JPH11118482A - 傾斜センサ及びこれを使用した測量機 - Google Patents

傾斜センサ及びこれを使用した測量機

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JPH11118482A
JPH11118482A JP9293533A JP29353397A JPH11118482A JP H11118482 A JPH11118482 A JP H11118482A JP 9293533 A JP9293533 A JP 9293533A JP 29353397 A JP29353397 A JP 29353397A JP H11118482 A JPH11118482 A JP H11118482A
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half mirror
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薫 熊谷
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Abstract

(57)【要約】 [目的] 本発明は、自由表面を有する液体部材を利用
した傾斜センサに係わり、特に、測量機の傾斜センサに
最適な傾斜センサ及びこれを使用した測量機を提供する
ことを目的とする。 [構成] 本発明は、第1の光学系が、光源からの光を
平行にし、暗視野パターンが、第1の光学系からの光を
通過させ、ハーフミラーが暗視野パターンを転向させ、
自由表面を有する第1の液体部材が、ハーフミラーによ
り転向されたパターンを反射させ、第2の光学系が、第
1の液体部材で反射されたパターンを結像させ、受光手
段が、第2の光学系で結像された像を受光し、演算処理
手段が、受光手段の受光信号に基づき、傾きを演算する
様になっており、暗視野パターンは、複数のスリットか
ら形成されており、ハーフミラーは、液体部材と第2の
光学系の光路上に配置されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、自由表面を有する
液体部材を利用した傾斜センサに係わり、特に、測量機
の傾斜センサに最適であり、ハーフミラーを、液体部材
と受光光学系の光路上に配置することにより、コンパク
トに構成することのできる傾斜センサ及びこれを使用し
た測量機に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来から測量機の傾きを検出する素子と
して、図9に示す気泡管10000が使用されていた。
この気泡管10000は、内部に気泡5000を封入す
ると共に、電極6000、7000を形成し、静電容量
を電気的に計測することにより、傾きを測定することが
できる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記気泡
管10000は、外周部をガラスから構成しているた
め、衝撃に弱く、高い機械精度を要求されるので、コス
トが高いという問題点があった。
【0004】更に、X、Y方向の傾きを計測するために
は、2軸方向に2個の気泡管10000を必要とし、コ
スト高の原因となっていた。
【0005】また、気泡管10000は、周囲の温度変
化にも影響を受け、温度変化に対する補正等を施さなけ
ればならないという問題点があった。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題に鑑み
案出されたもので、光源と、この光源からの光を平行に
するための第1の光学系と、この第1の光学系からの光
を通過させるための暗視野パターンと、この暗視野パタ
ーンを転向させるためのハーフミラーと、このハーフミ
ラーにより転向されたパターンを反射させるための自由
表面を有する液体部材と、この液体部材で反射されたパ
ターンを結像させるための第2の光学系と、この第2の
光学系で結像された像を受光するための受光手段と、こ
の受光手段の受光信号に基づき、傾きを演算するための
演算処理手段とからなり、前記暗視野パターンは、複数
のスリットから形成されており、前記ハーフミラーは、
前記液体部材と前記第2の光学系の光路上に配置されて
構成されている。
【0007】また本発明は、前記光源と、この光源から
の光を反射させるための自由表面を有する前記液体部材
の表面とが、共役な関係に配置する構成にすることもで
きる。
【0008】そして本発明の前記ハーフミラーは、前記
光源からの透過光に対して傾斜する面を有する構成にす
ることもできる。
