JPH11109037A - 放射線検出器 - Google Patents
放射線検出器Info
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- JPH11109037A JPH11109037A JP9269696A JP26969697A JPH11109037A JP H11109037 A JPH11109037 A JP H11109037A JP 9269696 A JP9269696 A JP 9269696A JP 26969697 A JP26969697 A JP 26969697A JP H11109037 A JPH11109037 A JP H11109037A
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- Japan
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- dimensional
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- light
- radiation
- radiation detector
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- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 42
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 36
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- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 abstract description 5
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 abstract description 2
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- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract 1
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Landscapes
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 クロストークによる影響が少なくて位置分解
能の高い良質な画質の放射線画像を得ることが可能な放
射線検出器を提供する。 【解決手段】 入射放射線量に応じて発光するシンチレ
ータシート3と、ガラス基板1上に形成された複数の受
光素子Dからなる1次元または2次元光センサアレイ2
を組み合わせた構造の放射線検出器において、ガラス基
板1の素子形成面の反対側の面に光吸収物質4をコーテ
ィングする構成、またはガラス基板として光吸収性が良
好な着色ガラスを用いるという構成、あるいはガラス基
板を黒色材料製の部材に接着するというような構成を採
用することで、素子分離パターン部などを通過した光に
よって発生するクロストークを防止する。
能の高い良質な画質の放射線画像を得ることが可能な放
射線検出器を提供する。 【解決手段】 入射放射線量に応じて発光するシンチレ
ータシート3と、ガラス基板1上に形成された複数の受
光素子Dからなる1次元または2次元光センサアレイ2
を組み合わせた構造の放射線検出器において、ガラス基
板1の素子形成面の反対側の面に光吸収物質4をコーテ
ィングする構成、またはガラス基板として光吸収性が良
好な着色ガラスを用いるという構成、あるいはガラス基
板を黒色材料製の部材に接着するというような構成を採
用することで、素子分離パターン部などを通過した光に
よって発生するクロストークを防止する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、食品、非破壊検査
等に使用するX線式異物検査装置あるいは医用一般撮影
レントゲン装置などに用いられる放射線検出器に関す
る。
等に使用するX線式異物検査装置あるいは医用一般撮影
レントゲン装置などに用いられる放射線検出器に関す
る。
【0002】
【従来の技術】近年のデジタル化志向もあり、またX線
は光と異なりレンズ系で縮小できないため、X線を光に
変換するシンチレータシートと複数のa−Si素子を組
み合わせた1次元または2次元放射線検出器が注目を浴
びている。
は光と異なりレンズ系で縮小できないため、X線を光に
変換するシンチレータシートと複数のa−Si素子を組
み合わせた1次元または2次元放射線検出器が注目を浴
びている。
【0003】通常、この種の放射線検出器に光センサと
