JP2553454Y2 - Ｘ線ｃｔ装置用のｘ線検出器 - Google Patents
Ｘ線ｃｔ装置用のｘ線検出器Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、Ｘ線ＣＴ装置用のＸ線
検出器に係わり、特に、検出器ケース内に隣接して多数
配設されるＸ線検出素子アレイ間の感度特性のばらつき
を低減して、高い計測精度を得るのに好適なＸ線検出器
に関する。
検出器に係わり、特に、検出器ケース内に隣接して多数
配設されるＸ線検出素子アレイ間の感度特性のばらつき
を低減して、高い計測精度を得るのに好適なＸ線検出器
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のＸ線ＣＴ装置用のＸ線検出器を図
５ないし図８を参照して説明する。図５はＸ線検出器の
外観を示す全体斜視図、図６はＸ線検出素子アレイのポ
リゴン状配列を示す図６のＶＩ−ＶＩ断面図、図７はＸ
線検出素子アレイの構成説明図で、（ａ）は外観を示す
斜視図、（ｂ）は図７（ａ）のＶＩＩｂ−ＶＩＩｂ断面
詳細図、図８はＸ線検出素子アレイの製造プロセス説明
図である。
５ないし図８を参照して説明する。図５はＸ線検出器の
外観を示す全体斜視図、図６はＸ線検出素子アレイのポ
リゴン状配列を示す図６のＶＩ−ＶＩ断面図、図７はＸ
線検出素子アレイの構成説明図で、（ａ）は外観を示す
斜視図、（ｂ）は図７（ａ）のＶＩＩｂ−ＶＩＩｂ断面
詳細図、図８はＸ線検出素子アレイの製造プロセス説明
図である。
【０００３】図５および図６に示すように、Ｘ線検出器
は、Ｘ線管１の焦点を中心として円弧状に形成された検
出器ケース２、散乱線除去のためにＸ線入射口に設けら
れたコリメータ３、検出器ケース２内にＸ線管１の焦点
に対してポリゴン状に配列されている複数のＸ線検出素
子アレイ４、各Ｘ線検出素子アレイ４により変換された
入射Ｘ線の信号を外部増幅器へ伝達するコネクタ５等か
ら構成されている。６は被検者である。また、Ｘ線検出
素子アレイ４は、図７（ａ）および（ｂ）に示すよう
に、複数の受光素子を基板７上に接着剤１０を介して所
定のピッチで平行に配列した多チャンネルの光電変換素
子８、光電変換素子８と透明な接着剤１１を介して互い
に接着して固定され入射Ｘ線の強度に応じて発光するシ
ンチレータ９、光電変換素子８の各受光素子間を分離す
るように形成された溝１２内に挿入されている隔壁板１
３等から構成されている。光電変換素子８は、例えば、
ＰＩＮ型構造のシリコンホトダイオードが使用され、ま
た、隔壁板１３は長手方向の両端部を接着剤１４により
光電変換素子８または基板７に接着固定されている。
は、Ｘ線管１の焦点を中心として円弧状に形成された検
出器ケース２、散乱線除去のためにＸ線入射口に設けら
れたコリメータ３、検出器ケース２内にＸ線管１の焦点
に対してポリゴン状に配列されている複数のＸ線検出素
子アレイ４、各Ｘ線検出素子アレイ４により変換された
入射Ｘ線の信号を外部増幅器へ伝達するコネクタ５等か
ら構成されている。６は被検者である。また、Ｘ線検出
素子アレイ４は、図７（ａ）および（ｂ）に示すよう
に、複数の受光素子を基板７上に接着剤１０を介して所
定のピッチで平行に配列した多チャンネルの光電変換素
子８、光電変換素子８と透明な接着剤１１を介して互い
に接着して固定され入射Ｘ線の強度に応じて発光するシ
ンチレータ９、光電変換素子８の各受光素子間を分離す
るように形成された溝１２内に挿入されている隔壁板１
３等から構成されている。光電変換素子８は、例えば、
ＰＩＮ型構造のシリコンホトダイオードが使用され、ま
た、隔壁板１３は長手方向の両端部を接着剤１４により
光電変換素子８または基板７に接着固定されている。
【０００４】つぎに、Ｘ線検出素子アレイ４の検出素子
部の製造プロセスを図８により説明する。まず、図８
（ａ）に示すように基板７上に図７（ｂ）に示す接着剤
１０により数チャンネル分の受光素子を構成したシリコ