【0009】更に本発明の前記液体部材は、前記ハーフ
ミラーと一体に構成することもできる。
【0010】そして本発明のハーフミラーは、前記液体
部材と接する面に反射防止膜を施すこともできる。
【0011】また本発明の前記液体部材の屈折率と、前
記ハーフミラーの屈折率とは、近似の値とする構成にす
ることもできる。
【0012】そして本発明は、前記光源と前記ハーフミ
ラーの間の光路上には、第1の偏光手段を配置し、前記
液体部材の光の透過面には、λ/4偏光手段を備えてお
り、前記ハーフミラーの透過光に対して、前記液体部材
からの反射光のみを透過させる様にするための第2の偏
光手段とを配置する構成にすることもできる。
【0013】更に本発明は、第2の偏光手段に代えて、
ハーフミラーに偏光反射面を備えた構成とすることもで
きる。
【0014】また本発明の前記液体部材を収納する容器
の上面は、前記光源からの透過光に対して、傾斜面とす
る構成にすることもできる。
【0015】また本発明の測量機は、測量機本体に取り
付けられ、該測量機本体の傾きを検出するものであって
もよい。
【0016】
【発明の実施の形態】以上の様に構成された本発明は、
第1の光学系が、光源からの光を平行にし、暗視野パタ
ーンが、第1の光学系からの光を通過させ、ハーフミラ
ーが暗視野パターンを転向させ、自由表面を有する第1
の液体部材が、ハーフミラーにより転向されたパターン
を反射させ、第2の光学系が、第1の液体部材で反射さ
れたパターンを結像させ、受光手段が、第2の光学系で
結像された像を受光し、演算処理手段が、受光手段の受
光信号に基づき、傾きを演算する様になっており、暗視
野パターンは、複数のスリットから形成されており、ハ
ーフミラーは、液体部材と第2の光学系の光路上に配置
されている。
【0017】また本発明は、光源と、この光源からの光
を反射させるための自由表面を有する液体部材の表面と
を、共役な関係に配置することもできる。
【0018】そして本発明のハーフミラーは、光源から
の透過光に対して傾斜する面を有することもできる。
【0019】更に本発明の液体部材は、ハーフミラーと
一体にすることもできる。
【0020】そして本発明のハーフミラーは、液体部材
と接する面に反射防止膜を施すこともできる。
【0021】また本発明の液体部材の屈折率と、ハーフ
ミラーの屈折率とは、近似の値とすることもできる。
【0022】そして本発明は、光源とハーフミラーの間
の光路上に、第1の偏光手段を配置し、液体部材の光の
透過面に、λ/4偏光手段を備え、第2の偏光手段が、
ハーフミラーの透過光に対して、液体部材からの反射光
のみを透過させることもできる。
【0023】更に本発明は、第2の偏光手段に代えて、
ハーフミラーに偏光反射面を備えた構成とすることもで
きる。
【0024】また本発明の液体部材を収納する容器の上
面は、光源からの透過光に対して、傾斜面とすることも
できる。
【0025】また本発明の測量機は、測量機本体に取り
付けられ、測量機本体の傾きを検出するものであっても
よい。
【0026】
【実施例】
【0027】本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。
【0028】「第1実施例」
【0029】図1は、本第1実施例の傾斜センサ100
0の光学的構成を示すもので、光源100と、コンデン
サーレンズ200と、暗視野パターン300と、第1の
パターンリレーレンズ400と、ハーフミラー500
と、自由表面を有する第1の液体部材600と、第2の
パターンリレーレンズ700と、受光手段800と、演
算処理手段900とから構成されている。
【0030】本第1実施例の光源100はLEDである
が、何れの光源を使用することができる。
【0031】コンデンサーレンズ200は、光源100
からの光を平行にするためのものであり、第1の光学系
に該当するものである。
【0032】暗視野パターン300は、受光手段800
にパターン像を形成するためのものである。
【0033】図2は、本第1実施例の暗視野パターン3
00を示すもので、複数のスリット列310、310・
・・・から構成されている。ここで、複数のスリット列
310、310・・・・と直交する方向をX方向とし、
スリット310の長手方向をY方向とする。
【0034】この複数のスリット列310、310・・
・・は、各スリット310の中心点が間隔Pで等間隔に
配置されており、かつ、直交する方向に沿ってはパター
ン幅が変化する様に配置されている。
【0035】第1のパターンリレーレンズ400は、暗
視野パターン300を通過した光をハーフミラー500
に導くものである。
【0036】本第1実施例のハーフミラー500は、半