して用いられるa−Si素子アレイ(a−Siフォトダ
イオードアレイ)は、透明ガラス基板上に成膜したa−
Si膜を、フォトリソグラフィ技術により多数に素子分
離し配線を施すことによって実現されている。
して用いられるa−Si素子アレイ(a−Siフォトダ
イオードアレイ)は、透明ガラス基板上に成膜したa−
Si膜を、フォトリソグラフィ技術により多数に素子分
離し配線を施すことによって実現されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、a−Si膜
を分離して光センサアレイを構成する場合、複数の素子
に分離する部分(分離パターン部)についてはa−Si
膜をなくす必要があり、このため図1(A)に示すよう
に、透明ガラス基板が露出する部分が発生する。
を分離して光センサアレイを構成する場合、複数の素子
に分離する部分(分離パターン部)についてはa−Si
膜をなくす必要があり、このため図1(A)に示すよう
に、透明ガラス基板が露出する部分が発生する。
【0005】また、1次元放射線検出器の場合、一般
に、シンチレータシートはa−Si有感部よりも広範囲
の部分に接着されており[図1(B)]、従って図1に
示した構造のものでは、分離パターン上の変換光や、シ
ンチレータシート端部の変換光はX線入射位置付近の素
子に吸収されず、透明ガラス基板を透過して、そのガラ
ス基板の裏面(空気との界面)で反射されてしまう。
に、シンチレータシートはa−Si有感部よりも広範囲
の部分に接着されており[図1(B)]、従って図1に
示した構造のものでは、分離パターン上の変換光や、シ
ンチレータシート端部の変換光はX線入射位置付近の素
子に吸収されず、透明ガラス基板を透過して、そのガラ
ス基板の裏面(空気との界面)で反射されてしまう。
【0006】そして、その反射光は他の素子に入射・吸
収され、これが疑似信号となってクロストークの増大を
まねき、ひいては位置分解能の低下につながるという結
果をもたらす。
収され、これが疑似信号となってクロストークの増大を
まねき、ひいては位置分解能の低下につながるという結
果をもたらす。
【0007】本発明はそのような実情に鑑みてなされた
もので、受光素子の分離部分などを通過する変換光によ
るクロストークの発生が少なく、もって位置分解能の高
い良質な放射線画像を得ることが可能な放射線検出器の
提供を目的とする。
もので、受光素子の分離部分などを通過する変換光によ
るクロストークの発生が少なく、もって位置分解能の高
い良質な放射線画像を得ることが可能な放射線検出器の
提供を目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項1に係る発明は、図2に例示するように、入
射放射量に応じて発光するシンチレータシート3と、ガ
ラス基板1上に形成された複数の受光素子(a−Si素
子)D・・Dからなる1次元または2次元光センサアレイ
(a−Siフォトダイオードアレイ)2を組み合わせた
構造の、1次元または2次元放射線検出器において、ガ
ラス基板1の素子形成面の反対側の面に光吸収物質(例
えば黒色塗料)4がコーティングされていることによっ
て特徴づけられる。
め、請求項1に係る発明は、図2に例示するように、入
射放射量に応じて発光するシンチレータシート3と、ガ
ラス基板1上に形成された複数の受光素子(a−Si素
子)D・・Dからなる1次元または2次元光センサアレイ
(a−Siフォトダイオードアレイ)2を組み合わせた
構造の、1次元または2次元放射線検出器において、ガ
ラス基板1の素子形成面の反対側の面に光吸収物質(例
えば黒色塗料)4がコーティングされていることによっ
て特徴づけられる。
【0009】以上の構成の放射線検出器によれば、素子
分離パターン部やシンチレータ端部などのa−Si膜が
ない部分を通過し、ガラス基板1の裏面側に到達した放
射線変換光(X線変換光)は、その大部分が光吸収物質
4に吸収されるので、疑似信号となる反射光が受光素子
Dに入射することを防止できる。
分離パターン部やシンチレータ端部などのa−Si膜が
ない部分を通過し、ガラス基板1の裏面側に到達した放
射線変換光(X線変換光)は、その大部分が光吸収物質
4に吸収されるので、疑似信号となる反射光が受光素子
Dに入射することを防止できる。
【0010】請求項2に係る発明は、上記と同様にシン
チレータシートと、ガラス基板上に形成された光センサ
アレイからなる放射線検出器において、図3に例示する
ように、ガラス基板11として、光吸収性を有する着色
ガラスを用いていることによって特徴づけられる。
チレータシートと、ガラス基板上に形成された光センサ
アレイからなる放射線検出器において、図3に例示する
ように、ガラス基板11として、光吸収性を有する着色
ガラスを用いていることによって特徴づけられる。
【0011】この発明の放射線検出器においては、a−
Si膜がない部分を通過しガラス基板11に入射したX
