JPH11131216A - 被覆硬質工具 - Google Patents
被覆硬質工具Info
- Publication number
- JPH11131216A JPH11131216A JP31281797A JP31281797A JPH11131216A JP H11131216 A JPH11131216 A JP H11131216A JP 31281797 A JP31281797 A JP 31281797A JP 31281797 A JP31281797 A JP 31281797A JP H11131216 A JPH11131216 A JP H11131216A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- cutting
- coating
- tial
- adhesion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｔｉ、Ａｌ及び第三成分からなる化合物を被
覆した工具において、皮膜の密着性を改善し、かつ、耐
酸化性の向上を計った工具を提供することを目的とす
る。 【解決手段】 Ｔｉ、Ａｌ及び第三成分からなる化合物
を被覆した工具において、該ＴｉＡｌ及び第三成分の化
合物皮膜のＸ線回折における（２００）面の回折強度を
Ｉ（２００）、（１１１）面の回折強度をＩ（１１１）
とした場合にＩ（２００）／Ｉ（１１１）の比が２以下
であり、第三成分はＳｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｙ、Ｎｂ、Ｎ
ｄ、Ｃｒの１種もしくは２種以上であり、かつ基体と該
ＴｉＡｌと第三成分の化合物皮膜の間に２ｎｍから１０
００ｎｍの厚さを有するＴｉ、ＴｉＡｌ若しくはＴｉＡ
ｌと第三成分よりなる金属合金層を介在させる。
覆した工具において、皮膜の密着性を改善し、かつ、耐
酸化性の向上を計った工具を提供することを目的とす
る。 【解決手段】 Ｔｉ、Ａｌ及び第三成分からなる化合物
を被覆した工具において、該ＴｉＡｌ及び第三成分の化
合物皮膜のＸ線回折における（２００）面の回折強度を
Ｉ（２００）、（１１１）面の回折強度をＩ（１１１）
とした場合にＩ（２００）／Ｉ（１１１）の比が２以下
であり、第三成分はＳｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｙ、Ｎｂ、Ｎ
ｄ、Ｃｒの１種もしくは２種以上であり、かつ基体と該
ＴｉＡｌと第三成分の化合物皮膜の間に２ｎｍから１０
００ｎｍの厚さを有するＴｉ、ＴｉＡｌ若しくはＴｉＡ
ｌと第三成分よりなる金属合金層を介在させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本願発明は、皮膜の密着性に
優れ、その結果、優れた耐摩耗性を有する被覆硬質合金
に関する。
優れ、その結果、優れた耐摩耗性を有する被覆硬質合金
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＴｉＮ、ＴｉＣＮ等の皮膜が汎用
的、かつ、一般的であったが、近年、ＴｉにＡｌを含有
させ、耐摩耗性・耐酸化性を向上させる研究がなされ、
特開平８−２６７３０６号公報には、Ａｌの添加効果を
認める事例も種々存在する。しかしながら、これらの事
例は皮膜にＡｌを添加することにより、皮膜の耐酸化
性、耐摩耗性といった皮膜そのものの改善が行われたに
すぎない。また、ＴｉＡｌＮ皮膜の密着性を改善する方
法として、同号公報にみられるように、ＴｉＮ皮膜を下
地に用いることも提案されているが、十分な密着性を得
るには至っていないのが現状である。
的、かつ、一般的であったが、近年、ＴｉにＡｌを含有
させ、耐摩耗性・耐酸化性を向上させる研究がなされ、
特開平８−２６７３０６号公報には、Ａｌの添加効果を
認める事例も種々存在する。しかしながら、これらの事
例は皮膜にＡｌを添加することにより、皮膜の耐酸化
性、耐摩耗性といった皮膜そのものの改善が行われたに
すぎない。また、ＴｉＡｌＮ皮膜の密着性を改善する方
法として、同号公報にみられるように、ＴｉＮ皮膜を下
地に用いることも提案されているが、十分な密着性を得
るには至っていないのが現状である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】最近では、切削を高能
率化する傾向が強く、切削速度ならびに切削送りは増加
する傾向にある。このような場合工具寿命を支配する因
子としては、皮膜の耐摩耗性、耐酸化性よりも皮膜の密
着性が極めて重要なものとなる。前記Ａｌを添加した皮
膜は一般に残留圧縮応力が高く、その結果皮膜の密着性
が十分満足されるものでなく、この様な高能率な切削加
工においては、しばしば皮膜が剥離し工具の寿命、信頼
性を損なう結果となっている。さらに、高速切削におい
てはさらに皮膜の耐酸化性を向上せしめる必要があるが
