JPH11132149A - ダイアフラム破損検知装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ダイアフラムの破損を正確かつ的確に検知す
ることのできる装置の提供。 【解決手段】 ダイアフラムを複数の単位ダイアフラム
で形成し、単位ダイアフラムの縁辺間に挿入されるダイ
アフラム装着フランジに設けた導通孔に連通し、かつ加
圧室側及びポンプ室側に開口する導通路を設けてなるダ
イアフラム破損検知装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明はダイアフラム破損
検知装置に関し、さらに詳しくは、単位ダイアフラムを
重ね合わせてなるダイアフラムの破損を的確に検出する
ことのできるダイアフラム破損検知装置に関する。

【０００２】

【従来の技術と発明が解決しようとする課題】従来、ダ
イアフラムを用いた装置として、例えば油圧ダイアフラ
ムポンプがある。この油圧ダイアフラムポンプは、二つ
の流体室をダイアフラムで仕切り、一方の流体室には加
圧媒体たとえば加圧オイルをピストンで押圧・吸引する
ことによりダイアフラムを凹状の湾曲及び凸状の湾曲を
繰り返すことにより、他方の流体室の体積を増加・減少
させることができるようになっている。

【０００３】前記一方の流体室を加圧室と称する。また
前記他方の流体室はポンプ室と称する。

【０００４】このポンプ室には、逆止弁の装着された吸
引管と逆止弁の装着された吐出管とが装着されている。
前記ダイアフラムが加圧室に向けて凹状に湾曲すると、
ポンプ室の体積が増大することにより、吐出管における
逆止弁がポンプ室への流体の逆流を防止する一方、吸引
管から流体がポンプ室に流体が流入する。前記ダイアフ
ラムがポンプ室に向けて凸状に湾曲すると、ポンプ室の
体積が減少することにより、吸引管における逆止弁がポ
ンプ室から流体が逆流するのを防止する一方、流体がポ
ンプ室から吐出管へと流出していく。このようにして、
ダイアフラムが凹状湾曲及び凸状湾曲を交互に繰り返す
ことにより、吸引吐出作用が実現される。

【０００５】このダイアフラムは、通常、二枚の単位ダ
イアフラムが重ね合わされて、円盤状に形成されてい
る。円盤状に形成されたダイアフラムは、ポンプ室と加
圧室との間に設けられたフランジ状の取り付け部材に張
設される。

【０００６】この取り付け部材５０は、図３に示される
ように、二枚重ねのダイアフラム５１を張設するために
開口された円状の開口部を備えた環状体である。この環
状体の内周面には環状のフランジ５２が突出している。
このフランジ５２のポンプ室側の表面に一方の単位ダイ
アフラム５３Ａの縁辺表面を重ね、またこのフランジ５
２の加圧室側の表面に他方の単位ダイアフラム５３Ｂの
縁辺表面を重ね、図示しない固定部材で単位ダイアフラ
ム５３Ａ，Ｂの縁辺を固定することにより、単位ダイア
フラム５３Ａ，Ｂを２枚重ねしてなるダイアフラム５１
がこの取り付け部材５０に装着される。換言すると、重
ね合わされた単位ダイアフラム５３Ａ，Ｂの縁辺間に、
薄い円環状をした板状の前記フランジ５２が介装され
る。

【０００７】このフランジ５２には、図３に示されるよ
うに、半径方向に向かって形成された、そのフランジ５
２の内周面に開口する一端開口部を有し、かつ圧力計に
接続された配管に結合される他端開口部（図示せず。）
を備えた導圧細管５４が開設されている。

【０００８】単位ダイアフラム５３Ａ，Ｂの間隙、前記
導圧細管５４、その導圧細管５４から圧力計に至る管
路、及び前記単位ダイアフラム５３Ａ，Ｂの間隙と前記
導圧細管５４と前記管路との中に存在する圧力伝達媒体
を排出するために前記単位ダイアフラム５３Ａ，Ｂの間
隙に連通する排出管路（図示せず。）とに、圧力伝達媒
体たとえば圧力伝達油が充填されている。もっとも、重
ね合わせた単位ダイアフラム５３Ａ，Ｂの間隙に形成さ
れた毛細管のような間隙に、圧力伝達媒体が薄く存在し
ている。