線変換光の大部分が、着色のガラス基板11自体に吸収
されるので、疑似信号となる反射光が受光素子Dに入射
することを防止できる。
Si膜がない部分を通過しガラス基板11に入射したX
線変換光の大部分が、着色のガラス基板11自体に吸収
されるので、疑似信号となる反射光が受光素子Dに入射
することを防止できる。
【0012】請求項3に係る発明は、上記と同様にシン
チレータシート3と、ガラス基板1上に形成された光セ
ンサアレイ2からなる放射線検出器において、図4に例
示するように、ガラス基板1を黒色材料製の部材(例え
ば黒色アルマイト処理済みのAl部材)5に接着したこ
とによって特徴づけられる。
チレータシート3と、ガラス基板1上に形成された光セ
ンサアレイ2からなる放射線検出器において、図4に例
示するように、ガラス基板1を黒色材料製の部材(例え
ば黒色アルマイト処理済みのAl部材)5に接着したこ
とによって特徴づけられる。
【0013】この発明の放射線検出器においても、a−
Si膜がない部分を通過しガラス基板1の裏面側に到達
したX線変換光の大部分が、黒色材料製の部材5に吸収
されるので、疑似信号となる反射光が受光素子Dに入射
することを防止できる。
Si膜がない部分を通過しガラス基板1の裏面側に到達
したX線変換光の大部分が、黒色材料製の部材5に吸収
されるので、疑似信号となる反射光が受光素子Dに入射
することを防止できる。
【0014】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、以下、図
面に基づいて説明する。
面に基づいて説明する。
【0015】図2は請求項1に係る実施の形態の構成を
模式的に示す図である。図2に示す実施の形態は、X線
異物検査装置あるいは医用一般撮影レントゲン装置など
に適用される1次元X線検出器で、複数のa−Si素子
D・・Dを1次元状に配列してなるa−Siフォトダイオ
ードアレイ2と、その上に、X線変換膜として接着され
たシンチレータシート(例えばGd2 O2 S:Tb製)
3によって構成されている。
模式的に示す図である。図2に示す実施の形態は、X線
異物検査装置あるいは医用一般撮影レントゲン装置など
に適用される1次元X線検出器で、複数のa−Si素子
D・・Dを1次元状に配列してなるa−Siフォトダイオ
ードアレイ2と、その上に、X線変換膜として接着され
たシンチレータシート(例えばGd2 O2 S:Tb製)
3によって構成されている。
【0016】a−Siフォトダイオードアレイ2は、ガ
ラス基板1(板厚;1mm)上に成膜したa−Si膜
(膜厚;約1μm〜2μm)を、フォトリソグラフィ技
術により多数の素子(a−Si素子)D・・Dに分離した
後、配線を施すことによって製作されている。
ラス基板1(板厚;1mm)上に成膜したa−Si膜
(膜厚;約1μm〜2μm)を、フォトリソグラフィ技
術により多数の素子(a−Si素子)D・・Dに分離した
後、配線を施すことによって製作されている。
【0017】さて、図2に示す実施の形態では、ガラス
基板1の素子形成面の反対側の面に光吸収物質4(例え
ば黒色顔料;ブラックカーボン入り塗料等)を塗布(コ
ーティング)したところに特徴があり、このような光吸
収物質4を設けておくと、a−Siフォトダイオードア
レイ2の素子分離パターン部などのa−Si膜がない部
分をX線変換光が通過しても、その変換光の大部分は光
吸収物質4に吸収されるので、疑似信号となる反射光が
受光素子Dに入射することがなくなり、クロストークを
減少させることがきる。
基板1の素子形成面の反対側の面に光吸収物質4(例え
ば黒色顔料;ブラックカーボン入り塗料等)を塗布(コ
ーティング)したところに特徴があり、このような光吸
収物質4を設けておくと、a−Siフォトダイオードア
レイ2の素子分離パターン部などのa−Si膜がない部
分をX線変換光が通過しても、その変換光の大部分は光
吸収物質4に吸収されるので、疑似信号となる反射光が
受光素子Dに入射することがなくなり、クロストークを
減少させることがきる。
【0018】図3は請求項2に係る発明の実施の形態の
構造を模式的に示す図である。図3に示す実施の形態
は、先の実施の形態と同様に、ガラス基板11上に形成
されたa−Siフォトダイオードアレイ2と、その上
に、X線変換膜として接着されたシンチレータシート3
からなる1次元X線検出器において、ガラス基板11と
して、光吸収性が良好な着色ガラスを用いているところ
に特徴がある。
構造を模式的に示す図である。図3に示す実施の形態
は、先の実施の形態と同様に、ガラス基板11上に形成
されたa−Siフォトダイオードアレイ2と、その上
に、X線変換膜として接着されたシンチレータシート3
からなる1次元X線検出器において、ガラス基板11と
して、光吸収性が良好な着色ガラスを用いているところ
に特徴がある。
【0019】この図3に示す実施の形態のX線検出器で
は、a−Si膜がない部分を通過したX線変換光の大部
