JPH11111815A - ウェーハ枚数検出システム - Google Patents
ウェーハ枚数検出システムInfo
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- JPH11111815A JPH11111815A JP27541697A JP27541697A JPH11111815A JP H11111815 A JPH11111815 A JP H11111815A JP 27541697 A JP27541697 A JP 27541697A JP 27541697 A JP27541697 A JP 27541697A JP H11111815 A JPH11111815 A JP H11111815A
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- light
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光学素子と制御部との間の断線があっても断
線を検出でき、後続工程での二重のウェーハ移載を防止
できるウェーハ枚数検出システムを提供する。 【解決手段】 この発明のウェーハ枚数検出システム１
００は、ウェーハセンサ１１Ｌ，１１Ｒに組み込まれた
複数の光学素子１２ａ，１２ｂの間に配置されるウェー
ハ２２の存在を光学素子間で授受される光により誤り無
く検出するために、前記複数の光学素子の間に前記ウェ
ーハが位置付けされていないときに、ウェーハ枚数検出
モードにし、前記複数の光学素子の全部に対し投光部Ｅ
の投光のみを強制的に停止させ、前記複数の光学素子の
全部に対し投光を停止させた場合に、前記複数の光学素
子の全ての受光部Ｄから前記複数の光学素子の間には全
てウェーハが存在していることを検出したときウェーハ
枚数検出機能に異常はないと判断する。
線を検出でき、後続工程での二重のウェーハ移載を防止
できるウェーハ枚数検出システムを提供する。 【解決手段】 この発明のウェーハ枚数検出システム１
００は、ウェーハセンサ１１Ｌ，１１Ｒに組み込まれた
複数の光学素子１２ａ，１２ｂの間に配置されるウェー
ハ２２の存在を光学素子間で授受される光により誤り無
く検出するために、前記複数の光学素子の間に前記ウェ
ーハが位置付けされていないときに、ウェーハ枚数検出
モードにし、前記複数の光学素子の全部に対し投光部Ｅ
の投光のみを強制的に停止させ、前記複数の光学素子の
全部に対し投光を停止させた場合に、前記複数の光学素
子の全ての受光部Ｄから前記複数の光学素子の間には全
てウェーハが存在していることを検出したときウェーハ
枚数検出機能に異常はないと判断する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造装置
のウェーハ枚数検出システムに関し、特に、複数のウェ
ーハを平行に保持し、ウェーハ枚数検出モードにし、一
列に間隔をあけて配置された複数の光学素子を移動さ
せ、前記保持されたウェーハを前記光学素子の間に一枚
ずつそれぞれ位置付け、前記光学素子の間で光を授受さ
せ、光が受領されない場合に、光は前記ウェーハで遮断
されたものとみなして、前記光学素子の間にウェーハが
存在することを検出するウェーハ枚数検出システムに関
する。
のウェーハ枚数検出システムに関し、特に、複数のウェ
ーハを平行に保持し、ウェーハ枚数検出モードにし、一
列に間隔をあけて配置された複数の光学素子を移動さ
せ、前記保持されたウェーハを前記光学素子の間に一枚
ずつそれぞれ位置付け、前記光学素子の間で光を授受さ
せ、光が受領されない場合に、光は前記ウェーハで遮断
されたものとみなして、前記光学素子の間にウェーハが
存在することを検出するウェーハ枚数検出システムに関
する。
【０００２】
【従来の技術】この種の従来のウェーハ枚数検出システ
ムにおいては、一列に並べられた複数の光学素子のそれ
ぞれは、投光部と受光部とを具備しており、ある光学素
子の投光部の光は、隣接する光学素子の受光部に受光さ
れ、前記隣接する光学素子の投光部の光は、その次に隣
接する光学素子の受光部に受光されるようになってい
る。したがって、隣接する光学素子の間にウェーハが配
置されると、そのウェーハによって隣接する光学素子間
