JPH11109037A - 放射線検出器 - Google Patents
放射線検出器Info
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- JPH11109037A JPH11109037A JP9269696A JP26969697A JPH11109037A JP H11109037 A JPH11109037 A JP H11109037A JP 9269696 A JP9269696 A JP 9269696A JP 26969697 A JP26969697 A JP 26969697A JP H11109037 A JPH11109037 A JP H11109037A
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- JP
- Japan
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- dimensional
- glass substrate
- light
- radiation
- radiation detector
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- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 42
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- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 11
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
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- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 abstract description 2
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 クロストークによる影響が少なくて位置分解
能の高い良質な画質の放射線画像を得ることが可能な放
射線検出器を提供する。 【解決手段】 入射放射線量に応じて発光するシンチレ
ータシート３と、ガラス基板１上に形成された複数の受
光素子Ｄからなる１次元または２次元光センサアレイ２
を組み合わせた構造の放射線検出器において、ガラス基
板１の素子形成面の反対側の面に光吸収物質４をコーテ
ィングする構成、またはガラス基板として光吸収性が良
好な着色ガラスを用いるという構成、あるいはガラス基
板を黒色材料製の部材に接着するというような構成を採
用することで、素子分離パターン部などを通過した光に
よって発生するクロストークを防止する。
能の高い良質な画質の放射線画像を得ることが可能な放
射線検出器を提供する。 【解決手段】 入射放射線量に応じて発光するシンチレ
ータシート３と、ガラス基板１上に形成された複数の受
光素子Ｄからなる１次元または２次元光センサアレイ２
を組み合わせた構造の放射線検出器において、ガラス基
板１の素子形成面の反対側の面に光吸収物質４をコーテ
ィングする構成、またはガラス基板として光吸収性が良
好な着色ガラスを用いるという構成、あるいはガラス基
板を黒色材料製の部材に接着するというような構成を採
用することで、素子分離パターン部などを通過した光に
よって発生するクロストークを防止する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、食品、非破壊検査
等に使用するＸ線式異物検査装置あるいは医用一般撮影
レントゲン装置などに用いられる放射線検出器に関す
る。
等に使用するＸ線式異物検査装置あるいは医用一般撮影
レントゲン装置などに用いられる放射線検出器に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年のデジタル化志向もあり、またＸ線
は光と異なりレンズ系で縮小できないため、Ｘ線を光に
変換するシンチレータシートと複数のａ−Ｓｉ素子を組
み合わせた１次元または２次元放射線検出器が注目を浴
びている。
は光と異なりレンズ系で縮小できないため、Ｘ線を光に
変換するシンチレータシートと複数のａ−Ｓｉ素子を組
み合わせた１次元または２次元放射線検出器が注目を浴
びている。
【０００３】通常、この種の放射線検出器に光センサと
して用いられるａ−Ｓｉ素子アレイ（ａ−Ｓｉフォトダ
イオードアレイ）は、透明ガラス基板上に成膜したａ−
Ｓｉ膜を、フォトリソグラフィ技術により多数に素子分
離し配線を施すことによって実現されている。
して用いられるａ−Ｓｉ素子アレイ（ａ−Ｓｉフォトダ