いまだ十分な効果は認められていない。従って、この様
な高能率切削においても、長寿命でかつ安定した切削を
実現するためには、皮膜の密着性をさらに高める必要が
ある。一方、密着性を向上させるために、密着性を劣化
させる根本原因である皮膜の残留圧縮応力そのものを低
減させる研究もなされてはいるが、いまだ十分な効果を
みるに至っていないのが現状である。
率化する傾向が強く、切削速度ならびに切削送りは増加
する傾向にある。このような場合工具寿命を支配する因
子としては、皮膜の耐摩耗性、耐酸化性よりも皮膜の密
着性が極めて重要なものとなる。前記Ａｌを添加した皮
膜は一般に残留圧縮応力が高く、その結果皮膜の密着性
が十分満足されるものでなく、この様な高能率な切削加
工においては、しばしば皮膜が剥離し工具の寿命、信頼
性を損なう結果となっている。さらに、高速切削におい
てはさらに皮膜の耐酸化性を向上せしめる必要があるが
いまだ十分な効果は認められていない。従って、この様
な高能率切削においても、長寿命でかつ安定した切削を
実現するためには、皮膜の密着性をさらに高める必要が
ある。一方、密着性を向上させるために、密着性を劣化
させる根本原因である皮膜の残留圧縮応力そのものを低
減させる研究もなされてはいるが、いまだ十分な効果を
みるに至っていないのが現状である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者らは皮膜の密着
性を改善すべく鋭意研究を重ねた結果、Ａｌを含有する
高い圧縮応力を有する硬質皮膜の下に軟らかい金属の皮
膜を介在させることにより、Ａｌを含有する硬質皮膜の
高い圧縮応力は吸収緩和され、結果硬質皮膜の密着性を
著しく改善できる知見を得るに至った。耐酸化性の向上
に対しては第三成分を添加することが有効である。
性を改善すべく鋭意研究を重ねた結果、Ａｌを含有する
高い圧縮応力を有する硬質皮膜の下に軟らかい金属の皮
膜を介在させることにより、Ａｌを含有する硬質皮膜の
高い圧縮応力は吸収緩和され、結果硬質皮膜の密着性を
著しく改善できる知見を得るに至った。耐酸化性の向上
に対しては第三成分を添加することが有効である。
【０００５】皮膜に高い圧縮応力が存在する場合には、
皮膜と基体硬質合金の界面にこの圧縮応力に起因する高
い剪断応力が作用し、この剪断応力が皮膜の密着性を損
なう要因であり、これを緩和、もしくは除去することが
皮膜の密着性を向上させる結果となることを示唆するも
のである。つまり、高い圧縮応力を有する皮膜と基体硬
質合金の間に比較的軟らかい層を介在させることによ
り、この比較的軟らかい皮膜が高い圧縮応力に起因して
界面に発生する剪断応力を吸収、緩和したものと考えら
れる。また、前述したように、Ｔｉの窒化物等を介在さ
せる事例もあるが、本発明者らの研究によれば、Ｔｉの
金属層を用いた場合、より応力の緩和に対して効果的で
ある。金属層は吸収エネルギーが高くまたヤング率が低
いため転位が移動し易く皮膜の応力緩和に対しより効果
的を発揮するものと考えられる。一方、Ａｌを含有させ
たＴｉの窒化物等を用いた方が密着性の向上に対しては
より優れた効果を発揮することが認められた。これは、
基体硬質合金の表面に空気中に置いておいたときに必ず
形成される僅かな酸化層が存在すると皮膜の密着性は著
しく劣化するが、下地として形成される皮膜中にＡｌが
少量存在することによりコーティング開始時に、この酸
化層を還元するテルミット反応が起き酸化層を除去し皮
膜の密着性を著しく改善する結果をもたらす。これはＡ
ｌの酸化物は生成自由エネルギーが低く極めて形成され
やすいため基体表面の酸化層の酸素とＡｌのイオンが反
応して皮膜内に酸化物を形成し、基体表面の酸化層を除
去する原理に基ずくものである。
皮膜と基体硬質合金の界面にこの圧縮応力に起因する高
い剪断応力が作用し、この剪断応力が皮膜の密着性を損
なう要因であり、これを緩和、もしくは除去することが
皮膜の密着性を向上させる結果となることを示唆するも
のである。つまり、高い圧縮応力を有する皮膜と基体硬
質合金の間に比較的軟らかい層を介在させることによ
り、この比較的軟らかい皮膜が高い圧縮応力に起因して
界面に発生する剪断応力を吸収、緩和したものと考えら
れる。また、前述したように、Ｔｉの窒化物等を介在さ
せる事例もあるが、本発明者らの研究によれば、Ｔｉの
金属層を用いた場合、より応力の緩和に対して効果的で
ある。金属層は吸収エネルギーが高くまたヤング率が低
いため転位が移動し易く皮膜の応力緩和に対しより効果
的を発揮するものと考えられる。一方、Ａｌを含有させ
たＴｉの窒化物等を用いた方が密着性の向上に対しては
より優れた効果を発揮することが認められた。これは、
基体硬質合金の表面に空気中に置いておいたときに必ず
形成される僅かな酸化層が存在すると皮膜の密着性は著
しく劣化するが、下地として形成される皮膜中にＡｌが
