JPH11117020A - 耐熱部品の製造方法 - Google Patents

耐熱部品の製造方法

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JPH11117020A
JPH11117020A JP29177197A JP29177197A JPH11117020A JP H11117020 A JPH11117020 A JP H11117020A JP 29177197 A JP29177197 A JP 29177197A JP 29177197 A JP29177197 A JP 29177197A JP H11117020 A JPH11117020 A JP H11117020A
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heat resistant
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JP29177197A
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Shigenori Ueda
茂紀 植田
Toshiharu Noda
俊治 野田
Michio Okabe
道生 岡部
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Daido Steel Co Ltd
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Daido Steel Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 耐熱鋼の素材を溶体化処理したのち、冷間加
工または温間加工し、加工ひずみを残留したまま時効処
理をすることができ、且つ700℃以上の使用雰囲気で
も脆化相のη相が析出しない耐熱部品の製造方法を提供
すること。 【解決手段】 重量%で、 C:0.005〜0.20
%、Si:2.0%以下、Mn:2.0%以下、Ni:
20.0〜30.0未満%、Cr:10.0〜25.0
%、Nb+Ta:0.2〜1.5%、Ti:1.2〜
2.5未満%、Al:0.8〜2.0%、B:0.00
1〜0.01%、残部Feおよび不可避的不純物からな
り、Ti/Alの原子比が0.6〜1.0である耐熱鋼
の素材を溶体化処理したのち、冷間加工または温間加工
により部品を製造し、加工ひずみを残留したまま時効処
理することを特徴とする耐熱部品の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、エンジン用ボル
ト、エンジンバルブなどの耐熱部品の製造方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来、エンジン部品、タービン部品、熱
交換器用部品、加熱炉部品、原子力用部品などの耐熱性
および耐食性などが要求される部品として、オーステナ
イト系耐熱鋼であるJIS SUH660(C:≦0.08%
、Si: ≦1.0%、Mn: ≦2.0%、Ni:24.0 〜27.0% 、Cr:1
3.5 〜16.0% 、Mo:1.0〜1.5%、V:0.10〜0.50% 、Al: ≦
0.35% 、Ti:1.90 〜2.35% 、B:0.001 〜0.010%、残部F
e) が使用されている。このSUH660の使用上限温
度は700℃であり、700℃を超える使用条件の場合
にはSUH660より高いNiの合金が用いられてい
る。しかし、SUH660より高いNiの合金は、コス
トが高いので、SUH660と同様なコストで、且つ7
00℃以上の使用雰囲気でも使用可能な材料が求めら
れ、いくつかの合金が開発され、その1つに特開平7─
216515号公報に開示されているものがある。
【0003】また、最近は製造工程の低コスト化のた
め、冷間加工後に固溶化熱処理することなく直接時効を
するという方法で耐熱部品を製造する場合が増えてきて
いる。しかし、実用化されている耐熱合金はその製造工
程を採用すると700℃までは十分強度を保つが、長時
間700℃に曝されると強度が低下しやすかった。この
原因は、加工ひずみを残留させたまま直接時効処理をす
ると、時効が促進されやすく、700℃以上では強化相
のγ′相(Ni3(Ti,Al,Nb,Ta)が脆化相のη相に変化して
しまうからである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、耐熱鋼の素
材を溶体化処理したのち、冷間加工または温間加工を
し、続いて加工ひずみを残留させたまま時効処理をする
ことができ、且つ700℃以上の使用雰囲気でも脆化相
のη相が析出することがない耐熱部品の製造方法を提供
することを課題とするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明者は、加工ひずみを残留させたまま直接時効
処理しても、その後の700℃以上の使用雰囲気でη相
が析出しない耐熱部品の製造方法について研究していた
ところ、Fe−Ni−Cr系の耐熱鋼のTi/Alの原
子比が1.0%を超えるとη相が析出するが、1.0%
以下であるとη相の析出が抑えられ、長時間高温に曝さ
れても強度の低下が小さいこと、および0.6%未満で
あるとγ′相の析出が不十分で強度が確保できないとの
知見を得て本発明をなしたものである。
【0006】すなわち、本発明の耐熱部品の製造方法に
おいては、C:0.005〜0.20%、Si:2.0
%以下、Mn:2.0%以下、Ni:20〜30未満
%、Cr:10.0〜25.0%、Nb+Ta:0.2
〜1.5%、Ti:1.2〜2.5未満%、Al:0.