イオードアレイ）は、透明ガラス基板上に成膜したａ−
Ｓｉ膜を、フォトリソグラフィ技術により多数に素子分
離し配線を施すことによって実現されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ａ−Ｓｉ膜
を分離して光センサアレイを構成する場合、複数の素子
に分離する部分（分離パターン部）についてはａ−Ｓｉ
膜をなくす必要があり、このため図１（Ａ）に示すよう
に、透明ガラス基板が露出する部分が発生する。
を分離して光センサアレイを構成する場合、複数の素子
に分離する部分（分離パターン部）についてはａ−Ｓｉ
膜をなくす必要があり、このため図１（Ａ）に示すよう
に、透明ガラス基板が露出する部分が発生する。
【０００５】また、１次元放射線検出器の場合、一般
に、シンチレータシートはａ−Ｓｉ有感部よりも広範囲
の部分に接着されており［図１（Ｂ）］、従って図１に
示した構造のものでは、分離パターン上の変換光や、シ
ンチレータシート端部の変換光はＸ線入射位置付近の素
子に吸収されず、透明ガラス基板を透過して、そのガラ
ス基板の裏面（空気との界面）で反射されてしまう。
に、シンチレータシートはａ−Ｓｉ有感部よりも広範囲
の部分に接着されており［図１（Ｂ）］、従って図１に
示した構造のものでは、分離パターン上の変換光や、シ
ンチレータシート端部の変換光はＸ線入射位置付近の素
子に吸収されず、透明ガラス基板を透過して、そのガラ
ス基板の裏面（空気との界面）で反射されてしまう。
【０００６】そして、その反射光は他の素子に入射・吸
収され、これが疑似信号となってクロストークの増大を
まねき、ひいては位置分解能の低下につながるという結
果をもたらす。
収され、これが疑似信号となってクロストークの増大を
まねき、ひいては位置分解能の低下につながるという結
果をもたらす。
【０００７】本発明はそのような実情に鑑みてなされた
もので、受光素子の分離部分などを通過する変換光によ
るクロストークの発生が少なく、もって位置分解能の高
い良質な放射線画像を得ることが可能な放射線検出器の
提供を目的とする。
もので、受光素子の分離部分などを通過する変換光によ
るクロストークの発生が少なく、もって位置分解能の高
い良質な放射線画像を得ることが可能な放射線検出器の
提供を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項１に係る発明は、図２に例示するように、入
射放射量に応じて発光するシンチレータシート３と、ガ
ラス基板１上に形成された複数の受光素子（ａ−Ｓｉ素
子）Ｄ・・Ｄからなる１次元または２次元光センサアレイ
（ａ−Ｓｉフォトダイオードアレイ）２を組み合わせた
構造の、１次元または２次元放射線検出器において、ガ
ラス基板１の素子形成面の反対側の面に光吸収物質（例
えば黒色塗料）４がコーティングされていることによっ
て特徴づけられる。
め、請求項１に係る発明は、図２に例示するように、入
射放射量に応じて発光するシンチレータシート３と、ガ
ラス基板１上に形成された複数の受光素子（ａ−Ｓｉ素
子）Ｄ・・Ｄからなる１次元または２次元光センサアレイ
（ａ−Ｓｉフォトダイオードアレイ）２を組み合わせた
構造の、１次元または２次元放射線検出器において、ガ
ラス基板１の素子形成面の反対側の面に光吸収物質（例
えば黒色塗料）４がコーティングされていることによっ
て特徴づけられる。
【０００９】以上の構成の放射線検出器によれば、素子
分離パターン部やシンチレータ端部などのａ−Ｓｉ膜が
ない部分を通過し、ガラス基板１の裏面側に到達した放
射線変換光（Ｘ線変換光）は、その大部分が光吸収物質
４に吸収されるので、疑似信号となる反射光が受光素子
Ｄに入射することを防止できる。
分離パターン部やシンチレータ端部などのａ−Ｓｉ膜が
ない部分を通過し、ガラス基板１の裏面側に到達した放
射線変換光（Ｘ線変換光）は、その大部分が光吸収物質
４に吸収されるので、疑似信号となる反射光が受光素子
Ｄに入射することを防止できる。
【００１０】請求項２に係る発明は、上記と同様にシン
チレータシートと、ガラス基板上に形成された光センサ
アレイからなる放射線検出器において、図３に例示する
ように、ガラス基板１１として、光吸収性を有する着色
ガラスを用いていることによって特徴づけられる。
チレータシートと、ガラス基板上に形成された光センサ
アレイからなる放射線検出器において、図３に例示する
ように、ガラス基板１１として、光吸収性を有する着色
ガラスを用いていることによって特徴づけられる。
【００１１】この発明の放射線検出器においては、ａ−
Ｓｉ膜がない部分を通過しガラス基板１１に入射したＸ
線変換光の大部分が、着色のガラス基板１１自体に吸収
されるので、疑似信号となる反射光が受光素子Ｄに入射
することを防止できる。
Ｓｉ膜がない部分を通過しガラス基板１１に入射したＸ