の投光部から受光部への光が遮断され、その光の遮断を
受光部から検出することによりウェーハの存在を確認し
ている。
ムにおいては、一列に並べられた複数の光学素子のそれ
ぞれは、投光部と受光部とを具備しており、ある光学素
子の投光部の光は、隣接する光学素子の受光部に受光さ
れ、前記隣接する光学素子の投光部の光は、その次に隣
接する光学素子の受光部に受光されるようになってい
る。したがって、隣接する光学素子の間にウェーハが配
置されると、そのウェーハによって隣接する光学素子間
の投光部から受光部への光が遮断され、その光の遮断を
受光部から検出することによりウェーハの存在を確認し
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のウェー
ハ枚数検出システムにおいては、隣接する光学素子間の
投光部から受光部への光が遮断され、その光の遮断を光
学素子の受光部から検出することによりウェーハの存在
を確認しているが、これらの光学素子と制御部との間が
多数の接続線で接続されていることと、光学素子がウェ
ーハ枚数検出のために上下に移動させられるということ
から、これらの接続線のいずれかが断線してしまうとい
うことがある。断線が発生するとウェーハ枚数検出シス
テムは、ウェーハが存在しているのにウェーハが無いよ
うに判断してしまい、後続の工程でウェーハが二重に移
載され、問題を発生させるということがある。
ハ枚数検出システムにおいては、隣接する光学素子間の
投光部から受光部への光が遮断され、その光の遮断を光
学素子の受光部から検出することによりウェーハの存在
を確認しているが、これらの光学素子と制御部との間が
多数の接続線で接続されていることと、光学素子がウェ
ーハ枚数検出のために上下に移動させられるということ
から、これらの接続線のいずれかが断線してしまうとい
うことがある。断線が発生するとウェーハ枚数検出シス
テムは、ウェーハが存在しているのにウェーハが無いよ
うに判断してしまい、後続の工程でウェーハが二重に移
載され、問題を発生させるということがある。
【０００４】この発明は、上記問題に鑑み、光学素子と
制御部との間の接続線が断線しても断線が検出できるよ
うにし、二重のウェーハの移載を防止できるウェーハ枚
数検出システムを提供することを目的とする。
制御部との間の接続線が断線しても断線が検出できるよ
うにし、二重のウェーハの移載を防止できるウェーハ枚
数検出システムを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前述した課題を解決する
ために、この発明は、複数のウェーハを平行に保持し、
ウェーハ枚数検出モードにし、一列に間隔をあけて配置
された複数の光学素子を移動させ、前記保持されたウェ
ーハを前記光学素子の間に一枚ずつそれぞれ位置付け、
前記光学素子の間で光を授受させ、その光が受領されな
い場合に、光は前記ウェーハで遮断されたものとみなし
て、前記光学素子の間にウェーハが存在することを検出
するウェーハ枚数検出システムにおいて、前記複数の光
学素子の間に前記ウェーハが位置付けされていないとき
に、ウェーハ枚数検出モードにし、前記複数の光学素子
の全部に対し投光のみを強制的に停止させる投光停止手
段と、前記投光停止手段が前記複数の光学素子の全部に
対し投光を停止させた場合に、前記複数の光学素子の全
てから前記複数の光学素子の間には全てウェーハが存在
していることを検出したときウェーハ枚数検出機能に異
常はないと判断するウェーハ枚数検出状態判断手段とを
有する。
ために、この発明は、複数のウェーハを平行に保持し、
ウェーハ枚数検出モードにし、一列に間隔をあけて配置
された複数の光学素子を移動させ、前記保持されたウェ
ーハを前記光学素子の間に一枚ずつそれぞれ位置付け、
前記光学素子の間で光を授受させ、その光が受領されな
い場合に、光は前記ウェーハで遮断されたものとみなし
て、前記光学素子の間にウェーハが存在することを検出
するウェーハ枚数検出システムにおいて、前記複数の光
学素子の間に前記ウェーハが位置付けされていないとき
に、ウェーハ枚数検出モードにし、前記複数の光学素子
の全部に対し投光のみを強制的に停止させる投光停止手
段と、前記投光停止手段が前記複数の光学素子の全部に