8〜2.0%、B:0.001〜0.01%、必要に応
じてMo:3.0%以下、W:3.0%以下、V:1.
0%以下、Co:5.0%以下のうちの1種または2種
以上含有し、さらに必要に応じてMg+Ca:0.00
1〜0.01%を含有し、残部Feおよび不可避的不純
物からなり、Ti/Alの原子比を0.6〜1.0、必
要に応じてTi+Al+Nb+Taの原子%を4.0〜
8.0%とし、かつCoを含有させる場合にはNi+C
o:20.0〜30.0未満%とした耐熱鋼の素材を溶
体化処理したのち、冷間加工または温間加工により部品
を製造し、加工ひずみを残留したまま時効処理すること
である。
【0007】以下本発明を詳細に説明する。先ず本発明
の耐熱鋼の成分組成を上記のように限定した理由を説明
する。 C:0.005〜0.20% Cは、Ti、Nb、Crなどと結合して炭化物を形成す
ることにより合金の高温強度を改善するために含有させ
る元素で、0.005%未満ではその効果がなく、また
0.20%を超えると炭化物を多量に析出して加工性、
靭延性および耐食性を劣化するので、その含有範囲を
0.005〜0.20%とする。Si:2.0%以下S
iは、脱酸剤として有用であり、また耐酸化性を改善す
るために含有させる元素であるが、2.0%を超えると
加工性が低下するので、その含有量を2.0%以下とす
る。
【0008】Mn:2.0%以下 Mnは、Siと同様に脱酸剤として含有させる元素であ
るが、2.0%を超えると加工性および高温酸化性を損
なうだけでなく、靭性を害するη相の析出を助長するの
で、その含有量を2.0%以下とする。 Ni:20.0〜30.0未満% Niは、合金のマトリックスであるオーステナイト組織
を形成する元素であり、合金の耐熱性および耐食性を向
上し、また強化相であるγ′相を析出させる上で必要な
元素で、20.0%未満ではこのような効果を得ること
ができず、また30.0%以上になるとコストが高くな
るので、その含有範囲を20.0〜30.0未満%とす
る。 Cr:10.0〜25.0% Crは、合金の高温酸化および腐食を改善するために含
有させる元素で、10%未満ではこのような効果を得る
ことができず、25.0%を超えるとオーステナイト相
が不安定となり、脆化相であるσ相(FeCr)が析出
して合金の靭性を低下するので、その含有範囲を10.
0〜25.0%とする。好ましい範囲は12〜20%で
ある。
【0009】Nb+Ta:0.2〜1.5% NbおよびTaは、いずれもNiとともに重要な析出相
である金属間化合物のγ′相(γプライム相)であるN
3 (Al,Ti,Nb,Ta)を形成し、そのγ′相
の析出によって合金の高温強度を効果的に高くすること
ができる元素で、この効果を得るために0.2%以上含
有させる必要があるが、1.5%を超えるとラーバス相
(Fe2 Nb)が多量に析出して高温強度および靭性を
低下するので、その含有範囲を 0.2〜1.5%とす
る。 Ti:1.2〜2.5未満% Tiは、Al,Nb,TaとともにNiと結合して高温
強度を向上させるのに有効なγ′相を形成する元素で、
その含有量が1.2%未満であるとγ′の固溶温度が低
下し、2.5%以上になるとη相(Ni3 Ti)が析出
して高温強度および靭性を低下するので、その含有範囲
を1.2〜2.5未満%とする。
【0010】Al:0.8〜2.0% Alは、Niと結合してγ′相を形成する最も重要な元
素で、0.8%未満であるとγ′相の析出が不十分で高
温強度が確保できず、2.0%を超えると合金の熱間加
工性が低下するので、その含有範囲を0.8〜2.0%
とする。好ましい範囲は、1.0〜1.6未満%であ
る。 B:0.001〜0.01% Bは、結晶粒界に偏析して粒界を強化する元素で、この
効果を得るために0.001%以上含有させる必要があ
るが、0.01%を超えると熱間加工性を損なうので、
その含有範囲を0.001〜0.01%とする。 Mg+Ca:0.001〜0.01% MgおよびCaは、溶解時に脱酸および脱硫元素として
添加する元素で、熱間加工性を改善する効果がある。こ
