹拌子と、こ
の撹拌子を前記チャンバの外部から回転又は振動させる
ことにより、前記チャンバを通る流体試料を撹拌させる
駆動部とからなるフロー式粒子測定装置が提供される。
ャンバを設けると共に、このチャンバ内に撹拌子を挿入
し、その撹拌子を外部から回転又は振動させることによ
って、強制的に流体試料を撹拌し、それによって粒子密
度の均一化を確実に図り、粒子測定の測定精度を高めよ
うとするものであり、特にそのような流体試料の強制的
な撹拌を、撹拌子を挿入したチャンバの外部から離れて
操作することによって回転軸などの可動シール部を試料
導入流路に形成することもなく可能にし、それによって
シール(液密性)上の問題を起こすことなく粒子測定の
測定精度を高めることができる。
定対象は例えば、ファインセラミックスの粉体、顔料の
粉体、化粧品用パウダなどの無機物の粉体の粒子や食品
添加物などの有機物の粉体の粒子である。これらの粒子
はあらかじめ、染料や試薬によって染色処理されたもの
であってもよい。
基本的に測定部と試料導入流路と撹拌部とを備えてな
る。測定部は、粒子測定を行うための部分であり、粒子
成分を含有した液体試料をこの測定部に流すことによっ
て、試料中の粒子の大きさや形状などを測定する。試料
導入流路は吸引流路と導入流路とで構成でき、吸引流路
は、試料容器に入れられた粒子成分を含有した流体試料
を吸引するための流路である。導入流路は、吸引流路か
ら試料を測定部に導入するための流路である。
流れるフロー系と、フロー系を流れる粒子を検出する検
出系とを含む。フロー系としては例えば、試料吐出ノズ
ルを有する第1流路と、シース液を外層とする試料流を
形成するための第2流路とを備えたフローセルや、試料
流を流すための微細孔部と、この微細孔部を挟んだ状態
に配される一対の電極とを備えたフローセルなどを使用
することができる。
は、吸引流路から試料を測定部に導入するための導入流
路は第1流路の試料吐出ノズルに接続される。検出系と
しては例えば、粒子像を撮影する撮像手段や、粒子から
の光を検出する光検出手段や、電気インピーダンス変化
に基づく検出を行う電気検出手段などが用いられる。
導入流路に設けられ、その試料導入流路を通る流体試料
を強制的に撹拌するために設けられる。具体的には撹拌
部は、試料導入流路に設けられたチャンバと、このチャ
ンバ内に回転又は振動可能に設けられた撹拌子と、この
撹拌子を前記チャンバの外部から回転又は振動させるこ
とにより、前記チャンバを通る流体試料を強制的に撹拌
させる駆動部とから構成される。ここで撹拌子は、駆動
部により、チャンバの外部から、すなわち撹拌子自体と
は非接触に回転又は振動され、従って撹拌子を回転させ
るための回転軸、軸受等を試料導入流路に設ける必要が
なく、チャンバの密閉性が保持される。
撹拌子をマグネットスターラで構成し、駆動部を、永久
磁石と、この永久磁石を固定しチャンバの外側に回転可
能に支持された回転体と、この回転体を回転駆動させる
ことにより前記永久磁石との磁気カップリングにより前
記マグネットスターラを回転させる駆動体と、この駆動
体に作動を指令することにより前記回転体の回転数及び
/又は回転方向を制御する制御回路(制御部)とで構成
する。ここで駆動体は駆動モータと、この駆動モータの
回転駆動力を回転体に伝達する伝達部材(例えば、プー
リ又はチェンベルト、組み合せギアなど)とで構成でき
る。制御回路は電子回路又はマイクロコンピュータで構
成でき、駆動モータが例えばステッピンモータの場合
は、駆動周波数の変更及び位相の反転によって回転数及
び回転方向を変えることができる。
られるが、特に測定部直前に設けられると、粒子密度が
より均一な状態で測定できるので好ましい。またチャン
バは試料導入流路に着脱可能に介接されるか、又は試料
導入流路と測定部との間に着脱可能に接続されると、チ
ャンバ及びその中に挿入される撹拌子のクリーニングを
容易に行なうことができる。
面に基づいて詳しく説明する。なお、これによってこの
発明が限定されるものではない。
て示すフロー式粒子測定装置Dの全体構成説明図であ
る。図1に示すように、このフロー式粒子測定装置Dは
主として、1本の試料吸引用ピペット1、洗浄液チャン
バ2、モータM1により駆動されるシリンジ3、撹拌部
4、測定部におけるフロー部を構成するフローセル5、
吸引チャンバ6、ピペット1〜撹拌部4〜吸引チャンバ
6を接続し、洗浄液チャンバ2から洗浄液の流入を受け
る吸引流路8、撹拌部4とフローセル5とを接続する導
入流路9、シリンジ3から吸引チャンバ6と撹拌部4と
の間の吸引流路8にシース液を押し込む押込流路7、導
入流路9から分岐する排液流路10、フローセル5から
の排液流路13、シース液チャンバ19、このシース液
チャンバからシース液恒温部22を介してフローセル5
に至るシース液供給流路20及びシース液恒温部22か
らシリンジ3に至るシース液分岐供給流路21を備えて
いる。
込流路7の押し込み点Aとの間に設けられた試料セン
サ、12は液体試料Sを収納する試料容器である。また
V1〜V9はいずれも流路開閉用バルブである。
図、図3は図2の撹拌部における回転体の斜視図であ
る。図1〜3、特に図2〜3において、撹拌部4は、フ