【０００９】この圧力伝達媒体は次のように作用する。

【００１０】前記管路に特に設けた油注入孔から管路内
に圧力伝達媒体を注入する。このとき、排出管路を開放
状態にしておく。油注入孔から管路、導圧細管５４、単
位ダイアフラム５３Ａ，Ｂの間隙及び導出管路内に圧力
伝達油を充填した後に、導出管路を閉鎖する。注入され
た圧力伝達媒体中に紛れ込んだ気泡を除去するために、
導出管路を閉鎖状態にしてから、ダイアフラム５１の凹
状湾曲及び凸状湾曲を繰り返すことにより、圧力伝達媒
体中の気泡を外部に排出する。このように気泡を除いて
から、ダイアフラムポンプを駆動する。

【００１１】ダイアフラム５１の湾曲変形運動によっ
て、ポンプ室へ流体が吸引され、ポンプ室から流体が吐
出されると言うポンプ作用が、行われる。このポンプ作
用の過程において、何らかの原因で単位ダイアフラム５
３Ａ，Ｂが破損すると、ポンプ室あるいは加圧室内の流
体が単位ダイアフラム５３Ａ，Ｂの間隙に流入する。そ
して加圧室内の圧力あるいはポンプ室内の圧力が、単位
ダイアフラム５３Ａ，Ｂの間隙及び導圧細管５４内の圧
力伝達媒体を通じて圧力計で測定される。圧力計が異常
な値を示すときには、単位ダイアフラム５３Ａ，Ｂが破
損したものと判断されるので、そのときにはダイアフラ
ムポンプを停止して修理を行う。

【００１２】しかしながら、このような構造のダイアフ
ラム５１には、吐出圧力等の運転条件によっては、次の
ような問題点がある。

【００１３】フランジを挟んでいる二枚の単位ダイアフ
ラムはフランジの内周面近傍においてフランジに向かう
わずかの間隙Ｚを有し、フランジを挟んでいない単位ダ
イアフラム部分は毛細管程度の間隙を有して相互に接触
している。そうすると、単位ダイアフラム５３が湾曲変
形運動を繰り返す過程で、単位ダイアフラム５３Ａ，Ｂ
が変形し、図４に示すように、導圧細管５４の単位ダイ
アフラム５３Ａ，Ｂの間隙に向かう一端開口部が閉塞さ
れるという現象を起こすことがあり得る。

【００１４】導圧細管５４の一端開口部が単位ダイアフ
ラム５３Ａ又は単位ダイアフラムＢＢで閉塞されてしま
うと、単位ダイアフラム５３Ａ，Ｂの間隙に存在する圧
力伝達媒体が、導圧細管中の圧力伝達媒体と断絶してし
まうので、単位ダイアフラム５３Ａ，Ｂがたとえ破損し
たとしても、圧力計は検知することができなくなること
がある。

【００１５】又、更に、単位ダイアフラム５３Ａ，Ｂが
導圧細管５４の開口部にめり込む結果、長時間のダイア
フラムの湾曲変形運動が繰り替えされるうちに、いずれ
かあるいは両方の単位ダイアフラムが破損すると言う問
題もある。

【００１６】このような問題点を解消するために、次の
ような工夫がある。すなわち、フランジに設けられた導
圧細管の、単位ダイアフラムに向かって開口する一端開
口部の出口に織布を配置することである。織布を配置し
ておくと、たとえ単位ダイアフラムが前記一端開口部の
出口に覆い被さるように変形したとしても、単位ダイア
フラムの間隙に存在する織布によって単位ダイアフラム
の間隙に存在する圧力伝達媒体と導圧細管中に存在する
圧力伝達媒体とが常に連通状態になる。つまり、単位ダ
イアフラムの破損状況を圧力計で常に正確に監視するこ
とができる。

【００１７】しかしながら、導圧細管の一端開口部を織
布で覆っているので、導圧細管及び単位ダイアフラムの
間隙に改めて圧力伝達媒体を注入する場合、前記織布が
圧力伝達油注入の抵抗になってしまい、圧力伝達媒体の
注入を円滑に行うことができないので、単位ダイアフラ
ムの間隙に気体が残り、ポンプの吐出精度が低下すると
言う新たな問題が発生する。

【００１８】また、特開昭６０−１０５９３６号公報に
記載されたダイアフラム破損検知装置は、ダイアフラム
破損を検知する装置として非常にすぐれているのである
が、単位ダイアフラムの間隙に中間室を配置しているの
で、構造が複雑になるという問題を有している。