透過面510を備えたビームスプリッタである。ハーフ
ミラー500に入射された光は、半透過面510で反射
されて上方に向かい、自由表面を有する第1の液体部材
600に入射する。そして、自由表面を有する第1の液
体部材600で反射された光は、ハーフミラー500の
半透過面510を透過して、下方の受光手段800に向
かう様になっている。
【0037】なお、ハーフミラー500は、光源100
からの透過光に対して傾斜する傾斜面520を有する構
成となっている。
【0038】これは、光源100からハーフミラー50
0に入射された光は、半透過面510で反射されて上方
に向かうが、一部、半透過面510を透過して直進する
光がある。この直進する光の一部は、ハーフミラー50
0の端面で反射された後、同一光路を反対方向に進む
と、再び、半透過面510で反射され、下方の受光手段
800に向かってしまう。
【0039】この半透過面510を透過して直進する光
は、傾斜検出を阻害したり、誤差を生じさせる可能性が
ある。そこで、本第1実施例では、ハーフミラー500
の端面を、光源100からの透過光に対して傾斜する傾
斜面520とする様に構成されている。
【0040】この結果、半透過面510を透過して直進
する光源100からの光は、傾斜面520で反射される
が、反射光は、同一光路を反対方向に進むことはないの
で、受光手段800に入射されることはなく、高精度の
測定を行うことができるという効果がある。
【0041】なお、光源100と、この光源100から
の光を反射させるための自由表面を有する第1の液体部
材600の表面とが、共役な関係に配置することもでき
る。
【0042】この場合には、第1の液体部材600の表
面上での反射面積が最小となり、液体の表面張力による
誤差を最小にすることができるという効果がある。更
に、第1の液体部材600の容積を少なくすることもで
きる。
【0043】自由表面を有する第1の液体部材600
は、シリコンオイル等の適度の粘性を有する液体が充填
されている。第1の液体部材600は、自由表面を有す
るので、表面は必ず水平を保つ様になっている。
【0044】第2のパターンリレーレンズ700は、自
由表面を有する第1の液体部材600で反射され、ハー
フミラー500を透過した光を、受光手段800上に結
像するためのものである。即ち、第2のパターンリレー
レンズ700は、暗視野パターン300の像を受光手段
800上に形成するためのものである。
【0045】なお、第2のパターンリレーレンズ700
は、第2の光学系に該当するものであり、受光手段80
0から、第2のパターンリレーレンズ700の焦点距離
f離れた位置に配置されている。
【0046】受光手段800は、暗視野パターン300
の像を受光し、電気信号に変換するためのものであり、
本第1実施例では、CCD(電荷結合素子)リニアセン
サが採用されている。
【0047】演算処理手段900は、CPUを含む演算
処理装置であり、全体の制御を司ると共に、暗視野パタ
ーン300のスリット像の移動距離を算出し、対応する
傾き角を演算するためのものである。
【0048】以上の様に構成された本第1実施例では、
傾斜センサ1000が傾けば、第1の液体部材600の
自由表面は水平を保つので、傾斜角度に比例して、受光
手段800上の暗視野パターン300の像が移動するこ
とになる。
【0049】ここで傾斜センサ1000が角度θ傾いた
場合には、図6に示す様に、第1の液体部材600の屈
折率をnとすると、自由表面からの反射光は2nθ傾く
ことになる。受光手段800であるリニアセンサ上の距
離をLとすると、
【0050】 L=f*tan(2nθ) ・・・・・第1式
【0051】となる。
【0052】従って、暗視野パターン300のスリット
310の移動量を受光手段800が検出し、演算処理手
段900が傾き角に変換すれば、傾斜センサ1000の
傾きθを測定することができる。
【0053】「第2実施例」
【0054】図3は、本第2実施例の傾斜センサ200
0の光学的構成を示すもので、光源100と、コンデン
サーレンズ200と、暗視野パターン300と、第1の
パターンリレーレンズ400と、封入容器550と、自
由表面を有する第1の液体部材600と、第2のパター
ンリレーレンズ700と、受光手段800と、演算処理
手段900とから構成されている。
【0055】封入容器550は、半透過面551と自由
表面を有する第1の液体部材600とを、一体化させる
ためのものである。即ち、封入容器550は、ハーフミ
ラーと第1の液体部材600とを、一体化させるための
ものである。
【0056】本第2実施例は、光源100から入射され