ローセル5の直前に設けられたガラス製撹拌チャンバ4
1と、この撹拌チャンバ内に回転可能に設けられた撹拌
子としてのマグネットスターラ42と、このマグネット
スターラを撹拌チャンバ41の外部から回転させ、それ
によって撹拌チャンバ41内を通る流体試料を撹拌させ
る駆動部43とからなる。
て、永久磁石44と、この永久磁石を固定し撹拌チャン
バ41の外側に回転可能に支持された回転体45と、こ
の回転体を回転駆動させる駆動体46と、回転体の回転
数及び/又は回転方向を制御する制御回路47(図1参
照)とからなる。そして駆動体46は駆動モータ(ステ
ッピングモータ)48とこの駆動モータの回転駆動力を
回転体45に伝達する伝達部材としてのゴムベルト49
とからなる。
その固定具Aに撹拌チャンバ41のフランジを挟持して
着脱可能に螺着された固定具B、52はこの固定具Bに
回転体45を回転可能に支持する軸受け(ベアリング)
である。マグネットスターラ42はテフロン樹脂製で内
部に永久磁石(図示省略)を内蔵している。なお、53
は撹拌チャンバ41のフランジと固定具A50との間に
介在されたOリング、54は流体試料流入用継手、55
は流体試料押込用継手である。
ズル25と、シース液供給流路20から延びる2つの第
1流路5a・5aと、第1流路5a・5aから供給され
たシース液を外層とする偏平な試料流を形成するための
偏平な第2流路5bとを備えている。
おいて、フローセル5の近傍には、第2流路5bに略垂
直なパルス光(周期:1/30秒)を照射するためのス
トロボ14と、このストロボ14からの照射光を収束す
るための対物レンズ群15と、この対物レンズ群15を
介して1/30秒ごとに試料中の粒子の静止画像を撮影
するためのビデオカメラ16とが配されている。図1に
おけるフローセル5の撮像領域5cはビデオカメラ16
による撮像の行われる領域である。
ージング、測定および洗浄の3つのステップに分けて説
明する。
用バルブV1およびV2を開、同じくV3〜V5、V8
及びV9を閉とし、試料吸引ピペット1を試料容器12
内の流体試料S中に浸し、吸引チャンバ6に陰圧をかけ
ることによって、流体試料Sを吸引流路8を介して吸引
する。そして流体試料Sが試料センサ11で検出された
段階で吸引を停止する。撹拌部4に気泡が混入してもチ
ャージング時に吸い出されるように試料センサ11の位
置は撹拌部4と充分な距離をおいて構成される。撹拌部
4が3ml容量でも流体試料Sは約5ml吸引される。
5、V7及びV8を開、V1、V2、V4及びV6を閉
とし、シリンジ3を一定量吐出作動させることによっ
て、撹拌部4に吸引された流体試料を一定量フローセル
5の試料吐出ノズル25から吐出する。この際後述する
ように常に撹拌部4の作動により流体試料を撹拌して粒
子密度を確実に均一にする。またシース液がシース液チ
ャンバ19からシース液恒温部22により37℃に温度
調整されて、シース液供給流路20を介して供給され、
フローセル5の第2流路5bにおいて、シース液を外層
とする偏平な試料流が形成される。
ボ14から第2流路5bに前記パルス光が照射され、対
物レンズ群15を介してビデオカメラ16により前記撮
像が約120秒間行われる。この撮像により得られた画
像信号はビデオカメラ16に接続された画像処理装置1
7で処理され、粒子像としてモニターテレビ18に表示
される。次いで、モニターテレビ18の粒子像に所定の
画像解析を行うことにより、粒子の大きさや形状などの
測定が行われる。なお、図4において19は各種の操作
などを行うためのキーボードまたはマウスである。フロ
ーセル5の第2流路5bを通った試料は、排液流路13
を経て排出される。
V1、V3及びV4を開、同じくV2、V5及びV8を
閉とし、洗浄液チャンバ2から洗浄液を撹拌部4及びフ
ローセル5に供給して洗浄し排液流路10・13から排
出する。
V8を開、同じくV9を閉とし、シース液チャンバ19
からシース液をシース液流路20を介してフローセル5
に供給して洗浄し排液流路13を介して排出する。一方
シース液分岐供給流路21からシース液をシリンジ3に
供給し、更にシリンジ3を介して押込流路7から撹拌部
4及びフローセル5へ供給して洗浄し、廃液流路10・
13から排出する。また試料吸引用ピペット1と吸引チ
ャンバ6との間の吸引流路8をシース液で洗浄する。以
上のごとく図1の液体系はシース液で満たされ、次のチ
ャージング及び測定の準備が行われる。
上述のごとく測定時に撹拌部4を作動させるので、流体
試料がチャージング時から測定時まで常に撹拌され、そ
れによって成分が沈降することなく測定部へ導入され
る。すなわち、回転体45が駆動モータ48によりベル
ト49を介して回転されると、回転体45に固定された
永久磁石44がそれに伴って回転し、それに対応して撹
拌チャンバ41内のマグネットスターラ42(永久磁石
内蔵)も永久磁石44との磁気カップリングにより回転
し、流体試料を密閉容器内で強制的に撹拌できる。従っ
て流体試料のより確実な粒子密度の均一化が図られ、粒
子測定の高い測定精度が得られる。
は、制御回路47を通じて駆動モータ48の回転数及び
回転方向を変えることにより制御(調整)できる。例え