少量存在することによりコーティング開始時に、この酸
化層を還元するテルミット反応が起き酸化層を除去し皮
膜の密着性を著しく改善する結果をもたらす。これはＡ
ｌの酸化物は生成自由エネルギーが低く極めて形成され
やすいため基体表面の酸化層の酸素とＡｌのイオンが反
応して皮膜内に酸化物を形成し、基体表面の酸化層を除
去する原理に基ずくものである。
【０００６】皮膜そのものの残留圧縮応力はコーティン
グ条件に強く依存する。一般にイオンのエネルギーが低
い条件下のコーティングにおいては、皮膜の残留圧縮応
力は低い結果となり、反対にイオンのエネルギーが高い
条件下のコーティングにおいては、皮膜の残留圧縮応力
は高くなる。イオンのエネルギーを決定するのは主に基
体に付与するバイアス電圧と真空度である。本発明者ら
の研究によれば皮膜は残留応力が高い場合には皮膜の硬
さが高くまたＸ線回折において皮膜は（１１１）に配向
する傾向にある。近年、超硬合金エンドミルは高硬度材
を高速で切削する場合に用いられる傾向にあり、このよ
うな切削においては、刃先が高温になるため、より一層
の耐摩耗性が要求され、皮膜の硬度は高くなければなら
ない。また酸化が発生するため、このような切削条件下
では、より一層皮膜の耐酸化性が要求される。
グ条件に強く依存する。一般にイオンのエネルギーが低
い条件下のコーティングにおいては、皮膜の残留圧縮応
力は低い結果となり、反対にイオンのエネルギーが高い
条件下のコーティングにおいては、皮膜の残留圧縮応力
は高くなる。イオンのエネルギーを決定するのは主に基
体に付与するバイアス電圧と真空度である。本発明者ら
の研究によれば皮膜は残留応力が高い場合には皮膜の硬
さが高くまたＸ線回折において皮膜は（１１１）に配向
する傾向にある。近年、超硬合金エンドミルは高硬度材
を高速で切削する場合に用いられる傾向にあり、このよ
うな切削においては、刃先が高温になるため、より一層
の耐摩耗性が要求され、皮膜の硬度は高くなければなら
ない。また酸化が発生するため、このような切削条件下
では、より一層皮膜の耐酸化性が要求される。
【０００７】耐酸化性の改善に対し本発明者は種々の第
三成分の添加を試みた結果Ｓｉ、Ｈｆ、Ｙ、Ｚｒ、Ｃ
ｒ、Ｎｂ、Ｎｄにおいてこれら第三成分はＴｉＡｌＮの
皮膜の結晶粒界に偏析し粒界での酸素の拡散を抑制する
ことが明らかになり、皮膜の耐酸化性が著しく向上する
結果となった。
三成分の添加を試みた結果Ｓｉ、Ｈｆ、Ｙ、Ｚｒ、Ｃ
ｒ、Ｎｂ、Ｎｄにおいてこれら第三成分はＴｉＡｌＮの
皮膜の結晶粒界に偏析し粒界での酸素の拡散を抑制する
ことが明らかになり、皮膜の耐酸化性が著しく向上する
結果となった。
【０００８】次に数値を限定した理由を述べる。硬質層
においては、Ａｌの含有率は５％を下まわると、Ａｌの
添加効果が認められず皮膜の耐摩耗性並びに耐酸化性は
向上せず、７５％を越えて含有させるとＡｌＮとしての
特性に近ずき硬さが低下し皮膜の耐摩耗性を損なう結果
となるため、Ｔｉ／Ａｌ比は９５／５から２５／７５と
した。Ｉ（２００）／Ｉ（１１１）の比は２以上の場合
は皮膜は残留圧縮応力が低く、硬度がビッカース硬度で
３０００を下まわり、刃先が高温になる高硬度材の切削
においては、十分な耐摩耗性を発揮できないため、２以
下とした。また、この介在させる金属層の厚さは２ｎｍ
以下であると応力緩和つまり皮膜の密着性の改善に効果
がなく、１０００ｎｍを越えると金属層内ですべりが発
生し皮膜が容易に剥離する結果となるため、２ｎｍから
１０００ｎｍとした。
においては、Ａｌの含有率は５％を下まわると、Ａｌの
添加効果が認められず皮膜の耐摩耗性並びに耐酸化性は
向上せず、７５％を越えて含有させるとＡｌＮとしての
特性に近ずき硬さが低下し皮膜の耐摩耗性を損なう結果
となるため、Ｔｉ／Ａｌ比は９５／５から２５／７５と
した。Ｉ（２００）／Ｉ（１１１）の比は２以上の場合
は皮膜は残留圧縮応力が低く、硬度がビッカース硬度で
３０００を下まわり、刃先が高温になる高硬度材の切削
においては、十分な耐摩耗性を発揮できないため、２以
下とした。また、この介在させる金属層の厚さは２ｎｍ
以下であると応力緩和つまり皮膜の密着性の改善に効果
がなく、１０００ｎｍを越えると金属層内ですべりが発
生し皮膜が容易に剥離する結果となるため、２ｎｍから
１０００ｎｍとした。
【０００９】
【実施例】以下、実施例に基づいて本発明を説明する。
超硬合金製のエンドミルを用いて、小型アークイオンプ
レーティング装置を用い表１に示す条件において、本発
明例のコーティングは３元系の金属ターゲット（金属元
素はＴｉ、Ａｌに加え、Ｓｉ、Ｈｆ、Ｙ、Ｎｂ、Ｎｄ、
Ｚｒの元素を添加して製作したターゲットを用いた。）
を使用して本発明例１〜８を製作した。比較例９〜１２
はＴｉ又はＴｉＡｌのターゲットを用いてコーティング
を行い被覆超硬合金製のエンドミルを製作した。また、
合金金属層のコーティングにおいては、窒素ガスの導入
を止めて行った。
