JPH11123642A - ガラス板の研削方法およびそれに用いる研削装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガラス板の厚みを減らすことと研削面の凹凸
を小さくすることの両加工を短時間で行う。 【解決手段】 ベルト３はステンレス等の帯状金属から
なり、その幅方向が上下方向になるようにしてエンドレ
スにロール１、２により矢印方向に走行させられる。ベ
ルト３の幅方向中央部に設けられたポケット５にガラス
板４がはめ込まれ、そのガラス板４を回転軸１２、１２
を回転中心とする回転砥石１１、１１の間を通過させて
粗研削を行い、その後回転軸１４、１４を回転中心とす
る回転砥石１３、１３の間を通過させることにより精密
研削を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス板をより厚
みの薄いガラス基板に研削加工する方法およびそれに適
した両頭平面研削装置に関し、とりわけ磁気記録媒体用
のガラス基板を得るのに適したガラス板の研削方法およ
びその研削装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ガラス板等の薄板小片を研削する装置と
しては、特開昭５２−１５９０号公報に開示されたもの
が知られている。この装置は、帯状の金属からなるベル
トにポケット（孔）を開け、このポケットに薄板状小片
をはめ込み、このベルトを張った状態で一対の回転研削
砥石間に通し、ガラス板小片の両面を同時に研削するよ
うにしたものがある。また、ガラス板を研削する際にガ
ラス板自身を回転させ、研削の平面度を向上させたもの
が特開平６−２１０５６０号公報に開示されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記の従来技術の両頭
研削装置によると、枚葉式であるため被加工物の入れ込
み、取り出し時に研削砥石の回転を止め加工を中断する
必要がなく、また、固定砥粒を用いる研削であるため、
遊離砥粒を用いる研削に比較し、研磨剤を分散させたス
ラリーが排出されない等の利点があり、これにより水平
に設置された定盤の上に載置した被加工物を上下面から
回転する定盤を圧接させて遊離砥粒を供給し研削する、
被加工物の入れ込み時および取り出し時に上下定盤を停
止し加工を中断しなければならないバッチ単位で加工す
る両面ラップ盤を用いる研磨装置に比べて、研削に要す
る時間を短縮できるとともに、スラリーの処理が不要で
あるという利点を有するが、一種類の回転研削砥石を用
いているため、短時間に、研削厚み量を大きくかつ研削
仕上がり面を平滑状態に近づけるという課題は十分に達
成されるものではなかった。

【０００４】研削厚み量を大きくするには番手が小さい
（低番手）研削砥石を用いることにより達成されるが、
その場合得られるガラス板の仕上がり面は粗いものとな
り、また、研削の仕上がり面を平滑に近づけるために大
きい番手の砥石を用いると、所定のガラス厚みに研削す
るのに長時間を要してしまい、研削加工能率が実用上十
分でないという課題があった。

【０００５】より厚肉のガラス板（素板）から、たとえ
ば１ｍｍ厚程度またはそれ以下の厚さの磁気記録媒体用
のガラス基板とするために、ガラス表面欠陥が生じない
研削加工をしようとする場合、ガラス板の所定量の厚み
を短時間に落とし、かつ、ある程度以下の凹凸に制御さ
れた表面特性を確保することが実用上重要であり、その
ための研削加工方法およびその装置の出現が望まれてい
た。

【０００６】本発明の目的は、大きな研削厚み量を確保
しつつ、所定以下の表面粗さを有し、かつ、表面欠陥が
ないガラス基板とするための加工能率が優れたガラス板
の研削方法およびその研削装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の第１は、上記の
技術的課題を解決するためになされたものであって、ベ
ルトに形成したポケットにガラス板をはめ込み、このベ
ルトを同一軸心を回転中心として回転する一対の研削砥
石間を通すことで、前記ガラス板の両面を同時に研削す
るガラス板の研削方法であって、前記研削を粗研削とそ
れに続く精密研削の多段の研削で行うガラス板の研削方
法である。