線変換光の大部分が、着色のガラス基板１１自体に吸収
されるので、疑似信号となる反射光が受光素子Ｄに入射
することを防止できる。
【００１２】請求項３に係る発明は、上記と同様にシン
チレータシート３と、ガラス基板１上に形成された光セ
ンサアレイ２からなる放射線検出器において、図４に例
示するように、ガラス基板１を黒色材料製の部材（例え
ば黒色アルマイト処理済みのＡｌ部材）５に接着したこ
とによって特徴づけられる。
チレータシート３と、ガラス基板１上に形成された光セ
ンサアレイ２からなる放射線検出器において、図４に例
示するように、ガラス基板１を黒色材料製の部材（例え
ば黒色アルマイト処理済みのＡｌ部材）５に接着したこ
とによって特徴づけられる。
【００１３】この発明の放射線検出器においても、ａ−
Ｓｉ膜がない部分を通過しガラス基板１の裏面側に到達
したＸ線変換光の大部分が、黒色材料製の部材５に吸収
されるので、疑似信号となる反射光が受光素子Ｄに入射
することを防止できる。
Ｓｉ膜がない部分を通過しガラス基板１の裏面側に到達
したＸ線変換光の大部分が、黒色材料製の部材５に吸収
されるので、疑似信号となる反射光が受光素子Ｄに入射
することを防止できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、以下、図
面に基づいて説明する。
面に基づいて説明する。
【００１５】図２は請求項１に係る実施の形態の構成を
模式的に示す図である。図２に示す実施の形態は、Ｘ線
異物検査装置あるいは医用一般撮影レントゲン装置など
に適用される１次元Ｘ線検出器で、複数のａ−Ｓｉ素子
Ｄ・・Ｄを１次元状に配列してなるａ−Ｓｉフォトダイオ
ードアレイ２と、その上に、Ｘ線変換膜として接着され
たシンチレータシート（例えばＧｄ2 Ｏ2 Ｓ：Ｔｂ製）
３によって構成されている。
模式的に示す図である。図２に示す実施の形態は、Ｘ線
異物検査装置あるいは医用一般撮影レントゲン装置など
に適用される１次元Ｘ線検出器で、複数のａ−Ｓｉ素子
Ｄ・・Ｄを１次元状に配列してなるａ−Ｓｉフォトダイオ
ードアレイ２と、その上に、Ｘ線変換膜として接着され
たシンチレータシート（例えばＧｄ2 Ｏ2 Ｓ：Ｔｂ製）
３によって構成されている。
【００１６】ａ−Ｓｉフォトダイオードアレイ２は、ガ
ラス基板１（板厚；１ｍｍ）上に成膜したａ−Ｓｉ膜
（膜厚；約１μｍ〜２μｍ）を、フォトリソグラフィ技
術により多数の素子（ａ−Ｓｉ素子）Ｄ・・Ｄに分離した
後、配線を施すことによって製作されている。
ラス基板１（板厚；１ｍｍ）上に成膜したａ−Ｓｉ膜
（膜厚；約１μｍ〜２μｍ）を、フォトリソグラフィ技
術により多数の素子（ａ−Ｓｉ素子）Ｄ・・Ｄに分離した
後、配線を施すことによって製作されている。
【００１７】さて、図２に示す実施の形態では、ガラス
基板１の素子形成面の反対側の面に光吸収物質４（例え
ば黒色顔料；ブラックカーボン入り塗料等）を塗布（コ
ーティング）したところに特徴があり、このような光吸
収物質４を設けておくと、ａ−Ｓｉフォトダイオードア
レイ２の素子分離パターン部などのａ−Ｓｉ膜がない部
分をＸ線変換光が通過しても、その変換光の大部分は光
吸収物質４に吸収されるので、疑似信号となる反射光が
受光素子Ｄに入射することがなくなり、クロストークを
減少させることがきる。
基板１の素子形成面の反対側の面に光吸収物質４（例え
ば黒色顔料；ブラックカーボン入り塗料等）を塗布（コ
ーティング）したところに特徴があり、このような光吸
収物質４を設けておくと、ａ−Ｓｉフォトダイオードア
レイ２の素子分離パターン部などのａ−Ｓｉ膜がない部
分をＸ線変換光が通過しても、その変換光の大部分は光
吸収物質４に吸収されるので、疑似信号となる反射光が
受光素子Ｄに入射することがなくなり、クロストークを
減少させることがきる。
【００１８】図３は請求項２に係る発明の実施の形態の
構造を模式的に示す図である。図３に示す実施の形態
は、先の実施の形態と同様に、ガラス基板１１上に形成
されたａ−Ｓｉフォトダイオードアレイ２と、その上
に、Ｘ線変換膜として接着されたシンチレータシート３
からなる１次元Ｘ線検出器において、ガラス基板１１と
して、光吸収性が良好な着色ガラスを用いているところ
に特徴がある。
構造を模式的に示す図である。図３に示す実施の形態
は、先の実施の形態と同様に、ガラス基板１１上に形成
されたａ−Ｓｉフォトダイオードアレイ２と、その上
に、Ｘ線変換膜として接着されたシンチレータシート３
からなる１次元Ｘ線検出器において、ガラス基板１１と
して、光吸収性が良好な着色ガラスを用いているところ
に特徴がある。
【００１９】この図３に示す実施の形態のＸ線検出器で
は、ａ−Ｓｉ膜がない部分を通過したＸ線変換光の大部
分が、ガラス基板１１自体に吸収されるので、疑似信号
となる反射光が受光素子Ｄに入射することがなくなり、
クロストークを減少させることがきる。