の効果が現れるのは0.001%からであり、0.01
%を超えて含有させるとかえって熱間加工性を低下する
ので、その含有範囲を0.001〜0.01%とする。
【0011】Mo:3.0%以下、W:3.0%以下、
V:1.0% Mo、W、Vは、固溶強化により高温強度を向上させる
元素で、MoおよびWについては3%を超えて、Vは1
%を超えて含有させても効果の向上が少なく、またコス
トの上昇および加工性を低下するので、その含有量をM
oを3.0%以下、Wを3.0%以下、Vを1.0%と
する。 Co:5.0%以下 Ni+Co:20.0〜30.0未満% Coは、Niとほぼ同じような作用がある元素で、Ni
を一部置換する形で合金に含有させることができる。す
なわちNi+Co:20.0〜30.0未満%の条件を
満たす範囲でCoを含有させることができる。しかし、
CoはNiに比較して高価な元素であるので、上限を
5.0%とする。
【0012】Ti/Alの原子比:0.6〜1.0 Ti/Alの原子比が0.6%未満であるとγ′相の析
出が不十分で強度が確保できず、また1.0%を超える
と脆化相のη相が析出し、長時間高温に曝されると強度
が低下するので、その範囲を0.6〜1.0とする。 Ti+Al+Nb+Taの原子%が4.0〜8.0% Ti、Al、Nb、Taは、何れもγ′相の構成元素
で、十分なNi量が存在する場合、γ′相の析出量はこ
れらの元素の含有量の総和に比例する。そして合金の高
温強度はγ′相の析出量に比例する。本発明において合
金の700℃以上での高温強度を十分発現させる上で
4.0原子%以上含有させる必要がある。一方、その総
和が8.0原子%を超えると強度は上昇するものの熱間
加工性は低下する。そこでこれらの元素の含有量の総和
を4.0〜8.0%とする。好ましくは5.0〜6.5
%である。 P,S,O,N これらの元素は、何れも不可避的不純物で、これらのう
ちPおよびSは熱間加工性を低下させ、またOおよびN
は酸化物または窒化物を形成し、機械的性質を劣化する
ので、Pは0.02%以下、S,OおよびNは0.01
%以下にするのが好ましい。
【0013】次に、本発明の素材の製造方法、加工およ
び熱処理について説明する。本発明の耐熱部品の製造方
法は、上記成分組成の耐熱鋼の素材を溶体化処理したの
ち、冷間加工または温間加工により製品の部品を製造
し、加工ひずみを残留したまま時効処理することである
が、上記耐熱鋼の素材は、高周波誘導炉、真空溶解溶解
後エレクトロスラグ再溶解、大気溶解後真空エレクトロ
スラグ再溶解などによって溶解および精製後、鋳造して
製造したインゴットを必要に応じてソーキングした後、
熱間鍛造や熱間圧延などの加工工程を通して製造される
ものである。さらに、本発明の耐熱部品の製造方法の溶
体化処理は、950〜1150℃で、素材の大きさにも
よるが通常10分〜4時間加熱後油冷または水冷するこ
とである。
【0014】また、本発明の冷間加工または温間加工
は、製品の部品を製造するためのもので、加工率が小さ
いと時効の促進が小さく十分な強度が得られなので、本
発明の耐熱鋼においては30%以上にすることが好まし
い。また、本発明の時効処理は、600〜800℃で、
製品の大きさ、部品の種類および用途にもよるが通常
0.1〜20時間加熱して行う。本発明の製造方法で製
造される耐熱部品は、ボルト、ナット、エンジンバル
ブ、板、ワイヤーなどのエンジン部品、タービン部品、
熱交換器用部品、加熱炉部品、原子力用部品などであ
る。
【0015】
【発明の実施の形態】以下本発明を実施例により説明す
る。下記表1に示した成分組成の材料50kgを高周波
誘導炉で溶解および精製し、鋳造してインゴットを得
た。そしてこのインゴットを1100℃で16時間ソー
キングした後、引き続いて1100〜900℃の温度範
囲で鍛造、圧延して直径25mmの丸棒とした。その丸
棒を975℃で30分間加熱後油冷の条件で溶体化処理
をし、ついでその熱処理をした丸棒から直径24.0m
m、高さ45.0mmの試験片を切り出した。そしてそ