【０００８】請求項１においては、ガラス板の研削は、
回転する一対の研削砥石間を多段に通し、前段の粗研削
を、後段の精密研削よりも研削厚み量を同じか大きくな
るようにダイヤモンド砥石の砥粒、一対の同一の軸中心
を回転中心とする砥石の間隔および砥石の回転数等が調
整される。

【０００９】粗研削は、ガラス板の両面を同時に研削
し、所定の研削厚み量を確保することを主目的にして行
い、後段の精密研削は目的とする用途に要求されるガラ
ス基板とほぼ同じ厚みまで研削され、さらに表面の凹凸
を減じて平滑な表面に近づけることを主たる目的として
研削される。このとき、ガラス板の粗研削工程における
所定量の研削厚み量の確保と、精密研削工程における所
定量の表面粗さの確保をほぼ同じ時間で加工できるよう
にバランスさせるのが好ましい。

【００１０】研削砥石の番手が小さい（低番手）すなわ
ち砥粒の大きさが粗いと研削速度は大きく、短時間で大
きな肉厚を削り落とすことができるが、塑性流動的な挙
動をほとんど示さないシリカ成分を主成分とするガラス
板では、粗研削工程で低番手の砥石を用い、被加工物の
送り速度を速くし、研削厚み量を厚くすると、ガラス板
表面に深いクラックが多数発生したり、著しい場合には
ガラス板が破損するという知見を本発明者は実験により
見出し、このクラックは引き続き行うガラス表面の凹凸
をより小さくすることを主たる目的とする精密研削によ
っても除去することができないことを見出した。 請求
項１は、以上のように所定の厚みにガラス板の両面を同
時に短時間で研削して、上記の微小クラックの表面欠陥
のないガラス基板とするために、粗研削および精密研削
を２段またはそれ以上で行うことを特徴とする。

【００１１】請求項２は、請求項１において前記粗研削
の砥石を＃１００〜＃６００のダイヤモンド砥粒を備え
た砥石とし、前記精密研削の砥石を＃３２５〜＃２００
０のダイヤモンド砥粒を備えた砥石とし、かつ、粗研削
の研削厚み量を精密研削のそれ以上としたことを特徴と
する。

【００１２】粗研削のダイヤモンド砥粒を＃１００より
粗くすると、ガラス板表面に発生する微小クラックの深
さが深くなり、引き続き実施する精密研削によりこのク
ラックを取り除くことが困難になるので好ましくなく、
＃６００より細かくすると所定の研削厚み量を短時間で
確保することが困難になるので好ましくない。

【００１３】精密研削に用いるダイヤモンド砥粒は、＃
３２５より粗くすると本発明に続いて通常行われるたと
えば公知の酸化セリウム研磨砥粒を用いた最終研磨（ポ
リッシング）において、所定の高品位な表面粗さを得る
ために長時間の研磨が必要となるので好ましくない。ま
た、＃２０００より細かくすることは、本発明に続いて
通常行われるたとえば公知の酸化セリウム研磨砥粒を用
いた最終研磨（ポリッシング）の研磨時間は短くなるも
のの、本発明の精密研削に要する時間が長くなり、研
削、研磨の全体の時間がながくなるので好ましくない。

【００１４】請求項３は、請求項２において、粗研削の
砥石を＃１７０〜＃６００のダイヤモンド砥粒を備えた
メタルボンド砥石とし、精密研削の砥石を＃６００〜＃
２０００のダイヤモンド砥粒を備えたメタルボンド砥石
または＃３２５〜＃１５００のダイヤモンド砥粒を備え
たレジノイドボンド砥石としたことを特徴とする。

【００１５】請求項４は、請求項２において、粗研削の
砥石を＃１００〜＃３２５のダイヤモンド砥粒を備えた
レジノイドボンド砥石とし、前記精密研削の砥石を＃６
００〜＃２０００のダイヤモンド砥粒を備えたメタルボ
ンド砥石または＃３２５〜＃１５００のダイヤモンド砥
粒を備えたレジノイドボンド砥石としたことを特徴とし
ている。