分が、ガラス基板11自体に吸収されるので、疑似信号
となる反射光が受光素子Dに入射することがなくなり、
クロストークを減少させることがきる。
は、a−Si膜がない部分を通過したX線変換光の大部
分が、ガラス基板11自体に吸収されるので、疑似信号
となる反射光が受光素子Dに入射することがなくなり、
クロストークを減少させることがきる。
【0020】図4は請求項3に係る発明の実施の形態の
構造を模式的に示す図である。図4に示す実施の形態
は、先の実施の形態と同様に、ガラス基板1上に形成さ
れたa−Siフォトダイオードアレイ2と、その上に、
X線変換膜として接着されたシンチレータシート3から
なる1次元X線検出器において、ガラス基板1を黒色ア
ルマイト処理済みのAl部材5に接着したところに特徴
がある。
構造を模式的に示す図である。図4に示す実施の形態
は、先の実施の形態と同様に、ガラス基板1上に形成さ
れたa−Siフォトダイオードアレイ2と、その上に、
X線変換膜として接着されたシンチレータシート3から
なる1次元X線検出器において、ガラス基板1を黒色ア
ルマイト処理済みのAl部材5に接着したところに特徴
がある。
【0021】この図4に示す実施の形態のX線検出器に
おいても、a−Si膜がない部分を通過したX線変換光
の大部分が、光吸収率が高い黒色アルマイト処理済みの
Al部材5に吸収されるので、疑似信号となる反射光が
受光素子Dに入射することがなくなり、クロストークを
減少させることがきる。
おいても、a−Si膜がない部分を通過したX線変換光
の大部分が、光吸収率が高い黒色アルマイト処理済みの
Al部材5に吸収されるので、疑似信号となる反射光が
受光素子Dに入射することがなくなり、クロストークを
減少させることがきる。
【0022】次に、以上の構造の1次元X線検出器を適
用する装置の例を、図5を参照しつつ説明する。
用する装置の例を、図5を参照しつつ説明する。
【0023】図5に示す例はX線式異物検査装置で、食
品等の被検査物Wを搬送するコンベア101と、この上
方に設置されたX線発生器102を備え、コンベア10
1の下方でX線発生器102と対向する位置にX線セン
サ(ラインセンサ)Sを設置する構造となっており、コ
ンベア101の駆動により被検査物WをX線センサSに
対して走査することによって被検査物Wの2次元X線情
報を得て、そのX線情報をTVモニタ103の画面上に
表示するように構成されている。
品等の被検査物Wを搬送するコンベア101と、この上
方に設置されたX線発生器102を備え、コンベア10
1の下方でX線発生器102と対向する位置にX線セン
サ(ラインセンサ)Sを設置する構造となっており、コ
ンベア101の駆動により被検査物WをX線センサSに
対して走査することによって被検査物Wの2次元X線情
報を得て、そのX線情報をTVモニタ103の画面上に
表示するように構成されている。
【0024】そして、このようなX線式異物検査装置の
X線センサSに、図2,図3または図4に示した構造の
1次元X線検出器を適用すると、クロストークによる影
響が軽減された、位置分解能の高い良質な画質の2次元
X線画像を得ることが可能になる。
X線センサSに、図2,図3または図4に示した構造の
1次元X線検出器を適用すると、クロストークによる影
響が軽減された、位置分解能の高い良質な画質の2次元
X線画像を得ることが可能になる。
【0025】ここで、以上の実施の形態では、1次元の
X線検出器の例を示したが、本発明はこれに限られるこ
となく、2次元イメージセンサあるいは2次元放射線検
出器にも適用できる。
X線検出器の例を示したが、本発明はこれに限られるこ
となく、2次元イメージセンサあるいは2次元放射線検
出器にも適用できる。
【0026】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、入射放
射線量に応じて発光するシンチレータシートと、ガラス
基板上に形成された複数の受光素子からなる1次元また
は2次元光センサアレイを組み合わせた構造の放射線検
出器において、ガラス基板の素子形成面の反対側の面に
光吸収物質をコーティングするか、あるいはガラス基板
として光吸収性が良好な着色ガラスを用いるという構
成、またはガラス基板を黒色材料製の部材に接着すると
いうような構成を採用しているので、素子分離パターン
上の変換光やシンチレータシート端部の変換光による影
響、つまり素子分離部分などを通過した変換光が基板裏
面で反射されることによって発生するクロストークを減
少させることができる。
射線量に応じて発光するシンチレータシートと、ガラス
基板上に形成された複数の受光素子からなる1次元また
は2次元光センサアレイを組み合わせた構造の放射線検
出器において、ガラス基板の素子形成面の反対側の面に
光吸収物質をコーティングするか、あるいはガラス基板
として光吸収性が良好な着色ガラスを用いるという構
成、またはガラス基板を黒色材料製の部材に接着すると
いうような構成を採用しているので、素子分離パターン
上の変換光やシンチレータシート端部の変換光による影
響、つまり素子分離部分などを通過した変換光が基板裏
面で反射されることによって発生するクロストークを減
少させることができる。
【0027】その結果、位置分解能の高い良質な画質の
放射線画像を得ることが可能な1次元または2次元放射
線検出器を実現できる。
放射線画像を得ることが可能な1次元または2次元放射
線検出器を実現できる。
【図1】1次元放射線検出器の構造例を示す図で(A)
はch方向の模式断面図(B)はその直交方向の模式断
面図
はch方向の模式断面図(B)はその直交方向の模式断
面図
【図2】請求項1に係る発明の実施の形態の構造を模式
的に示す図
的に示す図
【図3】請求項2に係る発明の実施の形態の構造を模式
的に示す図
的に示す図
【図4】請求項3に係る発明の実施の形態の構造を模式
的に示す図
的に示す図
【図5】X線式異物検査装置の例を示す図
1 ガラス基板 11 ガラス基板(着色ガラス製) 2 a−Siフォトダイオードアレイ D・・D a−Si素子 3 シンチレータシート 4 光吸収物質(黒色塗料) 5 黒色アルマイト処理済みのAl部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村上 悟 滋賀県大津市比叡辻2−1−1 鐘淵化学 工業株式会社内
Claims (3)
- 【請求項1】 入射放射線量に応じて発光するシンチレ
ータシートと、ガラス基板上に形成された複数の受光素
子からなる1次元または2次元光センサアレイを組み合
わせた構造の1次元または2次元放射線検出器におい
て、 上記ガラス基板の素子形成面の反対側の面に光吸収物質
がコーティングされていることを特徴とする放射線検出
器。 - 【請求項2】 入射放射線量に応じて発光するシンチレ
ータシートと、ガラス基板上に形成された複数の受光素
子からなる1次元または2次元光センサアレイを組み合
わせた構造の1次元または2次元放射線検出器におい
て、 上記ガラス基板として光吸収性を有する着色ガラスが用
いられていることを特徴とする放射線検出器。 - 【請求項3】 入射放射線量に応じて発光するシンチレ
ータシートと、ガラス基板上に形成された複数の受光素
子からなる1次元または2次元光センサアレイを組み合
わせた構造の1次元または2次元放射線検出器におい
て、 上記ガラス基板が、黒色材料製の部材に接着されている
ことを特徴とする放射線検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9269696A JPH11109037A (ja) | 1997-10-02 | 1997-10-02 | 放射線検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9269696A JPH11109037A (ja) | 1997-10-02 | 1997-10-02 | 放射線検出器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11109037A true JPH11109037A (ja) | 1999-04-23 |
Family
ID=17475923
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9269696A Pending JPH11109037A (ja) | 1997-10-02 | 1997-10-02 | 放射線検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11109037A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008102392A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置、及びこれを備えた電子機器 |
WO2011136244A1 (ja) * | 2010-04-30 | 2011-11-03 | 富士フイルム株式会社 | 放射線撮像装置 |
-
1997
- 1997-10-02 JP JP9269696A patent/JPH11109037A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008102392A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置、及びこれを備えた電子機器 |
WO2011136244A1 (ja) * | 2010-04-30 | 2011-11-03 | 富士フイルム株式会社 | 放射線撮像装置 |
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