JPH11112074A - レーザビーム通過開口板およびそれを用いた高出力レーザ装置およびレーザ光伝送装置 - Google Patents
レーザビーム通過開口板およびそれを用いた高出力レーザ装置およびレーザ光伝送装置Info
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- JPH11112074A JPH11112074A JP27417597A JP27417597A JPH11112074A JP H11112074 A JPH11112074 A JP H11112074A JP 27417597 A JP27417597 A JP 27417597A JP 27417597 A JP27417597 A JP 27417597A JP H11112074 A JPH11112074 A JP H11112074A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高出力レーザ装置あるいは高出力レーザ光伝
送装置に使用する耐熱、耐久性の高いレーザビーム通過
開口板を提供する。 【解決手段】 金属製の開口板３表面に、レーザ光の吸
収率が高く、かつ耐熱性の高いセラミックでコーティン
グする。さらに長期の使用に耐えるため、開口板本体に
水冷機構２を設ける。
送装置に使用する耐熱、耐久性の高いレーザビーム通過
開口板を提供する。 【解決手段】 金属製の開口板３表面に、レーザ光の吸
収率が高く、かつ耐熱性の高いセラミックでコーティン
グする。さらに長期の使用に耐えるため、開口板本体に
水冷機構２を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高出力、特に１０
kW以上の高出力発振を行うレーザ装置抜術とレーザビー
ム伝送装置技術に属するもので、レーザビーム通過開口
板および該開口板を用いた高出力レーザ装置およびレー
ザ光伝送装置に関する。
kW以上の高出力発振を行うレーザ装置抜術とレーザビー
ム伝送装置技術に属するもので、レーザビーム通過開口
板および該開口板を用いた高出力レーザ装置およびレー
ザ光伝送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、高出力レーザ装置は溶接、切断、
穴あけ等の加工応用に頻繁に用いられており、平均出力
として５０kW級の超高出力ＣＯ2 レーザ装置も実用化さ
れている。これらのレーザ装置を利用する際に最も重要
なことは、レーザ出力、ポインティング（ビーム伝搬方
向）、発振モードの安定化である。
穴あけ等の加工応用に頻繁に用いられており、平均出力
として５０kW級の超高出力ＣＯ2 レーザ装置も実用化さ
れている。これらのレーザ装置を利用する際に最も重要
なことは、レーザ出力、ポインティング（ビーム伝搬方
向）、発振モードの安定化である。
【０００３】ところでレーザ共振器は正対する二枚の共
振器ミラー間で存在し得る定在波により発振し、その発
振光軸、すなわちレーザのポインティングはミラー面に
垂直な方向に一義的に決定される。
振器ミラー間で存在し得る定在波により発振し、その発
振光軸、すなわちレーザのポインティングはミラー面に
垂直な方向に一義的に決定される。
【０００４】また、レーザ発振光のビーム断面上での強
度分布モード（発振横モード）は安定型共振器の場合、
光軸中心に単一のピークを持つ基本ガウスモード（低次
モード）から種々のガウスモードが重畳した複数のピー
クを持つマルチモード（高次モード）まで多数存在す
る。
度分布モード（発振横モード）は安定型共振器の場合、
光軸中心に単一のピークを持つ基本ガウスモード（低次
モード）から種々のガウスモードが重畳した複数のピー
クを持つマルチモード（高次モード）まで多数存在す
る。
【０００５】これらのモードの中で最も集光性が高い基
本ガウスモードが加工応用に適し、且つ共振器内部で最
も小さいビーム径を持つ。そこで図３に示すように、１
〜２kW程度の出力をもつ安定型共振器のレーザ装置にお
いて、共振器内に基本ガウスビーム径に一致した開口板
３を挿入することで、より大きなビーム径を持つ高次モ
ードの発振を抑制することが行われてきた。この方法に
よって比較的低出力のレーザ装置では思惑通りモードの
規制が可能であり、また発振光のポインティング、およ
びレーザ出力も安定している。
本ガウスモードが加工応用に適し、且つ共振器内部で最
も小さいビーム径を持つ。そこで図３に示すように、１