れらの試験片を用いて、室温において絞り65%の前方
押出し加工を行い、それらの試験片に750℃×4時
間、さらに長時間使用を想定して750℃×100時間
の時効処理をした。
【0016】その後この時効処理をした試験片より硬さ
試験および引張り試験用の試験片を切り出して室温で硬
さ試験および750℃で引張り試験を行った。その結果
を下記表2の本発明方法の欄に記載した。また同時に従
来の製造方法で製造した試験片、すなわち上記前方押出
し加工をした後に固溶化熱処理(975℃で30分間加
熱後油冷)をし、その後750℃×4時間で時効処理を
し、さらに長時間使用を想定して750℃×100時間
の時効処理をした試験片も用意して同様な試験を行っ
た。その結果を下記表2の従来方法の欄に記載した。な
お、引張り試験は、JIS 4号試験片を用いて750
℃において行った。
【0017】
【表1】
【0018】
【表2】
【0019】これらの結果より、本発明の耐熱鋼の素材
を冷間加工後直接時効処理したものは、本発明の耐熱鋼
の素材を従来方法の冷間加工後に固溶化熱処理し、その
後時効処理したものより室温硬さが約18〜24%高く
なっており、また750℃の引張強さが約31〜52%
高くなっている。さらに、本発明の耐熱鋼を冷間加工後
直接時効処理したものは、比較鋼を冷間加工後直接時効
処理したものより室温硬さが約11〜55%高くなって
おり、また750℃の引張強さが約46〜227%も高
くなっている。また、本発明の耐熱鋼を冷間加工後直接
時効処理したものは、全てミクロ組織が正常であった
が、比較鋼を冷間加工後直接時効処理したもののTi/
Alの原子%比が大きいものは、時効が進み過たため脆
化相であるη相が析出し、またTi/Alの原子%比が
小さいものは、ミクロ組織は正常であるがγ′相の析出
が十分でないため本発明鋼より強度が低い。
【0020】また、本発明の耐熱鋼を冷間加工後直接時
効処理したものは、比較鋼のNo.11を従来方法で処理し
たものより平均して室温硬さおよび750℃の引張強さ
が低くなっているが、高くなっているものが1例、同等
のものが1例あることから判断すると、Ti/Alの原
子%比を0.6〜1.0にした本発明の耐熱鋼を冷間加
工後直接時効処理したものは、冷間加工後の固溶化熱処
理を省略したにもかかわらずTi/Alの原子%比を
1.0より大きくした従来の耐熱鋼を従来方法で処理し
たもののと同等またはそれ以上のものを得ることができ
ることが分かる。
【0021】
【発明の効果】本発明の耐熱製品の製造方法は、上記構
成にしたことにより、冷間加工後固溶加熱処理をするこ
となく直接時効をすることができるので、低いコストで
長時間700℃以上に曝されても強度が低下しないとい
う優れた効果を奏する。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 重量%で(以下同じ)、C:0.005
    〜0.20%、Si:2.0%以下、Mn:2.0%以
    下、Ni:20.0〜30.0未満%、Cr:10.0
    〜25.0%、Nb+Ta:0.2〜1.5%、Ti:
    1.2〜2.5未満%、Al:0.8〜2.0%、B:
    0.001〜0.01%、残部Feおよび不可避的不純
    物からなり、Ti/Alの原子比が0.6〜1.0であ
    る耐熱鋼の素材を溶体化処理したのち、冷間加工または
    温間加工により部品を製造し、加工ひずみを残留したま
    ま時効処理することを特徴とする耐熱部品の製造方法。
  2. 【請求項2】 C:0.005〜0.20%、Si:
    2.0%以下、Mn:2.0%以下、Ni:20.0〜
    30.0未満%、Cr:10.0〜25.0%、Nb+
    Ta:0.2〜1.5%、Ti:1.2〜2.5未満
    %、Al:0.8〜2.0%、B:0.001〜0.0
    1%、およびMo:3.0%以下、W:3.0%以下、
    V:1.0%以下の1種または2種以上、残部Feおよ
    び不可避的不純物からなり、Ti/Alの原子比が0.