対し投光を停止させた場合に、前記複数の光学素子の全
てから前記複数の光学素子の間には全てウェーハが存在
していることを検出したときウェーハ枚数検出機能に異
常はないと判断するウェーハ枚数検出状態判断手段とを
有する。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて添付した図面に基づいて説明する。図１は、この発
明に係わる半導体製造装置に使用されるウェーハ枚数検
出システム１００の機械的構造部分を示す斜視図、図２
は、図１で示されるウェーハ枚数検出システムがウェー
ハの枚数を検出する際におけるウェーハセンサの光学素
子とウェーハとの位置関係を示す拡大部分図、図３は、
図１のウェーハ枚数検出システムにおいて示されたウェ
ーハセンサの光学素子と制御部との間の接続を示す結線
図、図４は、図１において示される光学素子の受光部の
出力検出回路の簡単な例を示す回路図である。
いて添付した図面に基づいて説明する。図１は、この発
明に係わる半導体製造装置に使用されるウェーハ枚数検
出システム１００の機械的構造部分を示す斜視図、図２
は、図１で示されるウェーハ枚数検出システムがウェー
ハの枚数を検出する際におけるウェーハセンサの光学素
子とウェーハとの位置関係を示す拡大部分図、図３は、
図１のウェーハ枚数検出システムにおいて示されたウェ
ーハセンサの光学素子と制御部との間の接続を示す結線
図、図４は、図１において示される光学素子の受光部の
出力検出回路の簡単な例を示す回路図である。
【０００７】図１に示されるように、Ｌポート側のウェ
ーハセンサ１１ＬおよびＲポート側のウェーハセンサ１
１Ｒは、それぞれ支持部１３Ｌおよび支持部１３Ｒに支
持されるように取り付けられている。ウェーハセンサ１
１Ｌ，１１Ｒの最上部には、水平で等間隔な一列をなし
て直立するように複数の光学素子１２ａ，１２ｂが交互
に配置されている。図２に示されるように、光学素子１
２ａは、一方の面の上側に投光部Ｅを有し、他方の面の
下側に受光部Ｄを有するが、光学素子１２ｂは、一方の
面の上側に受光部Ｄを有し、他方の面の下側に投光部Ｅ
を有する。それぞれのウェーハセンサ１１Ｌ，１１Ｒに
おいて、光学素子１２ａの投光部Ｅは、隣接する光学素
子１２ｂの受光部Ｄと対向するようにされ、光学素子１
２ｂの投光部Ｅは、隣接する光学素子１２ａの受光部Ｄ
と対向するようにされている。
ーハセンサ１１ＬおよびＲポート側のウェーハセンサ１
１Ｒは、それぞれ支持部１３Ｌおよび支持部１３Ｒに支
持されるように取り付けられている。ウェーハセンサ１
１Ｌ，１１Ｒの最上部には、水平で等間隔な一列をなし
て直立するように複数の光学素子１２ａ，１２ｂが交互
に配置されている。図２に示されるように、光学素子１
２ａは、一方の面の上側に投光部Ｅを有し、他方の面の
下側に受光部Ｄを有するが、光学素子１２ｂは、一方の
面の上側に受光部Ｄを有し、他方の面の下側に投光部Ｅ
を有する。それぞれのウェーハセンサ１１Ｌ，１１Ｒに
おいて、光学素子１２ａの投光部Ｅは、隣接する光学素
子１２ｂの受光部Ｄと対向するようにされ、光学素子１
２ｂの投光部Ｅは、隣接する光学素子１２ａの受光部Ｄ
と対向するようにされている。
【０００８】支持部１３Ｌと支持部１３Ｒとは、それぞ
れの下方部分が連結部１４によって連結されている。連
結部１４の中心部分は、シリンダ１５（通常はエアシリ
ンダが使用される）の先端に固定されている。シリンダ
１５は、制御部（ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭなどから構成
される）からの指示により、連結部１４を上昇あるいは
下降させる。このシリンダ１５の上昇あるいは下降によ
り、支持部１３Ｌ，１３Ｒは、取付板１７に固定された
ガイド１６Ｌ，１６Ｒに沿って上昇あるいは下降し、ウ
ェーハセンサ１１Ｌ，１１Ｒの光学素子１２ａ，１２ｂ
を矢印ＬＬ，ＲＲの方向の予め設定された位置まで上昇
あるいは下降させる。
れの下方部分が連結部１４によって連結されている。連
結部１４の中心部分は、シリンダ１５（通常はエアシリ
ンダが使用される）の先端に固定されている。シリンダ
１５は、制御部（ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭなどから構成