〜２kW程度の出力をもつ安定型共振器のレーザ装置にお
いて、共振器内に基本ガウスビーム径に一致した開口板
３を挿入することで、より大きなビーム径を持つ高次モ
ードの発振を抑制することが行われてきた。この方法に
よって比較的低出力のレーザ装置では思惑通りモードの
規制が可能であり、また発振光のポインティング、およ
びレーザ出力も安定している。
【０００６】しかし、１０kWを超えるような高出力レー
ザ装置ではレーザ利得、レーザ共振器長がともに増大す
るため、共振器内の開口板の使用には以下に挙げる種々
の問題がある。高出力レーザでは、誘導放出に起因する
レーザ発振とは無関係に発光する自然放出光が大きな増
幅を受け高強度光になる。これはレーザ利得、利得長が
大きい場合に起こる現象である。この自然放出光は指向
性を持たないため、一部は開口板に照射される。その結
果、開口板は溶融等のダメージを受けたり、開口板で一
部反射された高強度光は共振器内部で乱反射を起こし、
予期せぬ加熱による溶融ダメージを与えるという問題が
あった。また、ＣＯ2 レーザでは溶融ダメージ部分から
発生するスパッタがレーザガスを汚染し、発振の不安定
化に繋がる問題があった。
ザ装置ではレーザ利得、レーザ共振器長がともに増大す
るため、共振器内の開口板の使用には以下に挙げる種々
の問題がある。高出力レーザでは、誘導放出に起因する
レーザ発振とは無関係に発光する自然放出光が大きな増
幅を受け高強度光になる。これはレーザ利得、利得長が
大きい場合に起こる現象である。この自然放出光は指向
性を持たないため、一部は開口板に照射される。その結
果、開口板は溶融等のダメージを受けたり、開口板で一
部反射された高強度光は共振器内部で乱反射を起こし、
予期せぬ加熱による溶融ダメージを与えるという問題が
あった。また、ＣＯ2 レーザでは溶融ダメージ部分から
発生するスパッタがレーザガスを汚染し、発振の不安定
化に繋がる問題があった。
【０００７】そこで、この様なダメージを避けるために
開口径を拡大することが考えられるが、低次モードヘの
規制が緩和されるため、高次発振モードが発生し集光性
を劣化させることになる。また、前述の増幅された自然
発振光が開口部を通過できるようになるため、本来のレ
ーザ発振光軸から逸脱した方向への寄生発振が生じる。
これは加工応用などでのビーム伝送系に熱破損を与える
危険があることに加え、本来の発振光との相互作用でモ
ード、および出力が不安定化する問題があった。
開口径を拡大することが考えられるが、低次モードヘの
規制が緩和されるため、高次発振モードが発生し集光性
を劣化させることになる。また、前述の増幅された自然
発振光が開口部を通過できるようになるため、本来のレ
ーザ発振光軸から逸脱した方向への寄生発振が生じる。
これは加工応用などでのビーム伝送系に熱破損を与える
危険があることに加え、本来の発振光との相互作用でモ
ード、および出力が不安定化する問題があった。
【０００８】また、１０kWを超えるような高出力発振に
は、しばしば図４に示すような不安定型の共振器構成が
用いられる。この共振器構成では発振光軸近傍で発生し
た自然発光がミラー間を往復伝搬する間に増幅され、且
つビーム径は拡大する。共振器からのレーザ出力は拡大
ビームが一方のミラーの外周から洩れ出す形で得られ
る。従って、ビームモードは一般にドーナッツ型であ
る。図４に示すようにドーナッツモードの内径と外径の
比、すなわち拡大率Ｍとして知られるパラメータは共振
器ミラー６、７の曲率半径Ｒ1 、Ｒ2 、直径ｄ1 、ｄ2
と共振器長ｌで決定される（Ｍ＝Ｒ2 ／Ｒ1 ＝ｄ2 ／ｄ
1 Ｒ2 −Ｒ1 ＝２×ｌ）。
は、しばしば図４に示すような不安定型の共振器構成が
用いられる。この共振器構成では発振光軸近傍で発生し
た自然発光がミラー間を往復伝搬する間に増幅され、且
つビーム径は拡大する。共振器からのレーザ出力は拡大
ビームが一方のミラーの外周から洩れ出す形で得られ
る。従って、ビームモードは一般にドーナッツ型であ
る。図４に示すようにドーナッツモードの内径と外径の
比、すなわち拡大率Ｍとして知られるパラメータは共振
器ミラー６、７の曲率半径Ｒ1 、Ｒ2 、直径ｄ1 、ｄ2
と共振器長ｌで決定される（Ｍ＝Ｒ2 ／Ｒ1 ＝ｄ2 ／ｄ
1 Ｒ2 −Ｒ1 ＝２×ｌ）。
【０００９】理想的にはレーザビームはこれらのパラメ
ータで決まるビーム外径を持つが、高出力レーザ励起媒
質１０は高温化するため媒質の屈折率が変化し、ビーム