は、ａ−Ｓｉ膜がない部分を通過したＸ線変換光の大部
分が、ガラス基板１１自体に吸収されるので、疑似信号
となる反射光が受光素子Ｄに入射することがなくなり、
クロストークを減少させることがきる。
【００２０】図４は請求項３に係る発明の実施の形態の
構造を模式的に示す図である。図４に示す実施の形態
は、先の実施の形態と同様に、ガラス基板１上に形成さ
れたａ−Ｓｉフォトダイオードアレイ２と、その上に、
Ｘ線変換膜として接着されたシンチレータシート３から
なる１次元Ｘ線検出器において、ガラス基板１を黒色ア
ルマイト処理済みのＡｌ部材５に接着したところに特徴
がある。
構造を模式的に示す図である。図４に示す実施の形態
は、先の実施の形態と同様に、ガラス基板１上に形成さ
れたａ−Ｓｉフォトダイオードアレイ２と、その上に、
Ｘ線変換膜として接着されたシンチレータシート３から
なる１次元Ｘ線検出器において、ガラス基板１を黒色ア
ルマイト処理済みのＡｌ部材５に接着したところに特徴
がある。
【００２１】この図４に示す実施の形態のＸ線検出器に
おいても、ａ−Ｓｉ膜がない部分を通過したＸ線変換光
の大部分が、光吸収率が高い黒色アルマイト処理済みの
Ａｌ部材５に吸収されるので、疑似信号となる反射光が
受光素子Ｄに入射することがなくなり、クロストークを
減少させることがきる。
おいても、ａ−Ｓｉ膜がない部分を通過したＸ線変換光
の大部分が、光吸収率が高い黒色アルマイト処理済みの
Ａｌ部材５に吸収されるので、疑似信号となる反射光が
受光素子Ｄに入射することがなくなり、クロストークを
減少させることがきる。
【００２２】次に、以上の構造の１次元Ｘ線検出器を適
用する装置の例を、図５を参照しつつ説明する。
用する装置の例を、図５を参照しつつ説明する。
【００２３】図５に示す例はＸ線式異物検査装置で、食
品等の被検査物Ｗを搬送するコンベア１０１と、この上
方に設置されたＸ線発生器１０２を備え、コンベア１０
１の下方でＸ線発生器１０２と対向する位置にＸ線セン
サ（ラインセンサ）Ｓを設置する構造となっており、コ
ンベア１０１の駆動により被検査物ＷをＸ線センサＳに
対して走査することによって被検査物Ｗの２次元Ｘ線情
報を得て、そのＸ線情報をＴＶモニタ１０３の画面上に
表示するように構成されている。
品等の被検査物Ｗを搬送するコンベア１０１と、この上
方に設置されたＸ線発生器１０２を備え、コンベア１０
１の下方でＸ線発生器１０２と対向する位置にＸ線セン
サ（ラインセンサ）Ｓを設置する構造となっており、コ
ンベア１０１の駆動により被検査物ＷをＸ線センサＳに
対して走査することによって被検査物Ｗの２次元Ｘ線情
報を得て、そのＸ線情報をＴＶモニタ１０３の画面上に
表示するように構成されている。
【００２４】そして、このようなＸ線式異物検査装置の
Ｘ線センサＳに、図２，図３または図４に示した構造の
１次元Ｘ線検出器を適用すると、クロストークによる影
響が軽減された、位置分解能の高い良質な画質の２次元
Ｘ線画像を得ることが可能になる。
Ｘ線センサＳに、図２，図３または図４に示した構造の
１次元Ｘ線検出器を適用すると、クロストークによる影
響が軽減された、位置分解能の高い良質な画質の２次元
Ｘ線画像を得ることが可能になる。
【００２５】ここで、以上の実施の形態では、１次元の
Ｘ線検出器の例を示したが、本発明はこれに限られるこ
となく、２次元イメージセンサあるいは２次元放射線検
出器にも適用できる。
Ｘ線検出器の例を示したが、本発明はこれに限られるこ
となく、２次元イメージセンサあるいは２次元放射線検
出器にも適用できる。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、入射放
射線量に応じて発光するシンチレータシートと、ガラス
基板上に形成された複数の受光素子からなる１次元また
は２次元光センサアレイを組み合わせた構造の放射線検
出器において、ガラス基板の素子形成面の反対側の面に
光吸収物質をコーティングするか、あるいはガラス基板
として光吸収性が良好な着色ガラスを用いるという構
成、またはガラス基板を黒色材料製の部材に接着すると
いうような構成を採用しているので、素子分離パターン
上の変換光やシンチレータシート端部の変換光による影
響、つまり素子分離部分などを通過した変換光が基板裏
面で反射されることによって発生するクロストークを減
少させることができる。
射線量に応じて発光するシンチレータシートと、ガラス
基板上に形成された複数の受光素子からなる１次元また
は２次元光センサアレイを組み合わせた構造の放射線検
出器において、ガラス基板の素子形成面の反対側の面に
光吸収物質をコーティングするか、あるいはガラス基板
として光吸収性が良好な着色ガラスを用いるという構
成、またはガラス基板を黒色材料製の部材に接着すると
いうような構成を採用しているので、素子分離パターン