される）からの指示により、連結部１４を上昇あるいは
下降させる。このシリンダ１５の上昇あるいは下降によ
り、支持部１３Ｌ，１３Ｒは、取付板１７に固定された
ガイド１６Ｌ，１６Ｒに沿って上昇あるいは下降し、ウ
ェーハセンサ１１Ｌ，１１Ｒの光学素子１２ａ，１２ｂ
を矢印ＬＬ，ＲＲの方向の予め設定された位置まで上昇
あるいは下降させる。
【０００９】ウェーハセンサ１１Ｌ，１１Ｒの真上に
は、平行に並べられた複数枚のウェーハ２２が収納され
たカセット２１Ｌ，２１Ｒがそれぞれ配置される。これ
らのカセット２１Ｌ，２１Ｒの配置は、通常、シリンダ
１５が下降しているときになされる。カセット２１Ｌ，
２１Ｒが配置された後に、シリンダ１５が上昇し、ウェ
ーハ枚数検出用の設定位置で停止すると、ウェーハセン
サ１１Ｌ，１１Ｒの光学素子１２ａ，１２ｂとカセット
２１Ｌ，２１Ｒに収納されたウェーハ２２との関係は図
２に示したようになる。すなわち、ウェーハセンサ１１
Ｌ，１１Ｒの光学素子１２ａ，１２ｂの間にウェーハ２
２が入り込み、光学素子１２ａ，１２ｂの投光部Ｅの投
光がウェーハ２２によって遮断され、投光部Ｅの投光
は、対向する受光部Ｄに受光されなくなり、ウェーハ２
２の存在が検出される。
は、平行に並べられた複数枚のウェーハ２２が収納され
たカセット２１Ｌ，２１Ｒがそれぞれ配置される。これ
らのカセット２１Ｌ，２１Ｒの配置は、通常、シリンダ
１５が下降しているときになされる。カセット２１Ｌ，
２１Ｒが配置された後に、シリンダ１５が上昇し、ウェ
ーハ枚数検出用の設定位置で停止すると、ウェーハセン
サ１１Ｌ，１１Ｒの光学素子１２ａ，１２ｂとカセット
２１Ｌ，２１Ｒに収納されたウェーハ２２との関係は図
２に示したようになる。すなわち、ウェーハセンサ１１
Ｌ，１１Ｒの光学素子１２ａ，１２ｂの間にウェーハ２
２が入り込み、光学素子１２ａ，１２ｂの投光部Ｅの投
光がウェーハ２２によって遮断され、投光部Ｅの投光
は、対向する受光部Ｄに受光されなくなり、ウェーハ２
２の存在が検出される。
【００１０】ウェーハセンサ１１Ｌ，１１Ｒの光学素子
１２ａ，１２ｂの受光部の出力は、図３に示されるよう
な接続線を介して制御部に接続されている。接続線に関
して例えば、“＋２４Ｖ”と付記されているものは、電
源供給接続線を示し、“ウェーハＮＯ．１”と付記され
ているのものは、第１の位置にあるウェーハ２２を検出
する光学素子の受光部Ｄに接続される接続線を示してい
る。この例の場合には、両ポートと制御部との間の接続
線の数を多くしないために、“Ｌポート検知”または
“Ｒポート検知”と付記された接続線上に出力されるＬ
ポート検知の信号またはＲポート検知の信号の何れか一
方のみをアクティブに切り替えることにより、電気的に
一方のポートのウェーハセンサを制御部に接続し、他方
のポートのウェーハセンサを制御部から切り離し、同時
に両ポートを調べることが無いようにしている。
１２ａ，１２ｂの受光部の出力は、図３に示されるよう
な接続線を介して制御部に接続されている。接続線に関
して例えば、“＋２４Ｖ”と付記されているものは、電
源供給接続線を示し、“ウェーハＮＯ．１”と付記され
ているのものは、第１の位置にあるウェーハ２２を検出
する光学素子の受光部Ｄに接続される接続線を示してい
る。この例の場合には、両ポートと制御部との間の接続
線の数を多くしないために、“Ｌポート検知”または
“Ｒポート検知”と付記された接続線上に出力されるＬ
ポート検知の信号またはＲポート検知の信号の何れか一
方のみをアクティブに切り替えることにより、電気的に
一方のポートのウェーハセンサを制御部に接続し、他方
のポートのウェーハセンサを制御部から切り離し、同時
に両ポートを調べることが無いようにしている。
【００１１】アクティブにされたＬポート側のウェーハ
センサ１１ＬまたはＲポート側のウェーハセンサ１１Ｒ
においては、受光部Ｄの出力（位置Ｄ１の電位）を受け
る制御部のバッファ回路は、例えば、図４のように構成
される（図４のものは説明を簡潔にするために提示した
ものであって、従来技術として種々知られている回路を
適宜に用いてよいのはいううまでもない）。この場合、
受光部Ｄには、接続線ＰＬを介して電源が供給され、受