５の発散が生じる。その結果、レーザ装置内部に熱ダメ
ージを与え、発振を不安定化させることがある。そこ
で、やはり開口板３による規制が必要であったが、不安
定型共振器では開口板を置く位置でのレーザ強度は既に
十分な増幅を受けているため、やはり開口板の耐久性、
および前述と同様に開口板でのレーザ光反射による種々
の問題があった。
ータで決まるビーム外径を持つが、高出力レーザ励起媒
質１０は高温化するため媒質の屈折率が変化し、ビーム
５の発散が生じる。その結果、レーザ装置内部に熱ダメ
ージを与え、発振を不安定化させることがある。そこ
で、やはり開口板３による規制が必要であったが、不安
定型共振器では開口板を置く位置でのレーザ強度は既に
十分な増幅を受けているため、やはり開口板の耐久性、
および前述と同様に開口板でのレーザ光反射による種々
の問題があった。
【００１０】以上はレーザ発振に関しての安定性を確立
するための開口板の問題であったが、加工応用では高出
力ビーム伝送装置の安定性、安全も重要である。特に、
ＣＯ2 レーザはＹＡＧレーザと違いファイバー伝送が不
可能であるため、ミラーによりビームを多数回反射させ
て伝送を行う。その際、途中のミラーの反射角が変動す
ると、ビームはそれ以降の反射ミラーの有効面積から外
れ、伝送率が低下したり、あるいはミラーホルダーの縁
や周辺機器に熱損傷を与える問題が発生する。この問題
はレーザビーム伝送距離が長い場合、またレーザ出力が
１０kWを超えるような高出力に特に問題であった。
するための開口板の問題であったが、加工応用では高出
力ビーム伝送装置の安定性、安全も重要である。特に、
ＣＯ2 レーザはＹＡＧレーザと違いファイバー伝送が不
可能であるため、ミラーによりビームを多数回反射させ
て伝送を行う。その際、途中のミラーの反射角が変動す
ると、ビームはそれ以降の反射ミラーの有効面積から外
れ、伝送率が低下したり、あるいはミラーホルダーの縁
や周辺機器に熱損傷を与える問題が発生する。この問題
はレーザビーム伝送距離が長い場合、またレーザ出力が
１０kWを超えるような高出力に特に問題であった。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、耐熱・耐久
性の高いレーザビーム通過開口板を提供し、これをレー
ザ共振器内に使用することで、高出力レーザのレーザ出
力、モード、ポインティングの高い安定性を得ようとす
るものである。また、当該開口板をビーム伝送系の途中
で使用することで、ビーム伝送方向が変動した場合でも
ビーム照射による周辺機器の損傷を防ぎ、安定した伝送
を実現するものである。
性の高いレーザビーム通過開口板を提供し、これをレー
ザ共振器内に使用することで、高出力レーザのレーザ出
力、モード、ポインティングの高い安定性を得ようとす
るものである。また、当該開口板をビーム伝送系の途中
で使用することで、ビーム伝送方向が変動した場合でも
ビーム照射による周辺機器の損傷を防ぎ、安定した伝送
を実現するものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、レーザ光の吸
収率が高く、且つ耐熱性の高いセラミックをコーティン
グした金属製の開口板であり、高強度のレーザ光が開口
板に当たっても溶融、および反射に起因するダメージが
極力発生しない。また、長期の使用に耐えるため開口板
本体には水冷機構を設ける。この開口径をレーザ発振モ
ードの規制と寄生発振を抑制するために設計した開口径
にし、レーザ共振器内部に設置することで、高強度のビ
ーム規制に使用できるものであり、出力、モード、ポイ
ンティングの観点で安定した高出力発振が行える。ま
た、これらの開口板は特に１０kWを超えるような高出力
レーザに頻繋に用いられる不安定型共振器においても、
使用可能である。
収率が高く、且つ耐熱性の高いセラミックをコーティン
グした金属製の開口板であり、高強度のレーザ光が開口
板に当たっても溶融、および反射に起因するダメージが
極力発生しない。また、長期の使用に耐えるため開口板
本体には水冷機構を設ける。この開口径をレーザ発振モ
ードの規制と寄生発振を抑制するために設計した開口径
にし、レーザ共振器内部に設置することで、高強度のビ
ーム規制に使用できるものであり、出力、モード、ポイ
ンティングの観点で安定した高出力発振が行える。ま
た、これらの開口板は特に１０kWを超えるような高出力
レーザに頻繋に用いられる不安定型共振器においても、
使用可能である。
【００１３】また、ビーム伝送光学系の途中に挿入する