【００１６】本発明に用いる砥石は、所定の粗さを有す
るダイヤモンド砥粒がベース材に埋め込まれたものが好
んで用いられるが、ガラス板の研削厚み量およびガラス
表面のクラックの発生状況は、砥粒が埋め込まれている
ベース材の材質により依存することを本発明者は見出し
た。請求項３および４は、それぞれ粗研削砥石にメタル
ボンド砥石およびレジノイドボンド砥石を用いたとき
の、粗研削砥石の砥粒と精密研削砥石の砥粒の好ましい
組み合わせを限定したものである。

【００１７】請求項５は、請求項３および請求項４の２
段の研削の前段に、＃１４０〜＃４００のダイヤモンド
砥粒を備えたメタルボンド砥石または＃８０〜＃２００
のダイヤモンド砥粒を備えたレジノイドボンド砥石によ
る前研削を行い、この前研削の研削厚み量を粗研削のそ
れ以上としたことを特徴としている。通常、前研削砥石
と粗研削砥石に同じボンド剤の砥石を用いるときは、前
研削の砥石の番手は粗研削の砥石の番手と同じかそれよ
り低番手のものを用いる。

【００１８】粗研削の工程により生じるガラス表面の微
小クラックは、より多くの研削厚み量を短時間で除去す
るときに発生しやすいので、短時間に所定量のガラスの
研削厚み量を確保し、かつ、そのガラス表面にクラック
が生ずることなく平滑な状態に近づけるためには、上記
のように研削の段数を多くするのが好ましい。また、砥
石番手としては、粗研削の番手と同じか、低番手とする
ことがより後段での微小クラック深さを小さくするため
に好ましい。

【００１９】本発明においては、ガラス板の両面合計の
研削代を０．０２〜１ｍｍとする範囲がとりわけ高能率
にガラス表面にクラックを生じることなく研削できる点
で好ましい。

【００２０】本発明に適用できるガラス板は、特にその
組成に限定されるものではない。適用できるガラスとし
て、ソーダ石灰シリカ系ガラス、ホウ珪酸系ガラス、ア
ルミノ珪酸系ガラス、アルミノホウ珪酸系ガラス、無ア
ルカリ低膨張ガラス、高歪み点高膨張珪酸ガラス、結晶
化ガラスなどが例示できる。本発明は硬度が大きいガラ
ス板に対しても加工能率よく研削でき、結晶化ガラスに
対しても能率よく加工できる。

【００２１】上記の技術的課題を解決するためになされ
た本発明の第２は、ベルトに形成したポケットにガラス
板をはめ込み、このベルトを同一軸心を回転中心として
回転する対向配置された一対の研削砥石間を通すこと
で、前記ガラス板の両面を同時に研削するガラス板用両
頭平面研削装置であって、前記一対の研削砥石は、前記
ベルトの走向方向を基準として上流側から下流側へ離間
して複数配置され、上流側の研削砥石の研削面は粗研削
面とされ、下流側の研削砥石の研削面は精密研削面とさ
れたことを特徴とする。

【００２２】請求項８は、離間して設けられる一対の回
転研削砥石間に、ベルトのポケットにはめ込まれたガラ
ス板表面に付着した粗研削工程により付着したガラス粉
や砥粒等を除去することを特徴としている。請求項９
は、ベルトの走行方向の最下流に設けられた一対の回転
研削砥石の下流側に設けた洗浄機構により、ガラス板に
付着したガラス粉や砥粒を最終的に除去することを特徴
としている。

【００２３】本発明の第１は、一対の回転研削砥石を複
数基備え、粗研削と精密研削とを連続的に行うようにし
た一台の両頭平面研削装置を用いて実施できることはも
ちろん、一対の回転研削砥石を１基備えた両頭平面研削
装置を複数台設置して、粗研削とそれに続く精密研削と
を並行して実施することもできる。一対の回転研削砥石
をベルトの上流側から下流側に複数基備えた一台の両頭
平面研削装置を用いて研削加工をするのが、加工能率が
高くガラス板の加工単位量当たりのランニングコストが
低下するのでより好ましい。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施例を添付図面
に基づいて説明する。図１は、本発明にかかる両頭平面
研削装置の一実施例の全体平面図、図２はその一部拡大
図である。