上の変換光やシンチレータシート端部の変換光による影
響、つまり素子分離部分などを通過した変換光が基板裏
面で反射されることによって発生するクロストークを減
少させることができる。
【００２７】その結果、位置分解能の高い良質な画質の
放射線画像を得ることが可能な１次元または２次元放射
線検出器を実現できる。
放射線画像を得ることが可能な１次元または２次元放射
線検出器を実現できる。
【図１】１次元放射線検出器の構造例を示す図で（Ａ）
はｃｈ方向の模式断面図（Ｂ）はその直交方向の模式断
面図
はｃｈ方向の模式断面図（Ｂ）はその直交方向の模式断
面図
【図２】請求項１に係る発明の実施の形態の構造を模式
的に示す図
的に示す図
【図３】請求項２に係る発明の実施の形態の構造を模式
的に示す図
的に示す図
【図４】請求項３に係る発明の実施の形態の構造を模式
的に示す図
的に示す図
【図５】Ｘ線式異物検査装置の例を示す図
１ ガラス基板 １１ ガラス基板（着色ガラス製） ２ ａ−Ｓｉフォトダイオードアレイ Ｄ・・Ｄ ａ−Ｓｉ素子 ３ シンチレータシート ４ 光吸収物質（黒色塗料） ５ 黒色アルマイト処理済みのＡｌ部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村上 悟 滋賀県大津市比叡辻２−１−１ 鐘淵化学 工業株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 入射放射線量に応じて発光するシンチレ
ータシートと、ガラス基板上に形成された複数の受光素
子からなる１次元または２次元光センサアレイを組み合
わせた構造の１次元または２次元放射線検出器におい
て、 上記ガラス基板の素子形成面の反対側の面に光吸収物質
がコーティングされていることを特徴とする放射線検出
器。 - 【請求項２】 入射放射線量に応じて発光するシンチレ
ータシートと、ガラス基板上に形成された複数の受光素
子からなる１次元または２次元光センサアレイを組み合
わせた構造の１次元または２次元放射線検出器におい
て、 上記ガラス基板として光吸収性を有する着色ガラスが用
いられていることを特徴とする放射線検出器。 - 【請求項３】 入射放射線量に応じて発光するシンチレ
ータシートと、ガラス基板上に形成された複数の受光素
子からなる１次元または２次元光センサアレイを組み合
わせた構造の１次元または２次元放射線検出器におい
て、 上記ガラス基板が、黒色材料製の部材に接着されている
ことを特徴とする放射線検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9269696A JPH11109037A (ja) | 1997-10-02 | 1997-10-02 | 放射線検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9269696A JPH11109037A (ja) | 1997-10-02 | 1997-10-02 | 放射線検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11109037A true JPH11109037A (ja) | 1999-04-23 |
Family
ID=17475923
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9269696A Pending JPH11109037A (ja) | 1997-10-02 | 1997-10-02 | 放射線検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11109037A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008102392A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置、及びこれを備えた電子機器 |
| WO2011136244A1 (ja) * | 2010-04-30 | 2011-11-03 | 富士フイルム株式会社 | 放射線撮像装置 |
-
1997
- 1997-10-02 JP JP9269696A patent/JPH11109037A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008102392A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置、及びこれを備えた電子機器 |
| WO2011136244A1 (ja) * | 2010-04-30 | 2011-11-03 | 富士フイルム株式会社 | 放射線撮像装置 |
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