ことで、ビームの伝送方向が変動した際も開口板でビー
ムを遮断することが可能であり、伝送光学装置への不必
要なレーザ照射を防止することが可能で、安定、安全な
高出力のビーム伝送を行える。
ことで、ビームの伝送方向が変動した際も開口板でビー
ムを遮断することが可能であり、伝送光学装置への不必
要なレーザ照射を防止することが可能で、安定、安全な
高出力のビーム伝送を行える。
【００１４】
【発明の実施の形態】図１は本発明の開口板の基本構成
の説明図である。開口板３の基板は熱伝導率の高い銅で
あり、水冷のための水路１が設けられている。開口２の
径、および取り付け方法等はレーザ装置の構成により適
宜決めればよい。
の説明図である。開口板３の基板は熱伝導率の高い銅で
あり、水冷のための水路１が設けられている。開口２の
径、および取り付け方法等はレーザ装置の構成により適
宜決めればよい。
【００１５】開口板３の表面に対しては、溶射によりア
ルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）等のセラミック材を、例えば、２
００μｍの厚みでコーティングした。セラミックコーテ
イングの厚みは５０μｍ未満である場合、高強度レーザ
ビームが連続的に照射されると容易にコーティングがは
がれてしまい、基板にダメージが生じる。また、３００
μｍを超える厚みにすると、基板との熱伝導による冷却
効果が低下するためコーティングが過剰に加熱され、や
はり耐久性が劣化する。従って、５０〜３００μｍの範
囲のコーティング厚みが本発明の開口板３には適する。
ルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）等のセラミック材を、例えば、２
００μｍの厚みでコーティングした。セラミックコーテ
イングの厚みは５０μｍ未満である場合、高強度レーザ
ビームが連続的に照射されると容易にコーティングがは
がれてしまい、基板にダメージが生じる。また、３００
μｍを超える厚みにすると、基板との熱伝導による冷却
効果が低下するためコーティングが過剰に加熱され、や
はり耐久性が劣化する。従って、５０〜３００μｍの範
囲のコーティング厚みが本発明の開口板３には適する。
【００１６】
（実施例１）図２は本発明の開口板３を平均出力１４kW
のＣＯ2 レーザに適用した場合の実施例の説明図であ
る。本レーザ装置は、三軸直交の高速ガス流タイプ、不
安定型共振器である。レーザ媒質１０は、図示されない
ブロワーにより光軸と直交する方向に約１５０m/s で高
速循環されており、図示されていない電源、電極を介し
て光軸とガス流それぞれに直交する方向（紙面垂直方
向）の直流放電により励起されている。共振器は二枚の
全反射平面ミラー６、７により多パス型に構成され、凸
面ミラー７前面の穴あき出力ミラー９により反射された
レーザ光５が、図示されない空力窓を介して出力として
取り出される。不安定型共振器の拡大率はＭ＝４（図４
参照）であり、設計上での発振ビーム外径は６０mmであ
る。
のＣＯ2 レーザに適用した場合の実施例の説明図であ
る。本レーザ装置は、三軸直交の高速ガス流タイプ、不
安定型共振器である。レーザ媒質１０は、図示されない
ブロワーにより光軸と直交する方向に約１５０m/s で高
速循環されており、図示されていない電源、電極を介し
て光軸とガス流それぞれに直交する方向（紙面垂直方
向）の直流放電により励起されている。共振器は二枚の
全反射平面ミラー６、７により多パス型に構成され、凸
面ミラー７前面の穴あき出力ミラー９により反射された
レーザ光５が、図示されない空力窓を介して出力として
取り出される。不安定型共振器の拡大率はＭ＝４（図４
参照）であり、設計上での発振ビーム外径は６０mmであ
る。
【００１７】本実施例では開口板３の開口径６０mmに設
定し、図２に図示する位置に合計５枚を設置し、レーザ
発振を行った。また、比較のためセラミックコーティン
グを行っていない銅基板の同型の開口板も試してみた。
その結果、セラミックコーティングを施していない開口
板の場合、発振ビームの強度分布が間欠的に変動し、同
時にレーザ出力も変動することが観測された。これは開
口板での乱反射光が本来の発振光に作用し、発振を不安
定化させているものと推測される。また、テスト終了
後、発振器内部、および開口板を調査したところ、開口
部に一部溶融ダメージが観測され、またレーザ光の乱反
射の影響と見られる破損が共振器内部に観測された。