【００２５】ベルト３はステンレス等の帯状金属からな
り、その幅方向が上下方向になるようにしてエンドレス
にロール１、２により矢印方向に走行させられる。ベル
ト３の幅方向中央部に設けられたポケット５にガラス板
４がはめ込まれ、そのガラス板４を回転軸１２、１２を
回転中心とする回転砥石１１、１１の間を通過させて粗
研削を行い、その後回転軸１４、１４を回転中心とする
回転砥石１３、１３の間を通過させることにより精密研
削を行う。

【００２６】本発明に用いることができる粗研削の砥石
としては、ダイアモンド砥粒のメタルボンド砥石（商品
名 大阪ダイヤモンド工業社製ＳＤ２００−５０−ＭＴ
４０、三菱マテリアル社製ＭＤ２００−５０−ＭＬ５１
７）や、レジノイドボンド砥石（商品名 三菱マテリア
ル社製ＡＳＤ２００−Ｒ５０ＢＪ２０）を用いることが
できる。また、本発明の精密研削砥石としては、ダイア
モンド砥粒のレジノイドボンド砥石（商品名 三菱マテ
リアル社製 ＡＳＤ−４００−Ｒ５０−ＴＣ３０）やメ
タルボンド砥石（商品名 大阪ダイヤモンド工業社製Ｓ
Ｄ６００−５０−ＭＴ４０）を用いることができる。

【００２７】回転研削砥石１１、１１と回転研削砥石１
３、１３の間および回転研削砥石１３、１３の直後に、
ガラス板４の表面に付着した微粒のガラス粉および砥粒
を除去するために、第１の洗浄機構７、第２の洗浄機構
６をそれぞれ設置した。回転研削砥石１１、１１のベル
トの走行方向基準で上流側直前でガラス板４をベルト３
のポケット５にはめ込むための機構が設けられた。

【００２８】図２の拡大図で示されるように、自動挿入
装置８（図示されない）により複数枚が重ねられたガラ
ス板４が、その外形より若干大きいサイズのポケット５
内にガイド部材９、１０により位置決めされながら順次
挿入されて掛合される。ここで、ガラス板４の厚みは、
ベルト３の厚みより大きいものとする。

【００２９】回転研削砥石１１、１１は、ベルト３の表
裏両面に直交近接するように配置され、互いに反対方向
に図示されない原動機により回転され、その間隔はガラ
ス板４の厚みにより調整され固定される。回転研削砥石
１３、１３についても同様である。ガラス板４を両面か
ら同時に研削する回転砥石は、ガラス板４の厚みに応じ
て、また粗研削および精密研削の仕上がり状態により、
その材質、番手が選ばれる。

【００３０】洗浄装置６、洗浄装置７は、加圧された水
流をガラス板４に両側から吹き付ける等の手段が採用さ
れ得る。洗浄装置６とロール１との間に設けられた自動
取り外し装置（図示されない）により、ガラス板４がポ
ケット５から取り外される。

【００３１】回転する一対の研削砥石間を通過するガラ
ス板は、通常１０〜５０枚程度／分とされ、ベルトの走
行速度は、用いるガラス板の厚みと得ようとするガラス
基板の厚みの差（研削厚み量）および研削後の必要とす
る表面凹凸の状態により設定される。

【００３２】たとえば、厚みが０．７〜１．１ｍｍ程度
のガラス板を研削して両面合計の研削厚み量を０．１〜
０．５ｍｍとして直径６５ｍｍの磁気記録媒体用のガラ
ス基板とするには、直径４５５ｍｍの回転研削砥石を５
００〜１０００ｒｐｍ程度で回転させ、ベルトの走行ス
ピードを約１００〜３００ｃｍ／分とする。

【００３３】２段の研削においては、粗研削における研
削厚み量は、全体の研削厚み量（取代）の５０〜９５％
とするのが、研削速度のバランスを確保し、かつガラス
表面のクラック等の表面欠陥を生じさせることなく全体
として短時間で研削を完了する上で好ましく、６０〜８
０％とするのがさらに好ましい。