ば図4におけるビデオカメラ16に接続された画像処理
装置17で流体試料中の粒子分布を解析し(画像処理
し)その結果に基づいて制御回路47を通じてマグネッ
トスターラ42による撹拌度を0〜3000rpmを3
0rpmきざみで制御する。もちろん、モニタテレビ1
8に表示させて、それを見ながら測定者が適宜駆動モー
タ48の回転数及び回転方向を変えてもよい。
ンバを設けると共に、このチャンバ内に撹拌子を挿入
し、その撹拌子を外部から回転又は振動させることによ
って、強制的に流体試料を撹拌し、それによって粒子密
度の均一化を確実に図り、粒子測定の測定精度を高めよ
うとするものであり、特にそのような流体試料の強制的
な撹拌を、撹拌子を挿入したチャンバの外部から非接触
に操作することによって回転軸などを試料導入流路に形
成することもなく可能にし、それによってシール(液密
性)上の問題を起こすことなく粒子測定の測定精度を高
めることができる。
実施の形態を示す全体構成説明図である。
部垂直断面図である。
部の構成説明図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 粒子測定を行なうための測定部と、粒子
成分を含有した流体試料を前記測定部に導入するための
試料導入流路と、この試料導入流路に設けられ、その試
料導入流路を通る流体試料を撹拌するための撹拌部とを
備え、 この撹拌部が、前記試料導入流路に設けられたチャンバ
と、このチャンバ内に回転又は振動可能に設けられた撹
拌子と、この撹拌子を前記チャンバの外部から回転又は
振動させることにより、前記チャンバを通る流体試料を
撹拌させる駆動部とからなるフロー式粒子測定装置。 - 【請求項2】 撹拌子がマグネットスターラからなり、
駆動部が永久磁石と、この永久磁石を固定しチャンバの
外側に回転可能に支持された回転体と、この回転体を回
転駆動させることにより前記永久磁石を介して前記マグ
ネットスターラを回転させる駆動体と、前記回転体の回
転数及び/又は回転方向を制御すべく前記駆動体に作動
を指令する制御回路とからなる請求項1のフロー式試料
測定装置。 - 【請求項3】 チャンバが、測定部直前の試料導入流路
に設けられた請求項1又は2のフロー式粒子測定装置。 - 【請求項4】 チャンバが、試料導入流路に着脱可能に
介接されたか、又は試料導入流路と測定部との間に着脱
可能に接続された請求項1又は2のフロー式粒子測定装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9298997A JPH11132931A (ja) | 1997-10-30 | 1997-10-30 | フロー式粒子測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9298997A JPH11132931A (ja) | 1997-10-30 | 1997-10-30 | フロー式粒子測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11132931A true JPH11132931A (ja) | 1999-05-21 |
Family
ID=17866903
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9298997A Pending JPH11132931A (ja) | 1997-10-30 | 1997-10-30 | フロー式粒子測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11132931A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008039405A (ja) * | 2006-08-01 | 2008-02-21 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 微粒子測定装置 |
JP2009512862A (ja) * | 2005-10-25 | 2009-03-26 | フリースケール セミコンダクター インコーポレイテッド | 半導体デバイス形成用スラリーの試験方法 |
-
1997
- 1997-10-30 JP JP9298997A patent/JPH11132931A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009512862A (ja) * | 2005-10-25 | 2009-03-26 | フリースケール セミコンダクター インコーポレイテッド | 半導体デバイス形成用スラリーの試験方法 |
JP2008039405A (ja) * | 2006-08-01 | 2008-02-21 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 微粒子測定装置 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060801 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061212 |