定し、図２に図示する位置に合計５枚を設置し、レーザ
発振を行った。また、比較のためセラミックコーティン
グを行っていない銅基板の同型の開口板も試してみた。
その結果、セラミックコーティングを施していない開口
板の場合、発振ビームの強度分布が間欠的に変動し、同
時にレーザ出力も変動することが観測された。これは開
口板での乱反射光が本来の発振光に作用し、発振を不安
定化させているものと推測される。また、テスト終了
後、発振器内部、および開口板を調査したところ、開口
部に一部溶融ダメージが観測され、またレーザ光の乱反
射の影響と見られる破損が共振器内部に観測された。
【００１８】一方、本発明の開口板では上記の問題は一
切発生せず、出力、モード、ポインティングすべてにお
いて良好な安定性を得た。また、テスト後の開口板、共
振器内部ダメージは観測されなかった。
切発生せず、出力、モード、ポインティングすべてにお
いて良好な安定性を得た。また、テスト後の開口板、共
振器内部ダメージは観測されなかった。
【００１９】（実施例２）次に、本発明の開口板を高出
力レーザの伝送装置に用いた場合の実施例を示す。図５
は平均出力１４kWＣＯ2 レーザの伝送光学装置の説明図
である。レーザ装置１６の中には図示しないビームコリ
メート光学系が含まれており、コリメートされたビーム
５が出力口１５から出力される。出力ビーム５は全反射
ミラーＭＡからＭＤを介して、被加工物１４まで伝送さ
れる。ここで各ミラー間距離は次の様に設定した。 レーザ出力口〜ミラーＭＡ：５ｍ ミラーＭＡ〜ミラーＭＢ：５ｍ ミラーＭＢ〜ミラーＭＣ：１５ｍ ミラーＭＣ〜ミラーＭＤ：５ｍ ミラーＭＤ〜被加工物１４：１０ｍ
力レーザの伝送装置に用いた場合の実施例を示す。図５
は平均出力１４kWＣＯ2 レーザの伝送光学装置の説明図
である。レーザ装置１６の中には図示しないビームコリ
メート光学系が含まれており、コリメートされたビーム
５が出力口１５から出力される。出力ビーム５は全反射
ミラーＭＡからＭＤを介して、被加工物１４まで伝送さ
れる。ここで各ミラー間距離は次の様に設定した。 レーザ出力口〜ミラーＭＡ：５ｍ ミラーＭＡ〜ミラーＭＢ：５ｍ ミラーＭＢ〜ミラーＭＣ：１５ｍ ミラーＭＣ〜ミラーＭＤ：５ｍ ミラーＭＤ〜被加工物１４：１０ｍ
【００２０】また、各ミラー、および被加工物の前面に
は、ビーム径に該当する開口径を持つ本発明の開口板３
Ａ〜３Ｃを設置した。各開口板の開口径は以下である。 開口板３Ａ：φ９０mm 開口板３Ｂ：φ９６mm 開口板３Ｃ：φ１０５mm
は、ビーム径に該当する開口径を持つ本発明の開口板３
Ａ〜３Ｃを設置した。各開口板の開口径は以下である。 開口板３Ａ：φ９０mm 開口板３Ｂ：φ９６mm 開口板３Ｃ：φ１０５mm
【００２１】以上の設定において、ビーム伝送実験を行
った。実験ではミラーＭＢ反射角を故意に変動させミラ
ーＭＣ上でのビーム位置を変動させたが、開口板３Ａに
より変動したビームは遮断された。セラミックコーティ
ングと水冷機構により損傷は発生しなかった。また、当
然ミラーＭＣのホルダー、周辺機器に損傷は発生しなか
った。同様にミラーＭＣの反射角、ミラーＭＤの反射角
を変動させテストを行ったが、それぞれ開口板３Ｂ、３
ＣによりミラーＭＤ、および被加工物１４の不用な部分
に損傷は発生しなかった。
った。実験ではミラーＭＢ反射角を故意に変動させミラ
ーＭＣ上でのビーム位置を変動させたが、開口板３Ａに
より変動したビームは遮断された。セラミックコーティ
ングと水冷機構により損傷は発生しなかった。また、当
然ミラーＭＣのホルダー、周辺機器に損傷は発生しなか
った。同様にミラーＭＣの反射角、ミラーＭＤの反射角
を変動させテストを行ったが、それぞれ開口板３Ｂ、３
ＣによりミラーＭＤ、および被加工物１４の不用な部分
に損傷は発生しなかった。
【００２２】
【発明の効果】以上の本発明によれば、高出力レーザ発
振に問題となる共振器内部の開口板の耐久性の問題が解
決され、常に安定的に高出力・高品質なレーザ発振を得
ることができる。また、高出力レーザビーム伝送装置の
途中に使用することで、安全に且つ安定的にビームを伝
送することが可能である。
振に問題となる共振器内部の開口板の耐久性の問題が解
決され、常に安定的に高出力・高品質なレーザ発振を得
ることができる。また、高出力レーザビーム伝送装置の
途中に使用することで、安全に且つ安定的にビームを伝
送することが可能である。
【図１】本発明による開口板の説明図である。