【００３４】３段で研削をする場合は、全体の研削厚み
量の配分を前研削を４０〜８０％、粗研削を２０〜４０
％、精密研削を５〜３０％とするのが好ましい。１．１
ｍｍ厚のガラス板から０．７ｍｍ厚のガラス基板とする
とき（０．４ｍｍの研削厚み量）は、２段研削の場合、
粗研削で０．２４ｍｍ以上とし、３段研削では前研削で
０．１６〜０．３２ｍｍ、粗研削で０．０８〜０．１６
ｍｍとし、精密研削で０．１２ｍｍ以下とするのが好ま
しい。

【００３５】以下に実施例で説明する。 実施例１〜６ 最初に２段研削の実施例について述べる。２段研削を実
施するための両頭平面研削装置の粗研削砥石と精密研削
砥石を以下の（表１）に示すように組み合わせた。各砥
石の直径は４５５ｍｍとし、回転数は６００ｒｐｍとし
た。また、ガラス板の送り速度は、３０ｍｍ／秒とし
た。実際の加工にあたっては、被加工物であるガラス板
として厚み０．９ｍｍのソーダ石灰ガラスを用いた。研
削は０．９ｍｍから０．２ｍｍを研削し、０．７ｍｍを
最終厚みとした。研削厚み量は粗研削で０．１４ｍｍ、
精密研削で０．０６ｍｍとした。研削加工は、それそれ
の条件についてガラス板１０枚について行った。

【００３６】平坦度、表面粗さ、加工能率について得ら
れたガラス板を調べた結果を（表１）に示す。平坦度に
ついては表面粗さ計を用い、ガラス板１０枚のすべてに
ついて平坦度が１０μｍ以下の場合に○印で、１枚でも
大きい値のものがあるときに×印で表示した。また、表
面粗さについては表面粗さ計で表面粗さＲａを測定し、
ガラス板１０枚のすべてについて表面粗さが０．５μｍ
以下であれば○印で示し、１枚でもそれより大きい値の
ものがあるときは×印で示した。加工能率については、
粗研削、精密研削とも送り速度３０ｍｍ／秒で、ガラス
板１０枚のすべてについて微小クラックが発生せず研削
できた場合を○印で示し、１枚でもクラックが認められ
た場合を×印で示した。

【００３７】

【表１】

【００３８】実施例７〜１１ 次に３段研削の実施例について述べる。前研削用の砥石
を実施例１で用いた両頭平面研削装置にセットし、前研
削を実施した後、粗研削と精密研削を連続して実施でき
るようにした。各砥石の直径、回転数、ガラス板の送り
速度は実施例１と同じにした。研削加工にあたっては、
被加工物であるガラス板として厚み１．１ｍｍのソーダ
石灰ガラスを用いた。研削は１．１ｍｍから０．４ｍｍ
を研削（実施例１の２倍の研削量）し、０．７ｍｍを最
終の厚みとした。各段での研削厚み量は、前研削で０．
２４ｍｍ、粗研削で０．１２ｍｍ、精密研削で０．０４
ｍｍとした。種々の砥石の組み合わせによる研削結果を
以下の（表２）に示す。

【００３９】

【表２】

【００４０】比較例１〜１６ 比較例として以下の（表３）に示した条件で研削加工を
実施した。各砥石の直径、回転数、送り速度は実施例１
と同じにした。また、研削加工にあたっては、１段研削
（比較例１〜４）および２段研削（比較例５〜１０）の
場合、被加工物であるガラス板として厚み０．９ｍｍの
ソーダ石灰ガラスを用いた。研削は、０．９ｍｍから
０．２ｍｍを研削し、０．７ｍｍを最終厚みとした。研
削厚み量は、粗研削で０．１４ｍｍ、精密研削で０．０
６ｍｍとした。

【００４１】３段研削（比較例１１〜１６）の場合、被
加工物であるガラス板として厚み１．１ｍｍのソーダ石
灰ガラスを用いた。研削は１．１ｍｍから０．４ｍｍを
研削し０．７ｍｍを最終厚みとした。各段での研削厚み
量は、前研削で０．２４ｍｍ、粗研削で０．１２ｍｍ、
精密研削で０．０４ｍｍとした。研削結果を（表３）に
示す。