超硬合金製のエンドミルを用いて、小型アークイオンプ
レーティング装置を用い表１に示す条件において、本発
明例のコーティングは３元系の金属ターゲット（金属元
素はＴｉ、Ａｌに加え、Ｓｉ、Ｈｆ、Ｙ、Ｎｂ、Ｎｄ、
Ｚｒの元素を添加して製作したターゲットを用いた。）
を使用して本発明例１〜８を製作した。比較例９〜１２
はＴｉ又はＴｉＡｌのターゲットを用いてコーティング
を行い被覆超硬合金製のエンドミルを製作した。また、
合金金属層のコーティングにおいては、窒素ガスの導入
を止めて行った。
【００１０】
【表１】
【００１１】得られたエンドミルで次の切削条件にて切
削テストを行い、折損するまで切削を行った。折損が発
生した時点の切削長を表１に併記した。 エンドミル φ８ｍｍ ６枚刃 被削材 ＳＫＤ１１ ＨＲＣ ６０ 切削速度 ２０ｍ／ｍｉｎ 送り ０．０６ｍｍ／刃 切り込み １２ｍｍ ｘ ０．８ｍｍ 切削方式 乾式切削（Ｄｒｙ）
削テストを行い、折損するまで切削を行った。折損が発
生した時点の切削長を表１に併記した。 エンドミル φ８ｍｍ ６枚刃 被削材 ＳＫＤ１１ ＨＲＣ ６０ 切削速度 ２０ｍ／ｍｉｎ 送り ０．０６ｍｍ／刃 切り込み １２ｍｍ ｘ ０．８ｍｍ 切削方式 乾式切削（Ｄｒｙ）
【００１２】表１より明らかなように、本発明例１〜８
では、金属層又は合金金属層を介在させているため皮膜
が良く密着しているため高硬度材の切削でも皮膜の剥離
が少なく、長い距離切削ができ、また皮膜を（２００）
に配向させているため耐摩耗性も十分で安定な切削が実
現出来た。また第三元素を添加することにより耐酸化性
を向上させしめたのでより耐摩耗性を向上させることが
出来たものである。
では、金属層又は合金金属層を介在させているため皮膜
が良く密着しているため高硬度材の切削でも皮膜の剥離
が少なく、長い距離切削ができ、また皮膜を（２００）
に配向させているため耐摩耗性も十分で安定な切削が実
現出来た。また第三元素を添加することにより耐酸化性
を向上させしめたのでより耐摩耗性を向上させることが
出来たものである。
【００１３】次に、表２に示すコーテュング条件で超硬
合金製エンドミルに本発明例１３〜２０と比較例２１〜
２４のコーティングを行い、以下の切削諸元にて切削を
行い５０ｍ切削後の摩耗量を求めた。本実施例では皮膜
の厚さを２．０μｍに統一した。 エンドミル ２枚刃 Φ１０ｍｍ 被削材 Ｓ５０Ｃ ＨＲＣ１２ 切削速度 １００ｍ／ｍｉｎ 送り ０．１ｍｍ／刃 切り込み １０ｍｍｘ１ｍｍ 切削方式 乾式（Ｄｒｙ）切削 表２に摩耗量を併記する。
合金製エンドミルに本発明例１３〜２０と比較例２１〜
２４のコーティングを行い、以下の切削諸元にて切削を
行い５０ｍ切削後の摩耗量を求めた。本実施例では皮膜
の厚さを２．０μｍに統一した。 エンドミル ２枚刃 Φ１０ｍｍ 被削材 Ｓ５０Ｃ ＨＲＣ１２ 切削速度 １００ｍ／ｍｉｎ 送り ０．１ｍｍ／刃 切り込み １０ｍｍｘ１ｍｍ 切削方式 乾式（Ｄｒｙ）切削 表２に摩耗量を併記する。
【００１４】
【表２】
【００１５】表２より明らかなように、金属層又は合金
金属層を介在させ、かつ、皮膜が（２００）に配向して
いる本発明例では、被覆エンドミルは皮膜の密着性が良
好で高速高送りでも極めて安定した切削を実現するもの
である。また、高速高送りでは刃先温度が高くなる傾向
にあり、耐酸化性の効果が発揮され、長寿命な皮膜が得
られた。
金属層を介在させ、かつ、皮膜が（２００）に配向して
いる本発明例では、被覆エンドミルは皮膜の密着性が良
好で高速高送りでも極めて安定した切削を実現するもの
である。また、高速高送りでは刃先温度が高くなる傾向
にあり、耐酸化性の効果が発揮され、長寿命な皮膜が得
られた。
【００１６】更に、表３に示すコーティング条件にて超
硬合金製ドリル（刃径Φ６ｍｍ）に本発明例２５〜２
９、並びに比較例３１〜３２に示すコーティングを行
い、以下に示した切削諸元により試験を行った。 被削材 ＳＣＭ４４０ 切削速度 ７０ｍ／ｍｉｎ 送り ０．１ｍｍ／ｒｅｖ 穴深さ １５ｍｍ 切削方式 湿式（Ｗｅｔ） 本実施例においても、皮膜の膜厚は３．０μとした。 表３に３０００穴加工後の刃先の摩耗量を併記する。
硬合金製ドリル（刃径Φ６ｍｍ）に本発明例２５〜２
９、並びに比較例３１〜３２に示すコーティングを行
い、以下に示した切削諸元により試験を行った。 被削材 ＳＣＭ４４０ 切削速度 ７０ｍ／ｍｉｎ 送り ０．１ｍｍ／ｒｅｖ 穴深さ １５ｍｍ 切削方式 湿式（Ｗｅｔ） 本実施例においても、皮膜の膜厚は３．０μとした。 表３に３０００穴加工後の刃先の摩耗量を併記する。
【００１７】
【表３】
【００１８】表３より明らかなように、ドリルのように
連続的な切削を含む工具では、金属層又は合金金属層を
介在させて良く密着し、耐摩耗性を有すると共に耐酸化
性に優れる元素を添加したものがより有効であった。
連続的な切削を含む工具では、金属層又は合金金属層を