た光は、封入容器550内の半透過面551で反射され
て上方に向かい、自由表面を有する第1の液体部材60
0に入射する。そして、自由表面を有する第1の液体部
材600で反射された光は、封入容器550内の半透過
面551を透過して、下方の受光手段800に向かう様
になっている。
【0057】光源100から半透過面551に入射され
た光は、封入容器550の入射面や、封入容器550と
第1の液体部材600境界面等でも反射光が発生し、こ
の反射光が受光手段800に入射して、傾斜検出を阻害
したり、誤差を生じさせる可能性がある。
【0058】そこで封入容器550により、ハーフミラ
ーと第1の液体部材600とを、一体化させ、封入容器
550と第1の液体部材600と半透過面551の屈折
率を同一又は、近似の値にすることにより、不要な反射
光の発生を防止し、高精度の測定を実現させることがで
きる。
【0059】また封入容器550が、第1の液体部材6
00と接する面に、封入容器550の屈折率と第1の液
体部材600の屈折率との中間の媒質を用いた反射防止
膜を設けることにより、この境界での反射光を減少させ
ることができる。
【0060】なお、その他の構成は、第1実施例と同様
であるから、説明を省略する。
【0061】「第3実施例」
【0062】図4は、本第3実施例の傾斜センサ300
0の光学的構成を示すもので、光源100と、コンデン
サーレンズ200と、暗視野パターン300と、第1の
パターンリレーレンズ400と、ハーフミラー500
と、自由表面を有する第1の液体部材600と、第2の
パターンリレーレンズ700と、受光手段800と、演
算処理手段900とから構成されている。
【0063】自由表面を有する第1の液体部材600
は、容器610に封入されており、容器610の上面は
傾斜して構成されている。
【0064】ハーフミラー500で反射されて、自由表
面を有する第1の液体部材600に入射された光は、自
由表面で数%反射され、ハーフミラー500の半透過面
510を透過して受光手段800に入射されるが、90
%以上の入射光は、第1の液体部材600を透過する。
【0065】この第1の液体部材600を透過した光
は、容器610の上面で反射される。この容器610の
上面で反射された反射光は、同一光路を戻ると、ハーフ
ミラー500の半透過面510を透過して受光手段80
0に入射され、かなりの確率で傾斜検出を阻害したり、
誤差を生じさせる。
【0066】従って、容器610の上面を傾斜させるこ
とにより、反射光は、同一光路を反対方向に進むことは
ないので、受光手段800に入射されることはなく、高
精度の測定を行うことができるという効果がある。
【0067】なお、その他の構成は、第1実施例及び第
2の実施例と同様であるから、説明を省略する。
【0068】「第4実施例」
【0069】図5は、本第4実施例の傾斜センサ400
0の光学的構成を示すもので、光源100と、コンデン
サーレンズ200と、第1の偏光手段210と、暗視野
パターン300と、第1のパターンリレーレンズ400
と、ハーフミラー500と、λ/4偏光手段220と、
自由表面を有する第1の液体部材600と、第2の偏光
手段230と、第2のパターンリレーレンズ700と、
受光手段800と、演算処理手段900とから構成され
ている。
【0070】光源手段100からの光は、コンデンサー
レンズ200を通過した後、第1の偏光手段210によ
り直線偏光となる。そして、ハーフミラー500の半透
過面510で上方に反射された直線偏光は、λ/4偏光
手段220に入射して、円偏光に変換される。
【0071】λ/4偏光手段220で円偏光に変換され
た光は、第1の液体部材600に入射されて、自由表面
で反射され、再び、λ/4偏光手段220に入射され
る。
【0072】λ/4偏光手段220では、第1の偏光手
段210により直線偏光とされた光に対して、π/2だ
け偏光方向が異なる光線とすることができる。
【0073】従って第2の偏光手段230を、第1の液
体部材600の自由表面で反射された反射光のみ透過す
る様に(λ/4偏光手段220を2回通過した光)配置
すれば、第1の液体部材600の自由表面で反射された
反射光以外の不要な反射光が、受光手段800に入射さ
れるのを防止し、高精度の測定を行うことができるとい
う効果がある。
【0074】なお、第2の偏光手段230に代えて、ハ
ーフミラー500には、偏光反射面を備えた偏光ビーム
スプリッタを使用することもでき、同様な効果を得るこ
とができる。
【0075】なお、その他の構成は、第1実施例〜第3
の実施例と同様であるから、説明を省略する。