【００４２】

【表３】

【００４３】（表１）に示した実施例１〜６からわかる
ように、本発明の２段研削を実施した場合には、平坦
度、表面粗さ、加工能率とも所定の品質、能率を満たす
ものであることがわかる。一方、表３に示した１段研削
の比較例１〜４では、表面粗さと加工能率の両者を満足
させることができない。また、１段研削した比較例１〜
２の場合には得られたガラス板の表面粗さが粗くなり、
一方精密研削を主目的とする砥石を用いた１段研削した
比較例３〜４の場合には、加工能率を満足させることが
できないことがわかる。

【００４４】また、（表３）に示した２段研削の比較例
５〜８では、精密研削に用いる砥石が粗くても細かくて
も、表面粗さと加工能率の両者を同時に満足させること
とができなかったことがわかる。また、１段目の粗研削
に細かい砥石を使用した比較例９〜１０では、加工能率
を満足することができなかった。

【００４５】また、本発明の（表２）に示した３段研削
の実施例７〜１２では、０．４ｍｍ厚の研削厚み量を、
ガラス移動速度を３０ｍｍ／秒の高速度でも平坦度、表
面粗さ、加工能率とも所定の品質、能率を満たすもので
あることがわかる。一方、表３に示した３段研削の比較
例１１〜１２および比較例１４〜１５では、前研削砥石
が細かい場合と粗い場合の研削結果が示されているが、
それぞれ加工能率が満足されなかったり、表面粗さが満
足されなかった。

【００４６】また、比較例１３、１６に示すように、前
研削、粗研削が本発明が提案する範囲にあっても精密研
削の砥石が細かい場合には加工能率が満足されなかっ
た。

【００４７】さらに、本発明においては、回転研削砥石
を通過直後の水で濡れたガラス板表面を加圧水流により
洗浄したので、砥粒やガラス粉がよく除去され、表面が
清浄なガラス基板を得ることができた。本発明の効果を
実施例と比較例で説明したが、本発明は上記実施例に限
定されるものではない。

【００４８】以上、本発明によれば、微小クラックを生
じさせることなく所定の表面粗さと加工能率を同時に満
足できる研削方法及びそれに適した両頭平面研削装置が
得られる。

【００４９】

【発明の効果】請求項１によれば、ガラス板の表裏両面
の研削を、粗研削とそれに続く精密研削の多段で行うの
で、ガラス板の厚みを減らすことと研削面の凹凸を小さ
くすることの両加工を、全体として短時間で行うことが
でき、研削厚み量を大きくする必要がある比較的肉厚が
厚いガラス板を用いても、薄いガラス基板を能率よく加
工することができる。

【００５０】請求項２によれば、さらに粗研削に要する
時間と精密研削に要する時間とをほぼ同じにすることが
でき、各研削工程の加工能率のバランスを保つことがで
き、全体として加工能率が向上する。

【００５１】請求項３および請求項４によれば、さらに
粗研削および精密研削のダイヤモンド砥石の砥粒および
ベース材を限定したので、大きな研削厚み量の研削加工
を行っても、ガラス表面にクラックを生じさせることな
く、表面凹凸が小さいガラス基板を加工能率よく得るこ
とができる。

【００５２】請求項５によれば、前段に所定のダイヤモ
ンド砥粒と所定のベース材からなる砥石を前研削として
行うようにしたので、より大きな研削厚み量の加工とガ
ラス表面凹凸の微細化を、ガラス表面にクラックを生じ
させることがなく、高能率に加工することができる。

【００５３】請求項７によれば、粗研削と精密研削の少
なくとも２基の研削砥石を有する構成としたので、１基
のみの研削砥石を有する両頭平面研削装置を並設し、そ
の間を搬送装置で連結する必要がなく、また粗研削と精
密研削を連続して同時に行えるので、ガラス板の研削加
工のランニングコストを低減することができる。