光部Ｄの出力は、接続線ＤＬを介してバッファ回路のト
ランジスタＴｒのベースに接続されている。したがっ
て、ウェーハの枚数を検出する場合に、投光部Ｅと受光
部Ｄとの間にウェーハ２２が無いと、投光部Ｅの光が受
光部Ｄに受光され、位置Ｄ１の電位はロウ（Ｌ）とな
り、バッファ回路の出力ＤＴも“Ｌ”となる。また、こ
の場合に、投光部Ｅと受光部Ｄとの間にウェーハ２２が
有ると、投光部Ｅの光が受光部Ｄに受光されず、位置Ｄ
１の電位はハイ（Ｈ）となり、バッファ回路の出力ＤＴ
も“Ｈ”となる。
センサ１１ＬまたはＲポート側のウェーハセンサ１１Ｒ
においては、受光部Ｄの出力（位置Ｄ１の電位）を受け
る制御部のバッファ回路は、例えば、図４のように構成
される（図４のものは説明を簡潔にするために提示した
ものであって、従来技術として種々知られている回路を
適宜に用いてよいのはいううまでもない）。この場合、
受光部Ｄには、接続線ＰＬを介して電源が供給され、受
光部Ｄの出力は、接続線ＤＬを介してバッファ回路のト
ランジスタＴｒのベースに接続されている。したがっ
て、ウェーハの枚数を検出する場合に、投光部Ｅと受光
部Ｄとの間にウェーハ２２が無いと、投光部Ｅの光が受
光部Ｄに受光され、位置Ｄ１の電位はロウ（Ｌ）とな
り、バッファ回路の出力ＤＴも“Ｌ”となる。また、こ
の場合に、投光部Ｅと受光部Ｄとの間にウェーハ２２が
有ると、投光部Ｅの光が受光部Ｄに受光されず、位置Ｄ
１の電位はハイ（Ｈ）となり、バッファ回路の出力ＤＴ
も“Ｈ”となる。
【００１２】次に、この例のウェーハ枚数検出システム
においては、図３に示されるように、“Ｌポート投光停
止”および“Ｒポート投光停止”と付記された制御用の
接続線を有している。この制御線上のＬポート投光停止
信号またはＲポート投光停止信号がアクティブにされる
と、Ｌポート側のウェーハセンサ１１ＬまたはＲポート
側のウェーハセンサ１１Ｒにおいて、全ての光学素子の
投光部Ｅの投光が停止される（例えば、各投光素子Ｅへ
電源供給の接続線がスイッチングオフされる）。
においては、図３に示されるように、“Ｌポート投光停
止”および“Ｒポート投光停止”と付記された制御用の
接続線を有している。この制御線上のＬポート投光停止
信号またはＲポート投光停止信号がアクティブにされる
と、Ｌポート側のウェーハセンサ１１ＬまたはＲポート
側のウェーハセンサ１１Ｒにおいて、全ての光学素子の
投光部Ｅの投光が停止される（例えば、各投光素子Ｅへ
電源供給の接続線がスイッチングオフされる）。
【００１３】例えば、ウェーハ枚数検出を指示されたポ
ート側において、ウェーハが無いときに投光部Ｅの投光
を停止することにより、そのポートの全ての受光部Ｄに
対して“ウェーハ有り”を擬似的に設定すると、ウェー
ハ枚数検出システムが正常であれば、例えば、図４で示
されるように、位置Ｄ１の電位したがって出力ＤＴは
“Ｈ”となり、制御部は、このポートの全ての光学素子
の受光部Ｄに関して“ウェーハ有り”を検出する。
ート側において、ウェーハが無いときに投光部Ｅの投光
を停止することにより、そのポートの全ての受光部Ｄに
対して“ウェーハ有り”を擬似的に設定すると、ウェー
ハ枚数検出システムが正常であれば、例えば、図４で示
されるように、位置Ｄ１の電位したがって出力ＤＴは
“Ｈ”となり、制御部は、このポートの全ての光学素子
の受光部Ｄに関して“ウェーハ有り”を検出する。
【００１４】しかし、上述の正常の場合と違って、例え
ば、図４で示される一本の接続線ＤＬが断線していると
すると、投光部Ｅの投光が停止されても、トランジスタ
Ｔｒのベースにバイアスが印加されず出力ＤＴは、
“Ｌ”のままであるから、制御部は、その受光部Ｄに関
しては“ウェーハ無し”を検出する。そこで、制御部
は、このポートの全ての受光部Ｄに関して“ウェーハ有
り”を当然に検出すべきなのに、前記受光部に関して
“ウェーハ無し”を検出するので、この受光部に関して
何らかの異常があるものと検出して、一旦作動を停止す
るなり、警報を発するなりして、オペレータに装置の点
検あるいは回復を促すことが可能となる。
ば、図４で示される一本の接続線ＤＬが断線していると
すると、投光部Ｅの投光が停止されても、トランジスタ
Ｔｒのベースにバイアスが印加されず出力ＤＴは、
“Ｌ”のままであるから、制御部は、その受光部Ｄに関