【0076】次に、演算処理手段900の傾き角の演算
処理を詳細に説明する。
【0077】受光手段800であるリニアセンサは、複
数のスリット列310、310・・・・・の像と直交す
る方向(X方向)に配置されている。
【0078】従って、X方向の傾き角については、図7
に示す様に、スリット310・・・・・の特定のパター
ンをスタートパターンとして着目し、予め設定しておく
水平基準位置から距離dxを測定すればよい。
【0079】またピッチ間隔以下の距離に関しては、リ
ニアセンサの出力のフーリエ変換を行うことにより、ピ
ッチ間隔に対する水平基準位置との位相差φを計算し、
【0080】 φ*p/(2π) ・・・・・・第2式
【0081】を求めることにより、ピッチ間隔以下の距
離を高精度に測定可能である。そして、上記スタートパ
ターンの距離から求めたピッチ間隔以上の距離と合わせ
ることにより、全体の距離を演算することができる。
【0082】そして演算処理手段900は、全体の移動
量から、対応するX方向の傾き角を演算することができ
る。
【0083】次にY方向の傾き角であるが、Y方向の傾
き角は、幅が変化する3角形のスリット310bより演
算する。
【0084】即ち、X方向にリニアセンサが配置されて
いるので、Y方向に傾くと、3角形のスリット310b
の受光幅が変化することになる。この変化量は、Y方向
の傾き角と比例するため、演算処理手段900はY方向
に傾き角を算出することができる。
【0085】Y方向の幅の測定は、図8に示す様に、リ
ニアセンサの出力を微分することにより、その立ち上が
りと立ち下がりの距離を測定することができる。また、
測定精度を上げるために、全ての信号について演算を行
い、平均の幅dyave を求め、フーリエ変換により得ら
れたピッチ幅p及び予め決められた比例関係kより、リ
ニアセンサ上の距離Lを
【0086】 L=k*dyave/p ・・・・・第3式
【0087】と表すことができる。更に、第1式よりY
方向の傾きを計算することができる。
【0088】なお、幅が変化するスリットは、3角形に
限ることなく、幅が変化し、傾きとの対応が設定される
ものであればよい。
【0089】以上の様に、1つのリニアセンサを利用す
るだけで、X方向及びY方向の2軸方向の傾きを検出す
ることができる。
【0090】また、リニアセンサでなく、エリアセンサ
を採用すれば、等間隔に形成された複数のスリット31
0、310・・・を使用することで、X方向及びY方向
の2軸の傾きを検出することができる。
【0091】更に、自由表面を有する第1の液体部材6
00に代えて、揺動自在な懸垂部材とすることもでき
る。
【0092】そして、図10及び図11に示す様な電子
式セオドライト20000等に傾斜センサを取り付けれ
ば、測量装置本体のX方向及びY方向の傾きを検出する
ことができる。
【0093】
【効果】以上の様に構成された本発明は、光源と、この
光源からの光を平行にするための第1の光学系と、この
第1の光学系からの光を通過させるための暗視野パター
ンと、この暗視野パターンを転向させるためのハーフミ
ラーと、このハーフミラーにより転向されたパターンを
反射させるための自由表面を有する液体部材と、この液
体部材で反射されたパターンを結像させるための第2の
光学系と、この第2の光学系で結像された像を受光する
ための受光手段と、この受光手段の受光信号に基づき、
傾きを演算するための演算処理手段とからなり、前記暗
視野パターンは、複数のスリットから形成されており、
前記ハーフミラーは、前記液体部材と前記第2の光学系
の光路上に配置されているので、機械的強度が高く、高
精度な傾斜センサを提供することができる上、コンパク
トな傾斜センサを提供することができるという効果があ
る。
【0094】また本発明は、光源と、この光源からの光
を反射させるための自由表面を有する液体部材の表面と
を、共役な関係に配置する構成とすれば、液体部材の表
面上での反射面積が最小となり、液体の表面張力による
誤差を最小にすることができるという効果がある。更
に、液体部材の容積を少なくすることもできる。
【0095】そして本発明のハーフミラーは、光源から
の透過光に対して傾斜する面を有しているので、反射光
は、同一光路を反対方向に進むことはないので、不要な
反射光が受光手段に入射されることがなく、高精度の測
定を行うことができるという効果がある。
【0096】更に本発明は、前記光源と前記ハーフミラ
ーの間の光路上には、第1の偏光手段を配置し、前記液
体部材の光の透過面には、λ/4偏光手段を備えてお
り、前記ハーフミラーの透過光に対して、前記液体部材
からの反射光のみを透過させる様にするための第2の偏