ンホトダイオード８を接着し、接着したシリコンホトダ
イオード８上に所定の厚さ寸法に加工された板状のシン
チレータ９を、該シンチレータ９の光放出面がシリコン
ホトダイオード８の各受光素子の有感部と正確に位置が
対応するように、図７（ｂ）に示す光透過率の高い透明
な接着剤１１を使用して図８（ｂ）に示す状態に接着す
る。この場合、シリコンホトダイオード８の面積は、図
８（ｂ）に示すようにシンチレータ９の面積より僅かに
大きくなっている。ついで、図８（ｃ）に示すようにシ
ンチレータ９に平行に複数の溝１２が加工され、シリコ
ンホトダイオード８の各チャンネルが分離される。溝１
２の加工は、図７（ｂ）に示すように溝１２の底がシリ
コンホトダイオード８に達する深さになるまで行われ
る。そして、図８（ｄ）に示すように、加工された溝１
２に隔壁板１３を挿入し、挿入した隔壁板１３の両端部
を接着剤（図７（ａ）に示す１４）で接着固定して完成
する。
部の製造プロセスを図８により説明する。まず、図８
（ａ）に示すように基板７上に図７（ｂ）に示す接着剤
１０により数チャンネル分の受光素子を構成したシリコ
ンホトダイオード８を接着し、接着したシリコンホトダ
イオード８上に所定の厚さ寸法に加工された板状のシン
チレータ９を、該シンチレータ９の光放出面がシリコン
ホトダイオード８の各受光素子の有感部と正確に位置が
対応するように、図７（ｂ）に示す光透過率の高い透明
な接着剤１１を使用して図８（ｂ）に示す状態に接着す
る。この場合、シリコンホトダイオード８の面積は、図
８（ｂ）に示すようにシンチレータ９の面積より僅かに
大きくなっている。ついで、図８（ｃ）に示すようにシ
ンチレータ９に平行に複数の溝１２が加工され、シリコ
ンホトダイオード８の各チャンネルが分離される。溝１
２の加工は、図７（ｂ）に示すように溝１２の底がシリ
コンホトダイオード８に達する深さになるまで行われ
る。そして、図８（ｄ）に示すように、加工された溝１
２に隔壁板１３を挿入し、挿入した隔壁板１３の両端部
を接着剤（図７（ａ）に示す１４）で接着固定して完成
する。
【０００５】上記プロセスにより完成したＸ線検出素子
アレイ４は、前記検出器ケース２内にＸ線管１の焦点に
対して複数隣接してポリゴン状に配列され、Ｘ線検出器
の主要部を構成する。そしてこの場合、Ｘ線検出素子ア
レイ４のＸ線入射側の面上には、図４に示すように、シ
ンチレータ９における発光を効率よくシリコンホトダイ
オード８に入射させてＸ線検出器の出力低下を防止する
ために、表面にアルミニウムを蒸着したポリエステルフ
ィルム等を用いた光反射率の高い材料からなる光反射膜
１５が設置されていた。
アレイ４は、前記検出器ケース２内にＸ線管１の焦点に
対して複数隣接してポリゴン状に配列され、Ｘ線検出器
の主要部を構成する。そしてこの場合、Ｘ線検出素子ア
レイ４のＸ線入射側の面上には、図４に示すように、シ
ンチレータ９における発光を効率よくシリコンホトダイ
オード８に入射させてＸ線検出器の出力低下を防止する
ために、表面にアルミニウムを蒸着したポリエステルフ
ィルム等を用いた光反射率の高い材料からなる光反射膜
１５が設置されていた。
【０００６】
【考案が解決しようとする課題】上記従来のＸ線検出器
においては、検出器ケース２内に複数のＸ線検出素子ア
レイ４を配列した際、各シンチレータ９のＸ線入射側の
表面９ａと該表面９ａ上に設置される光反射膜１５との
相対位置関係、すなわち、両者の接触状態や両者間の間
隙等が、Ｘ線検出素子アレイ４内においても、隣接した
Ｘ線検出素子アレイ４間においても異なっていた。この
異なりの原因は、シリコンホトダイオード８およびシン
チレータ９の厚さ寸法がほぼ一定であることから、接着
剤１０，１１の層厚さがどの程度一様であるかにも原因
はあるが、主として図４に示すように、表面９ａから突
出する隔壁板１３上端の突出量の差に原因があった。こ
の表面９ａと光反射膜１５との相対位置関係のばらつき
は、検出されるＸ線の感度特性をばらつかせ、良質の画