しては“ウェーハ無し”を検出する。そこで、制御部
は、このポートの全ての受光部Ｄに関して“ウェーハ有
り”を当然に検出すべきなのに、前記受光部に関して
“ウェーハ無し”を検出するので、この受光部に関して
何らかの異常があるものと検出して、一旦作動を停止す
るなり、警報を発するなりして、オペレータに装置の点
検あるいは回復を促すことが可能となる。
【００１５】上述したように、ウェーハ枚数検出に先立
って、ウェーハセンサ１１Ｌ，１１Ｒの上にウェーハ２
２の収納されていないカセット２１Ｌ，２１Ｒを用意す
るなり、あるいは、何もセットしないで、ウェーハセン
サ１１Ｌ，１１Ｒをウェーハ枚数検出用の設定位置で停
止させ、ウェーハ枚数検出状態に設定し、投光部Ｅの投
光を停止し、ウェーハ枚数検出状態に設定したポートの
全ての受光部Ｄに対して“ウェーハ有り”を擬似的に設
定すれば、ウェーハ枚数検出における接続線の断線など
による誤検出を防止できる。また、この“ウェーハ有
り”の擬似的な設定は、ウェーハセンサ１１Ｌ，１１Ｒ
がシリンダ１５により下降され、上方においてウェーハ
を収納したカセット２１Ｌ，２１Ｒがセットされる間に
平行して実行されてもよい。この場合、処理時間が節約
できるという利点がある。
って、ウェーハセンサ１１Ｌ，１１Ｒの上にウェーハ２
２の収納されていないカセット２１Ｌ，２１Ｒを用意す
るなり、あるいは、何もセットしないで、ウェーハセン
サ１１Ｌ，１１Ｒをウェーハ枚数検出用の設定位置で停
止させ、ウェーハ枚数検出状態に設定し、投光部Ｅの投
光を停止し、ウェーハ枚数検出状態に設定したポートの
全ての受光部Ｄに対して“ウェーハ有り”を擬似的に設
定すれば、ウェーハ枚数検出における接続線の断線など
による誤検出を防止できる。また、この“ウェーハ有
り”の擬似的な設定は、ウェーハセンサ１１Ｌ，１１Ｒ
がシリンダ１５により下降され、上方においてウェーハ
を収納したカセット２１Ｌ，２１Ｒがセットされる間に
平行して実行されてもよい。この場合、処理時間が節約
できるという利点がある。
【００１６】
【発明の効果】以上に詳述したように、この発明に係わ
るウェーハ枚数検出システムは、複数の光学素子間に配
置されるウェーハの存在を光学素子間で授受される光に
より誤り無く検出するために、前記複数の光学素子の間
に前記ウェーハが位置付けされていないときに、ウェー
ハ枚数検出モードにし、前記複数の光学素子の全部に対
し投光のみを強制的に停止させる投光停止手段と、前記
投光停止手段が前記複数の光学素子の全部に対し投光を
停止させた場合に、前記複数の光学素子の全てから前記
複数の光学素子の間には全てウェーハが存在しているこ
とを検出したときウェーハ枚数検出機能に異常はないと
判断するウェーハ枚数検出状態判断手段とを有すること
により、ウェーハが光学素子間にない状態において、ウ
ェーハ検出を擬似的に行わせることができるので、正常
の場合の結果は予測でき、予測されない結果がもたらせ
られた場合には、光学素子と制御部との間の接続線の断
線等があるものとして異常が自動的に検出でき、ひいて
は、後続工程における二重のウェーハ移載等の問題を防
止できるという効果がある。
るウェーハ枚数検出システムは、複数の光学素子間に配
置されるウェーハの存在を光学素子間で授受される光に
より誤り無く検出するために、前記複数の光学素子の間
に前記ウェーハが位置付けされていないときに、ウェー
ハ枚数検出モードにし、前記複数の光学素子の全部に対
し投光のみを強制的に停止させる投光停止手段と、前記
投光停止手段が前記複数の光学素子の全部に対し投光を
停止させた場合に、前記複数の光学素子の全てから前記
複数の光学素子の間には全てウェーハが存在しているこ
とを検出したときウェーハ枚数検出機能に異常はないと
判断するウェーハ枚数検出状態判断手段とを有すること
により、ウェーハが光学素子間にない状態において、ウ
ェーハ検出を擬似的に行わせることができるので、正常
の場合の結果は予測でき、予測されない結果がもたらせ
られた場合には、光学素子と制御部との間の接続線の断
線等があるものとして異常が自動的に検出でき、ひいて
は、後続工程における二重のウェーハ移載等の問題を防
止できるという効果がある。
【図１】この発明に係わる半導体製造装置に使用される