    6〜1.0である耐熱鋼の素材を溶体化処理したのち、
    冷間加工または温間加工により部品を製造し、加工ひず
    みを残留したまま時効処理することを特徴とする耐熱部
    品の製造方法。
  3. 【請求項3】 C:0.005〜0.20%、Si:
    2.0%以下、Mn:2.0%以下、Ni:20.0〜
    30.0未満%、Cr:10.0〜25.0%、Nb+
    Ta:0.2〜1.5%、Ti:1.2〜2.5未満
    %、Al:0.8〜2.0%、B:0.001〜0.0
    1%、およびMo:3.0%以下、W:3.0%以下、
    V:1.0%以下のうちの1種または2種以上、Co:
    5.0%以下、残部Feおよび不可避的不純物からな
    り、Ti/Alの原子比が0.6〜1.0で、かつNi
    +Co:20.0〜30.0未満%であることを特徴と
    する耐熱鋼の素材を溶体化処理したのち、冷間加工また
    は温間加工により部品を製造し、加工ひずみを残留した
    まま時効処理することを特徴とする耐熱部品の製造方
    法。
  4. 【請求項4】 上記耐熱鋼はMg+Caを0.001〜
    0.01%含有するものであることを特徴とする請求項
    1ないし請求項3のいずれか1項記載の耐熱部品の製造
    方法。
  5. 【請求項5】 上記耐熱鋼のTi+Al+Nb+Taの
    原子%が4.0〜8.0%であることを特徴とする請求
    項1ないし請求項4のいずれか1項記載の耐熱部品の製
    造方法。
  6. 【請求項6】 上記冷間加工または温間加工の加工度が
    30%以上であることを特徴とする請求項1ないし請求
    項5のいずれか1項記載の耐熱部品の製造方法。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009542919A (ja) * 2006-07-07 2009-12-03 イートン コーポレーション 耐磨耗性耐熱合金
JP2014109053A (ja) * 2012-11-30 2014-06-12 Toshiba Corp オーステナイト系耐熱鋼およびタービン部品
JP2015502473A (ja) * 2011-10-20 2015-01-22 ボーグワーナー インコーポレーテッド ターボチャージャ及びそのための構成要素
JP2015030873A (ja) * 2013-08-01 2015-02-16 株式会社東芝 オーステナイト系耐熱鋼およびタービン部品
CN104841823A (zh) * 2015-05-25 2015-08-19 无锡市派克重型铸锻有限公司 一种提高1Cr11Ni2W2MoV锻件晶粒度的锻造工艺
JP2015183256A (ja) * 2014-03-25 2015-10-22 株式会社東芝 オーステナイト系耐熱鋼およびタービン部品
WO2020004286A1 (ja) * 2018-06-28 2020-01-02 株式会社東亜鍛工所 中空エンジンバルブの製造方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009542919A (ja) * 2006-07-07 2009-12-03 イートン コーポレーション 耐磨耗性耐熱合金
JP2015502473A (ja) * 2011-10-20 2015-01-22 ボーグワーナー インコーポレーテッド ターボチャージャ及びそのための構成要素
JP2014109053A (ja) * 2012-11-30 2014-06-12 Toshiba Corp オーステナイト系耐熱鋼およびタービン部品
JP2015030873A (ja) * 2013-08-01 2015-02-16 株式会社東芝 オーステナイト系耐熱鋼およびタービン部品
JP2015183256A (ja) * 2014-03-25 2015-10-22 株式会社東芝 オーステナイト系耐熱鋼およびタービン部品
CN104841823A (zh) * 2015-05-25 2015-08-19 无锡市派克重型铸锻有限公司 一种提高1Cr11Ni2W2MoV锻件晶粒度的锻造工艺
WO2020004286A1 (ja) * 2018-06-28 2020-01-02 株式会社東亜鍛工所 中空エンジンバルブの製造方法

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