像を得られなくする問題点を有するため、各シンチレー
タ９の表面９ａと光反射膜１５との相対位置関係を一定
に保つことが要請されていた。
においては、検出器ケース２内に複数のＸ線検出素子ア
レイ４を配列した際、各シンチレータ９のＸ線入射側の
表面９ａと該表面９ａ上に設置される光反射膜１５との
相対位置関係、すなわち、両者の接触状態や両者間の間
隙等が、Ｘ線検出素子アレイ４内においても、隣接した
Ｘ線検出素子アレイ４間においても異なっていた。この
異なりの原因は、シリコンホトダイオード８およびシン
チレータ９の厚さ寸法がほぼ一定であることから、接着
剤１０，１１の層厚さがどの程度一様であるかにも原因
はあるが、主として図４に示すように、表面９ａから突
出する隔壁板１３上端の突出量の差に原因があった。こ
の表面９ａと光反射膜１５との相対位置関係のばらつき
は、検出されるＸ線の感度特性をばらつかせ、良質の画
像を得られなくする問題点を有するため、各シンチレー
タ９の表面９ａと光反射膜１５との相対位置関係を一定
に保つことが要請されていた。
【０００７】本考案は、上記従来技術の問題点に鑑み、
検出器ケース内に隣接して多数配設された各Ｘ線検出素
子アレイのシンチレータ表面と光反射膜との相対位置関
係を、ばらつきのない一定の状態に保持し、感度特性の
ばらつきを低減して、高い計測精度を得ることができる
Ｘ線ＣＴ装置用のＸ線検出器を提供することを目的とす
る。
検出器ケース内に隣接して多数配設された各Ｘ線検出素
子アレイのシンチレータ表面と光反射膜との相対位置関
係を、ばらつきのない一定の状態に保持し、感度特性の
ばらつきを低減して、高い計測精度を得ることができる
Ｘ線ＣＴ装置用のＸ線検出器を提供することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本考案は、入射Ｘ線の強度に応じて発光するシンチ
レータと、受光面を前記シンチレータに接着され他の面
を基板上に配置された多チャンネルの光電変換素子と、
該光電変換素子の各チャンネル間分離用の溝に挿入され
た隔壁板とからなるＸ線検出素子アレイを、検出器ケー
ス内に隣接して複数個配列したＸ線ＣＴ装置用のＸ線検
出器において、前記隣接して配列された各Ｘ線検出素子
アレイのＸ線入射側全面に、表面光反射率が高くかつ均
一で、しかもＸ線透過率の高い性質を有し、前記シンチ
レータの表面と一定の間隔を保持可能な金属製薄板の光
反射板を配設する構成にしたものである。
め、本考案は、入射Ｘ線の強度に応じて発光するシンチ
レータと、受光面を前記シンチレータに接着され他の面
を基板上に配置された多チャンネルの光電変換素子と、
該光電変換素子の各チャンネル間分離用の溝に挿入され
た隔壁板とからなるＸ線検出素子アレイを、検出器ケー
ス内に隣接して複数個配列したＸ線ＣＴ装置用のＸ線検
出器において、前記隣接して配列された各Ｘ線検出素子
アレイのＸ線入射側全面に、表面光反射率が高くかつ均
一で、しかもＸ線透過率の高い性質を有し、前記シンチ
レータの表面と一定の間隔を保持可能な金属製薄板の光
反射板を配設する構成にしたものである。
【０００９】
【作用】上記のように構成したことにより、各シンチレ
ータの表面と光反射板との相対位置関係が、表面から突
出する隔壁板上端の個々の突出量に影響されなくなり、
前記相対位置関係を各Ｘ線検出素子アレイのＸ線入射側
全面にわたって、ばらつきのない一定の状態に保つこと
が可能になる。このため、Ｘ線検出素子アレイ間の感度
特性のばらつきを低減して、高い計測精度を得ることが
可能になる。
ータの表面と光反射板との相対位置関係が、表面から突
出する隔壁板上端の個々の突出量に影響されなくなり、
前記相対位置関係を各Ｘ線検出素子アレイのＸ線入射側
全面にわたって、ばらつきのない一定の状態に保つこと
が可能になる。このため、Ｘ線検出素子アレイ間の感度
特性のばらつきを低減して、高い計測精度を得ることが
可能になる。
【００１０】
【実施例】本考案の一実施例を図１ないし図３を参照し