ウェーハ枚数検出システムの機械的構造部分を示す斜視
図である。
ウェーハ枚数検出システムの機械的構造部分を示す斜視
図である。
【図２】図１で示されるウェーハ枚数検出システムがウ
ェーハの枚数を検出する際におけるウェーハセンサの光
学素子とウェーハとの位置関係を示す拡大部分図であ
る。
ェーハの枚数を検出する際におけるウェーハセンサの光
学素子とウェーハとの位置関係を示す拡大部分図であ
る。
【図３】図１のウェーハ枚数検出システムにおいて示さ
れたウェーハセンサの光学素子と制御部との間の接続を
示す結線図である。
れたウェーハセンサの光学素子と制御部との間の接続を
示す結線図である。
【図４】図１において示される光学素子の受光部の出力
検出回路の簡単な例を示す回路図である。
検出回路の簡単な例を示す回路図である。
１１Ｌ，１１Ｒ ウェーハセンサ １２ａ，１２ｂ 光学素子 １３Ｌ，１３Ｒ 支持部 １４ 連結部 １５ シリンダ １６Ｌ，１６Ｒ ガイド １７ 取付板 ２１Ｌ，２１Ｒ カセット ２２ ウェーハ １００ ウェーハ枚数検出システム Ｅ 投光部 Ｄ 受光部
Claims (1)
- 【請求項１】 複数のウェーハを平行に保持し、ウェー
ハ枚数検出モードにし、一列に間隔をあけて配置された
複数の光学素子を移動させ、前記保持されたウェーハを
前記光学素子の間に一枚ずつそれぞれ位置付け、前記光
学素子の間で光を授受させ、その光が受領されない場合
に、光は前記ウェーハで遮断されたものとみなして、前
記光学素子の間にウェーハが存在することを検出するウ
ェーハ枚数検出システムにおいて、 前記複数の光学素子の間に前記ウェーハが位置付けされ
ていないときに、ウェーハ枚数検出モードにし、前記複
数の光学素子の全部に対し投光のみを強制的に停止させ
る投光停止手段と、 前記投光停止手段が前記複数の光学素子の全部に対し投
光を停止させた場合に、前記複数の光学素子の全てから
前記複数の光学素子の間には全てウェーハが存在してい
ることを検出したときウェーハ枚数検出機能に異常はな
いと判断するウェーハ枚数検出状態判断手段とを有する
ことを特徴とするウェーハ枚数検出システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27541697A JPH11111815A (ja) | 1997-10-08 | 1997-10-08 | ウェーハ枚数検出システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27541697A JPH11111815A (ja) | 1997-10-08 | 1997-10-08 | ウェーハ枚数検出システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11111815A true JPH11111815A (ja) | 1999-04-23 |
Family
ID=17555208
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27541697A Withdrawn JPH11111815A (ja) | 1997-10-08 | 1997-10-08 | ウェーハ枚数検出システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11111815A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111243990A (zh) * | 2020-01-13 | 2020-06-05 | 天津中环领先材料技术有限公司 | 一种圆晶定位及数量检测系统及检测方法 |
-
1997
- 1997-10-08 JP JP27541697A patent/JPH11111815A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111243990A (zh) * | 2020-01-13 | 2020-06-05 | 天津中环领先材料技术有限公司 | 一种圆晶定位及数量检测系统及检测方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050104 |