光手段とを配置しているので、液体部材の自由表面で反
射された反射光以外の不要な反射光が、受光手段に入射
されるのを防止し、高精度の測定を行うことができると
いう効果がある。
【0097】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例の傾斜センサ1000の構
成を示す図である。
【図2】本実施例の暗視野パターン300を説明する図
である。
【図3】第2実施例の傾斜センサ2000の構成を示す
図である。
【図4】第3実施例の傾斜センサ3000の構成を示す
図である。
【図5】第4実施例の傾斜センサ4000の構成を示す
図である。
【図6】第1実施例の第1の流体部材600を説明する
図である。
【図7】演算処理手段900の傾き角の演算処理を説明
する図である。
【図8】演算処理手段900の傾き角の演算処理を説明
する図である。
【図9】従来技術を説明する図である。
【図10】本実施例を電子式セオドライト20000に
応用した例を説明する図である。
【図11】本実施例を電子式セオドライト20000に
応用した例を説明する図である。
【符号の説明】
20000 電子式セオドライト 1000 第1実施例の傾斜センサ 2000 第2実施例の傾斜センサ 3000 第3実施例の傾斜センサ 4000 第4実施例の傾斜センサ 100 光源 200 コンデンサーレンズ 210 第1の偏光手段 220 λ/4偏光手段 230 第2の偏光手段 300 暗視野パターン 310 スリット 400 第1のパターンリレーレンズ 500 ハーフミラー 510 半透過面 600 自由表面を有する第1の液体部材 700 第2のパターンリレーレンズ 800 受光手段 900 演算処理手段

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光源と、この光源からの光を平行にする
    ための第1の光学系と、この第1の光学系からの光を通
    過させるための暗視野パターンと、この暗視野パターン
    を転向させるためのハーフミラーと、このハーフミラー
    により転向されたパターンを反射させるための自由表面
    を有する液体部材と、この液体部材で反射されたパター
    ンを結像させるための第2の光学系と、この第2の光学
    系で結像された像を受光するための受光手段と、この受
    光手段の受光信号に基づき、傾きを演算するための演算
    処理手段とからなり、前記暗視野パターンは、複数のス
    リットから形成されており、前記ハーフミラーは、前記
    液体部材と前記第2の光学系の光路上に配置されている
    傾斜センサ。
  2. 【請求項2】 前記光源と、この光源からの光を反射さ
    せるための自由表面を有する前記液体部材の表面とが、
    共役な関係に配置されている請求項1記載の傾斜セン
    サ。
  3. 【請求項3】 前記ハーフミラーは、前記光源からの透
    過光に対して傾斜する面を有している請求項1又は2記
    載の傾斜センサ。
  4. 【請求項4】 前記液体部材は、前記ハーフミラーと一
    体に構成されている請求項1〜3記載の何れか1つの傾
    斜センサ。
  5. 【請求項5】 前記ハーフミラーは、前記液体部材と接
    する面に反射防止膜が施されている請求項4記載の傾斜
    センサ。
  6. 【請求項6】 前記液体部材の屈折率と、前記ハーフミ
    ラーの屈折率とは、近似の値となっている請求項1〜5
    記載の何れか1つの傾斜センサ。
  7. 【請求項7】 前記光源と前記ハーフミラーの間の光路
    上には、第1の偏光手段を配置し、前記液体部材の光の
    透過面には、λ/4偏光手段を備えており、前記ハーフ
    ミラーの透過光に対して、前記液体部材からの反射光の
    みを透過させる様にするための第2の偏光手段とを配置
    した請求項1〜6記載の何れか1つの傾斜センサ。
  8. 【請求項8】 第2の偏光手段に代えて、ハーフミラー
    に偏光反射面を備えた構成とする請求項7記載の傾斜セ
    ンサ。
  9. 【請求項9】 前記液体部材を収納する容器の上面は、
    前記光源からの透過光に対して、傾斜面となっている請
    求項1〜8記載の何れか1つの傾斜センサ。
  10. 【請求項10】 測量機本体に取り付けられ、該測量機
    本体の傾きを検出する請求項1〜9記載の何れか1つの
    傾斜センサを使用した測量機。
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