【００５４】請求項８および９によれば、研削により付
着したガラス板表面の砥粒やガラス粉が、付着直後のガ
ラス板表面が乾かない状態で洗い落とされるので、清浄
力が大きい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施にかかる両頭平面研削装置の概略
平面図である。

【図２】図１の要部拡大図である。

【符号の説明】

１、２…ロール、３…キャリア、４…ガラス板（被加工
物）、５…ポケット、６、７…ガラス板洗浄機構、８…
ガラス板はめ込み装置、９、１０…ガイド部材、１１、
１３…回転研削砥石、１２、１４…回転軸

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山根 剛 大阪府大阪市中央区道修町３丁目５番11号 日本板硝子株式会社内 (72)発明者 田中 俊明 大阪府大阪市中央区道修町３丁目５番11号 日本板硝子株式会社内 (72)発明者 近藤 儀三郎 大阪府大阪市西区立売堀１丁目３番11号 西部自動機器株式会社内

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ベルトに形成したポケットにガラス板を
   はめ込み、このベルトを同一軸心を回転中心として回転
   する一対の研削砥石間を通すことで、前記ガラス板の両
   面を同時に研削するガラス板の研削方法において、前記
   研削を粗研削とそれに続く精密研削の多段の研削で行う
   ガラス板の研削方法。
2. 【請求項２】 前記粗研削の砥石を＃１００〜＃６００
   のダイヤモンド砥粒を備えた砥石とし、前記精密研削の
   砥石を＃３２５〜＃２０００のダイヤモンド砥粒を備え
   た砥石とし、かつ、粗研削の研削厚み量を精密研削のそ
   れ以上とした請求項１に記載のガラス板の研削方法。
3. 【請求項３】 前記粗研削の砥石を＃１７０〜＃６００
   のダイヤモンド砥粒を備えたメタルボンド砥石とし、前
   記精密研削の砥石を＃６００〜＃２０００のダイヤモン
   ド砥粒を備えたメタルボンド砥石または＃３２５〜＃１
   ５００のダイヤモンド砥粒を備えたレジノイドボンド砥
   石とした請求項２に記載のガラス板の研削方法。
4. 【請求項４】 前記粗研削の砥石を＃１００〜＃３２５
   のダイヤモンド砥粒を備えたレジノイドボンド砥石と
   し、前記精密研削の砥石を＃６００〜＃２０００のダイ
   ヤモンド砥粒を備えたメタルボンド砥石または＃３２５
   〜＃１５００のダイヤモンド砥粒を備えたレジノイドボ
   ンド砥石とした請求項２に記載のガラス板の研削方法。
5. 【請求項５】 前記粗研削の前段に、＃１４０〜＃４０
   ０のダイヤモンド砥粒を備えたメタルボンド砥石または
   ＃８０〜＃２００のダイヤモンド砥粒を備えたレジノイ
   ドボンド砥石による前研削を行い、前記前研削の研削厚
   み量を前記粗研削のそれ以上とした請求項３または４に
   記載のガラス板の研削方法。
6. 【請求項６】 ガラス板の両面合計の研削厚み量を２０
   〜１０００μｍとする請求項１〜５のいずれかの項に記
   載のガラス板の研削方法。
7. 【請求項７】 ベルトに形成したポケットにガラス板を
   はめ込み、このベルトを同一軸心を回転中心として回転
   する対向配置された一対の研削砥石間を通すことで、前
   記ガラス板の両面を同時に研削するガラス板用両頭平面
   研削装置において、前記一対の回転研削砥石は、前記ベ
   ルトの走向方向を基準として上流側から下流側へ離間し
   て複数配置され、上流側の回転研削砥石の研削面は粗研
   削面とされ、下流側の回転研削砥石の研削面は精密研削
   面とされたガラス板用両頭平面研削装置。
8. 【請求項８】 離間して配置された一対の回転研削砥石
   間に、ガラス板を洗浄する機構が配置された請求項７に
   記載のガラス板用両頭平面研削装置。
9. 【請求項９】 最下流に配置された一対の回転研削砥石
   の下流側に、ガラス板を洗浄する機構が配置された請求
   項７または８に記載のガラス板用両頭平面研削装置。