【図２】本発明による開口板を不安定型共振器に適用し
た場合の説明図である。
た場合の説明図である。
【図３】安定型共振器内に開口板を挿入した従来例であ
る。
る。
【図４】不安定型共振器内に開口板を挿入した従来例で
ある。
ある。
【図５】レーザビーム伝送装置に開口板を使用した場合
の本発明実施例の説明図である。
の本発明実施例の説明図である。
１：冷却水路 ２：開口 ３、３Ａ〜３Ｃ：開口板 ４：冷却水 ５：レーザ出力ビーム ６：共振器ミラー（全反射、凹面） ７：共振器ミラー（全反射、凸面） ８、ＭＡ〜ＭＤ：全反射平面ミラー ９：穴あき出力ミラー １０：レーザ励起媒質 １１：部分反射出力ミラー １２：共振器全反射ミラー １３：レーザ光軸 １４：被加工物 １５：レーザ出力口 １６：レーザ装置 Ｒ1 、Ｒ2 ：曲率半径 ｄ1 、ｄ2 ：ミラー有効直径 ｌ：共振器長 Ｍ：不安定型共振器拡大率
Claims (6)
- 【請求項１】 レーザビームが通過する開口板におい
て、開口板がセラミックコーティングされていることを
特徴とするレーザビーム通過開口板。 - 【請求項２】 セラミックコーテイングの厚みが５０〜
３００μｍの範囲であることを特徴とする請求項１記載
のレーザビーム通過開口板。 - 【請求項３】 開口板に水冷機構を設けたことを特徴と
する請求項１または２記載のレーザビーム通過開口板。 - 【請求項４】 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の
レーザビーム通過開口板をレーザ共振器内に設置するこ
とを特徴とする高出力レーザ装置。 - 【請求項５】 レーザ共振器が不安定型共振器であるこ
とを特徴とする請求項４記載の高出力レーザ装置。 - 【請求項６】 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の
レーザビーム通過開口板をレーザ光伝送路の途中に設置
することを特徴とする高出力レーザ光伝送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27417597A JPH11112074A (ja) | 1997-10-07 | 1997-10-07 | レーザビーム通過開口板およびそれを用いた高出力レーザ装置およびレーザ光伝送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27417597A JPH11112074A (ja) | 1997-10-07 | 1997-10-07 | レーザビーム通過開口板およびそれを用いた高出力レーザ装置およびレーザ光伝送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11112074A true JPH11112074A (ja) | 1999-04-23 |
Family
ID=17538086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27417597A Withdrawn JPH11112074A (ja) | 1997-10-07 | 1997-10-07 | レーザビーム通過開口板およびそれを用いた高出力レーザ装置およびレーザ光伝送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11112074A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1351091A2 (de) * | 2002-03-07 | 2003-10-08 | Carl Zeiss Laser Optics GmbH | Optische Anordnung mit einer Blende |
| JP2008112948A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 不安定型光共振器 |
| JP6701457B1 (ja) * | 2019-05-17 | 2020-05-27 | 三菱電機株式会社 | ガスレーザ装置 |
-
1997
- 1997-10-07 JP JP27417597A patent/JPH11112074A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
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