て説明する。図中、図４ないし図８と同符号のものは同
じものを示す。図１はＸ線検出器のチャンネル分離方向
の側断面図、図２は図１のII−II断面図、図３は図２の
要部拡大図である。
て説明する。図中、図４ないし図８と同符号のものは同
じものを示す。図１はＸ線検出器のチャンネル分離方向
の側断面図、図２は図１のII−II断面図、図３は図２の
要部拡大図である。
【００１１】図において、１６は各Ｘ線検出素子アレイ
４のシンチレータ表面９ａ全面に配置されている金属製
薄板の光反射板で、前記従来の光反射膜に代わるもので
ある。光反射板１６は、例えばアルミニウムやステンレ
スなどの表面光反射率が高くかつ均一で、しかもＸ線透
過率の高い材質のものが使用される。そして図３に示す
ように、シンチレータ表面９ａと一定の間隔を保持でき
るように、例えば厚さを０．３ｍｍにして所定の剛性を
持たしめ、表面を鏡面処理した前記金属製の１枚の薄板
により形成し、表面９ａから突出した隔壁板１３の上端
に、パッキング材１７および遮光板１８を介して押圧
し、Ｘ線検出素子アレイ４の配置に対応したポリゴン状
に配列されている。
４のシンチレータ表面９ａ全面に配置されている金属製
薄板の光反射板で、前記従来の光反射膜に代わるもので
ある。光反射板１６は、例えばアルミニウムやステンレ
スなどの表面光反射率が高くかつ均一で、しかもＸ線透
過率の高い材質のものが使用される。そして図３に示す
ように、シンチレータ表面９ａと一定の間隔を保持でき
るように、例えば厚さを０．３ｍｍにして所定の剛性を
持たしめ、表面を鏡面処理した前記金属製の１枚の薄板
により形成し、表面９ａから突出した隔壁板１３の上端
に、パッキング材１７および遮光板１８を介して押圧
し、Ｘ線検出素子アレイ４の配置に対応したポリゴン状
に配列されている。
【００１２】上記構成としたことにより、各シンチレー
タ表面９ａと光反射板１６との相対位置関係は、表面９
ａから突出する隔壁板１３の上端の個々の突出量には影
響されなくなり、前記相対位置関係を各Ｘ線検出素子ア
レイ４のＸ線入射側全面にわたって、ばらつきのない一
定の状態に保つことが可能になる。このため、Ｘ線検出
素子アレイ４間の感度特性のばらつきを低減することが
可能になり、良質の画像を得て高い計測精度を得ること
が可能になる。
タ表面９ａと光反射板１６との相対位置関係は、表面９
ａから突出する隔壁板１３の上端の個々の突出量には影
響されなくなり、前記相対位置関係を各Ｘ線検出素子ア
レイ４のＸ線入射側全面にわたって、ばらつきのない一
定の状態に保つことが可能になる。このため、Ｘ線検出
素子アレイ４間の感度特性のばらつきを低減することが
可能になり、良質の画像を得て高い計測精度を得ること
が可能になる。
【００１３】
【考案の効果】以上説明したように本考案のＸ線ＣＴ装
置用のＸ線検出器は、隣接して配列された各Ｘ線検出素
子アレイのＸ線入射側全面に、表面光反射率が高くかつ
均一で、しかもＸ線透過率の高い性質を有し、前記シン
チレータの表面と一定の間隔を保持可能な金属製薄板の
光反射板を配設する構成にしたから、シンチレータ表面
と光反射板との相対位置関係を均一化し、各Ｘ線検出素
子アレイの感度特性をばらつきのない均一な特性にする
ことが可能になり、高い計測精度のＸ線検出器を得るこ
とができる効果を奏する。
置用のＸ線検出器は、隣接して配列された各Ｘ線検出素
子アレイのＸ線入射側全面に、表面光反射率が高くかつ
均一で、しかもＸ線透過率の高い性質を有し、前記シン
チレータの表面と一定の間隔を保持可能な金属製薄板の
光反射板を配設する構成にしたから、シンチレータ表面
と光反射板との相対位置関係を均一化し、各Ｘ線検出素
子アレイの感度特性をばらつきのない均一な特性にする
ことが可能になり、高い計測精度のＸ線検出器を得るこ
とができる効果を奏する。
【図１】本考案の一実施例のＸ線検出器のチャンネル分
離方向の側断面図である。
離方向の側断面図である。
【図２】図１のII−II断面図である。
【図３】図２の要部拡大図である。