【００１９】特開昭６２−８２２８６号公報に記載され
たダイアフラムポンプも、ダイアフラムの破損を検知す
る装置として非常に優れているのであるが、特殊な導電
膜及び絶縁性隔膜を必要とし、これらを重畳しなければ
ならないので、やはり、構造が複雑であると言う問題を
内包している。

【００２０】特開平１−１５５０８２号公報に記載され
たダイアフラムの破損検知装置も、単位ダイアフラムの
間隙の圧力伝達油を取り出してその濁度を測定するの
で、発光手段及び受光手段の組み合わせが必要であり、
装置が複雑であるという問題を免れない。

【００２１】この発明は前記事情に基づいて完成され
た。この発明の目的は前記問題点を解消することにあ
る。この発明の目的は、特別な織布、特別な導電膜ある
いは絶縁性隔膜、特別な光電濁度計などを用いることな
く、簡単な構造のダイアフラム破損検知装置を提供する
ことにある。この発明の目的は、ダイアフラムの破損を
正確に検知することのできるダイアフラム破損検知装置
を提供することにある。この発明の目的は、簡単な加工
作業により容易に製造することのできる簡単な構造のダ
イアフラム検知装置を提供することにある。

【００２２】

【課題を解決するための手段】この発明の前記課題を解
決するための手段は、二つの流体室を液密に仕切り、一
方の流体室から他方の流体室に圧力伝達を行うように設
けられた、複数枚の単位ダイアフラムを重ね合わせてな
る円状のダイアフラムと、重ね合わされた前記単位ダイ
アフラムの縁辺に挟まれ、固定部材で単位ダイアフラム
それぞれの縁辺を固定し、固定部材で単位ダイアフラム
を固定した部分からダイアフラムの中心に向かって縮小
する断面形状を有し、内周面から切り込まれて単位ダイ
アフラムに面する切り込み開口部を有するスリットとそ
のスリットに連通するとともに単位ダイアフラム間に存
在する圧力伝達媒体を圧力計に導通する導通孔とを備え
てなる、環状のダイアフラム装着用フランジとを備えて
なることを特徴とするダイアフラム破損検知装置であ
る。

【００２３】この発明のダイアフラム破損検知装置にお
いては、ダイアフラム装着用フランジにダイアフラムが
装着される。このダイアフラムは一方の流体室と他方の
流体室とを区画するように配置されている。一方の流体
室が、例えばピストンにより圧入され、あるいは排出さ
れる加圧媒体を収容する部屋（チャンバーとも称され
る。）であるときには、その流体室は圧力室と称され
る。また他方の流体室が、前記圧力室における加圧媒体
によりダイアフラムが凸状あるいは凹状に湾曲すること
により、流体を吸引し、吐出する部屋であるときには、
その流体室は、ポンプ室と称される。

【００２４】この発明のダイアフラム破損検知装置にお
いては、内周面から切り込まれて単位ダイアフラムに面
する切り込み開口部を有するスリットは、ダイアフラム
装着用フランジの加圧室側面及びポンプ室側面の両方に
形成される。

【００２５】加圧室における加圧媒体の圧入により加圧
室内の圧力が高まると、ダイアフラムがポンプ室側に凸
状に湾曲する。このとき、ダイアフラム装着用フランジ
における加圧室側の表面に設けられた導通路（特に、加
圧室側導通路と称することがある。）は、加圧室側の単
位ダイアフラムにより閉塞されるが、ダイアフラム装着
用フランジにおけるポンプ室側の表面に設けられた導通
路（特に、吸引吐出側導通路と称することがある。）
は、ポンプ室側に位置する単位ダイアフラムにより完全
に閉塞されず、前記導通孔と単位ダイアフラム同士の間
隙とが導通状態になる。

【００２６】また、加圧室における加圧媒体が吸引され
ると、ダイアフラムが加圧室側に引っ張られて凹状に湾
曲する。このとき、ダイアフラム装着用フランジにおけ
るポンプ室側導通路は、ポンプ室側の単位ダイアフラム
により閉塞されるが、ダイアフラム装着用フランジにお
ける吸引吐出側導通路は、ポンプ室側単位ダイアフラム
により完全に閉塞されず、前記導通孔と単位ダイアフラ
ム同士の間隙とが導通状態になる。

【００２７】したがって、ダイアフラムが凸状及び凹状
に繰り返して湾曲する運動を繰り返す間中、終始、単位
ダイアフラム同士の間隙と導通孔とが連通状態になって
いる。

【００２８】もし、ダイアフラムにおける単位ダイアフ
ラムが破損して、加圧室側の加圧媒体が単位ダイアフラ
ムの間隙に流入することがあっても、あるいはポンプ室
側の流体が単位ダイアフラムの間隙に流入することがあ
っても、単位ダイアフラムの間隙に流入する加圧媒体ま
たは流体が導通孔を通じて圧力計にその圧力を伝達する
ので、圧力計の指示によりダイアフラムの破損を的確に
把握することができる。

【００２９】

【発明の実施の形態】この発明の一実施例について図面
を参照しながら説明する。

【００３０】図１は、この発明のダイアフラム破損検知
装置におけるダイアフラムをダイアフラム装着フランジ
に装着してなる縦断面部分図である。図２は、この発明
のダイアフラム破損検知装置におけるダイアフラム装着
フランジを示す正面部分図である。

【００３１】この発明の一実施例であるダイアフラム破
損検知装置１は、ダイアフラム２とダイアフラム装着用
フランジ３とを有する。また、このダイアフラム破損検
知装置１は、ダイアフラムポンプに適用される。

【００３２】ダイアフラム２は、複数の単位ダイアフラ
ム４同士、たとえば２枚の単位ダイアフラム４同士を重
ね合わせてなる。このダイアフラム２は二つの流体室
を、液密に仕切り、一方の流体室から他方の流体室に圧
力伝達を行うように設置される。

【００３３】二つの流体室の内、一方の流体室は、加圧
媒体たとえば加圧油が充填されていて、さらに加圧媒体
を圧入することによって、ダイアフラム２を他方の流体
室に向けて凸状に湾曲させ、加圧媒体を吸引することに
よって、この一方の流体室側に凹状に湾曲させることが
できるように形成される。この一方の流体室は加圧媒体
により加圧及び減圧されるので、加圧室５とも称され
る。加圧媒体の圧入及び吸引を実行する機構は、加圧媒
体によりこの加圧室５の加圧及び減圧を実現することが
できる限り様々の装置構成を採用することができ、たと
えば、ダイアフラムポンプなどの技術分野で従来から採
用されている機構を採用することができる。

【００３４】二つの流体室の内、他方の流体室は、ダイ
アフラム２の凸状の湾曲及び凹状の湾曲を交互に繰り返
すことにより、この流体室内から流体を吐出し（あるい
は排出し）、及びこの流体室内に流体を吸引することが
できるように構成される。よって、この他方の流体室
は、ポンプ室６と称される。

【００３５】このポンプ室６は、ダイアフラム２の凸状
湾曲及び凹状湾曲を交互に繰り返すことにより、ポンプ
室６内に流体を吸引し、またポンプ室６外に流体を吐出
することができるように構成される限り様々の装置構成
を取り得る。たとえば、このポンプ室６は、逆止弁付き
の吸引口及び逆止弁付きの吐出口を備えて形成されるこ
とができる。たとえばダイアフラム２がポンプ室６に対
して凹状に、換言すると加圧室５側に凸状に湾曲するこ
とにより、吐出口に設けられた逆止弁が吐出口を閉鎖状
態にし、かつ吸引口に設けられた逆止弁が吸引口を解放
状態にする。その結果、前記ダイアフラム２の凹状の湾
曲によって、吸引口からポンプ室６内に、流体が吸引さ
れる。またダイアフラム２がポンプ室６に対して凸状に
湾曲すると、吸引口側の逆止弁が吸引口側を閉鎖状態に
し、かつ吐出口に設けられた逆止弁が吐出口を解放状態
にする。その結果、前記ダイアフラム２の凸状の湾曲に
よって、吐出口からポンプ室６内の流体が吐出、排出さ
れる。

【００３６】このダイアフラム２は、口述するダイアフ
ラム装着用フランジ３に固定的に張設される。このダイ
アフラム２は、通常ダイアフラム装着用フランジ３の形
状に合わせて、その外形が設計される。多くの場合、ダ
イアフラム２は円形及び板状をなす。

【００３７】このダイアフラム２の材質は、このダイア
フラム２が接する液の種類に応じて適切な材料が選択さ
れる。耐薬品性、柔軟性等を保持するためには、ポリテ
トラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）テフロンがダイアフ
ラム２の好適な材料として選択される。もちろん、柔軟
で耐久性のある材質である限り様々の材料を選択するこ
とができ、たとえば、ゴムなどであっても良い。

【００３８】このダイアフラム２は、図１に示されるよ
うに、ダイアフラム装着用フランジ３に装着される。

【００３９】このダイアフラム装着用フランジ３は、二
つの流体室の間に配置され、円状の開口部を有する基部
７と、その基部７の内周面からさらに中心部に向かって
突出する環状の装着部８と、その装着部８からさらに中
心部に向かって突出するところの、断面が台形をなし、
平面が環状をなすフランジ部９とを備える。

【００４０】前記基部７は、二つの流体室を形成する流
体室本体の内壁であっても良いが、この実施例において
は、図１に示されるように、所定の厚みを備え、ポンプ
室６側の平面（ポンプ室側第１平面と称されることがあ
る。）と加圧室５側の平面（加圧室側第１平面と称され
ることがある。）とが平行に形成され、しかも正面から
見て（図１の右側すなわちポンプ室６側から見るこ
と）、円形状の開口部を有する。前記装着部８は、ポン
プ室６側の平面（ポンプ室側第２平面と称されることが
ある。）と加圧室５側の平面（加圧室側第２平面と称さ
れることがある。）とが平行になっていて、正面から見
て環状をなす。前記フランジ部９は、ポンプ室６側の平
面が加圧室５側に向かって傾斜する環状のテーパ面（第
１テーパ面１０と称することがある。）と加圧室５側の
平面がポンプ室６側に向かって傾斜する環状のテーパ面
（第２テーパ面１１と称することがある。）とを備え、
第１テーパ面１０及び第２テーパ面１１の下端は環状の
内周面に連続する。

【００４１】前記基部７及び装着部８の内部には、圧力
計に連続する配管を接続する接続出口を備え、ダイアフ
ラム装着用フランジ３の中心向かって延在する断面円形
の導通孔１２が形成される。この導通孔１２は、通常、
その１本が形成されている。もっとも、ダイアフラム２
の破損を的確に検知するために、複数の導通孔１２が開
設されていても良い。

【００４２】図２に示されるように、この実施例では、
この導通孔１２は、装着部８の下端すなわち装着部８の
フランジ部９に至る部位まで延在している。

【００４３】このフランジ部９には、前記第１テーパ面
１０から第２テーパ面１１に貫通し、フランジ部９の内
周面から導通孔１２にまで切り込まれたスリット１３が
形成される。このスリット１３は、第１テーパ面１０及
び第２テーパ面１１に、フランジ部９の内周面から溝状
に開口する導通路１４を有する。

【００４４】この導通路１４は、たとえばレーザ加工等
により簡単に形成することができる。

【００４５】このダイアフラム装着用フランジ３におけ
る加圧室側第２平面に向かって、第１固定部材１５が配
置されている。この第１固定部材１５と加圧室側第２平
面との間に、加圧室５側の単位ダイアフラム４の縁辺を
配置し、第１固定部材１５で締め付けることにより加圧
室５側の単位ダイアフラム４が張設、固定される。ま
た、ダイアフラム装着用フランジ３におけるポンプ室側
第２平面に向かって、第２固定部材１６が配置されてい
る。この第２固定部材１６とポンプ室側第２平面との間
に、ポンプ室６側の単位ダイアフラム４の縁辺を配置
し、第２固定部材１６で締め付けることによりポンプ室
６側の単位ダイアフラム４が張設、固定される。

【００４６】このダイアフラム装着用フランジ３には、
前記導通孔１２の外に、単位ダイアフラム４の間隙に圧
力伝達媒体を装填するのを容易にし、また単位ダイアフ
ラム４の間隙に存在する圧力伝達媒体の排出を容易にす
るために、圧力伝達媒体導出用の導通穴が形成される。
詳述すると、ダイアフラム装着用フランジ３における基
部７、装着部８及びフランジ部９を貫通する断面円形の
導通穴が開設される。前記基部７には前記導通穴を排出
管に接続するための接続開口部が設けられる。この接続
開口部には、排出管が装着され、排出管の途中に開閉弁
が取り付けられている。

【００４７】以上構成のダイアフラム２検知装置は次の
ような作用を有する。

【００４８】この実施例においては、ダイアフラム２は
２枚の単位ダイアフラム４を重畳して形成されていると
する。前述したように、加圧室５側の単位ダイアフラム
４はその縁辺を加圧室側第２平面と第１固定部材１５と
で挟持され、また、ポンプ室６側の単位ダイアフラム４
はその縁辺をポンプ室側第２平面と第２固定部材１６と
で挟持され、全体として、装着部８が、重ね合わされた
単位ダイアフラム４の縁辺間に挿入された状態になって
いる。

【００４９】装着部８に装着されたダイアフラム２にお
ける単位ダイアフラム４の間隙への圧力伝達媒体は次の
ようにして装填する。排出管における開閉弁を解放状態
にしたままで、圧力計に連通する配管に設けられた圧力
伝達媒体注入口から圧力伝達媒体を注入する。この配
管、前記導通孔１２、前記スリット１３、単位ダイアフ
ラム４の間隙、導通穴及び排出管に圧力伝達媒体を流通
させ、排出管の出口から圧力伝達媒体が硫化し始める
と、排出管における開閉弁を閉鎖する。注入する圧力伝
達媒体が注入口からあふれ始めたところで、圧力伝達媒
体の注入を停止する。

【００５０】加圧室５には加圧媒体が充填される。加圧
室５における加圧媒体の加圧及び減圧を行うことによ
り、ダイアフラム２を凹状及び凸状に湾曲させることに
より、配管、前記導通孔１２、前記スリット１３、単位
ダイアフラム４の間隙、導通穴及び排出管に充填されて
いる圧力伝達媒体中に存在する気泡を上昇させて、圧力
伝達媒体を注入する口あるいは適宜の気泡排出口から気
泡を排出する。

【００５１】このようにして、圧力伝達媒体を装填した
後に、このダイアフラム２を装填したダイアフラムポン
プを運転する。

【００５２】たとえば図示しないピストンにより加圧室
５内に加圧媒体を圧入すると、ダイアフラム２がポンプ
室６側に凸状に湾曲する。このとき、加圧室５側の単位
ダイアフラム４がポンプ室６側に凸状に湾曲することに
より、フランジ部９における第２テーパ面１１（加圧室
５側の斜行面）に設けられたスリット１３の開口部が加
圧室５側の単位ダイアフラム４により閉塞されてしまう
が、ポンプ室６側の単位ダイアフラム４もポンプ室６側
に凸状に湾曲することにより、第１テーパ面１０に設け
られたスリット１３の開口部とポンプ室６側の単位ダイ
アフラム４とがわずかの間隙を有して、前記スリット１
３の開口部が閉塞されずにいる。

【００５３】したがって、加圧室５内に加圧媒体を圧入
しても、単位ダイアフラム４の間隙に存在する圧力伝達
媒体は、第１テーパ面１０に設けられたスリット１３の
開口部を通じて、導通孔１２内の圧力伝達媒体と遮断さ
れず、連通状態になっている。

【００５４】加圧室５内の加圧媒体を吸引することによ
り加圧室５内の圧力を減少させると、ダイアフラム２が
加圧室５側に凸状に湾曲する。このとき、ポンプ室６側
の単位ダイアフラム４が加圧室５側に凸状に湾曲するこ
とにより、フランジ部９における第１テーパ面１０（ポ
ンプ室６側の斜行面）に設けられたスリット１３の開口
部がポンプ室６側の単位ダイアフラム４により閉塞され
てしまうが、加圧室５側の単位ダイアフラム４も加圧室
５側に凸状に湾曲することにより、第２テーパ面１１に
設けられたスリット１３の開口部と加圧室５側の単位ダ
イアフラム４とがわずかの間隙を有し、前記スリット１
３の開口部が閉塞されずにいる。したがって、加圧室５
内を減圧にしても、単位ダイアフラム４の間隙の間隙に
存在する圧力伝達媒体は、第２テーパ面１１に設けられ
たスリット１３の開口部を通じて、導通孔１２内の圧力
伝達媒体と遮断されず、連通状態になっている。

【００５５】以上構成のダイアフラム破損検知装置１に
おいては、単位ダイアフラム４を重ね合わせてなるダイ
アフラム２を採用し、そのダイアフラム２をダイアフラ
ム装着用フランジ３におけるフランジ部９にスリット１
３もしくは導通路１４を設けているので、ダイアフラム
２の湾曲運動中、導通孔１２が単位ダイアフラム４によ
り閉塞されることがない。したがって、万一単位ダイア
フラム４のいずれかあるいは両方が破損されることによ
って、加圧室５内の加圧媒体及びポンプ室６内の流体が
単位ダイアフラム４の間隙に流入すると、導通孔１２内
の圧力伝達媒体を通じて圧力計が直ちに圧力上昇を指示
する。これによって、ダイアフラム２の破損を直ちに検
出することができる。

【００５６】ここで、スリット１３を形成することのメ
リットを強調しておく。すなわち、このような細幅のス
リットは、レーザーカッター、ワイヤーカッター等で容
易に形成することができる。スリットに代わる手段とし
て、第１テーパ面１０に細穴を形成することも考えられ
るのであるが、細穴は、放電加工等により形成すること
ができるとはいうものの、１ｍｍ以下の細穴を形成する
ことは放電加工では現実的には無理である。けだし、放
電加工機が高価であり、しかも時間がかかるから、工業
的な採算に合わないからである。また、第１テーパ面１
０に細穴を設けても作動流体例えば作動油の流通に際し
て大きな抵抗を生じるという点からしても、細穴は不利
であり、スリットに勝るものはない。

【００５７】以上構成の実施例はこの発明の一実施例で
あって、この発明は前記実施例に限定されるものではな
い。

【００５８】

【発明の効果】この発明によると、ダイヤラムの湾曲動
作によっても、また湾曲動作の繰り返しによっても、ダ
イアフラムの破損状況を的確に、正確に、かつ経年変化
による信頼性の低下なく、検出することができるダイア
フラム破損検知装置を提供することができる。

【００５９】特にこの発明においては、導通路がダイア
フラム装着用フランジにレーザ加工等の簡単な加工によ
り形成されるので、簡単な構造で、容易に製造可能なダ
イアフラム破損検知装置が提供される。

【００６０】なによりも、この発明にかかるダイアフラ
ム破損検知装置は、構造が簡単である。

【００６１】この発明のダイアフラム破損検知装置は、
特にダイアフラムポンプに適用することができ、信頼性
の高いダイアフラムポンプの提供に資する。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、この発明のダイアフラム破損検知装置
におけるダイアフラムをダイアフラム装着フランジに装
着してなる縦断面部分図である。

【図２】図２は、この発明のダイアフラム破損検知装置
におけるダイアフラム装着フランジを示す正面部分図で
ある。

【図３】図３は、従来のダイアフラム破損検知装置の一
例を示す一部縦断面図である。

【図４】図４は、図３に示されるダイアフラム破損検知
装置の問題点を示す一部縦断面図である。

【符号の説明】

１・・・ダイアフラム破損検知装置、２・・・ダイアフ
ラム、３・・・ダイアフラム装着用フランジ、４・・・
単位ダイアフラム、５・・・加圧室、６・・・ポンプ
室、７・・・基部、８・・・装着部、９・・・フランジ
部、１０・・・第１テーパ面、１１・・・第２テーパ
面、１２・・・導通孔、１３・・・スリット、１４・・
・導通路、１５・・・第１固定部材、１６・・・第２固
定部材。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 二つの流体室を液密に仕切り、一方の流
   体室から他方の流体室に圧力伝達を行うように設けられ
   た、複数枚の単位ダイアフラムを重ね合わせてなる円状
   のダイアフラムと、 重ね合わされた前記単位ダイアフラムの縁辺に挟まれ、
   固定部材で単位ダイアフラムそれぞれの縁辺を固定し、
   固定部材で単位ダイアフラムを固定した部分からダイア
   フラムの中心に向かって縮小する断面形状を有し、内周
   面から切り込まれて単位ダイアフラムに面する切り込み
   開口部を有するスリットとそのスリットに連通するとと
   もに単位ダイアフラム間に存在する圧力伝達媒体を圧力
   計に導通する導通孔とを備えてなる、環状のダイアフラ
   ム装着用フランジとを備えてなることを特徴とするダイ
   アフラム破損検知装置。