介在させて良く密着し、耐摩耗性を有すると共に耐酸化
性に優れる元素を添加したものがより有効であった。
【００１９】次に、切削では耐酸化性が相乗効果的にし
か表せないため、各種第三成分の添加効果を、第三成分
を含む皮膜を先の実施例同様にコーティングし、９００
℃、大気中で１時間酸化させた。その時に形成した酸化
層の厚さを断面観察にて測定した。その結果を表４に示
す。
か表せないため、各種第三成分の添加効果を、第三成分
を含む皮膜を先の実施例同様にコーティングし、９００
℃、大気中で１時間酸化させた。その時に形成した酸化
層の厚さを断面観察にて測定した。その結果を表４に示
す。
【００２０】
【表４】
【００２１】耐酸化性は、その目安として表面から酸化
される厚さで現した。酸化が膜の内部まで進行すると酸
化により体積膨張が生じ膜は剥がれるか、切削により持
ち去られてしまう。そのため酸化を表面近傍のみに食い
止められれば表面は酸化物となるが内部は緻密な膜が維
持されているため、工具としては十分な機能を有するも
のとなる。特に、Ｙ、Ｓｉ、Ｎｂでその効果が顕著であ
った。
される厚さで現した。酸化が膜の内部まで進行すると酸
化により体積膨張が生じ膜は剥がれるか、切削により持
ち去られてしまう。そのため酸化を表面近傍のみに食い
止められれば表面は酸化物となるが内部は緻密な膜が維
持されているため、工具としては十分な機能を有するも
のとなる。特に、Ｙ、Ｓｉ、Ｎｂでその効果が顕著であ
った。
【００２２】
【発明の効果】上記説明したように、皮膜の密着性を基
体−皮膜間に金属又は合金金属層を設け、皮膜に残留す
る応力を低減することにより、フライス切削、エンドミ
ル、ドリル等で作用する食い付き時の衝撃にも十分な密
着性を保つことができ、皮膜本来の耐摩耗性を発揮する
ことができ、また、その皮膜は配向性をＩ（２００）／
Ｉ（１１１）比を２以下に制御し、それに第三成分を添
加することにより、衝撃に耐え、こすり摩耗に優れた耐
摩耗性を発揮するとともに耐酸化性に優れた皮膜とする
ことができた。
体−皮膜間に金属又は合金金属層を設け、皮膜に残留す
る応力を低減することにより、フライス切削、エンドミ
ル、ドリル等で作用する食い付き時の衝撃にも十分な密
着性を保つことができ、皮膜本来の耐摩耗性を発揮する
ことができ、また、その皮膜は配向性をＩ（２００）／
Ｉ（１１１）比を２以下に制御し、それに第三成分を添
加することにより、衝撃に耐え、こすり摩耗に優れた耐
摩耗性を発揮するとともに耐酸化性に優れた皮膜とする
ことができた。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 島 順彦 千葉県成田市新泉13番地の２ 日立ツール 株式会社成田工場内
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｔｉ／Ａｌの原子比率が９５／５から２
５／７５のＴｉとＡｌ及び第三成分からなる窒化物、炭
窒化物、炭窒酸化物、窒硼化物、炭窒硼化物の単層もし
くは二種以上を多層に被覆した被覆硬質工具において、
該ＴｉＡｌ及び第三成分の化合物皮膜のＸ線回折におけ
る（２００）面の回折強度をＩ（２００）、（１１１）
面の回折強度をＩ（１１１）とした場合にＩ（２００）
／Ｉ（１１１）の比が２以下であり、第三成分はＳｉ、
Ｚｒ、Ｈｆ、Ｙ、Ｎｂ、Ｎｄ、Ｃｒの１種もしくは２種
以上であり、かつ基体と該ＴｉＡｌと第三成分の化合物
皮膜の間に２ｎｍから１０００ｎｍの厚さを有するＴ
ｉ、ＴｉＡｌ若しくはＴｉＡｌと第三成分よりなる金属
合金層を介在させたことを特徴とする被覆硬質工具。 - 【請求項２】 請求項１記載の被覆硬質工具において、
基体が超硬合金製エンドミル、ドリルであることを特徴
とする被覆硬質工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31281797A JPH11131216A (ja) | 1997-10-29 | 1997-10-29 | 被覆硬質工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31281797A JPH11131216A (ja) | 1997-10-29 | 1997-10-29 | 被覆硬質工具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11131216A true JPH11131216A (ja) | 1999-05-18 |
Family
ID=18033779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31281797A Pending JPH11131216A (ja) | 1997-10-29 | 1997-10-29 | 被覆硬質工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11131216A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003037554A1 (fr) * | 2001-10-30 | 2003-05-08 | Mitsubishi Materials Kobe Tools Corporation | Outil de coupe au carbure cemente revetu, comprenant une couche de revetement dure presentant d'excellentes proprietes de resistance a l'usure dans l'usinage a grande vitesse |
| US6824601B2 (en) | 2000-12-28 | 2004-11-30 | Kobe Steel, Ltd. | Hard film for cutting tools, cutting tool coated with hard film, process for forming hard film, and target used to form hard film |
| US6906295B2 (en) * | 2003-02-20 | 2005-06-14 | National Material L.P. | Foodware with multilayer stick resistant ceramic coating and method of making |
| US7056602B2 (en) * | 2002-09-04 | 2006-06-06 | Seco Tools Ab | Precipitation hardened wear resistant coating |
| US7083868B2 (en) * | 2002-09-04 | 2006-08-01 | Seco Tools Ab | Composite structured wear resistant coating |
| JP2006281408A (ja) * | 2005-04-04 | 2006-10-19 | Mitsubishi Materials Corp | 耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
| US7217466B2 (en) * | 2002-03-20 | 2007-05-15 | Joerg Guehring | Wear-resistant coating for metal-removing tools, particularly for rotary metal-cutting tools |
| US7258933B2 (en) * | 2002-06-25 | 2007-08-21 | Mitsubishi Materials Corporation | Coated cutting tool member |
| US7410707B2 (en) * | 2003-12-05 | 2008-08-12 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Surface-coated cutting tool |
| CN100453221C (zh) * | 2001-10-30 | 2009-01-21 | 三菱麻铁里亚尔株式会社 | 表面被覆超硬合金制的切削工具 |
| KR100938966B1 (ko) | 2006-06-30 | 2010-01-26 | 가부시키가이샤 고베 세이코쇼 | 경질막 및 그 제조 방법 |
| US8021768B2 (en) | 2009-04-07 | 2011-09-20 | National Material, L.P. | Plain copper foodware and metal articles with durable and tarnish free multiplayer ceramic coating and method of making |
| JPWO2021193875A1 (ja) * | 2020-03-27 | 2021-09-30 |
-
1997
- 1997-10-29 JP JP31281797A patent/JPH11131216A/ja active Pending
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7186324B2 (en) | 2000-12-28 | 2007-03-06 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | Hard film cutting tools, cutting tool coated with hard film, process for forming hard film and target used to form hard film |
| US6824601B2 (en) | 2000-12-28 | 2004-11-30 | Kobe Steel, Ltd. | Hard film for cutting tools, cutting tool coated with hard film, process for forming hard film, and target used to form hard film |
| US6919288B2 (en) | 2000-12-28 | 2005-07-19 | Kobe Steel, Ltd. | Hard film for cutting tools, cutting tool coated with hard film, process for forming hard film, and target used to form hard film |
| CN100453221C (zh) * | 2001-10-30 | 2009-01-21 | 三菱麻铁里亚尔株式会社 | 表面被覆超硬合金制的切削工具 |
| WO2003037554A1 (fr) * | 2001-10-30 | 2003-05-08 | Mitsubishi Materials Kobe Tools Corporation | Outil de coupe au carbure cemente revetu, comprenant une couche de revetement dure presentant d'excellentes proprietes de resistance a l'usure dans l'usinage a grande vitesse |
| US7150925B2 (en) | 2001-10-30 | 2006-12-19 | Mitsubishi Materials Kobe Tools Corporation | Surface coated cemented carbide cutting tool having hard coating layer exhibiting excellent wear resistance in high speed machining |
| US7217466B2 (en) * | 2002-03-20 | 2007-05-15 | Joerg Guehring | Wear-resistant coating for metal-removing tools, particularly for rotary metal-cutting tools |
| US7258933B2 (en) * | 2002-06-25 | 2007-08-21 | Mitsubishi Materials Corporation | Coated cutting tool member |
| US7056602B2 (en) * | 2002-09-04 | 2006-06-06 | Seco Tools Ab | Precipitation hardened wear resistant coating |
| US7083868B2 (en) * | 2002-09-04 | 2006-08-01 | Seco Tools Ab | Composite structured wear resistant coating |
| US7462375B2 (en) | 2003-02-20 | 2008-12-09 | National Material L.P. | Method of making a stick resistant multi-layer ceramic coating |
| US6906295B2 (en) * | 2003-02-20 | 2005-06-14 | National Material L.P. | Foodware with multilayer stick resistant ceramic coating and method of making |
| US7410707B2 (en) * | 2003-12-05 | 2008-08-12 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Surface-coated cutting tool |
| JP2006281408A (ja) * | 2005-04-04 | 2006-10-19 | Mitsubishi Materials Corp | 耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
| JP4645818B2 (ja) * | 2005-04-04 | 2011-03-09 | 三菱マテリアル株式会社 | 耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
| KR100938966B1 (ko) | 2006-06-30 | 2010-01-26 | 가부시키가이샤 고베 세이코쇼 | 경질막 및 그 제조 방법 |
| US8021768B2 (en) | 2009-04-07 | 2011-09-20 | National Material, L.P. | Plain copper foodware and metal articles with durable and tarnish free multiplayer ceramic coating and method of making |
| JPWO2021193875A1 (ja) * | 2020-03-27 | 2021-09-30 | ||
| WO2021193875A1 (ja) * | 2020-03-27 | 2021-09-30 | 京セラ株式会社 | 被覆工具および切削工具 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3452726B2 (ja) | 多層被覆硬質工具 | |
| JP3031907B2 (ja) | 多層膜被覆部材 | |
| JP3382781B2 (ja) | 多層被覆硬質工具 | |
| JP2009095907A (ja) | 刃先交換型切削チップ | |
| JPH11131216A (ja) | 被覆硬質工具 | |
| JP3003986B2 (ja) | 表面被覆超硬合金製スローアウェイインサート | |
| JP2003305601A (ja) | 硬質皮膜被覆工具およびその製造方法 | |
| JPH11131215A (ja) | 被覆硬質工具 | |
| JPH09295204A (ja) | 表面被覆スローアウェイインサート | |
| JP3001849B2 (ja) | 被覆硬質工具 | |
| JP2006225703A (ja) | 硬質皮膜、積層型硬質皮膜およびその製造方法 | |
| JP3447034B2 (ja) | 表面被覆超硬合金製スローアウェイインサート | |
| JP2000061708A (ja) | 被覆硬質工具 | |
| JP2002346811A (ja) | 被覆焼結体工具 | |
| JP2007196364A (ja) | 表面被覆切削工具およびその製造方法 | |
| JPH10176289A (ja) | 被覆硬質合金 | |
| JP2007283478A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP3445899B2 (ja) | 表面被覆エンドミル | |
| JP3190009B2 (ja) | 被覆硬質合金 | |
| JPH11131214A (ja) | 被覆硬質工具 | |
| JPH11320214A (ja) | 被覆硬質工具 | |
| JPH10168583A (ja) | 被覆硬質合金 | |
| JP2000309864A (ja) | 多層膜被覆部材 | |
| JPH11131217A (ja) | 被覆硬質工具 | |
| JPH10176288A (ja) | 被覆硬質合金 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Effective date: 20050526 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20050621 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20050715 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20050802 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051017 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20051017 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060516 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20060524 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060822 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20060920 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070309 |