【図４】従来のＸ線検出素子アレイにおける光反射膜を
示す側断面図である。
示す側断面図である。
【図５】従来のＸ線検出器の外観を示す全体斜視図であ
る。
る。
【図６】Ｘ線検出素子アレイのポリゴン状配列を示す図
６のＶＩ−ＶＩ断面図である。
６のＶＩ−ＶＩ断面図である。
【図７】Ｘ線検出素子アレイの構成説明図で、（ａ）は
外観を示す斜視図、（ｂ）は図７（ａ）のＶＩＩｂ−Ｖ
ＩＩｂ断面詳細図である。
外観を示す斜視図、（ｂ）は図７（ａ）のＶＩＩｂ−Ｖ
ＩＩｂ断面詳細図である。
【図８】Ｘ線検出素子アレイの製造プロセス説明図であ
る。
る。
２ 検出器ケース ４ Ｘ線検出素子アレイ ７ 基板 ８ 光電変換素子（シリコンホトダイオード） ９ シンチレータ ９ａ 表面 １３ 隔壁板 １５ 光反射膜 １６ 光反射板
Claims (1)
- 【請求項１】入射Ｘ線の強度に応じて発光するシンチレ
ータと、受光面を前記シンチレータに接着され他の面を
基板上に配置された多チャンネルの光電変換素子と、該
光電変換素子の各チャンネル間分離用の溝に挿入された
隔壁板とからなるＸ線検出素子アレイを、検出器ケース
内に隣接して複数個配列したＸ線ＣＴ装置用のＸ線検出
器において、前記隣接して配列された各Ｘ線検出素子ア
レイのＸ線入射側全面に、表面光反射率が高くかつ均一
で、しかもＸ線透過率の高い性質を有し、前記シンチレ
ータの表面と一定の間隔を保持可能な金属製薄板の光反
射板を配設したことを特徴とするＸ線ＣＴ装置用のＸ線
検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8322791U JP2553454Y2 (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | Ｘ線ｃｔ装置用のｘ線検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8322791U JP2553454Y2 (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | Ｘ線ｃｔ装置用のｘ線検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0525383U JPH0525383U (ja) | 1993-04-02 |
| JP2553454Y2 true JP2553454Y2 (ja) | 1997-11-05 |
Family
ID=13796439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8322791U Expired - Fee Related JP2553454Y2 (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | Ｘ線ｃｔ装置用のｘ線検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2553454Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5124226B2 (ja) * | 2007-10-01 | 2013-01-23 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器 |
| JP6258895B2 (ja) * | 2015-06-03 | 2018-01-10 | 三菱電機プラントエンジニアリング株式会社 | 放射能汚染検査装置 |
-
1991
- 1991-09-18 JP JP8322791U patent/JP2553454Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0525383U (ja) | 1993-04-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |